KR20240046970A

KR20240046970A - Link bridge

Info

Publication number: KR20240046970A
Application number: KR1020220126015A
Authority: KR
Inventors: 이소영; 이주동; 장철한
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2022-10-04
Filing date: 2022-10-04
Publication date: 2024-04-12

Abstract

본 발명에 따른 링크브릿지는, 약액탱크와 밸브박스를 연결하며, 길이방향을 따라 본체중공이 형성된 브릿지본체; 및 상기 브릿지본체의 하부 내면에 형성되며, 약액을 길이방향 끝단 측인 상기 약액탱크 또는 밸브박스 측으로 유도하는 경사바닥부;를 포함한다.The link bridge according to the present invention connects a chemical tank and a valve box, and includes a bridge body having a body cavity formed along the longitudinal direction; and an inclined bottom portion formed on the lower inner surface of the bridge body and guiding the chemical liquid toward the chemical liquid tank or valve box, which is at the longitudinal end.

Description

Link Bridge{LINK BRIDGE}

본 발명은 약액탱크와 밸브박스를 연결하는 링크브릿지에 관한 것이다.The present invention relates to a link bridge connecting a chemical tank and a valve box.

일반적으로 약액탱크와 밸브박스는 링크브릿지로 연결되며, 링크브릿지 내부에는 배관이 배치된다.Generally, the chemical tank and valve box are connected by a link bridge, and piping is placed inside the link bridge.

그런데, 이와 같이 링크브릿지에 내에 관통배치된 배관으로부터 약액이 누설될 수 있다. 즉 하나의 배관은 길이방향으로 복수 개의 관부재들이 연결된 구조를 취하는데, 이때 복수 개의 관부재들의 연결부위에서 약액이 누설되어 링크브릿지 내부에 고일 수 있다. 또한 이러한 약액은 링크브릿지의 하부 내면을 타고 흘러서, 약액탱크와 밸브박스 각각과 링크브릿지의 연결부분을 통해 외부로 누출될 수 있는 문제점이 있다. 특히 약액은 가지고 있는 화학적 성질에 의해 안전사고의 위험이 크다.However, in this way, the chemical solution may leak from the pipe disposed through the link bridge. That is, one pipe has a structure in which a plurality of pipe members are connected in the longitudinal direction. In this case, the chemical solution may leak from the connection portion of the plurality of pipe members and accumulate inside the link bridge. Additionally, there is a problem in that this chemical liquid flows along the lower inner surface of the link bridge and may leak to the outside through the connection portion of the chemical liquid tank, valve box, and link bridge, respectively. In particular, chemical liquids have a high risk of safety accidents due to their chemical properties.

대한민국 공개특허공보 제10-2009-0053184호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2009-0053184

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 약액의 외부 누출을 방지하는 링크브릿지를 제공하는 데에 그 목적이 있다.The present invention was created to solve the above problems, and its purpose is to provide a link bridge that prevents external leakage of the chemical solution.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 링크브릿지는, 약액탱크와 밸브박스를 연결하며, 길이방향을 따라 본체중공이 형성된 브릿지본체; 및 상기 브릿지본체의 하부 내면에 형성되며, 약액을 길이방향 끝단 측인 상기 약액탱크 또는 밸브박스 측으로 유도하는 경사바닥부;를 포함한다.In order to achieve the above object, the link bridge according to the present invention connects the chemical tank and the valve box, and includes a bridge body having a main body cavity formed along the longitudinal direction; and an inclined bottom portion formed on the lower inner surface of the bridge body and guiding the chemical liquid toward the chemical liquid tank or valve box, which is at the longitudinal end.

상기 경사바닥부는 길이방향의 중간지점으로부터 양끝단 측으로 하방경사지게 형성될 수 있다.The inclined bottom may be formed to slope downward from the midpoint in the longitudinal direction toward both ends.

상기 경사바닥부는 길이방향 단부에, 상기 브릿지본체의 상부 및 하부보다 길이방향으로 돌출된 돌출립이 형성되며, 상기 돌출립의 하면에는 폭방향을 따라 립홈이 형성될 수 있다.The inclined bottom portion may have a protruding lip protruding from the upper and lower ends of the bridge body in the longitudinal direction, and a lip groove may be formed along the width direction on the lower surface of the protruding lip.

상기 브릿지본체는 길이방향 일단부의 테두리에 측방향으로 연장된 본체플랜지가 형성되고, 상기 본체플랜지에는 복수 개의 본체체결홀이 서로 이격되어 형성되며, 본 발명은 길이방향을 따라 커버중공이 형성되고 상기 브릿지본체가 상기 커버중공으로 슬라이드되어 삽입되는 브릿지커버;를 더 포함하며, 상기 브릿지본체 일단부의 반대측에 형성된 상기 브릿지커버 단부의 테두리에 측방향으로 연장된 커버플랜지가 형성되고, 상기 커버플랜지에는 복수 개의 커버체결홀이 서로 이격되어 형성될 수 있다.The bridge body has a body flange extending laterally on the edge of one end in the longitudinal direction, and a plurality of body fastening holes are formed on the body flange to be spaced apart from each other. In the present invention, a cover hollow is formed along the longitudinal direction, and The bridge body further includes a bridge cover that is slidably inserted into the cover cavity, wherein a laterally extending cover flange is formed on an edge of an end of the bridge cover formed on an opposite side of one end of the bridge body, and the cover flange includes a plurality of The cover fastening holes may be formed to be spaced apart from each other.

