KR20240053227A - X-ray source driving device and X-ray generator using the same - Google Patents

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KR20240053227A
KR20240053227A KR1020220133084A KR20220133084A KR20240053227A KR 20240053227 A KR20240053227 A KR 20240053227A KR 1020220133084 A KR1020220133084 A KR 1020220133084A KR 20220133084 A KR20220133084 A KR 20220133084A KR 20240053227 A KR20240053227 A KR 20240053227A
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조태영
안드레
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주식회사바텍
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Abstract

본 발명은 전계방출형 엑스선 소스(field emission type X-ray source)의 구동장치 및 이를 이용한 엑스선 발생장치에 관한 것으로, 전자 방출원을 갖는 캐소드 전극, 타겟을 갖는 애노드 전극, 상기 전자 방출원과 타켓 사이의 게이트 전극을 포함하는 전계방출형 엑스선 소스의 구동장치로서,
전원 공급부로부터 공급되는 전압으로 상기 애노드 전극, 상기 캐소드 전극, 상기 게이트 전극에 각각 인가되는 애노드 전압, 캐소드 전압, 게이트 전압을 생성하는 전압 변환부와; 관전류를 검출하기 위한 전류 검출부와; 검출된 관전류를 목표 관전류와 비교하는 관전류 비교부와; 상기 검출된 관전류가 상기의 목표 관전류에 도달하도록 상기 게이트 전극으로 인가되는 게이트 전압을 조절하는 전압 제어부;를 포함함을 특징으로 한다.
The present invention relates to a driving device for a field emission type X-ray source and an A driving device for a field emission type X-ray source including a gate electrode between
a voltage converter that generates an anode voltage, a cathode voltage, and a gate voltage respectively applied to the anode electrode, the cathode electrode, and the gate electrode using a voltage supplied from a power supply unit; a current detection unit for detecting tube current; a tube current comparison unit that compares the detected tube current with the target tube current; and a voltage control unit that adjusts the gate voltage applied to the gate electrode so that the detected tube current reaches the target tube current.

Figure P1020220133084
Figure P1020220133084

Description

엑스선 소스의 구동장치 및 이를 이용한 엑스선 발생장치{X-ray source driving device and X-ray generator using the same}X-ray source driving device and X-ray generator using the same}

본 발명은 엑스선 소스의 구동장치에 관한 것으로, 특히 전계방출형 엑스선 소스(field emission type X-ray source)의 구동장치 및 이를 이용한 엑스선 발생장치에 관한 것이다.The present invention relates to a driving device for an X-ray source, and particularly to a driving device for a field emission type X-ray source and an X-ray generating device using the same.

엑스선 촬영장치는 일정량의 엑스선을 촬영대상에 조사하고, 촬영대상을 투과한 엑스선을 엑스선 센서로 감지하여, 감지된 전기적 신호를 바탕으로 촬영대상의 내부구조에 대한 엑스선 영상을 재구성하는 장치를 말한다.An X-ray imaging device is a device that irradiates a certain amount of X-rays to an object to be photographed, detects the X-rays that pass through the object with an

이러한 엑스선 촬영장치는 엑스선을 생성해서 피검체로 조사하는 엑스선 발생장치를 포함하고, 엑스선 발생장치는 엑스선을 생성하는 엑스선 소스(또는 엑스선 관 또는 엑스선 튜브) 및 이의 구동을 위한 구동장치를 포함한다. 엑스선 발생장치는 의료, 치과용이나 비파괴 검사용, 화학분석용 등 다양한 검사장치(진단장치)에 사용되고 있다.Such an X-ray imaging device includes an X-ray generator that generates X-rays and irradiates them to a subject, and the X-ray generator includes an X-ray generators are used in various inspection devices (diagnostic devices) such as medical, dental, non-destructive testing, and chemical analysis.

종래의 엑스선 소스는 전자 방출원으로 텅스텐 소재의 열음극을 사용하여 고전압으로 텅스텐 필라멘트를 가열하여 열전자를 방출시키고, 방출된 열전자를 애노드 전극측의 타겟에 충돌시켜 엑스선을 발생시키는 열음극 방식의 구조를 갖는 것이 일반적이었으나, 최근에는 열음극 대비 실온 구동 및 빠른 스위칭이 가능하다는 장점이 부각되면서 냉음극 전자 방출원인 탄소나노튜브(CNT) 등의 나노 구조물을 에미터(emitter)로 사용하는 전계방출형 엑스선 소스의 보급이 급속히 이루어지고 있다.A conventional X-ray source uses a hot cathode made of tungsten as an electron emission source, heats the tungsten filament at a high voltage to emit hot electrons, and has a hot cathode type structure in which the emitted hot electrons collide with the target on the anode electrode side to generate X-rays. It was common, but recently, as the advantages of room temperature operation and fast switching compared to hot cathodes have been highlighted, the field emission type X-ray source using nanostructures such as carbon nanotubes (CNTs), which are cold cathode electron emission sources, as emitters Dissemination is occurring rapidly.

전계방출형 엑스선 소스(이하,엑스선 소스)는 도 1에 도시한 바와 같이 캐소드 전극(C)과 애노드 전극(A)에 엑스선 출력 전압인 관전압을 인가하고, 게이트 전극(G)으로 인가되는 게이트 전압으로 에미터의 전자방출(e)을 유도함으로써 전자를 애노드 전극(A) 측의 타겟에 충돌시켜 엑스선 출력이 이루어지도록 한다.As shown in FIG. 1, the field emission type X-ray source (hereinafter referred to as the X-ray source) applies a tube voltage, which is an By inducing electron emission (e) of the emitter, electrons collide with the target on the anode electrode (A) to produce X-ray output.

