KR960013736B1 - 투사형 화상표시장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

투사형 화상표시장치

제1도는 일반적인 투사형 화상표시 장치의 개략도.

제2도는 종래의 투사형 화상표시장치의 광토조절수단의 사시도.

제3도는 상기 광로조절수단의 기본단위의 동작을 예시하는 정면도.

제4도는 본 발명에 따른 투사형 화상표시장치의 광로조절수단의 사시도.

제5도는 상기 광로조절수단의 기본단위의 동작을 예시하는 정면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 광원 5 : 광분리 수단

6 : 액츄에이터성분 7 : 광로조절수단

8 : 거울성분 9 : 광량조절수단

13 : 주사거울 51 : 액츄에이터

53 : 거울 55 : 기본 단위

본 발명은 투사형 화상표시장치에 관한 것으로서, 특히, 광로조절수단의 기본단위들을 독립적으로 '온' 또는 '오프' 방식으로 동작시켜 반사되는 광의 각가을 광량조절수단이 모두 통과시키거나 또는 모두 통과시키지 않는 것에 의해 광량을 조절하는 투사형 화상표시장치에 관한 것이다.

화상표시장치는 표시방식에 따라 직시형 화상표시 장치와 투사형 화상표시장치로 구분된다. 직시형 화상표시장치는 CRT(Cathod Ray Tube)등이 있는데, 이러한 CRT 화상표시장치는 화질이 좋으나 화면이 커짐에 따라 중량 및 두께의 증대와, 가격이 비싸지는 등의 문제점이 있어 대화면을 구비하는데 한계가 있다.

투사형 화상표시장치는 대화면 액정표시장치(Liquid Crystal Display; 이하 LCD라 칭함)등이 있는데, 이러한 대화면 LCD의 박형화가 가능하여 중량을 작게 할 수 있다. 그러나, 이러한 LCD는 편광편에 의한 광손실이 크고 LCD를 구동하기 위한 박막트랜지스터가 화소마다 형성되어 있어 개구율(광의 투과면적)을 높이는데 한계가 있으므로 광의 효율이 매우 낮다. 따라서, 미합중국 Aura 사에 의해 액츄에이티드 미러어레이(Actrated Mirror Arrays; dlgk AMA라 칭함)를 이용한 투사형 화상장치가 개발되었다.

제1도는 상기 일반적인 투사형 화상표시장치의 개략도로, 백색광을 방출하는 광원(1)과, 상기 백색광을 적색, 녹색 및 청색의 광들로 분리하는 광분리수단(5)과, 상기 분리된 색광의 각각을 반사하여 광로를 조절하는 광로조절수단(7)과, 상기 반사된 각각의 광량을 조절하는 광량조절수단(9)과, 상기 광량이 조절된 각각의 광을 합성하고 선형으로 주사하는 주사거울(13)과, 상기 선형으로 주사되는 광을 평행하게 하고 스크린으로 투사시키는 렌즈들(15)(17)을 포함한다.

상기 투사형 화상표시장치에 있어서, 광원(1)은 제1평형렌즈(3)를 통과하여 평행한 광속(light beam)을 이루는 고휘도(high intensity)의 백색광을 방출한다. 상기 평행한 광속을 광분리수단(5)을 통하여 적색, 녹색 및 청색의 광으로 분리한다. 상기 광분리수단(5)을 이색성 거울들로 형성하는 것이 바람직하다. 다른 예에 있어서, 광분리수단(5)을 회절격자(diffractrion grating)이거나 프리즘(prism)으로 형성할 수 있다. 또 다른예에 있어서, 광원(1), 제1평형렌즈(3)및 광분리수단(5)을 각기 적색, 녹색 및 청색의 광을 방출하는 레어저 다이오드(LASER diodes)들로 대체할 수 있다.