그리고 본 발명은 상기 본체플랜지와 상기 커버플랜지 각각에 설치된 가스켓;을 더 포함할 수 있다.And the present invention may further include a gasket installed on each of the main body flange and the cover flange.

한편, 상기 브릿지본체는 길이방향의 수직방향으로 두 개의 본체단위부재가 조립되어 형성되고, 두 개의 상기 본체단위부재는 각각 서로 대응되는 부분에 서로 끼움되는 본체요철부가 형성되며, 상기 브릿지커버는 길이방향의 수직방향으로 두 개의 커버단위부재가 조립되어 형성되고, 두 개의 상기 커버단위부재는 각각 서로 대응되는 부분에 서로 끼움되는 커버요철부가 형성될 수 있다.Meanwhile, the bridge body is formed by assembling two body unit members in the vertical direction of the longitudinal direction, each of the two body unit members has a body uneven portion that fits into each other at a corresponding portion, and the bridge cover has a length of It is formed by assembling two cover unit members in a direction perpendicular to the direction, and the two cover unit members may have cover uneven portions that fit into each other at corresponding portions.

본 발명은 브릿지본체의 하부 내면에 경사바닥부가 구성됨으로써, 약액을 길이방향 끝단 측인 약액탱크 또는 밸브박스 측으로 유도함에 따라, 약액의 고임을 방지할 수 있는 효과를 가진다.The present invention has the effect of preventing stagnation of the chemical liquid by forming a sloped bottom portion on the lower inner surface of the bridge body to guide the chemical liquid toward the chemical liquid tank or valve box at the longitudinal end.

또한 본 발명은 경사바닥부의 단부에 돌출립이 구성됨으로써, 약액을 약액탱크 또는 밸브박스의 내측까지 안정적으로 유도할 수 있는 장점을 지닌다. 나아가 본 발명은 돌출립의 하면에 립홈이 구성됨으로써, 약액이 외부 측으로 흐르지 않고 하측으로 떨어져서 약액탱크 또는 밸브박스에 안정적으로 수집됨에 따라, 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있는 이점을 가진다.In addition, the present invention has the advantage of stably guiding the chemical liquid to the inside of the chemical tank or valve box by forming a protruding lip at the end of the inclined bottom. Furthermore, the present invention has the advantage of preventing leakage to the outside by forming a lip groove on the lower surface of the protruding lip, so that the chemical liquid does not flow to the outside but falls downward and is stably collected in the chemical tank or valve box.

그리고 본 발명은 브릿지본체에 본체플랜지가 구성되고, 브릿지커버에 커버플랜지가 구성됨으로써, 약액탱크 또는 밸브박스에 견고하게 고정됨에 따라, 약액탱크 또는 밸브박스와의 틈이 발생하는 것을 차단하여 약액이 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있는 효과를 가진다. 나아가 본 발명은 본체플랜지와 커버플랜지 각각에 가스켓이 설치됨으로써, 기밀구조를 더욱더 확실하게 구현함에 따라 약액의 외부 누출을 확실하게 차단할 수 있는 장점을 지닌다.In addition, in the present invention, the main body flange is configured in the bridge body and the cover flange is configured in the bridge cover, so that it is firmly fixed to the chemical liquid tank or valve box, thereby blocking the occurrence of a gap with the chemical liquid tank or valve box, thereby preventing the chemical liquid from flowing out. It has the effect of preventing leakage to the outside. Furthermore, the present invention has the advantage of reliably blocking external leakage of the chemical solution by more reliably implementing an airtight structure by installing gaskets on each of the main body flange and the cover flange.