이러한 일반적인 엑스선 소스에서는 게이트 전극(G)으로 인가되는 게이트 전압에 의해 에미터의 전자 방출량이 조절되고, 이는 곧 엑스선 소스의 관전류를 결정하게 된다. 따라서 일반적인 경우 게이트 전극(G)에 인가되는 게이트 전압을 조절해서 관전류를 제어하고, 이를 위해 게이트 전압(G)을 피드백(feedback)으로 사용한다. 즉, 일반적인 엑스선 소스의 경우 게이트 전압 기준 신호(Vref)에 따른 게이트 전압(Vg)을 게이트 전극(G)에 인가하고, 그에 따른 관전류 신호(Vi)와 기준 전류 신호(Vref)의 차이를 게이트 기준 신호(Vref)에 반영하여 게이트 전압(Vg)을 조절하는 전압제어방식이다 보니 결과적으로 관전류의 조절과정이 지연되고, 게이트 전압 기준 신호(Vref)를 위한 부가회로를 요구하는 문제가 있다.In this general X-ray source, the amount of electron emission from the emitter is controlled by the gate voltage applied to the gate electrode (G), which in turn determines the tube current of the X-ray source. Therefore, in general, the tube current is controlled by adjusting the gate voltage applied to the gate electrode (G), and for this purpose, the gate voltage (G) is used as feedback. That is, in the case of a general Since it is a voltage control method that adjusts the gate voltage (Vg) by reflecting it on the signal (Vref), the process of controlling the tube current is delayed, and there is a problem of requiring an additional circuit for the gate voltage reference signal (Vref).

또한 엑스선 소스는 제조 단계에서 각각의 특성 편차를 가지기 때문에 목표하는 관전류를 얻기 위해 인가되어야 하는 게이트 전압이 도 2에 기재한 것처럼 서로 달라 사전에 이를 캘리브레이션해 주어야 하는 번거로움이 수반된다. 도 2는 서로 다른 엑스선 소스(K0000092~K0000098)로부터 각각 일정량(1~6mA)의 관전류를 얻기 위한 게이트 전압을 나타낸다.In addition, since X-ray sources have individual characteristic differences during the manufacturing stage, the gate voltage that must be applied to obtain the target tube current is different as shown in FIG. 2, resulting in the inconvenience of having to calibrate it in advance. Figure 2 shows gate voltages for obtaining a certain amount of tube current (1 to 6 mA) from different X-ray sources (K0000092 to K0000098).

대한민국 공개특허공보 제10-2008-0056341호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2008-0056341 대한민국 공개특허공보 제10-2010-0007046호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2010-0007046

이에 본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위해 창안된 발명으로써, 본 발명의 주요 목적은 관전류를 목표치로 신속하게 조절할 수 있는 엑스선 소스의 구동장치 및 이를 이용한 엑스선 발생장치를 제공함에 있으며,Accordingly, the present invention is an invention created to solve the above-mentioned problem. The main purpose of the present invention is to provide a driving device for an X-ray source that can quickly adjust the tube current to a target value and an X-ray generating device using the same,

더 나아가 본 발명은 엑스선 소스별 특성 편차를 캘리브레이션하기 위한 사전 단계 없이도 각 엑스선 소스에 맞게 관전류 조절이 가능한 전계방출형 엑스선 소스의 구동장치 및 이를 이용한 엑스선 발생장치를 제공함을 또 다른 목적으로 한다.Furthermore, another object of the present invention is to provide a driving device for a field emission type

또한 본 발명의 다른 목적은 복수의 엑스선 소스를 포함하는 엑스선 발생장치 혹은 시스템에 있어서 각 엑스선 소스에 게이트 전압을 공급하는 전원공급부를 최소화하여 각 엑스선 소스의 관전류를 신속하게 조절할 수 있는 엑스선 소스의 구동장치 및 이를 이용한 엑스선 발생장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to drive an X-ray source that can quickly control the tube current of each X-ray source by minimizing the power supply that supplies the gate voltage to each To provide a device and an X-ray generator using the same.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 엑스선 소스의 구동장치는 전자 방출원을 갖는 캐소드 전극, 타겟을 갖는 애노드 전극, 상기 전자 방출원과 타켓 사이의 게이트 전극을 포함하는 전계방출형 엑스선 소스의 구동장치로서,A driving device for an As a driving device for an X-ray source,

전원 공급부로부터 공급되는 전압으로 상기 애노드 전극, 상기 캐소드 전극, 상기 게이트 전극에 각각 인가되는 애노드 전압, 캐소드 전압, 게이트 전압을 생성하는 전압 변환부와;a voltage converter that generates an anode voltage, a cathode voltage, and a gate voltage respectively applied to the anode electrode, the cathode electrode, and the gate electrode using a voltage supplied from a power supply unit;

관전류를 검출하기 위한 전류 검출부와;a current detection unit for detecting tube current;

검출된 관전류를 목표 관전류와 비교하는 관전류 비교부와;a tube current comparison unit that compares the detected tube current with the target tube current;

상기 검출된 관전류가 상기의 목표 관전류에 도달하도록 상기 게이트 전극으로 인가되는 게이트 전압을 조절하는 전압 제어부;를 포함함을 특징으로 한다.and a voltage control unit that adjusts the gate voltage applied to the gate electrode so that the detected tube current reaches the target tube current.

