KR880001034A - 실리콘 피이드 시스템 - Google Patents
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- C30—CRYSTAL GROWTH
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- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 일실시예를 도시하는 부분단면 정면도. 제3도는 제2도에서 도시된 피이드 시스템, 특히 원통형 피이드 기구와 그 내부 구성요소를 세부에 걸쳐 도시하는 측단면도. 제4도는 제3도에 도시된 것과 동일한 피이드 시스템의 평면도.
Claims (7)
- 단결정 덴드리틱 웨브 실리콘 리본이 뽑아지는 노내부의 실리콘 멜트에 근본적으로 금속오염을 부가함이 없이 다양한 크기 및 형태로된 실리콘 입자를 공급하기 위하여 배출 및 가스뒤채움 될수 있으며, 저장기에서부터 다양한 크기 및 형태의 실리콘 입자를 송급하기 위한 상부공급장치를 갖는 장치에 있어서, 수평 정위된 하우징(36)의 한단부근처에서 상기 하우징(36)위쪽에 위치되어 상기 하우징(36)의 내부와 연통하는 상기 상부 공급장치(32)를 가지고 원통형 보어를 구비한 수평 정위된 비금속하우징(36)과 ; 상기 하우징(36)의 내부 근처에서 비금속 표면을 갖고 상기 하우징(36)의 양단부를 밀봉적으로 밀폐하는 밀폐장치(40,42)와 ; 최소한 하나의 상기 밀폐장치(40,42)를 통과하고 실질적으로 상기 밀폐장치(40,42)내의 구경공에 의해 위치 선정된 상기 하우징(36)의 주축을 따라 위치된 회전 가능한 샤프트(46)와 ; 다수의 강모(48)로 구성된 오오거와, 상기 강모(48)는 상기 회전 가능한 샤프트(46)에 고정된 한단부를 가지며 상기 샤프트(46)에서부터 나선 형태로 방사상 외부쪽을 향해 뻗어 있으며, 상기 강모는 최소한 비금속재료의 외부 표면 및, 실질적으로 상기 하우징(36)의 내부 표면에 도달하는 길이를 가지며 ; 상기 입자가 오오거에 의해 하부 배출장치(50)까지 이동되자 마자 다양한 크기 및 형태로된 실리콘 입자를 상기 하우징(36)으로부터 배출하기 위하여 최소한 비금속재료의 내부 표면을 갖는 하부 배출장치(50)와 ; 상기 샤프트를 선결된 방향으로 회전시키기 위한 장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 피이드 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 밀폐 장치는 상기 밀봉형 밀폐를 형성하도록 상기 하우징(36)의 단부에 관하여 상기 엔드피이스(38)를 압축하기 위한 인장장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 피이드 시스템.
- 제2항에 있어서, 상기 밀폐장치는 상기 엔드 피이스(38,40)와 상기 하우징(36)사이에 배치된 탄성중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 피이드 시스템.
- 제1항, 또는 제2항, 또는 제3항에 있어서, 상기 강모는 나일론으로 구성된 것을 특징으로 하는 실리콘 피이드 시스템.
- 제4항에 있어서, 샤프트(46)를 회전시키기 위한 상기 장치는 노 내부의 실리콘 멜트의 레벨을 측정하는 센서로부터의 출력에 의해 제어되는 가변속도 모우터인 것을 특징으로 하는 실리콘 피이드 시스템.
- 제5항에 있어서, 상기 상부 공급장치(32)는 상기 수평정위된 하우징의 한단부 근처에 위치되어 있으며, 상기 하부 배출장치(50)는 상기 수평 정위된 하우징(36)의 다른 한단부 근처에 위치된 것을 특징으로 하는 실리콘 피이드 시스템.
- 제6항에 있어서, 상기 비금속 표면은 폴리프로필렌과 델린중의 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 피이드 시스템.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US87924986A | 1986-06-27 | 1986-06-27 | |
US879249 | 1992-05-05 |
Publications (1)
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---|---|
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Family
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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Families Citing this family (1)
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-
1987
- 1987-06-10 IN IN452/CAL/87A patent/IN166547B/en unknown
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- 1987-06-18 IT IT20942/87A patent/IT1204737B/it active
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- 1987-06-26 JP JP62160819A patent/JPS638295A/ja active Pending
- 1987-06-27 KR KR1019870006575A patent/KR880001034A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
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