도 1은 종래기술에 따른 링크브릿지를 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 링크브릿지가 약액탱크와 밸브박스 사이에 설치된 것을 나타낸 사시도, 정면도, 평면도이다.
도 5는 도 2의 링크브릿지를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5의 링크브릿지의 브릿지본체를 나타낸 단면도이다.
도 7은 도 6의 A를 나타낸 확대도이다.
도 8은 약액탱크에 커버플랜지가 체결된 것을 나타낸 도면이다.
도 9는 약액탱크에 대한 링크브릿지의 체결상태를 나타낸 단면도이다.
도 10은 도 9의 B를 나타낸 확대도이다.Figure 1 is a diagram showing a link bridge according to the prior art.
Figures 2 and 4 are a perspective view, front view, and plan view showing a link bridge installed between a chemical tank and a valve box according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a diagram showing the link bridge of Figure 2.
Figure 6 is a cross-sectional view showing the bridge body of the link bridge of Figure 5.
Figure 7 is an enlarged view showing A in Figure 6.
Figure 8 is a view showing the cover flange fastened to the chemical tank.
Figure 9 is a cross-sectional view showing the fastening state of the link bridge to the chemical tank.
Figure 10 is an enlarged view of B in Figure 9.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다. 또한, 본 명세서에서, '상', '상부', '상면', '하', '하부', '하면', '측면' 등의 용어는 도면을 기준으로 한 것이며, 실제로는 구성요소가 배치되는 방향에 따라 달라질 수 있을 것이다.Hereinafter, with reference to the attached drawings, preferred embodiments will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice the present invention. However, when describing preferred embodiments of the present invention in detail, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. In addition, the same symbols are used throughout the drawings for parts that perform similar functions and actions. In addition, in this specification, terms such as 'top', 'top', 'upper surface', 'bottom', 'bottom', 'bottom', 'side', etc. are based on the drawings, and in reality, the components are arranged It may vary depending on the direction in which it takes place.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 구성요소를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.Additionally, throughout the specification, when a part is said to be 'connected' to another part, this is not only the case when it is 'directly connected', but also when it is 'indirectly connected' with another component in between. Also includes. In addition, 'including' a certain component means that other components may be further included rather than excluding other components, unless specifically stated to the contrary.

도 1은 종래기술에 따른 링크브릿지를 나타낸 도면이다.Figure 1 is a diagram showing a link bridge according to the prior art.

도면을 참조하면, 종래기술의 링크브릿지(1)는 상하로 파팅되는 두 개의 단위부재로 이루어진다. 즉 링크브릿지(1)는 상부단위부재(1a)와 하부단위부재(1b)가 서로 조립되어 형성된다.Referring to the drawings, the link bridge 1 of the prior art consists of two unit members that are parted at the top and bottom. That is, the link bridge 1 is formed by assembling the upper unit member 1a and the lower unit member 1b.

이와 같은 링크브릿지(1)는 내부의 바닥면이 평평하게 형성된다. 이에 링크브릿지(1) 내부에 배치된 배관으로부터 누설된 약액은 링크브릿지(1)의 바닥에 약액이 고이는 약액 고임현상이 발생한다.This link bridge 1 has a flat inner bottom surface. Accordingly, the chemical liquid leaking from the pipe arranged inside the link bridge (1) causes a chemical liquid accumulation phenomenon to accumulate on the bottom of the link bridge (1).

그리고, 링크브릿지(1)는 약액탱크에 대한 연결부위에 고정구조가 없다. 이에 링크브릿지(1)는 약액탱크와의 연결부위에 틈이 발생하게 되고, 이러한 틈을 통해 약액이 외부로 유출되는 문제점이 있다. 즉 도면에 도시된 바와 같이 링크브릿지(1)는 단부가 약액탱크의 측부 개구부에 단순히 끼워져서 안착된 조립구조를 가진다. 이러한 고정구조가 없는 조립구조로 인하여 링크브릿지(1)와 약액탱크의 연결부위에 형성된 틈을 통해 약액이 외부로 유출하게 된다. 이때 약액은 일례로서 세정액 또는 식각액으로 산성성분을 가진 약액이 사용될 수 있음에 따라, 산성성분 약액의 외부 유출 시 안전사고가 발생하게 된다.Additionally, the link bridge 1 has no fixed structure at the connection portion to the chemical tank. Accordingly, a gap occurs in the link bridge 1 at the connection portion with the chemical tank, and there is a problem in that the chemical liquid leaks out through this gap. That is, as shown in the drawing, the link bridge 1 has an assembled structure in which the end is simply inserted and seated in the side opening of the chemical tank. Due to this assembly structure without a fixing structure, the chemical liquid leaks out through the gap formed at the connection between the link bridge (1) and the chemical liquid tank. At this time, for example, a chemical solution with an acidic ingredient may be used as a cleaning solution or an etching solution, so if the acidic chemical solution leaks to the outside, a safety accident may occur.

도 2 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 링크브릿지(100)가 약액탱크와 밸브박스 사이에 설치된 것을 나타낸 사시도, 정면도, 평면도이고, 도 5는 도 2의 링크브릿지를 나타낸 도면이다.Figures 2 and 4 are a perspective view, front view, and plan view showing the link bridge 100 installed between the chemical tank and the valve box according to an embodiment of the present invention, and Figure 5 is a view showing the link bridge of Figure 2. .

도면을 참조하면, 본 발명의 링크브릿지(100)는 약액탱크(10)와 밸브박스(20)를 연결한다.Referring to the drawings, the link bridge 100 of the present invention connects the chemical tank 10 and the valve box 20.

