KR950010568B1 - Memory array structure of dram - Google Patents

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Abstract

The memory array structure of DRAM comprises a first memory array region, a second memory array region, a plurality of bit line pairs connected to the memory cells of the first and second memory array regions, a plurality of word lines, a plurality of sense amplifiers for sensing/amplifying the voltage difference between two bit lines, a plurality of P latches connected between bit line pairs of the first memory array region, a plurality of first equalizers for precharging the bit line pair to 1/2VDD voltage according to a first equalizer signal, a plurality of N latches connected between bit line pairs of the second memory array region, a plurality of second equalizers for precharging the bit line pair to 1/2VDD voltage according to a second equalizer signal, a plurality of barrier transistors for equalizing the bit line voltage of the first and second memory regions according to the pull-up of the first and second control signals or the third and fourth control signals.

Description

DRAM의 메모리 어레이 구조DRAM memory array structure

제 1 도는 종래의 접힙(folded)비트선 구조 및 잡음 등가 회로도.1 is a conventional folded bit line structure and noise equivalent circuit diagram.

제 2 도는 종래의 꼬인(Twisted)비트선 구조 및 잡음 등가 회로도.2 is a conventional twisted bit line structure and noise equivalent circuit diagram.

제 3 도의 (a)는 본 발명의 SNK(Shared Noise Killer)비트선 구조 및 잡음 등가회로도, (b)는 꼬인비트을 채용한 본 발명의 SNK비트선 구조를 나타낸 회로도,(A) is a schematic diagram of a shared noise killer (SNK) bit line structure and a noise equivalent circuit of the present invention, (b) is a circuit diagram showing a SNK bit line structure of the present invention employing twisted bits;

제 4 도는 본 발명에 의한 SNK비트선 구조의 제어신호를 나타낸 도면.4 is a view showing a control signal of the SNK bit line structure according to the present invention.

제 5 도의 (a)는 종래기술에 의한 접힌 비트선 구조의 비트선 신호 그래프, (b)는 종래기술에 의한 꼬인 비트구조의 비트선 신호 그래프, (c)는 본 발명에 의한 SNK비트선구조의 비트선 신호 그래프, (d)는 본 발명에 의한 꼬인 SNK비트선구조의 비트선 신호 그래프.(A) is a bit line signal graph of a folded bit line structure according to the prior art, (b) is a bit line signal graph of a twisted bit structure according to the prior art, and (c) is a SNK bit line structure according to the present invention. (B) is a bit line signal graph of a twisted SNK bit line structure according to the present invention.

제 6 도의 (a)는 종래의 비트선구조와 본 발명에 의한 비트선 구조에서 메모리셀의 저장정보가 "1"일때의 비트선 전압차의 비교도, (b)는 메모리셀의 저장정보가 "0"일때의 비트선 전압차의 비교도.(A) of FIG. 6 shows a comparison of the bit line voltage difference when the storage information of the memory cell is " 1 " in the conventional bit line structure and the bit line structure according to the present invention, and (b) shows the storage information of the memory cell. Comparison diagram of the bit line voltage difference when "0".

본 발명은 고집적 DRAM(dynamic random access memory)에 관한 것으로, 특히 초고집적(ULSI)DRAM에서 심각할 것으로 예상되는 비트선 커플링 잡음(Bitline Coupling Noise)특성을 개선하여 워드선 구동시 정보감지의 신뢰도를 결정하는 비트선 신호의 크기를 증가시키는 DRAM의 메모리 어레이(memory array)구조에 관한 것이다.The present invention relates to a highly integrated dynamic random access memory (DRAM). In particular, the reliability of information sensing when driving a word line is improved by improving bitline coupling noise characteristics, which are expected to be serious in ultra high density (ULSI) DRAM. It relates to a memory array structure of a DRAM for increasing the size of the bit line signal to determine the.

DRAM의 셀 밀도(cell density)가 고집적화 되어감에 따라 비트선간의 간격이 줄어들어 되어 감지동작시 발생하는 비트선 커플링 잡음이 급격하게 증가되는데, 이는 회로설계시 고려하여야 할 가장 중요한 문제로 대두되고 있다.As the cell density of DRAM becomes higher, the gap between bit lines decreases, which leads to a sharp increase in bit line coupling noise generated during the sensing operation. This is the most important problem to consider in circuit design. have.

