KR920004058Y1 - Vacuum separating device of vacuum vessel for semiconductor manufacturing system - Google Patents
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Abstract
내용 없음.No content.
Description
제1도는 본 고안의 진공격리장치를 분해한 부혈사시도.1 is a side view of the decomposing the vacuum isolator of the present invention.
제2a도는 제1도의 결합 측면도, 제2b도 본 고안의 동력전달 과정.Figure 2a is a coupling side view of Figure 1, Figure 2b is a power transmission process of the present invention.
제3a도, 제3b도는 본 고안의 다른 실시예로서 제3a도는 부품 사시도, 제3b도는 결합측면도.Figure 3a, Figure 3b is another embodiment of the present invention, Figure 3a is a perspective view of the part, Figure 3b is a side view of the coupling.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
100 : 밸브본체 110 : 게이트100: valve body 110: gate
140 : 벨로우즈시일 150 : 리니어스틱140: bellows seal 150: linear stick
160 : 공압실린더160: pneumatic cylinder
본 고안은 공정조건과 기능이 다른 여러 진공조로 이루어진 반도체 제조장비에 있어서 특히 벨로우즈와 연쇄(linkage)을 이용하여 진공조간을 연결하는 밸브본체의 게이트를 실링(sealing)하여 진공조 사이를 서로 격리시키기 위한 진공격리장치에 관한 것이다.The present invention is to seal the gate of the valve body connecting the vacuum chambers by using bellows and linkage to isolate the vacuum chambers from each other. It relates to a vacuum isolator for.
종래 이러한 종류의 진공격리장치는 자성유체 실링에 의한 회전운동 도입기를 이용한 것과 웨지(wedge)원리를 이용한 것이 있었다.Conventionally, this type of vacuum isolator has used a rotary motion introducer by magnetic fluid sealing and a wedge principle.
그러나 전자는 제작비가 높고 클리닝시 심각한 트러블(trouble)발생의 염려가 있었다.However, the former has a high manufacturing cost and there is a fear of serious trouble during cleaning.
또 후자의 경우에는 점유공간을 많이 차지하여 콤팩트한 장비설계가 어렵다는 문제점을 가지고 있었다.In the latter case, it occupies a lot of occupied space, and it is difficult to design compact equipment.
따라서 본 고안의 목적은 복동식 공압실린더의 리니어 스틱과 연장봉으로 이어지는 직선운동을 벨로우즈시일(Bellows Seal)을 통하여 벨브 본체와의 기밀을 유지시키고 링크의 연쇄에 의해 회전운동으로 변환시켜 게이트를 폐방시키는 간단한 구조의 진공격리장치를 제공하는데 있다.Therefore, the object of the present invention is to maintain the airtightness of the linear body of the double-acting pneumatic cylinder and the extension rod through the bellows seal and maintain the airtightness with the valve body, and convert the rotational movement by the chain of links to close the gate. It is to provide a vacuum isolator of a simple structure.
본 고안의 또 다른 목적은 상기한 밸브본체의 외부에 별도의 진공조를 설치하고 연쇄를 이용하여 공압실린더의 직선운동을 밸브본체로 도입시킨 축의 회전운동으로 변환시켜 게이트를 폐방시키고, 유지 및 보수가 용이한 진공격리장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to install a separate vacuum chamber on the outside of the valve body and to convert the linear movement of the pneumatic cylinder into the rotational movement of the shaft introduced into the valve body by using a chain to close the gate, maintenance and repair It is to provide an easy vacuum isolator.