여기에서 약액탱크(10)는 약액을 공정챔버로 공급하는 약액공급탱크(11)이거나, 약액이 공정챔버로부터 회수되는 약액회수탱크(12)일 수 있다. 또한 밸브박스(20)는 비록 도면에 도시되지는 않았지만 내부에 약액공급탱크(11)와 약액회수탱크(12)를 연결하는 배관이 배치되며, 아울러 내부에 배관에 설치된 밸브와 이러한 밸브의 주변구성이 배치된다.Here, the chemical solution tank 10 may be a chemical solution supply tank 11 that supplies the chemical solution to the process chamber, or a chemical solution recovery tank 12 in which the chemical solution is recovered from the process chamber. In addition, although not shown in the drawing, the valve box 20 has a pipe connecting the chemical liquid supply tank 11 and the chemical liquid recovery tank 12 disposed inside, and also contains valves installed on the pipes and the surrounding configuration of these valves. This is placed.

그리고 링크브릿지(100)는 도면에 도시된 바와 같이 두 개가 활용될 수 있는데, 한 개는 약액공급탱크(11)와 밸브박스(20)를 연결하고, 다른 한 개는 약액회수탱크(12)와 밸브박스(20)를 연결한다. 이때 링크브릿지(100)는 비록 도면에 도시되지는 않았지만 약액탱크(10)와 밸브박스(20)를 연결 시 내부에 복수 개의 배관이 관통되어 배치된다.And, as shown in the drawing, two link bridges 100 can be used, one connecting the chemical liquid supply tank 11 and the valve box 20, and the other connects the chemical liquid recovery tank 12. Connect the valve box (20). At this time, although not shown in the drawing, the link bridge 100 is disposed with a plurality of pipes passing through it when connecting the chemical tank 10 and the valve box 20.

상술된 바와 같은 링크브릿지(100)는 내부에 배치된 배관으로부터 누설된 약액이 내부에 고이는 것을 방지하며, 아울러 누설된 약액이 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20)와의 연결부위를 통해 외부로 누출되는 방지한다.The link bridge 100 as described above prevents the chemical solution leaked from the piping disposed inside from accumulating inside, and also prevents the leaked chemical solution from being leaked to the outside through the connection portion with the chemical solution tank 10 or the valve box 20. Prevent leakage.

구체적으로, 본 발명의 링크브릿지(100)는 브릿지본체(110)와, 경사바닥부(120)를 포함한다.Specifically, the link bridge 100 of the present invention includes a bridge body 110 and an inclined bottom portion 120.

상기 브릿지본체(110)는 약액탱크(10)와 밸브박스(20)를 연결하는 구조를 취한다.The bridge body 110 has a structure that connects the chemical tank 10 and the valve box 20.

이러한 브릿지본체(110)는 길이방향을 따라 본체중공(110a)이 형성된다. 즉 브릿지본체(110)는 길이방향 양끝단 측인 약액탱크(10)와 밸브박스(20) 방향으로 개방된 통 구조를 취한다. 비록 도면에 도시되지는 않았지만 브릿지본체(110)는 내부의 본체중공(110a)에 배관이 배치될 수 있다. 이러한 브릿지본체(110)는 일례로서 도면에 도시된 바와 같이 수직단면이 사각형인 구조를 취할 수 있다.This bridge body 110 has a main body cavity 110a formed along the longitudinal direction. That is, the bridge body 110 takes a barrel structure that is open in the direction of the chemical tank 10 and the valve box 20 at both ends in the longitudinal direction. Although not shown in the drawing, the bridge body 110 may have pipes arranged in the body cavity 110a. As an example, the bridge body 110 may have a rectangular vertical cross-section as shown in the drawing.

또한 브릿지본체(110)는 상하로 파팅되는 두 개의 본체단위부재(111)로 이루어질 수 있다. 즉 브릿지본체(110)는 길이방향의 수직방향으로 나눠진 두 개의 본체단위부재(111)인, 상측의 본체단위부재(111)와 하측의 본체단위부재(111)가 서로 조립되어 형성될 수 있다. 이때 상측의 본체단위부재(111)와 하측의 본체단위부재(111)는 각각 서로 대응되는 부분에 서로 끼움되는 본체요철부(111a)가 각각 형성되는데, 각각의 본체요철부(111a)가 서로 끼움맞춤된 후 길이방향으로 서로를 향해 밀어서 조립될 수 있다.Additionally, the bridge body 110 may be composed of two main unit members 111 that are parted at the top and bottom. That is, the bridge body 110 may be formed by assembling the upper body unit member 111 and the lower body unit member 111, which are two body unit members 111 divided in the longitudinal direction. At this time, the upper body unit member 111 and the lower body unit member 111 are each formed with body uneven portions 111a that fit into each other at corresponding parts, and the body uneven portions 111a fit into each other. After being fitted, they can be assembled by pushing them longitudinally toward each other.