이런 문제를 해결하기 위하여 최근 꼬인(Twisted)비트선 구조가 개발되어 종래의 접힌(Folded)비트선 구조에 비하여 개선된 잡음 특성을 보이고 있다.In order to solve this problem, a twisted bit line structure has recently been developed, which shows an improved noise characteristic compared to the conventional folded bit line structure.

그러나 꼬인 비트선 구조는 비트선들이 상호 교차됨으로써 차지하게 되는 면적 증가문제(Area Penalty)와 내부 비트선 커플링 잡음(intra bit line coulpling noise)문제가 발생되기 때문에 별도의 수정없이 ULSI급 DRAM에 채용하기는 힘들 실정이다.However, the twisted bit line structure is adopted in ULSI class DRAM without any modification because of the problem of area penalty and internal bit line coupling noise caused by cross bit lines. It's hard to do.

종래의 접힌 비트선 구조에 대하여 첨부된 제 1 도를 참조하면서 상세히 설명하면 다음과 같다.A detailed description will be given of a conventional folded bit line structure with reference to FIG. 1.

통상적으로 접힌 비트선은 비트선(Bit 또는, BL)과 기준비트선(Bit-또는,)을 평행하게 배열하는 구조로 구성되어 동일한 공정 분위기에서 제조되므로 공정시 비균일한 제조방식에 의하여 일어나는 감지잡음은 최소화 할 수 있으나, DRAM의 집적도가 증가될수록 비트선간의 간격이 급격히 감소되어 비트선 사이의 기생 캐패시턴스(parasitic capacitance)가 증가하여 비트선 사이의 커플링 잡음을 유발시킨다.Typically, the folded bit line is a bit line Bit or BL and a reference bit line Bit- or ) Is manufactured in the same process atmosphere because it is manufactured in the same process atmosphere to minimize the detection noise caused by non-uniform manufacturing method during the process, but as the integration of DRAM increases, the gap between the bit lines decreases rapidly Parasitic capacitance between them increases, causing coupling noise between bit lines.

접힌비트 구조의 비트선간에 형성되는 커플링 캐패시터(coupling capacitor)는 같은 열(column)의 비트선간에 형성되는 내부 비트선 커플링 캐패시터(Intra Bitline Coupling Capacitor)(CBA)와, 다른 열의 비트선간에 형성되는 상호 비트선 커플링 캐패시터(Inter Bitline Coupling Capactitor)(CBB)로 구성되며, 워드선에 의하여 메모리셀(CS)의 전하가 비트선 캐패시터(CBL)에 전송되며 비트선에 전송된 전하는 기준비트()과의 전압차에 의하여 내부비트선 캐패시터(CBA) 및 상호비트선 캐패시터(CBB)를 통하여 기준비트 캐패시터()에 인가되어 프리차지 전압(precharge voltage)을 유지하던 기준비트선()의 전압변화가 유발됨에 따라 비트선 잡음이 발생된다(제 5 도의 (가) 참조).A coupling capacitor formed between the bit lines of the folded bit structure is formed between an intra bitline coupling capacitor (CBA) formed between bit lines of the same column and bit lines of another column. Comprised of the formed Inter Bitline Coupling Capacitor (CBB), the charge of the memory cell (CS) is transmitted to the bit line capacitor (CBL) by the word line, the charge transferred to the bit line is a reference bit ( The reference bit capacitor (CBA) through the internal bit line capacitor (CBA) and the mutual bit line capacitor (CBB) Reference bit line applied to maintain the precharge voltage Bit line noise is generated as a result of the voltage change of (see FIG. 5A).

메모리셀의 밀도증가에 의해 접힌 비트선 구조의 상호 비트선 커플링잡음 및 내부비트선커플링 잡음이 심각해짐에 따라 메모리 어레이에 서로 상반되는 극성이 잡음이 인가되도록 함으로써 비트선간의 잡음을 소거시키는 꼬인비트 구조가 개발되어 채용되고 있는데, 첨부된 제 2 도에 의하여 꼬인 비트선구조를 상세히 설명하면 다음과 같다.As the cross bit line coupling noise and internal bit line coupling noise of the folded bit line structure become serious due to the increase of the density of the memory cells, the noise between the bit lines is canceled by applying the opposite polarity noise to the memory array. A twisted bit structure has been developed and adopted, and the twisted bit line structure will be described in detail with reference to FIG.

