KR960010428B1 - Panel manufacturing method and device of color braun tube - Google Patents

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Abstract

In a color Braun tube which is fabricated by combining a panel coated with a fluorescent material with a mask, and exposing the panel and mask, the method includes the step of compensating the temperature by decreasing the temperature difference between the panel and the mask, and the temperature compensating step including panel cooling process. The method provides a color braun tube panel fabricated by photo etching, which prevents troubles in photo exposure due to the difference of temperature between the panel and mask.

Description

칼라브라운관의 패널 제조방법 및 장치Panel manufacturing method and apparatus of color brown tube

제1도는 종래의 제조방법을 보이는 흐름도.1 is a flow chart showing a conventional manufacturing method.

제2도는 종래 제조방법의 문제점을 보이는 개략 단면도.2 is a schematic cross-sectional view showing a problem of the conventional manufacturing method.

제3도는 본 발명 제조방법을 보이는 흐름도.3 is a flow chart showing the manufacturing method of the present invention.

제4도(가)(나)는 본 발명 제조방법에서 온도 보정수단의 실시예들을 보이는 개략 단면도.Figure 4 (a) (b) is a schematic cross-sectional view showing embodiments of the temperature correction means in the manufacturing method of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

P : 패널(panel)P: panel

M : 마스크(프레임 조립체)(mask-frame assembly)M: mask-frame assembly

D1,D2 : 온도 보정덕트(temperature compensating duct)D1, D2: temperature compensating duct

D1 : 가열덕트(heating duct)D2 : 냉각덕트(cooling duct)D1: heating duct D2: cooling duct

C1,C2 : 이송컨베이어C1, C2: Transfer Conveyor

본 발명은 칼라브라운관 제조에 관한 것으로, 더 상세히는 그 패널(panel)을 제조하는 방법과 이를 구현하는데 적합한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to the manufacture of color-brown tubes, and more particularly, to a method of manufacturing the panel and a device suitable for implementing the same.

칼라브라운관은 패널의 형광면에 R, G, B형광체를 분리도포하고, 각 형광체를 선택적으로 발광시킴으로써 칼라 화상을 표시하는 화상 표시 장치이다. 이를 위해 칼라브라운관에는 색선별 수단(color selecting means)이 사용되는데, 색선별 수단으로서 가장 널리 사용되고 있는 것은 섀도우 마스크(shadow mask)이다. 섀도우 마스크는 0.1 내지 0.13mm 정도의 매우 얇은 박판(薄板)에 브라운관의 형식에 따라 슬릿(slit)형 또는 도트(dot)형의 색선별구멍(aperture)을 무수히 형성한 다공(多孔) 박판으로, 자체적인 형상 유지능력이 없으므로 프레임(frame)에 지지되도록 결합되어 마스크 프레임 조립체로 취급되는 것이 일반적이다.A color CRT is an image display device which displays R, G, B phosphors separately on a fluorescent surface of a panel, and displays a color image by selectively emitting each phosphor. For this purpose, color selecting means is used for the color tube, and the most widely used color selecting means is a shadow mask. The shadow mask is a porous thin plate formed with a number of slit-type or dot-shaped apertures in a very thin thin plate of 0.1 to 0.13 mm, depending on the type of CRT. Since it is not capable of maintaining its own shape, it is generally combined to be supported by a frame and treated as a mask frame assembly.

한편 패널의 형광면에는 각 형광체가 매우 미세한 피치(pitch)로 교호적으로 형성되어야 하므로 일반적으로 형광면은 사진식각(photo etching)방법으로 제조된다. 이에 따라 섀도우 마스크는 전술한 색 선별수단으로 사용될 뿐 아니라 각 형광체의 사진식각시 그 노광(露光)마스크로도 사용된다. 또한 각 형광체 스트라이프(stripe) 또는 도트 사이에는 형광면의 휘도(輝度)를 증가시키기 위해 흑연 등을 주성분으로 하는 블랙매트릭스(black matrix)가 형성된다. 이 블랙 매트릭스 형성에 있어서도 섀도우 마스크가 노광마스크로 사용되므로, 섀도우 마스크는 블랙 매트릭스와, R, G, B형광체 형성의 각 공정에 있어서 각각의 위치와 형태를 결정하는 기준 마스크가 되며, 이에 따라 패널이 한 섀도우 마스크와 짝(couple)이 이루어지면 이 패널 및 섀도우 마스크 짝은 형광체의 형성으로부터 브라운관의 완성후 사용까지 항상 한 짝으로서 취급되어야 한다.On the other hand, since the phosphors of the panel should be formed alternately with a very fine pitch (pitch), the phosphor surface is generally manufactured by a photo etching method. Accordingly, the shadow mask is used not only as the above-described color sorting means but also as an exposure mask during photolithography of each phosphor. In addition, a black matrix mainly composed of graphite or the like is formed between each phosphor stripe or dot to increase the luminance of the phosphor surface. Since the shadow mask is also used as the exposure mask in forming the black matrix, the shadow mask serves as a reference mask for determining the positions and shapes of the black matrix and the respective positions of the R, G, and B phosphors. When paired with this shadow mask, this panel and shadow mask pair should always be treated as a pair from the formation of the phosphor to the post-completion use of the CRT.