도 6은 도 5의 링크브릿지의 브릿지본체를 나타낸 단면도이고, 도 7은 도 6의 A를 나타낸 확대도이다.Figure 6 is a cross-sectional view showing the bridge body of the link bridge of Figure 5, and Figure 7 is an enlarged view showing A of Figure 6.

도면을 참조하면, 상기 경사바닥부(120)는 브릿지본체(110)의 하부 내면에 형성되며, 약액을 길이방향 끝단 측인 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20) 측으로 유도하는 역할을 수행한다.Referring to the drawing, the inclined bottom portion 120 is formed on the lower inner surface of the bridge body 110, and serves to guide the chemical liquid toward the chemical tank 10 or valve box 20, which is at the longitudinal end.

구체적으로, 경사바닥부(120)는 길이방향의 중간지점으로부터 양끝단 측으로 하방경사지게 형성될 수 있다. 즉 경사바닥부(120)는 길이방향의 중간지점에서 약액탱크(10) 측으로 갈수록 하방경사지게 형성되고, 길이방향의 중간지점에서 밸브박스(20) 측으로 갈수록 하방경사지게 형성된 구조를 취한다.Specifically, the inclined bottom portion 120 may be formed to slope downward from the midpoint in the longitudinal direction toward both ends. That is, the inclined bottom portion 120 is formed to be inclined downward from the midpoint in the longitudinal direction toward the chemical tank 10, and has a structure formed to be inclined downward toward the valve box 20 from the midpoint in the longitudinal direction.

이에 따라 브릿지본체(110)의 내부에 배치된 배관에서 누설된 약액은 경사바닥부(120)에 떨어진 후, 길이방향의 끝단 측으로 흘러 내려가게 된다. 즉 약액탱크(10) 측에 가까운 경사바닥부(120)의 부분에 떨어진 약액은 약액탱크(10) 측으로 흘러가게 되고, 밸브박스(20) 측에 가까운 경사바닥부(120)의 부분에 떨어진 약액은 밸브박스(20) 측으로 흘러가게 된다. 나아가 비록 도면에 도시되지는 않았지만 경사바닥부(120)는 길이방향 양끝단 측이 아니라 하나의 끝단 측으로 경사진 구조를 취할 수도 있음은 물론이다.Accordingly, the chemical liquid leaking from the pipe disposed inside the bridge body 110 falls on the inclined bottom portion 120 and then flows down toward the end in the longitudinal direction. That is, the chemical liquid dropped on the part of the inclined bottom part 120 close to the chemical tank 10 side flows toward the chemical liquid tank 10, and the chemical liquid dropped on the part of the inclined bottom part 120 close to the valve box 20 side. flows to the valve box (20). Furthermore, although not shown in the drawing, it goes without saying that the inclined bottom portion 120 may have a structure inclined toward one end rather than toward both ends in the longitudinal direction.

이와 같이 본 발명은 브릿지본체(110)의 내부 하면에 경사바닥부(120)에 형성됨으로써, 배관에서 누설된 약액은 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20) 측으로 유동되도록 유도됨에 따라, 약액이 링크브릿지(100) 내부에 고이는 것을 방지할 수 있다.In this way, the present invention is formed on the inclined bottom portion 120 on the inner lower surface of the bridge body 110, so that the chemical liquid leaked from the pipe is induced to flow toward the chemical liquid tank 10 or the valve box 20, thereby preventing the chemical liquid from flowing. It is possible to prevent stagnation inside the link bridge 100.

그리고, 경사바닥부(120)는 길이방향 단부에 브릿지본체(110)의 상부 및 하부보다 길이방향으로 돌출된 돌출립(121)이 형성될 수 있다. 경사바닥부(120)에 의해 유도되어 약액탱크(10) 측 또는 밸브박스(20) 측으로 흘러간 약액은, 돌출립(121)에 의해 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20)의 테두리가 아닌 일정 정도 내측으로 들어간 지점까지 이동됨으로써, 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20)에 안정적으로 유입될 수 있다.In addition, the inclined bottom portion 120 may have protruding lips 121 formed at longitudinal ends thereof that protrude in the longitudinal direction from the upper and lower portions of the bridge body 110. The chemical liquid guided by the inclined bottom part 120 and flowing toward the chemical liquid tank 10 or the valve box 20 is not at the edge of the chemical liquid tank 10 or the valve box 20 due to the protruding lip 121. By moving to the point where it enters the inside, it can stably flow into the chemical tank 10 or the valve box 20.