꼬인비트선 구조는 비트선(BL)과 기준 비트선()이 일정한 간격을 두고 위치가 치환(Transposed)되는 구조로, 이 구조는 홀수 열(Odd Coulmn)과 짝수열(Even Column)의 배열을 적당히 조절하여 임의의 비트선(BL) 및 기준비트선()에서 발생하는 비트선 커플링 잡음을 인접한 열의 비트선에서 인가되는 비트선 커플링 잡음을 이용하여 서로 상쇄시킴으로써 상호 비트선 커플링 잡음을 제거한다.The twisted bit line structure includes a bit line BL and a reference bit line ( ) Is a structure in which positions are transposed at regular intervals, and this structure appropriately adjusts the arrangement of odd columns and even columns so that arbitrary bit lines BL and reference bit lines ( By canceling the bit line coupling noise generated in the circuit) by using the bit line coupling noise applied from bit lines of adjacent columns, mutual bit line coupling noise is eliminated.

꼬인비트선 구조의 상호비트선 커플링 캐패시터(CBB)의 캐패시턴스(capacitance)는 내부비트선 커플링 캐패시터(CBA)의 캐패시턴스의 1/4이여, 임의의 비트선(BL1)에 대하여 인접한 열의 비트선(,)과 기준비트선(BL0, BL2)에 대하여 형성되기 때문에 비트선 커플링 잡음이 상쇄된다.The capacitance of the mutual bit line coupling capacitor (CBB) of the twisted bit line structure is 1/4 of the capacitance of the internal bit line coupling capacitor (CBA), and the bit lines of the adjacent rows with respect to any bit line (BL1). ( , ) And the reference bit lines BL0 and BL2 cancel the bit line coupling noise.

그러나, 이러한 비트선 잡음의 소거효과는 인접한 열의 비트선에 의한 상호비트선 커플링 캐패시터(CBB)의 상호 캐패시턴스에만 국한되고 집적도 증가에 따른 캐패시터(CBA)의 내부비트선 커플링 캐패시턴스는 계속 존재하게되므로 현재 ULSI DRAM내에 해결해야 될 가장 큰 문제점으로 대두되고 있다(제 5 도의 (b) 참조).However, the erasure effect of the bit line noise is limited only to the mutual capacitance of the mutual bit line coupling capacitor CBB by the bit lines of adjacent columns, and the internal bit line coupling capacitance of the capacitor CBA continues to exist as the density increases. Therefore, it is currently emerging as the biggest problem to be solved in ULSI DRAM (see FIG. 5B).