본 고안의 목적을 달성하기 위한 특징으로는 진공조로 이루어진 공압실린더에 있어서, 공압실린더의 운동을 전달하는 리니어 스틱(150)과 이 리니어 스틱(150)의 연장선상에 결합된 연결봉(131)과, 상기 연결봉(131)의 운동을 유도하고 밸브본체(100)에 결합된 상부플랜지(141)와, 상기 리니어 스틱과 상기 연결봉사에 결합된 하부 플랜지(151)사이의 기밀을 유지할 수 있도록 연장수축이 가능한 벨로우즈 시일(140)를 포함하는 직선운동부와, 상기 밸브본체(100)의 내에 위치하여 상기 연결봉(131)에 연결, 직선운동을 제2링크축(131a)을 중심으로 제2링크(130)가 회전하여 제1링크(120)에 전달되고, 상기 밸브본체(100)의 내측벽에 결합된 제1힌지(112)의 힌지축(103)을 중심으로 제1링크(120)가 회전운동하도록 한 구성한 회전운동부와, 상기 회전운동부의 제1 링크(120)에 연결된 제2힌지(113)와 결합된 상기 제2힌지(113)와 결합된 게이트(110)로 구성된 개폐부를 포함한다.Features for achieving the object of the present invention is a pneumatic cylinder made of a vacuum chamber, the linear stick for transmitting the movement of the pneumatic cylinder 150 and the connecting rod 131 coupled to the extension line of the linear stick 150, Extension contraction to induce the movement of the connecting rod 131 and to maintain the airtightness between the upper flange 141 coupled to the valve body 100, and the linear stick and the lower flange 151 coupled to the connecting rod A linear movement part including a bellows seal 140 possible, and connected to the connecting rod 131 located in the valve body 100, the second link 130 to the linear movement around the second link shaft (131a) Is rotated and transmitted to the first link 120, and the first link 120 rotates about the hinge axis 103 of the first hinge 112 coupled to the inner wall of the valve body 100. One configured rotary motion unit, and connected to the first link 120 of the rotary motion unit The opening and closing portion includes a second hinge consisting of a gate 110 combined with the second hinge 113 coupled to 113.
본 고안의 또다른 실시예의 특징으로는, 상기 연결봉(280)이 별도의 진공조(260)로 내로 도입되고, 이 연결봉(280)끝에 슬라이드 핀(281)의 결합된 직선운동부와, 고정축(240)를 중심으로 상기 슬라이드핀(281)의 운동을 받아 회전하는 U자형의 슬라이드 홈(271)을 가지는 제2링크(270)와, 상기 고정축(240)의 연장선 상에 유니온(230)로 결합된 축(241)의 단부에 고정된 U자홈(211)들 갖는 제1링크(220)와, 상기 축(241)을 지지하는 축브라켓트(231)로 구성된 회전운동부와, 상기 제1링크(220)의 U자홈(221)에 삽입된 제1힌지(212)와, 상기 제1힌지(212)를 고정하는 힌지브라켓트(211)와 결합된 케이트(210)로 구성된 개폐부를 포함하는 반도체제조장비용 진공조의 진공격리장치이다.In another embodiment of the present invention, the connecting rod 280 is introduced into a separate vacuum chamber 260, and the linear movement portion of the slide pin 281 coupled to the end of the connecting rod 280, and the fixed shaft ( A second link 270 having a U-shaped slide groove 271 that rotates in response to the movement of the slide pin 281, and a union 230 on an extension line of the fixed shaft 240. A first link 220 having U-shaped grooves 211 fixed to an end of the coupled shaft 241, a rotational movement consisting of a shaft bracket 231 for supporting the shaft 241, and the first link ( For semiconductor manufacturing equipment including an opening and closing portion consisting of a first hinge 212 inserted into the U-shaped groove 221 of the 220, and a cage 210 coupled to the hinge bracket 211 for fixing the first hinge 212. It is a vacuum isolator of vacuum chamber.
이하 첨부된 도면에 의거 본 고안의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
제1도는 본 고안의 진공격리장치를 나타낸다.1 shows a vacuum isolator of the present invention.
도시된 바와같이 공정조건이 다르거나 기능이 다른 여러진공조의 양측에 후렌지 결합하는 밸브본체(100)의 입구(101)를 막아주는 게이트(110)에는 밀폐용 오링 (111)이 끼워져 있고 상기 게이트(110)에 부착된 축브라켓트(112)에 제1링크(120)가 제2힌지(113)에 의해 연결되며 제1링크(120) 중단으로 조인트시킨 제2링크(130)는 공압실린더(160)의 피스톤로드(163)와 연장선상에 있는 리니어 스틱을 통해 연결봉(131)과 연결된다.As shown, a sealing O-ring 111 is fitted in the gate 110 that blocks the inlet 101 of the valve body 100 that is flange-coupled to both sides of the vacuum chamber having different process conditions or different functions. The first link 120 is connected to the shaft bracket 112 attached to the 110 by the second hinge 113, and the second link 130 jointed with the first link 120 is stopped by the pneumatic cylinder 160. It is connected to the connecting rod 131 through a linear stick on the piston rod 163 and the extension line.
