KR970030255A - 반도체 진공설비용 릴리프 밸브 - Google Patents
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Abstract
반도체 진공설비에 사용되는 릴리프 밸브가 개시되어 있다.
본 발명은 반도체 진공설비에 일단부가 부착되어 상기 반도체 진공설비의 내외부를 관통시키는 관형 밸브본체와 상기 반도체 진공설비의 외부에 노출되는 상기 벨브본체의 타단부에 형성되어 있는 개구부의 주변을 따라 설치되는 오링 및 상기 오링과 접촉 또는 분리되면서 상기 밸브본체의 개구부를 개폐할 수 있도록 형성된 커버를 구비하여 이루어진 반도체 진공설비용 릴리프 밸브에 있어서, 상기 오링과 접촉하는 상기 커버의 접촉부가 변을 이루도록 형성된 것을 특징으로 한다. 따라서 밸브에 설치된 오링의 손상을 극소화하여 반도체 진공설비 가동상의 시간적 손실을 줄일 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 일 실시예의 반단면도 및 부분확대도이다.
Claims (3)
- 반도체 진공설비에 일단부가 부착되어 상기 반도체 진공설비의 내외부를 관통시키는 관형 밸브본체와 상기 반도체 진공설비의 외부에 노출되는 상기 벨브본체의 타단부에 형성되어 있는 개구부의 주변을 따라 설치되는 오링 및 상기 오링 과 접촉 또는 분리되면서 상기 밸브본체의 개구부를 개폐할 수 있도록 형성된 커버를 구비하여 이루어진 반도체 진공설비용 릴리프 밸브에 있어서, 상기 오링과 접촉하는 상기 커버의 접촉부가 면을 이루도록 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 진공설비용 릴리프 밸브.
- 제1항에 있어서, 상기 카버의 상기 오링과의 접촉면이 사선방향, 수평 또는 수직으로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 진공설비용 릴리프 밸브.
- 제1항에 있어서, 상기 카버의 상기 오링과의 접촉면이 곡면을 이루는 것을 특징으로 하는 반도체 진공설비용 릴리프 밸브.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950040883A KR970030255A (ko) | 1995-11-11 | 1995-11-11 | 반도체 진공설비용 릴리프 밸브 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950040883A KR970030255A (ko) | 1995-11-11 | 1995-11-11 | 반도체 진공설비용 릴리프 밸브 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030255A true KR970030255A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66587580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950040883A KR970030255A (ko) | 1995-11-11 | 1995-11-11 | 반도체 진공설비용 릴리프 밸브 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970030255A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020180103A1 (ko) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | 프리시스 주식회사 | 진공밸브 |
| KR20220083558A (ko) * | 2020-12-11 | 2022-06-20 | 프리시스 주식회사 | 진공밸브 |
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1995
- 1995-11-11 KR KR1019950040883A patent/KR970030255A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020180103A1 (ko) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | 프리시스 주식회사 | 진공밸브 |
| KR20200106630A (ko) * | 2019-03-05 | 2020-09-15 | 프리시스 주식회사 | 진공밸브 |
| KR20220083558A (ko) * | 2020-12-11 | 2022-06-20 | 프리시스 주식회사 | 진공밸브 |
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