상술한 구성을 포함하는 엑스선 소스의 구동장치에 있어서, 상기 전류 검출부는 상기 전압 변환부와 상기 애노드 전극 사이 혹은 상기 전압 변환부와 상기 캐소드 전극 사이에 연결되어 상기 관전류를 검출함을 특징으로 하며,In the X-ray source driving device including the above-described configuration, the current detection unit is connected between the voltage converter and the anode electrode or between the voltage converter and the cathode electrode to detect the tube current,

상기 전압 변환부는 상기 전원 공급부로부터 공급되는 전압으로 상기 게이트 전극에 인가되는 게이트 전압을 생성하는 제 2 전원공급부를 포함하고, 상기 전압 제어부는 상기 제 2 전원공급부를 제어해서 상기 게이트 전압을 조절함을 특징으로 한다.The voltage converter includes a second power supply unit that generates a gate voltage applied to the gate electrode with a voltage supplied from the power supply unit, and the voltage control unit controls the second power supply unit to adjust the gate voltage. It is characterized by

아울러 본 발명의 실시예에 따른 엑스선 발생장치는 상술한 구성을 포함하는 엑스선 소스의 구동장치와 상기 전계방출형 엑스선 소스를 포함함을 특징으로 한다.In addition, the X-ray generator according to an embodiment of the present invention is characterized by including an X-ray source driving device including the above-described configuration and the field emission type X-ray source.

한편 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 멀티 엑스선 소스의 구동장치는 전자 방출원을 갖는 캐소드 전극, 타겟을 갖는 애노드 전극, 상기 캐소드 전극과 상기 타켓면 사이의 게이트 전극을 각각 포함하는 엑스선 소스들을 포함하는 전계방출형 엑스선 소스의 구동장치로서,Meanwhile, a multi-X-ray source driving device according to another embodiment of the present invention includes X-ray sources each including a cathode electrode having an electron emission source, an anode electrode having a target, and a gate electrode between the cathode electrode and the target surface. As a driving device for a field emission type X-ray source,

전원 공급부로부터 공급되는 전압으로 상기 엑스선 소스들 각각의 애노드 전극, 캐소드 전극, 게이트 전극으로 인가되는 애노드 전압, 캐소드 전압, 게이트 전압을 각각 생성하는 전압 변환부와;a voltage converter that generates anode voltage, cathode voltage, and gate voltage respectively applied to the anode electrode, cathode electrode, and gate electrode of each of the X-ray sources using voltage supplied from the power supply unit;

상기 엑스선 소스들중 하나 이상을 선택하기 위한 선택신호를 출력하는 컨트롤러와;a controller that outputs a selection signal to select one or more of the X-ray sources;

상기 전압 변환부에서 출력되는 게이트 전압을 상기 선택신호에 따라 선택된 상기 엑스선 소스들중 하나 이상의 엑스선 소스의 게이트 전극으로 공급하는 전원공급 스위칭부와;a power supply switching unit that supplies the gate voltage output from the voltage converter to a gate electrode of one or more of the X-ray sources selected according to the selection signal;

상기 게이트 전압이 인가되는 상기 하나 이상의 엑스선 소스 각각의 관전류를 검출하기 위한 전류 검출부들과;Current detection units for detecting tube currents of each of the one or more X-ray sources to which the gate voltage is applied;

상기 검출된 관전류를 목표 관전류와 각각 비교하는 관전류 비교부들과;tube current comparison units that compare the detected tube current with a target tube current;

상기 검출된 관전류가 상기의 목표 관전류에 도달하도록 상기 게이트 전압을 조절하는 전압 제어부;를 포함함을 특징으로 하고,Characterized by comprising a voltage control unit that adjusts the gate voltage so that the detected tube current reaches the target tube current,

상술한 구성들 중 상기 전압 변환부는 상기 전원공급 스위칭부의 입력단에 연결되고, 상기 전원 공급부로부터 공급되는 전압으로 상기 엑스선 소스들 각각의 게이트 전극에 인가되는 게이트 전압을 생성하는 제 2 전원공급부들을 포함하고, 상기 전압 제어부는 상기 제 2 전원공급부를 제어해서 상기 게이트 전압을 조절함을 특징으로 한다.Among the above-described configurations, the voltage converter is connected to the input terminal of the power supply switching unit and includes second power supply units that generate a gate voltage applied to the gate electrode of each of the X-ray sources with the voltage supplied from the power supply unit. And the voltage control unit controls the second power supply unit to adjust the gate voltage.

상술한 기술적 과제 해결 수단에 따르면, 본 발명의 실시예에 따른 엑스선 소스 구동장치는 엑스선 소스별로 검출되는 관전류를 목표하는 관전류에 도달하기까지 게이트 전압을 조절해 원하는 값으로 조절하는 전류제어방식을 사용하기 때문에, 종전 방식에 비해 훨씬 간단하고 용이하게 관전류 조절이 가능한 장점이 있으며, 엑스선 소스별 특성 편차를 보정하기 위한 별도의 캘리브레이션 과정이 필요 없는 장점이 있다.According to the means for solving the technical problem described above, the Therefore, it has the advantage of being able to control the tube current much more simply and easily than the previous method, and has the advantage of not requiring a separate calibration process to correct the characteristic deviation of each X-ray source.

도 1은 엑스선 소스의 구조와 구동장치의 연결관계를 도시한 도면.
도 2는 엑스선 소스별 관전류와 게이트 전압 예시 테이블.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 발생장치의 구성 예시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 소스 구동장치의 동작을 부연 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 멀티 엑스선 소스 구동장치의 구성 예시도.
1 is a diagram showing the connection relationship between the structure of an X-ray source and a driving device.
Figure 2 is an example table of tube current and gate voltage for each X-ray source.
Figure 3 is an exemplary configuration diagram of an X-ray generator according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a diagram for further explaining the operation of the X-ray source driving device according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is an exemplary configuration diagram of a multi-X-ray source driving device according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예를 설명한다. 실시예를 통해 본 발명의 기술적 사상이 좀 더 명확하게 이해될 수 있을 것이다. 또한, 본 발명은 이하에 설명된 실시예에 한정되는 것이 아니라 본 발명이 속하는 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다. 한편 동일한 도면 부호는 동일한 특성을 갖는 구성요소임을 나타내는 것으로서, 한 도면에 관한 설명에서 언급된 것과 동일한 도면 부호를 갖는 구성요소에 대한 설명은 다른 도면에 대한 설명에서는 생략될 수 있다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The technical idea of the present invention may be more clearly understood through examples. In addition, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be modified into various forms within the scope of the technical idea to which the present invention pertains. Meanwhile, the same reference numerals indicate components with the same characteristics, and the description of components with the same reference numerals as those mentioned in the description of one drawing may be omitted in the description of other drawings.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스선 발생장치의 구성도를 예시한 것이다.Figure 3 illustrates a configuration diagram of an X-ray generator according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 엑스선 발생장치는 전자 방출원을 갖는 캐소드 전극, 타겟을 갖는 애노드 전극, 전자 방출원과 타켓 사이의 게이트 전극을 포함하는 전계방출형 엑스선 소스(300)와, 이의 구동을 위한 엑스선 소스의 구동장치를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the X-ray generator according to an embodiment of the present invention includes a field emission type ) and an X-ray source driving device for driving the X-ray source.

