KR20240027504A - Printed circuit board - Google Patents
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- H05K3/4652—Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern
- H05K3/4655—Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern by using a laminate characterized by the insulating layer
Abstract
본 개시는 제1 절연층, 상기 제1 절연층의 상면 및 하면 사이를 관통하는 관통 홀, 상기 관통 홀의 적어도 일부를 채우는 제1 비아, 상기 제1 비아의 상측과 연결되는 제1 패드, 및 상기 제1 비아의 하측과 연결되는 제2 패드를 포함하며, 상기 관통 홀의 최상측에서의 직경은 상기 제1 패드의 폭보다 크며, 상기 제1 비아의 상기 제1 패드로부터 노출되는 상면의 적어도 일부는 상기 제1 절연층의 상면보다 아래로 리세스되는 인쇄회로기판에 관한 것이다.The present disclosure includes a first insulating layer, a through hole penetrating between the upper and lower surfaces of the first insulating layer, a first via filling at least a portion of the through hole, a first pad connected to the upper side of the first via, and It includes a second pad connected to the lower side of the first via, the diameter at the uppermost side of the through hole is larger than the width of the first pad, and at least a portion of the upper surface of the first via exposed from the first pad is the first via. 1 This relates to a printed circuit board that is recessed below the top surface of the insulating layer.
Description
본 개시는 인쇄회로기판에 관한 것이다.This disclosure relates to printed circuit boards.
최근 전자기기의 고성능화로 기판 내의 신호전달을 위한 회로와 비아의 수가 급증하고 있으며, 이에 따라서 고다층 및 대면적의 기판이 요구되고 있다. 예를 들면, 신호전달 회로의 수가 급증함에 따라서 비아 및 회로의 설계가 증가하게 되었으며, 이에 따른 기판의 면적이 커지면서 기판의 층수가 증가하고 있다.Recently, with the improved performance of electronic devices, the number of circuits and vias for signal transmission within the board is rapidly increasing, and accordingly, boards with high multi-layers and large areas are required. For example, as the number of signal transmission circuits rapidly increases, the design of vias and circuits increases, and as the area of the board increases, the number of layers of the board increases.
한편, 기판의 면적을 축소시키고 층수를 감소시키기 위해서는 미세회로를 구현하는 것과 함께 비아 사이즈를 감소시켜 집적도를 높이는 것이 요구되나, 기판의 코어 절연층에서의 스케일을 줄이는 것은 여전히 한계가 있다.Meanwhile, in order to reduce the area of the substrate and reduce the number of layers, it is necessary to implement microcircuits and increase the degree of integration by reducing the via size, but there are still limitations in reducing the scale of the core insulating layer of the substrate.
본 개시의 여러 목적 중 하나는 집적도를 높여 면적을 축소시킬 수 있으며 층수를 감소시킬 수 있는 인쇄회로기판을 제공하는 것이다.One of the many purposes of the present disclosure is to provide a printed circuit board that can increase integration, reduce area, and reduce the number of layers.
본 개시의 여러 목적 중 또 다른 하나는 코어 절연층에 형성되는 관통 비아의 신뢰성 등을 개선할 수 있는 인쇄회로기판을 제공하는 것이다.Another object of the present disclosure is to provide a printed circuit board that can improve the reliability of a through via formed in a core insulating layer.
본 개시를 통하여 제안하는 여러 해결 수단 중 하나는 코어 절연층에 형성되는 관통 홀의 최상측 및/또는 최하측의 직경을 관통 홀을 채우는 관통 비아의 패드의 폭보다 크게 형성하고, 또한 관통 비아의 최상측 및/또는 최하측에 홈부를 형성하여 관통 비아의 상면 및/또는 하면의 적어도 일부를 리세스시키는 것이다.One of several solutions proposed through the present disclosure is to form the uppermost and/or lowermost diameter of the through hole formed in the core insulating layer to be larger than the width of the pad of the through via that fills the through hole, and also to form the uppermost and/or lowermost diameter of the through hole formed in the core insulating layer to be larger than the width of the pad of the through via that fills the through hole. A groove is formed on the side and/or bottom side to recess at least a portion of the upper and/or lower surface of the through via.
예를 들면, 일례에 따른 인쇄회로기판은 제1 절연층; 상기 제1 절연층의 상면 및 하면 사이를 관통하는 관통 홀; 상기 관통 홀의 적어도 일부를 채우는 제1 비아; 상기 제1 비아의 상측과 연결되는 제1 패드; 및 상기 제1 비아의 하측과 연결되는 제2 패드; 를 포함하며, 상기 관통 홀의 최상측에서의 직경은 상기 제1 패드의 폭보다 크며, 상기 제1 비아의 상기 제1 패드로부터 노출되는 상면의 적어도 일부는 상기 제1 절연층의 상면보다 아래로 리세스되는 것일 수 있다.For example, a printed circuit board according to one example includes a first insulating layer; a through hole penetrating between the upper and lower surfaces of the first insulating layer; a first via filling at least a portion of the through hole; a first pad connected to the upper side of the first via; and a second pad connected to the lower side of the first via; It includes, the diameter at the uppermost side of the through hole is larger than the width of the first pad, and at least a portion of the upper surface of the first via exposed from the first pad is recessed below the upper surface of the first insulating layer. It could be.
본 개시를 통하여 제안하는 여러 해결 수단 중 다른 하나는 코어 절연층에 형성되는 관통 홀의 최상측 및/또는 최하측의 직경을 관통 홀을 채우는 관통 비아의 패드의 폭보다 크게 형성하고, 또한 관통 비아의 패드의 폭을 빌드업 절연층에 형성되는 비아 홀을 채우는 접속 비아의 패드의 폭보다 크게 형성하는 것이다.Another of the several solutions proposed through the present disclosure is to form the uppermost and/or lowermost diameter of the through hole formed in the core insulating layer to be larger than the width of the pad of the through via that fills the through hole, and also to The width of the pad is formed to be larger than the width of the pad of the connection via that fills the via hole formed in the build-up insulating layer.
예를 들면, 일례에 따른 인쇄회로기판은 코어 절연층; 상기 코어 절연층을 관통하는 관통 홀의 적어도 일부를 채우는 관통 비아; 상기 관통 비아의 상측에 연결되는 제1 패드; 상기 관통 비아의 하측에 연결되는 제2 패드; 상기 코어 절연층의 상면 상에 배치되며, 상기 제1 패드의 적어도 일부를 커버하는 제1 빌드업 절연층; 상기 제1 빌드업 절연층을 관통하는 제1 비아 홀의 적어도 일부를 채우는 제1 접속 비아; 및 상기 제1 접속 비아의 상측에 연결되는 제3 패드; 를 포함하며, 상기 관통 홀의 최상측에서의 직경은 상기 제1 패드의 폭보다 크며, 상기 제1 패드의 폭은 상기 제3 패드의 폭보다 큰 것일 수도 있다.For example, a printed circuit board according to one example includes a core insulating layer; a through via that fills at least a portion of a through hole penetrating the core insulating layer; a first pad connected to an upper side of the through via; a second pad connected to the lower side of the through via; a first build-up insulating layer disposed on an upper surface of the core insulating layer and covering at least a portion of the first pad; a first connection via that fills at least a portion of the first via hole penetrating the first build-up insulating layer; and a third pad connected to the upper side of the first connection via; A diameter at the uppermost side of the through hole may be greater than the width of the first pad, and the width of the first pad may be greater than the width of the third pad.
본 개시의 여러 효과 중 일 효과로서 집적도를 높여 면적을 축소시킬 수 있으며 층수를 감소시킬 수 있는 인쇄회로기판을 제공할 수 있다.As one of the many effects of the present disclosure, a printed circuit board can be provided that can increase integration, reduce area, and reduce the number of layers.