또 제1링크(120)는 밸브본체(100)의 입구(101)하측의 벽면에 고정된 브라켓트(102)와 제1힌지(103)로 연결되어 있다.In addition, the first link 120 is connected to the bracket 102 and the first hinge 103 fixed to the wall surface below the inlet 101 of the valve body 100.
그리고 밸브본체(100)내로 직선운동을 유도하는 연결봉(131)은 테프론부싱(104)을 통해 슬라이딩되고 슬라이딩에 의해 입자(Part cle)발생을 최소화하기 위해 외부의 지지브라켓트(161)의 리니어 베어링(162)으로 지지된다.And the connecting rod 131 for inducing linear movement into the valve body 100 is slid through the teflon bushing 104 and the linear bearing of the external support bracket 161 to minimize the generation of particles (Part cle) by sliding ( 162).
상기 테프론부싱(104)과 연결봉(131)사이는 기밀을 유지하도록 상기 연결봉(131)에 벨로우즈시일(140)을 삽입하여 이 벨로우즈시일(140)의 상측 후렌지(141)를 밸브본체(100)저면으로 오링(143)을 끼워 밸로우즈시일(140)의 하측 후렌지(142)는 연결봉(131)과 나사 결합한 리니어스틱(150)의 후렌지(151)와 O-링(144)을 끼워 밀봉된다.The bellows seal 140 is inserted into the connecting rod 131 to maintain the airtightness between the teflon bushing 104 and the connecting rod 131 so that the upper flange 141 of the bellows seal 140 is lowered from the valve body 100. The lower flange 142 of the bellows seal 140 by inserting the O-ring 143 is sealed by fitting the flange 151 and the O-ring 144 of the linear stick 150 screwed with the connecting rod 131.
또한 리니어스틱(150)은 상술한 외부의 지지브라켓트(161)에 부착한 공압실린더(160)의 피스톤로드(163)와 나사결합된다.In addition, the linear stick 150 is screwed with the piston rod 163 of the pneumatic cylinder 160 attached to the external support bracket 161 described above.
제2도는 본 고안의 결합된 상태를 부분단면에 의해 나타낸다.2 shows the combined state of the present invention by partial section.
여러진공간의 격리시키는 방법에 있어서 밸브본체(100)의 입구(101)를 막아주는 게이트(110)는 외부의 지지브라켓트(161)에 부착한 공압실린더(160)의 흡입배출에 따라 피스톤로드(163)와 연결된 리니어스틱(150)이 지지브라켓트(161)의 리니어 베어링(162)에 의해 지지되면서 리니어스틱(150)상측에 연장된 연결봉(131)을 밸브본체(100)로 직선운동을 전달한다.In the method of isolating the various spaces, the gate 110 which blocks the inlet 101 of the valve body 100 is the piston rod 163 according to the suction discharge of the pneumatic cylinder 160 attached to the external support bracket 161. ) And the linear stick 150 connected to the support rod 131 is supported by the linear bearing 162 of the support bracket 161 and transfers the connecting rod 131 extending above the linear stick 150 to the valve body 100.
제1링크(120) 및 제2링크(130)는 벨로우즈시일(140)을 통하여 도입된 공압실린더(160)의 직선운동을 회전운동으로 변환시키며 제2링크(130)는 게이트(110)에 큰힘을 유도하는 역활을 한다.The first link 120 and the second link 130 converts the linear motion of the pneumatic cylinder 160 introduced through the bellows seal 140 into a rotational motion and the second link 130 has a large force on the gate 110. Serves to induce.
즉, 연결봉(131)이 화살표방향으로 직선운동을 하여 연결봉 상단의 제2링크(130)를 밀어준다.That is, the connecting rod 131 pushes the second link 130 at the upper end of the connecting rod by the linear movement in the direction of the arrow.
