KR950010477B1 - Non-volatige semiconductor memory device with nand cell - Google Patents

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Abstract

The nonvolatile semiconductor memory device with NAND structured cell comprises a row decoder which is shared by at least two memory cell blocks and has first and second pumping circuits shared by at least two memory blocks and connected between string select lines and gate drivers, and a pumping circuit for applying first and second voltages to the gates of the transfer transistors connected to the word lines of the memory cells and the gates of the transfer transistors connected to the gate of the ground select transistor.

Description

낸드쎌을 갖는 불휘발성 반도체 메모리 장치Nonvolatile Semiconductor Memory Device With NAND

제 1 도는 종래의 로우디코더와 메모리 쎌의 블럭도.1 is a block diagram of a conventional low decoder and memory chip.

제 2 도는 종래의 로우디코더와 메모리 쎌의 부분 블럭도.2 is a partial block diagram of a conventional low decoder and memory chip.

제 3 도는 종래의 로우디코더의 상세 회로도.3 is a detailed circuit diagram of a conventional low decoder.

제 4 도는 종래의 로우디코더의 프로그램/리드시 동작조건을 나타낸 표.4 is a table showing operation conditions during program / read of a conventional low decoder.

제 5 도는 본 발명에 따른 로우디코더와 메모리 쎌의 블럭도.5 is a block diagram of a low decoder and a memory chip according to the present invention.

제 6 도는 본 발명에 따른 로우디코더와 메모리 쎌의 부분 블럭도.6 is a partial block diagram of a low decoder and memory chip in accordance with the present invention.

제 7 도는 본 발명의 일실시예에 따른 로우디코더의 상세 회로도.7 is a detailed circuit diagram of a low decoder according to an embodiment of the present invention.

제 8 도는 본 발명에 따른 로우디코더의 프로그램/리드시 동작조건을 나타낸 표.8 is a table showing operation conditions during program / read of the low decoder according to the present invention.

제 9 도는 본 발명에 따른 워드라인 디코더.9 is a wordline decoder in accordance with the present invention.

제 10 도는 본 발명에 따른 GSL 디코더.10 is a GSL decoder according to the present invention.

제 11 도는 본 발명에 따른 GSL 디코더.11 is a GSL decoder according to the present invention.

제 12 도는 본 발명에 따른 동작 타이밍도.12 is an operation timing diagram according to the present invention.

본 발명은 불휘발성 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 특히 페이지 모드(page program mode)를 가지는 전기적으로 소거 및 프로그램이 가능한 독출전용 메모리 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory device, and more particularly, to an electrically erasable and programmable read only memory device having a page mode.

반도체 메모리 장치의 고집적화와 저가격화를 달성하기 위하여 낸드쎌+형 플래쉬 EEPROM(Flash Electrically Erasable Programmable Read Onry Memory)이 제안되었다. 일반적으로 낸드쎌형 플래쉬 메모리란 스트링선택 트랜지스터와 접지선택 트랜지스터 사이에 직렬로 연결된 소정갯수의 메모리 쎌들(단위 메모리스트링을 이룸)로 구성되며, 상기 메모리 쎌에 기억된 데이타의 소거동작시 전 메모리 어레이가 동시에 소거되는 동작특성을 갖는다. 그러나 상기 낸드쎌형 플래쉬 메모리 등과 같은 반도체 메모리 장치는 매 스트링 간격(string pitch)마다 로우디코더(row decorder)가 존재하기 때문에 집적도의 증가에 한계가 있다. 특히 16메가(M) 이상의 집적도를 갖는 반도체 메모리 장치에서는 매 스트링 간격내에 로우디코더를 배치하기가 힘들어진다. 즉, 각 스트링 및 로우(row)를 선택하는 로우디코더가 매 스트링 간격마다 존재함에 의해, 메모리 쎌 크기를 줄일 수 있는 한도가 사진식각공정의 한도에 의해 결정되는 것이 아니라 상기 로우디코더의 크기에 의해 결정된다.In order to achieve high integration and low cost of semiconductor memory devices, a NAND flash type Flash Electrically Erasable Programmable Read Onry Memory (EPEROM) has been proposed. In general, a NAND flash memory consists of a predetermined number of memory chips (a unit memory string) connected in series between a string select transistor and a ground select transistor. Simultaneously erased. However, the semiconductor memory device such as the NAND flash type flash memory has a limit in increasing the degree of integration because a row decoder exists in every string pitch. In particular, in a semiconductor memory device having an integration degree of 16 M or more, it is difficult to arrange a low decoder within every string interval. That is, since there is a row decoder that selects each string and row at every string interval, the limit to reduce the memory size is not determined by the limit of the photo etching process but by the size of the row decoder. Is determined.