본 개시의 여러 효과 중 다른 일 효과로서 코어 절연층에 형성되는 관통 비아의 신뢰성 등을 개선할 수 있는 인쇄회로기판을 제공할 수 있다.As another effect among the various effects of the present disclosure, a printed circuit board capable of improving the reliability of a through via formed in a core insulating layer can be provided.
도 1은 전자기기 시스템의 예를 개략적으로 나타내는 블록도다.
도 2는 전자기기의 일례를 개략적으로 나타낸 사시도다.
도 3은 인쇄회로기판의 일례를 개략적으로 나타낸 단면도다.
도 4는 도 3의 개략적인 인쇄회로기판의 A-A' 절단 단면도다.
도 5 내지 도 10은 도 3의 인쇄회로기판의 코어 절연층에 형성되는 관통 비아와 제1 및 제2 패드의 제조 일례를 개략적으로 나타낸 공정도들이다.
도 11은 본 개시에 따른 경우와 그렇지 않은 경우의 관통 비아와 그 패드들의 형태를 비교하여 나타낸 이미지 단면도다.
도 12는 인쇄회로기판의 다른 일례를 개략적으로 나타낸 단면도다.
도 13은 도 12의 개략적인 인쇄회로기판의 B-B' 절단 단면도다.1 is a block diagram schematically showing an example of an electronic device system.
Figure 2 is a perspective view schematically showing an example of an electronic device.
Figure 3 is a cross-sectional view schematically showing an example of a printed circuit board.
Figure 4 is a schematic cross-sectional view taken along line AA' of the printed circuit board of Figure 3.
5 to 10 are process diagrams schematically showing an example of manufacturing a through via and first and second pads formed in the core insulating layer of the printed circuit board of FIG. 3.
FIG. 11 is a cross-sectional image showing a comparison of the shapes of through vias and their pads according to and without the present disclosure.
Figure 12 is a cross-sectional view schematically showing another example of a printed circuit board.
Figure 13 is a schematic cross-sectional view taken along line BB' of the printed circuit board of Figure 12.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 개시에 대해 설명한다. 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장되거나 축소될 수 있다.Hereinafter, the present disclosure will be described with reference to the attached drawings. The shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated or reduced for clearer explanation.
전자기기Electronics
도 1은 전자기기 시스템의 예를 개략적으로 나타내는 블록도다.1 is a block diagram schematically showing an example of an electronic device system.
도면을 참조하면, 전자기기(1000)는 메인보드(1010)를 수용한다. 메인보드(1010)에는 칩 관련부품(1020), 네트워크 관련부품(1030), 및 기타부품(1040) 등이 물리적 및/또는 전기적으로 연결되어 있다. 이들은 후술하는 다른 전자부품과도 결합되어 다양한 신호라인(1090)을 형성한다.Referring to the drawing, the
칩 관련부품(1020)으로는 휘발성 메모리(예컨대, DRAM), 비-휘발성 메모리(예컨대, ROM), 플래시 메모리 등의 메모리 칩; 센트랄 프로세서(예컨대, CPU), 그래픽 프로세서(예컨대, GPU), 디지털 신호 프로세서, 암호화 프로세서, 마이크로 프로세서, 마이크로 컨트롤러 등의 어플리케이션 프로세서 칩; 아날로그-디지털 컨버터, ASIC(application-specific IC) 등의 로직 칩 등이 포함되며, 이에 한정되는 것은 아니고, 이 외에도 기타 다른 형태의 칩 관련 전자부품이 포함될 수 있음은 물론이다. 또한, 이들 칩 관련부품(1020)이 서로 조합될 수 있음은 물론이다. 칩 관련부품(1020)은 상술한 칩이나 전자부품을 포함하는 패키지 형태일 수도 있다.Chip-
네트워크 관련부품(1030)으로는, Wi-Fi(IEEE 802.11 패밀리 등), WiMAX(IEEE 802.16 패밀리 등), IEEE 802.20, LTE(long term evolution), Ev-DO, HSPA+, HSDPA+, HSUPA+, EDGE, GSM, GPS, GPRS, CDMA, TDMA, DECT, Bluetooth, 3G, 4G, 5G 및 그 이후의 것으로 지정된 임의의 다른 무선 및 유선 프로토콜들이 포함되며, 이에 한정되는 것은 아니고, 이 외에도 기타 다른 다수의 무선 또는 유선 표준들이나 프로토콜들 중의 임의의 것이 포함될 수 있다. 또한, 네트워크 관련부품(1030)이 칩 관련부품(1020)과 더불어 서로 조합될 수 있음은 물론이다.Network-related parts (1030) include Wi-Fi (IEEE 802.11 family, etc.), WiMAX (IEEE 802.16 family, etc.), IEEE 802.20, LTE (long term evolution), Ev-DO, HSPA+, HSDPA+, HSUPA+, EDGE, GSM. , GPS, GPRS, CDMA, TDMA, DECT, Bluetooth, 3G, 4G, 5G and any other wireless and wired protocols designated as such, but are not limited to, and many other wireless or wired protocols. Any of the standards or protocols may be included. In addition, of course, the network-
기타부품(1040)으로는, 고주파 인덕터, 페라이트 인덕터, 파워 인덕터, 페라이트 비즈, LTCC(low Temperature Co-Firing Ceramics), EMI(Electro Magnetic Interference) filter, MLCC(Multi-Layer Ceramic Condenser) 등이 포함된다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니고, 이 외에도 기타 다른 다양한 용도를 위하여 사용되는 칩 부품 형태의 수동소자 등이 포함될 수 있다. 또한, 기타부품(1040)이 칩 관련부품(1020) 및/또는 네트워크 관련부품(1030)과 서로 조합될 수도 있음은 물론이다.Other components (1040) include high-frequency inductors, ferrite inductors, power inductors, ferrite beads, LTCC (low temperature co-firing ceramics), EMI (Electro Magnetic Interference) filter, MLCC (Multi-Layer Ceramic Condenser), etc. . However, it is not limited to this, and may include passive elements in the form of chip components used for various other purposes. In addition, of course, the
전자기기(1000)의 종류에 따라, 전자기기(1000)는 메인보드(1010)에 물리적 및/또는 전기적으로 연결되거나 그렇지 않을 수도 있는 다른 전자부품을 포함할 수 있다. 다른 전자부품의 예를 들면, 카메라 모듈(1050), 안테나 모듈(1060), 디스플레이(1070), 배터리(1080) 등이 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니고, 오디오 코덱, 비디오 코덱, 전력 증폭기, 나침반, 가속도계, 자이로스코프, 스피커, 대량 저장 장치(예컨대, 하드디스크 드라이브), CD(compact disk), DVD(digital versatile disk) 등일 수도 있다. 이 외에도 전자기기(1000)의 종류에 따라 다양한 용도를 위하여 사용되는 기타 전자부품 등이 포함될 수 있음은 물론이다.Depending on the type of
전자기기(1000)는, 스마트폰(smart phone), 개인용 정보 단말기(personal digital assistant), 디지털 비디오 카메라(digital video camera), 디지털 스틸 카메라(digital still camera), 네트워크 시스템(network system), 컴퓨터(computer), 모니터(monitor), 태블릿(tablet), 랩탑(laptop), 넷북(netbook), 텔레비전(television), 비디오 게임(video game), 스마트 워치(smart watch), 오토모티브(Automotive) 등일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 이들 외에도 데이터를 처리하는 임의의 다른 전자기기일 수 있음은 물론이다.The
도 2는 전자기기의 일례를 개략적으로 나타낸 사시도다.Figure 2 is a perspective view schematically showing an example of an electronic device.
