Claims (8)
제 1 의 웨이퍼 수납 수단에 베열 수용된 웨이퍼(W)를 제 1 의 웨이퍼 수납수단에서 밀어올려 지지하는 밀어올림 지지수단과, 웨이퍼 유지용의 다수개의 홈 (20a)이 소정피치 간격으로 형성된 적어도 2쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체를 구비하고, 상기 밀어 올림 지지수단에 의하여 밀어올려 지지된 웨이퍼(W)를 이들의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체에 의하여 사이에 두고 지지하는 호울드 수단과, 상기 호울드 수단마다 웨이퍼(W)를 제2의 웨이퍼 수납수단에 반송하는 반송수단과, 를 갖고, 상기 호울드 수단의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체중에 적어도 2쌍이, 이들을 서로 개별적으로 독립하여 개폐 구동시키는 구동 수단을 갖는 것으로 이루어지는 웨이퍼 이동 전환장치.At least two pairs of pushing support means for pushing up and supporting the wafer W, which is housed in the first wafer storage means, by the first wafer storage means, and a plurality of grooves 20a for wafer holding at predetermined pitch intervals. A holder means having a support for holding the wafers therebetween and supported by the support for holding the wafers W pushed up by the pushing-up means to support the wafers therebetween; And at least two pairs of carriers for conveying the wafers W to the second wafer storage means for each of the holder means, and having at least two pairs of supports supporting the wafer of the holder means therebetween. A wafer transfer switching device comprising drive means for independently opening and closing driving.
제 1 의 웨이퍼 수납수단에 배열 수용된 웨이퍼(W)를 제 1 의 웨이퍼 수납수단에서 밀어올려 지지하는 밀어올림 지지수단과, 웨이퍼 유지용의 다수개의 홈 (20a)이 소정 피치 간격으로 형성된 적어도 2쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체를 구비하고, 상기 밀어 올림 지지수단에 의하여 밀어올려 지지된 웨이퍼(W)를 이들의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체에 의하여 사이에 두고 지지하는 호울드 수단과, 상기 호울드 수단마다 웨이퍼(W)를 제2의 웨이퍼 수납수단에 반송하는 반송수단과를 갖고, 상기 호울드 수단의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체중에 적어도 2쌍이, 이들을 서로 개별적으로 독립하여 개폐 구동시키는 구동 수단을 갖고, 상기 적어도 2쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체가, 각각의 웨이퍼 유지용의 홈(20a)이 서로 직렬로 나란 하도록 배열설치되어 있는 것으로 이루어지는 웨이퍼 이동 전환장치.At least two pairs of pushing support means for pushing up and holding the wafers W arranged in the first wafer storage means from the first wafer storage means, and a plurality of grooves 20a for holding the wafer at predetermined pitch intervals; A holder means having a support for holding the wafers therebetween and supported by the support for holding the wafers W pushed up by the pushing-up means to support the wafers therebetween; And a conveying means for conveying the wafer W to the second wafer storage means for each of the holder means, and at least two pairs of the supports for supporting the wafer of the holder means therebetween independently of each other. And a support means for driving the opening and closing, and the support for holding the at least two pairs of wafers therebetween is a groove 20a for holding each wafer. A wafer transfer switching device comprising: arranged in parallel with each other in series.
제 1 의 웨이퍼 수납 수단에 배열 수용된 웨이퍼(W)를 제 1 의 웨이퍼 수납수단에서 밀어올려 지지하는 밀어올림 지지수단과, 웨이퍼 유지용의 다수개의 홈 (20a)이 소정 간격으로 형성된 적어도 2쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체를 구비하고, 상기 밀어올림 지지수단에 의하여 밀어올려 지지된 웨이퍼를 이들의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체에 의하여 사이에 두고 지지하는 호울드 수단과, 상기 호울드 수단마다 웨이퍼(W)를 제2의 웨이퍼 수납수단에 반송하는 반송수단과, 를 갖고, 상기 호울드 수단의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체중에 적어도 2쌍이, 이들을 서로 개별적으로 독립하여 개폐 구동시키는 구동 수단을 갖고, 상기 적어도 2쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체가, 각각의 웨이퍼 유지용의 홈(20a)이 서로 병렬로 나란하도록 배열설치되어 있는 것으로 이루어지는 웨이퍼 이동 전환장치.At least two pairs of pushing support means for pushing up and holding the wafers W arranged in the first wafer storage means from the first wafer storage means, and a plurality of grooves 20a for holding the wafer at predetermined intervals. A holder having a support for holding the wafer therebetween, the holder for supporting the wafer pushed up by the pushing support means and supported by the support for holding the wafer therebetween, and the holder At least two pairs of conveying means for conveying the wafer W to the second wafer storage means for each of the means, and a support for holding the wafer of the holder means therebetween are independently opened and closed to drive each of them independently. And a support for supporting the at least two pairs of wafers between the grooves 20a for holding each wafer. They are arranged side-by-side installation to the wafer movement conversion device that made a.
제 1 항에 있어서, 적어도 2쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체의 각각이, 웨이퍼의 유지용의 홈(20a)의 다른 웨이퍼를 유지 할수 없는 홈을 갖는 웨이퍼 이동 전환장치.The wafer transfer switching device according to claim 1, wherein each of the supports for supporting at least two pairs of wafers therebetween has a groove which cannot hold another wafer of the groove (20a) for holding the wafer.
제 2 항에 있어서, 적어도 2쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체가, 각가의 웨이퍼 유지용의 홈(20a)이 서로 교호로 되도록, 배열설치 되어 있는 웨이퍼 이동 전환장치.The wafer transfer switching device according to claim 2, wherein a support for supporting at least two pairs of wafers therebetween is arranged such that grooves (20a) for holding respective wafers are alternated with each other.
제 3 항에 있어서, 적어도 2쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체 중에, 한쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체의 웨이퍼 유지용의 홈(20a)이 1개 뿐인 웨이퍼 이동 전환장치.4. The wafer transfer switching device according to claim 3, wherein only one groove (20a) for wafer holding of the support for supporting the pair of wafers is supported among the supports for supporting the at least two pairs of wafers therebetween.
제 2 항에 있어서, 적어도 2쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체가, 그의 한쪽이 다른쪽 보다 큰 웨이퍼 이동 전환장치.The wafer transfer switching device according to claim 2, wherein a support for supporting at least two pairs of wafers therebetween is larger than one of the supports.
제 1 항에 있어서, 적어도 2쌍의 웨이퍼를 사이에 두고 지지하는 지지체에 형성된 웨이퍼 유지용의 홈(20a)의 피치간격이, 제 1 의 웨이퍼 수납수단의 웨이퍼 유지용의 홈의 피치간격과 동일한 웨이퍼 이동 전환장치.2. The pitch spacing of the grooves for wafer holding formed in the support for holding at least two pairs of wafers therebetween is equal to the pitch spacing of the grooves for wafer holding of the first wafer storage means. Wafer Shift Converter.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.