제 1 도는 종래 로우디코더와 메모리 쎌의 블럭도로서, 1M급 낸드쎌형 플래쉬 EERPOM 쎌을 예로 들었다. 제 1 도에 도시된 반도체 메모리 장치는 로우(row)와 칼럼(column)에서 각각 1024×512비트(bit)의 메모리 쎌들을 갖는 좌와 우 메모리 어레이(10a, 10b)로 구성되어 전체적으로 1메가비트, 즉 1024×512×2비트의 메모리 쎌을 가지고 있다. 각각의 로우(12)는 8개의 플로링 게이트 모오스 트랜지스터와 1개의 스위칭 또는 선택 트랜지스터가 직렬로 연결되고 대응행과 접지선 사이에 낸드(NAND)형의 128개의 메모리 스트링들이 연결되어 있다. 상기 좌와 우 메모리어레이(10a, 10b)의 각 로우(12)를 선택하기 위하여 메모리 장치의 중앙에 128개의 로우디코더(14)가 배치되어 있다.FIG. 1 is a block diagram of a conventional low decoder and a memory chip, and a 1M NAND flash type EERPOM chip is exemplified. The semiconductor memory device shown in FIG. 1 is composed of left and right memory arrays 10a and 10b each having 1024 x 512 bits of memory rows in a row and a column, respectively. That is, it has a memory of 1024x512x2 bits. Each row 12 has eight floating gate mode transistors and one switching or selection transistor connected in series, and 128 NAND-type memory strings are connected between a corresponding row and a ground line. 128 row decoders 14 are disposed in the center of the memory device to select each row 12 of the left and right memory arrays 10a and 10b.

제 2 도는 종래의 로우디코더와 메모리 쎌의 부분 블럭도로서, 상기 제 1 도에 도시한 메모리 장치의 메모리 어레이와 상기 메모리 어레이에 대응하는 두개의 로우디코더(14)를 도시하고 있다.FIG. 2 is a partial block diagram of a conventional low decoder and a memory chip, and shows a memory array of the memory device shown in FIG. 1 and two low decoders 14 corresponding to the memory array.

제 3 도는 종래의 낸드쎌형 플래쉬 EERPOM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)의 로우디코더의 상세 회로도를 나타낸 것으로, 1991년도 IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUIT(Vol. 26, NO 4. APRIL, PP492-495)지에 개시되어 있다.3 is a detailed circuit diagram of a low decoder of a conventional NAND flash type EERPOM (Electrically Erasable Programmable Read Only Memory). Is disclosed.

상기 도면에 도시된 바와 같이 낸드쎌형 어레이(10b)의 로우(row)를 선택하기 위한 로우디코더는 제 1 및 제 2 선택게이트 드라이버(16, 18)와, 프로그램 동작시에만 인에이블(enable)되는 제1, 제 2 및 제 3 펌핑회로(20, 22, 24)와, 8개의 n채널 디플리션형 전송 트랜지스터(T1~T8)로 구성된다. 상기 제1 및 제 2 선택게이트 드라이더(16, 18)는 어드레스데이타를 입력으로 하는 어드레스 디코더에 의해 선택된다. 한편 콘트롤게이트(CG1~CG8) 전압은 주변부에 위치한 콘트롤게이트 드라이버(도시되지 않음)로부터 공급된다. 콘트롤게이트 전압은 동작모드에 따른 각 콘트롤게이트와 프로그램 동작시 상기 콘트롤게이트의 좌측 또는 우측끝단에 위치한 전송 트랜지스터를 통해 선택된 어드레스에 인가된다.As shown in the figure, the row decoders for selecting rows of the NAND array 10b are enabled only during the program operation with the first and second select gate drivers 16 and 18. The first, second and third pumping circuits 20, 22 and 24 and eight n-channel depletion type transfer transistors T1 to T8 are included. The first and second select gate drivers 16 and 18 are selected by an address decoder which takes address data as input. Meanwhile, the voltages of the control gates CG1 to CG8 are supplied from control gate drivers (not shown) located at the periphery. The control gate voltage is applied to each control gate according to an operation mode and an address selected through a transfer transistor located at the left or right end of the control gate during a program operation.

