KR950032735A - 다이아몬드 증착장비의 세정방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 다이아몬드 증착장비의 세정방법에 관한 것으로 좀 더 상세하게는 탄소성분이 도포된 세라믹 절연체를 반응기로부터 분리시킨 다음 가열속도 조절이 가능한 노내에 장입하여 대기중에서 고온으로 가열시키므로써 기존의 제거방법에 비해 인체에 무해하고 제거시간을 단축시킬 수 있으며 세라믹 절연체의 절연특성을 반영구적으로 유지시켜 줄 수 있는 다이아몬드 증착장비의 세정방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 일반적인 다이아몬드 증착용 반응기의 개략도를 나타낸 도면이다.
Claims (3)
- 탄소성분이 도포된 세라믹 절연체를 반응기로부터 분리시킨 다음 가열속도 조절이 가능한 노내에 장입하여 대기중에서 고온으로 가열시키는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 증착 장비의 세정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 가열공정이 약 600℃~900℃의 온도범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 증착장비의 세정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 가열공정시의 온도 상승속도가 10℃/min. 이내인 것을 특징으로 하는 다이아몬드 증착장비의 세정방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940012105A KR950032735A (ko) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 다이아몬드 증착장비의 세정방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019940012105A KR950032735A (ko) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 다이아몬드 증착장비의 세정방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR950032735A true KR950032735A (ko) | 1995-12-22 |
Family
ID=66685636
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019940012105A KR950032735A (ko) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 다이아몬드 증착장비의 세정방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR950032735A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100445273B1 (ko) * | 2001-10-26 | 2004-08-21 | 손정하 | 세라믹 절연체의 세정방법 |
-
1994
- 1994-05-31 KR KR1019940012105A patent/KR950032735A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100445273B1 (ko) * | 2001-10-26 | 2004-08-21 | 손정하 | 세라믹 절연체의 세정방법 |
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