제1도에는 이러한 사진식각 방식에 의한 패널 제조방법의 일부를 도시하였다. 즉 패널에는 블랙 매트릭스 또는 각 형광체중의 하나를 형성하는 슬러리(slurry)가 주입 및 분산되어 소정두께로 도포된 후 히이터나 열풍(熱風) 등에 의해 건조되고 이 과정중 이 패널과 짝을 이루는 마스크 프레임 조립체(이하 마스크라 약칭함)는 패널의 이동을 따라 이동하면서 계속 대기 상태에 있게 된다. 패널에 도포된 슬러리의 건조가 완료되면 패널과 마스크는 상호 결합되고 노광대상에 설치되어 소정의 광원(光源)에 의해 노광이 이루어진다. 다음 패널과 마스크는 다시 분리되어, 패널은 현상 및 건조되고 마스크는 다시 대기 상태에 있게 된다. 이러한 과정을 블랙 매트릭스 및 각 형광체에 대해 반복함으로써 패널의 형광면 형성 공정이 이루어진다.(여기서 블랙 매트릭스의 형성에 별도의 감광제를 사용하는 경우에는 감광제 슬러리만을 도포하여 노광한 후 현상에 앞서 흑연용액을 도포하는 과정이 더 포함된다.)FIG. 1 illustrates a part of a method for manufacturing a panel by such a photolithography method. In other words, a black matrix or slurry forming one of the phosphors is injected and dispersed in a panel, coated with a predetermined thickness, dried by a heater, a hot air, and the like, and paired with the panel during this process. The assembly (hereinafter abbreviated as mask) moves along the movement of the panel and remains in standby. When drying of the slurry applied to the panel is completed, the panel and the mask are bonded to each other and installed on the exposure target to be exposed by a predetermined light source. The panel and mask are then separated again so that the panel is developed and dried and the mask is in standby again. This process is repeated for the black matrix and each phosphor to form a fluorescent surface of the panel. (In the case where a separate photosensitive agent is used to form the black matrix, only a photosensitive slurry is applied and exposed, and then a graphite solution is applied before development. The process is more involved.)

이상에서 보인 바와 같이 상호 짝을 이루는 패널과 마스크중 패널에 여러가지, 공정, 특히 패널을 가열시키는 건조공정이 이루어지는 동안 마스크는 상온상태에서 대기하고 있게 되므로 양자간에는 상당한 온도차가 발생된다. 이러한 온도차는 장치의 구성과 인덱트 타임(index time) 등에 따라 달라지겠지만, 예를들어 패널이 건조를 거쳐 40~60℃ 정도의 온도로 노광공정에 투입되는 반면 마스크는 상온, 즉 20℃ 정도로 유지되고 있게 된다.As described above, the mask is kept at room temperature while various, processes, especially the drying process of heating the panel, are performed at the panel of the paired panel and the mask, so that a considerable temperature difference occurs between them. This temperature difference will vary depending on the configuration and index time of the device, but for example, the panel is dried and put into the exposure process at a temperature of about 40 to 60 ° C while the mask is kept at room temperature, that is, about 20 ° C. It becomes.

이와 같은 패널과 마스크간의 온도차는 노광시 매우 심각한 문제점을 야기하게 되는 바, 이를 제2도를 통해 살펴보기로 한다.The temperature difference between the panel and the mask causes a very serious problem during exposure, which will be described with reference to FIG. 2.

