KR820000570B1 - Method of dissolution of metals - Google Patents

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KR820000570B1
KR820000570B1 KR7803336A KR780003336A KR820000570B1 KR 820000570 B1 KR820000570 B1 KR 820000570B1 KR 7803336 A KR7803336 A KR 7803336A KR 780003336 A KR780003336 A KR 780003336A KR 820000570 B1 KR820000570 B1 KR 820000570B1
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KR
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etching
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hydrogen peroxide
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copper
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KR7803336A
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데이빗드 리이디오 휠맆
레스리 휴우 아란 죤
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에이취 이이 제이코부
다아트 인더스트리이즈 인코포레이팃드
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    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
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    • C09K13/04Etching, surface-brightening or pickling compositions containing an inorganic acid

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Abstract

In the etching of Cu in the prepn. of printed-circuit boards, improved metal dissoln. rates are obtained when using an aq. soln. contg. H2SO4, H2O2, and certain primary diols[I, R1 = cyclic paraffin or -(CR2R3)n-; R2,R3 = H, C1-4 alkyl; n >=2 . These additives have a dramatic effect in improving the etch rates both in the absence of added chloride ions or the presence of considerable quantities of chloride, i.e. 45 ppm. In 1 example, without chloride ion, the time required to completely remove the Cu from the bottom side of a laminate was reduced from 270 sec. to 75 sec. by adding 1,4-cyclohexanediol.

Description

금속을 용해시키는 방법How to dissolve metal

본 발명은 황산과 과산화수소를 함유하는 수성욕내에서 금속을 용해시키는 것에 관한 것으로, 특히 용매를 높은 수소로 이루어지게 할 수 있는 새로운 욕조성물(浴組成物)에 관한 것이다. 한 관점에 따라서는 본 발명은 인쇄된 회로관의 제조에 있어서 동의 식각에 관련하는 것이다.The present invention relates to dissolving metals in an aqueous bath containing sulfuric acid and hydrogen peroxide, and more particularly to a new bath material which can make the solvent consist of high hydrogen. According to one aspect, the present invention relates to copper etching in the production of printed circuit tubes.

본 분야에서 잘 공지되어 있는 바와 같이 인쇄된 전기회로의 제조에 있어서는 동의 적층판과 일반적으로 플라스틱인 식각내성물질이 사용된다. 회로를 얻는 일반적인 방법은 식각용액의 작용에 대하여 작용하지 않는 보호성 내성 물질로 적층판의 동표면상에 원하는 형태로 피복하는 것이다. 다음의 식각 단계에서 동의 미보호된 영역은 식각되고 한편 피복되지 않은 영역은 그대로 남아서 플라스틱으로 지지된 원하는 회로를 제공하게 된다. 내성물질은 플라스틱 물질이나 잉크 또는 땜납일 수 있다.In the manufacture of printed electrical circuits, as is well known in the art, copper laminates and etch resistant materials, generally plastic, are used. A common way of obtaining a circuit is to coat the desired surface on the copper surface of a laminate with a protective resistant material that does not act against the action of the etching solution. In the next etching step, the copper unprotected area is etched while the uncoated area remains intact to provide the desired circuit supported by plastic. The resistant material may be a plastic material or ink or solder.

과거 수년간 전기회로판을 식각시키는 공장은, 식각용액의 가격이 저렴하고, 폐 식각용액으로부터 동(copper value)을 회수할 수 있다는 상대적인 용이성 때문에 더욱 과산화수소-황산 시스템으로 전환되었다. 그러나 식각제 성분으로서 과산화수소를 사용함에는 이에 연관되는 많은 문제점들이 있다. 황산-과산화수소 용액 내에서의 과산화수소 안정성은 동이온과 같은 중금속이온의 존재에 의하여 악영향을 받는다.In the past few years, plants that etch electrical circuit boards have been converted to hydrogen peroxide-sulfuric acid systems because of the low cost of the etching solution and the relative ease of recovering copper value from the waste etching solution. However, there are many problems associated with using hydrogen peroxide as an etchant component. The hydrogen peroxide stability in the sulfuric acid-hydrogen peroxide solution is adversely affected by the presence of heavy metal ions such as copper ions.

