KR20240018975A - Valve shutter module and gas supply apparatus having the same - Google Patents

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KR20240018975A
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valve shutter
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shutter module
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gas container
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박용건
김남응
김현종
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주식회사 케이씨
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Abstract

자동으로 승하강 가능한 밸브 셔터 모듈을 구비하는 가스 공급장치가 개시된다. 밸브 셔터 모듈은, 메인 프레임, 가스 용기에 대해서 승하강하여 결합되는 밸브 셔터, 상기 메인 프레임에 구비되고 상기 밸브 셔터를 상기 가스 용기에 대해서 승하강시키는 승강부, 및 상기 메인 프레임의 상부에 분리 및 해제 가능하게 구비되는 고정부를 포함하여 구성된다.A gas supply device having a valve shutter module capable of automatically raising and lowering is disclosed. The valve shutter module includes a main frame, a valve shutter that is raised and lowered with respect to the gas container, a lifting part provided on the main frame and raised and lowered with respect to the gas container, and separated and released from the upper part of the main frame. It is configured to include a fixing part that is possibly provided.

Description

밸브 셔터 모듈 및 이를 구비하는 가스 공급장치{VALVE SHUTTER MODULE AND GAS SUPPLY APPARATUS HAVING THE SAME}Valve shutter module and gas supply device comprising the same {VALVE SHUTTER MODULE AND GAS SUPPLY APPARATUS HAVING THE SAME}

이하의 설명은 가스 공급장치와 밸브 셔터 모듈에 관한 것이다.The following description relates to the gas supply device and valve shutter module.

일반적으로 반도체장치의 제조 공정에서는 각 공정의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도 및 압력으로 공급되는 것이 요구된다. 가스는 소정의 가스 용기에 고압 상태로 보관되고, 가스 공급장치에 연결된 배관을 통해 가스 공급장치로 공급된다.In general, the semiconductor device manufacturing process requires that a type of gas suitable for the purpose of each process be supplied at a constant concentration and pressure. Gas is stored under high pressure in a predetermined gas container and supplied to the gas supply device through a pipe connected to the gas supply device.

내부의 가스가 모두 소모된 가스 용기는 가스 공급장치에서 분리하고 새로운 가스 용기를 연결하는 교체 공정이 필요하다. 가스 공급장치는, 가스 용기와 배관을 연결시키는 밸브 셔터 모듈과, 밸브 셔터 모듈의 위치를 조정하는 위치 조절 모듈이 구비된다.A gas container whose internal gas has been completely consumed requires a replacement process of disconnecting it from the gas supply device and connecting a new gas container. The gas supply device is provided with a valve shutter module that connects the gas container and the pipe, and a position control module that adjusts the position of the valve shutter module.

한편, 기존의 가스 공급장치는 가스 용이게 밸브 셔터를 정렬시키는 작업을 작업자가 수동으로 수행하였는데, 밸브 셔터 모듈의 연결 및 정렬 작업이 효율적이지 못하였다. 또한, 밸브 셔터 모듈을 가스 용기에 정렬시키는 과정에서 밸브 셔터로 인해 밸브가 미세하게 열릴 수 있고, 이로 인해 가스 용기 내부의 고압의 가스가 분출되는 사고의 위험이 있었다.Meanwhile, in the existing gas supply device, workers manually aligned the valve shutter to facilitate gas, but the connection and alignment of the valve shutter module was not efficient. Additionally, in the process of aligning the valve shutter module to the gas container, the valve may be slightly opened due to the valve shutter, which poses a risk of an accident in which high-pressure gas inside the gas container is ejected.

전술한 배경기술은 발명자가 본원의 개시 내용을 도출하는 과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.The above-mentioned background technology is possessed or acquired by the inventor in the process of deriving the disclosure of the present application, and cannot necessarily be said to be known technology disclosed to the general public before the present application.