이때 제1링크(120)는 밸브본체(100)의 제1힌지(103)에 의해 축설되어있기 때문에 제1힌지(103)를 중심으로 제1링크(120)는 시계반대방향의 힘이 발생하고 동시에 게이트(110)의 제2힌지(113)에 의해서 게이트(110)에 힘이 전달되어 밸브본체(100)의 입구(101)측으로 밀게됨으로써 강력하게 게이트(110)를 닫아줌으로써 게이트(110)의 O-링(111)으로 진공조사이가 격리되는 것이다.At this time, since the first link 120 is arranged by the first hinge 103 of the valve body 100, the first link 120 has a counterclockwise force around the first hinge 103. At the same time, the force is transmitted to the gate 110 by the second hinge 113 of the gate 110 and is pushed toward the inlet 101 of the valve body 100 so that the gate 110 is strongly closed to close the gate 110. The vacuum probe is isolated by the O-ring 111.
상기 게이트(110)로 큰 힘이 유도되는 과정은 제2b도에 나타낸 것과 같다.The process of inducing a large force to the gate 110 is as shown in Figure 2b.
상기 연결봉(131)으로부터 전달된 F의 힘은 상기 제2링크(120)의 길이 P와의와 같은 식을 이룬다.The force of F transmitted from the connecting rod 131 and the length P of the second link 120 It works like this.
이때 상기 제2링크(130)가 힘을 받아 Px의 위치로 오게 되면가 되고, 이때 θ가 이루는 강이 5°라면 Px=11.43F로 공압실린더 힘의 11배 이상이 된다.At this time, when the second link 130 comes to the position of Px by the force At this time, if the steel formed by θ is 5 °, Px = 11.43F is 11 times or more of the pneumatic cylinder force.
상기 제2링크(130)의 힘은 상기 제2힌지(113)를 통해 상기 게이트(110)에 전달되는데 이 힘은 지렛데 윈리에 의해 전달된 칩의 반으로 경감된다.The force of the second link 130 is transmitted to the gate 110 through the second hinge 113, which is reduced to half of the chip transmitted by the lever winry.
상기와 같은 작용으로 상기 공압실린더(160)의 칩은 상기 링크를 통해 수배에 달하는 힘으로 게이트를 밀어주게 된다.In this manner, the chip of the pneumatic cylinder 160 pushes the gate with a force several times through the link.
한편 제3도는 본 고안의 다른실시예로서 종래 자성유체시일을 사용하는 회전도입기의 단점을 개선하기 위하여 밸브본체(200)내로 도입되는 축(241)의 회전운동을 통하여 게이트(210)를 닫아주는 방식이다.On the other hand Figure 3 is another embodiment of the present invention to close the gate 210 through the rotational movement of the shaft 241 introduced into the valve body 200 in order to improve the disadvantages of the conventional rotary fluidizer using a magnetic fluid seal That's the way.
먼저 그림 제3a도와 같이 밸브본체(200)의 입구를 막아 주는 게이트(210)의 힌지 브라켓트(211)에 고정된 제1힌지(212)에는 상측으로 U(유)자흠(211)이 있는 제1링크(220)를 축브라켓트(213)를 통하여 축(241)의 단부에 고정볼트로 고정하여 축과 함께 제1링크(220)가 움직일 수 있도록 하되 상기 제1링크(220)의 U자홈(221)이 게이트(210)의 제1힌지(212)에 삽입 또 축(241)은 유니온(230)을 개재하여 밸브본체(200)측면에 부착된 슬리이브(250)속의 베어링을 통하여 별도의 진공조(260)내부에서 제2링크(270)를 고정나사로 고정하여 고정축(240)과 함께 유동하도록 한다.First, as shown in FIG. 3A, the first hinge 212 fixed to the hinge bracket 211 of the gate 210 that blocks the inlet of the valve body 200 includes a first U-shaped defect 211 upward. The link 220 is fixed to the end of the shaft 241 through the shaft bracket 213 to a fixed bolt to move the first link 220 with the shaft, but the U-shaped groove 221 of the first link 220 ) Is inserted into the first hinge 212 of the gate 210 and the shaft 241 is a separate vacuum chamber through the bearing in the sleeve 250 attached to the valve body 200 side via the union 230 The second link 270 is fixed to the inside with a fixing screw to flow together with the fixing shaft 240.
