Claims (8)
냉각 균열이 거의 없는 1~10㎛ 두께의 알루미나 층을 하나 이상 포함하는 20㎛ 이하 두께의 피복물을 함유하는 열팽창계수가 4 내지 6×10-6K-1인 피복체.A coating having a coefficient of thermal expansion of 4 to 6 × 10 −6 K −1 , which contains a coating having a thickness of 20 μm or less, including at least one layer of alumina having a thickness of 1 to 10 μm with little or no cooling cracks.
제1항에 있어서, 알루미나 층이 하기와 같이 정의되는 텍스쳐 계수(TC)가 1.5이상, 바람직하게는 2.5이상, 가장 바람직하게는 3.5이상인 (110) 방향으로 텍스쳐된 단일상 α-구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 피복체.The method of claim 1 wherein the alumina layer consists of a single phase α-structure textured in the (110) direction with a texture coefficient (TC) defined as follows of at least 1.5, preferably at least 2.5, most preferably at least 3.5. The coating body characterized by the above-mentioned.
상기 식에서, I(hkl)은 (hkl) 반사 강도의 측정값이고; I0(hk1)은 ASTM 표준 분말 패턴의 회절 데이타 강도의 표준값이며; n은 계산에 사용된 반사수인데, 사용된 (hkl) 반사는 (012),(014),(110),(113),(024),(116)이다.In the above formula, I (hkl) is a measure of (hkl) reflection intensity; I 0 (hk1) is the standard value of the diffraction data intensity of the ASTM standard powder pattern; n is the number of reflections used in the calculation, and the (hkl) reflections used are (012), (014), (110), (113), (024) and (116).
제1항 또는 제2항에 있어서, 알루미나 층이 길이가 2~8㎛이고 길이/폭의 비가 1~10, 바람직하게는 3~7인 판상 입자를 함유하는 것을 특징으로 하는 피복체.The coating body according to claim 1 or 2, wherein the alumina layer contains plate-shaped particles having a length of 2 to 8 µm and a length / width ratio of 1 to 10, preferably 3 to 7.
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 알루미나 층이 최외각층인 것을 특징으로 하는 피복체.The coating body according to any one of claims 1 to 3, wherein the alumina layer is an outermost layer.
제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 알루미나 층이 TiCxNyOz층과 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 피복체.The coating body according to any one of claims 1 to 4, wherein the alumina layer is in contact with the TiCxNyOz layer.
제5항에 있어서, TiCxNyOz층이 피복물의 최내각층인 것을 특징으로 하는 피복체.The coating body according to claim 5, wherein the TiCxNyOz layer is the innermost layer of the coating.
제1항 내지 제6항 중 어느 하나의 항에 있어서, 초경합금, 티탄 기재 질화탄화물 또는 세라믹의 절삭 공구 삽입물인 것을 특징으로 하는 피복체.The coating according to any one of claims 1 to 6, which is a cutting tool insert of a cemented carbide, titanium based nitride or ceramic.
Al2O3의 핵형성에 앞서 CVD 반응기 대기의 산화 포텐셜을 H2O또는 다른 산화 종들의 총농도 수준을 사용하여 낮은 수준, 바람직하게는 5ppm 미만으로 유지하고, 반응물 기체의 조절된 순서, 즉 CO2, CO 및 AlCl3의 순서에 의해 Al2O3의 핵형성을 개시하고, 핵형성 동안 온도를 약 850 내지 1100℃, 바람직하게는 약 1000 내지 1050℃의 범위 내로 하고, Al2O3-피복물의 성장 동안 황-불소 함유 기체 혼합물을 반응 혼합물에 가하는 것을 특징으로 하는, 지지체를 고온에서 1종 이상의 알루미늄 할로겐화물을 함유하는 수소 담지 기체, 및 가수분해제 및(또는) 산화제와 접촉시키는 것에 의해 제2항에 기재된 텍스쳐드 α-알루미나 피복물로 지지체를 피복하는 방법.Prior to nucleation of Al 2 O 3 , the oxidation potential of the CVD reactor atmosphere is maintained at a low level, preferably less than 5 ppm, using the total concentration level of H 2 O or other oxidizing species, and the controlled order of the reactant gases, ie Initiating nucleation of Al 2 O 3 in the order of CO 2 , CO and AlCl 3 , during the nucleation the temperature is in the range of about 850 to 1100 ° C., preferably about 1000 to 1050 ° C., and Al 2 O 3 Contacting the support with a hydrogen bearing gas containing at least one aluminum halide and a hydrolyzing and / or oxidizing agent at high temperature, characterized in that a sulfur-fluorine containing gas mixture is added to the reaction mixture during growth of the coating. A method of coating a support with the textured α-alumina coating according to claim 2.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.