따라서, 본 발명의 목적은 메모리의 집적도가 증가하게 되면서 비트선간의 거리가 점차 줄어들게 됨으로써 발생되는 비트선간의 간섭을 감소시키는 비트선구조를 갖는 DRAM의 메모리 어레이구조를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a memory array structure of a DRAM having a bit line structure that reduces the interference between bit lines generated by increasing the memory density and gradually decreasing the distance between the bit lines.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 공유감지방식(shared sensing scheme)을 채용하여 워드선 구동시 발생하는 비트선 커플링잡음을 제거하는 SNK(shared noise killer)비트선 구조를 제안한다. 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 공유감지방식 비트선 구조의 메모리 어레이에 있어서, 제 1 메모리 어레이 영역(A)과, 제 2 메모리 어레이 영역(B)과, 상기 제1 및 제 2 메모리 어레이 영역의 메모리셀에 접속된 다수쌍의 비트선(BL,)과, 상기 제1 및 제 2 메모리 어레이 영역이 메모리셀에 접속된 다수의 워드라인과 상기 제1 및 제 2 메모리 어레이 영역 사이에 배치되며 상기 각 쌍의 비트선 사이에 접속되어 두 비트선 사이의 전압차를 감지 ㆍ증폭하기 위한 다수의 감지증폭기와, 상기 제 1 메모리 어레이 영역의 각 비트선쌍 사이에 접속된 다수의 P래치와, 상기 제 1 메모리 어레이 영역의 비트선쌍 사이에 접속되어 제 1 이퀼라이저 신호에 따라 상기 비트선쌍을 1/2VDD전압으로 프리차지시키는 다수의 이퀼라이저와, 상기 제 2 메모리 어레이 영역의 각 비트선쌍 사이에 접속된 다수의 N래치와, 상기 제 2 메모리 어레이 영역의 각 비트선상 사이에 접속되어 제 2 이퀼라이저 신호에 따라 상기 비트선쌍을 1/2VDD전압으로 프리차지시키는 다수의 제 2 이퀼라이저와, 상기 메모리 어레이 영역의 각 비트선쌍과 상기 각 N래치들 사이에 접속되어 제1 및 제 2 메모리 어레이 영역간의 감지영역을 선택하며 제1 및 제 2 제어신호(VAL, VBL) 또는 제3 및 제 4 제어신호(VAR, VBR)의 풀업에 따라 제1 및 제 2 메모리 영역의 비트선 전압을 등화시키는 다수의 배리어 트랜지스터로 구성되는 것을 특징으로 하는 DRAM의 메모리 어레이 구조를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention proposes a shared noise killer (SNK) bit line structure that eliminates bit line coupling noise generated when driving a word line by using a shared sensing scheme. In order to achieve the above object, the present invention provides a memory array having a shared sensing bit line structure, comprising: a first memory array region (A), a second memory array region (B), and the first and second memories; A plurality of pairs of bit lines BL connected to memory cells in an array area ), And the first and second memory array regions are disposed between a plurality of word lines connected to memory cells and the first and second memory array regions, and are connected between the pair of bit lines to between two bit lines. A plurality of sense amplifiers for sensing and amplifying a voltage difference between the plurality of sense amplifiers, a plurality of P latches connected between each pair of bit lines of the first memory array region, and a plurality of pairs of P latches connected between the pair of bit lines of the first memory array region, A plurality of equalizers for precharging the pair of bit lines at a voltage of 1 / 2VDD according to an equalizer signal, a plurality of N latches connected between each pair of bit lines of the second memory array region, and each bit of the second memory array region A plurality of second equalizers connected between lines to precharge the pair of bit lines with a voltage of 1 / 2VDD according to a second equalizer signal, and the memory array zero Is connected between each pair of bit lines and each of the N latches to select a sensing region between the first and second memory array regions, and selects the first and second control signals VAL and VBL or the third and fourth control signals VAR. And a plurality of barrier transistors for equalizing the bit line voltages of the first and second memory regions in accordance with the pull-up of VBR).

이제부터, 첨부된 제 3 도 및 제 4 도를 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.The present invention will now be described in detail with reference to the attached FIGS. 3 and 4.

제 3 도의 (a)는 본 발명에 의한 SNK비트선 구조도 및 잡음등가 회로도를 나타낸 것으로, 본 발명에 의한 SNK비트구조는 기본적으로 공유 감지방식으로 동작되며, 한개의 nMOS래치로 A영역과 B영역의 메모리 셀 정보를 감지할 수 있다.FIG. 3 (a) shows the SNK bit line structure diagram and the noise equivalent circuit diagram according to the present invention. The SNK bit structure according to the present invention is basically operated by a shared sensing method, and has a single nMOS latch in the A region and B. FIG. The memory cell information of the region can be detected.

메모리셀의 위치에 대한 감지영역의 선택은 배리어 MOS(Barrier MOS)인 MAL(또는, MAR) 및 MBL(또는, MBR)에 의하여 이루어지는데, 감지방식에 대한 동작 특성을 SNK비트선구조의 제어신호들을 나타낸 제 4 도를 참조하면서, 동작순서별로 고찰한다.Selection of the sensing area for the location of the memory cell is made by MAL (or MAR) and MBL (or MBR), which are barrier MOS, and the operation characteristics of the sensing method are controlled by the SNK bit line structure. With reference to FIG. 4, these items are considered in order of operation.

먼저, 제 4 도의 <1> 구간에서 "0" 또는 "ZERO"와, "1" 또는 "ONE"상태의 전압을 유지하고 있는 A영역 및 B영역(제 3 도의 (가)참조)의 비트선(Bit 또는 BL)과 기준비트선(Bit- 또는)은 이퀼라이저(equalizer) A와 이퀼라이저(equalizer) B신호를 인가함에 따라, 1/2VDD전압으로 프라차지(precharge)되며, 배리어 MOS인 MAL(또는, MAR) 및 MBL(또는, MBR)은 제어신호 VAL(또는, VAR)과 VBL(또는, VBR)이 풀업(pull-up)되어 활성화되면서 A영역과 B영역의 비트선전압을 등화(equalizing)시키게 된다.First, bit lines in areas A and B (refer to (a) in FIG. 3) that maintain voltages of "0" or "ZERO" and "1" or "ONE" in the section <1> of FIG. (Bit or BL) and reference bit line (Bit- or ) Is precharged with a voltage of 1 / 2VDD as equalizer A and equalizer B signals are applied, and MAL (or MAR) and MBL (or MBR), which are barrier MOSs, are controlled signals. VAL (or VAR) and VBL (or VBR) are pulled up to be activated to equalize the bit line voltages of the A and B regions.