즉 식각이 진행됨에 따라 식각제의 동이온 함량은 증가하고 식각속도는 식각욕내 과산화수소의 분해에 의하여 심한 급강하를 맞게 되며 식각제는 곧 효력을 잃게 된다. 이와 같은 식각제 능력을 개량시키기 위하여 여러 가지 안정제가 제안 및 사용되어 왔으며, 동이온의 존재에 따라 과산화수소 분해를 감소시키는데 어느 정도 성공하였다.That is, as the etching proceeds, the copper ion content of the etchant increases, and the etching rate is severely dropped by decomposition of hydrogen peroxide in the etching bath, and the etchant immediately loses its effect. Various stabilizers have been proposed and used to improve the ability of the etchant, and have been somewhat successful in reducing hydrogen peroxide decomposition in the presence of copper ions.

예컨대, 메타놀, 에타놀, 푸로파놀 및 부타놀과 같은 저금 포화 지방족 알콜이 산성화된 과산화수소-동 식자용액에 대한 유용한 안정 첨가제로서 알려져 있다. 이들 안정화된 용액의 불리점은 이들의 염소나 취소이온의 존재에 민감하며, 따라서 탈이온화 반응이나 예컨데 온염으로 오염이온을 침전하는 법 등에 의하여 사용하기 전 식각시스템으로부터 이들 이돈을 제거시키지 않으면 안된다는 사실이다. 또한 알콜은 일반적으로 식각공정에서 요구되는 고온에서 대단히 휘발성이며 따라서 조작중 안정제가 상당히 손실된다.For example, low gold saturated aliphatic alcohols such as methanol, ethanol, furopanol and butanol are known as useful stabilizing additives for acidified hydrogen peroxide-dietary solutions. The disadvantage of these stabilized solutions is that they are sensitive to the presence of their chlorine or cancel ions and therefore must be removed from the etch system prior to use by deionization reactions or, for example, precipitation of contaminated ions with warm salts. to be. Alcohols are also very volatile at the high temperatures typically required for etching processes and therefore significant loss of stabilizer during operation.

에틸렌글리콜은 모노-형이건 폴리-형이건 간에 동픽클링과 식각등과 같은 금속용해 조작에서 사용되는 산성화된 과산화수소를 안정화시키는 것으로 미국특허 3537895 및 3773577호에 공지되어 있다. 안정화 효과외에도 에틸렌글리콜은 정상조직 온도에서 비교적 낮은 휘발성을 가지며 식각 및 픽클링 속도를 어느정도 개량시킨다는 점에서, 상기 특허에 지시된 것과 연관된 기타 이점도 역시 갖고 있다. 그러나 이들 속도는 여러 금속용해 공정에 대하여 충분하지 못하며 염소와 취소 민감성의 문제점은 이들 안정화된 금속처리용액에 관하여 아직도 존재하고 있다. 적당한 안정제를 가함으로써 금속이온이 있어도 수소분해가 상당히 지연될 수 있으나 안정화된 과산화수소-황산식각제의 식각 속도는 대체로 대단히 낮아서 특히 높은 동이온 농도에서는 개량이 요구되고 있다. 따라서 종래 방법에서는 식각 속도를 개량시키기 위하여 촉매나 증진제를 사용할 것이 제안되어 있다. 이와같은 촉매의 특수예는 은, 수은, 팔라디움, 금, 백금이온과 같이 금속이온으로 이들 모두는 동보다 낮은 산화가를 갖고 있다. 기타 실예에는 페나세틴, 설파티아졸 및 은이온과 같이 상기 3성분의 어느 것과 2염기산화를 여러 가지로 조합한 것, 또는 페닐 요소나 안식향산과 조합시킨 것, 또는 요소와 티오요소 화합물과를 조합한 것 등이 포함된다.Ethylene glycol, whether mono- or poly-form, is known from US Pat. Nos. 3537895 and 3773577 to stabilize acidified hydrogen peroxide used in metal melting operations such as copper pickling and etching. In addition to the stabilizing effect, ethylene glycol also has other advantages associated with that indicated in the patent in that it has a relatively low volatility at normal tissue temperatures and somewhat improves the etching and pickling rates. However, these rates are not sufficient for many metal melting processes and problems of chlorine and cancellation sensitivity still exist for these stabilized metal treatment solutions. Hydrolysis can be significantly delayed even with the presence of metal ions by the addition of a suitable stabilizer, but the etch rate of stabilized hydrogen peroxide-sulfuric acid etchants is generally very low, requiring improvements, especially at high copper ion concentrations. Therefore, in the conventional method, it is proposed to use a catalyst or an enhancer to improve the etching rate. Special examples of such catalysts are metal ions such as silver, mercury, palladium, gold and platinum ions, all of which have lower oxidation values than copper. Other examples include various combinations of any of the above three components with dibasic oxidation, such as phenacetin, sulfatiazole and silver ions, or combinations of phenylurea or benzoic acid, or combinations of urea and thiourea compounds One thing is included.