도면을 참조하면, 전자기기는, 예를 들면, 스마트폰(1100)일 수 있다. 스마트폰(1100)의 내부에는 마더보드(1110)가 수용되어 있으며, 이러한 마더보드(1110)에는 다양한 부품(1120)들이 물리적 및/또는 전기적으로 연결되어 있다. 또한, 카메라 모듈(1130) 및/또는 스피커(1140)와 같이 마더보드(1110)에 물리적 및/또는 전기적으로 연결되거나 그렇지 않을 수도 있는 다른 부품이 내부에 수용되어 있다. 부품(1120) 중 일부는 상술한 칩 관련부품일 수 있으며, 예를 들면, 부품 패키지(1121)일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 부품 패키지(1121)는 능동부품 및/또는 수동부품을 포함하는 전자부품이 표면실장 배치된 인쇄회로기판 형태일 수 있다. 또는, 부품 패키지(1121)는 능동부품 및/또는 수동부품이 내장된 인쇄회로기판 형태일 수도 있다. 한편, 전자기기는 반드시 스마트폰(1100)에 한정되는 것은 아니며, 상술한 바와 같이 다른 전자기기일 수도 있음은 물론이다.Referring to the drawings, the electronic device may be, for example, a
인쇄회로기판printed circuit board
도 3은 인쇄회로기판의 일례를 개략적으로 나타낸 단면도다.Figure 3 is a cross-sectional view schematically showing an example of a printed circuit board.
도 4는 도 3의 개략적인 인쇄회로기판의 A-A' 절단 단면도다.FIG. 4 is a schematic cross-sectional view taken along line A-A' of the printed circuit board of FIG. 3.
도면을 참조하면, 일례에 따른 인쇄회로기판(100A)은, 제1 절연층(111), 제1 절연층(111)의 상면 및 하면 사이를 관통하는 관통 홀(H), 관통 홀(H)의 적어도 일부를 채우는 제1 비아(121), 제1 비아(121)의 상측과 연결되는 제1 패드(131), 및 제1 비아(121)의 하측과 연결되는 제2 패드(132)를 포함한다. 또한, 제1 절연층(111)의 상면 및/또는 하면 상에 배치되는 트레이스(141)를 더 포함할 수 있다.Referring to the drawing, a printed circuit board (100A) according to an example includes a first
관통 홀(H)의 최상측에서의 직경(W1)은 제1 패드(131)의 폭(W2)보다 클 수 있으며, 이러한 관점에서 관통 홀(H)의 최상측에서의 평면적은 제1 패드(131)의 평면적보다 클 수 있다. 유사하게, 관통 홀(H)의 최하측에서의 직경은 제2 패드(132)의 폭보다 클 수 있으며, 이러한 관점에서 관통 홀(H)의 최하측에서의 평면적은 제2 패드(132)의 평면적보다 클 수 있다. 이 경우, 제1 패드(131) 및/또는 제2 패드(132)의 사이즈가 작아짐에 따라서 관통 홀(H)의 밀집도를 향상시킬 수 있으며, 기판의 면적을 축소시킬 수 있다. 또한, 제1 패드(131) 및/또는 제2 패드(132)의 사이즈가 축소된 영역에 트레이스(141)를 배치하여 기판 층수를 감소시킬 수 있다.The diameter W1 at the uppermost side of the through hole H may be larger than the width W2 of the
본 개시에서 직경과 폭은 수직 방향으로의 인쇄회로기판의 연마 또는 절단 단면을 기준으로 주사 현미경 또는 광학 현미경을 이용하여 측정할 수 있다. 단면에서의 직경과 폭이 일정하지 않은 경우에는, 최대 직경과 최대 폭으로 측정된 값을 의미할 수 있다. 관통 홀 등의 대상물이 평면 상에서 원형이나 타원형이 아닌 다각형으로 형성되는 경우에는, 직경은 폭으로 대체될 수 있다.In the present disclosure, the diameter and width can be measured using a scanning microscope or an optical microscope based on a polished or cut cross section of the printed circuit board in the vertical direction. If the diameter and width in the cross section are not constant, it may mean the values measured as the maximum diameter and maximum width. When an object such as a through hole is formed in a polygonal shape rather than a circular or oval shape on a plane, the diameter can be replaced by the width.
본 개시에서 평면적은 수평 방향으로의 인쇄회로기판의 연마 또는 절단 단면을 기준으로 주사 현미경 또는 광학 현미경을 이용하여 측정할 수 있다. 단면에서의 평면적이 일정하지 않은 경우에는, 최대 평면적으로 측정된 값을 의미할 수 있다. 또는, 탑뷰 또는 바텀뷰로 바라 보았을 때의 면적을 의미할 수도 있다.In the present disclosure, the planar area can be measured using a scanning microscope or an optical microscope based on a polished or cut cross section of the printed circuit board in the horizontal direction. If the planar area in the cross section is not constant, it may mean the value measured by the maximum planar area. Alternatively, it may mean the area when viewed from the top or bottom view.
본 개시에서 수평 방향은 평면 상에서의 임의의 방향일 수 있으며, 수직 방향은 단면 상에서 수평 방향과 수직한 상부 또는 하부 방향일 수 있다. 여기서, 단면 상에서의 의미는 대상물을 수직하게 절단하였을 때의 단면 형상, 또는 대상물을 사이드-뷰로 보았을 때의 단면 형상을 의미할 수 있으며, 평면 상에서의 의미는 대상물을 수평하게 절단 하였을 때의 형상, 또는 대상물을 탑-뷰 또는 바텀-뷰로 보았을 때의 평면 형상일 수 있다.In the present disclosure, the horizontal direction may be any direction on a plane, and the vertical direction may be an upper or lower direction perpendicular to the horizontal direction on a cross-section. Here, the meaning on a cross-section can mean the cross-sectional shape when the object is cut vertically, or the cross-sectional shape when the object is viewed from a side view, and the meaning on the plane can mean the shape when the object is cut horizontally, Alternatively, it may be a planar shape when the object is viewed from a top-view or bottom-view.
