KR20240020799A - Apparatus for monitoring transport vehicle and logistics system including the same - Google Patents

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KR20240020799A
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소유승
윤현준
조인수
이상건
박태욱
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세메스 주식회사
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Abstract

복수의 반송 차량을 실시간으로 모니터링하는 반송 차량 모니터링 장치 및 이를 포함하는 물류 시스템을 제공한다. 상기 물류 시스템은, 반도체 제조 공장 내에서 복수의 기판이 수납된 컨테이너를 운반하는 반송 차량; 반송 차량을 제어하는 반송 차량 제어 장치; 반송 차량을 모니터링하는 반송 차량 모니터링 장치; 및 반송 차량 모니터링 장치를 제어하는 반송 차량 진단 장치를 포함하며, 반송 차량 모니터링 장치는 반송 차량을 실시간으로 모니터링한다.Provided is a transport vehicle monitoring device that monitors a plurality of transport vehicles in real time and a logistics system including the same. The logistics system includes a transport vehicle transporting a container containing a plurality of substrates within a semiconductor manufacturing plant; A conveyance vehicle control device that controls the conveyance vehicle; A return vehicle monitoring device that monitors the return vehicle; and a conveyance vehicle diagnostic device that controls the conveyance vehicle monitoring device, and the conveyance vehicle monitoring device monitors the conveyance vehicle in real time.

Description

반송 차량 모니터링 장치 및 이를 포함하는 물류 시스템 {Apparatus for monitoring transport vehicle and logistics system including the same}Transport vehicle monitoring device and logistics system including the same {Apparatus for monitoring transport vehicle and logistics system including the same}

본 발명은 반송 차량을 모니터링하는 장치 및 이를 포함하는 물류 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 복수의 반송 차량을 모니터링하는 장치 및 이를 포함하는 물류 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a device for monitoring a transport vehicle and a logistics system including the same. More specifically, it relates to a device for monitoring a plurality of transport vehicles and a logistics system including the same.

반도체를 생산하는 데에 사용되는 웨이퍼는 반도체 제조 공장(예를 들어, FAB) 내에서 다양한 공정을 거칠 수 있으며, 이를 위해 각각의 공정 설비로 운반될 수 있다. 예를 들면, 복수의 웨이퍼는 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 컨테이너에 수납되며, 상기 컨테이너는 반도체 제조 공장의 천장에서 이동 가능하게 마련되는 OHT(Overhead Hoist Transport)와 같은 반송 차량을 통해 각각의 공정 설비로 운반될 수 있다.Wafers used to produce semiconductors may undergo various processes within a semiconductor manufacturing plant (eg, FAB), and may be transported to each process facility for this purpose. For example, a plurality of wafers are stored in a container such as a Front Opening Unified Pod (FOUP), and the container is transported to each wafer through a transport vehicle such as an Overhead Hoist Transport (OHT) that is movable from the ceiling of a semiconductor manufacturing plant. It can be transported to processing equipment.

반송 차량이 컨테이너를 목적지까지 운반하는 과정에서 상기 반송 차량에 에러가 발생할 수 있으며, 이로 인해 반송 차량의 운행이 중지될 수 있다. 또는, 다음 작업이 할당될 때까지 반송 차량이 일정 위치에서 대기하는 과정에서 상기 반송 차량에 에러가 발생할 수도 있다.An error may occur in the transport vehicle while transporting a container to its destination, which may cause the transport vehicle to stop operating. Alternatively, an error may occur in the transport vehicle while the transport vehicle is waiting at a certain location until the next task is assigned.

그런데 종래에는 작업자가 반송 차량의 이상 여부를 직접 판단하였다. 그래서 작업자가 반송 차량의 운행이 중단된 것을 확인하기 전에는 반송 차량에 에러가 발생한 것을 알 수 없었으며, 반송 차량에 에러가 발생하였는지 여부를 모니터링할 수 있는 방법이 없었다.However, conventionally, workers directly judged whether there was an abnormality in the conveyed vehicle. Therefore, the worker could not know that an error had occurred in the transport vehicle until he confirmed that the transport vehicle had stopped running, and there was no way to monitor whether an error had occurred in the transport vehicle.

본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제는, 복수의 반송 차량을 실시간으로 모니터링하는 반송 차량 모니터링 장치 및 이를 포함하는 물류 시스템을 제공하는 것이다.The technical problem to be solved by the present invention is to provide a transport vehicle monitoring device that monitors a plurality of transport vehicles in real time and a logistics system including the same.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 물류 시스템의 일 면(Aspect)은, 반도체 제조 공장 내에서 복수의 기판이 수납된 컨테이너를 운반하는 반송 차량; 상기 반송 차량을 제어하는 반송 차량 제어 장치; 상기 반송 차량을 모니터링하는 반송 차량 모니터링 장치; 및 상기 반송 차량 모니터링 장치를 제어하는 반송 차량 진단 장치를 포함하며, 상기 반송 차량 모니터링 장치는 상기 반송 차량을 실시간으로 모니터링한다.One aspect of the logistics system of the present invention for achieving the above technical problem is a transport vehicle that transports a container containing a plurality of substrates within a semiconductor manufacturing plant; a transport vehicle control device that controls the transport vehicle; a transport vehicle monitoring device that monitors the transport vehicle; and a transport vehicle diagnostic device that controls the transport vehicle monitoring device, wherein the transport vehicle monitoring device monitors the transport vehicle in real time.

상기 반송 차량, 상기 반송 차량 모니터링 장치 및 상기 반송 차량 진단 장치 중 어느 하나는 상기 반송 차량에 에러가 발생한 경우 상기 반송 차량의 테이크 아웃을 요청할 수 있다.Any one of the transport vehicle, the transport vehicle monitoring device, and the transport vehicle diagnostic device may request takeout of the transport vehicle when an error occurs in the transport vehicle.

상기 반송 차량은, 상기 컨테이너를 파지하는 파지 모듈; 상기 컨테이너가 파지되면 상기 컨테이너를 승강시키는 승강 모듈; 구동 휠을 제어하며, 상기 구동 휠을 이용하여 상기 반도체 제조 공장의 천장에 설치된 레일을 따라 주행하는 구동 모듈; 및 상기 파지 모듈, 상기 승강 모듈 및 상기 구동 모듈의 작동을 제어하는 제어 모듈을 포함하며, 상기 제어 모듈은 상기 파지 모듈, 상기 승강 모듈 및 상기 구동 모듈 중 적어도 하나의 모듈에 작동 오류가 발생하면 자체적으로 테이크 아웃을 요청할 수 있다.The transport vehicle includes a gripping module that grips the container; an elevating module that elevates the container when the container is grasped; a driving module that controls a driving wheel and travels along a rail installed on the ceiling of the semiconductor manufacturing plant using the driving wheel; and a control module that controls operations of the gripping module, the lifting module, and the driving module, wherein the control module automatically You can request takeout.

상기 반송 차량, 상기 반송 차량 모니터링 장치 및 상기 반송 차량 진단 장치 중 적어도 하나는 상기 반송 차량에 에러가 발생하였는지 여부를 판별할 수 있다.At least one of the transport vehicle, the transport vehicle monitoring device, and the transport vehicle diagnostic device may determine whether an error has occurred in the transport vehicle.

상기 반송 차량은 상기 반송 차량에 에러가 발생한 경우 자동 복구를 시도할 수 있다.The transport vehicle may attempt automatic recovery when an error occurs in the transport vehicle.

상기 반송 차량은 재부팅을 통해 자동 복구를 시도하며, 자동 복구가 되지 않으면 비상 정지를 할 수 있다.The delivery vehicle attempts automatic recovery through rebooting, and may make an emergency stop if automatic recovery does not occur.

상기 반송 차량 모니터링 장치 및 상기 반송 차량 진단 장치 중 적어도 하나는 상기 반송 차량의 상태를 실시간으로 점검할 수 있다.At least one of the transport vehicle monitoring device and the transport vehicle diagnostic device may check the status of the transport vehicle in real time.

상기 반송 차량 모니터링 장치는, 주변 영상 정보를 획득하는 비전 센서; 및 상기 반송 차량과 통신을 하는 통신 모듈 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The transport vehicle monitoring device includes a vision sensor that acquires surrounding image information; And it may include at least one of a communication module that communicates with the transport vehicle.