상기한 낮은 식각 속도의 문제점과 또한 유리염소와 취소 이온함량의 존재에 의하여 야기되는 문제점에 대하여 은이온이 절대적인 용액을 제공하는 것으로 보이나 아직도 과산화수소-황산 식각용액을 제조함에 은이온을 사용하는 것에는 몇가지 결점이 있다. 이들중의 하나는 은이 대단히 고가라는 점이다. 또 다른 점은 은이온이 식각 속도를 요구되는 만큼 증진시키지 못한다는 점이다.Although the silver ions appear to provide an absolute solution to the problems of the low etch rate described above and the problems caused by the presence of free chlorine and canceling ions, the use of silver ions in the preparation of hydrogen peroxide-sulfuric acid etch solutions There are some drawbacks. One of these is that silver is very expensive. Another difference is that silver ions do not increase the etching rate as required.

따라서 본 발명의 목적은 금속을 용해시키는 대단히 유효한 새로운 수용성 조성물을 제공하는 것이다.It is therefore an object of the present invention to provide new effective water soluble compositions which dissolve the metal.

또 다른 목적은 고속도로 동이나 동의 합금과 같은 금속을 용해시키는 개량된 방법을 제공하는 것이다.Another object is to provide an improved method of dissolving metals such as highway copper or copper alloys.

또 하나의 목적은 식각속도나 취소나 염소이온의 존재에 의하여 비교적 영향을 받지 않는 동의 식각 조성물과 방법을 제공하는 것이다.Another object is to provide a copper etchant composition and method that is relatively unaffected by etch rate or cancellation or the presence of chlorine ions.

본 발명의 기타 목적은 후술하는 명세서로부터 더욱 명백하게 될 것이다.Other objects of the present invention will become more apparent from the following specification.

본 발명에 의하면 약 0.2-4.5g몰/l의 황산과, 약 0.25-8g몰/l의 과산화수소와 다음 일반식을 갖는 1급디올 증진제의 유효량을 함유하는 수용액으로 구성된 조성물이 제공된다.According to the present invention there is provided a composition consisting of an aqueous solution containing about 0.2-4.5 g mol / l sulfuric acid, about 0.25-8 g mol / l hydrogen peroxide and an effective amount of a primary diol enhancer having the general formula:

Figure kpo00001
Figure kpo00001

상기식에서 R1은 다음(a)와 (b)로부터 선택된다.Wherein R 1 is selected from (a) and (b).

