Claims (6)
고온초전도 전자소자의 제조방법에 있어서, MgO기판(2) 위에 펄스레이저증착(PLD)법으로 고온초전도 물질인 YBa2Cu3O7-8을 증착하여 고온초전도박막(5)을 형성하는 공정과, 전자선 마스크를 사용하고 포토리소그래피에 의해 회로패턴을 상기 고온초전도 박막(5)위에 포토레지스트를 도포하고 상기 전자선 마스크를 정렬한 후 자외선에 노출시키고 상기 포토레지스트를 현상한 후, 약 3분정도 하드베이킹 하는 공정과, ECR식각장비에 의해 약30분 동안 상기 고온초전도 박막(5)과 상기 포토레지스트를 밀링하여 대체적인 회로패턴을 형성시키는 공정과, 시료를 EDTA용액 속에 넣어 상기 회로패턴의 예리도를 높임과 동시에 남아 있는 상기 포토레지스트를 아세톤으로 완전히 제거한 후, 시료표면의 유기물이나 기타의 불순물들을 제거하기 위해 시료를 세정하는 공정과, 상기 고온초전도박막(4)의 증차시 상기 기판(2)의 고정을 위해 사용한 기판뒷면의 은 페이스트(Ag-paste)를 제거하고 접지평면을 형성하기 위해 상기 기판(2)의 뒷면을 폴리싱하는 공정과, 상기 기관(2)의 폴리싱된 뒷면에 상기 접지평면을 형성하는 공정과, 고주파하우징의 SMA형 컨넥터 핀과 결합선 (1)의 우수한 접촉 및 정합을 위해 상기 결합선의 가장자리에 새도마스크를 사용하여 Au를 증착하여 입출력단(3)을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파용 고온초전도 대역통과필터의 제조방법.In the method of manufacturing a high temperature superconducting electronic device, a step of forming a high temperature superconducting thin film (5) by depositing YBa 2 Cu 3 O 7-8 which is a high temperature superconducting material on the MgO substrate (2) by the pulsed laser deposition (PLD) method; After applying the photoresist on the high temperature superconducting thin film (5) by using an electron beam mask and photolithography, applying a photoresist, aligning the electron beam mask, exposing it to ultraviolet rays, developing the photoresist, and then hardening it for about 3 minutes. Baking process, milling the high temperature superconducting thin film 5 and the photoresist for about 30 minutes by ECR etching equipment to form an alternative circuit pattern, and putting a sample into EDTA solution At the same time, the remaining photoresist is completely removed with acetone, and then the sample is cleaned to remove organic matter and other impurities from the sample surface. In order to remove the silver paste (Ag-paste) on the back of the substrate used for fixing the substrate (2) during the process and the addition of the high temperature superconducting thin film (4), the back surface of the substrate (2) is formed to form a ground plane. The process of polishing, forming the ground plane on the polished back surface of the engine (2), and the SMA connector pin of the high frequency housing and the edge of the bond line for good contact and matching of the bond line (1) A method of manufacturing a high temperature superconducting bandpass filter for microwaves, comprising the step of depositing Au using a mask to form an input / output end (3).
제1항에 있어서, 상기 MgO기판(2) 위에 상기 고온초전도박막(5)을 증착하기에 앞서 ECR식각장비에 의해 상기 MgO기판 (2)을 더욱 평활하게 밀링하여 표면처리 하는 공정을 부가적으로 포함하고, 상기 기판표면 처리공정은 약 1mA/㎤의 이온빔 전류로 약 10분 정도 처리하는 것을 특징으로 하는 마이크로파용 고온초전도 대역통과 필터의 제조방법.The method of claim 1, further comprising the step of further smoothly milling the surface of the MgO substrate (2) by ECR etching equipment prior to depositing the high temperature superconducting thin film (5) on the MgO substrate (2). And the substrate surface treatment process is performed for about 10 minutes with an ion beam current of about 1 mA / cm 3.
제1항에 있어서, 상기 접지평면 형성공정은 고주파특성이 우수하고 상피 고주파하우징의 바닥과의 우수한 정합을 얻기 위한 Au막 (8)을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파용 고온초전도 대역통과 필터의 제조방법.2. The high-temperature superconducting band for high frequency according to claim 1, wherein the ground plane forming step includes a step of forming an Au film (8) having excellent high frequency characteristics and obtaining excellent matching with the bottom of the epithelial high frequency housing. Method of making a pass filter.
제3항에 있어서, 상기 접지평면형성공정은 저온고주파측정시의 열분산이 잘 이루어지도록 하기 위해 상기 Au막 (8)을 형성하기에 앞서 Cu막(7)을 소정의 두께로 형성하는 고정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파용 고온초전도 대역통과필터의 제조방법.4. The ground plane forming process according to claim 3, wherein the ground plane forming step comprises fixing the Cu film 7 to a predetermined thickness prior to forming the Au film 8 so that heat dissipation at the low temperature and high frequency measurement is performed well. Method for producing a high temperature superconducting bandpass filter for microwaves, comprising: a.
제4항에 있어서, 상기 접지평면형성공정은 상기 MgO기판(2)과 상기 Cu(7)의 접촉을 좋게하고 상기 기판(2) 뒷면의 평활도를 높이기 위해 상기 Cu막(7)을 형성하기 앞서 Cr막(6)을 소정의 두께로 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파용 고온초전도 대역통과필터의 제조방법.5. The method of claim 4, wherein the ground plane forming process is performed prior to forming the Cu film (7) to improve the contact between the MgO substrate (2) and the Cu (7) and to increase the smoothness of the back surface of the substrate (2). A method of manufacturing a high temperature superconducting bandpass filter for microwaves, comprising the step of forming a Cr film (6) to a predetermined thickness.
제5항에 있어서, 상기 Cr막(6)과 상기 Cu(7) 및 상기 Au(8)을 각각 약 10nm, 약 l㎛, 약 200nm정도의 두께로 증착하는 것을 특징으로 하는 마이크로파용 고온초전도 대역통과필터의 제조방법The high temperature superconducting band for microwaves according to claim 5, characterized in that the Cr film (6), the Cu (7), and the Au (8) are deposited at a thickness of about 10 nm, about l mu m, and about 200 nm, respectively. Manufacturing method of through filter
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.