KR830001012B1

KR830001012B1 - Manufacturing method of airtight sealing member

Info

Publication number: KR830001012B1
Application number: KR1019800001998A
Authority: KR
Inventors: 마사오 사까이
Original assignee: 가부시기가이샤 히다찌세이사구쇼; 요시야마 히로기찌
Priority date: 1980-05-22
Filing date: 1980-05-22
Publication date: 1983-05-24

Abstract

내용 없음.No content.

Description

Manufacturing method of airtight sealing member

제1도는 마그네트론의 일례를 표시한 요부 단면도1 is a sectional view of the main portion showing an example of a magnetron

제2도는 제1도의 납땜 기밀봉착구조의 일례를 표시한 요부 단면도2 is a sectional view showing the principal parts showing an example of the solder hermetic sealing structure shown in FIG.

제3도는 제2도의 출력측 절연물의 일례를 표시한 확대단면도3 is an enlarged cross-sectional view showing an example of the output side insulator of FIG.

제4(a)도~제4(c)도는 종래의 원통형 기밀봉지(封止)용 부재의 제조방법을 설명하기 위한 요부단면 공정도4 (a) to 4 (c) are sectional views of main parts for explaining a conventional method for manufacturing a cylindrical hermetic sealing member.

제5(a)도~제5(d)도는 본 발명에 의한 기밀 봉지용 부재의 제조방법의 일례를 설명하기 위한 요부단면 공정도Fig. 5 (a) to Fig. 5 (d) are cross-sectional views of main parts for explaining an example of a method for manufacturing the airtight sealing member according to the present invention.

본 발명은 기밀봉착용 부재의 제조방법, 특히 낮은 생산비로 기밀봉착성을 향상시킨 기밀봉착용 부재의 제조방법에 관한 것이다. 일반적으로, 전자관에 있어서, 전극사이에 절연성을 충분히 주고, 또한 강도 및 내구성 등을 향상금시키기 위해서 세라믹과 금속부재를 접합하는 납땜 봉착구조가 많이 사용되고 있다.The present invention relates to a method for producing an airtight sealing member, particularly a method for producing an airtight sealing member with improved airtight sealing at a low production cost. In general, a solder seal structure for joining a ceramic and a metal member in order to provide sufficient insulation between electrodes and to improve strength, durability, and the like is widely used in an electron tube.

제1도는 세라믹과 금속부재와의 납땜 봉착구조가 사용되고 있는 마그네트론의 일례를 표시한 것이다.1 shows an example of a magnetron in which a solder sealing structure between a ceramic and a metal member is used.

동 도면에 있어서, (1)은 통모양으로 형성된 양극원통이며, 이 양극원통(1)의 중앙 내벽부에는 방사상으로 분할된 복수개의 공진공동을 형성하는 베인(2)이 착설되어, 이 양극 원통(1)과 베인(2)에 의해서 양극(3)이 구성되어 있다.In the figure, reference numeral 1 denotes an anode cylinder formed in a cylindrical shape, and a vane 2 for forming a plurality of radially divided resonant cavities is installed in the central inner wall of the anode cylinder 1, and the anode cylinder is installed. The anode 3 is constituted by (1) and vanes (2).

그리고, 이 양극(3)의 중심부에는 전열선을 나선형상으로 형성한 음극(4)이 배치되어, 이 음극(4)과 베인(2)과의 사이는 소정간격으로 유지되어서 작용공간(5)이 형성되어 있다.In the center of the anode 3, a cathode 4 having spiral heating elements is disposed, and the working space 5 is maintained between the cathode 4 and the vanes 2 at a predetermined interval. Formed.

또, 상기 양극(3)의 양단부에는, 원판형상의 단판(端板)(6a)(6b)이 그 주연부를 납땜 혹은 아아크용접등에 의해서 용착 고정되고, 또한 그 내면에 영구자석(7a)(7b)이 자석지지체(8a)(8b)에 의해 지지 고정되어서 자기회로(A)를 형성함과 동시에 작용공간(5)에 자속을 접속시키고 있다.In addition, disc-shaped end plates 6a and 6b are welded and fixed at the edges of the anode 3 by soldering or arc welding, and the permanent magnets 7a and 7b on the inner surface thereof. ) Is supported and fixed by the magnet supports 8a and 8b to form the magnetic circuit A and to connect the magnetic flux to the working space 5.

또, 단판(6a)의 외면에는, 예를들면 코바아로 형성된 금속원통체(9)가 납땜수단에 의해서 고착 배치되고, 이 금속원통체(9)의 타단측에는, 알루미나 세라믹에 의해서 형성된 세라믹원통체(10)가 납땜수단에 의해 고착되어서 구성된 기밀 봉착구조를 가지고 있고 또한, 이 세라믹 원통체(10)의 타단측에는, 동(銅)파이프로 형성된 배기관(11)이 고착되서 밀봉기가 구성되어 있다.In addition, on the outer surface of the end plate 6a, a metal cylindrical body 9 formed of, for example, a cobar, is fixedly arranged by soldering means, and on the other end side of the metal cylindrical body 9, a ceramic cylindrical body formed of alumina ceramics. (10) has an airtight sealing structure constructed by being fixed by soldering means, and on the other end side of the ceramic cylindrical body 10, an exhaust pipe 11 formed of copper pipe is fixed to form a sealer.

또, 이 배기관(11)은 상기 베인(2)의 일부에 접속된 안테나도선(12)과 기밀 압접되고, 또한, 이 배기관(11)의 외주면에는 금속커버(13)가 압접 고정되어, 기밀압접부를 보호하고, 또한 이 부분에 전계 집중에 의해 스파아크를 방지시킴과 동시에 고주파 안테나로서의 기능을 겸비하고 있다.In addition, the exhaust pipe 11 is hermetically welded to the antenna lead 12 connected to a part of the vane 2, and the metal cover 13 is press-fitted and fixed to the outer circumferential surface of the exhaust pipe 11, This part protects the part, prevents sparks by concentrating the electric field, and also functions as a high frequency antenna.

또, 상기 단판(6b)의 외면에는, 예를들면 코바아에 의해 형성된 금속원통체(14)가 납땜에 의해 고착 배치되고, 또한 금속원통쳬(14)의 타단측에는 음극(4)을 지지하는 축(15)이 상기와 같이 납땜에 의해서 고착 배치되어 있다.On the outer surface of the end plate 6b, for example, a metal cylindrical body 14 formed by a cobar is fixedly fixed by soldering, and on the other end side of the metal cylindrical member 14, the negative electrode 4 is supported. The shaft 15 is fixedly arranged by soldering as mentioned above.

이와같이 구성된 마그네트론은, 축(15)의 선단입력부에서 소정의 입력이 공급되면 음곡(4)이 가열되고 양극(3)에 소정의 전압이 인가되면, 음극(4)에서 열전자가 방사된다.In the magnetron configured as described above, when a predetermined input is supplied from the front end input portion of the shaft 15, the sound music 4 is heated, and when a predetermined voltage is applied to the anode 3, hot electrons are radiated from the cathode 4.

그리고, 이 열전자가 작용 공간(5)의 자계내에서 선회운동하는 것에 의해, 상기 공진공동내에서 고주파 발진이 행해지고, 이 발진출력이 안테나도선(12)을 통해서 고주파 안테나를 겸하는 금속커버(13)에서 예를들면 전자레인지의 오븐 내에 방사되어, 식품을 가열, 해동시킬 수가 있다. 또, 제2도는 제1도의 납땜 봉착구조의 상세의 일례를 표시한 것이다.As the hot electrons rotate in the magnetic field of the working space 5, high frequency oscillation is performed in the resonant cavity, and the oscillation output is the metal cover 13 serving as a high frequency antenna through the antenna lead 12. For example, it can be radiated in an oven of a microwave oven to heat and thaw food. 2 shows an example of the details of the soldering sealing structure of FIG.

동 도면에 있어서, (10)는 알루미나등을 주성분으로 하는 세라믹을 원통형상으로 형성하고 또한 그 단면이 몰리브덴 분말의 소결에 의해 금속가공된 세라믹 원통체이고, (9)은 코바아를 두께 0.3~1mm정도의 원통형으로 형성시킨 금속원통체이며, 이 세라믹 원통체(10)와 금속원통체(9)와의 단면 사이에 은-동합금 등의 납재료(16)를 개재시켜, 환원성 혹은 불활성 분위기중에서 가열하고, 납재료(16)를 용융시키는 것에 의해서, 소망의 기밀봉착을 행하고 있다.In the figure, reference numeral 10 denotes a ceramic cylindrical body in which a ceramic mainly composed of alumina or the like is formed in a cylindrical shape and its cross section is metal-processed by sintering of molybdenum powder. It is a metal cylinder formed into a cylindrical shape of about 1 mm, and is heated in a reducing or inert atmosphere by interposing a lead material 16 such as silver-copper alloy between the ceramic cylinder 10 and the end face of the metal cylinder 9. The desired hermetic sealing is performed by melting the lead material 16.

그러나, 이와같은 기밀봉착구조에 있어서, 뛰어난 품질을 얻기 위해서는 납땜부의 온도, 납재료의 순도 납땜시의 부품 사이의 가압 등에 대하여 면밀한 배려를 필요로 한다.However, in such an airtight sealing structure, in order to obtain the outstanding quality, careful consideration should be given to the temperature of the soldering part, pressurization between components during the purity soldering of the lead material, and the like.

특히 상술한 바와같이 금속원통체와 세라믹 원통체의 맞붙임 납땜구조에 있어서는, 세라믹 원통체(10)와 금속원통체(9)의 단면이 각각 충분한 평탄도를 갖고 마무리되어 있는 것이 필요하며, 통상 이들의 단면의 요철은 0.1mm이하로 관리되어 있지 않으면, 미소한 틈이 생겨서 기밀성파괴가 발생되거나, 접합강도가 저하된다. 이 때문에, 금속원통체(9)의 단면은, 제3도에 확대단면도로 표시한 바와 같이 절삭면(C)에서의 절삭마무리가공이 시행되는 것이 보통이다. 이와같이 절삭마무리가공은, 통상, 가공비가 극하 고가이다. 그리고, 이 금속원통체(9)를 제작하려면, 푸레스 가공의 분야에 있어서 일반적으로 제4(a)도~제4(c)도 표시한 바와 같은 가공수단을 취하고 있다.In particular, in the bonding soldering structure of the metal cylindrical body and the ceramic cylindrical body as described above, it is necessary that the cross sections of the ceramic cylindrical body 10 and the metal cylindrical body 9 are finished with sufficient flatness, respectively. If the unevenness of these cross sections is not managed to be 0.1 mm or less, a small gap is formed and airtight destruction occurs, or the joint strength decreases. For this reason, as for the cross section of the metal cylinder 9, as shown to the enlarged cross section in FIG. 3, the cutting finishing process in the cutting surface C is common. Thus, the finishing cost of cutting is usually extremely high. In order to manufacture this metal cylindrical body 9, generally, the processing means as shown to 4th (a)-4th (c) is also taken | formed in the field of the pressureless process.

즉, 제4(a)도에 표시한 바와같이 코바아금속으로 된 판재(17)를 푸레스성형 가공법에 의해 제4(b)도에 표시한 바와 같이 컵모양으로 푸레스 가공하여 컵(18)을 성형한 후, 제4(c)도에 표시한 바와 같이 가장자리를 짜르고, 바닥 천공가공을 형성하여 원통체(19)을 형성한다.That is, as shown in Fig. 4 (a), the plate 17 made of cobaa metal is subjected to a cup forming process as shown in Fig. 4 (b) by the method of forming the cup, and the cup 18 is pushed. ), The edges are squeezed as shown in Fig. 4 (c), and the bottom perforation is formed to form the cylindrical body 19.

그러나, 상기 방법에 의하면, 가장자리를 짜르고, 바닥 천공가공을 할때, 도시하지 않은 금형과 원통체(19)와의 클리어런스를 원주상에 균일하게 형성하는 것이 곤란하며, 또, 푸레스가공의 경우, 상부의 만곡부가 원주상에서 불균일하게 되기 때문에 제작된 원통체(19)의 단면의 평탄도가 현저하게 저하되는 결점이 있었다.According to the above method, however, it is difficult to uniformly form a clearance between the mold and the cylindrical body 19 (not shown) on the circumference when cutting the edges and performing the bottom punching. Since the upper curved portion becomes nonuniform on the circumference, there is a drawback that the flatness of the cross section of the cylindrical body 19 produced is significantly reduced.

이와같은 결점을 개선하려고 한 것으로서는, 원통체(19)의 양단부를 중심축에 대하여 수직면으로 되도록 전단(剪斷)방법에 제안되고 있으나, 순송형식의 금형으로 상기 전단공정을 동시에 하는 것은, 설비, 기술상의 점에 있어서 현저한 곤란성이 뒤따르고, 또한 생산비가 대폭 상승하는 결점이 있었다.In order to remedy such drawbacks, the shearing method has been proposed such that both ends of the cylindrical body 19 are perpendicular to the central axis. On the technical point of view, there is a drawback that the remarkable difficulty is accompanied and the production cost increases significantly.

따라서 본 발명은, 상기 종래의 결점에 감안하여서된 것이며, 충분한 단면평탄도를 갖인 원통형 기밀봉착 부재를 염가의 가공법으로 얻어지는 기밀봉착용 부재의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 하고있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above conventional drawbacks, and an object of the present invention is to provide a method for producing an airtight sealing member in which a cylindrical airtight sealing member having a sufficient cross-sectional flatness is obtained by a cheap processing method.

이하 도면에 따라 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

제5(a)~제5(d)도는 본 발명에 의한 기밀봉착용 부재의 제조방법의 일실시예를 설명하기 위한 확대단면 공정도이다.5 (a) to 5 (d) are enlarged cross-sectional process diagrams for explaining one embodiment of a method for manufacturing an airtight sealing member according to the present invention.

동 도면에 있어서, 우선, 제5(a)도에 표시한 바와 같이 코바아 금속으로 된 판재(17)를 푸레스성형가공법에 의해 컵모양으로 가공하여, 제5(b)도에 표시한 바와 같이 컵(18)을 성형한 후, 제5(c)도에 표시한 바와 같이 컵(18)의 입구부 내측 및 저부 외면측에 각각 직경이 D₁＞D₄,D₂＞D₃의 관계를 만족할 수 있도록 부분적으로 절취하는 가공을 시행한 후, 턱부(18a)및 저부(18b)를 각각 끊어내고 또한 바닥 천공 가공을 시행하여 제5(d)도에 표시한 바와 같이 원통형의 기밀봉착부재(20)을 완성시킨다.In the same drawing, first, as shown in Fig. 5 (a), the plate 17 made of a cobara metal is processed into a cup shape by a punch forming method, and as shown in Fig. 5 (b). After forming the cup 18 in the same manner, as shown in FIG. 5 (c), the diameters of the cups 18 in the inner side of the inlet and the bottom of the bottom are respectively D ₁ > D ₄ , D ₂ > D ₃ . After performing the partly cut process to satisfy the condition, the jaw portion 18a and the bottom portion 18b are cut off, respectively, and the bottom perforation process is performed, and as shown in FIG. Complete 20.

이와 같은 방법에 의하면, 절취공정에 의해 단면의 평탄도가 충분히 확보되어 있고, 통상의 순송형식의 금형에 절취공정을 증설하는 것만으로 실시할 수 있으므로, 생산비가 극히 염가로 더우기 충분한 신뢰성을 갖는 기밀봉착구조가 얻어진다. 또한, 상기 실시예에 있어서, 기밀 봉착부재에 코바아를 성형 가공한 경우에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 철, 동 등의 금속을 사용해도 전술과 같은 효과각 얻어진다.According to such a method, the flatness of the cross section is sufficiently secured by the cutting process, and it can be carried out simply by adding the cutting process to the mold of the ordinary forwarding type. A sealing structure is obtained. In addition, in the above embodiment, the case where the cobar is formed into the hermetic sealing member has been described. However, the present invention is not limited thereto, and the same effect angles as described above can be obtained even when a metal such as iron or copper is used. .

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 기밀봉착용 부재의 제조방법에 의하면, 단면평탄도가 높은 금속원통체가 간단한 공정으로 용이하게 얻어지므로, 기밀봉착성, 접착강도, 내구성이 높은, 고품질, 고신뢰성의 납땜 기밀봉착구조가 염가로 가능해지는 극히 뛰어난 효과가 얻어진다.As described above, according to the manufacturing method of the hermetic sealing member according to the present invention, since the metal cylinder having a high cross-sectional flatness is easily obtained in a simple process, the hermetic sealing property, high adhesive strength, high durability, high quality and high reliability The extremely excellent effect that the solder hermetic sealing structure becomes possible at low cost is obtained.

Claims

A hermetic sealing structure in which a cross section is sealed between a metal cylindrical body and a ceramic cylindrical body by interposing a lead material, wherein the metal cylindrical body is subjected to a process of forming a cup by punching a sheet material and soldering the cup body. A method of manufacturing an airtight sealing member, comprising the steps of performing a ring-shaped cutting process at a portion corresponding to an end, and a step of cutting a peripheral end portion of the cutting process.