(a) (CR2R3)n,(a) (CR 2 R 3 ) n,

이때 R2와 R3는 각각 독립적으로 수소 또는 1-4개 탄소 알킬기이고, n은 적어도 2이다.Wherein R 2 and R 3 are each independently hydrogen or a 1-4 carbon alkyl group, and n is at least 2.

(b) 환상파라핀기, 또는 환 구조내에 5-7개의 탄소원자를 가지고 알킬치환분에 1-4개의 탄소원자를 갖는 알킬-치환된 환상파라핀기.(b) cyclic paraffin group or an alkyl-substituted cyclic paraffin group having 5-7 carbon atoms in the ring structure and having 1-4 carbon atoms in the alkyl substituent.

식각용액의 황산농도는 약 0.2-4.5g몰/l에, 바람직하게는 약 0.3-4g몰/l에 유지되어야 한다. 용액의 과산화수소 농도는 약 0.25-6g몰/l로 광범위하나, 약 4g몰/l로 제한되는 것이 바람직하다.The sulfuric acid concentration of the etching solution should be maintained at about 0.2-4.5 g mol / l, preferably about 0.3-4 g mol / l. The hydrogen peroxide concentration of the solution is broad, about 0.25-6 g mol / l, but is preferably limited to about 4 g mol / l.

본 발명에서 유용한 적당한 1급 디올 증진제의 실예로는 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,7-헵탄디올 등과; 2-메틸-1,4-부탄디올, 2-에틸-1,5펜탄디올, 3-푸로필-1,5-펜탄디올 등과; 1,4-싸이클로헥산디메타놀; 2-메틸-1,3-싸이클로펜탄디메타놀 등이 있다.Examples of suitable primary diol enhancers useful in the present invention include 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol and the like; 2-methyl-1,4-butanediol, 2-ethyl-1,5 pentanediol, 3-furophyll-1,5-pentanediol and the like; 1,4-cyclohexanedimethanol; 2-methyl-1,3-cyclopentanedimethanol and the like.

증진제는 일반적으로 적어도 0.01g몰/l, 바람직하게는 약 0.1-0.5g몰/l인 유효량으로 첨가된다.Enhancers are generally added in an effective amount of at least 0.01 g mol / l, preferably about 0.1-0.5 g mol / l.

용액에서 사용될 증진제의 양은 어느정도 유리 염소나 취소 함량에 의한다. 예컨대 이들 오염물의 농도가 낮은 경우, 즉 약 2-25ppm인 경우 낮은 부위의 증진제농도, 예컨데 0.01-0.2g몰/l가 원하는 식각속도 수행에 적당하다. 이와 반대로 오염물이 비교적 높은 농도로, 예컨데 약 25-60ppm으로 존재하는 경우 적어도 0.2g몰/l의 증진제를 가해주어야 한다.The amount of enhancer to be used in the solution depends, to some extent, on the free chlorine or cancellation content. For example, when the concentration of these contaminants is low, that is, about 2-25 ppm, the low concentration of the enhancer concentration, such as 0.01-0.2 g mol / l, is suitable for performing the desired etching rate. In contrast, if the contaminants are present at relatively high concentrations, for example about 25-60 ppm, at least 0.2 g mol / l of enhancer should be added.

에틸렌글리콜과 푸로필렌글리콜의 경우에서와 같이 일반식(1)에서 n이 0이나 1인 경우, 이들 1급 디올을 통상의 식각용액에 가해도 염소나 최소이온이 존재하는 경우에는 적당한 식가속도가 얻어지지 않는다. 이와 같은 현상은 에틸렌 글리콜과 푸로필렌 글리콜의 폴리형에 있어서도 동일하다. 이와 유사하게 1개나 그 이상의 2급 또는 3급 하이드록실기를 함유하는 하이드록실 치환 파라핀도 염소와 취소 민감성 때문에 유용하지 못하다.When n is 0 or 1 in the general formula (1), as in the case of ethylene glycol and furopropylene glycol, an appropriate food acceleration rate is obtained when chlorine or minimum ions are present even if these primary diols are added to a conventional etching solution. Not obtained. Such a phenomenon is the same also in the polyform of ethylene glycol and furopropylene glycol. Similarly, hydroxyl substituted paraffins containing one or more secondary or tertiary hydroxyl groups are also not useful due to chlorine and cancellation sensitivity.

