Claims (6)
반도체 장치가 반도체 기판과, 이 기판에 형성된 소자 및, 상기 반도체 기판위에 증착되어, 다음식 (Ⅰ)로 표현되는 실리콘 사다리형 수지로 이루어진 변경-버퍼링막을 포함하는데, 이 식에서 각각의 말단기 R′은 같거나 다를수 있고 알킬(alkyl)그룹을 나타내고, 각각의 측면체인(side chain) R′은 같거나 다를 수 있고 또한 수소 원자나 싸이클로헥실(cyclohexl)그룹, 저알킬(alkyl)그룹, 또는 광중합성(photopolynerizabele) 불포화된 그룹을 나타내며, 그리고 n은 10 또는 그 이상의 정수인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.A semiconductor device includes a semiconductor substrate, an element formed on the substrate, and a modified-buffer film made of a silicon ladder resin deposited on the semiconductor substrate and represented by the following formula (I), wherein each end group R ' May be the same or different and represent an alkyl group, and each side chain R ′ may be the same or different and may also be a hydrogen atom or a cyclohexl group, a low alkyl group, or a photopolymerizable (photopolynerizabele) A unsaturated semiconductor device, wherein n is an integer of 10 or more.
제1항에 있어서, 상기 각각의 말단기(end group) R은 알킬 그룹을 나타내는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.The semiconductor device according to claim 1, wherein each end group R represents an alkyl group.
제1항에 있어서, 상기 각각의 말단기 R은 수소 원자를 나타내는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.The semiconductor device according to claim 1, wherein each terminal group R represents a hydrogen atom.
제1항에 있어서, 상기 실리콘 사다리형 수지가 분자로서 전체 측면체인 그룹 R′총양을 기초로 한 3몰%도는 그 이상의 양으로 측면체인에서 광중합성 불포화되 는 그룹을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.The semiconductor device according to claim 1, wherein the silicon ladder-type resin has a photopolymerizable unsaturated group in the side chain in an amount of 3 mol% or more based on the total amount of the group R 'as a molecule. .
제2항에 있어서, 상기 실리콘 사다리형 수지가 분자로서 전체 측면체인 그룹 R′총양을 기초로 한 3몰%도는 그 이상의 양으로 측면체인에서 광중합성 불포화되는 그룹을 갖는 반도체 장치.3. The semiconductor device according to claim 2, wherein the silicon ladder resin has a group that is photopolymerizable and unsaturated in the side chain in an amount of 3 mol% or more based on the total amount of the group R 'as a molecule.
제3항에 있어서, 상기 실리콘 사다리형 수지가 분자로서 전체 측면체인 그룹 R′의 총양을 기초로 한 3몰%또는 그 이상의 양으로 측면에서 광중합성 불포화된 그룹을 갖는 반도체 장치.4. The semiconductor device according to claim 3, wherein the silicon ladder resin has photopolymerizable unsaturated groups on the side in an amount of 3 mol% or more based on the total amount of the group R 'which is a whole side body as a molecule.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.