또한 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 반송 차량 모니터링 장치의 일 면은, 반도체 제조 공장 내에서 복수의 기판이 수납된 컨테이너를 운반하는 반송 차량을 모니터링하는 것으로서, 상기 반송 차량을 실시간으로 모니터링하고, 상기 반송 차량에 에러가 발생하였는지 여부를 판별하고, 상기 반송 차량에 에러가 발생한 경우 상기 반송 차량의 테이크 아웃을 요청한다.In addition, one aspect of the transport vehicle monitoring device of the present invention for achieving the above technical problem is to monitor a transport vehicle transporting a container containing a plurality of substrates within a semiconductor manufacturing plant, and monitor the transport vehicle in real time. , it is determined whether an error has occurred in the transport vehicle, and if an error has occurred in the transport vehicle, take-out of the transport vehicle is requested.

상기 반송 차량 모니터링 장치는 상기 반송 차량의 상태를 실시간으로 점검할 수 있다.The transport vehicle monitoring device can check the status of the transport vehicle in real time.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 시스템의 내부 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 물류 시스템을 구성하는 컨테이너 운반 장치의 구조를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 반도체 제조 공장 내 컨테이너 운반 장치의 설치 형상을 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 물류 시스템을 구성하는 반송 차량 모니터링 장치의 다양한 기능을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 5는 물류 시스템을 구성하는 반송 차량 모니터링 장치의 다양한 기능을 설명하기 위한 제2 예시도이다.1 is a diagram schematically showing the internal configuration of a logistics system according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a diagram illustrating the structure of a container transport device constituting a logistics system.
Figure 3 is a diagram illustrating an exemplary installation configuration of a container transport device in a semiconductor manufacturing plant.
Figure 4 is a first example diagram for explaining various functions of the transport vehicle monitoring device that constitutes the logistics system.
Figure 5 is a second example diagram for explaining various functions of the transport vehicle monitoring device that constitutes the logistics system.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 도면 상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고, 이들에 대한 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and duplicate descriptions thereof are omitted.

본 발명은 복수의 반송 차량을 실시간으로 모니터링하는 반송 차량 모니터링 장치 및 이를 포함하는 물류 시스템에 관한 것이다. 이하에서는 도면 등을 참조하여 본 발명에 대해 자세하게 설명하기로 한다.The present invention relates to a transport vehicle monitoring device that monitors a plurality of transport vehicles in real time and a logistics system including the same. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물류 시스템의 내부 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 1에 따르면, 물류 시스템(100)은 컨테이너 운반 장치(110), 반송 차량 제어 장치(120), 반송 차량 모니터링 장치(130) 및 반송 차량 진단 장치(140)를 포함하여 구성될 수 있다.1 is a diagram schematically showing the internal configuration of a logistics system according to an embodiment of the present invention. According to FIG. 1, the logistics system 100 may be configured to include a container transport device 110, a transport vehicle control device 120, a transport vehicle monitoring device 130, and a transport vehicle diagnostic device 140.

물류 시스템(100)은 반도체 제조 공정이 수행되는 반도체 제조 공장 내에 구축될 수 있다. 물류 시스템(100)은 반도체 제조 공장 내에서 물류 자동화 서비스를 제공하는 데에 적용될 수 있다. 물류 시스템(100)은 디스플레이 제조 공정이 수행되는 공장 내에 구축되어 물류 자동화 서비스를 제공하는 데에 적용되는 것도 가능하다.The logistics system 100 may be built within a semiconductor manufacturing plant where a semiconductor manufacturing process is performed. The logistics system 100 can be applied to provide logistics automation services within a semiconductor manufacturing plant. The logistics system 100 can also be built in a factory where a display manufacturing process is performed and applied to provide logistics automation services.

컨테이너 운반 장치(110)는 컨테이너를 목적지까지 운반하는 역할을 한다. 컨테이너 운반 장치(110)는 예를 들어, OHT(Overhead Hoist Transport)로 마련될 수 있다.The container transport device 110 serves to transport containers to their destination. The container transport device 110 may be provided as, for example, an Overhead Hoist Transport (OHT).

본 실시예에서는 컨테이너를 운반하는 수단으로 컨테이너 운반 장치와 반송 차량을 혼용하여 설명할 것이다. 본 실시예에서는 반송 차량이 곧 컨테이너 운반 장치를 의미함에 유념한다.In this embodiment, the container transport device and transport vehicle will be used interchangeably to describe the means of transporting the container. Note that in this embodiment, the transport vehicle means a container transport device.

컨테이너 운반 장치(110)는 반도체 제조 공장의 천장에 설치되는 이동 경로(예를 들어, 레일(Rail)) 상을 주행하여 컨테이너를 목적지까지 운반할 수 있다. 컨테이너 운반 장치(110)는 반도체 제조 공정이 실행되는 공정 설비(예를 들어, 증착 공정 챔버, 식각 공정 챔버, 세정 공정 챔버, 열처리 공정 챔버 등 각종 공정 챔버(Process Chamber))로 컨테이너를 운반할 수 있으며, 반도체 제조 공장 내에 복수 개(110a, 110b, …, 110n) 배치될 수 있다.The container transport device 110 can transport containers to their destination by traveling on a movement path (eg, rail) installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing plant. The container transport device 110 can transport containers to process equipment (e.g., various process chambers such as deposition process chamber, etching process chamber, cleaning process chamber, heat treatment process chamber, etc.) where the semiconductor manufacturing process is performed. and a plurality of them (110a, 110b, ..., 110n) may be placed in a semiconductor manufacturing plant.

컨테이너 운반 장치(110)가 컨테이너를 반도체 제조 공정이 실행되는 설비로 운반하는 경우, 컨테이너에는 복수의 기판(예를 들어, 웨이퍼(Wafer))이 수납될 수 있다. 컨테이너는 예를 들어, FOUP(Front Opening Unified Pod)으로 마련될 수 있다.When the container transport device 110 transports a container to a facility where a semiconductor manufacturing process is performed, a plurality of substrates (eg, wafers) may be stored in the container. The container may be provided, for example, as a Front Opening Unified Pod (FOUP).

컨테이너 운반 장치(110)는 반송 차량 제어 장치(120)의 제어에 따라 작동할 수 있다. 도 1에는 도시되어 있지 않지만, 컨테이너 운반 장치(110)는 이를 위해 반송 차량 제어 장치(120)와 유/무선 통신을 하기 위한 통신 모듈을 포함할 수 있다.The container transport device 110 may operate under the control of the transport vehicle control device 120. Although not shown in FIG. 1 , the container transport device 110 may include a communication module for wired/wireless communication with the transport vehicle control device 120 for this purpose.

컨테이너 운반 장치(110)는 반송 차량 제어 장치(120)의 통제를 받지 않고, 자율적으로 작동하는 것도 가능하다. 이 경우, 반도체 제조 공장 내에 배치되는 복수의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)가 상호 충돌하지 않도록 정보를 제공하기 위한 센서가 이동 경로의 주변에 다수 설치될 수 있으며, 복수의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)가 상호 통신을 하도록 마련되는 것도 가능하다.The container transport device 110 may operate autonomously without being controlled by the transport vehicle control device 120. In this case, a number of sensors may be installed around the movement path to provide information so that the plurality of container transport devices 110a, 110b, ..., 110n disposed in the semiconductor manufacturing plant do not collide with each other, and the plurality of containers are transported. It is also possible for the devices 110a, 110b,..., 110n to be arranged to communicate with each other.

도 2는 물류 시스템을 구성하는 컨테이너 운반 장치의 구조를 예시적으로 나타낸 도면이다. 그리고, 도 3은 반도체 제조 공장 내 컨테이너 운반 장치의 설치 형상을 예시적으로 나타낸 도면이다.Figure 2 is a diagram illustrating the structure of a container transport device constituting a logistics system. And, Figure 3 is a diagram illustrating the installation shape of a container transport device in a semiconductor manufacturing plant.