실시예의 목적은, 밸브 셔터를 가스 용기에 자동으로 정렬시킬 수 있는 밸브 셔터 모듈 및 가스 공급장치를 제공하는 것이다.The purpose of the embodiment is to provide a valve shutter module and a gas supply device that can automatically align the valve shutter to the gas container.

실시예들에서 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved in the embodiments are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

실시예들에 따른 자동으로 승하강 가능한 밸브 셔터 모듈은, 메인 프레임, 가스 용기에 대해서 승하강하여 결합되는 밸브 셔터, 상기 메인 프레임에 구비되고 상기 밸브 셔터를 상기 가스 용기에 대해서 승하강시키는 승강부, 및 상기 메인 프레임의 상부에 분리 및 해제 가능하게 구비되는 고정부를 포함하여 구성된다.The valve shutter module capable of automatically raising and lowering according to embodiments includes a main frame, a valve shutter that is raised and lowered and coupled to a gas container, a lifting unit provided in the main frame and raising and lowering the valve shutter with respect to the gas container, and a fixing part that is detachably and releasably provided on an upper part of the main frame.

또한, 가스 공급장치는, 가스가 저장된 가스 용기가 수용 가능하게 형성되는 본체와, 상기 본체 내부에 구비되고, 상기 가스 용기에 대해서 자동으로 승하강하여 결합되는 밸브 셔터 모듈을 포함하고, 상기 밸브 셔터 모듈이 전체로 상기 본체에서 탈부착 가능하게 형성된다.In addition, the gas supply device includes a main body formed to accommodate a gas container in which gas is stored, and a valve shutter module provided inside the main body and automatically raised and lowered and coupled to the gas container, the valve shutter module This whole is formed to be detachable from the main body.

실시예들에 따르면, 밸브 셔터 모듈은 자동으로 승하강되어 가스 용기에 결합 및 분리될 수 있다.According to embodiments, the valve shutter module can be automatically raised and lowered to be coupled to and separated from the gas container.

실시예에 따른 밸브 셔터 모듈 및 이를 구비하는 가스 공급장치의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the valve shutter module and the gas supply device including the same according to the embodiment are not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

도 1 및 도 2는 일 실시예에 따른 밸브 셔터 모듈의 사시도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 밸브 셔터 모듈이 고정부에서 분리하는 동작을 설명하기 위한 일부 분해 사시도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 밸브 셔터 모듈의 다른 쪽에서 본 사시도이다.1 and 2 are perspective views of a valve shutter module according to one embodiment.
Figure 3 is a partially exploded perspective view to explain the operation of separating the valve shutter module from the fixing part according to one embodiment.
Figure 4 is a perspective view from the other side of the valve shutter module according to one embodiment.

이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 실시예들에는 다양한 변경이 가해질 수 있어서 특허출원의 권리 범위가 이러한 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 실시예들에 대한 모든 변경, 균등물 내지 대체물이 권리 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the attached drawings. However, various changes can be made to the embodiments, so the scope of the patent application is not limited or limited by these embodiments. It should be understood that all changes, equivalents, or substitutes for the embodiments are included in the scope of rights.

실시예에서 사용한 용어는 단지 설명을 목적으로 사용된 것으로, 한정하려는 의도로 해석되어서는 안된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the examples are for descriptive purposes only and should not be construed as limiting. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate the presence of features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but are not intended to indicate the presence of one or more other features. It should be understood that this does not exclude in advance the possibility of the existence or addition of elements, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as generally understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the embodiments belong. Terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and unless explicitly defined in the present application, should not be interpreted in an ideal or excessively formal sense. No.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 실시예의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In addition, when describing with reference to the accompanying drawings, identical components will be assigned the same reference numerals regardless of the reference numerals, and overlapping descriptions thereof will be omitted. In describing the embodiments, if it is determined that detailed descriptions of related known technologies may unnecessarily obscure the gist of the embodiments, the detailed descriptions are omitted.