본 발명의 실시예에 따른 엑스선 소스의 구동장치는 주 제어부에 해당하는 컨트롤러(400), 전원 공급부(100)로부터 공급되는 전압으로 상기 엑스선 소스(300)의 애노드 전극, 캐소드 전극, 게이트 전극에 각각 인가되는 애노드 전압, 캐소드 전압, 게이트 전압을 생성하는 고전압 생성부(200)를 포함한다.The X-ray source driving device according to an embodiment of the present invention applies voltage to the anode electrode, cathode electrode, and gate electrode of the It includes a high voltage generator 200 that generates the applied anode voltage, cathode voltage, and gate voltage.

상기 전원 공급부(100)는 배터리로부터 공급되는 전원이나, 전원 어댑터로부터 전원 케이블을 통해 공급된 전원을 이용하여 장치 내부의 컨트롤러(400), 고전압 생성부(200)에 소정 전압의 전원을 제공한다.The power supply unit 100 provides power of a predetermined voltage to the controller 400 and the high voltage generator 200 inside the device using power supplied from a battery or power supplied from a power adapter through a power cable.

참고적으로, 치과용 엑스선 영상 촬영을 위한 전계방출 엑스선 소스(300)의 경우 상기 애노드 전극과 캐소드 전극은 50~100kV의 상대적으로 높은 전위차를 가지고, 상기 캐소드 전극과 게이트 전극은 0.5~20KV의 상대적으로 낮은 전위차를 가질 수 있다. 이는 하나의 예시일 뿐 이에 국한되지 않는다.For reference, in the case of the field emission It is possible to have a low potential difference. This is just an example and is not limited to this.

한편 고전압 생성부(200)는 전원 공급부(100)로부터 소정 크기의 전원을 공급받아 그 전압을 변환하는 전압 변환부(210)와, 컨트롤러(400)의 제어를 받아 상기 전압 변환부(210)의 구동, 보다 구체적으로는 게이트 전압을 조절하는 전압 제어부(240)를 포함한다.Meanwhile, the high voltage generator 200 receives power of a predetermined size from the power supply unit 100 and converts the voltage, and is controlled by the controller 400 to convert the voltage converter 210. It includes a voltage control unit 240 that controls driving, and more specifically, gate voltage.

상기 전압 변환부(210)는 애노드 및 캐소드 전압을 공급하기 위한 제 1 전원공급부와, 게이트 전압을 공급하기 위한 제 2 전원공급부를 포함할 수 있다. 이러한 각각의 전원공급부는 인버터, 트랜스포머, 트랜스포머의 이차측에 연결되어 고전압을 생성하는 고전압 생성부(승압회로)를 포함할 수 있다.The voltage converter 210 may include a first power supply for supplying anode and cathode voltages, and a second power supply for supplying a gate voltage. Each of these power supply units may include an inverter, a transformer, and a high voltage generator (boost circuit) that is connected to the secondary side of the transformer and generates a high voltage.

더 나아가 상기 고전압 생성부(200)는 엑스선 소스(300)의 애노드 전극과 캐소드 전극 사이에 흐르는 관전류를 검출하기 위한 전류 검출부(220)를 더 포함할 수 있다. 이러한 전류 검출부(220)는 엑스선 소스(300)의 전단, 즉 전압 변환부(210)와 애노드 전극 사이, 혹은 전압 변환부(210)와 캐소드 전극 사이에 연결되어 관전류를 검출할 수 있다. 전류 검출부(220)는 일례로 공지의 전류센서 또는 전류검출회로를 포함할 수 있다.Furthermore, the high voltage generator 200 may further include a current detection unit 220 for detecting tube current flowing between the anode and cathode electrodes of the X-ray source 300. This current detection unit 220 may be connected to the front end of the X-ray source 300, that is, between the voltage converter 210 and the anode electrode, or between the voltage converter 210 and the cathode electrode to detect tube current. The current detection unit 220 may include, for example, a known current sensor or current detection circuit.

상술한 구성들 외에 본 발명의 실시예에 따른 엑스선 소스의 구동장치는 상기 전류 검출부(220)에서 검출된 관전류를 미리 정해진 목표 관전류와 비교하는 관전류 비교부(230)와, 상기 검출된 관전류가 목표 관전류에 도달하도록 게이트 전극으로 인가되는 게이트 전압을 조절하는 전압 제어부(240)를 더 포함한다.In addition to the above-described configurations, the driving device of the It further includes a voltage control unit 240 that adjusts the gate voltage applied to the gate electrode to reach the tube current.

상기 전압 제어부(240)는 게이트 전압을 조절하기 위해 제 2 전원공급부의 인버터의 주파수 또는 듀티사이클(duty cycle)를 조절하거나, 고전압 생성부(승압회로)의 승압비율을 조절하거나, 전압 변환부(210)의 제 2 전원공급부에서 생성된 게이트 전압을 게이트 전극으로 인가하기 전 감압 또는 승압하는 별도의 전압조절회로를 포함할 수있다.The voltage control unit 240 adjusts the frequency or duty cycle of the inverter of the second power supply unit to control the gate voltage, adjusts the boost ratio of the high voltage generator (boost circuit), or controls the voltage converter ( It may include a separate voltage regulation circuit that reduces or boosts the gate voltage generated in the second power supply unit of 210) before applying it to the gate electrode.

