KR960004947B1

KR960004947B1 - Method and apparatus of braun tube's, vacuum measurement

Info

Publication number: KR960004947B1
Application number: KR1019930014856A
Authority: KR
Inventors: 석점호
Original assignee: 오리온전기주식회사; 엄길용
Priority date: 1993-07-31
Filing date: 1993-07-31
Publication date: 1996-04-18
Also published as: KR950004321A

Abstract

The method is to supply vacuum degree measurement method. The method comprises: carrying the ventilating brawn tube including vacuum pump into the multiple ventilation carts; carrying a measurement tube measuring vacuum degree into one of the ventilation carts; injecting the measurement tube with the carried ventilation cart into a ventilation line.

Description

Vacuum tube measuring method and device

제 1 도는 종래의 배기시스템을 보이는 개략 측면도.1 is a schematic side view showing a conventional exhaust system.

제 2 도는 본 발명에 따른 측정장치를 구비한 배기시스템을 보이는 개략측면도.2 is a schematic side view showing an exhaust system with a measuring device according to the invention;

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 측정관(測定管) 2 : 측정카아트(測定 cart)1: measuring tube 2: measuring cart

3 : 기록카아트 4 : 기록장치3: recording car art 4: recording device

5 : 진공 계측기5: vacuum measuring instrument

본 발명은 브라운관 제조에 관한 것으로, 더 상세히는 브라운관의 진공도를 측정하는 방법과 이를 구현한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a CRT manufacturing method, and more particularly, to a method for measuring the vacuum degree of the CRT and an apparatus implementing the same.

브라운관은 캐소드(cathode)에서 발생시킨 전자를 집속(集束) 및 가속(加速)시켜 전자빔(電子 beam)을 형성하고, 이 전자빔으로 형광면을 선택적으로 발광시킴으로써 화상을 표시하는 화상표시장치이다. 전자의 발생을 위해 캐소드에는 전자방출물질이 도포 또는 수납되는데 전자방출물질이 장기간 동안 안정적으로 발생되기 위해서는 브라운관 내부는 고진공으로 유지될 필요가 있다. 또한 전자빔의 가속 및 집속에는 수십 KV의 고접압이 사용되므로 이러한 고전압환경하에서 전극간의 아아크(arc) 방전 등을 방지하고 전자빔의 원활한 가속을 위해서는 역시 고진공상태가 필요하다. 이 이와같은 이유들로 브라운관 내부는 적어도 10^-5~10^-7torr 정도의 고진공상태가 되어야 하는 바, 이를 위해 브라운관 벌브(bulb)에 전자총 어셈블리를 마운팅(mounting)한 뒤 이를 적절한 배기(排氣)수단에 의해 배기하게 된다.The CRT is an image display apparatus which displays an image by focusing and accelerating electrons generated at the cathode to form an electron beam, and selectively emitting a fluorescent surface with the electron beam to display an image. In order to generate electrons, electron emission materials are coated or stored on the cathode. However, in order for the electron emission materials to be stably generated for a long time, the inside of the CRT needs to be maintained at a high vacuum. In addition, since high contact voltage of several tens of KV is used for acceleration and focusing of the electron beam, a high vacuum state is required to prevent arc discharge between electrodes under such a high voltage environment and to smoothly accelerate the electron beam. For this reason, the inside of the CRT should be at a high vacuum of at least 10 ^-5 to 10 ^-7 torr. To do this, mount the gun assembly on the CRT bulb and exhaust it properly. Exhausted by means.