도 2 및 도 3에 따르면, 컨테이너 운반 장치(110)는 파지 모듈(210), 승강 모듈(220), 구동 모듈(230), 구동 휠(240), 가이드 휠(250) 및 제어 모듈(260)을 포함하여 구성될 수 있다.According to FIGS. 2 and 3, the container transport device 110 includes a gripping module 210, an elevating module 220, a driving module 230, a driving wheel 240, a guide wheel 250, and a control module 260. It may be configured to include.

파지 모듈(Gripping Module; 210)은 컨테이너(310)를 파지하기 위해 제공되는 것이다. 파지 모듈(210)은 컨테이너(310)를 목적지까지 운반하기 위해 컨테이너(310)가 배치되어 있는 장소(예를 들어, EFEM(Equipment Front End Module))로 하강하여 컨테이너(310)를 파지할 수 있다. 파지 모듈(210)은 예를 들어, 핸드 그립퍼(Hand Gripper)로 마련될 수 있다.A gripping module (210) is provided to grip the container (310). The gripping module 210 may grip the container 310 by descending to a location where the container 310 is placed (e.g., Equipment Front End Module (EFEM)) in order to transport the container 310 to its destination. . The gripping module 210 may be provided as, for example, a hand gripper.

승강 모듈(220)은 파지 모듈(210)을 승강시키기 위해 제공되는 것이다. 승강 모듈(220)은 파지 모듈(210)이 컨테이너(310)를 파지할 수 있도록 파지 모듈(210)을 천장(320) 부근에서 지면이 위치한 방향으로 하강시킬 수 있으며, 파지 모듈(210)이 컨테이너(310)를 파지하면 파지 모듈(210)을 다시 천장(320) 부근에서 상승시킬 수 있다. 승강 모듈(220)은 예를 들어, 호이스트(Hoist)로 마련될 수 있다.The lifting module 220 is provided to lift the gripping module 210. The lifting module 220 can lower the gripping module 210 from the vicinity of the ceiling 320 toward the ground so that the gripping module 210 can grip the container 310, and the gripping module 210 can grip the container 310. By gripping 310, the gripping module 210 can be raised again near the ceiling 320. The lifting module 220 may be provided as a hoist, for example.

이와 같이 파지 모듈(210) 및 승강 모듈(220)에 의해 컨테이너(310)가 적재되면(Loading), 컨테이너 운반 장치(110)는 이 상태로 컨테이너(310)를 목적지까지 운반할 수 있다. 컨테이너 운반 장치(110)가 목적지에 도달하면, 승강 모듈(220)은 파지 모듈(210)을 다시 하강시키고, 파지 모듈(210)은 EFEM의 로드 포트 모듈(Load Port Module) 상에 안착된 컨테이너(310)를 파지 해제하여, 컨테이너(310)에 수납된 복수의 기판을 다음 반도체 제조 공정이 실행되는 공정 설비로 전달할 수 있다.In this way, when the container 310 is loaded by the gripping module 210 and the lifting module 220, the container transport device 110 can transport the container 310 to the destination in this state. When the container transport device 110 reaches the destination, the lifting module 220 lowers the gripping module 210 again, and the gripping module 210 moves the container seated on the load port module of the EFEM (Load Port Module). 310) can be released to transfer the plurality of substrates stored in the container 310 to a process facility where the next semiconductor manufacturing process is performed.

한편, 도 2 및 도 3에는 도시되어 있지 않지만, 컨테이너 운반 장치(110)는 파지 모듈(210) 대신에 수납 가능한 공간을 제공하는 수납 모듈을 포함하는 것도 가능하다. 수납 모듈은 컨테이너(310)를 수납할 수 있도록 상부가 개방되어 있는 형상(예를 들어, Basket Type)으로 형성될 수 있으며, 측면에 개폐 가능한 도어가 설치되는 형상(예를 들어, Cabinet Type)으로 형성되는 것도 가능하다.Meanwhile, although not shown in FIGS. 2 and 3, the container transport device 110 may include a storage module that provides a storage space instead of the grip module 210. The storage module may be formed in a shape with an open top (e.g., Basket Type) to store the container 310, and in a shape with an openable door installed on the side (e.g., Cabinet Type). It is also possible to form

구동 모듈(230)은 반도체 제조 공장의 천장(320)에 설치된 이동 경로(예를 들어, 한 쌍의 레일(330a, 330b))를 따라 주행하는 구동 휠(240)을 제어하는 역할을 한다. 도 2 및 도 3에는 도시되어 있지 않지만, 구동 모듈(230)은 이를 위해 구동 모터, 구동 축 등을 포함할 수 있다. 여기서, 구동 모터는 구동력을 생성하는 역할을 할 수 있으며, 구동 축은 구동 모터에 의해 생성된 구동력을 구동 휠(240)에 제공하는 역할을 할 수 있다.The driving module 230 serves to control the driving wheel 240 traveling along a movement path (eg, a pair of rails 330a and 330b) installed on the ceiling 320 of a semiconductor manufacturing plant. Although not shown in FIGS. 2 and 3, the drive module 230 may include a drive motor, a drive shaft, etc. for this purpose. Here, the drive motor may serve to generate driving force, and the drive shaft may serve to provide the driving force generated by the drive motor to the drive wheel 240.

구동 휠(Driving Wheel; 240)은 구동 모듈(230)에 의해 제공되는 구동력을 이용하여 회전하는 회전체로서, 이와 같은 회전을 통해 컨테이너 운반 장치(110)가 한 쌍의 레일(330a, 330b) 상을 주행할 수 있게 한다. 구동 휠(240)은 각 측의 레일(330a, 330b) 위를 주행할 수 있도록 한 쌍(240a, 240b)으로 마련될 수 있으며, 이 경우 한 쌍의 구동 휠(240a, 240b)은 구동 모듈(230)의 양측면에 각각 결합될 수 있다.The driving wheel (Driving Wheel) 240 is a rotating body that rotates using the driving force provided by the driving module 230. Through such rotation, the container transport device 110 moves on a pair of rails 330a and 330b. Allows you to drive. The driving wheels 240 may be provided as a pair (240a, 240b) so that they can travel on the rails 330a, 330b on each side. In this case, the pair of driving wheels 240a, 240b are connected to the driving module ( 230) can be combined on both sides.

가이드 휠(Guide Wheel; 250)은 컨테이너 운반 장치(110)가 한 쌍의 레일(330a, 330b) 상을 주행하는 경우, 컨테이너 운반 장치(110)가 상기 레일(330a, 330b)로부터 이탈되는 것을 방지하는 역할을 한다. 가이드 휠(250)은 구동 휠(240)과 마찬가지로 한 쌍(250a, 250b)으로 마련될 수 있으며, 구동 모듈(230)의 하부면 양단에 구동 휠(240a, 240b)에 대해 수직 방향이 되도록 설치될 수 있다.The guide wheel (Guide Wheel) 250 prevents the container transport device 110 from being separated from the rails 330a and 330b when the container transport device 110 travels on a pair of rails 330a and 330b. It plays a role. The guide wheel 250 may be provided as a pair (250a, 250b) like the driving wheel 240, and is installed on both ends of the lower surface of the driving module 230 in a direction perpendicular to the driving wheels (240a, 240b). It can be.

제어 모듈(260)은 컨테이너 운반 장치(110)를 구성하는 각각의 모듈을 제어하는 역할을 한다. 제어 모듈(260)은 예를 들어, 파지 모듈(210)과 승강 모듈(220)의 작동을 제어하는 역할을 하며, 구동 모듈(230)을 구성하는 구동 모터의 작동을 제어하는 역할을 할 수 있다. 또한, 도 2 및 도 3에는 도시되어 있지 않지만, 제어 모듈(260)은 그 전면과 후면에 각각 전방 프레임(Front Frame)과 후방 프레임(Rear Frame)을 갖추고, 그 하부면에 결합되는 파지 모듈(210) 및 승강 모듈(220)을 지지하는 역할도 할 수 있다.The control module 260 serves to control each module constituting the container transport device 110. For example, the control module 260 serves to control the operation of the gripping module 210 and the lifting module 220, and may serve to control the operation of the drive motor constituting the driving module 230. . In addition, although not shown in FIGS. 2 and 3, the control module 260 is equipped with a front frame and a rear frame on the front and rear sides, respectively, and a grip module coupled to the lower surface of the control module 260. 210) and may also serve to support the lifting module 220.

