KR940007213A - 진공 롤 코팅 씨스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 제작 비용 절감과 부수적인 여러가지 장점을 활용키 위해 WEB의 입출과 FRAME을 포함한 WINDING SYSTEM이 진공 CHAMBER로 입출되는 장향을 피코팅 기재가 흐르는 방향과 평행하게, 즉 WINDING ROLL의 축방향과 수직이 되도록 만들어진 구조의 진공 롤 코팅시스템과 이를 효과적으로 실현키 위한 WINDING CONTROL SYSTEM의 여러가지 구성방법, 그리고 진공 표면 처리시에 발생되는 순간적 과열로 인한 품질 저하와 불량현상을 방지하고, 생산제품의 품질을 향상시키며 코팅 물질의 과다한 손실 방지와 코팅 효율향상을 위해 구성되는 코팅 SOURCES와 냉각기능을 겸비한 코팅 롤 그리고 보조 냉각롤로 사용도는 PRECOOLING ROLL 및 보조 가이드 롤을 활용한 진공 표면 처리 공정의 개선 방안에 관한 것이다.

Description

진공 롤 코팅 씨스템

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 선행 기술에서 사용되는 코팅 롤의 배열,

제2도는 본 발명에 의해 개선된 코팅 롤과 보조 냉각롤의 배열 방법,

제3도는 롤과 피코팅 소재를 확대한 그림,

제4도는 선행 기술의 롤배열과 그에 따라 커지는 진공용기의 FLANGE,

제5도는 본 발명에 의해 길이 방향으로만 길어지는 진공용기를 옆과 앞에서 본 투시도,

제6도는 본 발명의 목적을 위해 WINDING 부품들을 밀폐하여 내부 착설형으로 만들어 이뤄지는 진공롤 코팅 씨스템을 위에서 본 그림.

Claims (7)

1. 제작비용 절감과 부수적인 여러 장점을 활용키위해 WEB의 입출과 FRAME을 포함한 WINDING SYSTEM이 진공 CHAMBER로 입출되는 방향을 피코팅 기재가 흐르는 방향과 평행하게, 즉 WINDING ROLL의 축방향과 수직이되도록 만들어진 구조의 진공 롤 코팅 시스템.
2. MOTOR등의 WINDING CONTROL에 필요한 부품들을 FRAME을 포함한 WINDING SYSTEM과 진공 CHAMBER안에서 작동하도록 하여 동력 전달과 기타의 신호 전달이 진공 분위기에서 이루어지도록하되 모타등의 부품들을 진공용으로 제작된 것을 사용하거나 진공분위기하의 노출을 피해야 할 부품들을 공기등으로 채워지는 별도의 하우징 안에 밀페시키고 진공용 RO TARY FEEDTHROUGH나 각종 LEEDTHROUGH등을 사용하여 동력 또는 기타의 신호, 냉각 기체등을 하우징 밖으로, 즉 진공 CHAMBER안의 필요한 부위와 CHAMBER 밖으로 전달하거나 전달 받도록한 그 부품들과 이를 포함하는 진공 롤 코팅 씨스템.
3. 제1항에 WINDING SYSTEM이 입출될 때 따라 움직이는 진공 CHAMBER의 DOOR나 그 일부분의 대기압쪽에 제7도와 같이 WINDING CONTROL부품들을 착설하고 진공용 FEEDTHROUGH 등을 통해 CHAMBER 내부로 그 동력이나 신호등을 전달하고 필요에 따라 그 방향을 전환한 후 소요부위에 전달하도록 하거나 제8도와 같이 WINDING SYSTEM의 입출시에 따라 움직이지 않고 그것과 분리되는 진공 CHAMBER의 특정한 부위에 WINDING CONTROL부품들을 착설하고 같은 방법으로 이 부품들의 필요부위를 CHAMBER안으로 유입하여 WINDING SYSTEM이 완전히 장입되었을 때에는 탈착식 기아, 커플링, 클러치, 클램프 등의 탈착식 기구를 통하여 소요 부위로 동력, 신호 등이 전달될 수 있게 하며 WINDING SYSTEM이 진공 CHAMBER로 부터 인출되어 분리될 때에는 아무런 장애없이 탈탁기구 부위에서 분리될 수 있는 구조로 이루어지는 진공 롤 코팅 씨스템.
4. WINDING SYSTEM을 입출하지 않고서도 WEB의 진행방향 안쪽끝 또는 그 구조나 경우에 따라 한쪽끝부분에 도어를 만들고 이를 통해 WEB의 인출, 장입 및 일부 부품들의 취급을 실행할 수 있게하고 진공 CHAMBER의 필요한 부위에 맨홀이나 보조 도어를 두어 이를 통해 분해, 조립, 설치 및 기타의 부품 취급등을 용이하게한 진공 롤 코팅 씨스템.
5. 순간적 과열로 인한 품질저하와 불량현상을 방지하고, 생산제품의 품질을 향상시키며 그 생산성을 높이기위해 직경 500mm이하의 코팅롤을 2개이상 사용하고, 필요에 따라 그 사이의 보조롤도 냉각역할이 가능하도록 하며 첫번째 코팅롤 전단에 적절한 수의 PRECOOLING롤 들을 두어 직경이 작은 코팅롤에서의 냉각효과를 보와토록 구성된 롤들을 포함하는 진공 롤 코팅 씨스템.
6. 제5항에서의 롤의 축방향 즉 WEB의 폭방향으로 배열된 한줄의 코팅 SOURCES에 2개이상의 코팅롤을 배당하고 이를 코팅 물질의 손실을 최소화하며 코팅 효율을 최대화하기 위해 SOURCES와 대면하는 코팅롤의 면적을 최대로 하는 구조로 배열하거나 SOURCES를 감싸는 구조로 배열된 롤들을 포함하는 진공 롤 코팅 씨스템.
7. 제5항에서 한층의 박막을 SPUTTER할 때 분할 코팅을 실시할 목적으로 2개이상의 코팅롤을 사용하고, 각 코팅롤당 배당되는 코팅 CATHOODES의 수가 3개 이하로 구성되는 진공 롤 코팅 씨스템.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.