KR850004145A - Ferromagnetic materials and magnetic heads using them - Google Patents

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Abstract

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Description

강자성 재료 및 이를 사용한 자기 헤드Ferromagnetic materials and magnetic heads using them

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음As this is a public information case, the full text was not included.

제1도는 Fe-Si-Ru합금의 Ru량과 포화 자속 밀도와의 관계를 도시한 도표.1 is a graph showing the relationship between the Ru content of the Fe-Si-Ru alloy and the saturation magnetic flux density.

제2도는 본 발명의 1실시예에 있어서의 박막 자기 헤드의 중요부의 단면도.2 is a cross-sectional view of an essential part of a thin film magnetic head according to an embodiment of the present invention.

제3도는 본 발명의 1실시예에 있어서의 박막 자기헤드 및 그외의 박막 자기 헤드의 주 작극 선단부의 두께와 D50(헤드의 기억 재생 출력이, 충분히 낮은 기록밀도에 있어서의 출력 수치가 1/2로 될때의 기록밀도를 도시함)과의 관계를 도시한 도표.3 shows the thickness of the main active tip of the thin film magnetic head and other thin film magnetic heads in accordance with the first embodiment of the present invention, and D 50 (the output value at a recording density at which the memory reproduction output of the head is sufficiently low is 1 / Chart showing the recording density when the value is 2).

Claims (79)