제 1 도에 이러한 배기스템의 일반적인 구성을 도시하였다. 브라운관의 배기시 배기효율을 높이고, 형광체와 전자방출물질 및 기타 전극부품에 포함된 가스를 신속히 배출시켜 효과적으로 배기시키기 위해서는 배기는 고온환경하에서 이루어지는 것이 바람직한 바, 일반적으로 배기시스템은 배기될 브라운관(T)을 진공펌프(도시안됨)가 설치된 배기카아트(排氣 cart ; X)상에 설치하여 소정의 고온상태로 유지되는 배기로 내를 통과하도록 구성된다. 각각 브라운관(T)이 설치된 복수의 배기카아트(X)는 각각 체인컨베이어(chain conveyor ; K) 등에 의해 배기로 내를 연속적으로 이동하도록 구성된다. 나머지 부호 h는 브라운관(T)의 지지를 위한 홀더(holder)이고 S는 브라운관(T)의 세관(P)에 접속되는 밀봉헤드(sealing head)이다.1 shows a general configuration of such an exhaust system. In order to increase the exhaust efficiency of the CRT and to quickly discharge the gas contained in the phosphor, the electron-emitting material, and other electrode parts, the exhaust should be conducted under a high temperature environment. ) Is installed on an exhaust cart (X) provided with a vacuum pump (not shown) to pass through the exhaust passage maintained at a predetermined high temperature. A plurality of exhaust car arts X, each of which has a tube C installed, are configured to continuously move inside the exhaust passage by a chain conveyor K or the like. The remaining code h is a holder for supporting the C tube and S is a sealing head connected to the tubular tube P of the C tube.

각 배기카아트(X)상에는 진공펌프로서 통상 유확산펌프(oil diffusion pump)와 로타리펌프(Rotary Pump)가 조합구성되어 탑재되며, 이러한 기계적 배기수단으로 달성될 수 있는 진공도에 한계가 있으므로 배기가 완료되어 세관(P)이 봉지(封止 ; tipping)되고나면, 브라운관(T)에 내장된 게터(getter)를 비산(flashing)시켜 잔류기체분자를 흡착시키는 화학적 배기방법이 추가적으로 사용되고 있다.On each exhaust car (X), a vacuum pump and an oil diffusion pump and a rotary pump are usually combined and mounted on each exhaust car art (X). Exhaust is prevented because there is a limit on the degree of vacuum that can be achieved by such mechanical exhaust means. After the tubing (P) is completed and tipping is completed, a chemical exhaust method is used to adsorb residual gas molecules by flashing the getter embedded in the brown tube (T).

그런데 이러한 종래의 배기시스템에 있어서, 배기과정이 고온의 배기로 내부에서 이루어지므로 종래에는 브라운관(T)의 배기시 배기의 진행정도나 배기의 달성정도, 즉 진공도를 적절히 측정할 방법이 없었다. 이에 따라 종래에는 브라운관이 완성되고 난후 특성검사과정에서야 진공도의 적정여부를 확인할 수 있어서 배기시스템의 최적화에 많은 문제점이 있었다. 뿐만 아니라 특성검사과정에서도 브라운관의 진공도를 직접측정할 수 있는 것이 아니라, 진공도의 부적절에 의한 브라운관 특성의 불량만을 파악할 수 있을 뿐이어서 배기시스템의 세팅(setting)은 거의 경험에 의존할 수 밖에 없었다.However, in such a conventional exhaust system, since the exhaust process is performed inside a high temperature exhaust passage, there is no conventional method of properly measuring the progress of exhaust or the achievement of exhaust, that is, the degree of vacuum during exhaust of the CRT. Accordingly, conventionally, since the CRT has been completed, only the degree of vacuum can be confirmed during the characteristic inspection process, and there are many problems in optimizing the exhaust system. In addition, it is not only possible to directly measure the vacuum degree of the CRT in the characteristic inspection process, but also to identify the failure of the CRT characteristic due to inadequate vacuum degree, so the setting of the exhaust system was almost dependent on experience.

본 발명은 이러한 종래의 문제점을 감안하여, 배기시스템에 의해 달성되는 진공도를 직접 정량적(定量的)으로 측정할 수 있는 진공도 측정방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of such a conventional problem, an object of the present invention is to provide a vacuum degree measuring method capable of directly and quantitatively measuring the degree of vacuum achieved by an exhaust system.

본 발명의 다른 목적은 이러한 측정방법의 구현에 적합한 브라운관의 진공도 측정장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an apparatus for measuring the vacuum degree of a CRT tube suitable for implementing such a measuring method.