제1 비아(121)의 제1 패드(131)로부터 노출되는 상면의 적어도 일부는 제1 절연층(111)의 상면보다 아래로 리세스될 수 있다. 유사하게, 제1 비아(121)의 제2 패드(132)로부터 노출되는 하면의 적어도 일부는 제1 절연층(111)의 하면보다 위로 리세스될 수 있다. 이 경우, 리세스된 공간으로 후술하는 제2 절연층(112) 및/또는 제3 절연층(113)이 채워질 수 있으며, 따라서 제1 비아(121)의 절연 재료와의 접촉 면적이 향상되어 접속 신뢰성 등이 보다 개선될 수 있다.At least a portion of the top surface of the first via 121 exposed from the
제1 비아(121)의 상면의 리세스에 의하여 관통 홀(H)의 상부 영역에는 제1 패드(131) 주위를 둘러싸는 제1 홈부(h1)가 형성될 수 있으며, 제1 패드(131)의 측면의 적어도 일부가 내측으로 리세스되어 제1 패드(131)의 측부에 제1 홈부(h1)와 연결되는 제2 홈부(h2)가 형성될 수 있다. 제1 및 제2 홈부(h1, h2)는 라운드 형태를 가질 수 있다. 유사하게, 제1 비아(121)의 하면의 리세스에 의하여 관통 홀(H)의 하부 영역에는 제2 패드(132) 주위를 둘러싸는 제3 홈부가 형성될 수 있으며, 제2 패드(132)의 측면의 적어도 일부가 내측으로 리세스되어 제2 패드(132)의 측부에 제3 홈부와 연결되는 제4 홈부가 형성될 수 있다. 제3 및 제4 홈부 역시 라운드 형태를 가질 수 있다. 이 경우, 제1 패드(131) 및/또는 제2 패드(132)의 사이즈를 보다 축소시킬 수 있다. 또한, 제1 비아(121)뿐만 아니라 제1 패드(131) 및/또는 제2 패드(132)의 접속 신뢰성 등도 보다 개선할 수 있다. A first groove portion h1 surrounding the
제1 비아(121)는 제1 및 제2 패드(131, 132)와 각각 경계 없이 일체화될 수 있다. 이 경우, 제1 비아(121)와 제1 패드(131)는 제1 절연층(111)의 상면의 연장선을 기준으로 서로 구분될 수 있다. 제1 비아(121)와 제2 패드(132)는 제1 절연층(111)의 하면의 연장선을 기준으로 서로 구분될 수 있다. 제1 비아(121)와 제1 및 제2 패드(131, 132)는 동일한 도금 공정을 통하여 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 비아(121)는 관통 홀(H)의 벽면 상에 배치되는 제1 금속층(M1)과 제1 금속층(M1) 상에 배치되어 관통 홀(H)의 적어도 일부를 채우는 제2 금속층(M2)을 포함할 수 있으며, 제1 및 제2 패드(131, 132)는 제2 금속층(M2)을 포함할 수 있다. 즉, 제1 비아(121)와 제1 및 제2 패드(131, 132)는 각각 제2 금속층(M2)을 공통적으로 포함할 수 있다. 제1 금속층(M1)은 무전해 도금층 등의 시드층일 수 있으며, 제2 금속층(M2)은 전해 도금층일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The first via 121 may be integrated with the first and
필요에 따라서, 일례에 따른 인쇄회로기판(100A)은 제1 절연층(111)의 상면 상에 배치되는 제2 절연층(112), 제1 절연층(111)의 하면 상에 배치되는 제3 절연층(113), 제2 절연층(112) 상에 또는 내에 배치되는 제3 패드(133), 제3 절연층(113) 상에 또는 내에 배치되는 제4 패드(134), 제2 절연층(112) 내에 배치되며 제3 패드(133)와 연결되는 제2 비아(122), 및/또는 제3 절연층(113) 내에 배치되며 제4 패드(134)와 연결되는 제3 비아(123)를 더 포함할 수 있다.If necessary, the printed
관통 홀(H)의 최상측에서의 직경(W1)은 제1 패드(131)의 폭(W2)보다 클 수 있으며, 제1 패드(131)의 폭(W2)은 제2 비아(122)를 통하여 연결되는 가장 인접한 제3 패드의 폭(W3)보다 클 수 있다. 유사하게, 관통 홀(H)의 최하측에서의 직경은 제2 패드(132)의 폭보다 클 수 있으며, 제2 패드(132)의 폭은 제3 비아(123)를 통하여 연결되는 가장 인접한 제4 패드(134)의 폭보다 클 수 있다. 이 경우, 제1 패드(131) 및/또는 제2 패드(132)의 사이즈가 지나치게 작아지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 빌드업 공정 과정에서의 얼라인 마진을 충분히 확보할 수 있다.The diameter W1 at the uppermost side of the through hole H may be larger than the width W2 of the
이하에서는 도면을 참조하여 일례에 따른 인쇄회로기판(100A)의 구성요소에 대하여 보다 자세히 설명한다.Hereinafter, components of the printed
제1 절연층(111)은 코어 절연층일 수 있다. 제1 절연층(111)은 절연 물질을 포함할 수 있다. 절연 물질로는 에폭시 수지와 같은 열경화성 수지나 폴리이미드와 같은 열가소성 수지 등의 절연 수지, 또는 이들 수지가 실리카 등의 무기 필러와 혼합된 재료, 또는 무기 필러와 함께 유리 섬유(Glass Fiber, Glass Cloth, Glass Fabric) 등의 심재에 함침된 수지, 예를 들면, CCL(Copper Clad Laminate)의 절연층 등이 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 절연층(111)은 후술하는 복수의 제1 빌드업 절연층(112-1, 112-2, 112-3) 및 복수의 제2 빌드업 절연층(113-1, 113-2, 113-3) 각각 보다 두께가 두꺼울 수 있다.The first insulating
본 개시에서, 두께는 수직 방향으로의 인쇄회로기판의 연마 또는 절단 단면을 기준으로 주사 현미경 또는 광학 현미경을 이용하여 측정할 수 있다. 두께가 일정하지 않은 경우에는 임의의 다섯 지점에서 측정한 대상물 각각의 두께의 평균 값으로 두께의 대소 관계를 비교할 수 있다.In the present disclosure, the thickness can be measured using a scanning microscope or an optical microscope based on a polished or cut cross-section of the printed circuit board in the vertical direction. If the thickness is not constant, the relationship between thicknesses can be compared with the average value of the thickness of each object measured at five arbitrary points.
제2 및 제3 절연층(112, 113)은 빌드업 절연층일 수 있다. 제2 및 제3 절연층(112, 113)은 각각 복수의 제1 및 제2 빌드업 절연층(112-1, 112-2, 112-3, 113-1, 113-2, 113-3)을 포함할 수 있다. 복수의 제1 및 제2 빌드업 절연층(112-1, 112-2, 112-3, 113-1, 113-2, 113-3)은 각각 절연 물질을 포함할 수 있다. 절연 물질로는 에폭시 수지와 같은 열경화성 수지나 폴리이미드와 같은 열가소성 수지 등의 절연수지, 또는 이들 수지가 실리카 등의 무기 필러와 혼합된 재료, 또는 무기 필러와 함께 유리 섬유 등의 심재에 함침된 수지, 예를 들면, ABF(Ajinomoto Build-up Film), 프리프레그(Prepreg) 등이 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 복수의 제1 빌드업 절연층(112-1, 112-2, 112-3)은 서로 경계 없이 일체화되거나 또는 서로 구분될 수 있으며, 도면에 도시한 것 보다 많은 수로 적층되거나 또는 보다 적은 수로 적층될 수 있다. 복수의 제2 빌드업 절연층(113-1, 113-2, 113-3)은 서로 경계 없이 일체화되거나 또는 서로 구분될 수 있으며, 도면에 도시한 것 보다 많은 수로 적층되거나 또는 보다 적은 수로 적층될 수 있다.The second and third insulating layers 112 and 113 may be build-up insulating layers. The second and third insulating layers 112 and 113 include a plurality of first and second build-up insulating layers 112-1, 112-2, 112-3, 113-1, 113-2, and 113-3, respectively. may include. Each of the plurality of first and second build-up insulating layers 112-1, 112-2, 112-3, 113-1, 113-2, and 113-3 may include an insulating material. Insulating materials include insulating resins such as thermosetting resins such as epoxy resins or thermoplastic resins such as polyimide, or materials in which these resins are mixed with inorganic fillers such as silica, or resins impregnated with core materials such as glass fibers along with inorganic fillers. , for example, ABF (Ajinomoto Build-up Film), prepreg, etc. may be used, but are not limited thereto. The plurality of first build-up insulating layers 112-1, 112-2, and 112-3 may be integrated with each other without boundaries or may be separated from each other, and may be stacked in a larger number or in a smaller number than shown in the drawing. You can. The plurality of second build-up insulating layers 113-1, 113-2, and 113-3 may be integrated with each other without boundaries or may be separated from each other, and may be stacked in a larger number or in a smaller number than shown in the drawing. You can.