Si를 2 내지 12wt%, Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 내지 25wt% 포함하는 Fe 합금으로 되는 것을 특징으로 하는 강자성 재료.A ferromagnetic material comprising a Fe alloy containing at least 1 element selected from the group consisting of 2 to 12 wt% Si, Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, Ag and 25 wt% Si. 상기 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 10 내지 20wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제1항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 1, comprising 10 to 20 wt% of at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, and Ag. 상기 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 15 내지 20wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제2항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 2, comprising 15 to 20 wt% of at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, and Ag. 상기 Si의 함유량이 4.5 내지 8wt% 인것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제1항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 1, wherein the content of Si is 4.5 to 8 wt%. 상기 Si의 함유량이 4.5 내지 8wt% 인것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제2항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 2, wherein the Si content is 4.5 to 8 wt%. 상기 Si의 함유량이 4.5 내지 8wt% 인것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제3항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 3, wherein the content of Si is 4.5 to 8 wt%. 상기 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 실질적으로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제1항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 1, wherein the Si and Ru are included, and the remaining portion is substantially Fe. 상기 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 실질적으로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제4항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 4, wherein the Si and Ru are included, and the remaining portion is substantially Fe. 보다더, 3wt%미만의 Aℓ를 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제1항 기재의 강자성 재료.Furthermore, the ferromagnetic material according to claim 1, which comprises less than 3 wt% Al. 보다더, Ti,Cr,V,Mo,Zr,Nb로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5wt% 이하 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제1항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 1, further comprising 5 wt% or less of at least one element selected from the group consisting of Ti, Cr, V, Mo, Zr, and Nb. 보다더, Ti,Cr,V,Mo,Zr,Nb로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5wt% 이하 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제9항 기재의 강자성 재료.Furthermore, the ferromagnetic material according to claim 9, which contains 5 wt% or less of at least one element selected from the group consisting of Ti, Cr, V, Mo, Zr, and Nb. Si를 2 내지 12wt%, Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5 내지 25wt% 포함하는 Fe합금으로 되는 주자성체막과, 다른 재료로 되는 중간막과를 반복해서 적층하여 되는 것을특징으로 하는 강자성 재료.A main magnetic film made of a Fe alloy containing 5 to 25 wt% of at least one element selected from the group consisting of 2 to 12 wt% Si, Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, and Ag, and an interlayer film made of another material; A ferromagnetic material characterized by being laminated repeatedly. 상기 Fe합금이 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 10 내지 20wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제12항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 12, wherein the Fe alloy contains 10 to 20 wt% of at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, and Ag. 상기 Fe합금이 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 15 내지 20wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제12항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 12, wherein the Fe alloy contains 15 to 20 wt% of at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, and Ag. 상기 Si의 함유량의 4.5 내지 8wt%인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제12항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 12, wherein the content of Si is 4.5 to 8 wt%. 상기 Si의 함유량의 4.5 내지 8wt%인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제13항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 13, wherein the content of Si is 4.5 to 8 wt%. 상기 Si의 함유량의 4.5 내지 8wt%인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제14항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 14, wherein the content of Si is 4.5 to 8 wt%. 상기가 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 주로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제12항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 12, wherein the above comprises Si and Ru, and the remaining part is mainly Fe. 상기 Fe합금이 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 주로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제15항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 15, wherein the Fe alloy contains Si and Ru, and the remaining part is mainly Fe. 보다 더, 상기 Fe합금이 3wt% 미만의 Aℓ를 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제12항 기재의 강자성 재료.Furthermore, the ferromagnetic material according to claim 12, wherein the Fe alloy comprises less than 3 wt% Al. 보다더 상기가 Ti,Cr,V,Mo,Zr,Nb로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5wt% 이하 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제12항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 12, further comprising 5 wt% or less of at least one element selected from the group consisting of Ti, Cr, V, Mo, Zr, and Nb. 보다더 상기 Fe합금이 Ti,Cr,V,Mo,Zr,Nb로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5wt% 이하 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제20항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 20, wherein the Fe alloy contains 5 wt% or less of at least one element selected from the group consisting of Ti, Cr, V, Mo, Zr, and Nb. 상기 주자성 체막의 1층의 막의 두께가 0.02 내지 0.5μm이며, 상기 중간막의 1층의 막의 두께가 20 내지 500Å인것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제12항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 12, wherein the thickness of one layer of the main magnetic body film is 0.02 to 0.5 µm, and the thickness of one layer of the interlayer film is 20 to 500 kPa. 상기 주자성 체막의 1층의 막의 두께가 0.05 내지 0.1μm이며, 상기 중간막의 1층의 막의 두께가 50 내지 200Å인것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제12항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 12, wherein the thickness of one layer of the main magnetic film is 0.05 to 0.1 µm and the thickness of one layer of the intermediate film is 50 to 200 microns. 상기 중간막이 SiO2,AℓO3,Co, 강자성 Co합금 및 Ni-Fe합금으로 되는 군에서 선택한 1재료로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범의 제12항 기재의 강자성 재료.The ferromagnetic material according to claim 12, wherein the interlayer is made of one material selected from the group consisting of SiO 2 , AlO 3 , Co, ferromagnetic Co alloys, and Ni-Fe alloys. 적어도 1개의 자극의 적어도 일부가 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au 및 Ag로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소 및 Si를 포함하는 Fe합금으로 되는 것을 특징으로 하는 자기헤드.A magnetic head comprising at least a portion of at least one magnetic pole comprising a Fe alloy containing Si and at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au and Ag. 상기 Fe합금이 Si를 2 내지 12wt%, Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5 내지 25wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제26항 기재의 자기헤드.Claim 26 wherein the Fe alloy contains 5 to 25 wt% of at least one element selected from the group consisting of 2 to 12 wt% Si, Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au and Ag. Magnetic head of the substrate. 