상기 광로조절수단(7)은 적색, 녹색 및 청색으로 분리된 각각의 광을 반사시키는 거울성분(8)과, 이 거울성분(8)을 부착시켜 거울기를 갖도록 하는 액츄에이터 성분(6)을 포함한다. 상기 거울성분(8) 및 액츄에이터 성분(6)은 상기 분리된 각각의 광과 대응하도록 3개의 거울 어레이들(8a),(8b),(8c)과 3개의 액츄에이터 어레이들(6a),(6b),(6c)이 각각 병렬로 배치된다. 상기 거울 어레이(8a),(8b),(8c)은 각각의 광을 선형으로 반사시키기 위하여 적어도 하나 이상의 거울들이 직렬로 배치된다. 또한, 상기 액츄에이터 어레이들(6a),(6b),(6c)도 상기 거울들과 동일한 갯수의 액츄에이터가 직렬로 이루어져 전기적으로 절연인 기판의 상부에 위치한다. 상기 액츄에이터들은 한쪽 방향으로 분극(depoling)된 압전 물질로 이루어지며, 이 액츄에이터들에 전계를 발생시키면 이 전계의 방향이 분극의 방향과 일치하는 부분은 직각방향으로 수축되고, 반대인 부분은 직각 방향으로 팽창된다. 그러므로 상기 각각의 거울들은 상기 액츄에이터들의 변형에 따라 경사를 갖게 되어 광분리수단(5)에 의해 분리된 광을 광로를 변화시켜 반사한다.

상기 광량조절수단(9)은 다수의 틈(10)들을 가진 무반사면(11:non-reflective surface)으로 이루어진다.

상기 틈(10)들은 다수의 핀홀(pinhole)들 또는 다수의 칼날형태의 슬릿(knife-edged slit)들로 이루어진다. 상기 광량조절수단(9)은 광로 조절수단(7)에 의해 광로가 조절된 광들의 양을 조절하여 통과시킨다. 즉, 상기 광로조절수단(7)에 의해 반사된 각각의 광의 광로들이 상기 다수의 틈(10)의 일치되는 정도에 따라 통과되는 광량이 조절된다.

상기 주사거울(13)은 상기 광량 조절수단(9)의 틈(10)들을 통과한 광들을 합성하여 선주사(line secning)시키고, 제2평형 렌즈(15)와 투사렌즈(17)는 상기 합성되고 선주사된 광을 평행하게 하여 스크린(도시되지 않음)으로 투사시킨다.

제2도는 종래의 투사화상표시장치의 광로조절수단(7)의 사시도이다.

상기 광로조절수단(7)은 액츄에이터성분(6)과 거울성분(8)으로 구성된다. 상기 액츄에이터성분(6)은 전기적으로 절연인 기판(21)의 상부에 3개의 액츄에이터 어레이들(6a),(6b),(6c)이 병렬로 되면, 이 액츄에이터 어레이들(6a),(6b),(6c)은 각각 8개의 액츄에이터(31)들이 직렬로부터 된다. 또한, 상기 액츄에이터(31)들은 각기 제1 및 제2변형부들(22)(23), 내부전극(25) 및 제1및 제2외부전극들(27),(29)로 이루어진다. 상기 제1및 제2변형부들(22),(23)은 L 자가 거울상으로 배치된 것으로, 이들 사이에 박판의 내부전극(25)이, 이 내부전극(25)과 반대쪽 측면들에서 제1 및 제2외부전극들(27),(29)이 형성되어 있다. 또한, 상기 제1및 제2변형부들(22),(23)은 압전 세라믹으로 형성되며 제1외부전극(27)에서 제2외부전극(29)의 방향이거나, 또는 그와 반대인 방향으로 상기 내부전극(25)과 직각되게 분극되어 있다. 이러한 액츄에이터 성분(6)에서 각각 액츄에이터(31)의 제1및 제2외부전극들(27),(29)은 공통접지되고, 상기 내부전극(25)은 각각의 액츄에이터 어레이들(6a),(6b),(6c)에 동일한 전압이 인가되도록 연결되어 있다.

상기 거울성분(8)은 액츄에이터성분은(6)에 대응하여 부착되어 있다. 그러므로, 서로 대응하여 부착된 액츄에이터(31)의 거울(33)은 광로조절수단(7)의 기본단위(35)가 된다. 상기에서 거울성분(8)은 동일한 크기의 거울(33)들로 구성되며, 이 거울(33)들은 광을 반사시키기 위해 표면이 평탄하다.

제3도는 종래 투사형 화상표시장치의 광로조절 수단(7)의 기본단위(35)의 동작을 예시하는 정면도이다.