상술한 본 발명 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 방법은 배기될 브라운관을 각각 진공펌프가 수납된 복수의 배기카아트상에 적재하고, 복수의 배기카아트를 열(列)로 하여 연속적으로 배기로에 투입함으로써 배기하는 브라운관의 배기시스템에 있어서, 복수의 배기카아트 중 적어도 어느 한 배기카아트에 진공도를 측정하는 측정관을 적재하여, 브라운관이 적재된 배기카아트들과 함께 배기로에 투입하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object of the present invention, the method according to the present invention loads a CRT tube to be exhausted onto a plurality of exhaust car arts each containing a vacuum pump, and continuously exhausts the plurality of exhaust car arts as heat. In the exhaust pipe system for evacuating by injecting into a furnace, a measuring tube for measuring the degree of vacuum is loaded in at least one exhaust car art among a plurality of exhaust car arts, and the exhaust pipes are loaded together with the exhaust car arts loaded with the brown tubes. Characterized in that.

이와같은 방법을 구현하는 본 발명장치는 배기될 브라운관을 각각 진공펌프가 수납된 복수의 배기카아트상에 적재하고, 복수의 배기카아트를 열로하여 연속적으로 배기로에 투입함으로써 배기하는 브라운관의 배기시스템에 있어서, 한 브라운관에 연결관을 통해 진공계측기를 설치하여 된 측정관과, 배기카아트와 동일한 진공펌프를 수납하며 측정관이 적재되는 측정카아트와, 진공계측기의 측정데이타를 기록 또는 기억하는 기록장치가 수납되는 기록카아트를 구비하는 것을 특징으로 한다.The apparatus of the present invention which implements such a method loads the CRT tubes to be exhausted by respectively placing them on a plurality of exhaust car arts in which a vacuum pump is housed, and exhausting the CRTs by continuously feeding the plurality of exhaust car arts into heat. The system records or stores a measuring tube provided with a vacuum gauge through a connecting tube in one CRT tube, a measuring carat in which the measuring tube is loaded while storing the same vacuum pump as the exhaust carart, and measurement data of the vacuum measuring instrument. And a recording car art in which the recording device is stored.

이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제 2 도에서, 본 발명 방법을 구현하는 브라운관의 진공도 측정장치는 측정관(1)이 적재되는 측정카아트(2)와, 측정관(1)으로부터의 측정결과를 기록하는 기록장치(4)가 적재되는 기록카아트(3)를 구비한다. 측정카아트(2)와 기록카아트(3)는 다른 배기카아트(X)와 함께 체인컨베이어(K)에 연결되어 배기로에 투입 및 배출된다.In FIG. 2, a vacuum tube measuring apparatus for implementing a method of the present invention includes a measuring carat 2 on which a measuring tube 1 is loaded, and a recording device 4 for recording a measurement result from the measuring tube 1. And a recording car art 3 on which is loaded. The measuring car art 2 and the recording car art 3 are connected to the chain conveyor K together with the other exhaust car art X, and are introduced into and discharged from the exhaust path.

측정카아트(2)에 적재되는 측정관(1)은 바람직하기로는 배기될 브라운관(T')의 네크(neck ; N)에 연결관(6)을 분기하여 이에 진공계측기(5)를 접속시킨 구성을 가진다. 물론 측정관(1)은 다른 브라운관(T)과 다른 특징적인 형태를 가질 수도 있으나 측정될 브라운관(T)을 시뮬레이션(simulation)하기 위해서는 상술한 구성을 가지는 것이 바람직하다. 이에따라 측정관(1)은 배기될 브라운관(T)의 관종에 따라 각각 별도로 구성되는 것이 바람직하며, 분기된 연결관(6)과 진공계측기(5)의 내부용적에 의해 배기될 용적이 증가하게 되므로 이들의 내부용적을 무시할 수 없는 경우에는 네크(N)의 길이를 다른 브라운관(T)에 비해 단축시킴으로써 내부용적차이를 보상하도록 할 수도 있다.The measuring tube 1 mounted on the measuring car 2 preferably branches the connecting tube 6 to the neck N of the CRT to be evacuated and connects the vacuum measuring instrument 5 to it. Has a configuration. Of course, the measuring tube (1) may have a different form than the other tube (T), but it is preferable to have the above-described configuration in order to simulate the tube (T) to be measured. Accordingly, the measurement tube 1 is preferably configured separately according to the tube type of the brown tube T to be exhausted, and the volume to be exhausted is increased by the internal volumes of the branched connection tube 6 and the vacuum gauge 5. When the internal volume thereof cannot be ignored, the internal volume difference may be compensated for by shortening the length of the neck N compared with other CRTs.