상기 Fe합금이 상기 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 10 내지 20wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제27항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 27, wherein the Fe alloy contains 10 to 20 wt% of at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, and Ag. 상기 Fe합금이 상기 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 15 내지 20wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제27항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 27, wherein the Fe alloy contains 15 to 20 wt% of at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, and Ag. 상기 Si의 함유량이 4.5 내지 8wt%인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제27항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 27, wherein the Si content is 4.5 to 8 wt%. 상기 Si의 함유량이 4.5 내지 8wt%인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제29항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 29, wherein the content of Si is 4.5 to 8 wt%. 상기 Si의 함유량이 4.5 내지 8wt%인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제28항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 28, wherein the content of Si is 4.5 to 8 wt%. 상기 Fe합금이 상기 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 실질적으로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제26항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 26, wherein the Fe alloy comprises Si and Ru, and the remaining portion is substantially Fe. 상기 Fe합금이 상기 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 실질적으로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제27항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 27, wherein the Fe alloy includes the Si and Ru and the remaining portion is substantially Fe. 상기 Fe합금이 상기 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 실질적으로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제30항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 30, wherein the Fe alloy includes the Si and Ru and the remaining portion is substantially Fe. 상기 Fe합금이 또 3wt%미만의 Aℓ를 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제27항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 27, wherein the Fe alloy further contains less than 3 wt% Al. 상기 Fe합금이 또, Ti,Cr,V,Mo,Zr,Nb로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5wt% 이하 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제27항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 27, wherein the Fe alloy further contains 5 wt% or less of at least one element selected from the group consisting of Ti, Cr, V, Mo, Zr, and Nb. 상기 Fe합금이 또, Ti,Cr,V,Mo,Zr,Nb로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5wt% 이하 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제36항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 36, wherein the Fe alloy further contains 5 wt% or less of at least one element selected from the group consisting of Ti, Cr, V, Mo, Zr, and Nb. 신호 자계의 발생 및 검출을 행하는 자극의 적어도 자기기록 매체측 부분이 상기 Fe합금으로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구 범위 제26항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 26, wherein at least a magnetic recording medium side portion of the magnetic pole for generating and detecting a signal magnetic field is made of said Fe alloy. 신호 자계의 발생 및 검출을 행하는 자극의 적어도 자기기록 매체측 부분이 상기 Fe합금으로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구 범위 제27항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 27, wherein at least a magnetic recording medium side portion of the magnetic pole for generating and detecting a signal magnetic field is made of said Fe alloy. 적어도 1개의 자극의 적어도 1부가 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au 및 Ag로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소 및 Si를 함유하는 Fe합금으로 되는 주자성체막과 다른 재료로 되는 중간막과를 반복해서 적층하여 되는 강자성 다층막으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제26항 기재의 자기헤드.At least one part of the at least one magnetic pole is repeated with a main magnetic film made of Fe alloy containing at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au and Ag and a Fe alloy containing Si and an interlayer film made of a different material The magnetic head according to claim 26, which is composed of a ferromagnetic multilayer film which is laminated by lamination. 상기 Fe합금이 상기 Si를 2 내지 12wt%, Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au 및 Ag로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 25wt%이하 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제41항 기재의 자기헤드.42. The claim of claim 41, wherein the Fe alloy contains at least 25 wt% of at least one element selected from the group consisting of 2-12 wt% of Si, Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au and Ag. Magnetic head of the substrate. 상기 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 15 내지 25wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제42항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 42, comprising 15 to 25 wt% of at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, and Ag. 상기 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 10 내지 20wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제42항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 42, comprising 10 to 20 wt% of at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, and Ag. 상기 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au,Ag으로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 15 내지 20wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제42항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 42, comprising 15 to 20 wt% of at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au, and Ag. 상기 Si의 함유량이 4.5 내지 8wt%인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제42항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 42, wherein the Si content is 4.5 to 8 wt%. 상기 Si의 함유량이 4.5 내지 8wt%인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제43항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 43, wherein the content of Si is 4.5 to 8 wt%. 상기 Si의 함유량이 4.5 내지 8wt%인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제44항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 44, wherein the Si content is 4.5 to 8 wt%. 상기 Si의 함유량이 4.5 내지 8wt%인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제45항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 45, wherein the Si content is 4.5 to 8 wt%. 상기 Fe합금이 상기 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 실질적으로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제41항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 41, wherein the Fe alloy includes the Si and Ru, and the remaining portion is substantially Fe. 상기 Fe합금이 상기 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 실질적으로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제42항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 42, wherein the Fe alloy comprises the Si and Ru, and the remaining portion is substantially Fe. 상기 Fe합금이 상기 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 실질적으로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제43항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 43, wherein the Fe alloy includes the Si and Ru and the remaining portion is substantially Fe. 상기 Fe합금이 상기 Si 및 Ru를 포함하고, 나머지 부분이 실질적으로 Fe로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제47항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 47, wherein the Fe alloy includes the Si and Ru and the remaining portion is substantially Fe. 