KR960015772A - 웨이퍼 캐리어 - Google Patents
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- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67326—Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls
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Abstract
본 발명은 웨이퍼를 삽입하고 제거하도록 개방된 상부와, 양 측벽(20)과, 후방부(30)와, 전방부(40) 및 세정액이 공급되는 열린 하부(50)를 가진 웨이퍼 캐리어(10)에 있어서, 양측면의 내부에 웨이퍼를 지지하기 위한 세로 방향의 장홈(22)이 복수개 설치된 안내 지지부(24)와, 양 측면의 아래 경사부에서 형성된 공간부(26)를 포함함을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로, 본 발명의 캐리어는 웨이퍼 세정시 섀도우 효과를 방지하여 세정 효과가 크게 향상된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 캐리어의 사시도이고,
제2도는 본 발명에 따른 캐리어의 사용상태도이고,
제3도는 본 발명에 따른 캐리어의 좌측면도이다.
Claims (3)
- 웨이퍼를 삽입하고 제거하도록 개방된 상부와, 양 측벽(20)과, 후방부(30), 전방부(40) 및 세정액이 공급되는 열린 하부(50)를 가진 웨이퍼 캐리어(10)에 있어서, 양측면의 내부에 웨이퍼를 지지하기 위한 세로 방향의 장홈(22)이 복수개 설치된 안내 지지부(24)와, 양 측면의 아래 경사부에서 형성된 공간부(26)를 포함함을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
- 제1항에 있어서, 상기 공간부(26)에 형성된 1 내지 복수개의 버팀대(28)를 포함함을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 웨이퍼의 직경이 5 내지 12인치임을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940027815A KR0147456B1 (ko) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | 웨이퍼 캐리어 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940027815A KR0147456B1 (ko) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | 웨이퍼 캐리어 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960015772A true KR960015772A (ko) | 1996-05-22 |
KR0147456B1 KR0147456B1 (ko) | 1998-11-02 |
Family
ID=19396242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019940027815A KR0147456B1 (ko) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | 웨이퍼 캐리어 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR0147456B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20070040072A (ko) * | 2005-10-11 | 2007-04-16 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 카세트 보관장치 |
-
1994
- 1994-10-28 KR KR1019940027815A patent/KR0147456B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20070040072A (ko) * | 2005-10-11 | 2007-04-16 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 카세트 보관장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR0147456B1 (ko) | 1998-11-02 |
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