제 4 도는 상기 제 3 도에 도시된 로우디코더의 프로그램/리드시 동작조건을 나타낸 표이다. 제 3 도 및 제 4 도로부터 메모리 쎌 어레이중 3번째행을 선택할 경우를 예로 들어 설명한다.4 is a table showing a program / read operation condition of the low decoder shown in FIG. A case where the third row of the memory array is selected from FIGS. 3 and 4 will be described as an example.

먼저 프로그램 동작에 대해 설명한다. 프로그램 동작시 입력신호 Фd및 Фs는 각각 '하이'상태와 '로우'상태로 천이된다. 그리하여 스트링선택라인(SSL)은 입력 어드레스에 의해 선택되고 접지선택라인(GSL)은 '로우'상태가 되어 접지선택 트랜지스터는 턴오프된다. 선택게이트와 제 1 및 제 2 노드(N1, N2)가 소정전압으로 충전된 후 입력신호는 '로우'상태로 천이된다. 상기 제 1, 및 제 2 노드(N1, N2)에 충진된 전압은 각 전송 트랜지스터의 게이트에 인가되어 프로그램하기 위해 선택된 워드라인에는 18V, 비선택된 워드라인에는 프로그램방지전압인 10V가 전달되게 한다. 그리하여 데이타패턴에 따라 각 비트라인에는 '0V'('1'프로그램) 또는 '10V'('0'프로그램)가 전달된다.First, the program operation will be described. During program operation, the input signals Ф d and Ф s transition to the 'high' and 'low' states, respectively. Thus, the string select line SSL is selected by the input address and the ground select line GSL is 'low' so that the ground select transistor is turned off. After the selection gate and the first and second nodes N 1 and N 2 are charged to a predetermined voltage, the input signal transitions to a 'low' state. The voltages charged in the first and second nodes N 1 and N 2 are applied to the gates of the respective transfer transistors so that 18V is transmitted to a word line selected for programming and 10V, which is a program protection voltage, to a non-selected word line. do. Thus, according to the data pattern, '0V'('1' program) or '10V'('0' program) is transmitted to each bit line.

다음으로 리드동작에 대해 설명한다. 리드동작시에 입력신호 Фd, Фs, Фp가 각각 '하이'상태로 천이된다. 이때 Фr은 '로우'상태이다. 만약 상기 선택게이트 드라이버(16, 18)가 선택되면 스트링선택라인(SSL)과 접지선택라인(GSL)은 각각 '하이'상태가 된다. 그리하여 선택게이트에는 5V의 전압이 인가되고 제 1 및 제 2 노드(N1, N2)는 5V까지 충전된다. 상기 제1 및 제 2 노드(N1, N2)에 충전된 전압은 각 전송게이트 트랜지스터의 게이트에 인가되어 리드하기 위해 선택된 워드라인에는 0.8V, 비선택된 워드라인에는 Vcc가 전달되게 한다. 그리하여 각 비트라인에 저장된 데이타가 감지된다.Next, the read operation will be described. During read operation, the input signals Ф d , Ф s , and Ф p transition to the 'high' state, respectively. Ф r is low. If the selection gate drivers 16 and 18 are selected, the string selection line SSL and the ground selection line GSL are 'high', respectively. Thus, a voltage of 5V is applied to the select gate and the first and second nodes N 1 and N 2 are charged up to 5V. The voltages charged in the first and second nodes N 1 and N 2 are applied to the gates of the respective transfer gate transistors so that 0.8 V is transmitted to the word line selected for reading and Vcc is transferred to the unselected word lines. Thus, the data stored in each bit line is sensed.

그러나 종래의 기술에서는 그 구성이 각각의 쎌 어레이단위(또는 쎌어레이 블럭)마다 별개의 로우디코더를 접속시켜야 하기 때문에 반도체 메모리 장치의 고집적화를 구현할 수 없는 문제점이 있었다.However, the conventional technology has a problem in that a high integration of a semiconductor memory device cannot be realized because its configuration requires connecting a separate low decoder to each array unit (or array array block).