제2도에서, 마스크(M)가 결합된 패널(P)이 노광대(X)의 면판상에 설치되는데, 상대적으로 고온인 패널(P)은 마스크(M)에 대해 복사를 통해 전열(傳熱)하여 이를 가열시키게 된다. 그런데 마스크(M), 즉 마스크·프레임 조립체는 다공박판인 섀도우 마스크(S)가 비교적 후판(厚板)인 프레임(F)에 의해 지지되도록 구성된 것이므로, 패널(P)의 복사열에 의해 팽창하고자 하는 섀도우 마스크(S)가 아직 충분한 전열을 받지 못한 프레임(F)에 의해 구속되어 결국 섀도우 마스크(S)가 점선과 같이 상방으로 볼록하게 면외변형(面外變形)할 수 밖에 없게 된다. 이것은 완성된 브라운관에서 전자빔 랜딩의 초기 드리프트(初期 drift)를 야기하는 도핑(doming) 현상과 동일한 것으로, 결국 광원(L)으로부터 출사되는 노광광을 소요위치인 실선(B)이 아니라 점선(B') 경로를 따라 유도하게 되어 노광 불량을 야기할 뿐 아니라, 결과적으로 완성된 칼라브라운관의 색순도를 저하시키는 문제점이 있었다.In FIG. 2, the panel P, to which the mask M is coupled, is installed on the face plate of the exposure table X. The panel P, which is relatively high temperature, is transferred to the mask M by radiation. V) to heat it. However, since the mask M, that is, the mask frame assembly is configured so that the shadow mask S, which is a porous thin plate, is supported by the frame F, which is a relatively thick plate, it is intended to expand by radiant heat of the panel P. The shadow mask S is constrained by the frame F which has not yet received sufficient heat transfer, so that the shadow mask S is forced to out-of-plane deformation convexly upward like a dotted line. This is the same as the doping phenomenon that causes the initial drift of electron beam landing in the finished CRT, which is the dotted line (B ') instead of the solid line (B) where the exposure light emitted from the light source (L) is required. Induced along the path), not only causes poor exposure, but also has a problem of lowering the color purity of the finished color CRT.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하여, 패널과 마스크간의 온도차에 의한 노광 불량을 방지할 수 있는 칼라브라운관의 패널 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a panel of a color brown tube, which can solve the above-mentioned conventional problems and prevent exposure failure due to a temperature difference between the panel and the mask.

본 발명의 다른 목적은 이러한 본 발명 방법을 구현하는데 적합한 칼라브라운관의 패널 제조장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a panel of color brown tubes suitable for implementing such a method of the present invention.

본 발명의 첫번째 목적을 달성하기 위한 본 발명 방법은 패널에 형광체를 형성할 슬러리를 도포 및 건조한 뒤, 대기상태에 있던 마스크를 결합하여 노광시키는 사진식각 방식의 칼라브라운관 제조방법에 있어서, 노광단계전에 패널과 마스크간의 온도차를 감소 또는 제거시키는 온도 보정단계가 포함하는 것을 특징으로 한다.The method of the present invention for achieving the first object of the present invention is a method for producing a color-brown tube of a photo-etching method of applying and drying a slurry to form a phosphor on the panel, and then combined to expose the mask in the air, before the exposure step And a temperature correction step of reducing or eliminating the temperature difference between the panel and the mask.

본 발명의 두번째 목적을 달성하기 위한 본 발명 장치는 패널에 순차적으로 슬러리를 도포 및 건조시키는 이송라인과, 패널에 대응하는 마스크를 이송시키는 이송라인인과, 두 이송라인으로 이송된 패널과 마스크를 결합하여 노광시키는 노광장치를 포함하는 칼라브라운관의 제조장치에 있어서, 두 이송라인중 적어도 어느한 이송라인 패널과 마스크간의 온도차를 보상하는 온도 보상덕트가 구비되는 것을 특징으로 한다.A device of the present invention for achieving the second object of the present invention is a transfer line for sequentially applying and drying the slurry to the panel, a transfer line for transferring the mask corresponding to the panel, and the panel and the mask transferred to the two transfer lines In the apparatus for manufacturing a color-brown tube comprising an exposure apparatus for coupling exposure, characterized in that the temperature compensation duct for compensating the temperature difference between the at least one of the transfer line panel and the mask of the two transfer line is provided.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제3도에서, 패널이 이송라인을 따라 이송되면 블랙 매트릭스 또는 형광체 슬러리가 도포 및 건조되는 동안 마스크는 종래와 같이 상온에서 이송라인을 따라 이송되며 대기하게 된다. 그러나 패널과 마스크는 노광에 투입되기 직전에 본 발명 특징에 따라 양자의 온도차를 감소 또는 제거시키는 온도 보정단계를 거치게 된다. 온도 보정된 패널 및 마스크는 상호 결합되어 노광이 이루어진 후 다시 분리된다. 그러면 패널은 현상 및 건조되어 다음 슬러리 도포 등이 이루어지고 마스크는 다시 패널의 이동에 따라 함께 이동하며 대기하게 된다.In FIG. 3, when the panel is transferred along the transfer line, the mask is transferred along the transfer line at room temperature and waits while the black matrix or phosphor slurry is applied and dried as in the prior art. However, the panel and mask are subjected to a temperature correction step of reducing or eliminating the temperature difference between them in accordance with the features of the present invention immediately before being subjected to exposure. The temperature corrected panel and mask are joined together and separated again after exposure. The panel is then developed and dried to apply the next slurry, and the mask moves back and forth with the movement of the panel.