관통 홀(H)은 제1 절연층(111)의 상면 및 하면 사이를 관통할 수 있다. 관통 홀(H)의 최상측 및 최하측에서의 직경은 각각 관통 홀(H)의 최상측 및 최하측 사이의 중심측에서의 직경보다 클 수 있다. 예를 들면, 관통 홀(H)은 단면 상에서 폭이 좁아졌다가 다시 넓어지는 모래시계 형상을 가질 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 관통 홀(H)의 형상은 다양한 형태로 달라질 수 있다. 관통 홀(H)의 벽면으로는 제1 절연층(111)에 포함된 무기 필러 및/또는 유리 섬유 각각의 적어도 일부가 돌출될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The through hole H may penetrate between the upper and lower surfaces of the first insulating
제1 및 제2 비아 홀(V1, V2)은 각각 두께 방향으로 복수의 제1 및 제2 빌드업 절연층(112-1, 112-2, 112-3, 113-1, 113-2, 113-3) 각각을 관통할 수 있다. 여기서 관통은 각각의 패드 까지의 관통을 의미할 수 있다. 제1 비아 홀(V1)은 각각 최상측에서의 직경이 최하측에서의 직경보다 클 수 있다. 예를 들면, 제1 비아 홀(V1)은 각각 단면 상에서 테이퍼진 형태를 가질 수 있다. 제2 비아 홀(V2)은 각각 최하측에서의 직경이 최상측에서의 직경보다 클 수 있다. 예를 들면, 제2 비아 홀(V2)은 각각 단면 상에서 제1 비아 홀(V1) 각각과 반대 방향으로 테이퍼진 형태를 가질 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 및 제2 비아 홀(V1, V2) 각각의 형상은 다양한 형태로 달라질 수 있다.The first and second via holes (V1, V2) each have a plurality of first and second build-up insulating layers (112-1, 112-2, 112-3, 113-1, 113-2, 113) in the thickness direction. -3) Can penetrate each. Here, penetration may mean penetration to each pad. The diameter of the first via hole V1 at the uppermost side may be larger than the diameter at the lowermost side. For example, each of the first via holes V1 may have a tapered shape in cross section. Each of the second via holes V2 may have a diameter at the bottom side that is larger than a diameter at the top side. For example, each of the second via holes V2 may have a shape tapered in a direction opposite to that of each of the first via holes V1 in its cross section. However, the shape is not limited to this, and the shapes of each of the first and second via holes V1 and V2 may vary in various ways.
제1 비아(121)는 금속 물질을 포함할 수 있다. 금속 물질은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni), 납(Pb), 티타늄(Ti), 및/또는 이들의 합금 등을 포함할 수 있다. 제1 비아(121)는 설계 디자인에 따라서 다양한 기능을 수행할 수 있다. 예를 들면, 신호 연결을 위한 관통 비아, 그라운드 연결을 위한 관통 비아, 파워 연결을 위한 관통 비아 등을 포함할 수 있다. 제1 비아(121)의 수는 특별히 한정되지 않으며, 복수 개일 수 있다. 제1 비아(121)는 무전해 도금층(또는 화학동)과 전해 도금층(또는 전기동)을 포함할 수 있다.The first via 121 may include a metal material. Metal materials include copper (Cu), aluminum (Al), silver (Ag), tin (Sn), gold (Au), nickel (Ni), lead (Pb), titanium (Ti), and/or alloys thereof, etc. may include. The first via 121 can perform various functions depending on the design. For example, it may include a through via for a signal connection, a through via for a ground connection, a through via for a power connection, etc. The number of
제2 및 제3 비아(122, 123)는 금속 물질을 포함할 수 있다. 금속 물질은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni), 납(Pb), 티타늄(Ti), 및/또는 이들의 합금 등을 포함할 수 있다. 제2 및 제3 비아(122, 123)는 설계 디자인에 따라서 다양한 기능을 수행할 수 있다. 예를 들면, 신호 연결을 위한 접속 비아, 그라운드 연결을 위한 접속 비아, 파워 연결을 위한 접속 비아 등을 포함할 수 있다. 제2 및 제3 비아(122, 123)의 수는 특별히 한정되지 않으며, 제1 및 제2 빌드업 절연층(112-1, 112-2, 112-3, 113-1, 113-2, 113-3) 각각의 층에 복수 개로 배치될 수 있다. 제2 및 제3 비아(122, 123)는 각각 무전해 도금층(또는 화학동)과 전해 도금층(또는 전기동)을 포함할 수 있다.The second and
제1 절연층(111)을 관통하는 관통 홀(H)의 적어도 일부를 채우는 제1 비아(121)는 관통 비아일 수 있다. 복수의 제1 빌드업 절연층(112-1, 112-2, 112-3)을 각각 관통하는 제1 비아 홀(V1)의 적어도 일부를 각각 채우는 제2 비아(122)는 각각 제1 접속 비아일 수 있다. 복수의 제2 빌드업 절연층(113-1, 113-2, 113-3)을 각각 관통하는 제2 비아 홀(V2)의 적어도 일부를 각각 채우는 제3 비아(123)는 각각 제2 접속 비아일 수 있다. 이러한 관점에서, 제1 비아(121)는 제2 비아(122) 및 제3 비아(123) 각각보다 높이가 클 수 있다.The first via 121 that fills at least a portion of the through hole H penetrating the first insulating
제1 및 제2 패드(131, 132)는 각각 금속 물질을 포함할 수 있다. 금속 물질은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni), 납(Pb), 티타늄(Ti), 및/또는 이들의 합금 등을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 패드(131, 132)는 해당 층의 설계 디자인에 따라 다양한 기능을 수행할 수 있다. 예를 들면, 그라운드 패드, 파워 패드, 신호 패드 등을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 패드(131, 132)는 각각 복수 개일 수 있다. 제1 및 제2 패드(131, 132)는 각각 전해 도금층(또는 전기동)을 포함할 수 있다.The first and
제3 및 제4 패드(133, 134)는 각각 금속 물질을 포함할 수 있다. 금속 물질은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni), 납(Pb), 티타늄(Ti), 및/또는 이들의 합금 등을 포함할 수 있다. 제3 및 제4 패드(133, 134)는 해당 층의 설계 디자인에 따라 다양한 기능을 수행할 수 있다. 예를 들면, 그라운드 패드, 파워 패드, 신호 패드 등을 포함할 수 있다. 제3 및 제4 패드(133, 134)의 수는 특별히 한정되지 않으며, 제1 및 제2 빌드업 절연층(112-1, 112-2, 112-3, 113-1, 113-2, 113-3) 각각의 층에 복수 개로 배치될 수 있다. 제3 및 제4 패드(133, 134)는 각각 무전해 도금층(또는 화학동)과 전해 도금층(또는 전기동)을 포함할 수 있다. 필요에 따라서는, 동박을 더 포함할 수 있다.The third and
트레이스(141)는 금속 물질을 포함할 수 있다. 금속 물질은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni), 납(Pb), 티타늄(Ti), 및/또는 이들의 합금 등을 포함할 수 있다. 트레이스(141)는 신호용 트레이스를 포함할 수 있다. 트레이스(141)는 복수 개일 수 있다. 트레이스(141)는 무전해 도금층(또는 화학동)과 전해 도금층(또는 전기동)을 포함할 수 있다. 필요에 따라서는, 동박을 더 포함할 수 있다. 트레이스(141)는 라인/스페이스가 작은 미세회로일 수 있으며, 예를 들면, 트레이스(141)의 선폭은 제1 패드(131) 및/또는 제2 패드(132)의 폭보다 작을 수 있다.
본 개시에서, 선폭은 수직 방향으로의 인쇄회로기판의 연마 또는 절단 단면을 기준으로 주사 현미경 또는 광학 현미경을 이용하여 측정할 수 있다. 단면에서의 선폭이 일정하지 않은 경우에는, 최대 선폭으로 측정된 값을 의미할 수 있다.In the present disclosure, the line width can be measured using a scanning microscope or an optical microscope based on a polished or cut cross section of the printed circuit board in the vertical direction. If the line width in the cross section is not constant, it may mean the value measured as the maximum line width.