나아가, 돌출립(121)의 하면에는 폭방향을 따라 립홈(121a)이 형성될 수 있다. 돌출립(121)의 상면에서 끝단까지 이동된 약액은 돌출립(121)의 끝단을 타고 돌출립(121)의 하면으로 흐르게 된다. 이후 약액은 브릿지본체(110)의 하면을 따라 외부 측으로 흐를려고 하는데, 이때 약액은 립홈(121a)에 의해 외부 측으로 흐르지 않고 하측으로 떨어지게 된다. 즉 약액이 자중(중력)에 의해 립홈(121a)의 내측으로 상승하지는 못하고 자연스럽게 하측으로 떨어지게 됨으로써, 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20)에 안정적으로 수집됨에 따라, 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있다.Furthermore, a lip groove 121a may be formed along the width direction on the lower surface of the protruding lip 121. The chemical liquid moved from the upper surface of the protruding lip 121 to the tip flows along the tip of the protruding lip 121 to the lower surface of the protruding lip 121. Afterwards, the chemical liquid tries to flow to the outside along the lower surface of the bridge body 110, but at this time, the chemical liquid does not flow to the outside due to the lip groove 121a but falls downward. That is, the chemical liquid does not rise to the inside of the lip groove 121a due to its own weight (gravity) but naturally falls downward, thereby being stably collected in the chemical liquid tank 10 or valve box 20, thereby preventing leakage to the outside. You can.

도 8은 약액탱크에 커버플랜지가 체결된 것을 나타낸 도면이며, 도 9는 약액탱크에 대한 링크브릿지의 체결상태를 나타낸 단면도이고, 도 10은 도 9의 B를 나타낸 확대도이다.Figure 8 is a view showing the cover flange fastened to the chemical tank, Figure 9 is a cross-sectional view showing the fastening state of the link bridge to the chemical tank, and Figure 10 is an enlarged view showing B of Figure 9.

도 5, 도 8 및 도 9를 참조하면, 브릿지본체(110)는 길이방향 일단부의 테두리에 측방향으로 연장된 본체플랜지(112)가 형성되고, 본체플랜지(112)에는 복수 개의 본체체결홀(112a)이 서로 이격되어 형성될 수 있다. 이와 같이 브릿지본체(110)에는 본체체결홀(112a)을 가진 본체플랜지(112)가 형성됨으로써, 브릿지본체(110)는 볼트와 같은 체결부재(F)로 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20)의 개방부(20a) 테두리에 견고하게 고정될 수 있다.Referring to FIGS. 5, 8, and 9, the bridge body 110 has a body flange 112 extending laterally on the edge of one end in the longitudinal direction, and the body flange 112 has a plurality of body fastening holes ( 112a) may be formed spaced apart from each other. In this way, the bridge body 110 is formed with a body flange 112 having a body fastening hole 112a, so that the bridge body 110 is connected to the chemical tank 10 or the valve box 20 with a fastening member F such as a bolt. ) can be firmly fixed to the edge of the opening (20a).

이에 따라 브릿지본체(110)는 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20)와의 연결부위를 통해 약액이 외부로 누출되는 방지할 수 있다.Accordingly, the bridge body 110 can prevent the chemical liquid from leaking to the outside through the connection portion with the chemical liquid tank 10 or the valve box 20.

그리고, 본 발명은 브릿지커버(130)를 더 포함할 수 있다.And, the present invention may further include a bridge cover 130.

상기 브릿지커버(130)는 길이방향을 따라 커버중공(130a)이 형성된다. 즉 브릿지커버(130)는 길이방향 양끝단 측인 약액탱크(10)와 밸브박스(20) 방향으로 개방된 통 구조를 취한다. 이러한 브릿지커버(130)는 일례로서 도면에 도시된 바와 같이 수직단면이 사각형인 구조를 취할 수 있다.The bridge cover 130 has a cover hollow 130a formed along the longitudinal direction. That is, the bridge cover 130 has a barrel structure that is open in the direction of the chemical tank 10 and the valve box 20 at both ends in the longitudinal direction. As an example, the bridge cover 130 may have a rectangular vertical cross-section as shown in the drawing.

또한 브릿지커버(130)는 상하로 파팅되는 두 개의 커버단위부재(131)로 이루어질 수 있다. 즉 브릿지커버(130)는 길이방향의 수직방향으로 나눠진 두 개의 커버단위부재(131)인, 상측의 커버단위부재(131)와 하측의 커버단위부재(131)가 서로 조립되어 형성될 수 있다. 이때 상측의 커버단위부재(131)와 하측의 커버단위부재(131)는 각각 서로 대응되는 부분에 서로 끼움되는 커버요철부(131a)가 각각 형성되는데, 각각의 커버요철부(131a)가 서로 끼움맞춤된 후 길이방향으로 서로를 향해 밀어서 조립될 수 있다.Additionally, the bridge cover 130 may be composed of two cover unit members 131 that are parted at the top and bottom. That is, the bridge cover 130 may be formed by assembling the upper cover unit member 131 and the lower cover unit member 131, which are two cover unit members 131 divided in the longitudinal direction. At this time, the upper cover unit member 131 and the lower cover unit member 131 each have cover uneven portions 131a that fit into each other at corresponding portions, and the respective cover uneven portions 131a fit into each other. After being fitted, they can be assembled by pushing them longitudinally toward each other.

