Claims (13)
재물 렌즈 이동 작동기에 있어서, (a)대물렌즈 지지용 가동 부재와, (b)대물 렌즈를 갖는 기둥 부재가 상기 대물 렌즈의 광학축에 대해 제1방향으로는 평행하게 상기 대물 렌즈의 광학축에 대해 제2방향으로는 수직으로 움직이도록 상기 대물렌즈와 함께 가동 부재를 탄성적으로 지지키 위한 탄성 지지수단과, (c)상기 탄성 지지 수단의 베이스 단부가 고정되는 고정 부재와, (d)상기 대물렌즈와 함께 제1및 제2방향으로 상기 탄성 지지 수단을 이동시키기 위한 전자기 구동 수단과, (e)상기 대물 렌즈의 광학축이 소정의 스큐우 각을 갖도록 상기 탄성 지지수단을 회전시키기 위한 조절 수단을 구비하는 대물 렌즈 이동 작동기.In the object lens shift actuator, (a) the movable member for supporting the objective lens and (b) the pillar member having the objective lens are parallel to the optical axis of the objective lens in parallel with the first axis with respect to the optical axis of the objective lens. Elastic support means for elastically supporting the movable member together with the objective lens to move vertically with respect to the second direction, (c) a fixing member to which the base end of the elastic support means is fixed, and (d) Electromagnetic driving means for moving the elastic support means in the first and second directions together with the objective lens, and (e) adjustment for rotating the elastic support means such that the optical axis of the objective lens has a predetermined skew angle. An objective lens shift actuator having means.
제1항에 있어서, 상기 조절 수단은 상기 탄성 지지 수단의 베이스 단부에 배치된 볼록부와 상기 고정 수단에 배치된 오목부를 포함하는 대물렌즈 이동 작동기.The objective lens shift actuator of claim 1, wherein the adjustment means comprises a convex portion disposed at the base end of the elastic support means and a concave portion disposed on the fixing means.
제2항에 있어서, 상기 조절 수단의 볼록부는 원형부로서 형성되고 상기 오목부는 상기 실린더부가 맞물린 개구부로 형성되는 대물 렌즈 이동 작동기.3. The objective lens shift actuator of claim 2, wherein the convex portion of the adjusting means is formed as a circular portion and the concave portion is formed by an opening in which the cylinder portion is engaged.
제1항에 있어서, 상기 조절수단의 오목부는 주변부로서 형성되고 상기 볼록부는 상기 주변부를 수신하는 오목 주변부로 형성되는 대물 렌즈 이동 작동기.The objective lens shift actuator according to claim 1, wherein the concave portion of the adjusting means is formed as a peripheral portion and the convex portion is formed as a concave peripheral portion receiving the peripheral portion.
제1항에 있어서, 상기 고정부재에 상기 탄성 지지 수단을 부착시키기 위한 부착 수단을 더 구비하며, 상기 부착 부재는 상기 탄성 지지수단이 상기 고정 수단에 관계하여 자유롭게 회전 가능하도록 상기 탄성 지지수단과 고정 수단을 유지하는 대물렌즈 이동 작동기.The fixing member of claim 1, further comprising an attachment means for attaching the elastic support means to the fixing member, wherein the attachment member is fixed to the elastic support means such that the elastic support means can be freely rotated in relation to the fixing means. Objective shifting actuator holding means.
제1항에 있어서, 상기 탄성 지지수단은 상기 대물렌즈와 함께 대물렌즈의 광학축에 제1방향으로 평행하게 상기 가동 부재를 이동시키기 위해 한쌍의 금속 플레이트형 부분과 상기 광학축에 대해 제2방향으로 수직으로 상기 가동 부재를 이동시키기 위해 한쌍의 금속 플레이트-형 부분 중 하나의 단부상에 형성된 합성수지의 탄성 대체 부분을 구비하는 대물 렌즈 이동 작동기.The second direction with respect to the optical axis and the pair of metal plate-like portions to move the movable member parallel to the optical axis of the objective lens in a first direction with the objective lens. And an elastic replacement portion of the synthetic resin formed on the end of one of the pair of metal plate-shaped portions to move the movable member vertically.
