KR970023695A - 이온 주입 장비용 진공 챔버의 연결구 - Google Patents

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KR970023695A
KR970023695A KR1019950035470A KR19950035470A KR970023695A KR 970023695 A KR970023695 A KR 970023695A KR 1019950035470 A KR1019950035470 A KR 1019950035470A KR 19950035470 A KR19950035470 A KR 19950035470A KR 970023695 A KR970023695 A KR 970023695A
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ion
ion implantation
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vacuum chamber
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KR1019950035470A
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서상일
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김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 제조공정에 있어서 웨이퍼에 불순물을 주입하기 위해 이온주입 챔버 내부를 고진공상태로 유지하기 위한 이온 주입기의 이온 비임 분석기와 가속기의 연결구에 관한 것으로 좀더 상세하게는 소스부의 이온 비임 분석기와 비임 라인부에 위치한 가속기를 신축성이 우수한 벨로우즈 플랜지로 상호 연결시킨 이온 주입 장비용 진공 챔버 연결구에 관한 것으로 반도체 웨이퍼의 이온 주입 챔버 내부를 고진공 상태로 유지하기 위해서 이온 주입기의 소스부에 위치된 이온 비임 분석기와 비임 라인부에 위치된 가속기에 있어서, 상기 이온 비임 분석기와 가속기의 긴밀한 연결을 위해 적어도 두개이상의 결합수단이 형성된 복수의 결합용 플랜지와, 상기 복수의 결합용 플랜지 사이에 신축성이 우수한 벨로우즈관이 연결 구비됨을 특징으로 하는 이온 주입 장비용 진공 챔버의 연결구.

Description

이온 주입 장비용 진공 챔버의 연결구
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 2 도는 본 발명에 의해 플랜지를 갖는 벨로우즈관을 도시한 사시도.

Claims (2)

  1. 반도체 웨이퍼의 이온 주입 챔버 내부를 고진공 상태로 유지하기 위해서 이온 주입기의 소스부에 위치된 이온 비임 분석기와 비임 라인부에 위치된 가속기에 있어서 상기 이온 비임 분석기와 가속기의 긴밀한 연결을 위해 적어도 두개이상의 결합수단이 형성된 복수의 결합용 플랜지와, 상기 복수의 결합용 플랜지 사이에 신축성이 우수한 벨로우즈관이 연결 구비됨을 특징으로 하는 이온 주입 장비용 진공 챔버의 연결구.
  2. 제 1 항에 있어서 상기 결합용 플랜지의 결합 면에는 오링이 삽지될 수 있도록 요홈부가 형성됨을 특징으로 하는 이온 주입 장비용 진공 챔버의 연결구.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950035470A 1995-10-14 1995-10-14 이온 주입 장비용 진공 챔버의 연결구 KR970023695A (ko)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100291214B1 (ko) * 1998-03-12 2001-06-01 안승철 요철형 방음판
KR100762584B1 (ko) * 2006-03-02 2007-10-01 김창균 진공함 연성이음장치
KR20110084209A (ko) * 2008-10-02 2011-07-21 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크. 진공 웨이퍼 처리 시스템을 위한 유체 전달 메커니즘

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KR100291214B1 (ko) * 1998-03-12 2001-06-01 안승철 요철형 방음판
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