식각용액의 잔여부분 보충에는 물이 사용된다. 유리염소나 취소를 용액으로부터 제거시킴에는 특수한 처리가 요구되지 않는다. 왜냐하면 환상알콜과 디올의 존재는 식각속도를 대단히 감소시키게 될 상기 오염물에 대하여 충분한 비민감성을 투여하기 때문이다.Water is used to replenish the remainder of the etch solution. No special treatment is required to remove free chlorine or cancellation from solution. This is because the presence of cyclic alcohols and diols administers sufficient insensitivity to the contaminants that will greatly reduce the etch rate.

이 용액은 또한 중금속이 도입된 과산화수소의 분해와 반대작용을 하는데 사용되는 공지의 안정제와 같은 기타 여러 가지 성분을 함유할 수 있다. 물론 산성화된 과산화수소의 금속처리 용액에 안정화 효과를 갖는 기타 여러 가지 화합물도 동등하게 이롭게 이용할 수 있다.The solution may also contain many other components, such as known stabilizers used to counteract the decomposition of hydrogen peroxide into which heavy metals have been introduced. Of course, other various compounds having a stabilizing effect on the metallized solution of acidified hydrogen peroxide can be equally advantageously used.

과부도식 즉 단부의 부식 또는 치명적 부식을 방지하는 것으로 알려진 어떤 첨가제도 요구에 따라 부가할 수 있다. 이와같은 화합물의 실예는 질소화합물이며, 이들이 본 명세서에 참고로 기술되어 있다. 그러나 본 발명에 있어서는 이와 같은 첨가제의 사용이 필요하지 않다. 왜냐하면 식각 조성물에 증진제를 포함시킴에 따라 신속한 식각 속도가 얻어지는 때문이다.Any additive known to prevent over-corrosion, ie end or fatal corrosion, may be added as desired. Examples of such compounds are nitrogen compounds, which are described herein by reference. However, the use of such additives is not necessary in the present invention. This is because the rapid etching speed is obtained by including the enhancer in the etching composition.

본 용액은 동과 동합금의 화학적 밀링(milling)과 식각에 특히 융용하지만 철, 니켈, 아연 및 강철과 같은 기타 금속과 합금도 본 발명 용액에 용해될 수 있다.The solution is particularly soluble in chemical milling and etching of copper and copper alloys, but other metals and alloys such as iron, nickel, zinc and steel can also be dissolved in the solution of the invention.

금속의 용해에 본 용액을 사용하는 경우에는 그 특수금속에 대한 통상의 조작 조건이 이용된다. 따라서 동의 식각에 있어서는 약 105-140℉의 온도가 유지되어야 하며, 바람직하게는 조작 온도가 약 120-130℉에 유지되어야 한다.When this solution is used for dissolving a metal, normal operating conditions for the special metal are used. Thus, for copper etching, a temperature of about 105-140 ° F should be maintained, and preferably the operating temperature should be maintained at about 120-130 ° F.