온도 보정단계에서 패널 및 마스크의 온도차를 감소 또는 제거시키는 수단으로는 적어도 다음 세가지 방법이 사용될 수 있다.At least three methods may be used as a means for reducing or eliminating the temperature difference between the panel and the mask in the temperature correction step.

첫째방법은, 패널이 상온으로 냉각되기까지 충분한 시간 동안 대기시켜 자연냉각시킨 뒤 노광에 투입하는 방법이다. 이 방법은 마스크를 결합하기전에 패널을 홀딩(holding)시키거나, 양자를 결합한 상태로 노광대 상에서 소정시간 동안 홀딩시키는 방식으로 구현될 수 있는데, 다소간의 공정지연을 수반하게 된다.The first method is to wait for a sufficient time for the panel to cool to room temperature, naturally cool it, and then apply it to exposure. This method may be implemented by holding the panel before the mask is combined or by holding the panel on the exposure table for a predetermined time with the combination thereof, which entails some process delay.

둘째방법은, 패널의 슬러리 도포 및 건조를 대기하는 동안 마스크를 패널온도와 유사하도록 가열시키는 방법이다. 이 방법은 제4도(가)에 도시한 바와 같은 온도 보정덕트(temperature compensating duct)로서 마스크(M)의 이송컨베이어(C1)상에 소정길이의 가열덕트(heating duct: D1)를 설치하고, 이 가열덕트(D1)에 구비된 히이터(H)로 마스크(M)를 가열함으로써 마스크(M)을 패널의 노광 투입시 온도에 근접하도록 가열하는 방식으로 구현될 수 있다. 이 경우 마스크(M)는 섀도우 마스크(S) 뿐 아니라 프레임(F)도 열팽창되어 도밍이 보상될 수 있도록 충분한 시간 동안 가열덕트(D1)에 체류할 것이 필요하다.The second method is to heat the mask to be similar to the panel temperature while waiting for slurry application and drying of the panel. This method installs a predetermined length of heating duct D1 on the conveying conveyor C1 of the mask M as a temperature compensating duct as shown in FIG. By heating the mask M with the heater H provided in the heating duct D1, the mask M may be heated to be close to a temperature during exposure of the panel. In this case, the mask M needs to stay in the heating duct D1 for a sufficient time so that not only the shadow mask S but also the frame F may be thermally expanded to compensate for the domming.

세번째 방법은, 건조를 완료한 패널을 마스크의 온도, 즉 상온에 근접하도록 냉각시키는 방법이다. 이 방법은 제4도(나)에 도시된 바와 같이 온도 보정덕트로서 패널(P)의 이송컨베이어(C2)상에 소정길이의 냉각덕트(cooling duct: D2)를 설치하고, 이 냉각덕트(D2)에 냉각기류 등을 분사하는 냉각 노즐(N)을 구비하여 패널(P)을 상온이 되도록 냉각하는 방식으로 구현된다. 이 방법의 경우에는 패널의 건조단계와 노광단계간의 설비거리가 짧은 경우 냉각덕트(D2)의 길이에 제한이 있으며, 패널 및 이에 형성된 도막(塗膜)에 악영향을 주지않는 냉각속도의 설정에 주의를 요하게 된다.The third method is a method in which the dried panel is cooled to approach the temperature of the mask, that is, room temperature. In this method, a cooling duct D2 of a predetermined length is installed on the conveying conveyor C2 of the panel P as a temperature correction duct as shown in FIG. 4 (b), and this cooling duct D2 is provided. ) Is equipped with a cooling nozzle (N) for injecting a cool air flow to the panel (P) is implemented in a way to cool to room temperature. In this method, the length of the cooling duct D2 is limited when the installation distance between the drying step and the exposure step of the panel is short. Attention is drawn to the setting of the cooling rate that does not adversely affect the panel and the coating film formed thereon. Will be required.