제1 및 제2 빌드업 절연층(112-1, 112-2, 112-3, 113-1, 113-2, 113-3) 각각의 층에는 제3 및 제4 패드(133, 134) 외에도 다른 라인(line) 패턴, 플레인(Plane) 패턴 및/또는 패드(Pad) 패턴이 배치될 수 있다. 이들 패턴은 각각 금속 물질을 포함할 수 있다. 금속 물질은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 은(Ag), 주석(Sn), 금(Au), 니켈(Ni), 납(Pb), 티타늄(Ti), 및/또는 이들의 합금 등을 포함할 수 있다. 이들 패턴은 각각 해당 층의 설계 디자인에 따라 다양한 기능을 수행할 수 있다. 예를 들면, 그라운드 패턴, 파워 패턴, 신호 패턴 등을 포함할 수 있다. 이들 패턴은 각각 무전해 도금층(또는 화학동)과 전해 도금층(또는 전기동)을 포함할 수 있다. 필요에 따라서는, 동박을 더 포함할 수 있다.In addition to the third and
제2 및 제3 절연층(112, 113) 상에는 각각 레지스트층이 더 배치될 수 있다. 레지스트층은 인쇄회로기판(100A)의 최외측에 배치되어 내부 구성요소를 보호할 수 있다. 레지스트층의 재료는 특별히 한정되는 않는다. 예를 들면, 절연 물질이 사용될 수 있는데, 이때 절연 물질로는 솔더레지스트(Solder Resist)가 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 레지스트층에는 패드 등의 패턴 각각의 적어도 일부를 오픈시키는 개구가 복수개로 형성될 수 있다.Additional resist layers may be disposed on the second and third insulating layers 112 and 113, respectively. The resist layer may be disposed on the outermost side of the printed
도 5 내지 도 10은 도 3의 인쇄회로기판의 코어 절연층에 형성되는 관통 비아와 제1 및 제2 패드의 제조 일례를 개략적으로 나타낸 공정도들이다.5 to 10 are process diagrams schematically showing an example of manufacturing a through via and first and second pads formed in the core insulating layer of the printed circuit board of FIG. 3.
도 5를 참조하면, 제1 절연층(111)을 준비한다. 제1 절연층(111)은 동박적층판(CCL)일 수 있다. 제1 절연층(111)의 상면 및/또는 하면에는 동박이 배치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.Referring to FIG. 5, the first insulating
도 6을 참조하면, 제1 절연층(111)에 관통 홀(H)을 형성한다. 관통 홀(H)은 레이저 가공을 통하여 형성할 수 있다. 예를 들면, 레이저 가공, 예를 들면 CO2 드릴 등을 이용하여 제1 절연층(111)의 상측 및 하측 방향에서 모두 가공을 진행하여 제1 절연층(111)의 상면 및 하면 사이를 관통하는 모래시계 형태의 관통 홀(H)을 형성할 수 있다. 필요에 따라서는, 상측 또는 하측 방향으로만 가공을 진행하여 테이퍼 형태의 관통 홀(H)을 형성할 수도 있다.Referring to FIG. 6, a through hole H is formed in the first insulating
도 7을 참조하면, 제1 절연층(111) 및 관통 홀(H)에 제1 및 제2 금속층(M1, M2)을 형성한다. 예를 들면, 무전해 도금 등으로 관통 홀(H)의 벽면과 제1 절연층(111)의 상면 및 하면 상에 제1 금속층(M1)을 형성할 수 있다. 다음으로, 제1 금속층(M1)을 시드층으로 이용하여 전해 도금 등으로 제1 금속층(M1) 상에 제2 금속층(M2)을 형성할 수 있다. 제2 금속층(M2)은 관통 홀(H)을 채울 수 있다.Referring to FIG. 7, first and second metal layers (M1, M2) are formed in the first insulating
도 8을 참조하면, 관통 홀(H)의 상측 및 하측의 제2 금속층(M2) 상에 각각 제1 및 제2 에칭 레지스트(210, 220)를 배치한다. 제1 및 제2 에칭 레지스트(210, 220)는 각각 포토리소그래피 공정으로 패터닝이 가능한 드라이 필름일 수 있다.Referring to FIG. 8, first and second etching resists 210 and 220 are disposed on the second metal layer M2 above and below the through hole H, respectively. The first and second etching resists 210 and 220 may each be dry films that can be patterned through a photolithography process.
도 9를 참조하면, 제1 및 제2 에칭 레지스트(210, 220)를 마스크로 이용하여 제1 및 제2 금속층(M1, M2)에 대한 에칭 공정을 진행한다. 예를 들면, 텐팅 공정(Tenting Process)에 의한 등방성 에칭 공정을 통하여, 관통 홀(H)의 상부 및 하부 영역에 각각 제1 및 제3 홈부(h1, h3)를 형성할 수 있으며, 또한 제1 및 제2 패드(131, 132)의 측부에 각각 제2 및 제4 홈부(h2, h4)를 형성할 수 있다. 제1 및 제2 홈부(h1, h2)와 제3 및 제4 홈부(h3, h4)는 각각 둥글게 에칭될 수 있다.Referring to FIG. 9 , an etching process is performed on the first and second metal layers M1 and M2 using the first and second etching resists 210 and 220 as masks. For example, through an isotropic etching process using a tenting process, first and third grooves h1 and h3 may be formed in the upper and lower regions of the through hole H, respectively, and the first grooves h1 and h3 may be formed in the upper and lower regions of the through hole H, respectively. And second and fourth grooves h2 and h4 may be formed on the sides of the
도 10을 참조하면, 제1 및 제2 에칭 레지스트(210, 220)를 제거한다. 제1 및 제2 에칭 레지스트(210, 220)의 제거로는 레지스트 박리액을 이용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 물리적으로 박리를 진행할 수도 있다. 일련의 과정을 통하여, 코어 절연층인 제1 절연층(111)에 관통 비아인 제1 비아(121)와 관통 비아의 패드들인 제1 및 제2 패드(131, 132)가 형성될 수 있다. 이후, 빌드업 공정을 진행하면, 상술한 일례에 따른 인쇄회로기판(100A)을 제조할 수 있다. 그 외에 다른 내용은 상술한 바와 실질적으로 동일한바, 중복되는 설명은 생략한다.Referring to FIG. 10, the first and second etching resists 210 and 220 are removed. A resist stripping solution may be used to remove the first and second etching resists 210 and 220, but is not limited thereto, and the peeling may be performed physically. Through a series of processes, a first via 121, which is a through via, and first and
도 11은 본 개시에 따른 경우와 그렇지 않은 경우의 관통 비아와 그 패드들의 형태를 비교하여 나타낸 이미지 단면도다.FIG. 11 is a cross-sectional image showing a comparison of the shapes of through vias and their pads according to and without the present disclosure.
도면을 참조하면, (a)에서와 같이 본 개시에 따르는 경우에는, 관통 비아용 패드들이 상대적으로 작은 사이즈로 형성되고, 관통 비아용 패드들의 측부가 일부 에칭되어 둥근 형태를 가지며, 또한 관통 비아의 상면 및 하면이 일부 에칭되어 둥근 형태를 가지는 등 코어 절연층의 상면 및 하면과 리세스 단차를 가지는 것을 알 수 있다. 반면, (b)에서와 같이 일반적인 도금 공정으로 관통 비아와 그 패드들을 형성하는 경우에는, 관통 비아용 패드들이 상대적으로 큰 사이즈로 형성되며, 관통 비아가 리세스 단차를 가질 수 없는 것을 알 수 있다. 따라서, 집적도 관점이나, 신뢰성 관점에서, 효과상 차이가 있을 수 있다. 한편, 도면에서 점선은 코어 절연층의 상면 및 하면의 레벨을 나타내는 연장선일 수 있다.Referring to the drawing, in the case according to the present disclosure as shown in (a), the pads for through vias are formed in a relatively small size, the sides of the pads for through vias are partially etched to have a round shape, and the pads for through vias are formed in a relatively small size. It can be seen that the top and bottom surfaces are partially etched and have a round shape, and there is a recess step between the top and bottom surfaces of the core insulating layer. On the other hand, when forming through vias and their pads using a general plating process as shown in (b), the pads for through vias are formed to be relatively large in size, and it can be seen that the through vias cannot have a recess step. . Therefore, there may be differences in effectiveness from the perspective of integration or reliability. Meanwhile, the dotted lines in the drawing may be extension lines indicating the levels of the upper and lower surfaces of the core insulating layer.