본 용액은 침지 또는 분무 식각 방법 중 어느 것을 이용하든지간에 식각제로서 뛰어나게 적합하다. 본 발명 조성물로 얻어진 식각 속도는 대단히 빠르다. 이와같이 특이하게 높은 식각속도 때문에 본 조성물은 인쇄된 회로판의 제조에서 식각제로서 특히 적당하다. 왜냐햐면 이 경우에는 경제적인 이유와 더불어 내성물질하에 바람직하지 못한 치명적인 단부의 식각 또는 용해를 최소화하기 위한 이유로서 단위시간당 비교적 많은 수의 작업편이 가공될 것이 요구되기 때문이다. 본 발명의 또 다른 중요한 이점은 깨끗한 식각이 이울어진다는 점이다. 또 다른 이점은 식각속도가 별로 희생되지 않으면서 용액내에 2ppm-50ppm까지 농도의 유리염소나 취소의 존재가 허용될 수 있다는 점이다. 따라서 통상적인 수도물을 본 용액 제조에 사용할 수 있다. 또한 본 발명의 1급 디올 증진제는 과산화수소에 대하여 상당한 안정과 효과를 갖는 것이 판명되었으며, 이에 따라 부가적인 과산화수소 안정제의 요구성을 감소 또는 제거할 수 있다. 또 다른 이점은 본 용액의 식각속도가 높은 동하중에 의하여 비교적 영향을 받지 않는다는 것이다. 그외의 이점에는 본 용액내 증진제의 낮은 휘발성과 높은 용해도가 포함된다.The solution is excellently suited as an etchant, either by dipping or spray etching. The etching rate obtained with the composition of the present invention is very fast. Due to this unusually high etching rate, the composition is particularly suitable as an etchant in the manufacture of printed circuit boards. This is because, in this case, a relatively large number of workpieces are required to be machined per unit time, both economically and as a reason to minimize the etching or dissolution of undesirable fatal ends under resistant materials. Another important advantage of the present invention is that clean etching is achieved. Another advantage is that the presence of free chlorine or cancellation in concentrations of up to 2 ppm to 50 ppm in the solution can be tolerated without sacrificing etch rate. Conventional tap water can thus be used for the preparation of this solution. It has also been found that the primary diol enhancers of the present invention have significant stability and effect on hydrogen peroxide, thereby reducing or eliminating the need for additional hydrogen peroxide stabilizers. Another advantage is that the etch rate of this solution is relatively unaffected by high dynamic loads. Other advantages include the low volatility and high solubility of the enhancer in the solution.

다음의 실시예는 본 발명을 설명하기 위한 것이다.The following examples illustrate the invention.

[실시예 1-5]Example 1-5

다음 일련의 실험에서는 1평방ft당 1온스의 피복을 갖는 동적 층판(2″x2″)이 129℉에서 유지된 교반되는 용액내에서 침지 식각되었다. 각개 용액은 15용적%의 66° Baume황산(2.7g몰/l)과 15용적%의 (50%w/w)과산화수소(2.6g몰/l)와 70용적%의 탈이온수나 증류수를 함유하였다. 이 용액을 2.5g/l의 페놀설폰산나트륨으로 안정화시켰다. 아무런 촉매와 부가염소이온(실시예 1)이 없을 때 적층판의 저부로부터 동을 완전히 제거시키는데 요구되는 시간은 270초였다(증류수로 제조한 용액에서는 190-200초).In the next series of experiments, a dynamic lamellar plate (2 ″ × 2 ″) with one ounce of coating per square foot was immersed in a stirred solution maintained at 129 ° F. Each solution contained 15 vol% 66 ° Baume sulfuric acid (2.7 g mol / l), 15 vol% (50% w / w) hydrogen peroxide (2.6 g mol / l), and 70 vol% deionized or distilled water. . This solution was stabilized with 2.5 g / l sodium phenolsulfonate. The time required for complete removal of copper from the bottom of the laminate in the absence of any catalyst and added chlorine ions (Example 1) was 270 seconds (190-200 seconds in a solution made with distilled water).