상기 광로조절수단(7)은 광분리수단(5)에서 분리되는 적색, 녹색 및 청색의 광을 대응하는 기본단위(35)의 어레이에 의해 광량조절수단(9)으로 반사시킨다. 상기 광로조절수단(7)의 기본단위(35)는 액츄에이터(3)의 변형에 의해 거울(33)이 경사지게 된다. 즉, 상기 액츄에이터(31)는 제1및 제2변형부들(22),(23)이 제2외부전극(29)쪽에서 제1외부전극(27)쪽으로 분극되어 있다면, 상기 내부전극(25)에 인가되는 전압에 의해 제1변형부(22)의 높이는 축소되고 제2변형부(23)의 높이는 팽창되어 거울(33)은 경사지게 된다. 상기에서 거울(33)은 0°와 θ1 사이에서 여러단개의 경사각을 갖는데, 이 경사각은 내부전극(25)에 인가되는 전압에 비례한다. 상기 내부전극(25)에 인가되는 전압에 비례한다. 상기 내부전극(25)에 전압을 인가하지 않으면, 즉, OV의 전압을 인가하면 상기 액츄에이터(31)는 변화하지 않아 거울(33)은 0°의 경사각을 가지고, 최대 전압 V1을 인가하면 액츄에이터(31)은 최대로 변화하여 거울(33)은 최대경사각 θ1을 가지며, 또한 OV와 V1 사이의 여러 소정전압, 예를들면, V2 및 V3를 인가하면 액츄에이터(31)는 이 전압에 비례하여 거울(33)은 0°와 θ1사이의 경사각 θ2 및 θ3를 갖는다.

상기 광로조절수단(7)의 기본단위(35)는 상기 광분리수단(5)에 의해 분리된 적색, 녹색 및 청색의 광중소정광을 거울(33)이 경사지지 않을 때에는 광량조절수단(9)의 틈(10)들 사이로 모두 통과시키도록 반사시키고, 거울(33)이 최대경사각 θ1을 가질 때에는 광량조절수단(9)의 무반사면(11)에 모두 비치도록 반사시킨다. 또한, 상기 광로조절수단(7)의 기본단위(35)는 거울(33)의 경사각이 θ2 및 θ3일때, 상기 소정광을 각각 소정의 광량만이 무반사면(11)에 비치도록 하고 나머지를 틈(10)들을 통해 통과시켜 광량을 조절한다. 상기에서 광량의 조절에 의해 소정광을 여러 계조(gradation)로 구분하여 나타낸다.

상기 광로조절수단(7)의 기본단위 어레이는 직렬로 상기와 같은 기본단위(35)가 8개로 이루어져 상기 소정 광을 선형으로 반사시킨다. 상기 분리된 적색, 녹색 및 청색의 광은 각각 대응하는 3개의 기본단위어레이들에 의해 광로들이 조절되어 반사되고 상기 광로조절수단(9)에 의해 각각의 광을 소정계조들로 조절되어 통과된다. 따라서, 상기 광량이 조절된 각각의 광을 합성하여 소정 색을 나타낸다. 상기에서 나타낼 수 있는 소정 색의 수는 각각의 광의 계조 수를 전부 곱한 것이 된다. 즉, 상기 각각의 계조 수를 5라 하면 상기에서 나타낼 수 있는 소정 색의 수는 5³이 된다.

상술한 종래의 투사형 화상표시장치는 액츄에이터(31)에 인가되는 전압에 비례하여 0°와 최대 경사 θ1 사이에 여러 경사각을 가지는 거울에 의해 반사되는 소정 광의 경로를 조절하므로 광량조절수단(9)을 통과하는 광량을 조절할 수 있다. 상기에서 광량조절수단(9)을 통과하는 광량을 정확히 조절하기 위해 거울의 경사각이 0°일때 반사되는 광을 광량 조절수단(9)의 틈(10)들 사이에 모두 통과시키도록 하고, 거울(33)이 최대 경사각 θ1을 가질 때 반사되는 광을 광량조절 수단(9)의 무반사면(11)에 모두 비쳐지도록 해야 한다. 그렇게 하기 위해서 상기 광량조절수단(9)을 무반사면(11)의 모서리가 거울(33)의 경사각이 0° 일때의 반사광 경로와 경사각이 최대인 θ1일때의 반사광 경로가 분리되는 지점과 일치되도록 위치시켜야 한다.

