KR870004317A - 반사경의 냉각장치 - Google Patents

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KR870004317A
KR870004317A KR1019850007543A KR850007543A KR870004317A KR 870004317 A KR870004317 A KR 870004317A KR 1019850007543 A KR1019850007543 A KR 1019850007543A KR 850007543 A KR850007543 A KR 850007543A KR 870004317 A KR870004317 A KR 870004317A
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reflector
hole
porous body
cooling device
reflecting
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KR1019850007543A
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야스아끼 나가노
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시부야 히로도시
시부야 고오교오 가부시끼가이샤
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/08—Mirrors

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Abstract

내용 없음

Description

반사경의 냉각 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예를 표시하는 단면도.
제2도는 본 발명의 다른 실시예를 표시하는 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
5 : 호울더 6 : 반사경
7 : 다공질체 10 : 구멍
11 : 유체통로 L : 레이저 광선

Claims (7)

  1. 호울더내에 레이저 광선을 반사하는 반사경과 냉각유체의 유통을 허용하는 열전도율이 좋은 다공질체를 수납하여 그 다공질체를 상기 반사경의 레이저광선의 반사면과는 반대측의 배면에 접촉시키고 상기 다공질체에 상기 반사경에 의한 레이저 광선의 반사부의 대략 중심부에 일치시켜서 반사경과 반대측의 단면에 개구하는 구멍을 형성하고 또한 상기 다공질체의 구멍내에 냉각 유체를 공급하는 유체통로와 상기 다공질체의 구멍으로부터 다공질체내부를 통하여 그의 외주면측에 유통된 냉각유체를 배출하는 배출통로를 설치한 것을 특징으로 하는 반사경의 냉각장치.
  2. 제1항에 있어서 상기 호울더는 반사경의 반사면 외주부를 지지하는 반경방향 안쪽으로 돌출한 지지부를 갖추고 상기 배출통로는 상기 다공질체의 외주면과 반사경의 외주면과의 폭의범위 내에서 양자에 걸쳐서 상기 호울더의 내주면 원주방향으로 형성한 환상홈과 이 환상홈에 연통하여 또한 상기 호울더의 내주면 축방향으로 형성한 반사경의 반사면까지 뻗은 축방향홈과 이 축방향홈에 연통시켜서 상기 지지부에 형성한 반경방향 홈으로 구성된 것을 특징으로 하는 반사경의 냉각장치.
  3. 제1항에 있어서 상기 구멍이 바닥이 있는 구멍인 것을 특징으로 하는 반사경의 냉각장치.
  4. 제3항에 있어서 상기 구멍이 반사경측이 소경으로 된 단부(段付)구멍인 것을 특징으로 하는 반사경의 냉각장치.
  5. 제3항에 있어서 상기 구멍이 반사경측이 축경한 테이퍼 구멍인 것을 특징으로 하는 반사경의 냉각장치.
  6. 제1항에 있어서 상기 다공질체가 소결금속으로 구성된 것을 특징으로 하는 반사경의 냉각장치.
  7. 제1항에 있어서, 냉각유체가 냉각공기인 것을 특징으로 하는 반사경의 냉각장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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