도 2 및 도 3에는 도시되어 있지 않지만, 제어 모듈(260)은 속도 조절부, 위치 조절부 등을 포함할 수도 있다. 여기서, 속도 조절부는 구동 휠(240)의 회전 속도를 제어하는 역할을 할 수 있으며, 위치 조절부는 컨테이너(310)의 위치를 보정하는 역할을 할 수 있다.Although not shown in FIGS. 2 and 3, the control module 260 may include a speed controller, a position controller, etc. Here, the speed controller may serve to control the rotational speed of the driving wheel 240, and the position controller may serve to correct the position of the container 310.

위치 조절부는 슬라이더(Slider)와 로테이터(Rotator)를 포함할 수 있다. 슬라이더는 컨테이너(310)를 상하 방향이나 좌우 방향으로 이동시키는 역할을 할 수 있으며, 로테이터는 컨테이너(310)를 시계 방향이나 반시계 방향으로 회전시키는 역할을 할 수 있다.The position control unit may include a slider and a rotator. The slider may serve to move the container 310 up and down or left and right, and the rotator may serve to rotate the container 310 clockwise or counterclockwise.

컨테이너 운반 장치(110)에 이동 경로를 제공하기 위해, 반도체 제조 공장의 천장(320)에는 한 쌍의 레일(330a, 330b)과 레일 지지 모듈(340)을 포함하여 레일 조립체가 설치될 수 있다. 한 쌍의 레일(330a, 330b)은 앞서 설명한 바와 같이 컨테이너 운반 장치(110)에 주행 경로를 제공하는 것으로서, 반도체 제조 공장의 천장(320)에 고정되는 레일 지지 모듈(340)의 양단에 결합될 수 있다.In order to provide a movement path for the container transport device 110, a rail assembly including a pair of rails 330a and 330b and a rail support module 340 may be installed on the ceiling 320 of the semiconductor manufacturing plant. As described above, the pair of rails 330a and 330b provide a travel path for the container transport device 110 and are coupled to both ends of the rail support module 340 fixed to the ceiling 320 of the semiconductor manufacturing plant. You can.

한 쌍의 레일(330a, 330b)은 반도체 제조 공장 내 천장(320)의 레이아웃(Layout)에 따라 직선 구간, 곡선 구간, 경사 구간, 분기 구간, 교차로 구간 등 다양한 형태의 구간을 포함하도록 구성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 한 쌍의 레일(330a, 330b)은 상기 복수의 구간들 중에서 어느 한 형태의 구간만을 포함하도록 구성되는 것도 가능하다.A pair of rails 330a and 330b can be configured to include various types of sections, such as straight sections, curved sections, inclined sections, branch sections, and intersection sections, depending on the layout of the ceiling 320 in the semiconductor manufacturing plant. there is. However, this embodiment is not limited to this. A pair of rails 330a and 330b may be configured to include only one type of section among the plurality of sections.

레일 지지 모듈(340)은 반도체 제조 공장의 천장(320)에 고정되며, 한 쌍의 레일(330a, 330b)을 지지하는 역할을 한다. 레일 지지 모듈(340)은 지상에서 바라볼 때 캡 형상(Cap Type)을 가지도록 반도체 제조 공장의 천장(320)에 설치될 수 있다.The rail support module 340 is fixed to the ceiling 320 of a semiconductor manufacturing plant and serves to support a pair of rails 330a and 330b. The rail support module 340 may be installed on the ceiling 320 of a semiconductor manufacturing plant to have a cap shape (Cap Type) when viewed from the ground.

다시 도 1을 참조하여 설명한다.Description will be made again with reference to FIG. 1 .

반송 차량 제어 장치(120)는 복수의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)를 제어하는 역할을 한다. 반송 차량 제어 장치(120)는 각각의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)가 목적지(예를 들어, 반도체 제조 공정이 수행되는 각종 공정 설비)까지 컨테이너(310)를 안전하게 운반할 수 있도록 각각의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)를 독립적으로 제어할 수 있다. 반송 차량 제어 장치(120)는 예를 들어, OCS(OHT Control System)로 구축될 수 있다.The transport vehicle control device 120 serves to control a plurality of container transport devices 110a, 110b, ..., 110n. The transport vehicle control device 120 allows each container transport device 110a, 110b, ..., 110n to safely transport the container 310 to the destination (for example, various process facilities where a semiconductor manufacturing process is performed). Each container transport device (110a, 110b, ..., 110n) can be controlled independently. For example, the transport vehicle control device 120 may be implemented as an OCS (OHT Control System).

반송 차량 제어 장치(120)는 컨테이너 운반 장치(110)에 출발 명령, 정지 명령, 가속 명령, 감속 명령 등의 신호를 송출하여 컨테이너 운반 장치(110)의 주행을 제어할 수 있다. 또한, 반송 차량 제어 장치(120)는 컨테이너 운반 장치(110)와의 유/무선 통신을 통해 컨테이너 운반 장치(110)에 필요한 정보(예를 들어, 목적지까지의 경로)를 제공할 수도 있다.The transport vehicle control device 120 may control the driving of the container transport device 110 by transmitting signals such as a start command, a stop command, an acceleration command, and a deceleration command to the container transport device 110 . Additionally, the transport vehicle control device 120 may provide necessary information (for example, a route to the destination) to the container transport device 110 through wired/wireless communication with the container transport device 110.

반송 차량 제어 장치(120)는 상기와 같은 역할을 하기 위해 각각의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)에 대해 그 위치를 인식할 수 있다. 이 경우, 반송 차량 제어 장치(120)는 한 쌍의 레일(330a, 330b) 주변에 설치되는 다수의 센서를 이용할 수 있으며, 각각의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)와 유/무선 통신하여 얻은 결과를 이용할 수도 있다.The transport vehicle control device 120 can recognize the location of each container transport device (110a, 110b, ..., 110n) in order to perform the above role. In this case, the transport vehicle control device 120 can use a number of sensors installed around a pair of rails 330a and 330b, and can be connected to each container transport device 110a, 110b, ..., 110n and wired/wireless. You can also use the results obtained through communication.

상기에서, 전자의 경우에는, 반송 차량 제어 장치(120)는 해당 센서의 식별 정보(예를 들어, 일련 번호(Serial Number)), 해당 센서의 위치 정보(예를 들어, 이차원 좌표 정보(x, y) 또는 삼차원 좌표 정보(x, y, z)), 해당 센서를 통과한 컨테이너 운반 장치(100)의 식별 정보 등을 이용하여 각각의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)에 대해 그 위치를 인식할 수 있다. 반면, 후자의 경우에는, 각각의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)가 자체적으로 자신의 위치를 계측할 수 있으며, 반송 차량 제어 장치(120)는 해당 컨테이너 운반 장치(110)와의 통신을 통해 각각의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)에 대해 그 위치를 인식할 수 있다.In the above case, in the former case, the transport vehicle control device 120 provides identification information of the corresponding sensor (e.g., serial number), location information of the corresponding sensor (e.g., two-dimensional coordinate information (x, y) or three-dimensional coordinate information (x, y, z)), identification information of the container transport device 100 that passed the corresponding sensor, etc., for each container transport device (110a, 110b, ..., 110n). Location can be recognized. On the other hand, in the latter case, each container transport device (110a, 110b, ..., 110n) can measure its own position, and the transport vehicle control device 120 communicates with the corresponding container transport device 110. Through this, the location of each container transport device (110a, 110b, ..., 110n) can be recognized.