따라서, 본 발명의 목적은 반도체 메모리 장치에 있어서 고집적화된 반도체 메모리 장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a highly integrated semiconductor memory device in a semiconductor memory device.

본 발명의 다른 목적은 로우디코더의 면적에 의한 고집적의 저하가 방지되는 낸드쎌형 불휘발성 반도체 메모리 장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a NAND type nonvolatile semiconductor memory device in which a high integration due to the area of a low decoder is prevented.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 적어도 둘 이상의 쎌어레이 단위가 하나의 로우디코더 및 펌핑회로를 공유하는 불휘발성 반도체 메모리 장치임을 특징으로 한다.In order to achieve the above object of the present invention, the present invention is characterized in that at least two or more wet array units are nonvolatile semiconductor memory devices sharing one low decoder and a pumping circuit.

본 발명에 따른 일실시예에 따르면, 스트링선택 트랜지스터와 접지선택 트랜지스터사이에 직렬로 연결된 소정수의 메모리 쎌들로 구성되는 다수의 메모리 스트링으로 이루어지는 메모리 쎌블럭을 다수개 포함하는 낸드쎌형 불휘발성 반도체 메모리 장치가, 적어도 두개 이상의 상기 메모리 쎌블럭에 의해 공유되며, 상기 스트링선택 트랜지스터의 게이트에 각각 연결되는 스트링선택 라인들과 스트링선택 게이트 드라이버들간에 연결된 제1, 2 펌핑회로(40, 44) 및 상기 메모리 쎌들의 워드라인에 각기 연결된 전송 트랜지스터들의 게이트와 상기 접지선택 트랜지스터의 게이트에 각기 연결된 전송 트랜지스터들의 게이트에 제1, 2 전압을 인가하기 위한 펌핑회로(42)를 가지며, 동일행에 해당되는 상기 워드라인까지는 서로 공통연결되게 하고 상기 스트링선택 라인들은 각기 분리된 구조로 되게하여, 상기 두개이상의 메모리 쎌블럭에 의해 공유되는 로우디코더(34)를 포함함을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, a NAND type nonvolatile semiconductor memory including a plurality of memory pin blocks including a plurality of memory strings including a predetermined number of memory pins connected in series between a string select transistor and a ground select transistor. A device comprising: first and second pumping circuits (40, 44) shared by at least two of said memory buffers and connected between string select lines and string select gate drivers respectively connected to gates of said string select transistors; And a pumping circuit 42 for applying first and second voltages to the gates of the transfer transistors respectively connected to the word lines of the memory cells and the gates of the transfer transistors respectively connected to the gate of the ground selection transistor. The word line is connected to each other and the string Select lines are to be in each of the separated structure, it characterized in that it comprises a row decoder 34 is shared by the two or more memory Cell blocks.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제 5 도는 본 발명에 따른, 로우디코더와 메모리 쎌의 블럭도로서, 상기 제 1 도에 도시한 것과 같은 쎌어레이 배열을 가지는 반도체 메모리 장치에서 두개의 쎌어레이 단위(또는 블럭)가 펌핑수단을 포함하는 하나의 로우디코더를 공유함을 나타낸다. 즉, 1메가비트 급의 반도체 메모리 장치에서 두개의 메모리 스트링이 펌핑수단을 포함하는 하나의 로우디코더를 공유하기 때문에 64개의 로우디코더만이 필요하다. 하나의 로우디코더를 공유하는 메모리스트링의 갯수를 증가시키면 이에 필요로 되는 로우디코더의 갯수를 줄일 수 있다.5 is a block diagram of a low decoder and a memory chip according to the present invention, in which two shock array units (or blocks) in a semiconductor memory device having a shock array arrangement as shown in FIG. 1 include pumping means. It indicates that one low decoder is shared. That is, in the 1-megabit semiconductor memory device, only 64 low decoders are needed because two memory strings share one low decoder including pumping means. Increasing the number of memory strings that share a single row decoder reduces the number of row decoders required.