이와 같이 본 발명 온도 보정단계에 사용될 수 있는 각 수단은 각각의 장단점이 있으므로 상술한 각 수단중 적어도 한 수단이상을 병행하여 사용하는 것이 바람직할 것이다. 예를들어 건조 등에 의해 가열된 패널을 소정시간 홀딩시킨 뒤 적절한 온도로 가열된 마스크를 이에 결합하여 노광 공정에 투입한다거나, 패널을 냉각시키는 동시에 마스크를 가열시키는 방식 등이 사용될 수 있다.As described above, since each means that can be used in the temperature correction step of the present invention has its advantages and disadvantages, it may be preferable to use at least one or more of the above means in parallel. For example, a method in which a panel heated by drying or the like is held for a predetermined time and then coupled to the mask heated at an appropriate temperature is added to the exposure process, or a panel is cooled while simultaneously cooling the panel.

이와 같은 온도 보정을 거친 뒤 상호 결합되어 노광대에 설치된 패널 및 마스크는 마스크가 패널의 복사열에 의해 도밍되지 않으므로 정확한 노광이 이루어질 수 있고, 이에 따라 고품질의 형광면을 제조할 수 있게 된다. 특히 마스크를 가열하여 프레임이 섀도우 마스크와 함께 팽창할 수 있도록 하는 경우에는 통상 고열을 발생하는 노광 광원에 의해 노광중의 마스크에 발생되는 부차적인 도밍 현상도 방지될 수 있어서 더욱 정확한 노광이 보장될 수 있게 된다.After the temperature correction, the panel and the mask, which are coupled to each other and are installed on the exposure table, can be accurately exposed because the mask is not doped by the radiant heat of the panel, thereby producing a high-quality fluorescent surface. In particular, when the mask is heated to allow the frame to expand with the shadow mask, the secondary doming phenomenon generated in the mask under exposure can also be prevented by an exposure light source that generates high heat, thereby ensuring more accurate exposure. do.

이상에서 보인 바와 같이 본 발명에 의하면 노광 불량이 방지됨으로써 고품질의 패널을 제조할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, an exposure defect is prevented, thereby producing an effect of producing a high quality panel.

Claims (4)

패널에 형광체를 형성한 슬러리를 도포 및 건조한 뒤, 대기상태에 있던 마스크를 결합하여 노광시키는 사진식각 방식의 칼라브라운관 제조방법에 있어서, 상기 노광단계전에 상기 패널과 마스크간의 온도차를 감소시키는 온도 보정단계가 포함되는 것을 특징으로 하는 칼라브라운관 패널 제조방법.A method of manufacturing a color-brown tube of photolithography, in which a slurry in which a phosphor is formed on a panel is applied and dried, and then exposed by combining a mask in an atmospheric state, the temperature correction step of reducing a temperature difference between the panel and the mask before the exposure step. Color brown tube panel manufacturing method characterized in that it is included. 제1항에 있어서, 상기 온도 보정단계가 상기 패널을 냉각시키는 방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 칼라브라운관 패널 제조방법.The method of claim 1, wherein the temperature correction step comprises a method of cooling the panel. 제1항에 있어서, 상기 온도 보정단계가 상기 마스크를 소정온도로 가열시키는 방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 칼라브라운관 패널 제조방법.The method of claim 1, wherein the temperature correction step is performed by heating the mask to a predetermined temperature. 패널에 순차적으로 슬러리를 도포 및 건조시키는 이송라인과, 상기 패널에 대응하는 마스크를 이송시키는 이송라인과, 상기 두 이송라인으로 이송된 상기 패널과 마스크를 결합하여 노광시키는 노광장치를 포함하는 칼라브라운관의 제조장치에 있어서, 상기 두 이송라인중 적어도 어느 한 이송라인에 상기 패널과 마스크간의 온도차를 보상하는 온도 보상덕트가 구비되는 것을 특징으로 하는 칼라브라운관 패널 제조장치.Color-brown tube including a transfer line for sequentially applying and drying the slurry on the panel, a transfer line for transferring the mask corresponding to the panel, and an exposure apparatus for combining and exposing the mask and the panel transferred to the two transfer lines The apparatus of claim 6, wherein at least one of the two transfer lines is provided with a temperature compensation duct for compensating a temperature difference between the panel and the mask.
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