프리차지 및 등화(precharge & equalizing)동작이 완료된후, 워드선(Wordline)과, 구동되어 비트선신호가 생성되기 이전에, <2> 구간에서는 VBL신호를 풀 다운(pull-down)시켜 메모리셀이 연결되어 있는 A영역과 B영역을 분리함으로써, 비트선의 캐패시턴스가 증가되기 때문에 야기되는 감지속도의 지연과 비트선간전압차의 감소를 예방한다. 동시에 VBR신호는 계속 풀업상태를 지속하여 기준 비트선(Bit-)의 A영역과 B영역의 연결상태를 유지한다.After the precharge and equalizing operation is completed, before the word line is driven and the bit line signal is generated, the VBL signal is pulled down in the &lt; 2 &gt; By separating the connected A and B regions, it is possible to prevent the delay of the sensing speed and the reduction of the voltage difference between the bit lines caused by the increased capacitance of the bit lines. At the same time, the VBR signal continues to be pulled up to maintain the connection between the area A and the B of the reference bit line Bit-.

제 4 도의 <3> 구간에서는 리드선의 구동에 의하여 비트선(Bit)과 기준비트선(Bit-)사이에 전압차가 생기게 되는데 이때 인접된 비트선에 의한 커플링 잡음을 유발시키는 상호 비트 커플링 캐패시턴스(CBB) 및 내부비트선 커플링 캐패시턴스(CBA)에 의하여 A영역의 기준 비트선(Bit-)에 전송된 잡음전하는 VAR 및 VBR신호에 의하여 활성화되어 있는 배리어 MOS인 MAR 및 MBR(등가회로도에서는 저항으로 동작하므로 RAR 및 RBR로 표기함을 통하여 B영역의 1/2VDD전압원으로 흡수되어 A영역의 기준 비트선을 기준전압(reference voltage), 즉 1/2 VDD전압을 유지하게 되므로 비트선 커플링 캐시턴스에 의한 비트선 잡음이 제거된다.In the section <3> of FIG. 4, a voltage difference is generated between the bit line Bit and the reference bit line Bit- by driving the lead wire. At this time, mutual bit coupling capacitance causing coupling noise by adjacent bit lines is caused. The noise charges transmitted to the reference bit line (Bit-) in the A region by (CBB) and internal bit line coupling capacitance (CBA) are MAR and MBR (resistance in the equivalent circuit diagram), which are barrier MOSs activated by VAR and VBR signals. Bit line coupling cache because it is absorbed by 1 / 2VDD voltage source of area B through RAR and RBR and maintains reference voltage of area A, that is, 1 / 2VDD voltage. The bit line noise caused by the turn is eliminated.

워드선 구동에 의한 비트선과 기준비트선 간의 전압차가 감지증폭기(Sense Amplifier . S/A)에 인가되면 <4> 구간에서는 SAN노드의 전압을 방전하여 N래치를 구동함으로써 비트선의 풀다운동작이 이루어지고, SAPA노드의 VDD충전에 의하여 <5> 구간에서는 P래치 구동을 통한 비트선의 풀업동작이 이루어져 정보감지가 완료된다.When the voltage difference between the bit line and the reference bit line by the word line driving is applied to the sense amplifier (S / A), the pull-down operation of the bit line is performed by discharging the voltage of the SAN node and driving the N latch in the period <4>. In the section of VDD charging of the SAPA node, the pull-up operation of the bit line through the P latch driving is performed to complete the information detection.