제 6 도는 본 발명에 따른 로우디코더와 메모리 쎌의 부분블럭도로서, 두개의 쎌어레이 단위가 펌핑회로를 포함하는 하나의 로우디코더를 공유하는 경우를 도시하였다.FIG. 6 is a partial block diagram of a low decoder and a memory chip according to an embodiment of the present invention, and shows that a case in which two ZW array units share a single low decoder including a pumping circuit.

상기 제 6 도에 도시한 바와 같이 같은 행에 해당하는 워드라인은 서로 연결되어 있으며 각 쎌어레이 단위의 스트링선택라인(SSL1, SSL2) 및 접지선택라인(GSL1, GSL2)은 서로 분리되어 있다.As shown in FIG. 6, the word lines corresponding to the same row are connected to each other, and the string selection lines SSL 1 and SSL 2 and the ground selection lines GSL 1 and GSL 2 of each array are separated from each other. It is.

제 7 도는 본 발명의 일실시예에 따른 로우디코더회로로서, 상기 제 6 도의 로우디코더의 상세회로도를 도시하였다. 상기 제 7 도의 구성에 도시된 바와 같이, 본 발명에서는 소정의 프로그램 방지전압이, 공유된 스트링중에서 선택된 스트링에는 스트링선택 트랜지스터를 통해 전달되고, 비선택된 스트링에는 접지선택 트랜지스터를 통해 전달됨을 특징으로 한다.FIG. 7 is a detailed circuit diagram of the low decoder of FIG. 6 as a low decoder circuit according to an embodiment of the present invention. As shown in the configuration of FIG. 7, in the present invention, a predetermined program protection voltage is transmitted through a string selection transistor to a string selected from a shared string, and a ground selection transistor to a non-selected string. .

제 8 도는 본 발명에 따른 공유된 로우디코더를 갖는 메모리 쎌의 프로그램/리드시 동작조건을 나타낸 표이다.8 is a table showing a program / read operation condition of a memory chip having a shared low decoder according to the present invention.

상기 제 7 도 및 제 8 도로부터 메모리 쎌어레이중 상단 어레이 단위의 3번째 행을 선택할 경우를 예로 들어 설명한다.A case of selecting the third row of the upper array unit of the memory array from FIGS. 7 and 8 will be described as an example.

먼저 프로그램 동작에 대하여 설명한다. 선택된 제 1 쎌에는 데이타 '1'이 프로그램되고 선택된 제 2 쎌에는 데이타 '0'이 프로그램된다고 가정한다. 프로그램시 입력신호는 '로우'상태로 천이되고 다른 입력신호 Фp는 발진하기 시작한다. 입력된 로우 어드레스에 의해 로우디코더가 선택되면 워드라인의 전송 트랜지스터 및 접지선택라인의 전송 트랜지스터의 게이트는 소정전압으로 충전된다. 그리하여 상기 전송 트랜지스터들이 턴온됨에 의해 S1-S8및 G1-G2가 전달된다. 한편 스트링선택게이트 드라이버(36)로 입력된 로우 어드레스(A4)에 의해 선택된 스트링선택라인(SSL1)은 제 1 전압(Vpass)으로 충전되며 비선택된 스트링선택라인(SSL2)은 0V가 되어 비선택된 스트링선택 트랜지스터를 턴오프시킨다. 상기 선택된 스트링선택라인(SSL1)에 충전된 제 1 전압에 의해 스트링선택 트랜지스터가 턴온됨으로써 상기 스트링내로 프로그램될 데이타에 따른 비트라인 전압(V1또는 GND)이 전달된다. 여기서 데이타 '1'이 프로그램될 메모리 쎌의 비트라인에는 0V를 데이타 '0'이 프로그램될 메모리 쎌의 비트라인에는 제 3 전압(Vpi)을 인가한다. 한편 비선택된 워드라인에는 제 1 전압(Vpass)이 인가되고 선택된 워드라인에는 프로그램을 위한 소정의 프로그램 전압, 즉 제 2 전압(Vpgm)이 인가된다. 상단 쎌어레이 단위와 하단 쎌어레이 단위가 상기 펌핑회로를 포함하는 로우디코더를 공유함에 의해 상기 상단 쎌어레이 단위의 각 워드라인에 인가된 전압은 각각 하단 쎌어레이 단위의 대응되는 워드라인에 동시에 인가된다. 또한 선택된 접지선택라인(GSL1)에는 0V를 인가하여 이에 연결된 접지선택 트랜지스터를 턴오프시키고, 비선택된 접지선택라인(GSL2)에는 제 1 전압(Vpass)을 인가하여 이에 연결된 접지선택 트랜지스터를 턴온시킨다. 상기 턴온된 접지선택 트랜지스터를 통하여 CSL에 인가된 프로그램 방지전압인 제 3 전압(Vpi)이 하단 쎌어레이 단위의 비트라인으로 전달된다.First, the program operation will be described. It is assumed that data '1' is programmed in the selected first cell and data '0' is programmed in the selected second cell. Input signal during programming Transitions to the 'low' state and the other input signal Ф p starts to oscillate. When the row decoder is selected by the input row address, the gate of the transfer transistor of the word line and the transfer transistor of the ground select line are charged to a predetermined voltage. Thus, S 1 -S 8 and G 1 -G 2 are delivered by turning on the transfer transistors. Meanwhile, the string select line SSL 1 selected by the row address A4 input to the string select gate driver 36 is charged to the first voltage V pass , and the unselected string select line SSL 2 becomes 0V. Turn off the unselected string select transistors. The string selection transistor is turned on by the first voltage charged in the selected string selection line SSL 1 , so that the bit line voltage V 1 or GND according to the data to be programmed into the string is transferred. Here, 0 V is applied to the bit line of the memory V in which data '1' is to be programmed, and a third voltage V pi is applied to the bit line of the memory V in which data '0' is to be programmed. On the other hand, the first voltage V pass is applied to the unselected word line, and a predetermined program voltage, ie, the second voltage V pgm , is applied to the selected word line. By sharing the low decoder including the pumping circuit with the upper and lower unit, the voltage applied to each word line of the upper array unit is simultaneously applied to the corresponding word line of the lower unit array. . In addition, the selected ground select line GSL 1 is applied with 0 V to turn off the ground select transistor connected thereto, and the unselected ground select line GSL 2 is applied with a first voltage V pass to connect the ground select transistor connected thereto. Turn on The third voltage V pi , which is a program protection voltage applied to the CSL, is transferred to the bit line of the lower array by the turned on ground selection transistor.