또한, 실시예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.Additionally, in describing the components of the embodiment, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only used to distinguish the component from other components, and the nature, sequence, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected," "coupled," or "connected" to another component, that component may be directly connected or connected to that other component, but there is no need for another component between each component. It should be understood that may be “connected,” “combined,” or “connected.”

어느 하나의 실시예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시예에 기재한 설명은 다른 실시예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.Components included in one embodiment and components including common functions will be described using the same names in other embodiments. Unless stated to the contrary, the description given in one embodiment may be applied to other embodiments, and detailed description will be omitted to the extent of overlap.

이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 밸브 셔터 모듈(100)과 이를 구비하는 가스 공급장치에 대해서 설명한다.Hereinafter, the valve shutter module 100 and a gas supply device including the same will be described with reference to FIGS. 1 to 4.

가스 공급장치는 가스 용기(10)가 수용되는 본체(미도시)에 대해서 자동으로 승하강하여 가스 용기(10)와 결합 및 분리되는 밸브 셔터 모듈(100)을 포함하여 구성된다.The gas supply device is configured to include a valve shutter module 100 that automatically rises and lowers with respect to the main body (not shown) in which the gas container 10 is accommodated, and is coupled to and separate from the gas container 10.

가스 공급장치의 상세한 구성에 대해서는 공지로부터 알 수 있으므로, 상세한 설명은 생략한다.Since the detailed configuration of the gas supply device can be known from the known, detailed description is omitted.

밸브 셔터 모듈(100)은, 메인 프레임(120)과, 밸브 셔터(110)와, 승강부(121) 및 고정부(140)를 포함하여 구성된다.The valve shutter module 100 includes a main frame 120, a valve shutter 110, an elevating part 121, and a fixing part 140.

메인 프레임(120)은, 밸브 셔터(110)를 지지하고 가스 공급장치(미도시)에 결합된다. 예를 들어, 메인 프레임(120)은 밸브 셔터(110)가 상하로 승강 이동하는 것을 지지하도록 상하 방향으로 형성된다. 또한, 메인 프레임(120)은 가스 공급장치와 결합 가능하도록 상부 프레임(123)이 형성된다. 예를 들어, 상부 프레임(123)은 수평 방향으로 형성되어서, 메인 프레임(120)은 도 1에 도시한 바와 같이 밸브 셔터(110)에 대해서 대략 ‘ㄱ’자 형상으로 형성될 수 있다.The main frame 120 supports the valve shutter 110 and is coupled to a gas supply device (not shown). For example, the main frame 120 is formed in the vertical direction to support the valve shutter 110 moving up and down. In addition, the main frame 120 has an upper frame 123 formed so that it can be coupled to a gas supply device. For example, the upper frame 123 may be formed in a horizontal direction, so that the main frame 120 may be formed in an approximately ‘L’ shape with respect to the valve shutter 110, as shown in FIG. 1.

다만, 메인 프레임(120)의 형상은 설명의 편의를 위한 예시에 불과한 것으로, 메인 프레임(120)의 형상 및 밸브 셔터(110)와의 위치는 도면에 의해 한정되지 않는다.However, the shape of the main frame 120 is only an example for convenience of explanation, and the shape of the main frame 120 and its position with the valve shutter 110 are not limited by the drawings.

승강부(121)는 밸브 셔터(110)를 상하로 승강 이동 가능하도록 형성되는 제1 슬라이더(121a)와 제2 슬라이더(121b) 및 구동부(122)를 포함하여 구성된다.The lifting unit 121 includes a first slider 121a, a second slider 121b, and a driving unit 122 that can move the valve shutter 110 up and down.