반송 차량 제어 장치(120)는 복수의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)를 제어하기 위해 프로세스 컨트롤러, 제어 프로그램, 입력 모듈, 출력 모듈(또는 표시 모듈), 메모리 모듈 등을 포함하여 컴퓨터나 서버 등으로 마련될 수 있다. 여기서, 프로세스 컨트롤러는 물류 반송 시스템(100)을 구성하는 각각의 구성에 대해 제어 기능을 실행하는 마이크로 프로세서를 포함할 수 있으며, 제어 프로그램은 프로세스 컨트롤러의 제어에 따라 물류 반송 시스템(100)에서의 각종 처리를 실행할 수 있다. 메모리 모듈은 각종 데이터 및 처리 조건에 따라 물류 반송 시스템(100)에서의 각종 처리를 실행시키기 위한 프로그램 즉, 처리 레시피가 저장될 수 있다.The transport vehicle control device 120 includes a process controller, a control program, an input module, an output module (or a display module), a memory module, etc. to control the plurality of container transport devices 110a, 110b, ..., 110n, and a computer. It can be provided as a server or the like. Here, the process controller may include a microprocessor that executes a control function for each component constituting the logistics transport system 100, and the control program may operate various functions in the logistics transport system 100 according to the control of the process controller. Processing can be performed. The memory module may store a program, that is, a processing recipe, for executing various processes in the logistics transport system 100 according to various data and processing conditions.

도 1에는 도시되어 있지 않지만, 물류 시스템(100)은 데이터베이스를 포함할 수 있다. 데이터베이스는 반송 차량 제어 장치(120)가 복수의 컨테이너 운반 장치(110a, 110b, …, 110n)를 제어하는 데에 필요한 정보를 저장하는 역할을 한다. 데이터베이스는 반송 차량 제어 장치(120)가 필요로 하는 정보를 제공하기 위해, 반송 차량 제어 장치(120)의 내부에 탑재되거나, 외부에 별도로 마련되어 유/무선으로 연결되는 것도 가능하다.Although not shown in FIG. 1, the logistics system 100 may include a database. The database serves to store information necessary for the transport vehicle control device 120 to control the plurality of container transport devices 110a, 110b, ..., 110n. In order to provide information required by the transport vehicle control device 120, the database may be mounted inside the transport vehicle control device 120, or may be provided separately on the outside and connected wired or wirelessly.

반송 차량 모니터링 장치(130)는 컨테이너 운반 장치(110)를 감시(또는 모니터링)하는 역할을 한다. 반송 차량 모니터링 장치(130)는 이를 위해 반도체 제조 공장 내 일정 장소에 고정되어 설치될 수 있으며, 반도체 제조 공장 내에서 이동 가능하게 설치되는 것도 가능하다. 반송 차량 모니터링 장치(130)는 예를 들어, 진단 스테이션으로 마련될 수 있다.The transport vehicle monitoring device 130 serves to monitor (or monitor) the container transport device 110. For this purpose, the transport vehicle monitoring device 130 can be fixedly installed at a certain location within the semiconductor manufacturing plant, and can also be installed movably within the semiconductor manufacturing plant. The transport vehicle monitoring device 130 may be provided as a diagnostic station, for example.

앞서 설명하였지만, 컨테이너 운반 장치(110)는 반도체 제조 공장 내 천장에 설치된 레일(330a, 330b)을 따라 주행할 수 있다. 반송 차량 모니터링 장치(130)는 반도체 제조 공장 내에 고정 설치되는 경우, 복수의 컨테이너 운반 장치(110)를 모니터링하기 위해 반도체 제조 공장 내 바닥면 상에서 천장을 향하도록 설치될 수 있다. 반송 차량 모니터링 장치(130)는 반도체 제조 공장 내에서 이동 가능하게 설치되는 경우, 컨테이너 운반 장치(110)와 마찬가지로 레일(330a, 330b)을 따라 주행하면서 복수의 컨테이너 운반 장치(110)를 모니터링할 수 있다.As described above, the container transport device 110 can travel along rails 330a and 330b installed on the ceiling in a semiconductor manufacturing plant. When the transport vehicle monitoring device 130 is fixedly installed in a semiconductor manufacturing plant, it may be installed on the floor of the semiconductor manufacturing plant toward the ceiling to monitor the plurality of container transport devices 110. When the transport vehicle monitoring device 130 is movably installed within a semiconductor manufacturing plant, it can monitor a plurality of container transport devices 110 while traveling along the rails 330a and 330b like the container transport device 110. there is.

반송 차량 모니터링 장치(130)는 주변에 대한 영상 정보를 획득할 수 있도록 도 4에 도시된 바와 같이 비전 센서(Vision Sensor; 410)를 포함할 수 있다. 비전 센서(410)는 적어도 하나의 카메라 센서를 포함하여 구성될 수 있다. 반송 차량 모니터링 장치(130)는 비전 센서(410)를 사용하여 복수의 컨테이너 운반 장치(110)를 모니터링할 수 있다. 도 4는 물류 시스템을 구성하는 반송 차량 모니터링 장치의 다양한 기능을 설명하기 위한 제1 예시도이다.The transport vehicle monitoring device 130 may include a vision sensor 410 as shown in FIG. 4 to obtain image information about the surroundings. The vision sensor 410 may include at least one camera sensor. The transport vehicle monitoring device 130 may monitor a plurality of container transport devices 110 using the vision sensor 410. Figure 4 is a first example diagram for explaining various functions of the transport vehicle monitoring device that constitutes the logistics system.

반송 차량 모니터링 장치(130)는 복수 또는 다수의 비전 센서를 포함할 수 있다. 이 경우, 다수의 비전 센서는 반송 차량 모니터링 장치(130)의 사방에 대한 영상 정보를 획득할 수 있도록 서로 다른 방향을 지향할 수 있다. 예를 들어, 반송 차량 모니터링 장치(130)는 네 개의 비전 센서를 포함하며, 상기 네 개의 비전 센서는 동쪽 방향, 서쪽 방향, 남쪽 방향, 북쪽 방향 등 모두 서로 다른 방향에 대한 영상 정보를 획득할 수 있다. 네 개의 비전 센서는 전방 방향, 후방 방향, 상측 방향, 하측 방향 등에 대한 영상 정보를 획득할 수도 있다.The transport vehicle monitoring device 130 may include a plurality of vision sensors. In this case, a plurality of vision sensors may be oriented in different directions to obtain image information on all sides of the transport vehicle monitoring device 130. For example, the transport vehicle monitoring device 130 includes four vision sensors, and the four vision sensors can acquire image information for different directions, such as east direction, west direction, south direction, and north direction. there is. The four vision sensors can also acquire image information for the front direction, rear direction, upper direction, and lower direction.

반송 차량 모니터링 장치(130)는 단일 또는 소수의 비전 센서를 포함하는 것도 가능하다. 이 경우, 소수의 비전 센서는 반송 차량 모니터링 장치(130)의 사방에 대한 영상 정보를 획득할 수 있도록 회전 가능하게 마련될 수 있다. 예를 들어, 반송 차량 모니터링 장치(130)는 한 개의 비전 센서를 포함하며, 상기 한 개의 비전 센서는 상하 방향, 좌우 방향 등으로 360도 회전 가능하게 설치될 수도 있다.The transport vehicle monitoring device 130 may also include a single or a small number of vision sensors. In this case, a small number of vision sensors may be rotatably provided to obtain image information on all sides of the transport vehicle monitoring device 130. For example, the transport vehicle monitoring device 130 includes one vision sensor, and the one vision sensor may be installed to be able to rotate 360 degrees in the up-down direction, left-right direction, etc.

비전 센서(410)를 이용하여 컨테이너 운반 장치(110)를 모니터링하는 경우, 반송 차량 모니터링 장치(130)는 비전 센서(410)를 통해 획득된 영상 정보를 직접 처리하며, 그 처리 결과를 바탕으로 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생하였는지 여부를 판별할 수 있다. 예를 들면, 컨테이너(310)를 파지하고 있는 컨테이너 운반 장치(110)가 정지되어 있으면, 반송 차량 모니터링 장치(130)는 상기 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생한 것으로 판별할 수 있다.When monitoring the container transport device 110 using the vision sensor 410, the transport vehicle monitoring device 130 directly processes the image information acquired through the vision sensor 410, and based on the processing results, the container transport device 110 is monitored. It is possible to determine whether an error has occurred in the transport device 110. For example, if the container transport device 110 holding the container 310 is stopped, the transport vehicle monitoring device 130 may determine that an error has occurred in the container transport device 110.

