KR950032735A - 다이아몬드 증착장비의 세정방법 - Google Patents

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KR950032735A
KR950032735A KR1019940012105A KR19940012105A KR950032735A KR 950032735 A KR950032735 A KR 950032735A KR 1019940012105 A KR1019940012105 A KR 1019940012105A KR 19940012105 A KR19940012105 A KR 19940012105A KR 950032735 A KR950032735 A KR 950032735A
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KR
South Korea
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deposition equipment
diamond deposition
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cleaning
ceramic insulator
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Application number
KR1019940012105A
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박영수
김성훈
이준기
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 다이아몬드 증착장비의 세정방법에 관한 것으로 좀 더 상세하게는 탄소성분이 도포된 세라믹 절연체를 반응기로부터 분리시킨 다음 가열속도 조절이 가능한 노내에 장입하여 대기중에서 고온으로 가열시키므로써 기존의 제거방법에 비해 인체에 무해하고 제거시간을 단축시킬 수 있으며 세라믹 절연체의 절연특성을 반영구적으로 유지시켜 줄 수 있는 다이아몬드 증착장비의 세정방법에 관한 것이다.

Description

다이아몬드 증착장비의 세정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 일반적인 다이아몬드 증착용 반응기의 개략도를 나타낸 도면이다.

Claims (3)

  1. 탄소성분이 도포된 세라믹 절연체를 반응기로부터 분리시킨 다음 가열속도 조절이 가능한 노내에 장입하여 대기중에서 고온으로 가열시키는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 증착 장비의 세정방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가열공정이 약 600℃~900℃의 온도범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 증착장비의 세정방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 가열공정시의 온도 상승속도가 10℃/min. 이내인 것을 특징으로 하는 다이아몬드 증착장비의 세정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940012105A 1994-05-31 1994-05-31 다이아몬드 증착장비의 세정방법 KR950032735A (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100445273B1 (ko) * 2001-10-26 2004-08-21 손정하 세라믹 절연체의 세정방법

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