이하 상술한 구성들을 포함하는 엑스선 소스의 구동장치의 동작을 도 4를 참조하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, the operation of the X-ray source driving device including the above-described configurations will be described in more detail with reference to FIG. 4.

우선 전압 제어부(240)는 컨트롤러(400)의 제어에 따라 관전류를 검출하기 위해 애노드 전극과 캐소드 전극에 각각 애노드 전압과 캐소드 전압이 인가되도록 전압 변환부(210)내의 제 1 전원공급부를 제어한다. 아울러 전압 제어부(240)는 게이트 전극에 게이트 전압이 인가되도록 전압 변환부(210)내의 제 2 전원공급부를 제어한다. 이에 캐소드 전극상에 배치된 전자방출원으로부터 전자가 방출되어 관전류가 형성된다. 이러한 관전류는 곧 애노드 전극과 캐소드 전극 사이를 흐르는 전류에 해당하기에, 전류 검출부(220)는 엑스선 소스(300)의 전단, 즉 전압 변환부(210)와 애노드 전극 사이, 혹은 전압 변환부(210)와 캐소드 전극 사이에서 관전류 레벨을 검출(S100단계)해 출력하고, 비교기 등으로 구현 가능한 관전류 비교부(230)는 검출된 관전류 레벨과 사전 설정된 목표 관전류 레벨을 비교(S110단계)해 전압 제어부(240) 혹은 컨트롤러(400)로 출력한다.First, the voltage control unit 240 controls the first power supply unit in the voltage converter 210 so that the anode voltage and cathode voltage are applied to the anode and cathode electrodes, respectively, in order to detect the tube current under the control of the controller 400. In addition, the voltage control unit 240 controls the second power supply unit within the voltage converter 210 so that the gate voltage is applied to the gate electrode. Accordingly, electrons are emitted from the electron emission source disposed on the cathode electrode, thereby forming a tube current. Since this tube current corresponds to the current flowing between the anode electrode and the cathode electrode, the current detection unit 220 is connected to the front end of the X-ray source 300, that is, between the voltage converter 210 and the anode electrode, or the voltage converter 210. ) and outputs the tube current level between the cathode electrode (step S100), and the tube current comparison unit 230, which can be implemented with a comparator, compares the detected tube current level with the preset target tube current level (step S110) and operates the voltage control unit (step S110). 240) or output to the controller 400.

이에 전압 제어부(240) 혹은 컨트롤러(400)는 검출된 관전류가 목표 관전류에 도달하도록 전압 변환부(210)를 제어하여 게이트 전극으로 인가되는 전압을 조절(S120단계)하고, 이어서 관전류가 목표 관전류에 유지되도록 전압 변환부(210)를 제어함으로써, 본 발명의 실시예에 따른 엑스선 소스의 구동장치는 관전류 값을 목표 관전류 값으로 일정하게 유지할 수 있다.Accordingly, the voltage control unit 240 or the controller 400 controls the voltage converter 210 to adjust the voltage applied to the gate electrode so that the detected tube current reaches the target tube current (step S120), and then the tube current reaches the target tube current. By controlling the voltage converter 210 to maintain the X-ray source driving device according to an embodiment of the present invention, the tube current value can be kept constant at the target tube current value.

이와 같이 본 발명은 엑스선 소스의 관전류를 목표하는 관전류에 도달하기까지 게이트 전압을 조절해 원하는 값으로 조절할 수 있기 때문에, 종전 방식에 비해 훨씬 간단하고 용이하게 관전류 조절이 가능한 장점이 있으며, 각 엑스선 소스별 특성 편차를 보정하기 위한 별도의 캘리브레이션 과정이 필요 없는 장점이 있다.In this way, the present invention has the advantage of being able to adjust the tube current of the X-ray source much more simply and easily than the conventional method because the tube current of the It has the advantage of not requiring a separate calibration process to correct for characteristic deviations.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 엑스선 소스의 구동장치의 구성도를 예시한 것으로, 보다 구체적으로는 엑스선 소스를 복수 개 구비하고 있는 멀티 엑스선 소스의 구동장치의 구성을 도시한 것이다.Figure 5 illustrates the configuration of a driving device for an X-ray source according to another embodiment of the present invention, and more specifically, shows the configuration of a driving device for a multi-X-ray source having a plurality of X-ray sources.