도 12는 인쇄회로기판의 다른 일례를 개략적으로 나타낸 단면도다.Figure 12 is a cross-sectional view schematically showing another example of a printed circuit board.
도 13은 도 12의 개략적인 인쇄회로기판의 B-B' 절단 단면도다.FIG. 13 is a schematic cross-sectional view taken along line B-B' of the printed circuit board of FIG. 12.
도면을 참조하면, 다른 일례에 따른 인쇄회로기판(100B)은, 상술한 일례에 따른 인쇄회로기판(100A)과 비교하여, 관통 홀(H)의 형태가 일부 상이하다. 예를 들면, 관통 홀(H)의 최상측 및 최하측에서의 직경이 각각 관통 홀(H)의 최상측 및 최하측 사이의 중심측에서의 직경과 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들면, 관통 홀(H)은 단면 상에서 폭이 실질적으로 일정한 직사각형 형상을 가질 수 있다. 이러한 형태의 관통 홀(H)은 기계적 드릴을 이용하여 형성할 수 있다. 그 외에 다른 내용은 상술한 바와 실질적으로 동일한바, 중복되는 설명은 생략한다.Referring to the drawings, the printed
본 개시에서, 실질적으로의 의미는 공정상에서 발생하는 공정오차나 위치편차, 측정 시의 오차 등을 포함하여 판단할 수 있다. 예를 들면, 실질적으로 동일하다는 것은 완전히 동일한 경우뿐만 아니라, 공정 오차에 의하여 대략적으로 발생하는 미세한 차이가 존재하는 경우도 포함하는 것일 수 있다. 또한, 실질적으로 일정하다는 것은 완전히 일정한 경우뿐만 아니라, 공정 오차에 의하여 대략적으로 발생하는 미세한 차이가 존재하는 경우도 포함하는 것일 수 있다.In the present disclosure, the actual meaning can be determined including process errors, position deviations, and measurement errors that occur during the process. For example, substantially the same may include not only cases where they are completely identical, but also cases where there are subtle differences roughly caused by process errors. In addition, substantially constant may include not only cases where it is completely constant, but also cases where there are subtle differences roughly caused by process errors.
본 개시에서 연결된다는 의미는 직접 연결된 것뿐만 아니라, 간접적으로 연결된 것을 포함하는 개념이다. 또한, 제1, 제2 등의 표현은 한 구성요소와 다른 구성요소를 구분 짓기 위해 사용되는 것으로, 해당 구성요소들의 순서 및/또는 중요도 등을 한정하지 않는다. 경우에 따라서는 권리범위를 벗어나지 않으면서, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수도 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수도 있다.In the present disclosure, the meaning of connected is a concept that includes not only directly connected but also indirectly connected. Additionally, expressions such as first, second, etc. are used to distinguish one component from another component and do not limit the order and/or importance of the components. In some cases, the first component may be named the second component, and similarly, the second component may be named the first component without departing from the scope of rights.
본 개시에서 사용된 일례 라는 표현은 서로 동일한 실시 예를 의미하지 않으며, 각각 서로 다른 고유한 특징을 강조하여 설명하기 위해서 제공된 것이다. 그러나, 상기 제시된 일례들은 다른 일례의 특징과 결합되어 구현되는 것을 배제하지 않는다. 예를 들어, 특정한 일례에서 설명된 사항이 다른 일례에서 설명되어 있지 않더라도, 다른 일례에서 그 사항과 반대되거나 모순되는 설명이 없는 한, 다른 일례에 관련된 설명으로 이해될 수 있다.The expression 'example' used in the present disclosure does not mean identical embodiments, but is provided to emphasize and explain different unique features. However, the examples presented above do not exclude being implemented in combination with features of other examples. For example, even if a matter explained in a specific example is not explained in another example, it can be understood as an explanation related to the other example, as long as there is no explanation contrary to or contradictory to the matter in the other example.
본 개시에서 사용된 용어는 단지 일례를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 개시를 한정하려는 의도가 아니다. 이때, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terminology used in this disclosure is used to describe examples only and is not intended to limit the disclosure. At this time, singular expressions include plural expressions, unless the context clearly indicates otherwise.
1000: 전자기기
1010: 메인보드
1020: 칩 관련부품
1030: 네트워크 관련부품
1040: 기타부품
1050: 카메라
1060: 안테나
1070: 디스플레이
1080: 배터리
1090: 신호라인
1100: 스마트폰
1110: 마더보드
1120: 부품
1121: 부품 패키지
1130: 카메라 모듈
1140: 스피커
100A, 100B: 인쇄회로기판
111: 제1 절연층 (코어 절연층)
112: 제2 절연층
112-1, 112-2, 112-3: 제1 빌드업 절연층
113: 제3 절연층
113-1, 113-2, 113-3: 제2 빌드업 절연층
H: 관통 홀
V1: 제1 비아 홀
V2: 제2 비아 홀
121: 제1 비아 (관통 비아)
122: 제2 비아 (제1 접속 비아)
123: 제3 비아 (제2 접속 비아)
131: 제1 패드
132: 제2 패드
133: 제3 패드
134: 제4 패드
141: 트레이스
h1: 제1 홈부
h2: 제2 홈부
h3: 제3 홈부
h4: 제4 홈부
M1: 제1 금속층
M2: 제2 금속층
210: 제1 에칭 레지스트
220: 제2 에칭 레지스트1000: Electronic devices
1010: Motherboard
1020: Chip related parts
1030: Network related parts
1040: Other parts
1050: Camera
1060: Antenna
1070: display
1080: Battery
1090: signal line
1100: Smartphone
1110: motherboard
1120: parts
1121: Parts package
1130: Camera module
1140: Speaker
100A, 100B: printed circuit board
111: First insulating layer (core insulating layer)
112: second insulating layer
112-1, 112-2, 112-3: first build-up insulating layer
113: third insulating layer
113-1, 113-2, 113-3: second build-up insulating layer
H: Through hole
V1: first via hole
V2: Second via hole
121: 1st via (through via)
122: second via (first connection via)
123: Third via (second connection via)
131: first pad
132: second pad
133: Third pad
134: 4th pad
141: Trace
h1: first groove
h2: second groove
h3: Third groove
h4: fourth groove
M1: first metal layer
M2: second metal layer
210: first etching resist
220: second etching resist
Claims (16)
상기 제1 절연층의 상면 및 하면 사이를 관통하는 관통 홀;
상기 관통 홀의 적어도 일부를 채우는 제1 비아;
상기 제1 비아의 상측과 연결되는 제1 패드; 및
상기 제1 비아의 하측과 연결되는 제2 패드; 를 포함하며,
상기 관통 홀의 최상측에서의 직경은 상기 제1 패드의 폭보다 크며,
상기 제1 비아의 상기 제1 패드로부터 노출되는 상면의 적어도 일부는 상기 제1 절연층의 상면보다 아래로 리세스되는,
인쇄회로기판.
first insulating layer;
a through hole penetrating between the upper and lower surfaces of the first insulating layer;
a first via filling at least a portion of the through hole;
a first pad connected to the upper side of the first via; and
a second pad connected to the lower side of the first via; Includes,
The diameter at the uppermost side of the through hole is larger than the width of the first pad,
At least a portion of the upper surface of the first via exposed from the first pad is recessed below the upper surface of the first insulating layer,
Printed circuit board.
상기 관통 홀의 최상측에서의 평면적은 상기 제1 패드의 평면적보다 큰,
인쇄회로기판.
According to claim 1,
The planar area at the uppermost side of the through hole is larger than the planar area of the first pad,
Printed circuit board.
상기 제1 비아의 상기 제1 패드로부터 노출되는 상면의 적어도 일부가 하측으로 리세스되어 상기 관통 홀의 상부 영역에 제1 홈부가 형성되며,
상기 제1 홈부는 상기 제1 패드 주위를 둘러싸는,
인쇄회로기판.