상기한 바와 같은 동작조건에 의해 선택된 상기 쎌어레이의 제 1 메모리 쎌은 게이트와 드레인에 각각 제 2 전압(Vpgm)과 0V의 전압이 인가됨으로써 반도체 기판으로부터 플로팅게이트로 전자들의 터널링현상이 일어나 '1'의 데이타를 갖게 된다. 한편 선택된 스트링내의 나머지 쎌들의 게이트와 드레인에는 각각 제 1 전압(Vpass)과 0V의 전압이 인가됨으로써 프로그램 동작이 일어나지 않는다. 또한 선택된 상단 쎌어레이의 제 2 메모리 쎌은 게이트와 드레인에 각각 제 2 전압(Vpgm)과 제 3 전압(Vpi)이 인가됨으로써 기판으로부터 플로팅게이트로 전자들의 터널링현상이 일어나지 않아 프로그램전 소거동작에 의한 음(-)의 드레쉬홀드전압, 즉 '0'데이타를 그대로 유지하게 된다. 한편 상기 선택된 스트링내의 나머지 쎌들의 게이트와 드레인에는 각각 제 1 전압(Vpass)과 제 3 전압(Vpi)이 인가됨으로써 프로그램 동작이 일어나지 않는다. 이때 비선택된 하단 쎌어레이 단위의 스트링선택 트랜지스터는 스트링선택라인에 인가된 0V의 전압에 의해 턴오프되고, 접지선택 트랜지스터는 접지선택라인에 인가된 제 1 전압(Vpass)에 의해 턴온되어 비선택된 스트링내의 모든 쎌의 소오스 및 드레인에 CSL을 통해 전달된 제 3 전압(Vpi)이 인가되게 한다. 그리하여 비선택된 스트링내의 모든 쎌들은 프로그램 동작이 이루어지지 않는다.The first memory cell of the array selected by the above operating conditions is applied with a second voltage (V pgm ) and a voltage of 0V to the gate and the drain, respectively, so that tunneling of electrons from the semiconductor substrate to the floating gate occurs. You have 1 'of data. On the other hand, the first and second voltages V pass and 0V are applied to the gates and the drains of the remaining cells in the selected string, respectively, thereby preventing program operation. In addition, since the second voltage V pgm and the third voltage V pi are respectively applied to the gate and the drain of the selected upper wafer array, tunneling of electrons from the substrate to the floating gate does not occur, thereby pre-programming erase operations. The negative threshold voltage, i.e., '0' data, is maintained. On the other hand, the first voltage V pass and the third voltage V pi are applied to the gates and the drains of the remaining cells in the selected string, respectively, so that no program operation occurs. At this time, the string select transistor of the unselected lower end array unit is turned off by a voltage of 0V applied to the string select line, and the ground select transistor is turned on by a first voltage V pass applied to the ground select line and is not selected. The third voltage V pi delivered through CSL is applied to the sources and drains of all charges in the string. Thus, all books in the unselected string are not programmed.