또 상기 제2링크(270)의 슬라이드홈(271)에는 진공조(260)저면을 통하여 도입된 연결봉(280)의 슬라이드핀(281)이 삽입되게 하고 연결봉(280)은 벨로우즈시일(290)을 통해 공압실린더(300)과 연결된다.In addition, a slide pin 281 of the connecting rod 280 introduced through the bottom of the vacuum chamber 260 is inserted into the slide groove 271 of the second link 270, and the connecting rod 280 opens the bellows seal 290. It is connected to the pneumatic cylinder 300 through.
따라서 밸브본체(200)의 게이트(210)는 상기 밸브본체(200) 좌우측에 플랜지결합되는 진공조 사이를 격리시키기 위한 것으로 게이트가 밸브본체의 해당부분에 압착될때 게이트 앞면의 O-링에 의해 실링밀폐된다.Therefore, the gate 210 of the valve body 200 is to isolate between the vacuum chamber that is flanged to the left and right sides of the valve body 200, when the gate is pressed to the corresponding portion of the valve body sealing by the O-ring on the front of the gate body It is sealed.
이러한 동작은 그림 제3b도에서와 같이 공압실린더(300)의 직선운동에 의해 별도의 진공조(260)내로 도입된 연결봉(280)의 슬라이드핀(281)이 제2링크(270)의 슬라이드홈(271)을 따라 유동하면서 제2링크(270)의 회전운동으로 변환시키고 상기 제2링크(270)에 고정된 고정축(240)을 슬리이브(250)내의 베어링과 구름마찰하면서 밸브본체(200)의 하부에 부착된 축브라켓트(213)를 통하여 축설되어 있는 제1링크(220)를 회전시킨다.In this operation, as shown in FIG. 3B, the slide pin 281 of the connecting rod 280 introduced into the separate vacuum chamber 260 by the linear movement of the pneumatic cylinder 300 is the slide groove of the second link 270. While flowing along the 271, the valve body 200 converts the rotational motion of the second link 270 into the rotational motion of the fixed shaft 240 fixed to the second link 270 with the bearing in the sleeve 250. Rotate the first link 220 is installed through the shaft bracket 213 attached to the lower portion of the).
이때 제1링크(220)는 축(241)을 중심으로 약간 회동하면서 제1링크(320)상면의 U자홈(221)에 결합된 제1힌지(212)를 밀어줌으로써 게이트(210)를 밀어주어 밸브본체(200)의 입구를 닫아주게 되며 O-링에 의해 기밀이 유지되는 것으로 밸브본체 외부에서 회전운동을 도입시켜 유지 및 보수가 용이한 것이다.At this time, the first link 220 is pushed to the gate 210 by pushing the first hinge 212 coupled to the U-shaped groove 221 on the upper surface of the first link 320 while rotating slightly around the axis 241. The inlet of the valve body 200 is closed, and the airtightness is maintained by the O-ring, thereby introducing a rotational movement from the outside of the valve body to facilitate maintenance and repair.
이상의 실시예에 의하면 본 고안은 벨로우즈를 통한 기밀유지와 연쇄를 이용하여 강력한 격리효과를 얻을수 있는 콤팩트한 진공격리장치를 제공하는것이다.According to the above embodiment the present invention is to provide a compact vacuum isolator that can obtain a strong isolation effect by using the airtight and chain through the bellows.
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019880022175U KR920004058Y1 (en) | 1988-12-30 | 1988-12-30 | Vacuum separating device of vacuum vessel for semiconductor manufacturing system |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019880022175U KR920004058Y1 (en) | 1988-12-30 | 1988-12-30 | Vacuum separating device of vacuum vessel for semiconductor manufacturing system |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR900013456U KR900013456U (en) | 1990-07-05 |
| KR920004058Y1 true KR920004058Y1 (en) | 1992-06-20 |
Family
ID=19282779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019880022175U KR920004058Y1 (en) | 1988-12-30 | 1988-12-30 | Vacuum separating device of vacuum vessel for semiconductor manufacturing system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR920004058Y1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210115415A (en) * | 2020-03-13 | 2021-09-27 | 주식회사 이큐셀 | Door Device with Sealing Function using Air |
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1988
- 1988-12-30 KR KR2019880022175U patent/KR920004058Y1/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR20210115415A (en) * | 2020-03-13 | 2021-09-27 | 주식회사 이큐셀 | Door Device with Sealing Function using Air |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR900013456U (en) | 1990-07-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 19980313 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |