KR830000440B1

KR830000440B1 - Piezoelectric device

Info

Publication number: KR830000440B1
Application number: KR1019790004606A
Authority: KR
Inventors: 이사오 도요시마; 에이조오 오오쓰가
Original assignee: 무라다 아끼라; 가부시기 가이샤 무라다 세이사꾸쇼
Priority date: 1979-12-26
Filing date: 1979-12-26
Publication date: 1983-03-08

Abstract

내용 없음.No content.

Description

Piezoelectric device

제1도는 본 발명의 하나의 실시예에 따르는 압전 장치의 사시도.1 is a perspective view of a piezoelectric device according to an embodiment of the present invention.

제2도는 제1도의 Ⅱ-Ⅱ상의 단면도.2 is a cross-sectional view of II-II of FIG.

제3a도, 제3b도 및 제3c도는 본 발명의 압전소자의 평면도, 저면도 및 측면도.3A, 3B, and 3C are plan, bottom and side views of the piezoelectric element of the present invention.

제4a도, 제4b도는 제1도의 압전장치가 케이싱내에 착설된 것을 기판의 위에서 본 평면도와 아래서 본 저부 평면도.4A and 4B show a plan view from above of the substrate and a bottom plan view from below of the piezoelectric device of FIG. 1 installed in the casing;

제5도는 제1도의 압전장치에 포함된 엘레멘트들을 나타낸 측면 분해도.FIG. 5 is an exploded side view showing elements included in the piezoelectric apparatus of FIG.

제6도는 제5도의 엘레멘트들의 평면도.6 is a plan view of the elements of FIG.

제7도는 제1도의 압전 장치의 회로도.7 is a circuit diagram of the piezoelectric device of FIG.

제8a도, 제8b도는 제3a도 내지 제3c도의 압전 소자의 변형된 형태의 압전소자에 대한 평면도 및 측면도.8A and 8B are plan and side views of the piezoelectric element in a modified form of the piezoelectric element of FIGS. 3A to 3C.

제9a도, 제9b도는 제3a도 내지 제3c도의 압전 소자의 또 다른 변형인 압전 소자의 평면 및 측면도.9A and 9B are plan views and side views of the piezoelectric elements, which are further modifications of the piezoelectric elements shown in FIGS. 3A to 3C.

제10도 및 제11도는 본 발명 및 선행기술에 의한 압전장치의 감쇄성질을 각각 나타내는 그래프.10 and 11 are graphs showing damping properties of piezoelectric devices according to the present invention and the prior art, respectively.

제12a도, 제12b도 및 제12c도는 선행기술에 의한 압전소자의 평면도, 측면도, 저면도.12A, 12B and 12C are a plan view, a side view and a bottom view of a piezoelectric element according to the prior art.

제13a도, 제14a도, 제15a도는 선행 기술로 된 압전소자에서 발생된 파형을 나타내는 약도.13A, 14A, and 15A are schematic diagrams showing waveforms generated in the piezoelectric element of the prior art.

제13b도, 제14b도, 제15b도는 본 발명에 의한 압전소자에서 발생된 파형을 나타내는 약도.13b, 14b, and 15b are schematic diagrams showing waveforms generated in the piezoelectric element according to the present invention.

제16도는 제2도의 압전장치의 변형을 보여주는 단면도.FIG. 16 is a sectional view showing a deformation of the piezoelectric device of FIG.

제17도는 제16도의 압전장치에 포함된 엘레멘트들을 나타내는 분해 측면도.FIG. 17 is an exploded side view showing elements included in the piezoelectric apparatus of FIG.

제18도는 제17도의 엘레멘트들의 평면도.FIG. 18 is a plan view of the elements of FIG. 17. FIG.

제19a 및 제19b도는 제16도의 압전장치 케이싱내에 착설된 기판의 평면도 및 저면도.19A and 19B are a plan view and a bottom view of the substrate mounted in the piezoelectric device casing of FIG.

제20a도는 제16도의 압전장치의 회로도.20A is a circuit diagram of the piezoelectric device of FIG.

제20b도는 제16도의 압전장치의 추가 접속을 가한 회로도.FIG. 20B is a circuit diagram to which further connection of the piezoelectric apparatus of FIG. 16 is applied. FIG.

제21도는 제2도의 압전장치의 또 다른 변형을 나타내는 단면도.FIG. 21 is a cross-sectional view showing still another modification of the piezoelectric device of FIG.

제22도는 제21도의 압전장치에 포함된 엘레멘트를 보여주는 분해 측면도.FIG. 22 is an exploded side view showing an element included in the piezoelectric apparatus of FIG. 21;

제23도는 제22도의 엘레멘트의 평면도.FIG. 23 is a top view of the element of FIG. 22. FIG.

제24a도 및 제24b도는 제21도의 압전장치 케이싱내에 착설된 기판의 평면도 및 저면도.24A and 24B are a plan view and a bottom view of the substrate mounted in the piezoelectric device casing of FIG.

제25a도는 제21도의 압전장치의 회로도.FIG. 25A is a circuit diagram of the piezoelectric device of FIG.

제25b도는 제21도의 압전장치의 추가 접속을 가한 회로도.FIG. 25B is a circuit diagram to which further connection of the piezoelectric apparatus of FIG. 21 is applied. FIG.

제26도는 제2도의 압전장치 중의 복수 기판들을 구성하는 벨트의 평면도.FIG. 26 is a plan view of a belt constituting a plurality of substrates of the piezoelectric apparatus of FIG.

제27도는 인출 단자 부분을 형성하는 벨트를 가진 동벨트의 평면도.Fig. 27 is a plan view of a copper belt having a belt forming the lead terminal portion.

제28도는 케이싱을 구성하는 틀 멤버를 더 가진 동벨트의 평면도.28 is a plan view of a copper belt further having a frame member constituting the casing.

제29도는 각각 틀에 고무시이트를 더 갖게 한 동벨트의 평면도.Fig. 29 is a plan view of the copper belt each having more rubber sheets in the mold.

제30도는 각각 틀에 압전소자를 더 갖게 한 동벨트의 평면도.30 is a plan view of a copper belt each having more piezoelectric elements in its mold.

제31도는 각각 틀에 뚜껑을 더 갖게 한 동벨트의 평면도.Fig. 31 is a plan view of the copper belt each having a lid on the mold.

제32a도 및 제32b도는 본 발명의 제2차 실시예에 의한 압전장치의 분해 부품의 평면도 및 측면도.32A and 32B are a plan view and a side view of an exploded part of a piezoelectric device according to a second embodiment of the present invention.

제32c도는 2차 실시예에 의한 압전장치의 부분 절개측면도.32C is a partial cutaway side view of a piezoelectric device according to a second embodiment;

제33a도, 제33b도, 제33c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 것으로 그 변형을 나타내는 도.33A, 33B, and 33C are similar to FIGS. 32A, 32B, and 32C, and show variations thereof.

제34a도 내지 제36b도까지는 각 압전 소자에서의 진동노드의 위치와 진동파형을 나타내는 설명도.Explanatory drawing which shows the position and vibration waveform of a vibration node in each piezoelectric element from FIGS. 34A-36B.

제37a도 내지 제37b도, 제37c도는 세개의 각기 다른 지지조건하에서 지지 압력의 변화에 따르는 압전소자의 저항성과 공진주파수의 성질을 나타내는 그래프.37A to 37B and 37C are graphs showing the properties of the resistance and resonant frequency of the piezoelectric element according to the change in the support pressure under three different support conditions.

제38a도, 제38b도, 제38c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 변형을 나타내는 도.38A, 38B, and 38C show variations similar to those of FIGS. 32A, 32B, and 32C.

제39a도, 제39b도는 제38a도, 제38b도, 제38c도의 압전장치에 포함된 단자멤버의 변형을 나타내는 평면도 및 측면도.39A and 39B are plan and side views showing the deformation of the terminal members included in the piezoelectric devices of FIGS. 38A, 38B, and 38C.

제40a도, 제40b도, 제40c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 또 다른 변형의 표시도.40a, 40b, 40c, and 32a, 32b, and 32c are other variations of the display diagram.

제41a도, 제41b도는 제40a도, 제40b도, 제40c도의 압전장치에 포함된 단자 멤버의 변형을 나타내는 평면도 및 측면도.41A and 41B are plan and side views showing deformation of the terminal member included in the piezoelectric apparatus shown in FIGS. 40A, 40B, and 40C.

제42a도, 제42b도, 제42c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 또 다른 변형도.42a, 42b, 42c, another variation similar to FIGS. 32a, 32b, 32c.

제43a도, 제43b도, 제43c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 더욱 또 다른 변형도.43A, 43B, 43C, yet another variation similar to FIGS. 32A, 32B, 32C.

제44a도, 제44b도, 제44c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 또 하나의 변형도.44A, 44B, 44C is another variation similar to FIGS. 32A, 32B, 32C.

제45a도, 제45b도, 제45c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 또 다른 변형도.45a, 45b, 45c, 32b, 32b, 32c is another modification.

제46a도, 제46b도, 제46c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 또 다른 변형도.46A, 46B, 46C, another variation similar to FIGS. 32A, 32B, 32C.

제47a도, 제47b도, 제47c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 또 다른 변형도.47A, 47B, 47C, another variation similar to FIGS. 32A, 32B, 32C.

제48a도, 제48b도, 제48c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 또 다른 변형도.Another variation similar to FIGS. 48A, 48B, 48C, 32A, 32B, 32C.

제49a도, 제49b도, 제49c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 또 다른 변형도.Another variation similar to FIGS. 49A, 49B, 49C, and 32A, 32B, and 32C.

제50a도, 제50b도, 제50c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 또 다른 변형도.50a, 50b, 50c, another variation similar to FIGS. 32a, 32b, 32c.

제51a도, 제51b도, 제51c도는 제32a도, 제32b도, 제32c도에 유사한 또 다른 변형도.Another variation similar to FIGS. 51A, 51B, 51C, and 32A, 32B, and 32C.

본 발명은 필터, 발진기, 기타 전기회로에 쓰이는 압전장치에 관한 것으로서 좀더 구체적으로 말하면 압전장치 조립체를 개선하는데 관한 것이다.FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to piezoelectric devices for use in filters, oscillators, and other electrical circuits, and more particularly to improving piezoelectric device assemblies.

최근 전자분야에서 집적회로 칩을 포장하는 기술에 대한 개발은 많이 되어 왔으나, 압전소자를 단독으로 또는 집적회로 칩과 함께 포장하는 기술에 대하여는 개발된 것이 없었다. 외모로 볼때 포장물의 한쪽을 따라 일직선으로 외부로 연장된 여러개의 단자를 가진 포장물은 단열포장이라고 불리우며, 그 포장물의 서로 반대쪽의 양면 각기에 하나씩 있는 두 개열의 단자들을 가진 포장물은 양열 포장이라고 부른다. 일반적으로 최소한 일열의 단자열을 가진 모든 압전포장물을 배열포장이라고 부른다.Recently, the development of packaging technology for integrated circuit chips has been developed in the electronic field, but none of the technologies for packaging piezoelectric elements alone or with integrated circuit chips have been developed. In appearance, a package with several terminals extending straight outwards along one side of the package is called an insulation package, and a package with two rows of terminals, one on each side of the package, is called a double row package. In general, all piezoelectric packages with at least one row of terminals are called array packaging.

압전소자는 작동중에 기계적 진동을 발생하므로 그 진동을 저하시키지 않고 포장내의 압전소자를 확고하게 지지하는 것은 어려운 일로 되어 있다.Since piezoelectric elements generate mechanical vibrations during operation, it is difficult to firmly support the piezoelectric elements in the package without lowering the vibrations.

또한 압전소자는 집적회로와 비교하여 크기가 상당히 크므로 그 압전소자에 쓰이는 전극과 소형 포장내의 직열단자들 간의 전기접속을 하게 하는 것은 어려운 일로 되었고, 특히 하나 또는 그 이상의 압전소자들이 한 포장에 포함되어 있을때 더욱 어려운 것으로 되어 있다.In addition, piezoelectric elements are considerably larger in size than integrated circuits, so it is difficult to make electrical connections between the electrodes used in the piezoelectric elements and the series terminals in the small package, and in particular, one or more piezoelectric elements are included in one package. It is more difficult when it is done.

본 발명의 일차적인 목적은 크기가 간결하고, 구조가 간편하며 염가로 쉽게 제조될 수 있는 압전장치를 마련하는데 있다.It is a primary object of the present invention to provide a piezoelectric device which is compact in size, simple in structure and easily manufactured at low cost.

본 발명의 제2차 목적은 유사한 불순형을 억제하는 압전소자를 가진 상기형의 압전장치를 마련하는데 있다.A second object of the present invention is to provide a piezoelectric device of the above type having a piezoelectric element that suppresses similar impurity.

본 발명의 세째목적은 진동을 저하시키지 않고 압전소자를 쉽게 지지하는 상기형의 압전장치를 마련하는 것이다.A third object of the present invention is to provide a piezoelectric device of the above type which easily supports a piezoelectric element without lowering vibration.

본 발명의 네번째 목적은 압전소자에 가해진 지지압력에 관계없이 안정된 상태로 작동하는 상기형의 압전장치를 마련하는데 있다.A fourth object of the present invention is to provide a piezoelectric device of the above type which operates in a stable state irrespective of the supporting pressure applied to the piezoelectric element.

본 발명의 바람직한 하나의 실시예에 따르면 하나의 압전장치는 하나의 케이싱과 이 케이싱에 포함된 최소한 하나의 압전소자를 포함하고 있다.According to one preferred embodiment of the present invention, one piezoelectric device includes one casing and at least one piezoelectric element included in the casing.

본 발명에 따른 압전소자는 서로 평행되는 1차 및 2차 평면을 가진 압전체를 포함하고 있다. 그 압전체에는 1차 전극군이 일부의 중변부를 제외한 1차면에 판막으로 붙어 있고, 2차 전극군은 2차면에 판막으로 붙어 있으며, 보조 전극들은 1차 전극군과 분리된 형태로 1차면의 그 제외된 일부주변 부분에 판막으로 되어 있다. 하나의 러너 전극이 보조 전극과 2차 전극군을 접수하도록 마련되어 있다.The piezoelectric element according to the present invention includes a piezoelectric body having primary and secondary planes parallel to each other. In the piezoelectric body, the primary electrode group is attached to the primary surface except for some of the midside portions, and the secondary electrode group is attached to the secondary surface as a valve, and the auxiliary electrodes are separated from the primary electrode group. There is a valve around the part that is excluded. One runner electrode is provided to receive the auxiliary electrode and the secondary electrode group.

또한 이 압전장치는 케이싱에 고정되어 있고, 압전소자의 1차 및 2차면의 각각에 부착된 1차 및 2차 부착장치를 갖고 있어 그 압전소자를 진동하면서 지지하게 한다. 압전체의 1차 및 2차군의 전극들은 1차 및 2차 단자 멤버군에 각각 접속되어 있고, 각각의 단자멤버들은 외부 접속을 위하여 케이싱에서 외부로 연장된 인출단자부분(引出端子部分)을 갖고 있다.In addition, the piezoelectric device is fixed to the casing and has primary and secondary attachment devices attached to each of the primary and secondary surfaces of the piezoelectric element to support the piezoelectric element while vibrating. The electrodes of the primary and secondary groups of the piezoelectric body are connected to the primary and secondary terminal member groups, respectively, and each terminal member has a lead terminal portion extending outward from the casing for external connection. .

다음에 설명에서 유사한 부분은 도면 전체를 통하여 같은 부호로 설명되어 있다.In the following description, similar parts are described with the same reference numerals throughout the drawings.

제1도 내지 제7도는 본 발명에 의한 압전장치(D₁) 중의 하나의 실시예를 보여주고 있다. 본 실시예의 압전장치(D₁)는 위에서 보았을 때 직사각형의 케이싱(1)과 네개의 인출단자부분(2),(3),(4),(5)을 가진 양렬형이다.1 to 7 show one embodiment of the piezoelectric device D ₁ according to the present invention. The piezoelectric device D _{1 of} this embodiment is a double row type having a rectangular casing 1 and four lead terminals 2, 3, 4 and 5 as viewed from above.

제1도에서 보는 바와 같이 두 개의 인출단자부분(2),(3)은 직사각형 케이싱(1)의 한쪽에 돌출되어 있고, 또 다른 인출단자부분(4),(5)는 동 케이싱(1)의 반대쪽에서 돌출되어 있다.As shown in FIG. 1, the two outgoing terminal portions 2, 3 protrude on one side of the rectangular casing 1, and the other outgoing terminal portions 4, 5 are the copper casing 1; Protrude from the opposite side of.

제2도에서는 압전장치(D₁)의 단면을 보여주는 것으로서, 케이싱(1)은 그 케이싱의 네개 측면을 구성하는 틀(6)과 상부뚜껑(7) 및 저부뚜껑(8)으로 구성되어 있다.2 shows a cross section of the piezoelectric device D ₁ , wherein the casing 1 is composed of a frame 6, an upper lid 7 and a bottom lid 8 constituting four sides of the casing.

상부뚜껑(7)은 그 뚜껑의 중심부에서 케이싱 안쪽으로 하향 돌출된 돌출부(7a)를 갖고 있으며, 저부 뚜껑(8)은 케이싱(1) 안쪽으로 상향 돌출된 돌출부(8a)를 갖고 있다. 압전장치는 그 돌출부(7a),(8a) 사이에 유지되고 있다.The upper lid 7 has a protrusion 7a protruding downward into the casing at the center of the lid, and the bottom lid 8 has a protrusion 8a protruding upward into the casing 1. The piezoelectric device is held between the protruding portions 7a and 8a.

본 실시예에 의하면 압전장치는 돌출부(7a) 밑에 놓인 1차 압전소자(9)와 돌출부(8a)의 상부에 놓인 2차 압전소자(10)를 포함하고 있다. 이들 압전소자(9),(10)은 같은 구조로 되어 있으며, 제3a도, 제3c도와 관련하여 후에 상세히 설명하기로 한다.According to this embodiment, the piezoelectric device includes a primary piezoelectric element 9 under the protrusion 7a and a secondary piezoelectric element 10 on the upper portion of the protrusion 8a. These piezoelectric elements 9 and 10 have the same structure, which will be described later in detail with reference to FIGS. 3A and 3C.

압전장치는 또한 케이싱(1) 중심에 틀(6)로 고정된 기판(12a)에 형성된 구멍(12)에 끼워놓고 후에 설명하는 인쇄전극을 가진 콘덴사(11)를 포함하고 있다. 1차 압전소자(9)와 콘덴사(11) 사이에는 두께 방향으로만 전기접속을 하게 하는 고무시이트의 두께 방향으로 직선이 되게 정렬된 도전성 고무시이트(13)의 층과 같은 비등방성전도성(非等方性傳導性) 탄성 시이트가 놓여 있다. 이 고무시이트중의 하나는 비등방성전도 고무시이트 또는 일방 전도성 고무시이트형(AF)으로서 알려져 있으며, 일본의 신에쓰 중합주식회사제품의 하나이다. 이 고무시이트의 또다른 특성은 제37a도 내지 제37c도와 관련하여 후에 상세히 설명하기로 한다.The piezoelectric device also includes a condensate 11 having a printed electrode which is inserted into the hole 12 formed in the substrate 12a fixed to the frame 6 at the center of the casing 1 and described later. Anisotropic conductivity, such as a layer of conductive rubber sheet 13, is arranged between the primary piezoelectric element 9 and the condensate 11 in a straight line in the thickness direction of the rubber sheet, which allows electrical connection only in the thickness direction. 탄성 方性傳導性) The elastic sheet is laid. One of these rubber sheets is known as anisotropic conductive rubber sheet or unidirectional conductive rubber sheet type (AF), and is one of Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. of Japan. Another characteristic of this rubber sheet will be described later in detail with reference to FIGS. 37A to 37C.

이 고무시이트(13) 및 (14)는 압전소자의 전극과 기판의 전극 사이의 전기접속뿐만 아니라 그 압전소자의 기계적인 진동을 흡수하기 위하여 사용되는 것이다. 본 고무시이트(13)는 제6도에서 보는 바와 같이 인출단출부분(2) 및 (3)의 배열방향으로 평행되게 늘어진 직사각형으로 되여 있다. 고무시이트(13)와 같은 성질을 가진 또다른 고무시이트(14)는 콘덴사(11)와 이차 압전소자(9) 사이에 놓여 있다. 이제 압전소자(9),(10)을 상세히 설명하기로 한다. 압전소자(9),(10)은 같은 구조로 되어 있으므로 압전소자(9)만을 상세히 설명하기로 한다.The rubber sheets 13 and 14 are used to absorb not only the electrical connection between the electrodes of the piezoelectric element and the electrodes of the substrate, but also to absorb mechanical vibrations of the piezoelectric elements. As shown in FIG. 6, the rubber sheet 13 has a rectangular shape parallel to the alignment direction of the lead-out portions 2 and 3. As shown in FIG. Another rubber sheet 14 having the same properties as the rubber sheet 13 lies between the condensed yarn 11 and the secondary piezoelectric element 9. The piezoelectric elements 9 and 10 will now be described in detail. Since the piezoelectric elements 9 and 10 have the same structure, only the piezoelectric element 9 will be described in detail.

제3a도 및 제3c도에 대하여 압전소자(9)는 정사각형의 압전체(15)를 기존 형성방식에 의하여 압전체(15)에 판막을 형성한 세개의 전극을 갖고 있으며, 기존형성 방식이라 하면, 인쇄, 소결, 제판, 도장, 정착, 부식등의 방법을 말한다. 제1차 전극을 소위 중앙전극(16a)은 압전체(15)의 1차면의 중심부에 판막으로 형성되어 있다.3A and 3C, the piezoelectric element 9 has three electrodes in which a plate is formed on the piezoelectric body 15 by using the square piezoelectric body 15 by the conventional forming method. Refers to methods such as sintering, engraving, painting, fixing and corrosion. As the primary electrode, the so-called central electrode 16a is formed in a central portion of the primary surface of the piezoelectric body 15 with a valve.

2차 전극 즉, 둘레 전극(16b)는 몸체(15)의 주변부에 판막으로 형성되어 있고, 3차 전극(16c)은 몸체(15)의 2차면의 전면에 걸쳐서 판막으로 되어 있다(제3b도). 둘레 전극(16b)의 일부는 나머지 부분으로 부터 적당한 간격을 갖고 분리되어 있다.The secondary electrode, that is, the peripheral electrode 16b, is formed with a valve at the periphery of the body 15, and the tertiary electrode 16c is a valve over the entire surface of the secondary surface of the body 15 (Fig. 3B). ). A part of the circumferential electrode 16b is separated from the remaining part at appropriate intervals.

이 분리된 둘레전극부(이하 보조전극(16d)으로 칭함)는 적당한 러너전극(16e)을 통하여 3차전극(16c)에 접속되어 있다.This separated peripheral electrode portion (hereinafter referred to as an auxiliary electrode 16d) is connected to the tertiary electrode 16c via a suitable runner electrode 16e.

본 실시예에 따르면 러너전극(16e)은 압전체(15)의 한쪽에 형성된 홈(15a)을 따라 뻗어 있다.According to the present embodiment, the runner electrode 16e extends along the groove 15a formed on one side of the piezoelectric body 15.

상기한 압전소자 즉, 3전극형 압전소자는 특히 필타용 공진기 기능을 갖고 있다.The piezoelectric element, that is, the three-electrode piezoelectric element, has a filter resonator function.

압전소자(9)의 모든 전극들이 제1차면에 나타나 있으므로 필요한 전기 접속은 그 1차면에서 행하여 질수 있다.Since all the electrodes of the piezoelectric element 9 are shown on the primary side, the necessary electrical connection can be made on the primary side.

제4a도 및 제4b도에 따르면, 본 실시예의 기판(12)은 비전도성 물질로 되어 있고, 네측면(12a),(12b),(12c),(12d)을 갖고 있다. 기판(12)의 양쪽 평면에는 등박판으로 되어 있고, 또 서로 평행인 두개의 길게 된 인쇄전극(20a),(20b)이 측면(12a),(12c) 가까이에 있다.(제4a도 참조).4A and 4B, the substrate 12 of the present embodiment is made of a non-conductive material and has four sides 12a, 12b, 12c, and 12d. On both planes of the substrate 12, two elongated printed electrodes 20a, 20b, which are made of thin plate and parallel to each other, are located near the side surfaces 12a, 12c (see also FIG. 4a). .

기판(12)의 전극 부착은 인쇄방식뿐만 아니라 기타방식 즉, 소결, 판판, 도장, 정착, 부식 등의 방식으로도 할 수 있다.The electrode attachment of the substrate 12 can be performed not only by a printing method but also by other methods, such as sintering, plate, painting, fixing, and corrosion.

각각의 전극(20a), (20b)의 한쪽끝은 측면(12d)에서 끝이 돌출되고, 다른쪽 끝은 반대측면(12b)에 가까운 중간부에서 위치되어 있다. 같은 방식으로 제4b도에서 보는 바와 같이 기판(12)의 다른쪽 평면에 두개의 길게 된 전극(20c) 및 (20d)가 인쇄되어 있다. 중심구멍(12e)은 콘덴사(11)를 끼울 수 있게 마련되어 있다.One end of each of the electrodes 20a, 20b protrudes from the side 12d, and the other end is located at an intermediate portion close to the opposite side 12b. In the same manner, two elongated electrodes 20c and 20d are printed on the other plane of the substrate 12 as shown in FIG. 4B. The center hole 12e is provided so that the condensed yarn 11 can be fitted.

제5도 및 제6도에 따르면 구성부분이 포장물 또는 케이싱내에 조립되는 방식을 설명하기 위한 것이다.5 and 6 illustrate the manner in which the components are assembled in the package or casing.

먼저 인출단자부분(2),(3),(4),(5)이 각각 전극(20a),(20b),(20c),(20d)에 납땜으로 부착된 후에 원래 상하부로 분리된 틀(6)이 기판(12)를 잡고 틀(6)내에 상하의 각각의 구획실을 형성하도록 조립된다. 그리고 기판(12)의 두께와 거의 같은 두께를 가진 콘덴사(11)를 구멍(12e)에 놓고 상부 구획부에 고무시이트(13)가 기판(12)을 가로지르게 놓고 그 고무시이트(13)의 중심부가 최소한 콘덴사(11)의 일부를 넣고 그 고무시이트(13)의 상호 반대되는 끝부분이 기판(12)의 인쇄전극을 덥도록 한다. 바람직한 실시예에 따르면 틀(6)은 고무 시이트(13)에 자리잡게 하는 네개의 돌출부(6a),(6b),(6c),(6d)를 갖고 있다.First, the lead terminals 2, 3, 4, and 5 are attached to the electrodes 20a, 20b, 20c, and 20d, respectively, by soldering, and then the frame separated into the upper and lower parts thereof ( 6) is assembled to hold the substrate 12 and to form the upper and lower compartments in the mold 6. Then, the condensed yarn 11 having a thickness almost equal to the thickness of the substrate 12 is placed in the hole 12e, and the rubber sheet 13 crosses the substrate 12 in the upper partition portion of the rubber sheet 13. A central portion of at least a part of the condensate yarn 11 is inserted so that opposite ends of the rubber sheet 13 cover the printed electrode of the substrate 12. According to a preferred embodiment, the mold 6 has four projections 6a, 6b, 6c, 6d that settle on the rubber sheet 13.

일차 압전소자(9)는 그 소자(9)의 전극과 기판(12) 및 콘덴사(11)의 전극 사이의 전기접속을 그 고무시이트(13)를 통하여 할 수 있게 그 소자(9) 일차면이 고무시이트(13)를 대면할 수 있게 고무시이트(13)에 놓여 있다. 더 상세히 말하면 소자(9)의 중앙전극(16a)은 고무시이트(13)를 통하여 콘덴사(11)에 접속되어 있고, 테두리 전극(16b)은 고무시이트(13)를 통하여 인쇄전극(20a)에 접속되어 있으며, 보조전극(16d)은 고무시이트(13)를 통하여 인쇄전극(20a)에 접속되어 있다.The primary piezoelectric element 9 has a primary surface of the element 9 such that electrical connection between the electrode of the element 9 and the electrode of the substrate 12 and the condensate 11 can be made through the rubber sheet 13. The rubber sheet 13 is placed on the rubber sheet 13 so as to face the rubber sheet 13. More specifically, the center electrode 16a of the element 9 is connected to the condensate 11 through the rubber sheet 13, and the edge electrode 16b is connected to the printing electrode 20a through the rubber sheet 13. The auxiliary electrode 16d is connected to the printed electrode 20a via the rubber sheet 13.

고무시이트(13)는 두께방향으로만 전기 접속을 하게 하므로 위에서 말한 이외는 전기접속은 이루어지지 않는다.Since the rubber sheet 13 makes electrical connection only in the thickness direction, no electrical connection is made other than the above.

압전소자(9)의 위치를 정하게 하는 목적으로 틀(6)에 돌출부(6e),(6f)를 마련하는 것이 바람직하다.It is preferable to provide projections 6e and 6f in the mold 6 for the purpose of locating the piezoelectric element 9.

상부뚜껑(7)은 상부 구획실을 봉하고 돌출부(7a)로 압전소자(9)를 지지할 수 있게 틀(6)에 그 뚜껑(7)의 주변부가 접합되게 압전소자(9)에 놓는다. 돌출부(7a)는 모드가 존재하는 압전소자(9)의 중심부를 지지하므로 압전소자(9)는 방해없이 진동될 수 있다. 하부 구획실은 상부 구획실과 같은 식의 구조로 되어 있다.The upper lid 7 is placed on the piezoelectric element 9 such that the periphery of the lid 7 is joined to the mold 6 so as to seal the upper compartment and support the piezoelectric element 9 with the protrusion 7a. Since the protrusion 7a supports the central portion of the piezoelectric element 9 in which the mode exists, the piezoelectric element 9 can vibrate without interference. The lower compartment has the same structure as the upper compartment.

제7도는 압전장치(D₁)의 회로도이다.7 is a circuit diagram of the piezoelectric device D ₁ .

보조전극(16d)와 3차 전극(16c)간의 접속은 제8a도, 제8b도에서 보는 바와 같이 홈을 형성하지 않고 이루어질 수 있으며, 또는 제9a도, 제9b도에서 보는 바와 같이 압전체(15)에서 형성된 구멍(15b)을 통하여 뻗어 있는 러너 전극으로 이루어 질 수도 있다.The connection between the auxiliary electrode 16d and the tertiary electrode 16c can be made without forming a groove as shown in FIGS. 8A and 8B, or the piezoelectric body 15 as shown in FIGS. 9A and 9B. It may also be made of a runner electrode extending through the hole (15b) formed in the).

상기 장치에서 본 발명인은 일차면의 보조전극(16d)의 사용은 압전소자(9)에서 출력신호시의 유사불순 파형을 억제한다는 것을 발견하였다. 제10도의 그래프는 455KHZ의 중심 주파수를 가진 본 발명의 압전소자(9)의 유사불순 파형의 특성을 나타내고 있으며, 제11도에 그래프는 같은 중심주파수를 가진 선행기술의 압전소자의 유사 불순파형의 특성을 나타내고 있다.In the above apparatus, the inventors found that the use of the auxiliary electrode 16d on the primary surface suppresses the pseudo-irregular waveform at the time of the output signal in the piezoelectric element 9. The graph of FIG. 10 shows the quasi-impurity waveform of the piezoelectric element 9 of the present invention having the center frequency of 455 KHZ, and the graph of FIG. 11 shows the pseudo impurity waveform of the prior art piezoelectric element having the same center frequency. The characteristics are shown.

제12a도, 제12b도, 제12c도에서 보는 바와 같이 선행기술로 된 압전기술로 된 압전소자는 보조전극을 가지고 있지 않다.As shown in Figs. 12A, 12B and 12C, the piezoelectric element of the prior art piezoelectric technique does not have an auxiliary electrode.

제10도 및 제11도에 그래프에서 보면 1내지 2MHZ의 주파구역의 유사 불순파형은 본 발명의 압전소자를 사용했을때 억제된다는 것을 알 수 있다.In the graphs in Figs. 10 and 11, it can be seen that the pseudo impurity waveforms in the frequency region of 1 to 2 MHZ are suppressed when the piezoelectric element of the present invention is used.

본 발명에 의한 압전소자가 유사 불순파형을 억제하는 이유는 분명치 않으나 보조전극(16d)이 그 유사 불순모드가 발생된 진동의 환상을 감소시킨다는 것으로 알려져 있다.It is not clear why the piezoelectric element according to the present invention suppresses the pseudo impurity waveform, but it is known that the auxiliary electrode 16d reduces the annularity of the vibration generated by the pseudo impurity mode.

제13a도 및 제13b도의 점선은 선행기술의 압전소자에서의 어느 특정 순간의 지배적인 형태의 파형과 본 발명의 압전소자의 파형을 각각 나타내고 있다. 동일하게 제14a도 및 제14b도의 점선은 3차 조파의 파형을 나타내며, 제15a도 및 제15b도에 점선은 5차 조파의 파형을 나타내고 있다.The dotted lines in FIGS. 13A and 13B show the waveform of the dominant shape at any particular moment in the piezoelectric element of the prior art and the waveform of the piezoelectric element of the present invention, respectively. Similarly, the dotted lines in FIGS. 14A and 14B represent waveforms of the third harmonic, and the dotted lines in FIGS. 15A and 15B represent waveforms of the fifth harmonic.

이들 제13a도 내지 15b도까지는 보조전극(16d)가 유사 불순형의 진동을 감소시키는 방식을 보여주고 있다.13A to 15B show how the auxiliary electrode 16d reduces vibrations of pseudo impurities.

또한 압전소자(9),(10)의 전극이 상호반대쪽의 양면중 일면에 접합되어 있으므로 본 발명의 압전장치의 배열은 장점으로서 본 장치내의 압전소자와 각종 부품사이의 전기접속을 쉽게 이룩할 수 있고, 이 장치를 간결한 크기로 조립할 수 있다는 것이다.In addition, since the electrodes of the piezoelectric elements 9 and 10 are bonded to one surface of opposite surfaces on both sides, the arrangement of the piezoelectric device of the present invention is an advantage, and the electrical connection between the piezoelectric elements and the various components in the device can be easily achieved. The device can be assembled in a compact size.

제16도 내지 제20b도까지는 상기의 압전장치(D₁)의 변형을 나타내고 있다. 이 변형의 압전장치(D₂)는 압전장치(D₁)의 구조와 같은 구조로 되어 있으므로 장치(D₁)과 (D₂)간의 차이점만을 설명하기로 한다.16 to 20b show the deformation of the piezoelectric device D ₁ described above. Since the piezoelectric device D ₂ of this modification has the same structure as that of the piezoelectric device D ₁ , only the differences between the devices D ₁ and D ₂ will be described.

제일 먼저 압전장치(D₂)는 기판(12)에 꽂혀 있는 것으로서 장치(D₁)에서 설명된 콘덴사(11)를 가지고 있지 않으며, 따라서 기판(12)은 구멍을 갖고 있지 않다.Firstly, the piezoelectric device D ₂ is plugged into the substrate 12 and does not have the condensate 11 described in the apparatus D ₁ , and thus the substrate 12 does not have a hole.

압전장치(9')(10') 각각은 제18도에서 보는 바와 같이 세개의 전극대신에 두개의 전극을 가지고 있으며, 1차 전극(16a')은 압전체(15)의 1차면에 보조전극(16d')과 함께 판막으로 형성되었으며, 2차 전극(16b')은 압전체(15)의 2차면 전체에 판막으로 형성되어 있다.Each of the piezoelectric devices 9 'and 10' has two electrodes instead of three electrodes as shown in FIG. 18, and the primary electrode 16a 'has an auxiliary electrode (the first electrode of the piezoelectric body 15). 16d ') is formed as a plate, and the secondary electrode 16b' is formed as a plate on the entire secondary surface of the piezoelectric body 15.

러니전극(16e')는 2차 전극(16b')와 보조전극(16d')을 같이 전기접속하게 할 목적으로 요(凹)부를 형성하고 있는 압전체(15)의 측면에 판막으로 형성되어 있다.The runny electrode 16e 'is formed of a plate on the side surface of the piezoelectric body 15 which forms a concave portion for the purpose of electrically connecting the secondary electrode 16b' and the auxiliary electrode 16d 'together.

상기의 압전소자, 즉 2개 전극형 압전소자는 특히 발진기 및 사다리형 필타용의 공진기로서의 기능을 갖는다. 보조전극(16d')가 유사 불순형을 억제한다는 것은 말할 필요도 없다.The piezoelectric element, i.e., the two-electrode piezoelectric element, has a function as a resonator especially for an oscillator and a ladder filter. It goes without saying that the auxiliary electrode 16d 'suppresses pseudo impurity.

제20a도에서 보는 바와 같이 압전소자(9')는 직렬로 연결된 엘레멘트이므로 동압전 소자(9')는 병렬로 연결된 엘레멘트인 압전소자(10')보다 더 큰 용량을 갖게 할 수가 있다.As shown in FIG. 20A, since the piezoelectric elements 9 'are elements connected in series, the dynamic piezoelectric elements 9' can have a larger capacity than the piezoelectric elements 10 'which are elements connected in parallel.

이러한 장치를 성취하기 위하여 압전소자(9')의 압전체(15)는 압전소자(10')의 두께보다 더 두텁게 만들어지며, 또는 그 압전소자(9')의 1차 전극(16a')은 압전체(15)의 1차면의 중심부에만 판막으로 형성되게 한다.In order to achieve such a device, the piezoelectric element 15 of the piezoelectric element 9 'is made thicker than the thickness of the piezoelectric element 10', or the primary electrode 16a 'of the piezoelectric element 9' is made piezoelectric. Only the central part of the primary surface of (15) is made into a valve.

제19a도 및 제19b도에 따르면 기판(12)은 그 기판(12)의 중심부를 향하여 연장되어 있는 하나의 인쇄전극(21b)을 제외하고는 제4a도 및 제4b도에서 보는 인쇄전극과 같은 방식으로 네개의 인쇄전극(21a),(21b),(21c),(21d)을 갖고 있다. 이 전극(21b)은 압전소자(9')의 용량을 증대시키는 목적으로 압전체(15)에 중심부에 판막으로 된 작은 크기의 전극을 가지고 있을 경우 특히 유용하다.19A and 19B, the substrate 12 is the same as the printed electrode shown in FIGS. 4A and 4B except for one printed electrode 21b extending toward the center of the substrate 12. It has four printing electrodes 21a, 21b, 21c, and 21d in a manner. This electrode 21b is particularly useful when the piezoelectric element 15 has a small size electrode made of a plate at its center in order to increase the capacitance of the piezoelectric element 9 '.

다음에는 기판(12)의 전극과 단자각 사이의 접속을 설명하기로 한다. 제18도에서 압전소자(9')가 고무시이트(13)를 기판(12)의 일차면에 놓였을 때 그 소자(9')의 1차전극(16a')은 고무시이트(13)를 통하여 전극(21b)에 접속되고 그 전극(21b)은 차례로 인출단자부분(3)에 접속되며, 또한 2차전극(16')은 러너전극(16e') 및 보조전극(16d') 및 고무시이트(13)를 통하여 전극(21a)에 접속되며, 이 전극(21a)는 차례로 인출단자부분(2)에 접속된다. 같은 식으로 압전소자(10')가 고무시이트(14)를 기판(12)의 2차면에 놓였을 때 그 소자(10')의 1차전극(16a')는 인출단자부분(5)에 접속되며 소자(10')의 2차전극(16b')는 인출단자부분(4)에 접속된다.Next, the connection between the electrode of the board | substrate 12 and a terminal angle is demonstrated. In FIG. 18, when the piezoelectric element 9 'puts the rubber sheet 13 on the primary surface of the substrate 12, the primary electrode 16a' of the element 9 'passes through the rubber sheet 13; It is connected to the electrode 21b, and the electrode 21b is in turn connected to the lead terminal part 3, and the secondary electrode 16 'is the runner electrode 16e' and the auxiliary electrode 16d 'and the rubber sheet ( It is connected to the electrode 21a via 13, and this electrode 21a is connected in order to the lead-out terminal part 2 in order. In the same way, when the piezoelectric element 10 'puts the rubber sheet 14 on the secondary surface of the substrate 12, the primary electrode 16a' of the element 10 'is connected to the lead terminal portion 5. The secondary electrode 16b 'of the element 10' is connected to the lead terminal portion 4.

상기 장치의 회로도는 제20a도에서 보는 바와 같다.The circuit diagram of the device is as shown in Figure 20a.

그러나, 인출단자부분(3),(5)이 케이싱(1)의 내부에서 또는 외부에서 함께 접속되었을 경우 그 압전장치(D₂)는 제20b도에서 보는 바와 같이 사다리형 필터회로를 형성한다. 사다리형 회로가 내부 접속으로 형성되었을 경우, 그 인쇄전극(21d)는 인출단자부분(5) 대신에 인쇄전극(21b)에 접속되고, 인쇄전극(21c)은 인출단자부분(4)에 추가하여 인출단자부분(5)에 접속되어 있다.However, when the lead terminal portions 3, 5 are connected together inside or outside the casing 1, the piezoelectric device D ₂ forms a ladder filter circuit as shown in FIG. 20B. When the ladder circuit is formed by internal connection, the print electrode 21d is connected to the print electrode 21b instead of the lead terminal portion 5, and the print electrode 21c is added to the lead terminal portion 4 in addition. It is connected to the lead terminal part 5.

제21도 내지 제25b도까지 상기한 압전장치(D₁)의 또 다른 변형인 압전장치(D₃)를 보여주고 있다. 특히 제21도에 따르면 동 압전장치(D₃)는 상기 압전장치에서와 같은 식으로 상부 구획실에 지지된 3개의 전극형 압전소자(9)를 가지고 있으며, 하부 구획실에는 압전소자(10) 대신에 두개의 콘덴사(24),(25)의 칩을 갖고 있다.21 to 25b show a piezoelectric device D ₃ , which is another variation of the piezoelectric device D ₁ described above. In particular, according to FIG. 21, the copper piezoelectric device D ₃ has three electrode-type piezoelectric elements 9 supported in the upper compartment in the same manner as in the piezoelectric apparatus, and in the lower compartment, instead of the piezoelectric element 10. It has two chips of condensate 24,25.

콘덴사(24)는 직사각형으로 되어 있으며, 그 단자(24a),(24b)는 서로 반대쪽 단부에 마련되어 있다.The condensed yarn 24 is rectangular, and its terminals 24a and 24b are provided at opposite ends.

콘덴사(25)는 콘덴사(24)와 같은 구조로서 제23도에서 보는 바와 같이 양쪽끝에 단자(25a),(25b)를 가지고 있다.The condensate yarn 25 has the same structure as the condensate yarn 24 and has terminals 25a and 25b at both ends as shown in FIG.

기판(12)의 인쇄전극의 모양은 제24a도와 제24b도에 나타나 있다.The shape of the printed electrode of the substrate 12 is shown in FIGS. 24A and 24B.

기판(12)의 1차면에는 제24a도에 표시한 바와 같이 2개의 인쇄전극 (22a),(22b)를 가지고 있으며, 또 2차면에는 제24b도에 표시한 바와 같이 3개의 인쇄된 전극 (22c),(22d),(22e)을 가지고 있다. 콘덴사(24),(25)가 놓여 있는 위치는 점선으로 표시되어 있다.The first side of the substrate 12 has two printed electrodes 22a and 22b as shown in FIG. 24a, and the second side has three printed electrodes 22c as shown in FIG. 24b. ), (22d) and (22e). The positions where the condensed yarns 24 and 25 are placed are indicated by dotted lines.

콘덴서(24),(25)는 단자(24b),(25b)를 기판(12)의 전극(22c)에 접속하고 단자(24a), (25b)를 전극(22e),(22d) 각각에 접속시키기 위하여 전기 전도성 접착제 또는 남땜으로 각기 해당부에 부착되어 있다.The capacitors 24 and 25 connect the terminals 24b and 25b to the electrodes 22c of the substrate 12 and the terminals 24a and 25b to the electrodes 22e and 22d, respectively. Each is attached to the corresponding parts with an electrically conductive adhesive or solder.

기판(12)은 5개의 인쇄된 전극을 갖고 있으므로 케이싱(1)은 5개의 인출단자부분을 가지고 있다. 2개의 인출단자부분(2),(3)은 케이싱(1)의 한측면으로 부터 돌출되어 있으며, 전극(22a),(22b)에 각각 접속되어 있다.Since the substrate 12 has five printed electrodes, the casing 1 has five lead terminal portions. The two lead terminal portions 2, 3 protrude from one side of the casing 1, and are connected to the electrodes 22a, 22b, respectively.

나머지 3개의 인출단자부분(4),(26),(5)은 케이싱(1)의 반대측면에 돌출되어 있으며, 전극(22e),(22d),(22c)에 각각 접속되어 있다. 기판(12)의 전극과 인출단자부분에 있어서의 접속을 설명한다.The remaining three lead terminals 4, 26, and 5 protrude on the opposite side of the casing 1, and are connected to the electrodes 22e, 22d, and 22c, respectively. The connection of the electrode of the board | substrate 12 and the lead-out terminal part is demonstrated.

제23도에서 2개의 전극형 압전소자(9')가 고무시이트(13)를 기판(12)의 1차면에 놓였을 경우, 그 소자(9')의 1차 전극(16a')은 고무시이트(13)를 통하여 전극(22a)에 접속하되 그 전극(22a)은 차례로 인출단자부분(2)에 접속되며, 또한 2차 전극(16b')은 러너전극(16e'), 보조전극(16d') 및 고무시이트(13)를 통하여 전극(22 b)에 접속되고, 전극(22b)은 차례로 인출단자부분(3)에 접속된다. 콘덴사(24),(25)가 상기한 방식으로 기판(12)에 부착되었을 경우, 콘덴사(24)는 인출단자부분(4),(5) 사이에서 접속되며, 콘덴사(25)는 인출단자부분(26),(5) 사이에서 접속된다.In FIG. 23, when the two electrode type piezoelectric elements 9 'place the rubber sheet 13 on the primary surface of the substrate 12, the primary electrode 16a' of the element 9 'is formed of a rubber sheet. The electrode 22a is connected to the electrode 22a through 13, and the electrode 22a is in turn connected to the lead terminal portion 2, and the secondary electrode 16b 'is connected to the runner electrode 16e' and the auxiliary electrode 16d '. ) And the rubber sheet 13 are connected to the electrode 22b, and the electrode 22b is in turn connected to the lead terminal portion 3. When the condensed yarns 24 and 25 are attached to the substrate 12 in the manner described above, the condensed yarns 24 are connected between the lead terminal portions 4 and 5, and the condensed yarns 25 are The connection is made between the lead terminal portions 26 and 5.

하부 구획실에는 압전소자가 포함되어 있지 않기 때문에 하부 뚜껑(8')은 정사각의 평판으로 되어 있다.Since the lower compartment does not contain a piezoelectric element, the lower lid 8 'is a square flat plate.

상기 장치의 회로도는 제25a도에 나타나 있다. 인출단자부분(3), (26)은 각각 서로와 접속되어 있고 동시에 인출단자부분(2),(4)이 상호간에 접속되었을 경우, 발진기용의 귀환회로의 일부가 제25b도에서 보는 바와 같이 성립된다.The circuit diagram of the device is shown in FIG. 25a. When the outgoing terminal portions 3 and 26 are connected to each other and the outgoing terminal portions 2 and 4 are connected to each other, as shown in FIG. 25B, a part of the feedback circuit for the oscillator is shown in FIG. Is established.

상기한 접속은 케이싱(1)의 내부 또는 외부 어느쪽에서도 이루어질 수 있다.The above connection can be made either inside or outside the casing 1.

제25b도에서 보는 회로를 얻기 위하여 콘덴사(24),(25)의 전극(24a),(25a)을 각각 케이싱(1)내의 압전소자(9')의 전극(16a'),(16b')에 접속하고 또한 다른쪽 전극(24b),(25b)을 서로간에 접속하게 하고 차례로 인출단자부분(5)에 접속되도록 인쇄된 전극모양을 조절할 수도 있다. 이 경우 인출단자부분(4),(26)을 마련할 필요는 없으며, 가급적이면, 인출단자부분(5)을 두 갈래로 갈라 놓는다. 또 다른 배열장치도 사용될 수 있다는 것도 말할 필요는 없는 것이다.In order to obtain the circuit shown in FIG. 25B, the electrodes 24a and 25a of the condensed yarns 24 and 25 are respectively replaced with the electrodes 16a 'and 16b' of the piezoelectric element 9 'in the casing 1, respectively. ) And the other electrode 24b, 25b may be connected to each other, and the printed electrode shape may be adjusted so as to be connected to the lead-out terminal portion 5 in turn. In this case, it is not necessary to provide the withdrawal terminal parts 4 and 26, and if possible, the withdrawal terminal part 5 is divided into two parts. It goes without saying that other arrangements can also be used.

상기 변형들은 케이싱(1)이 하나 또는 두개의 압전소자만을 포함하는 경우에 해당되지만 더 많은 압전소자를 갖게 할 수도 있다. 그러한 경우에는 기판을 확대하고 기판(12)에 기히 놓여진 압전소자에 대하여 병렬로 추가된 압전소자를 배열하는 것이 바람직하다. 또한 그 압전소자의 작동 주파수는 서로간에 다르게 할 수 있다. 예를들면 압전소자의 하나는 455KHz로 작동하게 하고, 다른 하나는 10.7MHz로 작동하게 할 수 있다. 그 압전소자의 형태는 원형과 같이 정사각형이 아닌 다른 형태로 할 수도 있다.The above modifications are applicable when the casing 1 includes only one or two piezoelectric elements but may have more piezoelectric elements. In such a case, it is preferable to enlarge the substrate and arrange the piezoelectric elements added in parallel with respect to the piezoelectric elements laid on the substrate 12. In addition, the operating frequency of the piezoelectric element can be different from each other. For example, one piezoelectric element can operate at 455 KHz and the other can operate at 10.7 MHz. The piezoelectric element may have a shape other than square, such as a circle.

더우기 기판은 케이싱(1)내에서 압전소자와 상호 접속될 수 있는 집적회로 칩을 지지할 수 있게 설계할 수 있으며, 인출단자부분은 양렬포장 대신에 단열포장을 형성하도록 케이싱의 한쪽에만 직열로 정열되게 할 수도 있다.Furthermore, the substrate can be designed to support an integrated circuit chip which can be interconnected with the piezoelectric element in the casing 1, and the lead-out terminal portion is arranged in a row on one side of the casing so as to form a thermal insulation package instead of the cascading packaging. It can be done.

전기 실시예의 압전장치는 직접회로 엘레멘트에 대한 재래식 포장 또한 장치와 같은 모양을 갖고 간결한 크기로 조립될 수 있으므로, 동 압전장치는 재래식 설치기구를 이용하여 공진판 또는 인쇄기판에 자동식으로 착설할 수 있다.Since the piezoelectric device of the above embodiment can be assembled in a concise size and have the same shape as a conventional package for an integrated circuit element, the piezoelectric device can be automatically installed on a resonant plate or printed board using a conventional installation mechanism. .

제26도 내지 제31도에 의하면 여러개의 압전장치 특히 (D₁) 장치를 생산하는데 있어서의 제조공정이 나타나 있다. 먼저 부도체로 된 스트립프(12')는 그 길이 방향에 따라 일정한 간격을 가진 여러개의 구멍(12e')을 형성하였으며, 두 개의 가늘고 긴 전극(20a'),(20b')이 각각 구멍(12e')의 양쪽에 하나씩 위치하고, 그 한쪽 끝이 스트립프(12')의 하부 주연에 접하고 다른쪽 끝은 동 스트립프의 상부 주연에 가까운 곳에서 끝이나게 그 스트립프 표면에 판막으로 되어 있다.26 to 31 show a manufacturing process for producing a plurality of piezoelectric devices, in particular, the device (D ₁ ). First, the non-conducting strip 12 'formed a plurality of holes 12e' with regular intervals along its length direction, and two elongated electrodes 20a 'and 20b' each had holes 12e. One on each side of the '), one end of which is in contact with the lower periphery of the strip 12' and the other end of which is a valve on the strip surface near the top periphery of the strip.

제26도에도 동일한 길고 가는 전극이 그 스트립프(12')의 다른쪽면에 판막으로 형성되어 있으나, 그 한쪽 끝은 스트립프의 상부 언저리에서 끝이 나고 다른쪽 끝은 하부 언저리 가까운 위치에서 끝이나게 되어 있다.In Fig. 26, the same long thin electrode is formed with a valve on the other side of the strip 12 ', one end of which ends at the upper edge of the strip and the other end is located near the lower edge. I am supposed to.

제27도에 따르면 몸체부에서 뻗어나온 여러개의 돌출부를 가진 머리빗 모양의 금속벨트(30)가 스트립프(12')에 부착되어 있고, 그 부착방식은 각 돌출부의 자유단부가 전극(20a'),(20b')에 납땜되어 있다. 같은 방식으로 또다른 빗모양의 금속벨트(31)가 스트립프(12')에 부착되어 그것의 돌출부 자유단부를 스트립프(12')의 다른쪽면에 판막으로 형성된 전극에 전기접속을 하게 되어 있다.According to FIG. 27, a hair comb-shaped metal belt 30 having a plurality of protrusions extending from the body portion is attached to the strip 12 '. The free end of each protrusion has an electrode 20a'. ) And (20b ') are soldered. In the same way, another comb-shaped metal belt 31 is attached to the strip 12 'so that its protruding free end is electrically connected to an electrode formed with a valve on the other side of the strip 12'. .

제28도에 따르면 틀(6)의 상부는 구멍 및 판막으로 된 전극들을 포함하는 단위부를 둘러 쌓도록 부착하였다. 그런후에 하나의 고무 시이트를 제29도에서 보는 바와 같이 두개의 전극을 가로질러서 놓고난 후 제30도에서 보는 바와 같이 압전소자를 놓고난 다음 상부 뚜껑을 상부 구획실을 밀폐하게 접합하였다.According to FIG. 28, the upper part of the frame 6 is attached so as to enclose a unit including electrodes of holes and valves. Then, one rubber sheet was placed across two electrodes as shown in FIG. 29, and then the piezoelectric element was placed as shown in FIG. 30, and then the upper lid was sealed to seal the upper compartment.

그런 후에 콘덴사(11)를 각 구멍에 끼우고 상기한 바와 같은 순서를 하부 구획실을 형성하게 하는데 되풀이한다. 부품들이 결합된 후에 동 빗모양의 금속판(30),(31)의 몸체부는 인출단자부분을 형성할 수 있게 잘라내며 스트립프(12')는 각개의 압전장치를 형성할 수 있게 틀의 양 언저리에서 잘라낸다.Then, the condensed yarn 11 is inserted in each hole, and the above-described procedure is repeated to form the lower compartment. After the parts are joined, the body parts of the comb-shaped metal plates 30 and 31 are cut out to form the lead terminal portion, and the strips 12 'are formed at both edges of the frame to form respective piezoelectric devices. Cut from

제32a도, 제32b도, 제32c도에 따르면, 본 발명의 두번째 실시예인 압전장치(D₄)를 나타내고 있다. 이 압전장치(D₄)는 케이싱(40)과 원형으로 된 2개의 전극형 압전소자(41)와 도전재료로 만든 두개의 단자멤버(42),(43)을 갖고 있다. 단자멤버(42)는 그 중심에 돌출부(42a)가 있고, 그 판의 한쪽에서 하향으로 뻗어있는 인출단자부분(42b)을 가진 정사각형 금속판으로 만들어져 있다. 같은 식으로 단자멤버(43)는 돌출부(43a)와 인출단자부분(43b)을 갖고 있다. 압전소자(41)는 원형의 압전체(44)과 그 압전체(44)의 주변 일부를 제외한 일차평면에 판막으로 된 일차전극(45a), 동 압전체(44)의 또다른 이차평면에 전체에 걸쳐 판막으로 형성된 이차전극(45b), 일차평면의 제외된 주변 일부분에서 일차전극(45a)와 분리된 상태로 판막 형성된 보조전극(45c), 이차전극(45b) 및 보조전극(45c)을 접속하게 하도록 압전체(44)의 측면에 판막형성된 러너전극(45d) 등을 갖고 있다.32A, 32B and 32C show a piezoelectric device D ₄ which is a second embodiment of the present invention. The piezoelectric device D ₄ has a casing 40, two electrode-like piezoelectric elements 41 in a circular shape, and two terminal members 42 and 43 made of a conductive material. The terminal member 42 has a projection 42a at the center thereof, and is made of a square metal plate having a lead terminal portion 42b extending downward from one side of the plate. In the same manner, the terminal member 43 has a protrusion 43a and a lead terminal portion 43b. The piezoelectric element 41 includes a circular piezoelectric body 44 and a primary electrode 45a made of a plate on a primary plane except for a portion of the periphery of the piezoelectric body 44, and another second plane of the copper piezoelectric body 44. The piezoelectric member to connect the secondary electrode 45b formed in the shape of the first electrode 45b, the auxiliary electrode 45c formed in the state of being separated from the primary electrode 45a, and the secondary electrode 45b and the auxiliary electrode 45c in a separated portion of the primary plane. A runner electrode 45d and the like formed on the side surface of the valve 44 are provided.

압전체(44)의 측면에 축방향으로 홈을 형성케하여 그 홈에 러너전극을 판막형성케 하는 것이 바람직하다. 보조전극이 유사불순파형을 억제하는 것은 전술한 바와 같다. 압전소자(41)와 단자멤버(42),(43)이 케이싱(40)내에서 조립되었을때 인출단자부분(42a),(43a)은 외부접속을 위하여 케이싱에서 바깥으로 돌출되며, 압전소자(41)는 진동노드가 있는 중심부에서 돌출부(42a),(43a) 사이에 협지되어 있다. 일정한 신호가 인출단자부분(42a),(43a) 사이에 가해졌을 경우 압전소자(41)는 방해없이 자유롭게 진동할 수 있다.It is preferable to form a groove in the axial direction on the side of the piezoelectric body 44 to form a runner electrode in the groove. The auxiliary electrode suppresses pseudo impurity waveforms as described above. When the piezoelectric element 41 and the terminal members 42 and 43 are assembled in the casing 40, the lead terminal portions 42a and 43a protrude out of the casing for external connection. 41 is sandwiched between the protrusions 42a and 43a at the center where the vibrating node is located. When a constant signal is applied between the lead terminal portions 42a and 43a, the piezoelectric element 41 can vibrate freely without interference.

제33a도 내지 제33c도에 따르면 압전장치(D₄)의 변형인 압전장치(D₅)를 보여주고 있다. 이 압전장치(D₅)는 케이싱(40)과 원형으로 된 3개 전극형 압전소자(46), 도전자료로 만들어진 3개의 단자멤버(47),(48),(49) 등을 갖고 있다. 압전소자(46)는 원반형의 압전체(50)와 그 압전체(50)의 1차 표면의 중심부에 판막으로 된 1차 전극(51a), 압전체(50)의 1차표면의 주변일부를 제외한 나머지 주변언저리부에 판막으로 형성된 2차전극(51b) 압전체(50)의 다른쪽 2차 표면에 전체적으로 판막형성된 3차전극(51c), 1차표면의 제외된 주변일부에 1차 및 2차전극(51a),(51b)에서 분리된 형태로 판막 형성된 보조전극(51d) 및 3차전극(51c)와 보조전극(51d)를 접속하게 압전체(50)의 측면에 판막으로 된 러너전극(51e)등을 갖고 있다. 러너전극(51e)는 압전체(50)에 형성된 홈에 마련되어 있다.33A to 33C show a piezoelectric device D ₅ , which is a variation of the piezoelectric device D ₄ . The piezoelectric device D ₅ has a casing 40, a circular three-electrode piezoelectric element 46, three terminal members 47, 48, 49 made of conductive material, and the like. The piezoelectric element 46 has a disk-like piezoelectric body 50 and a peripheral portion of the piezoelectric body 50 except the peripheral portion of the primary electrode 51a made of a plate and a peripheral portion of the primary surface of the piezoelectric body 50. Secondary electrode 51b formed at the edge portion of the piezoelectric plate 50 The third electrode 51c formed entirely on the other secondary surface of the piezoelectric body 50, and the primary and secondary electrodes 51a on the peripheral part except the primary surface. ), A runner electrode 51e formed of a plate on the side surface of the piezoelectric body 50 to connect the auxiliary electrode 51d and the tertiary electrode 51c and the auxiliary electrode 51d formed in the form separated from each other by 51b. Have The runner electrode 51e is provided in the groove formed in the piezoelectric body 50.

정사각형의 금속판으로 된 단자멤버(47)는 중심부에 돌출부(47a)를 갖고 있고, 일출단자부분(47b)도 갖고 있다. 단자멤버(48)는 중심부에 돌출부(48a)를 가진 정사각판과 그 판의 한쪽에서 뻗어있는 인출단자부분(48b)을 갖고 있다. 단자멤버(49)는 2개의 평행암(49a),(49b)과 인출단자부분(49c)을 가지고 있으며 "F"형으로 되어 있다. 암(49a),(49a),(49b)은 활형태로 구부러져 있다.The terminal member 47 made of a square metal plate has a protruding portion 47a at the center, and also has a sunrise terminal portion 47b. The terminal member 48 has a square plate having a protruding portion 48a at the center and a lead terminal portion 48b extending from one side of the plate. The terminal member 49 has two parallel arms 49a and 49b and a lead terminal portion 49c and is of " F " type. The arms 49a, 49a, 49b are bent in a bow shape.

압전소자(46)와 단자멤버(47),(48),(49)가 케이싱(40)내에 조립되었을 경우 돌출부(47a),(48a)는 케이싱에서 바깥쪽으로 돌출되며, 압전소자(46)는 진동노드가 있는 중심부에서 돌출부(47a),(48a)사이에서 협지되어 있다. 활모양의 암(49a),(49b)은 2차전극(51b)와 접촉하여 있다.When the piezoelectric element 46 and the terminal members 47, 48, and 49 are assembled in the casing 40, the protrusions 47a and 48a protrude outward from the casing, and the piezoelectric element 46 It is sandwiched between the projections 47a and 48a at the center where the vibrating node is located. The bow-shaped arms 49a and 49b are in contact with the secondary electrode 51b.

본 변형의 장치중의 압전소자(46)는 전술한 압전소자(41)보다 더 큰 직경을 갖고 있으므로 2차전극(51b)이 암(49a),(49b)과 접촉하는 부분이 진동에 노드이다. 이 특성을 다음과 같이 상세히 설명한다.Since the piezoelectric element 46 in the apparatus of the present modification has a larger diameter than the above-described piezoelectric element 41, the portion where the secondary electrode 51b contacts the arms 49a and 49b is a node in vibration. . This characteristic is explained in detail as follows.

제34a도 및 제34b도에 대하여 설명한다. 압전소자가 정사각형 모양을 가졌을 경우 진동노드는 그 소자의 중심에 있고, 또한 각 측면의 중심에 있다. 바꿔말하면 정사각형 압전소자는 5개의 진동노드를 갖고 있다. 따라서 압전소자가 그 노드에서 유지되는 한은 동소자는 방해없이 자유로히 진동할 수 있다.34A and 34B will be described. When the piezoelectric element has a square shape, the vibration node is at the center of the element and also at the center of each side. In other words, the square piezoelectric element has five vibration nodes. Thus, as long as the piezoelectric element is held at the node, the copper element can vibrate freely without interference.

제35a도, 제35b도에 대하여 설명한다. 압전소자가 원형이고, 기본주파수를 중심주파수로 채택하였을 경우 진동노드는 그 소자에 중심에만 존재한다. 따라서 이런 형의 압전소자는 그 소자의 중심에서만 지탱할 수 있다. 그러나 3차주파를 중심주파수로 채택하고 그 직경의 크기가 3배로 증대되었을 경우 진동노드는 중심에서 뿐만아니라 그 소자의 중심에서

(D는 대형 압전소자의 직경) 거리만큼 떨어져 있고 중심둘레에서 직각으로 서로간에 분리되어 있는 4개의 각기 다른점에서 나타난다. 이들 4개의 점은 2차전극 또는 테두리전극에 존재한다. 그러므로 3개의 전극형 전압소자를 압전장치에 사용했을 경우 테두리전극은 전기접촉을 확실히 하고 그 소자의 자유진동을 할 수 있게 하는 노드에서 단자멤버와 접촉을 유지하게 할 수 있다. 그러나 그러한 배열장치에서는 그 압전장치의 크기가 제33a도, 제33b도, 제33c도에서 보는바와 같이 커지게 된다는 것은 불가피하다. 이러한 면에서 볼때 압전소자의 전극을 각각의 해당 단자멤버와 전기접속을 하게 하며, 동시에 그 소자의 자유진동을 할 수 있게 진동을 흡수하는 신축성 재료를 사용함으로서 소형의 압전소자를 3개의 전극형과 압전소자에도 사용할 수 있게 하는 것이 바람직하다.35A and 35B will be described. When the piezoelectric element is circular and the fundamental frequency is adopted as the center frequency, the vibration node exists only at the center of the element. Thus, this type of piezoelectric element can only be supported at the center of the element. However, when the third frequency is adopted as the center frequency and the diameter is increased three times, the vibration node is not only at the center but also at the center of the element.

(D is the diameter of a large piezoelectric element) It appears at four different points that are separated from each other at right angles to the center circumference. These four points exist in the secondary electrode or the edge electrode. Therefore, when three electrode-type voltage elements are used in the piezoelectric device, the edge electrodes can maintain contact with the terminal member at the node which ensures electrical contact and enables free vibration of the element. However, in such an arrangement, it is inevitable that the size of the piezoelectric device becomes large as shown in Figs. 33A, 33B, and 33C. In this respect, the piezoelectric element is made of three electrode types by using an elastic material that makes the electrical connection of the electrode of the piezoelectric element with the respective terminal member, and at the same time uses a flexible material that absorbs vibration so that the element can be freely vibrated. It is preferable to be able to use also for piezoelectric elements.

이러한 목적으로 동방성 전도성 탄성시이트, 비동방성 전도성 탄성시이트 또는 압전도 유연성 시이트를 압전소자와 해당 터미날 멤버사이에 놓아 사용할 수 있다.For this purpose, an isotropic conductive elastic sheet, an anisotropic conductive elastic sheet or a piezoelectric flexible sheet can be placed between the piezoelectric element and the terminal member.

동방성 전도성 탄성시이트는 금속판에서와 같이 모든 방향으로 전기전도를 하게 할 수 있도록 일정하지 않게 직선배열한 전기전도성 물질의 조각을 포함하는 탄성시이트이다. 비등방성 전도성 탄성시이트는 그 시이트의 두께방향으로만 전기전도를 하게 하기 위하여 그 두께방향을 가로지르는 일정한 방향으로 직전배열된 전기전도성 물질의 입자를 포함하는 탄성시이트이다.An isotropically conductive elastic sheet is an elastic sheet comprising pieces of electrically conductive material which are not uniformly linearly arranged to allow electrical conduction in all directions as in a metal plate. An anisotropic conductive elastic sheet is an elastic sheet comprising particles of an electrically conductive material immediately arranged in a constant direction across the thickness direction to allow electrical conduction only in the thickness direction of the sheet.

압전도성 유연성 시이트는 일정한 또는 고압의 압력을 가한점에서 두께방향으로 전기전도를 이룩하게 하는 탄성시이트를 말한다. 이러한 3개형의 시이트는 선형기술에서도 알려져 있으므로 더 이상의 설명은 생략한다.The piezoelectric flexible sheet refers to an elastic sheet that achieves electrical conductivity in the thickness direction at a constant or high pressure. Since these three types of sheets are also known in the linear technique, further explanation is omitted.

동방성 전도성 탄성시이트는 제38a도, 제38b도, 제38c도에 나타나 있는 압전장치(D₆)에서와 같이 압전소자의 한쪽면과 해당 단자멤버사이에 단일 접속만이 필요할 때에 특히 적합하다. 한편 비동방성 전도성 탄성시이트 또는 압전도성 연송시이트는 제40a도, 제40b도, 제40c도의 압전장치(D₇)에서와 같이 상기한 단일접속뿐만 아니라 압전소자의 일면과 해당단자 멤버들간에 필요한 2개 또는 그 이상의 접속에도 적합하다. 비동방성 전도성 탄성시이트와 압전도성 탄성시이트는 같은 특징을 갖고 있으므로 그것들은 일반적으로 동방성 도전성 탄성시이트로 불리운다. 바람직한 실시예에 따르면 비동방성 전도성 성질을 가진 고무시이트를 사용하고 있으나, 다른 형도 사용할 수 있다.The isotropic conductive elastic sheet is particularly suitable when only a single connection is required between one side of the piezoelectric element and the corresponding terminal member, as in the piezoelectric device D ₆ shown in Figs. 38A, 38B, and 38C. On the other hand, the anisotropic conductive elastic sheet or the piezoelectric conductive sheet may be formed between the one side of the piezoelectric element and the corresponding terminal members as well as the above-described single connection as in the piezoelectric apparatus D _{7 of} FIGS. 40a, 40b, and 40c. It is also suitable for connections of two or more. Since the anisotropic conductive elastic sheet and the piezoelectric elastic sheet have the same characteristics, they are generally called an isotropic conductive elastic sheet. According to a preferred embodiment, a rubber sheet having anisotropic conductive properties is used, but other types may be used.

이상 및 이후에 사용된 용어 고무시이트는 비동방성 전도성 성질을 가진 탄성시이트를 뜻하는 것을 유의해야 한다. 이 고무시이트는 노드 이외의 점 즉, 그 소자가 진동하고 있는 곳에서 압전소자를 지지할 수 있으므로 소형으로 된 3개의 전극형 압전소자를 지탱할 수 있다. 그 뿐만 아니라 고무시이트의 사용은 그 압전소자의 공진주파수와 저항이 그 압전소자를 지지하는데 가해진 압력에 불구하고 안정되게 될 수 있다는 장점을 갖게 한다.It should be noted that the term rubber sheet used above and later refers to an elastic sheet having anisotropic conductive properties. The rubber sheet can support the piezoelectric element at a point other than the node, i.e., where the element is vibrating, and thus can support the three-electrode piezoelectric element which is compact. In addition, the use of a rubber sheet has the advantage that the resonant frequency and resistance of the piezoelectric element can be stabilized despite the pressure applied to support the piezoelectric element.

제37a도, 제37b도, 제37c도를 설명한다. 지탱압력의 변화에 관련된 저항성과 공진주파수의 특성이 나타내어 있다. 제37a도는 2개 전극형 압전소자가 진동노드가 존재하는 압전소자 중심부에서 2개의 돌출부 사이에 지탱되었을 때 얻어지는 저항성을 나타내는 곡선(R₁)과 공진 주파수의 성질을 나타내는 곡선(rf)를 보여주고 있다.37A, 37B, and 37C will be described. The characteristics of the resistance and the resonant frequency related to the change in the holding pressure are shown. FIG. 37A shows a curve R ₁ representing the resistance obtained when a two-electrode piezoelectric element is supported between two protrusions at the center of a piezoelectric element in which a vibrating node is present, and a curve rf indicating the property of the resonance frequency. have.

제37b도는 2개의 전극형 압전소자가 하나의 돌출부와 하나의 단자 평판 사이에 지탱되어 있고, 그 돌출부가 진동노드와 접촉을 하고 있고, 또한 그 평판이 전체면에 접촉되어 있을때 얻어지는 위와 같은 특성을 나타내는 곡선(R₁),(fr)을 보여주고 있다.FIG. 37B shows the above characteristics obtained when two electrode-type piezoelectric elements are supported between one protrusion and one terminal plate, the protrusion is in contact with the vibrating node, and the plate is in contact with the entire surface. The curves R ₁ and fr are shown.

제37c도는 그 2개의 전극형 압전소자가 하나의 돌출부와 고무시이트 사이에 유지되어 있을때 얻어지는 같은 종류의 곡선(R₁),(fr)을 보여주고 있다.FIG. 37C shows the same kind of curves R ₁ , fr which are obtained when the two electrode type piezoelectric elements are held between one protrusion and the rubber sheet.

이 경우 고무시이트는 단자 평판 위에 놓인다. 동 3개의 그래프에서 명백한 바와 같이 저항성의 곡선(R₁) 및 공진주파수의 곡선(fr)는 고무시이트를 사용했을때 안정된 상태를 나타내고 있다. 상기 곡선들은 2개의 전극형 압전소자를 사용했을때 얻은 것이지만 3개 전극형 압전소자를 사용하였을 때도 같은 결과가 얻어진다. 따라서 고무 시이트를 사용하는 한은 유지 지탱 압력을 고려할 필요는 없다.In this case the rubber sheet is placed on the terminal plate. As is apparent from the three graphs, the resistance curve R ₁ and the resonance frequency curve fr show a stable state when a rubber sheet is used. The curves are obtained when using two electrode type piezoelectric elements, but the same results are obtained when using three electrode type piezoelectric elements. Therefore, as long as the rubber sheet is used, it is not necessary to consider the holding pressure.

제38a도, 제38b도, 제38c도에서는 압전장치(D₆)를 나타내고 있다. 이 장치(D₆)는 케이싱(40)과 2개 전극형 압전소자(41) 고무시이트(55) 및 2개의 단자멤버(56),(57)를 갖고 있으며, 그 중 단자멤버(56)는 돌출부(50a)와 인출단자부분(56b)를 가진 금속판으로 되어 있으며, 한편 단자멤버(57)는 인출단자 부분(57a)을 가진 금속 평면판으로 되어 있다.38A, 38B, and 38C show the piezoelectric device D ₆ . The device D ₆ has a casing 40, a two-electrode piezoelectric element 41, a rubber sheet 55, and two terminal members 56, 57, of which the terminal member 56 The metal plate has a protrusion 50a and a lead terminal portion 56b, while the terminal member 57 is a metal flat plate having the lead terminal portion 57a.

다음은 구성 부품들이 케이싱 내에서 조립되는 식을 설명하기로 한다. 고무시이트(55)는 압전소자(41)의 1차면에 가로 놓여 있으며, 그 1차면에 보조전극(45c)과 고무시이트가 1차 전극(45a)만이 접촉되도록 판막으로 형성되어 있다. 따라서, 단자멤버(57)는 고무시이트(55) 위에 놓일때, 1차 전극은 고무시이트(55)를 통하여 단자멤버(57)에 전기 접속되고 보조전극(45c)는 접속되어 있지 않다.The following describes how the components are assembled in the casing. The rubber sheet 55 lies horizontally on the primary surface of the piezoelectric element 41, and the secondary electrode 45c and the rubber sheet are formed in a plate film so that only the primary electrode 45a is in contact with the primary surface. Therefore, when the terminal member 57 is placed on the rubber sheet 55, the primary electrode is electrically connected to the terminal member 57 via the rubber sheet 55 and the auxiliary electrode 45c is not connected.

2차 단자멤버(56)은 압전소자(41)의 2차면에 놓여서 돌출부(56a)가 2차 전극과 접속되어 있다.The secondary terminal member 56 is placed on the secondary surface of the piezoelectric element 41 so that the protrusion 56a is connected to the secondary electrode.

금속평면판 대신에 단자멤버(57)는 제39a도 및 제39b도에서 보는 바와 같이 비전도성 물질로 된 판으로 형성케 할 수도 있으며, 이 경우 그 판은 인쇄된 전극(57c)을 갖게 되며, 인출단자부분(57a)은 그 인쇄된 전극(57c)에 납땜한다.Instead of the metal flat plate, the terminal member 57 may be formed of a plate made of a non-conductive material as shown in FIGS. 39a and 39b, in which case the plate has a printed electrode 57c, The lead terminal portion 57a is soldered to the printed electrode 57c.

제40a도, 제40b도, 제40c도에서는 압전장치(D₇)를 나타내고 있다. 이 장치(D₇)는 케이싱(40)과 3개의 전극형 압전소자(46) 고무시이트(55), 세개의 단자멤버(58), (59),(60)를 갖고 있다. 단자멤버(58)는 돌출부(58a) 및 단자부분 (58b)를 가진 금속판으로 되어 있으며, 단자멤버(59)는 인출단자부분(59a)을 가진 금속판으로 되어 있고, 단자멤버(60)는 "F"형으로 배열된 2개의 암(60a),(60b)과 인출단자부분(60c)을 가진 금속판으로 되어 있다.40A, 40B, and 40C show the piezoelectric device D ₇ . This apparatus D ₇ has a casing 40, three electrode-type piezoelectric elements 46 rubber sheets 55, three terminal members 58, 59, and 60. The terminal member 58 is made of a metal plate with a protruding portion 58a and the terminal portion 58b, and the terminal member 59 is made of a metal plate with a drawing terminal portion 59a, and the terminal member 60 is " F " It consists of a metal plate having two arms 60a, 60b and lead-out terminal portions 60c arranged in a " shape.

부품을 조립할 때 고무시이트(55)는 그 시이트가 중심 및 테두리의 전극(51a),(51b)을 덮게 되도록 압전소자(46)의 1차 면위에 놓는다. 2차 단자멤버(59)는 그 판부분이 고무시이트(55)를 통하여 중앙전극(51)를 덮을 수 있게 놓으며, 3차 단자멤버(60)는 그 암(60a),(60b)이 고무시이트(55)를 통하여 테두리 전극(51b)를 덮을 수 있게 놓는다.When assembling the parts, the rubber sheet 55 is placed on the primary surface of the piezoelectric element 46 so that the sheet covers the electrodes 51a, 51b at the center and the edge. The secondary terminal member 59 is placed so that its plate portion can cover the central electrode 51 through the rubber sheet 55, and the tertiary terminal member 60 has its arms 60a and 60b as the rubber sheet. The cover electrode 51b is placed to cover the edge electrode 51b.

2차 단자멤버(58)는 압전소자(46)의 2차면에 놓아서 돌출부(58a)가 3차 전극(51c)과 접촉되게 한다.The secondary terminal member 58 is placed on the secondary surface of the piezoelectric element 46 so that the protrusion 58a is in contact with the tertiary electrode 51c.

금속판 대신에 단자멤버(59),(60)는 비전도성 물질의 판제로 형성될 수도 있다(제41a도 및 제41b도 참조).Instead of the metal plate, the terminal members 59 and 60 may be formed of a plate made of a non-conductive material (see FIGS. 41A and 41B).

이 경우에 그 판은 단자멤버(59)의 판부분과 2개의 암(60a),(60b)의 배열과 같은 모양으로 된 인쇄된 전극(60d),(59d)를 갖고 있다. 압전장치(D₆),(D₇)의 중앙 주파수는 그것들의 기본 주파수의 같게끔 조정되어 있다는 것을 유의해야 한다. 압전소자가 연장전극을 갖고 있으므로 유사불순파형은 제거된다.In this case, the plate has printed electrodes 60d and 59d shaped like the arrangement of the plate portion of the terminal member 59 and the two arms 60a and 60b. Note that the center frequencies of the piezoelectric devices D ₆ and D ₇ are adjusted to be equal to their fundamental frequencies. Since the piezoelectric element has an extension electrode, the pseudo impurity waveform is eliminated.

또한 고무시이트(55)가 압전장치(D₆),(D₇)에 사용되었으므로 그 압전소자의 유지 지탱 압력을 고려할 필요는 없다.In addition, since the rubber sheet 55 is used in the piezoelectric devices D ₆ and D ₇ , it is not necessary to consider the holding holding pressure of the piezoelectric element.

다음에 압전소자의 양쪽에 각기 하나씩 2개의 고무시이트를 사용하는 압전장치를 설명한다.Next, a piezoelectric device using two rubber sheets, one for each of the piezoelectric elements, will be described.

제42a도, 제42b도, 제42c도에는 압전장치(D₈)를 보여주고 있다.42A, 42B, and 42C show piezoelectric devices D ₈ .

그 장치(D₈)는 제38a도, 제38b도, 제38c도에서 보는 장치(D₆)와 같은 구조로 되어 있으나, 압전소자(41)의 2차면에 부착된 또 하나의 고무시이트(61)를 갖고 있다. 그 압전소자는 고무시이트(55),(61)로 진동할 수 있게 지지되어 있으므로, 단자멤버(56)에 돌출부를 마련할 필요는 없다.The device D ₈ has the same structure as the device D ₆ shown in FIGS. 38A, 38B, and 38C, but with another rubber sheet 61 attached to the secondary surface of the piezoelectric element 41. Has Since the piezoelectric element is supported so as to be vibrated by the rubber sheets 55 and 61, it is not necessary to provide a projecting portion in the terminal member 56.

제43a도, 제43b도, 제43c도에서는 압전장치(D₉)를 보여주고 있다. 그 장치(D₉)는 제40a도, 제40b도, 제40c도에서 보는 장치(D₇)의 구조와 같은 구조로 되어 있으나, 압전소자(46)의 2차면에 부착된 또 하나의 고무시이트(62)를 갖고 있다. 그 압전소자는 고무시이트(55),(62)로 진동할 수 있게 지지되어 있으므로 단자멤버(58)에 돌출부를 마련할 필요가 없다. 압전소자의 1차면에 놓인 단자멤버를 가진 압전장치를 설명한다.43A, 43B, and 43C show the piezoelectric device D ₉ . The device D ₉ has the same structure as that of the device D ₇ shown in FIGS. 40A, 40B, and 40C, but with another rubber sheet attached to the secondary surface of the piezoelectric element 46. Has 62. Since the piezoelectric element is supported to vibrate with the rubber sheets 55 and 62, it is not necessary to provide a projecting portion in the terminal member 58. A piezoelectric device having a terminal member placed on the primary surface of the piezoelectric element will be described.

제44a도, 제44b도, 제44c도에서는 압전장치(D₁₀)을 보여주고 있다. 그 장치(D₁₀)는 케이싱(40) 2개의 전극형 압전소자(41), 고무 시이트(55), 2개의 단자멤버(65), (66)를 갖고 있다. 그 단자멤버(65)는 인출단자부분(65a)을 가진 금속판으로 되어 있으며, 단자멤버(66)는 단자부분(66a)을 가진 금속판으로 되어 있다.44A, 44B, and 44C show the piezoelectric device D ₁₀ . The apparatus D ₁₀ has a casing 40, two electrode type piezoelectric elements 41, a rubber sheet 55, two terminal members 65, and 66. The terminal member 65 is made of a metal plate having a lead terminal portion 65a, and the terminal member 66 is made of a metal plate having a terminal portion 66a.

부품을 조립할 때 고무시이트(55)는 압전소자(41)의 1차면에 놓아서 그 고무시이트가 1차 전극(45a) 및 보조전극(45c)을 덮도록 한다. 단자멤버(65)는 1차 전극(45a)이 놓여 있는 위치에서 고무시이트(55) 위에 놓이게 하고, 단자멤버(66)는 보조전극(45c)의 밑에 놓인 고무시이트(55) 위에 놓이게 한다. 그 고무시이트는 비 동방성 전도성을 갖고 있으므로 1차 전극(45a)은 단자판(65)에만 접속되며, 보조전극(45c)은 단자판(66)에만 접속된다. 케이싱(40)은 압전소자(41)의 중심쪽으로 내부를 향하여 뻗어있는 돌출부(40a)를 갖고 있어서 압전소자(41)가 고무시이트(55)와 돌출부(40a) 사이에 유지될 수 있게 한다.When assembling the parts, the rubber sheet 55 is placed on the primary surface of the piezoelectric element 41 so that the rubber sheet covers the primary electrode 45a and the auxiliary electrode 45c. The terminal member 65 is placed on the rubber sheet 55 at the position where the primary electrode 45a is placed, and the terminal member 66 is placed on the rubber sheet 55 underlying the auxiliary electrode 45c. Since the rubber sheet has anisotropic conductivity, the primary electrode 45a is connected only to the terminal plate 65, and the auxiliary electrode 45c is connected only to the terminal plate 66. The casing 40 has a projection 40a extending inward toward the center of the piezoelectric element 41 so that the piezoelectric element 41 can be held between the rubber sheet 55 and the projection 40a.

제45a도, 제45b도, 제45c도에서는 압전장치(D₁₁)를 보여주고 있다. 그 장치(D₁₁₎는 돌출부(40a)를 가진 케이싱(40), 3개의 전극형 압전소자(46), 고무시이트(55), 3개의 단자멤버(68),(69),(70) 등을 갖고 있다. 단자멤버(68),(69),(70)의 각각은 금속판으로 되어 있고 각각의 인출단자부분(68a),(69a),(70a)을 갖고 있다.45A, 45B, and 45C show the piezoelectric device D ₁₁ . The apparatus D _{11 includes} a casing 40 having a protrusion 40a, three electrode type piezoelectric elements 46, a rubber sheet 55, three terminal members 68, 69, 70, and the like. Have Each of the terminal members 68, 69, 70 is made of a metal plate and has respective lead terminal portions 68a, 69a, 70a.

부품을 조립할 때 고무시이트(55)는 압전소자(41)의 1차 면위에 놓고 그 고무시이트가 1차 또는 중심전구(51a) 및 2차 또는 테두리 전극(51b) 및 보조전극(51d)를 덮을 수 있게 한다. 단자멤버(68)는 테두리 전극(51b)의 밑에 놓은 고무시이트(55) 위에 놓이며, 단자멤버(69)는 중심전극(51a)의 밑에 놓인 고무시이트(55)위에 놓이며, 또한 단자멤버(70)는 보조전극(51d)의 밑에 놓인 고무시이트(55) 위에 놓이게 한다. 압전소자(46)는 돌출부(40a)의 고무시이트(55) 사이에 놓인다.When assembling the parts, the rubber sheet 55 is placed on the primary surface of the piezoelectric element 41 and the rubber sheet covers the primary or central bulb 51a and the secondary or edge electrode 51b and the auxiliary electrode 51d. To be able. The terminal member 68 is placed on the rubber sheet 55 placed under the edge electrode 51b, and the terminal member 69 is placed on the rubber sheet 55 placed under the center electrode 51a. 70 is placed on the rubber sheet 55 under the auxiliary electrode 51d. The piezoelectric element 46 is placed between the rubber sheets 55 of the protrusion 40a.

다음에는 압전장치(D₁₀) 및 (D₁₁)의 각종 변형을 아래와 같이 설명한다.Next, various modifications of the piezoelectric devices D ₁₀ and D ₁₁ will be described below.

제46a도, 제46b도, 제46c도는 압전장치(D₁₂)를 보여주고 있다. 그 장치(D₁₂)는 제44a도, 제44b도, 제44c도에서 보는 장치(D₁₀)의 구조와 같은 구조로 되어 있으나, 압전소자(41)의 2차면에 부착된 또 하나의 고무시이트(61)를 가지고 있다. 그 압전소자는 고무시이트(55) 및 (61)로 진동할 수 있게 잘 지지되어 있으므로 케이싱내에 돌출부(40a)를 마련할 필요는 없다.46A, 46B, and 46C show the piezoelectric device D ₁₂ . The device D ₁₂ has the same structure as that of the device D ₁₀ shown in FIGS. 44A, 44B, and 44C, but with another rubber sheet attached to the secondary surface of the piezoelectric element 41. Has 61 Since the piezoelectric element is well supported to vibrate with the rubber sheets 55 and 61, it is not necessary to provide the protrusion 40a in the casing.

제47a도, 제47b도, 제47c도는 압전장치(D₁₃)를 나타내고 있다. 그 장치(D₁₃)는 제45a도, 제45b도, 제45c도에서 보는 장치(D₁₁)의 구조와 비슷한 구조로 되어 있으나, 2개의 고무시이트(55)(61) 사이에 압전소자(46)를 지지할 목적으로 소자(46)의 2차면에 부착된 또 하나의 고무시이트(61)를 가지고 있다.47A, 47B, and 47C show the piezoelectric device D ₁₃ . The device D ₁₃ has a structure similar to that of the device D ₁₁ shown in FIGS. 45A, 45B and 45C, but the piezoelectric element 46 is sandwiched between two rubber sheets 55 and 61. ) Has another rubber sheet 61 attached to the secondary surface of the element 46.

제48a도, 제48b도, 제48c도는 압전장치(D₁₄)를 보여주고 있다. 그 장치(D₁₄)는 장치(D₁₀)의 구조와 비슷한 구조로 되어 있으나, 고무시이트(55) 및 돌출부(72a) 사이에 압전소자(41)를 지지할 수 있게 중심부에 돌출부(72a)를 가진 지지멤버(72)를 갖고 있다. 이 경우, 케이싱(40)내에 돌출부(40a)를 마련할 필요가 없다.48A, 48B, and 48C show the piezoelectric device D ₁₄ . The device D ₁₄ has a structure similar to that of the device D ₁₀ , but has a protrusion 72a at its center so as to support the piezoelectric element 41 between the rubber sheet 55 and the protrusion 72a. It has a support member 72 having. In this case, it is not necessary to provide the protrusion part 40a in the casing 40.

제49a도, 제49b도, 제49c도는 압전장치(D₁₅)를 보여주고 있다. 그 장치(D₁₅)는 장치(D₁₁)의 구조와 비슷한 구조로 되어 있으나, 고무시이트(55) 및 돌출부(72a) 사이에 소자(46)를 지지할 목적의 돌출부(72a)를 가진 지지멤버(72)를 갖고 있다. 따라서 케이싱(40)내에 돌출부(40a)는 마련되어 있지 않다.49A, 49B, and 49C show the piezoelectric device D ₁₅ . The device D ₁₅ has a structure similar to that of the device D ₁₁ , but has a support member having a projection 72a for supporting the element 46 between the rubber sheet 55 and the projection 72a. Has 72. Therefore, the protruding portion 40a is not provided in the casing 40.

제50a도, 제50b도, 제50c도는 압전장치(D₁₆)를 보여주고 있다. 그 장치(D₁₆)는 단자멤버의 배열을 제의하면 장치(D₁₀)의 구조와 같은 구조로 되어 있다. 2개의 별개로 단자멤버를 마련하는 대신에 그 장치(D₁₆)는 비 전도성 물질로 되어 있고, 인쇄된 전극(74a),(74b)를 가진 단자판(74)를 가지고 있으며, 동 전극(74a),(74b)는 단자멤버(65),(66)의 배치와 비슷한 모양으로 배열되어 있다. 인출단자부분은 동 전극에 납땜되여 있다.50A, 50B, and 50C show the piezoelectric device D ₁₆ . The device D ₁₆ has the same structure as that of the device D _{10 in} the arrangement of the terminal members. Instead of providing two separate terminal members, the device D ₁₆ is made of a non-conductive material, has a terminal plate 74 with printed electrodes 74a, 74b, and copper electrodes 74a. , 74b are arranged in a shape similar to the arrangement of the terminal members 65,66. The lead terminal part is soldered to the copper electrode.

제51a도, 제51b도, 제51c도는 압전장치(D₁₇)를 보여주고 있다. 그 장치(D₁₇)는 단자멤버의 배열을 제외하고는 장치(D₁₁)의 구조와 같은 구조로 되어 있다. 3개의 별개 단자멤버를 마련하는 대신에 장치(D₁₇)는 비 전도성 물질로 되어 있고, 인쇄된 전극(75a),(75b),(75c)를 가진 단자판(75)을 가지고 있으며, 그 전극(75a),(75b),(75c)는 단자멤버(68),(69),(70)의 배치와 비슷한 모양으로 배열되어 있고, 인출단자 부분은 그 인쇄전극에 납땜되어 있다.51A, 51B, and 51C show the piezoelectric device D ₁₇ . The device D ₁₇ has the same structure as that of the device D ₁₁ except for the arrangement of the terminal members. Instead of providing three separate terminal members, the device D ₁₇ is made of a non-conductive material and has a terminal plate 75 with printed electrodes 75a, 75b, 75c, and the electrode ( 75a, 75b, and 75c are arranged in a shape similar to the arrangement of the terminal members 68, 69, and 70, and the lead terminal portion is soldered to the printed electrode.

본 발명은 부수도면을 참조하여, 예를 들어서 충분히 설명하였으나, 각종 변경 및 변형은 동업 기술자는 잘 알 수 있다는 것을 유의하기 바란다.Although the present invention has been fully described with reference to the accompanying drawings, it should be noted that various changes and modifications are well understood by those skilled in the art.

예를 들면, 단자멤버를 1978년 3월 3일부 공고된 일본 특허 공개공보 제25246-1978호에서 발표된 바와 같이 호형으로 배열될 수 있다.For example, the terminal members may be arranged in an arc shape as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 25246-1978, issued March 3, 1978.

따라서, 그러한 변형은 본 발명의 진정한 범위에서 벗어나지 않는 한 본 발명에 포함된 것으로 해석해야 한다.Accordingly, such modifications should be construed as being included in the present invention without departing from the true scope thereof.

Claims

A group of primary electrodes formed of valves, except for one piezoelectric body having primary and secondary surfaces relative to each other as a unit and a peripheral portion of the primary surface of the piezoelectric body, and the secondary surface of the piezoelectric body as a plate. A piezoelectric element having a secondary electrode group formed, a secondary electrode plate formed separately from the primary portion of the peripheral portion excluding electricity on the primary surface, and a runner electrode for connecting the secondary electrode group to an auxiliary electrode.