다음 '리드'동작에 대해 설명한다.The following describes the 'lead' operation.

상기 제 8 도에 도시된 바와 같이 리드동작시에신호가 '하이'상태로 천이되고 Фp신호는 발진하지 않는다. 입력된 로우 어드레스에 의해 상기 펌핑회로를 포함하는 로우디코더가 선택되면 워드라인 전송 트랜지스터 및 접지전송 트랜지스터의 게이트에 Vcc 전압이 인가됨에 의해 S1-S8및 G1-G2가 전달된다. 이때 선택된 로우에 전달되는 전압은 0V이고 비선택된 로우에 전달되는 전압은 Vcc이다. 그리하여 비선택된 쎌들은 전송 트랜지스터의 역할을 하게 된다. 이때 CSL은 0V가 되어 접지역할을 하게 된다. 로우 어드레스에 의해 선택된 스트링선택라인은 Vcc, 비선택된 스트링선택라인은 0V가 되어 공유된 스트링중 하나의 스트링을 선택한다.As shown in FIG. 8, in the read operation The signal transitions to the 'high' state and the Ф p signal does not oscillate. When the row decoder including the pumping circuit is selected by the input row address, S 1- S 8 and G 1- G 2 are transferred by applying the Vcc voltage to the gates of the word line transfer transistor and the ground transfer transistor. At this time, the voltage delivered to the selected row is 0V and the voltage delivered to the unselected row is Vcc. Thus unselected pins act as transfer transistors. At this time, CSL becomes 0V and serves as ground. The string selection line selected by the row address becomes Vcc and the unselected string selection line becomes 0V to select one string among the shared strings.

제 9 도는 본 발명에 따른 워드라인 디코더의 실시예로서, 제 7 도에서 워드라인신호로 되는 S1, S2, …, S8 신호를 공급한다.9 is an embodiment of a word line decoder according to the present invention, and S1, S2,... , Supply the S8 signal.

제 10 도는 본 발명에 따른 GSL디코더의 실시예로서, 제 7 도에서 접지선택라인(GSL1, GSL2)으로 연결되는 G1, G2신호를 공급한다.FIG. 10 is an embodiment of a GSL decoder according to the present invention. In FIG. 7, the signals G1 and G2 connected to the ground selection lines GSL1 and GSL2 are supplied.

제 11 도는 본 발명에 따른 CSL디코더의 실시예로서, 제 7 도에서 컬럼선택라인으로 연결되는 CSL신호를 공급한다.FIG. 11 is an embodiment of a CSL decoder according to the present invention, and FIG. 7 supplies a CSL signal connected to a column select line in FIG.

제 12 도는 본 발명에 따른 동작 타이밍도이다. 제 12 도에서신호가 인에이블되기까지의 시간간격을 나타내는 △t는 칩내부회로에 의해 간격이 결정된다. 그리고 Vpgm, Vpi신호의 전압레벨이 전원전압 Vcc레벨이상으로 상승되는 것은 이 분야의 공지의 기술의 내부승압회로에 의해서 용이하게 발생된다.12 is an operation timing diagram according to the present invention. In the twelfth degree ? T, which represents the time interval until the signal is enabled, is determined by the chip internal circuit. In addition, the voltage level of the V pgm and V pi signals rises above the power supply voltage Vcc level easily by an internal boosting circuit known in the art.