대물 렌즈 이동 작동기에 있어서, (1)대물 렌즈 지지용 가동 부재와, (2)상기 대물 렌즈를 가지는 가동부재 가 상기 대물 렌즈의 광학축에 대해 제1방향으로 평행하게 상기 대물 렌즈의 광학축에 대해 수직으로는 제2방향으로 이동되기 위해 상기 대물렌즈와 함께 상기 가동부재를 탄성적으로 지지하기 위한 탄성 지지 수단과, (3)상기 제1플레인부에 따라 수직으로 형성된 제1플레인부와 제2플레인부, 상기 제2플레인부에 고정된 상기 탄성 지지수단의 베이스 단부를 가지는 고정 부재와, (4)상기 대물렌즈와 함께 제1및 제2방향으로 탄성 지지 수단을 이동시키기 위한 전자기 구동 수단을 구비하며, 반면 상기 탄성 지지 수단은 상기 대물렌즈의 광학축이 소정의 스큐우 각을 갖도록 상기 제2플레인부에 회전적으로 부착되는 대물렌즈 이동 작동기.In the objective lens shift actuator, (1) a movable member for supporting an objective lens and (2) a movable member having the objective lens is parallel to the optical axis of the objective lens in parallel with the optical axis of the objective lens in a first direction. Elastic support means for elastically supporting the movable member together with the objective lens so as to be moved vertically with respect to the second lens; and (3) a first plane portion and a third portion formed vertically along the first plane portion; A fixing member having a two-plane portion, a base end of the elastic support means fixed to the second plane portion, and (4) electromagnetic drive means for moving the elastic support means in the first and second directions together with the objective lens; Wherein the elastic support means is rotationally attached to the second plane portion such that the optical axis of the objective lens has a predetermined skew angle.
제7항에 있어서, 상기 대물 렌즈의 광학축이 소정의 스큐우 각을 갖도록 상기 탄성 지지 수단의 베이스 단부와 상기 탄성 지지 수단을 회전시키기 위한 고정 수단간에 배치된 조절 수단을 더 구비하는 대물 렌즈 이동 작동기.8. The objective lens movement according to claim 7, further comprising adjustment means disposed between the base end of the elastic support means and the fixing means for rotating the elastic support means such that the optical axis of the objective lens has a predetermined skew angle. Actuator.
제8항에 있어서, 상기 조절 수단은 상기 탄성 지지수단의 베이스 단부상에 배치된 볼록부와 상기 고정 수단상에 배치된 오목부를 구비하는 대물 렌즈 이동 작동기.9. The objective lens shift actuator of claim 8, wherein the adjustment means has a convex portion disposed on the base end of the elastic support means and a concave portion disposed on the fixing means.
제9항에 있어서, 상기 조절 수단의 볼록부는 원형 부분으로서 형성되며 상기 오목부분은 상기 원형 부분이 맞물린 개구부로 형성되는 대물 렌즈 이동 작동기.10. The objective lens shift actuator of claim 9, wherein the convex portion of the adjusting means is formed as a circular portion and the concave portion is formed by an opening in which the circular portion is engaged.
제9항에 있어서, 상기 조절 수단의 오목부는 구형 부분으로서 형성되며 상기 구형부분을 수용하는 오목구형 부분으로 형성되는 대물렌즈 이동 작동기.10. The objective lens shifting actuator according to claim 9, wherein the concave portion of the adjusting means is formed as a spherical portion and is formed as a concave spherical portion for receiving the spherical portion.
제7항에 있어서, 상기 전자기 구동 수단은 상기 대물렌즈와 함께 제1방향으로 상기 가동부재를 이동시키기 위한 제1코일 부분과, 상기 대물렌즈와 함께 제2방향으로 가동 부재를 이동시키기 위한 제2코일 부분과, 상기 제1및 제2코일 부분에 관계하여 반대로 배치된 자석부분과, 상기 제1플레인 부분에 배치된 제1및 제2코일 부분 및 상기 자석 부분 중 하나와 상기 자석 부분 중 다른 하나와 상기 가동 부재상에 배치된 제 1및 제2코일 부분을 구비 하는 대물 렌즈 이동 작동기.The method of claim 7, wherein the electromagnetic driving means comprises: a first coil portion for moving the movable member in a first direction together with the objective lens; and a second for moving the movable member in a second direction together with the objective lens. A coil portion, a magnet portion disposed opposite to the first and second coil portions, one of the first and second coil portions disposed on the first plane portion and the magnet portion and the other of the magnet portions; And first and second coil portions disposed on the movable member.
제7항에 있어서, 상기 탄성 지지 수단은 합성 수지로 이루어진 상기 대물렌즈와 탄성 대치부와 함께 상기 대물렌즈의 광학축에 대해 상기 재 1방향으로 평행하게 상기 가동 부재를 이동시키기 위한 한쌍의 금속 플레이트형 부분을 구비하고 상기 광학축에 대해 제2방항으로 수직으로 가동 부재를 이동시키기 위한 한쌍의 금속 플레이트-형 부분 중 하나의 단부를 형성하는 대물 렌즈 이동 작동기.8. The pair of metal plates according to claim 7, wherein the elastic support means moves the movable member in parallel to the second direction with respect to the optical axis of the objective lens together with the objective lens and the elastic substitute portion made of synthetic resin. An objective lens shift actuator having a mold portion and forming an end of one of a pair of metal plate-shaped portions for moving the movable member perpendicularly to the second axis with respect to the optical axis.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.