KR900000686A - 열플럭스 질량유량계 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

열플럭스 질량유량계
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예를 설명하는 구성도,
제2도는 본 발명의 제2실시예를 설명하는 구성도,
제3도는 본발명의 제3실시예를 설명하는 구성도.

Claims (12)

  1. 흐르는 유체속에 배치되어 전력이 공급되며 열을 발생시킬수 있는 센서(11); 유체가 흐르는 방향에 대체로 수직인 방향으로 센서(11)로 부터 선정된 거리만큼 떨어져서 유체속에 배치된 열싱크(25); 유체에의해 조절되는 열플럭스가 센서(11)로부터 열싱크(25)로 흐르도록 야기시키기 위하여 센서(11)에 전력을 공급하는 수단(21); 및 흐르는 유체의 주위온도 이상의 센서(11)의 온도상승을 측정하고, 그 측정된 값으로 부터 흐르는 유체속도를 계산하기 위한 수단(23)의 조합을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체속도측정용 열플럭스 질량유량계.
  2. 제1항에 있어서, 센서(11)와 열싱크(25)는 흐르는 유체속에 배치될때 서로 평행하게 마주보는 면을 갖는 것을 특징으로 하는 유량계.
  3. 제1항에 있어서, 센서(11)는 열싱크(25)는 흐르는 유체속에 배치될때 서로 평행하게 마주보는 평면한면을 갖는 것을 특징으로 하는 유량계.
  4. 제1항에 있어서, 센서(11)는 코일(19)을 구비하고 상기 센서(11)는 유체속에 배치될때 열싱크(25)와 마주보는 평편한 면을 추가로 갖는 것을 특징으로 하는 유량계.
  5. 제1항에 있어서, 센서(11)는 코일(19)을 제공하도록 애칭된 금속층(17)을 갖춘 기판(15)을 포함하며, 또 흐르는 유체속에 배치될때 열싱크(25)와 마주보는 평편한 면을 갖는 것을 특징으로 하는 유량계.
  6. 유량계에 부착되며 유체가 흐르는 방향에 대략직각으로 배치되도록된 한 쌍의 금속열싱크(31),(33)와; 열싱크들(31),(33)사이에 동거리 배치되어 각각 열싱크(31),(33)방향으로 열을 방출시키기 위하여 양면에 방열면을 구비하고, 전력이 공곱되면 방열면에서 열을 발생시킬수 있는, 유량계에 구비된 센서(29)와; 센서(29)의 방열면으로 부터 열싱크(31),(33)로 흐르는 열플럭스(흐르는 유체에 으해 조절됨)를 야기시키기 위하여 센서(29)에 전력을 공급하기 위한 수단: 및 유체의 주위온도이상의 센서방열면의 온도상승을 측정하고, 그 측정된 값에 기초하여 유체속도를 계산하기 위한 수단의 조합을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체속도축정용 열플럭스 질량유량계.
  7. 제6항에 있어서, 방열면은 평편하고, 열싱크(31),(33)는 방열면과 평행한 평편한 면을 갖는 것을 특징으로 하는 유량계.
  8. 제6항에 있어서, 센서(29)는 코일(19)을 형성하도록 에칭된 금속층(17)으로 입혀진 기관(15)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계.
  9. 각각 흐르는 유체속에 배치되어 전력이 공급되면 맞은편으로 열을 방출하는 평편한 방열면을 양면에 구비하며, 서로 평행하게 배치된 방열면을 가지고 유체가 흐르는 방향과 대체로 수직인 방향으로 서로 간격져있는 레퍼런스센서(37)와 액티브센서(35); 센서들(35),(37)사이에 배치된 열싱크(41)와 레퍼런스센서(37)의 맞은 편에 배치된 열싱크(43) 및 액티브센서(35)의 맞은 편에 배치된 열싱크(39)가 유체가 흐르는 방향과 수직방향으로 방열면중의 하나로 부터 등거리 간격져서 평행하게 배치되어 있는 3개의 금속열싱크(39),(41),(43); 흐르는 유체에 의하여 조절되는 열플럭스를 야기시켜 액티브센서(35)의 방열면으로부터 액티브센서(35) 양면의 맞은편에 있는 열싱크(39),(41)로 흐르게 하는, 액티브센서(35)에 전력을 공급하기 위한 수단; 액티브센서(35) 에 공곱되는 전력보다 대체로 낮은 수준의 전력을 레퍼런스센서(37)에 공급하기 위한 수단; 및 액티브센서(35)방열면과 레퍼런스센서(37) 방열면의 온도를 측정해서 액티브센서(35)온도에서 레퍼런스센서(37)의 온도를 빼고 그 온도차에 기초하여 유체의 속도를 계산하기 위한 수단의 조합을 특징으로 하는 유체속도 측정용 열플럭스 질량유량계.
  10. 전력이 공급될 때 열을 발생시킬수 있는 센서(11)를 흐르는 유체속에 배치하고; 흐르는 유체에 대체로 수직인 방향으로 센서(11)로 부터 선정된 거리만큼 간격을 두고 열싱크(25)를 배치하며; 흐르는 유체에의하여 조절되는 열플럭스를 센서(11)로부터, 열싱크(25)로 흐르도록 하기 위하여 센서(11)에 전력을 공급하고; 흐르는 유체의 주위온도의 상승온도이상의 센서(11)의 온도상승을 측정하며; 또 그 측정된 온도로 부터 유체가 흐르는 속도를 계산해 내는 것의 조합을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체속도척정방법.
  11. 제10항에 있어서, 제 2열싱크(33)를 제 1열싱크(31) 맞은편 센서(29)측의 유체속에 동거리로 추가 배치하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제 1센서(35)와 대항하는 제 2열싱크(41)옆을 흐르는 유체속에 제 2센서(37)를 동거리 배치하고, 상기 제 2열싱크(41)와 대항하는 제 2센서(37) 옆을 흐르는 유체속에 제 3열싱크(43)를 동거리 배치하며, 제 1센서(35)에 공급되는 전력보다 훨씬 낮은 전력을 제 2센서(37)에 공급하고, 제 2센서(37)의 온도를 측정하여 제 1센서(35)의 온도측정 값으로 부터 뺀 다음 유체속도를 계산하기 위하여 그 차이를 이용하는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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