이상에서 설명된 본 발명의 SNK비트선 구조는 종래의 접힘 비트선 구조에서도 최소의 면적을 차지하는 공유감지방식을 사용하였기 때문에 꼬인 비트선 구조에 비하여 훨씬 개선된 면적특성을 가지며, 워드선 구동시 종래의 감지방식에서 문제시 되는 기준 비트선의 부유(floating)상태를 방지함으로써 상호 비트선 커플링 캐패시터 및 내부 비트선 커프링 캐패시터에 의한 비트선 잡음문제를 해결하며(제 5도의 (c) 및 (d)참조), 첨부된 제 3 도의 (b)와 같이 꼬인비트선 구조를 채용할 경우 접힌 비트선의 SNK비트선 구조에 비하여 더욱 개선된 잡음특성(제 6 도의 (a) 및 (b) 참조)을 갖는다.The SNK bit line structure of the present invention described above has a much improved area characteristic compared to the twisted bit line structure because the shared sensing method occupies a minimum area even in the conventional folded bit line structure. It solves the bit line noise problem caused by mutual bit line coupling capacitor and internal bit line coupling capacitor by preventing the floating state of the reference bit line, which is a problem in the detection method of (Fig. 5 (c) and (d). When the twisted bit line structure is adopted as shown in (b) of FIG. 3, the noise characteristics (refer to (a) and (b) of FIG. 6) are improved compared to the SNK bit line structure of the folded bit line. Have

Claims (1)

공유감지방식 비트선 구조의 메모리 어레이에 있어서, 제 1 메모리 어레이 영역(A)과, 제 2 메모리 어레이 영역 (B)과, 상기 제1 및 제 2 메모리 어레이 영역의 메모리셀에 접속된 다수쌍의 비트선(BL,)과, 상기 제1 및 제 2 메모리 어레이 영역의 메모리셀에 접속된 다수의 워드라인과, 상기 제1 및 제 2 메모리 어레이 영역 사이에 배치되며 상기 각 쌍의 비트선 사이에 접속되어 두 비트선 사이의 전압차를 감지 ㆍ증폭하기 위한 다수의 감지증폭기와, 상기 제 1 메모리 어레이 영역의 각 비트선쌍 사이에 접속된 다수의 P래치와, 상기 제 1 메모리 어레이 영역의 각 비트선쌍 사이에 접속되어 제 1 이퀼라이저 신호에 따라 상기 비트쌍을 1/2VDD전압으로 프리차지 시키는 다수의 제 1 이퀼라이저와, 상기 제 2 메모리 어레이 영역의 각 비트선쌍 사이에 접속된 다수의 N래치와, 상기 제 2 메모리 어레이 영역의 각 비트선상 사이에 접속되어 제 2 이퀼라이저 신호에 따라 상기 비트선쌍을 1/2VDD전압으로 프리차지시키는 다수의 제 2 이퀼라이저와, 상기 제 2 메모리 어레이 영역의 각 비트선쌍과 상기 각 N래치들 사이에 접속되어 제1 및 제 2 메모리 어레이 영역간의 감지영역을 선택하며 제1 및 제 2 제어신호(VAL, VBL) 또는 제3 및 제 4 제어신호(VAR, VBR)의 풀업에 따라 제1 및 제 2 메모리 여역의 비트선 전압을 등화시키는 다수의 배리어 트랜지스터로 구성되는 것을 특징으로 하는 DRAM의 메모리 어레이 구조.A memory array having a shared sensing method bit line structure, comprising: a plurality of pairs connected to a first memory array region (A), a second memory array region (B), and memory cells of the first and second memory array regions; Bit line BL ), A plurality of word lines connected to memory cells in the first and second memory array regions, and two bit lines arranged between the first and second memory array regions and connected between the pair of bit lines. A plurality of sense amplifiers for sensing and amplifying a voltage difference therebetween, a plurality of P latches connected between each bit line pair of the first memory array region, and a plurality of P latches connected between each bit line pair of the first memory array region. A plurality of first equalizers for precharging the bit pairs at a voltage of 1 / 2VDD according to a first equalizer signal, a plurality of N latches connected between each pair of bit lines in the second memory array region, and the second memory array A plurality of second equalizers connected between each bit line of an area to precharge the pair of bit lines with a voltage of 1/2 VDD according to a second equalizer signal, and the second memory Connected between each pair of bit lines of the array region and the respective N latches to select a sensing region between the first and second memory array regions, and the first and second control signals VAL and VBL or the third and fourth control signals. And a plurality of barrier transistors for equalizing bit line voltages of the first and second memory regions according to the pull-up of (VAR, VBR).
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