Claims (11)
도면에 표시하고 본문에 상술한 바와 같이 수압부본체와 이 수압부본체의 양측면에 각기 고압유체와 저압유체의 유체압력의 수압실을 형성하는 두개의 시일다이어프램과, 상기 수압부본체 내부에 설치된 상기 수압실에 연통하는 두개의 격리실을 형성하는 중심다이어프램과 한쪽면에 저항패터언이 형성되고 다른 쪽면의 주연부분과 중심부분이 살이 두껍게 형성된 반도체센서어와, 이 반도체센서어의 다른쪽 면의 주연부분에 접합된 중공의 지지체와, 이 지지체가 고정되고, 이 지지체의 중공부를 통해서 상기 반도체센서어의 다른쪽 면과 상기 한쪽의 수압실을 연통하는 제1의 도압로 및 상기 반도체센서어의 한쪽 면과 상기 다른 쪽의 수압실에 연통하는 제2의 도압로를 갖는 쇠장식을 갖추고, 상기 반도체센서어의 저항패터언이 형성된 면이 상기 수압본체측에 면하도록 배치된 구성요소를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 차압전송기.As shown in the drawings and described above in the main text, two seal diaphragms forming a hydraulic pressure chamber of a high pressure fluid and a low pressure fluid on both sides of the hydraulic pressure main body and the hydraulic pressure main body, respectively, A central diaphragm forming two isolation chambers communicating with the hydraulic chamber, a semiconductor sensor gear formed with a resistance pattern on one side, and a thickened periphery and a central portion on the other side, and a peripheral portion of the semiconductor sensor gear The first support path and one side of the semiconductor sensor gear are joined to the hollow support body, the support body is fixed, and communicates between the other surface of the semiconductor sensor gear and the one hydraulic chamber through the hollow portion of the support body. A metal fitting having a metal fitting having a second pressure path in communication with the other hydraulic chamber, and the surface on which the resistance pattern of the semiconductor sensor gear is formed is Differential pressure transmitter, characterized in that includes a component disposed so as to face the pressure body side.
상기 시일쇠장식은 상기 반도체센서어에 근접해서 반도체센서어로부터의 전기신호를 취출하는 프린트기판 및 하아메틱시일된 단자를 갖는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 1 기재의 차압전송기.The differential pressure transmitter according to claim 1, wherein the seal has a printed circuit board and a mechanically sealed terminal for extracting an electrical signal from the semiconductor sensor gear in close proximity to the semiconductor sensor gear.
상기 수압본부체는 그 단면이 대충 "「그」"자형으로 형성된 제1부재와 이 제1분재에 감합하는 제2부재로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 1 기재의 차압전송기.The differential pressure transmitter according to claim 1, wherein the pressure main body comprises a first member whose cross section is roughly " " shaped, and a second member fitted to the first bonsai.
상기 제1분재와 제2분재는 전자비임용접에 의해 접합되고, 용접 깊이가 4mm이상임을 특징으로 하는 특허청구의 범위 3 기재의 차압전송기.The differential pressure transmitter according to claim 3, wherein the first bonsai and the second bonsai are joined by electron beam welding and have a welding depth of 4 mm or more.
상기 중심다이어프램은 상기 제1부재에 전자비임용접되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 3 기재의 차압전송기.The differential pressure transmitter according to claim 3, wherein the center diaphragm is electromagnetic beam welded to the first member.
상기 전자비임용접의 용접폭을 상기 중심다이어프램의 판두께의 0.5~2배로 하는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 5 기재의 차압전송기.The differential pressure transmitter according to claim 5, wherein the welding width of the electron beam welding is 0.5 to 2 times the thickness of the center diaphragm.
상기 제2부재는 상기 중심다이어프램을 상기 제1부재에 압착시키는 돌부를 구비한 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 3 기재의 차압전송기.And the second member has a protrusion for pressing the central diaphragm to the first member.
상기 중심다이어프램은 상기 제1부재에 전자비임용접되고 그 안쪽을 상기 돌부에 의해 압착되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 7 기재의 차압전송기.The differential pressure transmitter according to claim 7, wherein the center diaphragm is electromagnetic beam welded to the first member, and the inside thereof is pressed by the protrusion.
수압부본체와, 이 수압부본체의 양측면에 각기 고압유체와 저압유체의 유체압력의 수압실을 형성하는 두개의 시일 다이어프램과 상기 수압부본체 내부에 설치되어 상기 수압실에 연통하는 두개의 격리실을 형성하는 중심다이어프램과 한쪽면에 저항패터언이 형성되고 다른쪽 면의 주연부분과 중심부분이 살이 두껍게 형성된 반도체 센서어와 이 반도체 센서어의 다른쪽 면의 주연부분에 접합된 중공의 지지체와 이 지지체가 공정되고, 이 지지체의 중공부를 통해서 상기 반도체센서어의 다른쪽면에 제1의 유체압력을 인도하는 제1의 도압로 및 상기 반도체센서어의 한쪽면에 제2의 유체압력을 인도하는 제2의 도압로를 형성하는 시일쇠 장식과, 이 시일쇠 장식의 제2의 도압로안에서 상기 반도체센서어에 근접해서 배치되며, 상기 반도체센서어에 의해서 얻어진 압력에 응한 전기신호를 외부에 취출하도록 배선된 세라믹기판과 이 세라믹 기판으로부터의 전기신호를 의부와 접촉하기 위한 연결기류를 수납하는 연결기수납부와 상기 제1 및 제2의 도압로와 상기 수압실을 연통하는 제3 및 제4의 도압로를 갖는 연결쇠장식을 구비하고, 상기 반도체센서어의 저항패터언이 형성된 면이 상기 수압부 본체측에 면하도록 배치된 구성요소를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 차압전송기.A hydraulic diaphragm, two seal diaphragms forming hydraulic pressure chambers of a high pressure fluid and a low pressure fluid on both sides of the hydraulic body, and two isolation chambers installed inside the hydraulic body to communicate with the hydraulic chamber. The semiconductor diaphragm formed with a resistance diaphragm formed on one side and a thickened peripheral portion and a central portion of the other side, and a hollow support bonded to the peripheral portion of the other side of the semiconductor sensor gear And a first pressure path for guiding a first fluid pressure to the other side of the semiconductor sensor gear through the hollow portion of the support, and a second fluid guiding second fluid pressure to one side of the semiconductor sensor gear. A seal decoration forming a pressure guiding path, and disposed in proximity to the semiconductor sensor gear in a second pressure guiding furnace of the seal decoration, And a connector storage section for storing a ceramic substrate wired to take out an electrical signal in response to the pressure obtained therein, and a connection airflow for contacting the electrical signal from the ceramic substrate with the prosthesis, the first and second precipitating paths, and A coupling fitting having third and fourth pressure passages communicating with the pressure receiving chamber, and having a component disposed such that a surface on which the resistance patternion of the semiconductor sensor is formed faces the pressure receiving body. Differential pressure transmitter.
상기 시일쇠장식은 그 외주가 내식성(耐食性)의 금속으로 커버되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 9 기재의 차압전송기.The differential pressure transmitter according to claim 9, wherein the seal fitting is covered with a metal of corrosion resistance.
수압부본체는 그 양측면에 홈이 형성되어 있고, 이 홈은 상기 수압실과 격리실을 연통하는 도압로에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 특허청구의 범위 9 기재의 차압전송기.The differential pressure transmitter according to claim 9, wherein the pressure receiving body has grooves formed on both sides thereof, and the groove is connected to a pressure passage communicating with the pressure chamber and the isolation chamber.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.