한편 측정카아트(2)는 다른 배기카아트(X)와 동일한 진공펌프를 구비하며, 배기카아트(X)의 홀더(H')만을 연결관(6)의 지지를 위해 약간 구성변경하는 정도의 차이를 가지도록 하면 본 발명 측정카아트(2)로 사용할 수 있다.Meanwhile, the measurement car art 2 has the same vacuum pump as the other exhaust car art X, and only slightly changes the configuration of the holder H 'of the exhaust car art X for the support of the connecting pipe 6. The difference can be used as the measurement car art (2) of the present invention.

측정관(1)에 구비되는 진공계측기(5)는 내부 진공도를 전기적 신호로 변환하는 방식의 것이 바람직한바, 예를 들어 열전자를 방출하여 기체분자와의 충돌에 의한 생성이온을 검출하는 열음극형 전리(電離)진공계측기 등이 사용될 수 있으며, 기능성 고분자나 반도체를 사용한 계측기 등도 충분한 내열성(耐熱性)을 가지면 사용될 수 있다.The vacuum measuring instrument 5 provided in the measuring tube 1 preferably has a method of converting an internal vacuum degree into an electrical signal. For example, a hot cathode type ionization which emits hot electrons and detects generated ions due to collision with gas molecules. A vacuum measuring instrument or the like can be used, and a measuring instrument using a functional polymer or a semiconductor can also be used if it has sufficient heat resistance.

기록카아트(3)에는 채널미터(channel meter)나 마이크로프로세서 또는 출력장치 등 측정관(1)의 진공계측기(5)에서 측정된 진공도 데이타를 연속적으로 기록 또는 기억하는 기록장치(4)가 적재되는데, 바람직하기로 기록장치(4)는 적절한 단열수단(insulating means)에 의해 보호되면 진공계측기(5)와는 도선(7)에 의해 연결된다. 이와는 달리 배기로의 외측에 접속레일 등을 설치하여 측정카아트(2)의 측정데이타를 직접 배기로 외측으로 전송하는 방법도 사용될 수 있으나, 이 경우에는 장치의 설치가 복잡해지고 통상 수십분이 소요되는 배기로 통과시의 진공도 측정데이타를 실시간처리(real-time processing)할 특별할 실익도 없으므로 전술한 실시예의 구성으로 충분할 것이다.The recording car 3 is loaded with a recording device 4 for continuously recording or storing the degree of vacuum data measured by the vacuum gauge 5 of the measuring tube 1 such as a channel meter, a microprocessor or an output device. Preferably, the recording device 4 is connected by means of a lead 7 to the vacuum gauge 5 if protected by suitable insulating means. Alternatively, a method of transmitting a measurement data of the measurement car art 2 directly to the outside of the exhaust path by installing a connection rail or the like on the outside of the exhaust path may be used, but in this case, the installation of the device is complicated and usually takes several tens of minutes. Since there is no special advantage to real-time processing the vacuum degree measurement data when passing through the exhaust passage, the configuration of the above-described embodiment will be sufficient.

이와같은 본 발명 측정장치로 진공도를 측정하는 방법은 다음과 같다.Such a method of measuring the degree of vacuum with the measuring device of the present invention is as follows.