According to claim 1,
At least a portion of the upper surface exposed from the first pad of the first via is recessed downward to form a first groove in the upper area of the through hole,
The first groove surrounds the first pad,
Printed circuit board.
상기 제1 패드의 측면의 적어도 일부가 내측으로 리세스되어 상기 제1 패드의 측부에 제2 홈부가 형성되며,
상기 제1 및 제2 홈부는 서로 연결되어 라운드 형태를 가지는,
인쇄회로기판.
According to claim 3,
At least a portion of the side of the first pad is recessed inward to form a second groove on the side of the first pad,
The first and second grooves are connected to each other and have a round shape,
Printed circuit board.
상기 관통 홀의 최하측에서의 직경은 상기 제2 패드의 폭보다 크며,
상기 제1 비아의 상기 제2 패드로부터 노출되는 하면의 적어도 일부는 상기 제1 절연층의 하면보다 위로 리세스되는,
인쇄회로기판.
According to claim 1,
The diameter at the lowermost side of the through hole is larger than the width of the second pad,
At least a portion of the lower surface exposed from the second pad of the first via is recessed above the lower surface of the first insulating layer,
Printed circuit board.
상기 제1 비아의 상기 제2 패드로부터 노출되는 하면의 적어도 일부가 상측으로 리세스되어 상기 관통 홀의 하부 영역에 제3 홈부가 형성되며,
상기 제3 홈부는 상기 제2 패드 주위를 둘러싸는,
인쇄회로기판.
According to claim 5,
At least a portion of the lower surface exposed from the second pad of the first via is recessed upward to form a third groove in the lower area of the through hole,
The third groove surrounds the second pad,
Printed circuit board.
상기 제2 패드의 측면의 적어도 일부가 내측으로 리세스되어 상기 제2 패드의 측부에 제4 홈부가 형성되며,
상기 제3 및 제4 홈부는 서로 연결되어 라운드 형태를 가지는,
인쇄회로기판.
According to claim 6,
At least a portion of the side of the second pad is recessed inward to form a fourth groove on the side of the second pad,
The third and fourth grooves are connected to each other and have a round shape,
Printed circuit board.
상기 제1 비아는 상기 제1 및 제2 패드와 각각 경계 없이 일체화되는,
인쇄회로기판.
According to claim 1,
The first via is integrated with the first and second pads, respectively, without boundaries.
Printed circuit board.
상기 제1 비아는 상기 관통 홀의 벽면 상에 배치되는 제1 금속층 및 상기 제1 금속층 상에 배치되는 제2 금속층을 포함하며,
상기 제1 및 제2 패드는 각각 상기 제2 금속층을 포함하는,
인쇄회로기판.
According to claim 8,
The first via includes a first metal layer disposed on a wall of the through hole and a second metal layer disposed on the first metal layer,
The first and second pads each include the second metal layer,
Printed circuit board.
상기 관통 홀의 최상측 및 최하측에서의 직경은 각각 상기 관통 홀의 상기 최상측 및 최하측 사이의 중심측에서의 직경보다 큰,
인쇄회로기판.
According to claim 1,
The diameters at the uppermost and lowermost sides of the through hole are respectively larger than the diameter at the center side between the uppermost and lowermost sides of the through hole,
Printed circuit board.
상기 관통 홀의 최상측 및 최하측에서의 직경은 각각 상기 관통 홀의 상기 최상측 및 최하측 사이의 중심측에서의 직경과 실질적으로 동일한,
인쇄회로기판.
According to claim 1,
The diameters at the uppermost and lowermost sides of the through hole are respectively substantially the same as the diameter at the center side between the uppermost and lowermost sides of the through hole,
Printed circuit board.
상기 제1 절연층의 상면 상에 배치되는 트레이스; 를 더 포함하며,
상기 트레이스의 선폭은 상기 제1 패드의 폭보다 작은,
인쇄회로기판.
According to claim 1,
A trace disposed on the upper surface of the first insulating layer; It further includes,
The line width of the trace is smaller than the width of the first pad,
Printed circuit board.
상기 제1 절연층의 상면 상에 배치되는 제2 절연층;
상기 제2 절연층 상에 또는 내에 배치되는 제3 패드;
상기 제2 절연층 내에 배치되며, 상기 제3 패드와 연결되는 제2 비아;
상기 제1 절연층의 하면 상에 배치되는 제3 절연층;
상기 제3 절연층 상에 또는 내에 배치되는 제4 패드; 및
상기 제3 절연층 내에 배치되며, 상기 제4 패드와 연결되는 제3 비아; 를 더 포함하는,
인쇄회로기판.
According to claim 1,
a second insulating layer disposed on an upper surface of the first insulating layer;
a third pad disposed on or within the second insulating layer;
a second via disposed in the second insulating layer and connected to the third pad;
a third insulating layer disposed on the lower surface of the first insulating layer;
a fourth pad disposed on or within the third insulating layer; and
a third via disposed in the third insulating layer and connected to the fourth pad; Containing more,
Printed circuit board.
상기 코어 절연층을 관통하는 관통 홀의 적어도 일부를 채우는 관통 비아;
상기 관통 비아의 상측에 연결되는 제1 패드;
상기 관통 비아의 하측에 연결되는 제2 패드;
상기 코어 절연층의 상면 상에 배치되며, 상기 제1 패드의 적어도 일부를 커버하는 제1 빌드업 절연층;
상기 제1 빌드업 절연층을 관통하는 제1 비아 홀의 적어도 일부를 채우는 제1 접속 비아; 및
상기 제1 접속 비아의 상측에 연결되는 제3 패드; 를 포함하며,
상기 관통 홀의 최상측에서의 직경은 상기 제1 패드의 폭보다 크며,
상기 제1 패드의 폭은 상기 제3 패드의 폭보다 큰,
인쇄회로기판.
core insulation layer;
a through via that fills at least a portion of a through hole penetrating the core insulating layer;
a first pad connected to an upper side of the through via;
a second pad connected to the lower side of the through via;
a first build-up insulating layer disposed on an upper surface of the core insulating layer and covering at least a portion of the first pad;
a first connection via that fills at least a portion of the first via hole penetrating the first build-up insulating layer; and
a third pad connected to an upper side of the first connection via; Includes,
The diameter at the uppermost side of the through hole is larger than the width of the first pad,
The width of the first pad is greater than the width of the third pad,
Printed circuit board.
상기 코어 절연층은 상기 제1 빌드업 절연층보다 두꺼우며,
상기 관통 비아는 상기 제1 접속 비아보다 높이가 큰,
인쇄회로기판.
According to claim 14,
The core insulating layer is thicker than the first build-up insulating layer,
The through via has a greater height than the first connection via,
Printed circuit board.
상기 코어 절연층의 하면 상에 배치되며, 상기 제2 패드의 적어도 일부를 커버하는 제2 빌드업 절연층;
상기 제2 빌드업 절연층을 관통하는 제2 비아 홀의 적어도 일부를 채우는 제2 접속 비아; 및
상기 제2 접속 비아의 하측에 연결되는 제4 패드; 를 포함하며,
상기 관통 홀의 최하측에서의 직경은 상기 제2 패드의 폭보다 크며,
상기 제2 패드의 폭은 상기 제4 패드의 폭보다 큰,
인쇄회로기판.According to claim 14,
a second build-up insulating layer disposed on a lower surface of the core insulating layer and covering at least a portion of the second pad;
a second connection via that fills at least a portion of the second via hole penetrating the second build-up insulating layer; and
a fourth pad connected to the lower side of the second connection via; Includes,
The diameter at the lowermost side of the through hole is larger than the width of the second pad,
The width of the second pad is greater than the width of the fourth pad,
Printed circuit board.
Priority Applications (3)
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