반송 차량 모니터링 장치(130)는 컨테이너 운반 장치(110)와의 통신을 통해 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생하였는지 여부를 판별하는 것도 가능하다. 예를 들면, 반송 차량 모니터링 장치(130)가 컨테이너 운반 장치(110)에 요청 메시지를 송신하였으나 일정 시간이 경과한 후에도 컨테이너 운반 장치(110)로부터 요청 메시지에 대한 응신 메시지가 수신되지 않으면, 반송 차량 모니터링 장치(130)는 상기 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생한 것으로 판별할 수 있다.The transport vehicle monitoring device 130 can also determine whether an error has occurred in the container transport device 110 through communication with the container transport device 110. For example, if the transport vehicle monitoring device 130 transmits a request message to the container transport device 110, but a response message to the request message is not received from the container transport device 110 even after a certain period of time has elapsed, the transport vehicle The monitoring device 130 may determine that an error has occurred in the container transport device 110.

상기와 같은 경우, 반송 차량 모니터링 장치(130)는 도 5에 도시된 바와 같이 통신 모듈(420)을 포함할 수 있다. 통신 모듈(420)은 컨테이너 운반 장치(110)에 요청 메시지를 송출하고, 상기 컨테이너 운반 장치(110)로부터 요청 메시지에 대한 응신 메시지를 수신하는 역할을 할 수 있다. 도 5는 물류 시스템을 구성하는 반송 차량 모니터링 장치의 다양한 기능을 설명하기 위한 제2 예시도이다.In the above case, the transport vehicle monitoring device 130 may include a communication module 420 as shown in FIG. 5. The communication module 420 may serve to transmit a request message to the container transport device 110 and receive a response message to the request message from the container transport device 110. Figure 5 is a second example diagram for explaining various functions of the transport vehicle monitoring device that constitutes the logistics system.

한편, 반송 차량 모니터링 장치(130)는 컨테이너 운반 장치(110)가 컨테이너(310)를 반송하는 중일 때에는 비전 센서(410)를 사용하여 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생하였는지 여부를 판별하고, 컨테이너 운반 장치(110)가 유휴(대기) 중일 때에는 통신 모듈(420)에 의한 상호 간 통신을 이용하여 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생하였는지 여부를 판별할 수도 있다. 반송 차량 모니터링 장치(130)는 비전 센서(410)와 통신 모듈(420) 중 어느 하나를 포함할 수 있지만, 상기 둘 다 포함하는 것도 가능하다.Meanwhile, the transport vehicle monitoring device 130 uses the vision sensor 410 to determine whether an error has occurred in the container transport apparatus 110 when the container transport apparatus 110 is transporting the container 310, When the container transport device 110 is idle (standby), it may be determined whether an error has occurred in the container transport device 110 using mutual communication through the communication module 420. The transport vehicle monitoring device 130 may include either a vision sensor 410 or a communication module 420, but may also include both.

반송 차량 모니터링 장치(130)는 컨테이너 운반 장치(예를 들어, 110a)를 모니터링하여 상기 컨테이너 운반 장치(예를 들어, 110a)에 에러가 발생한 것으로 판별되는 경우, 상기 컨테이너 운반 장치(예를 들어, 110a)를 목적지까지 수송해갈 것(즉, 테이크 아웃(Take Out))을 요청할 수 있다. 여기서, 목적지는 다른 컨테이너 운반 장치(예를 들어, 110b, …, 110n)의 운행에 방해되지 않는 장소를 말한다.The transport vehicle monitoring device 130 monitors the container transport device (e.g., 110a) and, if it is determined that an error has occurred in the container transport device (e.g., 110a), the container transport device (e.g., You can request that 110a) be transported to your destination (i.e., take out). Here, the destination refers to a place that does not interfere with the operation of other container transport devices (eg, 110b, ..., 110n).

그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 테이크 아웃 기능은 반송 차량 진단 장치(140)에 의해 수행되는 것도 가능하다. 또는, 상기 테이크 아웃 기능은 컨테이너 운반 장치(110)에 의해 수행되는 것도 가능하다.However, this embodiment is not limited to this. The take-out function can also be performed by the transport vehicle diagnostic device 140. Alternatively, the take-out function can also be performed by the container transport device 110.

제1 컨테이너 운반 장치(110a)에 대한 테이크 아웃의 경우, 그 주변을 통과하던 다른 컨테이너 운반 장치(110b, …, 110n) 즉, 제2 컨테이너 운반 장치(110b), 제n 컨테이너 운반 장치(110n) 등에 의해 수행될 수 있다. 다른 컨테이너 운반 장치(110b, …, 110n)는 전방에 카메라 센서를 포함하며, 상기 카메라 센서를 통해 얻은 영상 정보를 바탕으로 제1 컨테이너 운반 장치(110a)에 대한 테이크 아웃을 요청할 수 있다.In the case of take-out of the first container transport device 110a, other container transport devices 110b, ..., 110n passing around it, that is, the second container transport device 110b, the nth container transport device 110n It can be performed by, etc. Other container transport devices 110b, ..., 110n include a camera sensor in the front, and can request takeout for the first container transport device 110a based on image information obtained through the camera sensor.

테이크 아웃 기능의 경우, 제1 컨테이너 운반 장치(110a) 자체에 의해 수행되는 것도 가능하다. 제1 컨테이너 운반 장치(110a)의 제어 모듈(260)은 파지 모듈(210), 승강 모듈(220), 구동 모듈(230), 구동 휠(240) 등에 작동 오류가 발생한 경우, 자기 자신을 목적지까지 수송해갈 것을 요청할 수 있다.In the case of the take-out function, it is also possible to perform it by the first container transport device 110a itself. If an operational error occurs in the gripping module 210, the lifting module 220, the driving module 230, or the driving wheel 240, the control module 260 of the first container transport device 110a transports itself to the destination. You can request transportation.

다시 도 1을 참조하여 설명한다.Description will be made again with reference to FIG. 1 .

반송 차량 진단 장치(140)는 반송 차량 모니터링 장치(130)를 제어하는 역할을 한다. 물류 시스템(100) 내에는 단일 또는 복수의 반송 차량 모니터링 장치(130)가 마련될 수 있으며, 반송 차량 진단 장치(140)는 단일 또는 복수의 반송 차량 모니터링 장치(130)를 총괄 제어하거나 독립적으로 제어할 수 있다. 반송 차량 진단 장치(140)는 예를 들어, 진단 시스템으로 마련될 수 있다.The transport vehicle diagnostic device 140 serves to control the transport vehicle monitoring device 130. A single or multiple transport vehicle monitoring devices 130 may be provided in the logistics system 100, and the transport vehicle diagnostic device 140 collectively controls or independently controls the single or multiple transport vehicle monitoring devices 130. can do. The transport vehicle diagnostic device 140 may be provided as a diagnostic system, for example.

반송 차량 진단 장치(140)는 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생하였는지 여부를 판별하는 역할을 할 수 있다. 반송 차량 모니터링 장치(130)가 비전 센서(410)를 이용하여 영상 정보를 획득하면, 반송 차량 진단 장치(140)는 상기 영상 정보를 처리하며, 그 처리 결과를 바탕으로 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생하였는지 여부를 판별할 수 있다. 또는, 반송 차량 진단 장치(140)는 반송 차량 모니터링 장치(130)와 컨테이너 운반 장치(110) 간 통신 결과를 바탕으로 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생하였는지 여부를 판별하는 것도 가능하다.The transport vehicle diagnostic device 140 may serve to determine whether an error has occurred in the container transport device 110. When the transport vehicle monitoring device 130 acquires image information using the vision sensor 410, the transport vehicle diagnostic device 140 processes the image information and sends it to the container transport device 110 based on the processing results. You can determine whether an error occurred. Alternatively, the transport vehicle diagnostic device 140 may determine whether an error has occurred in the container transport device 110 based on the result of communication between the transport vehicle monitoring device 130 and the container transport device 110.