그러나, 상기 종래의 투사형 화상표시장치는 거울의 경사각이 0° 일때와 최대일 때 각각의 반사광 경로가 분리되는 지점과 무반사면의 모서리가 일치하도록 광량조절수단을 위치시켜야 하므로 생산성이 낮다. 또한, 상기 투사형 화상표시장치는 액츄에이터들의 변위량이 크지 않으므로 소정광의 계조수를 크게 할 수 없이 광량이 조절된 각각의 광을 합성하여 나타낼 수 있는 색의 종류가 적게 되어 화질이 나빠지는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 광로조절수단을 '온' 및 '오프' 방식으로 구동시켜 광량조절수단의 위치여유도를 크게하므로 생산성을 향상시킬 수 있는 투사형 화상표시장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 각각의 광의 제조 수를 크게하여 합성시 나타낼 수 있는 투사형 화상표시장치를 제공함에 있다.

상기 목적들을 달성하기 위하여 본 발명은 투사형 화상표시장치에 있어서, 백색광을 방출하는 광원과, 상기 백색광을 각기 다른 색들을 가지는 다수의 광속들로 분리하는 수단과, 상기 광속들의 각각을 부분별로 서로 다른 경로로 반사시켜 광로들을 조절하는 수단과, 상기 광로들이 조절된 광속들을 통과시켜 각각의 광속들의 광량을 조절하는 수단과, 상기 광량이 조절된 각각의 광속들을 합성하여 소정색을 가지도록 하고 선주사하는 주사거울과, 상기 선주사되는 소정 색광을 평행하게 하여 스크린으로 투사시키는 렌즈들을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.

제4도는 본 발명의 일실시예에 따른 투사형 화상표시장치의 광로조절수단(7)의 사시도이다.

상기 광로조절수단(7)은 액츄에이터 성분(6)과 거울성분(8)으로 구성된다. 상기 액츄에이터 성분(6)은 전기적으로 절연인 기판(41)의 상부에 다수의, 바람직하게는 3개의 액츄에이터 어레이들(6a),(6b),(6c)이 병렬로 배열되어 있은며, 이 액츄에이터 어레이들(6a),(6b),(6c)의 각각 다수의 예를 들면, 8개의 액츄에이터들(51a~51h)이 직렬로 배열되어 있다. 또한, 상기 액츄에이터들(51a~51h)은 각기 제1및 제2변형부들(42)(43), 내부전극(45) 및 제1및 제2외부전극들(47),(49)로 이루어진다. 상기 제1및 제2변형부들(42),(43)은 ' L '자가 거울상으로 배치된 것으로, 이들 사이에 이들의 일측면과 맞닿는 박판의 내부전극(45)이, 이들의 일측면의 반대쪽인 타측면들에 제1및 제2외부전극들(47)(49)이 형성되어 있다. 또한, 그와 반대인 방향으로 분극되어 있는 압전 세라믹으로 형성되어 있다. 상기에서 액츄에이터들(51a~51h)들의 제1및 제2외부전극들(47),(49)은 공통접지이나, 각기 상기 내부전극(45)은 선택적으로 전압이 인가되지 않거나, 또는 소정전압 Vo가 선택적을 인가되도록 연결되어 있다. 그러므로, 각기 내부전극(45)에 선택적으로 인가되는 소정 전압에 의해 상기 액츄에이터들(51a~51h)은 소정만큼만 변형되거나 또는 변형되지 않아 '온(ON)' 또는 '오프(OFF)' 상태로 동작한다.

상기 거울성분(8)은 상기 액츄에이터성분(6)과 대응하며 분리된 적색, 녹색 및 청색의 광을 반사시키는 것으로 3개의 거울 어레이들(8a),(8b),(8c)이 병렬로 배열되어 있으며, 이 거울 어레이들(8a),(8b),(8c)의 각각은 8개의 거울들(53a~53h)이 직렬로 배열되어 있다. 상기 거울들(53a~53h)은 대응하는 액츄에이터들(51a~51h)의 상부에 부착되어 광로조절수단(7)의 기본단위들(55a~55h)를 이룬다. 상기 기본단위들(55a~55h)은 액츄에이터들(51a~51h)에 의해 '온' 또는 '오프' 상태로 동작된다. 그러므로, 기본단위 어레이는 8개의 기본단위들(55a~55h)로 이루어지며, 이들 기본단위(55a~55h)이 '온' 또는 '오프' 상태로 동작하는 것에 의해 상기 분리된 소정의 광량을 나누어 2개의 경로로 반사시킨다.