도 5를 참조하면 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 엑스선 발생장치는 엑스선을 각각 발생하여 출력하기 위한 엑스선 소스들(300,310,320)과 엑스선 소스의 구동장치를 포함한다. 도 5에서는 일 예로 3개의 엑스선 소스만을 도시하였으나 이에 한정되지 않고 엑스선 발생장치의 크기, 용도, 사용처에 따라 그 수가 가변될 수 있다. 이들 각각의 엑스선 소스(300,310,320) 역시 도 3에서 설명한 바와 같이 전자 방출원을 갖는 캐소드 전극, 타겟을 갖는 애노드 전극, 전자 방출원과 타켓 사이의 게이트 전극을 각각 포함한다.Referring to FIG. 5, an X-ray generator according to another embodiment of the present invention includes X-ray sources 300, 310, and 320 for generating and outputting X-rays, respectively, and a driving device for the X-ray source. In Figure 5, only three X-ray sources are shown as an example, but the number is not limited to this and the number may vary depending on the size, purpose, and usage of the X-ray generator. As described in FIG. 3, each of the X-ray sources 300, 310, and 320 also includes a cathode electrode having an electron emission source, an anode electrode having a target, and a gate electrode between the electron emission source and the target.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 멀티 엑스선 소스의 구동장치는, 전원 공급부(100)로부터 공급되는 전압으로 엑스선 소스들(300,310,320) 각각의 애노드 전극, 캐소드 전극, 게이트 전극으로 인가되는 애노드 전압, 캐소드 전압, 게이트 전압을 생성하는 전압 변환부(210)와, 상기 엑스선 소스들(300,310,320)중 하나 이상을 선택하기 위한 선택신호(CS)를 출력하는 컨트롤러(400)와, 상기 선택신호(CS)에 따라 선택된 상기 엑스선 소스들(300,310,320)중 하나 이상의 엑스선 소스의 게이트 전극으로 상기 전압 변환부(210)에서 출력되는 게이트 전압을 공급해 주는 전원공급 스위칭부(330)와, 상기 엑스선 소스들(300,310,320) 각각의 관전류를 검출하기 위한 전류 검출부들(220,221,222)과, 상기 엑스선 소스(300,310,320) 각각에서 검출된 관전류를 목표 관전류와 비교하는 전류 비교부들(230)과, 상기 선택신호(CS)에 따라 선택되는 엑스선 소스에서 검출된 관전류가 상기의 목표 관전류에 도달하도록 전압 변환부(210)의 각 게이트 전압을 조절하는 전압 제어부(240)를 포함한다.The driving device of the multi-X-ray source according to another embodiment of the present invention is an anode voltage and cathode applied to the anode electrode, cathode electrode, and gate electrode of each of the A voltage converter 210 that generates a voltage and a gate voltage, a controller 400 that outputs a selection signal (CS) for selecting one or more of the X-ray sources (300, 310, and 320), and the selection signal (CS) A power supply switching unit 330 that supplies the gate voltage output from the voltage converter 210 to the gate electrode of one or more of the X-ray sources 300, 310, and 320 selected accordingly, and each of the X-ray sources 300, 310, and 320 Current detection units 220, 221, 222 for detecting the tube current, current comparison units 230 for comparing the tube current detected from each of the X-ray sources 300, 310, 320 with the target tube current, and X-rays selected according to the selection signal CS It includes a voltage control unit 240 that adjusts each gate voltage of the voltage converter 210 so that the tube current detected from the source reaches the target tube current.

상술한 구성들 중, 전압 변환부(210)는 엑스선 소스들(300,310,320) 각각의 애노드 전극과 캐소드 전극에 각각 공통 연결되어 공통의 애노드 및 캐소드 전압을 공급하는 제 1 전원공급부(도시하지 않았음), 상기 엑스선 소스들(300, 310, 320) 각각의 게이트 전극으로 인가되는 게이트 전압을 각각 생성하고 상기 전원공급 스위칭부(330)의 입력단에 각각 연결되는 제 2 전원공급부들을 포함할 수 있고, 전압 제어부(240)는 엑스선 소스들(300,310,320) 각각의 관전류가 목표 관전류에 유지되도록제 2 전원공급부들을 개별 제어할 수 있다.Among the above-described configurations, the voltage converter 210 is a first power supply (not shown) that is commonly connected to the anode and cathode electrodes of each of the X-ray sources 300, 310, and 320 and supplies common anode and cathode voltages. , It may include second power supply units that generate gate voltages applied to the gate electrodes of each of the X-ray sources (300, 310, 320) and are respectively connected to the input terminal of the power supply switching unit 330, The voltage control unit 240 may individually control the second power supply units so that the tube currents of each of the X-ray sources 300, 310, and 320 are maintained at the target tube current.

상기 전원공급 스위칭부(330)는 상기 선택신호(CS)에 따라 스위칭 온오프 동작하는 전기적 혹은 기계적 스위칭 소자들(FET, IGBT, 릴레이 소자)을 포함하고, 상기 스위칭 소자들은 상기 엑스선 소스들과 동수로 구비될 수 있다.The power supply switching unit 330 includes electrical or mechanical switching elements (FET, IGBT, relay elements) that switch on and off according to the selection signal CS, and the switching elements are the same as the X-ray sources. It can be provided with .

참고적으로, 복수의 엑스선 소스(300,310,320) 각각의 캐소드 전극 각각에는 양(+)전압 또는 음(-)전압이 인가되거나 접지 전원이 연결될 수 있고, 애노드 전극 각각과 게이트 전극 각각에는 상기 캐소드 전극 보다 더 높은 전위를 가지는 전압이 인가될 수 있다. 또한 상술한 제 1 전원공급부와 제 2 전원공급부들은 각각 직류전원을 교류전원으로 변환하는 인버터, 교류전원을 승압하기 위한 트랜스포머, 트랜스포머의 이차측에 연결되어 애노드 혹은 게이트 전극에 인가하기 위한 고전압을 생성하는 고전압 생성부를 포함할 수 있다.For reference, a positive (+) voltage or a negative (-) voltage may be applied or a ground power source may be connected to each cathode electrode of each of the plurality of A voltage having a higher potential may be applied. In addition, the above-described first power supply unit and the second power supply unit are connected to an inverter for converting DC power to AC power, a transformer for boosting AC power, and the secondary side of the transformer, respectively, to generate a high voltage to be applied to the anode or gate electrode. It may include a high voltage generator.

상술한 구성들을 포함하는 멀티 엑스선 소스의 구동장치의 동작을 부연 설명하면, 전압 제어부(240)는 컨트롤러(400)의 제어에 따라 각 엑스선 소스(300,310,320)의 애노드 전극과 캐소드 전극에 각각 애노드 전압과 캐소드 전압이 인가되도록 전압 변환부(210)내의 제 1 전원공급부를 제어한다.To further explain the operation of the driving device of the multi-X-ray source including the above-described configurations, the voltage control unit 240 applies anode voltage and The first power supply unit in the voltage converter 210 is controlled so that the cathode voltage is applied.