실시예 2-5의 식각용액은 표 1에 나타낸 것과 같은 1급 디올 증진제를 함유하는 것을 제외하고는 실시예 1의 것과 동일한 조성을 가졌다. 식각 시험의 결과는 부가된 염소이온이 부존재하거나, 45ppm의 부가된 염소이온으로 상당한 양이 존재하는 양 경우에 모든 첨가제가 식각속도를 증진시킴에 극적인 효과를 가지고 있음을 나타내었다.The etching solution of Example 2-5 had the same composition as that of Example 1 except for containing a primary diol enhancer as shown in Table 1. The results of the etch test showed that all additives had a dramatic effect on increasing the etch rate in the absence of added chlorine ions or in significant amounts of 45 ppm added chlorine ions.

[표 1]TABLE 1

Figure kpo00002
Figure kpo00002

예컨대 분무식각 방법에 의한 것과 같은 대규모 조작에 있어서, 본 발명의 용액에 의하여 계속 우수한 결과를 얻을 수 있음에 유의하여야 한다. 특히 비교 용액에 비하여 식각속도가 증가된 것이 나타났고, 실제로 식각시간이 상기한 소규모의 침지방법을 얻은 값의 1/3-2/3 정도로 실질적으로 낮았다.It should be noted that for large scale operations such as by spray etching methods, good results can still be obtained with the solution of the present invention. In particular, the etching rate was increased compared to the comparative solution, and the etching time was substantially lower than 1 / 3-2 / 3 of the value obtained by the above-described small immersion method.

[실시예 6-15]Example 6-15

이들 실시예에 있어서는 본 발명의 요구를 충족시키지 못하는 20ml 또는 20g/l 정도의 여러 가지 디올을 실시예 1의 것과 동일한 조성의 식각용액에 가했다. 표 Ⅱ에 나타난 실측치로부터 알 수 있는 바와같이, 식각시험결과는 45ppm의 유리염소가 가해져서 존재할 때의 식각속도가 특히 부적당하다는 점에서 불량하였다.In these examples, various diols of about 20 ml or 20 g / l which did not satisfy the requirements of the present invention were added to an etching solution having the same composition as that of Example 1. As can be seen from the measured values shown in Table II, the etching test results were poor in that the etching rate in the presence of 45 ppm free chlorine was inadequate.

[표 II]TABLE II

Figure kpo00003
Figure kpo00003

Figure kpo00004
Figure kpo00004

[실시예 16-21][Example 16-21]

본 발명의 증진제에 의하여 안정화 효과가 있음을 나타내기 위하여 증류수로 제조하고, 실시예 1의 조성을 가지며 38.2g/l(약 5온스/갈론)의 등이온을 갖는 비교용액(실시예 16)을 150g/l의 황산동 5수화물의 형태로 가해 주었다. 이 용액을 24시간 동안 계속 교반하면서 129℉에 유지시키고, 과산화물 농도를 처음에 측정하고 다음에 페로인 지시약과 더불어 표준 세리움황산 암모늄 용액을 사용하여 적정함으로써, 시험 기간중 주기적으로 측정하였다.150 g of a comparative solution (Example 16) prepared with distilled water to have a stabilizing effect by the enhancer of the present invention, having a composition of Example 1 and having an ision of 38.2 g / l (about 5 ounces / gallon) / l in the form of copper sulfate pentahydrate. The solution was kept at 129 ° F. for 24 hours with continued stirring and periodically measured during the test period by first measuring the peroxide concentration and then titrating with a standard ammonium cerium sulfate solution with a ferroin indicator.

페놀 설폰산 나트륨과 우수한 과산화수소 안정제를 통상의 안정화 양으르 가해주는 것을 제외하고는 동일한 형태로 실시예 17을 수행하였다. 실시예 18-21의 용액에는 표 Ⅲ에 나타낸 여러 가지 디올을 최적시각속도를 증진시키는 것으로 알려져 양만큼 가하였다. 시험 결과는 1급디올이 과산화수소 분해에 대하여 안정제로써 대단히 유효하다는 것을 나타내고 있다.Example 17 was carried out in the same form, except that sodium phenol sulfonate and good hydrogen peroxide stabilizer were added in the usual stabilizing amount. The diols shown in Table III were added to the solution of Examples 18-21 in amounts known to enhance the optimum visual velocity. The test results indicate that primary diols are very effective as stabilizers against hydrogen peroxide decomposition.