이와 같이 구성되는 브릿지커버(130)는 브릿지본체(110)가 커버중공(130a)으로 슬라이드되어 삽입된다. 즉 텔레스코픽 구조와 같이 브릿지본체(110)가 브릿지커버(130)의 커버중공(130a) 내측으로 삽입되며, 이러한 삽입은 커버중공(130a)의 개방구 측으로 브릿지본체(110)가 인입된 후 커버중공(130a)의 내에서 슬라이드 이동되어 이루어질 수 있다.The bridge cover 130 configured in this way is inserted by sliding the bridge body 110 into the cover hollow 130a. That is, like a telescopic structure, the bridge body 110 is inserted into the cover hollow 130a of the bridge cover 130, and this insertion is performed after the bridge body 110 is inserted into the opening of the cover hollow 130a. This can be achieved by sliding movement within (130a).

도 5 및 도 9에 도시된 바와 같이 브릿지본체(110)의 일단부에 형성된 본체플랜지(112)가 밸브박스(20)의 개방부(20a) 테두리의 내면에 고정되면, 브릿지본체(110)의 타단부가 약액탱크(10)의 개방부(10a) 테두리의 내면에 고정될 수 없는데, 이를 보완하기 위해 본 발명은 브릿지커버(130)를 더 포함한다. 상기 브릿지커버(130)는 브릿지본체(110) 일단부의 반대측에 형성된 브릿지커버(130) 단부의 테두리에 측방향으로 연장된 커버플랜지(132)가 형성되며, 이러한 커버플랜지(132)에는 체결부재(F)가 삽입되는 복수 개의 커버체결홀(132a)이 서로 이격되어 형성될 수 있다. 이에 따라 브릿지커버(130)는 브릿지본체(110)에 조립 시 먼저 약액탱크(10)의 내부로 이동한 후, 약액탱크(10)의 개방부(10a)를 통해 나오면서 브릿지본체(110)가 삽입되게 하며, 다음으로 브릿지본체(110)의 타단부가 고정되지 못하는 약액탱크(10)의 개방부(10a) 테두리의 내면에 브릿지커버(130)의 커버플랜지(132)가 체결부재(F)로 견고하게 고정될 수 있다.As shown in FIGS. 5 and 9, when the body flange 112 formed at one end of the bridge body 110 is fixed to the inner surface of the edge of the opening portion 20a of the valve box 20, the bridge body 110 The other end cannot be fixed to the inner surface of the edge of the open portion 10a of the chemical tank 10. To compensate for this, the present invention further includes a bridge cover 130. The bridge cover 130 has a cover flange 132 extending laterally on the edge of the end of the bridge cover 130 formed on the opposite side of the bridge body 110, and this cover flange 132 includes a fastening member ( A plurality of cover fastening holes 132a into which F) is inserted may be formed to be spaced apart from each other. Accordingly, when the bridge cover 130 is assembled to the bridge body 110, it first moves inside the chemical tank 10, and then comes out through the opening 10a of the chemical tank 10 and the bridge body 110 is inserted. Next, the cover flange 132 of the bridge cover 130 is attached to the inner surface of the edge of the open portion 10a of the chemical liquid tank 10, where the other end of the bridge body 110 is not fixed, as a fastening member (F). It can be firmly fixed.

그리고, 본 발명은 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 가스켓(140)을 더 포함할 수 있다.And, the present invention may further include a gasket 140 as shown in FIGS. 9 and 10.

상기 가스켓(140)은 본체플랜지(112)와 커버플랜지(132) 각각에 설치된다.The gasket 140 is installed on each of the body flange 112 and the cover flange 132.

이러한 가스켓(140)은 약액의 누출을 방지하는 기밀구조를 더욱더 확실하게 구현할 수 있다. 가스켓(140)은 본체플랜지(112)와 커버플랜지(132) 각각에서 외부면에 형성된 가스켓홈(도 5 및 도 6의 112b, 도 10의 132b)에 삽입되어 배치되는데, 일례로서 오링이 활용될 수 있다.This gasket 140 can more reliably implement an airtight structure that prevents leakage of the chemical solution. The gasket 140 is inserted and placed into the gasket groove (112b in FIGS. 5 and 6, 132b in FIG. 10) formed on the outer surface of each of the body flange 112 and the cover flange 132. As an example, an O-ring may be used. You can.

결과적으로 본 발명은 브릿지본체(110)의 하부 내면에 경사바닥부(120)가 구성됨으로써, 약액을 길이방향 끝단 측인 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20) 측으로 유도함에 따라, 약액의 고임을 방지할 수 있다.As a result, in the present invention, the inclined bottom portion 120 is formed on the lower inner surface of the bridge body 110 to guide the chemical liquid toward the chemical liquid tank 10 or the valve box 20, which is at the longitudinal end, thereby preventing the chemical liquid from accumulating. It can be prevented.