한편, 컨트롤러(400)는 게이트 전압을 인가하기 위한 하나 이상의 엑스선 소스를 선택하고 그에 따른 선택신호(CS)를 전압 제어부(240)와 전원공급 스위칭부(330)로 출력한다. 만약 선택신호(CS)가 엑스선 소스 300을 선택하는 신호라면 그 선택신호(CS)에 의해 전원공급 스위칭부(330)의 제1스위치(SW1)가 스위칭 온됨으로서 전압 변환부(210)에서 공급되는 게이트 전압이 엑스선 소스 300의 게이트 전극에 인가된다. 이에 엑스선 소스 300의 캐소드 전극에 배치된 전자방출원으로부터 전자 빔이 방출되어 관전류가 형성된다.Meanwhile, the controller 400 selects one or more X-ray sources for applying the gate voltage and outputs the corresponding selection signal CS to the voltage control unit 240 and the power supply switching unit 330. If the selection signal (CS) is a signal that selects the X-ray source 300, the first switch (SW1) of the power supply switching unit 330 is switched on by the selection signal (CS), thereby causing the A gate voltage is applied to the gate electrode of the X-ray source 300. Accordingly, an electron beam is emitted from the electron emission source disposed on the cathode electrode of the X-ray source 300, thereby forming a tube current.

이러한 관전류는 전류 검출부(A,220)에 의해 검출되고, 검출된 관전류 레벨은 n(n=3)개의 관전류 비교부(230)들 중 엑스선 소스 300에 대응하는 전류 비교부로 전달되어 사전 설정된 목표 관전류 레벨과 비교된 후 그 비교결과가 전압 제어부(240) 혹은 컨트롤러(400)로 출력된다.This tube current is detected by the current detection unit (A, 220), and the detected tube current level is transmitted to the current comparison unit corresponding to the After being compared with the level, the comparison result is output to the voltage control unit 240 or controller 400.

이에 전압 제어부(240) 혹은 컨트롤러(400)는 검출된 관전류가 목표 관전류에 도달하도록 전압 변환부(210)를 제어하여 엑스선 소스 300의 게이트 전극으로 인가되는 전압을 조절한다. 이로써 엑스선 소스 300의 관전류 값은 일정하게 유지될 수 있다.Accordingly, the voltage control unit 240 or the controller 400 controls the voltage converter 210 to adjust the voltage applied to the gate electrode of the X-ray source 300 so that the detected tube current reaches the target tube current. Accordingly, the tube current value of the X-ray source 300 can be maintained constant.

이와 같은 방법으로 컨트롤러(400)는 엑스선 소스 310 혹은 엑스선 소스 320의 게이트 전극에 게이트 전압이 인가되도록 선택신호(CS)를 출력하는 방식을 통해 각 엑스선 소스(300,310,320)의 관전류 값을 조절한다.In this way, the controller 400 adjusts the tube current value of each X-ray source 300, 310, and 320 by outputting a selection signal CS so that the gate voltage is applied to the gate electrode of the

상술한 멀티 엑스선 소스의 구동장치 역시 엑스선 소스별로 검출되는 관전류를 목표하는 관전류에 도달하기까지 게이트 전압을 조절해 원하는 값으로 조절할 수 있기 때문에, 종전 방식에 비해 훨씬 간단하고 용이하게 관전류 조절이 가능한 장점이 있으며, 엑스선 소스별 특성 편차를 보정하기 위한 별도의 캘리브레이션 과정이 필요 없는 장점이 있다.The driving device of the above-mentioned multi-X-ray source can also adjust the tube current detected for each It has the advantage of not requiring a separate calibration process to correct for characteristic deviations for each X-ray source.

또한 멀티 엑스선 소스가 하나의 제 1 전원공급부를 공유할 수 있는 구조이므로, 회로 사이즈를 줄여 컴팩트한 제품을 구현할 수 있는 부대효과도 얻을 수 있다.In addition, since the structure allows multiple

이상 본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 예를 들면, 본 발명의 실시예에 따른 엑스선 소스의 구동장치는 의료, 치과용이나 비파괴 검사용, 화학분석용 등 다양한 엑스선 촬영장치 혹은 엑스선 진단장치 혹은 엑스선 검사장치에 적용되어 활용될 수 있다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.The present invention has been described above with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and other equivalent embodiments are possible therefrom. For example, the X-ray source driving device according to an embodiment of the present invention can be applied to and utilized in various X-ray imaging devices, X-ray diagnostic devices, or X-ray inspection devices, such as for medical, dental, non-destructive testing, and chemical analysis. Therefore, the true scope of technical protection of the present invention should be determined by the technical spirit of the attached claims.

Claims (8)