[표 III]TABLE III

Figure kpo00005
Figure kpo00005

[실시예 22-26][Examples 22-26]

식각속도에 대한 증진재 농도의 효과를 나타내기 위하여 약 122℉에서 10온스/ft2의 동피복을 갖는 동적층판 2″x2″를 사용하여 DEA-30 문무식각기 내에서 다음의 비교실험을 수행하였다. 비교 용액(실시예 22)은 10용적%의 50% w/w 과산화수소(1.8g몰/l)와 20용적%의 66° Baume 황산(3.6g몰/l)과 70용적%의 증류수를 함유하였고, 여기에 1g/l의 페놀 설폰산 나트륨 안정제와 15g/l의 황산동 5수화물을 가하였다.To demonstrate the effect of promoter concentration on the etch rate, the following comparative experiments were performed in a DEA-30 literal etchant using a dynamic lamellar 2 ″ x2 ″ with a copper sheath of 10 ounces / ft 2 at approximately 122 ° F. It was. The comparative solution (Example 22) contained 10 vol% of 50% w / w hydrogen peroxide (1.8 g mol / l), 20 vol% of 66 ° Baume sulfuric acid (3.6 g mol / l) and 70 vol% of distilled water. 1 g / l sodium phenol sulfonate stabilizer and 15 g / l copper sulfate pentahydrate were added thereto.

실시예 22-26에 있어서는 또한 여러 가지 양의 1,4-부탄디올을 포함시켰다. 식각시간에 대한 디올농도의 효과가 다음표 Ⅳ에 나타나 있다.Examples 22-26 also included various amounts of 1,4-butanediol. The effect of diol concentration on etching time is shown in Table IV.

[표 IV]TABLE IV

Figure kpo00006
Figure kpo00006

본 분야의 숙련자에게는 상기한 특수구체예에 대하여 여러가지수정과 변화가 이루어질 수 있음이 명백할 것이다. 상기한 명세서로부터의 모든 파생도 본 명세서와 특허 청구범위에 정의된 본 발명 범위내의 것으로 고려된다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made to the specific embodiments described above. All derivatives from the foregoing specification are also considered to be within the scope of the invention as defined in this specification and claims.

Claims (1)

약 0.2-45g몰/l의 황산과 약 0.25-8g몰/l의 과산화수소와 유효량의 다음 일반식을 갖는 1급 디올 증진제를 함유하는 수용액과 금속과를 접촉시킴을 특징으로 하여, 금속을 용해시키는 방법.Dissolving the metal, comprising contacting the metal with an aqueous solution containing about 0.2-45 g mol / l sulfuric acid and about 0.25-8 g mol / l hydrogen peroxide and an effective amount of a primary diol enhancer having the following general formula: Way.
Figure kpo00007
Figure kpo00007
상기식에서 R1은 다음 (a)와 (b)로부터 선택된다.Wherein R 1 is selected from (a) and (b). (a) -(CR2R3)n-(a)-(CR 2 R 3 ) n- 이때 R2와 R3는 각각 독립적인 것으로 수소, 또는 1-4개 탄소원자의 알킬기이고, n은 적어도 2이다.Wherein R 2 and R 3 are each independently hydrogen or an alkyl group of 1-4 carbon atoms, and n is at least 2. (b) 환상 파라핀기, 또는 환 구조내에 5-7개의 탄소원자를 가지고 모든 알킬치환분 내에 1-4개의 탄소원자를 갖는 알킬-치환된 환상 파라핀기.(b) cyclic paraffinic groups, or alkyl-substituted cyclic paraffinic groups having 5-7 carbon atoms in the ring structure and 1-4 carbon atoms in all alkylsubstituents.
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