제1 슬라이더(121a)와 제2 슬라이더(121b)는 서로 슬라이딩 및 직선 이동이 가능하도록 형성된다. 제1 슬라이더(121a)는 메인 프레임(120)에 구비되고, 제2 슬라이더(121b)는 밸브 셔터(110)에 구비되며, 제1 슬라이더(121a)와 제2 슬라이더(121b)가 서로 구속된 상태에서 일 방향(즉, 도면에서는 상하 수직 방향)으로만 왕복 직선 이동이 가능하도록 한다. 예를 들어, 제1 슬라이더(121a)는 한 쌍의 레일로 형성되고, 설치된 면에서 각각 평행한 한 쌍의 레일로 형성될 수 있다. 그리고 제2 슬라이더(121b)는 제1 슬라이더(121a)를 따라 슬라이딩 가능하게 형성될 수 있다.The first slider 121a and the second slider 121b are formed so that they can slide and move in a straight line. The first slider 121a is provided on the main frame 120, and the second slider 121b is provided on the valve shutter 110, and the first slider 121a and the second slider 121b are locked to each other. Reciprocal linear movement is possible only in one direction (i.e., up and down vertical direction in the drawing). For example, the first slider 121a may be formed of a pair of rails, each of which is parallel to the installed surface. And the second slider 121b may be formed to be able to slide along the first slider 121a.

다만, 도면에서는 제1 및 제2 슬라이더(121a, 121b)가 레일 형태를 갖는 것으로 예시하였으나, 이는 단지 설명의 편의를 위한 예시에 불과한 것으로, 제1 및 제2 슬라이더(121a, 121b)는 가스 용기(10)에 대해서 밸브 셔터(110)를 직선으로 승하강 가능하게 지지하는 다양한 형상을 가질 수 있다.However, in the drawing, the first and second sliders 121a and 121b are illustrated as having a rail shape, but this is merely an example for convenience of explanation, and the first and second sliders 121a and 121b are gas containers. With respect to (10), it may have various shapes that support the valve shutter 110 so that it can be raised and lowered in a straight line.

구동부(122)는, 밸브 셔터(110)가 상하로 구동시킨다. 예를 들어, 구동부(122)는 공기압을 이용하는 에어 실린더일 수 있다. 또한, 구동부(122)는 메인 프레임(120)에 구비되고, 공기압에 의해 상하로 구동되는 실린더 로드 형태를 갖는 가동부(122a)와, 가동부(122a)와 밸브 셔터(110)를 연결하여서 밸브 셔터(110)가 상하 이동 가능하도록 구동력을 전달하는 연결부(122b)로 이루어질 수 있다.The driving unit 122 drives the valve shutter 110 up and down. For example, the driving unit 122 may be an air cylinder that uses air pressure. In addition, the driving part 122 is provided on the main frame 120 and connects the movable part 122a, which has a cylinder rod shape that is driven up and down by pneumatic pressure, and the movable part 122a and the valve shutter 110 to form a valve shutter ( 110) may be composed of a connection portion 122b that transmits driving force so that it can move up and down.

한편, 도 4를 참조하면, 밸브 셔터(110)가 가스 용기(10)와 정위치에 결합되었는 지를 감지할 수 있도록 위치 감지 센서(125)가 구비될 수 있다. 예를 들어, 위치 감지 센서(125)는 밸브 셔터 모듈(100)의 일측 또는 가스 공급장치에 구비되며, 밸브 셔터(110)가 가스 용기(10)와 정위치에 결합되었을 때의 위치를 감지할 수 있도록, 밸브 셔터(110)의 하단부를 감지할 수 있는 위치에 구비되는 근접 센서일 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 4, a position detection sensor 125 may be provided to detect whether the valve shutter 110 is coupled to the gas container 10 in the correct position. For example, the position detection sensor 125 is provided on one side of the valve shutter module 100 or the gas supply device and is capable of detecting the position when the valve shutter 110 is coupled to the gas container 10 in the correct position. It may be a proximity sensor provided at a location capable of detecting the lower end of the valve shutter 110.