전자 방출원을 갖는 캐소드 전극, 타겟을 갖는 애노드 전극, 상기 전자 방출원과 타켓 사이의 게이트 전극을 포함하는 전계방출형 엑스선 소스의 구동장치로서,
전원 공급부로부터 공급되는 전압으로 상기 애노드 전극, 상기 캐소드 전극, 상기 게이트 전극에 각각 인가되는 애노드 전압, 캐소드 전압, 게이트 전압을 생성하는 전압 변환부와;
관전류를 검출하기 위한 전류 검출부와;
검출된 관전류를 목표 관전류와 비교하는 관전류 비교부와;
상기 검출된 관전류가 상기의 목표 관전류에 도달하도록 상기 게이트 전극으로 인가되는 게이트 전압을 조절하는 전압 제어부;를 포함함을 특징으로 하는 엑스선 소스의 구동장치.
A driving device for a field emission type X-ray source including a cathode electrode having an electron emission source, an anode electrode having a target, and a gate electrode between the electron emission source and the target,
a voltage converter that generates an anode voltage, a cathode voltage, and a gate voltage respectively applied to the anode electrode, the cathode electrode, and the gate electrode using a voltage supplied from a power supply unit;
a current detection unit for detecting tube current;
a tube current comparison unit that compares the detected tube current with the target tube current;
A voltage control unit that adjusts a gate voltage applied to the gate electrode so that the detected tube current reaches the target tube current.
청구항 1에 있어서, 상기 전류 검출부는,
상기 전압 변환부와 상기 애노드 전극 사이 혹은 상기 전압 변환부와 상기 캐소드 전극 사이에 연결되어 상기 관전류를 검출함을 특징으로 하는 엑스선 소스의 구동장치.
The method of claim 1, wherein the current detection unit,
A driving device for an X-ray source, characterized in that it is connected between the voltage converter and the anode electrode or between the voltage converter and the cathode electrode to detect the tube current.
청구항 1에 있어서, 상기 전압 변환부는,
상기 전원 공급부로부터 공급되는 전압으로 상기 게이트 전극에 인가되는 게이트 전압을 생성하는 제 2 전원공급부를 포함하고, 상기 전압 제어부는 상기 제 2 전원공급부를 제어해서 상기 게이트 전압을 조절하는 엑스선 소스의 구동장치.
The method of claim 1, wherein the voltage converter,
A driving device for an .
청구항 1 내지 3 중 어느 하나의 선택된 항에 기재된 엑스선 소스의 구동장치를 포함하는 엑스선 발생장치로서,
상기 엑스선 소스의 구동장치와;
상기 전계방출형 엑스선 소스를 포함하는 엑스선 발생장치.
An X-ray generator comprising a driving device for an X-ray source according to any one of claims 1 to 3,
a driving device for the X-ray source;
An X-ray generator including the field emission type X-ray source.
전자 방출원을 갖는 캐소드 전극, 타겟을 갖는 애노드 전극, 상기 캐소드 전극과 상기 타켓면 사이의 게이트 전극을 각각 포함하는 엑스선 소스들을 포함하는 전계방출형 엑스선 소스의 구동장치로서,
전원 공급부로부터 공급되는 전압으로 상기 엑스선 소스들 각각의 애노드 전극, 캐소드 전극, 게이트 전극으로 인가되는 애노드 전압, 캐소드 전압, 게이트 전압을 각각 생성하는 전압 변환부와;
상기 엑스선 소스들중 하나 이상을 선택하기 위한 선택신호를 출력하는 컨트롤러와;
상기 전압 변환부에서 출력되는 게이트 전압을 상기 선택신호에 따라 선택된 상기 엑스선 소스들중 하나 이상의 엑스선 소스의 게이트 전극으로 공급하는 전원공급 스위칭부와;
상기 게이트 전압이 인가되는 상기 하나 이상의 엑스선 소스 각각의 관전류를 검출하기 위한 전류 검출부들과;
상기 검출된 관전류를 목표 관전류와 각각 비교하는 관전류 비교부들과;
상기 검출된 관전류가 상기의 목표 관전류에 도달하도록 상기 게이트 전압을 조절하는 전압 제어부;를 포함함을 특징으로 하는 멀티 엑스선 소스의 구동장치.
A driving device for a field emission type X-ray source including X-ray sources each including a cathode electrode having an electron emission source, an anode electrode having a target, and a gate electrode between the cathode electrode and the target surface,
a voltage converter that generates anode voltage, cathode voltage, and gate voltage respectively applied to the anode electrode, cathode electrode, and gate electrode of each of the X-ray sources using voltage supplied from the power supply unit;
a controller that outputs a selection signal to select one or more of the X-ray sources;
a power supply switching unit that supplies the gate voltage output from the voltage converter to a gate electrode of one or more of the X-ray sources selected according to the selection signal;
Current detection units for detecting tube currents of each of the one or more X-ray sources to which the gate voltage is applied;
tube current comparison units that compare the detected tube current with a target tube current;
A driving device for a multi-X-ray source, comprising: a voltage control unit that adjusts the gate voltage so that the detected tube current reaches the target tube current.
청구항 5에 있어서, 상기 전압 변환부는,
상기 전원공급 스위칭부의 입력단에 연결되고, 상기 전원 공급부로부터 공급되는 전압으로 상기 엑스선 소스들 각각의 게이트 전극에 인가되는 게이트 전압을 생성하는 제 2 전원공급부들을 포함하고, 상기 전압 제어부는 상기 제 2 전원공급부를 제어해서 상기 게이트 전압을 조절하는 멀티 엑스선 소스의 구동장치.
The method of claim 5, wherein the voltage converter,
Second power supply units connected to the input terminal of the power supply switching unit and generating gate voltages applied to gate electrodes of each of the A driving device for a multi-X-ray source that controls the power supply to adjust the gate voltage.
청구항 5에 있어서, 상기 전원공급 스위칭부는,
상기 선택신호에 따라 스위칭 온오프 동작하는 전기적 혹은 기계적 스위칭 소자들을 포함하고, 상기 스위칭 소자들은 상기 엑스선 소스들과 동수로 구비됨을 특징으로 하는 멀티 엑스선 소스의 구동장치.
The method of claim 5, wherein the power supply switching unit,
A driving device for a multi-X-ray source, comprising electrical or mechanical switching elements that switch on and off according to the selection signal, wherein the switching elements are provided in equal numbers as the X-ray sources.
청구항 5 내지 7 중 어느 하나의 선택된 항에 기재된 멀티 엑스선 소스의 구동장치를 포함하는 엑스선 발생장치로서,
상기 멀티 엑스선 소스의 구동장치와;
상기 전계방출형 엑스선 소스들을 포함하는 엑스선 발생장치.
An X-ray generator comprising a driving device for a multi-X-ray source according to any one of claims 5 to 7, comprising:
a driving device for the multi-X-ray source;
An X-ray generator including the field emission type X-ray sources.
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