본 실시예에서 에러 발생 여부 판별은 반송 차량 모니터링 장치(130), 반송 차량 진단 장치(140) 및 컨테이너 운반 장치(110) 중에서 어느 하나의 장치에 수행되지 않고, 적어도 두 개의 장치에 의해 수행되는 것도 가능하다. 예를 들어, 컨테이너 운반 장치(110)와 반송 차량 진단 장치(140)(또는 반송 차량 모니터링 장치(130))에 의해 크로스 체크될 수 있다. 본 실시예에서는 이를 통해 에러 발생 여부를 반송 차량 진단 장치(140)(또는 반송 차량 모니터링 장치(130)) 및 컨테이너 운반 장치(110) 자체적으로 판단하여 그 누락 가능성을 제거하는 효과를 얻을 수 있다.In this embodiment, the determination of whether an error has occurred is not performed by any one of the transport vehicle monitoring device 130, the transport vehicle diagnostic device 140, and the container transport device 110, but is also performed by at least two devices. possible. For example, it may be cross-checked by the container transport device 110 and the transport vehicle diagnostic device 140 (or the transport vehicle monitoring device 130). In this embodiment, the transfer vehicle diagnostic device 140 (or the transfer vehicle monitoring device 130) and the container transport device 110 themselves determine whether an error has occurred, thereby eliminating the possibility of error.

앞서 설명하였지만, 반송 차량 진단 장치(140)는 컨테이너 운반 장치(110)에 대한 테이크 아웃을 요청할 수 있다. 반송 차량 진단 장치(140)는 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생한 것으로 판별되면 상기와 같은 기능을 수행할 수 있다. 또는, 반송 차량 진단 장치(140)는 반송 차량 모니터링 장치(130)의 분석 결과를 바탕으로 상기와 같은 기능을 수행하는 것도 가능하다.As described above, the transport vehicle diagnostic device 140 may request takeout for the container transport device 110. The transport vehicle diagnostic device 140 may perform the above functions when it is determined that an error has occurred in the container transport device 110. Alternatively, the transport vehicle diagnostic device 140 may perform the above functions based on the analysis results of the transport vehicle monitoring device 130.

한편, 본 실시예에서 컨테이너 운반 장치(110)는 자체적으로 자동 복구(Auto Recovery) 기능을 갖출 수 있다. 종래의 경우, 컨테이너 운반 장치(110)의 에러 발생 판단은 작업자에 의해 진행되어 오판 가능성이 존재하며, 에러 발생 확인이 늦어질 경우 컨테이너(310)의 반송에 차질이 생길 수 있다.Meanwhile, in this embodiment, the container transport device 110 may be equipped with an automatic recovery function. In the conventional case, the determination of the occurrence of an error in the container transport device 110 is performed by the operator, so there is a possibility of misjudgment, and if confirmation of the occurrence of the error is delayed, there may be a disruption in the return of the container 310.

본 실시예에서는 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생하면(예를 들면 파지 모듈(210), 승강 모듈(220), 구동 모듈(230), 구동 휠(240) 등에 작동 오류가 발생하거나 센서 상태 이상 발생시), 제어 모듈(260)이 전원을 재부팅시키며, 이후 해당 모듈의 동작을 재시도할 수 있다. 이러한 재시도를 통해서도 해당 모듈이 정상적으로 작동하지 않으면, 제어 모듈(260)은 컨테이너 운반 장치(110)에 에러가 발생한 사실을 반송 차량 진단 장치(140)에 보고하고, 컨테이너 운반 장치(110)의 테이크 아웃을 요청할 수 있다.In this embodiment, if an error occurs in the container transport device 110 (for example, an operation error occurs in the gripping module 210, the lifting module 220, the driving module 230, or the driving wheel 240, or the sensor status When an error occurs), the control module 260 reboots the power and can then retry the operation of the module. If the module does not operate normally even through these retries, the control module 260 reports the fact that an error has occurred in the container transport device 110 to the transport vehicle diagnostic device 140 and takes the container transport device 110. You can request to be out.

반송 차량 모니터링 장치(130) 및/또는 반송 차량 진단 장치(140)는 컨테이너 운반 장치(110)의 상태를 상시로(실시간으로) 또는 수시로(일정 시간마다) 점검할 수도 있다. 예를 들면, 컨테이너(310)를 파지한 상태로 목적지까지 주행하는 컨테이너 운반 장치(110)의 이동 속도를 관찰할 수 있다. 전방에 정체 현상이 발생하지 않았음에도 불구하고 컨테이너 운반 장치(110)의 이동 속도가 이전보다 현저하게 감소된 것으로 판별되면, 반송 차량 모니터링 장치(130) 또는 반송 차량 진단 장치(140)는 컨테이너 운반 장치(110)의 구동 모듈(230), 구동 휠(240) 등에 이상이 있는 것으로 보고 이의 점검을 요청할 수도 있다. 또한, 반송 차량 모니터링 장치(130) 또는 반송 차량 진단 장치(140)는 컨테이너 운반 장치(110)에 설치된 센서의 센싱 주기를 모니터링하여 이상 발생시 이의 점검을 요청하는 것도 가능하다.The transport vehicle monitoring device 130 and/or the transport vehicle diagnostic device 140 may check the status of the container transport device 110 at all times (in real time) or frequently (at certain intervals). For example, the moving speed of the container transport device 110 traveling to the destination while holding the container 310 can be observed. If it is determined that the moving speed of the container transport device 110 is significantly reduced compared to before even though there is no congestion in front, the transport vehicle monitoring device 130 or the transport vehicle diagnostic device 140 It may be considered that there is a problem with the drive module 230 or drive wheel 240 of 110 and inspection thereof may be requested. In addition, the transport vehicle monitoring device 130 or the transport vehicle diagnostic device 140 can monitor the sensing cycle of the sensor installed on the container transport device 110 and request inspection when an abnormality occurs.

이상 도 1 내지 도 5를 참조하여 물류 시스템(100)과 상기 물류 시스템(100)에 포함되는 컨테이너 운반 장치(110), 반송 차량 제어 장치(120), 반송 차량 모니터링 장치(130), 반송 차량 진단 장치(140) 등에 대하여 설명하였다. 본 실시예에서 반송 차량 모니터링 장치(130), 반송 차량 진단 장치(140) 등을 포함하는 물류 시스템(100)은 진단 시스템 연계 기반으로 구축된 자동 복구(Auto Recovery)/테이크 아웃(Takeout)/검사 체계에 관한 것으로서, 컨테이너 운반 장치(110)의 이상 여부 판단 및 테이크 아웃을 빠르게 진행하는 효과를 얻을 수 있다.Referring to FIGS. 1 to 5, the logistics system 100 and the container transport device 110, transport vehicle control device 120, transport vehicle monitoring device 130, and transport vehicle diagnosis included in the logistics system 100. The device 140 and the like were explained. In this embodiment, the logistics system 100, including the return vehicle monitoring device 130 and the return vehicle diagnostic device 140, is configured with an automatic recovery/takeout/inspection system built based on diagnostic system linkage. As it relates to the system, it is possible to obtain the effect of quickly determining whether the container transport device 110 is abnormal and performing take-out.

상기에서, 이송 장치(즉, 컨테이너 운반 장치(110))는 자체적으로 Auto Recovery 기능을 갖추며, Auto Recovery 기능은 상기 이송 장치 자체적으로 가능한 수준의 복구를 진행할 수 있다. Auto Recovery 기능은 예를 들어 구동 모듈(230) 내 모터 동작 중 모터 알람 발생시 복구 및 동작 재시도의 순서로 진행될 수 있으며, 모터 동작 중 센서 이상 발생시 일시 정지 후 재확인, 정상일 경우 동작 완료 후 이상 보고, 비정상일 경우 이송 장치 에러 발생 보고 및 비상 정지 등의 순서로 진행될 수 있다.In the above, the transfer device (i.e., the container transport device 110) is equipped with an Auto Recovery function, and the Auto Recovery function can perform recovery to the level possible by the transfer device itself. For example, the Auto Recovery function can proceed in the order of recovery and operation retry when a motor alarm occurs during motor operation in the drive module 230. If a sensor error occurs during motor operation, pause and recheck, and if normal, report the abnormality after completing the operation. In case of abnormalities, the process may proceed in the following order: transfer device error occurrence report and emergency stop.