본 발명의 측정카이트(2)상에 측정관(1)을 적재하고 기록카아트(3)에 기록장치(4)를 적재하여 양자를 도선(7)으로 접속한 뒤, 이 측정카아트(2)와 기록카아트(3)를 배기될 브라운관(T)이 각각 탑재되는 복수의 배기카아트(X) 열(train)의 적정위치에 배열한다. 다음 이들을 순차적으로 배기로에 투입하여 배기카아트(2)와 측정카아트(3)의 진공펌프를 가동함으로써 브라운관(T) 및 측정관(1)의 배기를 행한다. 이때 측정관(1)의 진공계측기(5)로 계측되는 측정관(1)내의 진공도, 즉 배기되는 브라운관(T)의 진공도의 대표값은 계속 기록카아트(3)의 기록장치(4)에 기록 또는 기억된다. 배기가 완료되면 기록카아트(3)의 기록장치(4)를 반출하거나 이에 별도의 판독수단 또는 출력수단을 접속하여 시간경과에 따른 진공도 데이타를 얻을 수 있게 된다.After the measurement tube 1 is loaded on the measurement kit 2 of the present invention, the recording device 4 is loaded on the recording car art 3, and both of them are connected by the conductive wires 7, and then the measurement kit 2 ) And the recording car art 3 are arranged at appropriate positions of a plurality of exhaust car art X trains on which the C tubes to be exhausted are respectively mounted. Next, these are sequentially introduced into the exhaust passage, and the vacuum pumps of the exhaust car art 2 and the measurement car art 3 are operated to exhaust the brown tube T and the measurement tube 1. At this time, the representative value of the degree of vacuum in the measuring tube 1 measured by the vacuum measuring instrument 5 of the measuring tube 1, that is, the degree of vacuum of the evacuated CRT is continued to the recording device 4 of the recording car art 3. Recorded or memorized. When the exhausting is completed, the degree of vacuum data over time can be obtained by carrying out the recording device 4 of the recording car art 3 or by connecting a separate reading means or an output means thereto.

한 집단의 브라운관(T)들에 대한 측정이 완료되고 나면 측정관(1)을 리이크(leak)시켜 다시 다음 집단의 브라운관(T)의 진공도 측정에 사용될 수 있다. 그러나 필요에 따라서는 측정관(1)을 다른 브라운관(T)의 봉지시 함께 봉지하여 게터 비산에 따른 진공도의 변화를 측정하는 경우에도 사용할 수 있다. 특히 게터 비산에 따른 진공도의 변화는 분광(分光)장치 등 고도의 정밀장치가 아니면 종래 전혀 측정이 불가능한 것이었으나 본 발명에 따른 측정장치를 사용하면 이 역시 별다른 어려움 없이 용이하게 측정할 수 있게 된다.After the measurement of the C tube of one group is completed, the measuring tube 1 can be leaked and used again to measure the vacuum of the C group of the next group. However, if necessary, the measuring tube 1 may be used in the case of encapsulation of other CRTs to measure the change in vacuum degree due to scattering of the getter. In particular, the change in the degree of vacuum due to getter scattering was not possible at all, unless it is a highly precise device such as a spectroscopic device, but using the measuring device according to the present invention, this can be easily measured without any difficulty.

이와같이 본 발명에 의하면 브라운관의 배기에 따른 진공도의 변화를 정량적으로 측정할 수 있게 되어, 이 측정데이타를 피드백(feedback) 함으로써 배기로의 온도와 그 유지시간 그리고 진공펌프 등 배기시스템의 최적세팅 할 수 있게 되어 고품질의 브라운관의 제조가 가능하게 되는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to quantitatively measure the change in the vacuum degree according to the exhaust of the CRT. By feedbacking the measurement data, it is possible to optimally set the temperature of the exhaust path, its holding time and the exhaust system such as a vacuum pump. There is an effect that it is possible to manufacture a high quality CRT.

Claims

A CRT tube exhaust system in which a CRT tube to be exhausted is mounted on a plurality of exhaust car arts in which a vacuum pump is stored, and the exhaust gas tubes are exhausted by continuously introducing a plurality of exhaust car arts into heat into the exhaust path. And a measuring tube for measuring the degree of vacuum in at least one of the exhaust car art, and put the exhaust pipe with the exhaust car art loaded therein into the exhaust path.

A CRT tube in which a CRT tube to be exhausted is mounted on a plurality of exhaust car arts each containing a vacuum pump, and exhausted by continuously introducing the plurality of exhaust car arts into heat into the exhaust passage. ') Measuring tube (1) provided with a vacuum measuring instrument (5) through a connecting tube (6), and the same vacuum pump as the exhaust car art (X) is stored and the measuring tube (1) is loaded And a recording car art (3) for storing a car art (2) and a recording device (4) for recording or storing the measurement data of the vacuum measuring instrument (5).

3. The method according to claim 2, wherein the measurement car art (2) and the recording car art (3) are included in the plurality of exhaust car art (X) rows and are introduced into the exhaust path together with the exhaust car art (X). Vacuum tube measuring device of the CRT.