제5도는 본 발명에 따른 광로조절수단(7)의 기본 단위(55)의 동작을 예시하는 정면도이다.

상기 광로조절수단(7)은 광분리수단(5)에서 분리되는 적색, 녹색 및 청색의 광중에서 소정광을 대응하는 기본단위 어레이에 의해 광량조절수단(9)으로 반사시킨다. 상기 광로조절수단(7)의 기본단위(55)는 액츄에이터(51)의 변형에 의해 거울(53)이 경사지게 된다. 즉, 상기 액츄에이터(51)는 제1및 제2변형부들(42),(43)이 제2외부전극(49)쪽에서 제1외부 전극(47)쪽으로 분극되어 있다면, 상기 내부전극(45)에 인가되는 소정 전압 Vo에 의해 제1변형부(42)의 높이는 축소되고 제2변형부(43)의 높이는 팽창되어 거울(53)은 경사각 θ0를 갖게 된다. 또한, 상기 내부전극(45)에 소정 전압 Vo을 인가하여 않으면 상기 액츄에이터(51)는 소정 전압 않으므로 거울(53)을 0°을 갖도록 '온' '오프' 방식으로 구동된다. 따라서, 상기 광로조절수단(7)의 기본단위(55)는 거울(53)이 경사지지 않을 때, 즉, '오프' 상태일 때 상기 광분리 수단(5)에 의해 분리된 소정광을 광량조절수단(9)의 틈(10)들로 모두 통과시키고, 거울(53)이 소정경사각 θ0를 가질때, 즉, '온' 상태일 때 광량조절수단(9)의 무반사면(11)에 모두 비치게 한다. 상기 광량조절수단(9)은 상기 기본단위(55)에 의해 반사된 광을 모두 통과시키거나, 또는 통과시키지 않는 것에 의해 광량을 조절한다. 그러므로, 상기 광량조절수단(9)은 상기 거울(53)의 겅사각이 0°일 때의 반사광 경로와 경사각이 θ0 일때의 반사광 경로 사이의 광이 통과하지 않는 부분의 어느 지점에도 위치될 수 있다.

상기 광로조절수단(7)의 소정 기본단위 어레이는 제1~제8기본단위들(55a)~(55h)이 각기 '온' 또는 '오프' 상태로 동작되어 상기 광분리수단(5)에서 분리된 소정광을 상기 광량조절수단(9)으로 반사시킨다. 즉, 상기 분리된 소정광의 일부가 '온' 상태의 기본단위들에 의해 광량조절수단(9)의 무반사면(11)을 비추고, 상기 소정광의 나머지가 '오프' 상태의 기본단위들에 의해 광량조절을 수단(9)의 틈(10)들을 통과하도록 반사기킨다. 상기에서 소정 기본단위 어레이 유리들의 크기가 같다면 반사되는 광량은 8단계의 계조로 구분되어 나타내어진다. 그러므로, 상기 광량이 조절된 각각의 광을 합성하여 나타낼 수 있는 소정 색의 수는 각각의 광의 계조수를 전부 곱한 수, 즉, 8³이 된다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에서 상기 거울들(53a~53h)의 크기를 다르게 하므로써 광량이 조절된 각각의 광을 합성하여 나타낼 수 있는 소정색의 수를 증가시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4단위들(55a),(55b),(55c),(55d)의 거울들(53a~53d)의 크기가 1:2:4:8이고, 나머지 제5~제8 기본단위들(55e), (55f), (55g), (55h)의 거울(53e), (53f), (53g), (53h)의 크기가 상기 제4기본단위 (55d)의 유리 (53d)의 크기가 같다면, 상기 광량 조절수단(9)에 의해 광을 모두 통과시키지 않을 때가 0이고 모두 통과시킬 때가 47이므로 상기 광량 조절수단(9)에 의해 조절되는 광의 계조수는 48 단계가 된다. 그러므로 상기에 의해 나타낼 수 있는 소정색의 수는 48³이 된다. 상기 소정 기본단위 어레이 의해 반사되는 광량을 크게 하기 위해 거울들(53a~53h)의 크기를 크게 하여 간격을 최소가 되게 한다. 바람직하게 상기 액츄에이터들(51a~51h)은 크기가 각기 부착되어 있는 거울들(53a~53h)의 크기와 비례하여 이웃하는 액츄에이터들끼리 등간격으로 이격되도록 한다. 또한, 상기 액츄에이터들(51a~51h)을 동일한 크기로 형성할 수도 있는데, 이때, 상기 액츄에이터들(51a~51h)은 이웃하는 것들과는 부착되어 있는 거울들(53a~53h)의 크기와 비례하여 이격되도록 한다.