또한, Auto Takeout 기능은 진단 시스템(즉, 반송 차량 진단 장치(140)) 판단 또는 진단 스테이션(즉, 반송 차량 모니터링 장치(130)) UI에서 호기 선택하거나, 이송 장치가 자체적으로 요청하여 이송 장치를 Takeout 동작시킬 수 있다. 즉, 진단 시스템이 이송 장치 이상 여부를 판단하여 해당 호기를 Takeout 요청할 수 있으며, 이송 장치가 자체적으로 이상 여부를 판단하여 Takeout 요청하는 것도 가능하다.In addition, the Auto Takeout function can be operated by selecting an auto in the diagnostic system (i.e., return vehicle diagnostic device 140) judgment or diagnostic station (i.e., return vehicle monitoring device 130) UI, or by requesting the transfer device itself. Takeout can be operated. In other words, the diagnostic system can determine whether there is an abnormality in the transfer device and request takeout of the unit, and it is also possible for the transfer device to determine whether there is an abnormality on its own and request takeout.

또한, 진단 스테이션이 비전을 이용하여 이송 장치 HW 이상 여부를 판단하는 것도 가능하다.Additionally, it is possible for the diagnostic station to determine whether the transfer device HW is abnormal using vision.

본 발명은 이송 장치 문제 인지, Takeout, 검사 과정 등을 자동화하여 문제 인지에서부터 Takeout 동작까지 그 소요 시간을 종래의 경우보다 크게 단축시켜 컨테이너(310)의 반송에 주는 영향을 최소화할 수 있다. 또한, 진단 스테이션이 이송 장치의 기구 점검을 진행하여 문제점을 파악하여 점검 포인트를 특정할 수도 있다.The present invention can minimize the impact on the transport of the container 310 by automating the recognition of transfer device problems, takeout, and inspection processes, and greatly shorten the time required from problem recognition to takeout operation compared to the conventional case. In addition, the diagnostic station may perform mechanical inspection of the transfer device to identify problems and specify inspection points.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the attached drawings, the present invention is not limited to the above embodiments and can be manufactured in various different forms, and can be manufactured in various different forms by those skilled in the art. It will be understood by those who understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing its technical spirit or essential features. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive.

100: 물류 시스템 110: 컨테이너 운반 장치
120: 반송 차량 제어 장치 130: 반송 차량 모니터링 장치
140: 반송 차량 진단 장치 210: 파지 모듈
220: 승강 모듈 230: 구동 모듈
240: 구동 휠 260: 제어 모듈
310: 컨테이너 330a, 330b: 레일
410: 비전 센서 420: 통신 모듈100: logistics system 110: container transport device
120: Return vehicle control device 130: Return vehicle monitoring device
140: Return vehicle diagnostic device 210: Gripping module
220: lifting module 230: driving module
240: driving wheel 260: control module
310: container 330a, 330b: rail
410: Vision sensor 420: Communication module

Claims (10)

반도체 제조 공장 내에서 복수의 기판이 수납된 컨테이너를 운반하는 반송 차량;
상기 반송 차량을 제어하는 반송 차량 제어 장치;
상기 반송 차량을 모니터링하는 반송 차량 모니터링 장치; 및
상기 반송 차량 모니터링 장치를 제어하는 반송 차량 진단 장치를 포함하며,
상기 반송 차량 모니터링 장치는 상기 반송 차량을 실시간으로 모니터링하는 물류 시스템.A transport vehicle transporting a container containing a plurality of substrates within a semiconductor manufacturing plant;
a transport vehicle control device that controls the transport vehicle;
a transport vehicle monitoring device that monitors the transport vehicle; and
It includes a transport vehicle diagnostic device that controls the transport vehicle monitoring device,
The transport vehicle monitoring device is a logistics system that monitors the transport vehicle in real time. 제 1 항에 있어서,
상기 반송 차량, 상기 반송 차량 모니터링 장치 및 상기 반송 차량 진단 장치 중 어느 하나는 상기 반송 차량에 에러가 발생한 경우 상기 반송 차량의 테이크 아웃을 요청하는 물류 시스템.According to claim 1,
A logistics system in which any one of the transport vehicle, the transport vehicle monitoring device, and the transport vehicle diagnostic device requests takeout of the transport vehicle when an error occurs in the transport vehicle. 제 1 항에 있어서,
상기 반송 차량은,
상기 컨테이너를 파지하는 파지 모듈;
상기 컨테이너가 파지되면 상기 컨테이너를 승강시키는 승강 모듈;
구동 휠을 제어하며, 상기 구동 휠을 이용하여 상기 반도체 제조 공장의 천장에 설치된 레일을 따라 주행하는 구동 모듈; 및
상기 파지 모듈, 상기 승강 모듈 및 상기 구동 모듈의 작동을 제어하는 제어 모듈을 포함하며,
상기 제어 모듈은 상기 파지 모듈, 상기 승강 모듈 및 상기 구동 모듈 중 적어도 하나의 모듈에 작동 오류가 발생하면 자체적으로 테이크 아웃을 요청하는 물류 시스템.According to claim 1,
The transport vehicle is,
a gripping module that grips the container;
an elevating module that elevates the container when the container is grasped;
a driving module that controls a driving wheel and travels along a rail installed on the ceiling of the semiconductor manufacturing plant using the driving wheel; and
It includes a control module that controls the operation of the gripping module, the lifting module, and the driving module,
The control module is a logistics system that requests takeout by itself when an operation error occurs in at least one of the gripping module, the lifting module, and the driving module. 제 1 항에 있어서,
상기 반송 차량, 상기 반송 차량 모니터링 장치 및 상기 반송 차량 진단 장치 중 적어도 하나는 상기 반송 차량에 에러가 발생하였는지 여부를 판별하는 물류 시스템.According to claim 1,
A logistics system wherein at least one of the transport vehicle, the transport vehicle monitoring device, and the transport vehicle diagnostic device determines whether an error has occurred in the transport vehicle. 제 1 항에 있어서,
상기 반송 차량은 상기 반송 차량에 에러가 발생한 경우 자동 복구를 시도하는 물류 시스템.According to claim 1,
A logistics system in which the transport vehicle attempts automatic recovery when an error occurs in the transport vehicle. 제 5 항에 있어서,
상기 반송 차량은 재부팅을 통해 자동 복구를 시도하며, 자동 복구가 되지 않으면 비상 정지를 하는 물류 시스템.According to claim 5,
A logistics system in which the transport vehicle attempts automatic recovery through rebooting and makes an emergency stop if automatic recovery does not occur. 제 1 항에 있어서,
상기 반송 차량 모니터링 장치 및 상기 반송 차량 진단 장치 중 적어도 하나는 상기 반송 차량의 상태를 실시간으로 점검하는 물류 시스템.According to claim 1,
A logistics system wherein at least one of the transport vehicle monitoring device and the transport vehicle diagnostic device checks the status of the transport vehicle in real time. 제 1 항에 있어서,
상기 반송 차량 모니터링 장치는,
주변 영상 정보를 획득하는 비전 센서; 및
상기 반송 차량과 통신을 하는 통신 모듈 중 적어도 하나를 포함하는 물류 시스템.According to claim 1,
The transport vehicle monitoring device,
A vision sensor that acquires surrounding image information; and
A logistics system including at least one of a communication module that communicates with the transport vehicle. 반도체 제조 공장 내에서 복수의 기판이 수납된 컨테이너를 운반하는 반송 차량을 모니터링하는 것으로서,
상기 반송 차량을 실시간으로 모니터링하고,
상기 반송 차량에 에러가 발생하였는지 여부를 판별하고,
상기 반송 차량에 에러가 발생한 경우 상기 반송 차량의 테이크 아웃을 요청하는 반송 차량 모니터링 장치.Monitoring a transport vehicle transporting a container containing a plurality of substrates within a semiconductor manufacturing plant,
Monitor the transport vehicle in real time,
Determine whether an error has occurred in the transport vehicle,
A transfer vehicle monitoring device that requests takeout of the transfer vehicle when an error occurs in the transfer vehicle. 제 9 항에 있어서,
상기 반송 차량 모니터링 장치는 상기 반송 차량의 상태를 실시간으로 점검하는 반송 차량 모니터링 장치.According to clause 9,
The transfer vehicle monitoring device is a transfer vehicle monitoring device that checks the status of the transfer vehicle in real time.
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