또한 본 발명은 경사바닥부(120)의 단부에 돌출립(121)이 구성됨으로써, 약액을 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20)의 내측까지 안정적으로 유도할 수 있다. 나아가 본 발명은 돌출립(121)의 하면에 립홈(121a)이 구성됨으로써, 약액이 외부 측으로 흐르지 않고 하측으로 떨어져서 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20)에 안정적으로 수집됨에 따라, 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the present invention, the protruding lip 121 is formed at the end of the inclined bottom portion 120, so that the chemical solution can be stably guided to the inside of the chemical tank 10 or the valve box 20. Furthermore, in the present invention, the lip groove 121a is formed on the lower surface of the protruding lip 121, so that the chemical liquid does not flow to the outside but falls downward and is stably collected in the chemical tank 10 or valve box 20, thereby preventing leakage to the outside. You can prevent it from happening.

그리고 본 발명은 브릿지본체(110)에 본체플랜지(112)가 구성되고, 브릿지커버(130)에 커버플랜지(132)가 구성됨으로써, 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20)에 견고하게 고정됨에 따라, 약액탱크(10) 또는 밸브박스(20)와의 틈이 발생하는 것을 차단하여 약액이 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있다. 나아가 본 발명은 본체플랜지(112)와 커버플랜지(132) 각각에 가스켓(140)이 설치됨으로써, 기밀구조를 더욱더 확실하게 구현함에 따라 약액의 외부 누출을 확실하게 차단할 수 있다.In addition, in the present invention, the bridge body 110 is provided with a main body flange 112 and the bridge cover 130 is provided with a cover flange 132, so that the bridge body 110 is firmly fixed to the chemical tank 10 or the valve box 20. Accordingly, it is possible to block a gap between the chemical liquid tank 10 or the valve box 20 and prevent the chemical liquid from leaking to the outside. Furthermore, in the present invention, gaskets 140 are installed on each of the main body flange 112 and the cover flange 132, thereby realizing an airtight structure more reliably and thereby reliably blocking external leakage of the chemical liquid.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the attached drawings, those skilled in the art will recognize that the present invention can be implemented in other specific forms without changing its technical idea or essential features. You will understand. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive.

10 : 약액탱크 11 : 약액공급탱크
12 : 약액회수탱크 20 : 밸브박스
100 : 링크브릿지 110 : 브릿지본체
110a : 본체중공 111 : 본체단위부재
111a : 본체요철부 112 : 본체플랜지
112a : 본체체결홀 112b : 가스켓홈
120 : 경사바닥부 121 : 돌출립
121a : 립홈 130 : 브릿지커버
130a : 커버중공 131 : 커버단위부재
131a : 커버요철부 132 : 커버플랜지
132a : 커버체결홀 132b : 가스켓홈
140 : 가스켓 F : 체결부재10: Chemical liquid tank 11: Chemical liquid supply tank
12: Chemical recovery tank 20: Valve box
100: link bridge 110: bridge body
110a: main body hollow 111: main body unit member
111a: Body uneven portion 112: Body flange
112a: Body fastening hole 112b: Gasket groove
120: sloped bottom 121: protruding lip
121a: Lip groove 130: Bridge cover
130a: Cover hollow 131: Cover unit member
131a: Cover uneven portion 132: Cover flange
132a: Cover fastening hole 132b: Gasket groove
140: Gasket F: Fastening member

Claims

A bridge body that connects the chemical tank and the valve box and has a body cavity along the longitudinal direction; and
An inclined bottom portion formed on the lower inner surface of the bridge body and guiding the chemical liquid toward the chemical tank or valve box, which is at the longitudinal end side;
Link bridge including.

According to paragraph 1,
The inclined bottom portion is a link bridge formed to slope downward from the midpoint in the longitudinal direction toward both ends.

According to paragraph 2,
The inclined bottom portion has a protruding lip formed at a longitudinal end that protrudes in the longitudinal direction from the upper and lower portions of the bridge body,
A link bridge in which a lip groove is formed along the width direction on the lower surface of the protruding lip.

According to paragraph 1,
The bridge body has a body flange extending laterally on the edge of one end in the longitudinal direction, and a plurality of body fastening holes are formed on the body flange to be spaced apart from each other,
It further includes a bridge cover in which a cover hollow is formed along the longitudinal direction and the bridge body is slidably inserted into the cover hollow,
A link bridge wherein a laterally extending cover flange is formed on an edge of an end of the bridge cover formed on an opposite side of one end of the bridge body, and a plurality of cover fastening holes are formed on the cover flange to be spaced apart from each other.

According to clause 4,
Gaskets installed on each of the body flange and the cover flange;
A link bridge that further includes.

According to clause 4,
The bridge body is formed by assembling two body unit members in the vertical direction of the longitudinal direction, and the two body unit members each have body uneven portions that fit into each other at corresponding portions,
The bridge cover is a link bridge formed by assembling two cover unit members in a vertical direction in the longitudinal direction, and each of the two cover unit members is formed with a cover uneven portion that is fitted into each other at a corresponding portion.