상기 Fe합금이 또 3wt%미만의 Aℓ를 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제43항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 43, wherein the Fe alloy further contains less than 3 wt% Al. 또, 상기가 Ti,Cr,V,Mo,Zr,Nb로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5wt% 이하 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제43항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 43, wherein the magnetic head comprises at least 5 wt% or less of at least one element selected from the group consisting of Ti, Cr, V, Mo, Zr, and Nb. 또, 상기 Fe합금이 Ti,Cr,V,Mo,Zr,Nb로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5wt% 이하 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제54항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 54, wherein the Fe alloy contains 5 wt% or less of at least one element selected from the group consisting of Ti, Cr, V, Mo, Zr, and Nb. 상기 주자성 체막의 1층의 막의 두께가 0.02 내지 0.5μm이며, 상기 중간막의 1층의 막의 두께가 20 내지 500Å인것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제41항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 41, wherein the thickness of one layer of said main magnetic body film is 0.02 to 0.5 µm, and the thickness of one layer of said intermediate film is 20 to 500 micrometers. 상기 주자성 체막의 1층의 막의 두께가 0.05 내지 0.1μm이며, 상기 중간막의 1층의 막의 두께가 50 내지 200Å인것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제41항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 41, wherein the thickness of one layer of the main magnetic film is 0.05 to 0.1 µm and the thickness of one layer of the intermediate film is 50 to 200 microns. 상기 중간막이 SiO2,Aℓ2O3,Co, 강자성 Co합금 및 Ni-Fe합금으로 되는 군에서 선택한 1재료로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범의 제41항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 41, wherein the interlayer is made of one material selected from the group consisting of SiO 2 , Al 2 O 3 , Co, ferromagnetic Co alloys, and Ni-Fe alloys. 신호 자계의 발생 및 검출을 행하는 자극의 적어도 자기 기록 매체측 부분이 상기 강자성 다층막으로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제41항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 41, wherein at least a portion of the magnetic recording medium side of the magnetic pole for generating and detecting a signal magnetic field becomes the ferromagnetic multilayer film. 신호 자계의 발생 및 검출을 행하는 자극의 적어도 자기 기록 매체측 부분이 상기 강자성 다층막으로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제43항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 43, wherein at least a portion of the magnetic recording medium side of the magnetic pole for generating and detecting a signal magnetic field becomes the ferromagnetic multilayer film. 수직 자기 기록용으로서, 주자극의 적어도 자기기록 매체측 부분이 상기 강자성 다층막으로 되는 것을 특징으로 하는 특허청구 범위 제41항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 41, wherein at least a portion of the magnetic recording medium side of the main magnetic pole becomes the ferromagnetic multilayer film for vertical magnetic recording. 상기 Fe합금이 상기 Si를 2 내지 12wt%, Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au 및 Ag로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 25wt%이하 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제62항 기재의 자기헤드.62. The claim of claim 62, wherein the Fe alloy contains at least 1 element selected from the group consisting of 2 to 12 wt% of Si, Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au and Ag. Magnetic head of the substrate. 상기 Ru,Rh,Pd,Ir,Pt,Au 및 Ag로 되는 군에서 선택한 적어도 1원소를 5 내지 25wt% 포함하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제63항 기재의 자기헤드.The magnetic head as set forth in claim 63, comprising 5 to 25 wt% of at least one element selected from the group consisting of Ru, Rh, Pd, Ir, Pt, Au and Ag. 상기 강자성 다층막의 적층수가 2 내지 10인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제62항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 62, wherein the number of laminations of the ferromagnetic multilayer film is 2 to 10. 상기 강자성 다층막의 적층수가 2 내지 10인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제63항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 63, wherein the number of laminations of the ferromagnetic multilayer film is 2 to 10. 상기 강자성 다층막의 적층수가 2 내지 10인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제64항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 64, wherein the number of laminations of the ferromagnetic multilayer film is 2 to 10. 상기 강자성 다층막의 적층수가 4 내지 8인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제62항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 62, wherein the number of laminations of the ferromagnetic multilayer film is 4 to 8. 상기 강자성 다층막의 적층수가 4 내지 8인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제63항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 63, wherein the number of laminations of the ferromagnetic multilayer film is 4 to 8. 상기 강자성 다층막의 적층수가 4 내지 8인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제64항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 64, wherein the number of laminations of the ferromagnetic multilayer film is 4 to 8. 상기 강자성 다층막의 적층수가 4 내지 6인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제62항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 62, wherein the number of laminations of the ferromagnetic multilayer film is 4 to 6. 상기 강자성 다층막의 적층수가 4 내지 6인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제63항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 63, wherein the number of laminations of the ferromagnetic multilayer film is 4 to 6. 상기 강자성 다층막의 적층수가 4 내지 6인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제64항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 64, wherein the number of laminations of the ferromagnetic multilayer film is 4 to 6. 상기 주자극의 선단에 있어서의 상기 강자성 다층막의 두께가 0.1 내지 0.5μm인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제62항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 62, wherein the ferromagnetic multilayer film at the tip of the main magnetic pole has a thickness of 0.1 to 0.5 m. 상기 주자극의 선단에 있어서의 상기 강자성 다층막의 두께가 0.1 내지 0.5μm인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제63항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 63, wherein the ferromagnetic multilayer film at the tip of the main magnetic pole has a thickness of 0.1 to 0.5 m. 상기 주자극의 선단에 있어서의 상기 강자성 다층막의 두께가 0.1 내지 0.5μm인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제64항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 64, wherein the ferromagnetic multilayer film at the tip of the main magnetic pole has a thickness of 0.1 to 0.5 m. 상기 주자극의 선단에 있어서의 상기 강자성 다층막의 두께가 0.1 내지 0.3μm인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제62항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 62, wherein the ferromagnetic multilayer film at the tip of the main magnetic pole has a thickness of 0.1 to 0.3 m. 상기 주자극의 선단에 있어서의 상기 강자성 다층막의 두께가 0.1 내지 0.3μm인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제63항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 63, wherein the ferromagnetic multilayer film at the tip of the main magnetic pole has a thickness of 0.1 to 0.3 m. 상기 주자극의 선단에 있어서의 상기 강자성 다층막의 두께가 0.1 내지 0.3μm인 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 제64항 기재의 자기헤드.The magnetic head according to claim 64, wherein the ferromagnetic multilayer film at the tip of the main magnetic pole has a thickness of 0.1 to 0.3 m. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.
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