제 5 도는 본 발명의 기술적 사상에 입각하여 실현한 구성으로서, 이를 실현하기 위한 구체회로는 상술한 제 6 도 내지 제 11 도에 한정되지 않고 여러가지 다른 양태가 있음은 이 분야의 당 업자들에게는 명백한 사실이다.5 is a configuration realized based on the technical idea of the present invention, and the specific circuit for realizing the same is not limited to the above-described FIGS. 6 to 11 but it is obvious to those skilled in the art that there are various other aspects. It is true.

상술한 바와 같이, 본 발명은 낸드쎌형 플래쉬 EERPOM 메모리 장치에 있어서 복수개의 쎌어레이 단위가 펌핑회로를 포함하는 하나의 로우디코더를 공유함에 의해 로우디코더 크기에 따른 한계를 받지않고 비트라인 방향의 쎌 크기를 대폭 줄일 수 있는 효과가 있다. 그에 따라 사진식각공정의 한계에 의해 쎌 크기의 축소 한계가 결정됨으로써 고집적도의 반도체 메모리 장치의 구현이 용이하다.As described above, according to the present invention, in the NAND flash type EERPOM memory device, a plurality of shock array units share a single low decoder including a pumping circuit, so that the bit size in the bit line direction is not limited by the low decoder size. There is an effect that can be greatly reduced. As a result, the limit of shrinkage size is determined by the limitation of the photolithography process, thereby facilitating the implementation of a highly integrated semiconductor memory device.

Claims (3)

스트링선택 트랜지스터와 접지선택 트랜지스터사이에 직렬로 연결된 소정수의 메모리 쎌들로 구성되는 다수의 메모리 스트링으로 이루어지는 메모리 쎌블럭을 다수개 포함하는 낸드쎌형 불휘발성 반도체 메모리 장치에 있어서 ; 적어도 두개 이상의 상기 메모리 쎌블럭에 의해 공유되며, 상기 스트링선택 트랜지스터의 게이트에 각각 연결되는 스트링선택 라인들과 스트링선택 게이트 드라이버들간에 연결된 제1, 2 펌핑회로(40, 44) 및 상기 메모리 쎌들의 워드라인에 각기 연결된 전송 트랜지스터들의 게이트와 상기 접지선택 트랜지스터의 게이트에 각기 연결된 전송 트랜지스터들의 게이트에 제1, 2 전압을 인가하기 위한 펌핑회로(42)를 가지며, 동일행에 해당되는 상기 워드라인까지는 서로 공통연결되게 하고 상기 스트링선택 라인들은 각기 분리된 구조로 되게하여, 상기 두개이상의 메모리 쎌블럭에 의해 공유되는 로우디코더(34)를 구비함을 특징으로 하는 낸드쎌형 불휘발성 반도체 메모리 장치.11. A NAND type nonvolatile semiconductor memory device comprising a plurality of memory pin blocks comprising a plurality of memory strings comprising a predetermined number of memory pins connected in series between a string select transistor and a ground select transistor; First and second pumping circuits 40 and 44 and shared by at least two or more memory check blocks, respectively, connected between string select lines and string select gate drivers connected to gates of the string select transistors. And a pumping circuit 42 for applying first and second voltages to the gates of the transfer transistors respectively connected to the word line and the gates of the transfer transistors respectively connected to the gate of the ground selection transistor. And a row decoder (34) shared by the two or more memory blocks to allow the string selection lines to be connected to each other and to form a separate structure. 제 1 항에 있어서, 상기 낸드쎌형 불휘발성 반도체 메모리 장치가 전기적으로 소거 및 프로그램이 가능한 이이피롬(EERPOM)임을 특징으로 하는 낸드쎌형 불휘발성 반도체 메모리 장치.The NAND type nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein the NAND type nonvolatile semiconductor memory device is ERPOM, which is electrically erasable and programmable. 제 1 항에 있어서, 소정의 프로그램 방지전압이, 공유된 스트링중에서 선택된 스트링에는 상기 스트링선택 트랜지스터를 통해 전달되고, 비선택된 스트링에는 상기 접지선택 트랜지스터를 통해 전달됨을 특징으로 하는 낸드쎌형 불휘발성 반도체 메모리 장치.The NAND type nonvolatile semiconductor memory of claim 1, wherein a predetermined program protection voltage is transmitted through the string selection transistor to a string selected from a shared string and through the ground selection transistor to a non-selected string. Device.
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