상술한 바와 같이 기본단위 어레이의 각각의 기본 단위들을 '온' 또는 '오프' 상태로 동작시켜 소정광을 반사시키므로 광량조절수단이 이 반사된 광을 모두 통과시키거나 또는 모두 통과시키지 않는 것에 의해 광량을 조절하며, 이 경우에 이 거울들의 크기를 다르게 하므로써 통과시키는 광의 계조 수를 증가시킨다.

따라서, 본 발명은 기본단위들이 '온' 또는 '오프' 상태일 때 반사광의 경로들 사이의 광이 통과하지 않는 부분의 어느지점에도 광량조절수단을 위치시킬 수 있으므로 위치여유도가 크게 되어 생산성을 향상시킬 수 있는 잇점이 있다. 또한, 광량 조절수단을 통과하는 반사광의 계조 수를 증가시키므로 합성된 광의 색 종류를 증가시켜 양호한 화질을 얻을 수 있는 잇점이 있다.

Claims (12)

1. 투사형 화상표시장치에 있어서, 백색광을 방출하는 광원, 상기 백색광을 각기 다른 색들을 가지는 다수의 광속들로 분리하는 수단, 상기 광속들의 각각을 부분별로 서로 다른 경로로 반사시켜 광로들을 조절하는 수단, 상기 광로들이 조절된 광속들을 통과시켜 각각의 광속들의 광량을 조절하는 수단, 상기 광량이 조절된 각각의 광속들을 합성하여 소정색을 가지도록 하고 선주사하는 주사거울, 상기 선주사되는 소정 색광을 평행하게 하여 스크린으로 투사시키는 렌즈들을 포함하는 투사형 화상표시장치.
2. 제2항에 있어서, 상기 광로조절수단은 다수개의 기본단위들이 직렬로 배치된 기본단위 어레이들이 병렬로 배치되어 상기 광속들과 대응하는 투사형 화상표시장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 기본단위들은 각기 액츄에이터와 거울을 구비한 투사형 화상표시장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 액츄에이터는 ' L '자형이 거울상으로 이루어진 압전세라믹으로 제1및 제2변형부와, 상기 제1 및 제2변형부 사이에 개재되어 일측면들과 서로 접촉하는 내부전극과, 상기 제1및 제2변형부들의 타측면에서 형성된 제1및 제2외부전극들로 이루어진 투사형 화상표시장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 제1및 제2외부전극들은 공통접지되고, 내부전극에 OV 또는 소정전압이 선택적으로 인가되는 투사형 화상표시장치.
6. 제2항 또는 제5항에 있어서, 상기 기본단위 어레이를 이루는 기본단위들의 내부전극들에 전압이 독립적으로 인가되는 투사형 화상표시장치.
7. 제6항에 있어서, 상기 기본단위 어레이들은 기본단위들을 독립적으로 '온' 또는 '오프' 상태로 구동시켜 대응하는 광속들의 각각을 2개의 경로로 반사시키는 투사형 화상표시장치.
8. 제3항에 있어서, 상기 기본단위들 각각의 액츄에이터 및 거울의 크기가 동일한 투사형 화상표시장치.
9. 제3항에 있어서, 상기 기본단위들 각각의 액츄에이터 및 거울의 크기가 다른 투사형 화상표시장치.
10. 제3항에 있어서, 상기 기본단위들 각각의 액츄에이터의 크기가 동일하고 거울의 크기가 다른 투사형 화상표시장치.
11. 제7항에 있어서, 상기 광량조절수단은 반사된 광을 통과시키지 않는 무반사면과 반사된 광을 통과시키는 틈으로 이루어진 투사형 화상표시장치.
12. 제11항에 있어서, 상기 광량조절수단의 무반사면이 상기 광의 경로들 사이에 위치하는 투사형 화상표시장치.