실시예에 따르면, 승강부(121)는 구동부(122)를 구비하므로 밸브 셔터(110)를 자동으로 승하강시킬 수 있고, 제1 및 제2 슬라이더(121a, 121b)에 의해서 보다 안정적으로 직선 이동시킬 수 있다.According to the embodiment, the lifting unit 121 is provided with a driving unit 122, so that the valve shutter 110 can be automatically raised and lowered, and the first and second sliders 121a and 121b enable more stable straight movement. You can do it.

여기서, 구동부(122)는 밸브 셔터(110)가 가스 용기(10)에 결합되었을 때, 가스 용기(10)에 대해서 밸브 셔터(110)를 가압시키는 역할을 한다. 그런데, 밸브 셔터(110)가 가스 용기(10)에 대해서 가압되면, 밸브 셔터(110)에서 작용하는 압력이 가스 용기(10)의 무게를 측정할 때 영향을 미치게 된다. 이에, 밸브 셔터(110)가 가스 용기(10)에 안착된 후에는 구동부(122)의 공압을 파기함으로써, 구동부(122)에서 가스 용기(10)에 작용시키는 압력에 의해서 가스 용기(10) 무게에 영향을 미치는 것을 방지한다.Here, the driving unit 122 serves to pressurize the valve shutter 110 with respect to the gas container 10 when the valve shutter 110 is coupled to the gas container 10. However, when the valve shutter 110 is pressed against the gas container 10, the pressure acting on the valve shutter 110 affects the weight of the gas container 10. Accordingly, after the valve shutter 110 is seated on the gas container 10, the pneumatic pressure of the driving part 122 is released, and the weight of the gas container 10 is increased by the pressure applied to the gas container 10 by the driving part 122. prevent it from affecting.

구동부(122)에는 실린더 센서(124)가 구비된다. 실린더 센서(124)는 밸브 셔터(110)가 가스 용기(10)와 정위치에서 결합되는 지 여부를 감지할 수 있다. 그리고 실린더 센서(124)는 밸브 셔터(110)가 가스 용기(10)와 정위치에 안착된 것이 감지되면, 구동부(122)의 공압을 파기하도록 할 수 있다.The driving unit 122 is provided with a cylinder sensor 124. The cylinder sensor 124 may detect whether the valve shutter 110 is coupled to the gas container 10 in the correct position. And when the cylinder sensor 124 detects that the valve shutter 110 is seated in the correct position with the gas container 10, it can release the pneumatic pressure of the driving unit 122.

고정부(140)는 밸브 셔터(110) 전체를 가스 공급장치에서 분리 가능하도록 한다. 또한, 고정부(140)는 밸브 셔터 모듈(100)을 수평 방향으로 이동시키면 분리 및 해제 가능하게 형성된다.The fixing part 140 allows the entire valve shutter 110 to be separated from the gas supply device. Additionally, the fixing portion 140 is formed to be detachable and dismountable when the valve shutter module 100 is moved in the horizontal direction.

고정부(140)는 상부 프레임(123)의 양측부에 대응되도록 한 쌍의 고정 부재(141)와, 메인 프레임(120)과 고정 부재(141)의 고정을 해제 가능하도록 하는 고정 해제부(143)를 포함하여 형성된다. The fixing part 140 includes a pair of fixing members 141 corresponding to both sides of the upper frame 123, and a fixing release part 143 that allows the main frame 120 and the fixing member 141 to be released. ) is formed including.

도 3을 참조하면, 고정 부재(141)에서 상부 프레임(123)과 대응되는 내측면에는 소정 높이로 내측 방향을 향해 돌출 형성되는 복수의 제1 로킹부(141a)가 형성된다. 그리고 상부 프레임(123)의 측면에는 제1 로킹부(141a)와 대응되는 복수의 제2 로킹부(123a)가 외측 방향을 향해 돌출 형성된다.Referring to FIG. 3, a plurality of first locking portions 141a are formed on the inner surface of the fixing member 141 corresponding to the upper frame 123 and protrude inward at a predetermined height. And on the side of the upper frame 123, a plurality of second locking parts 123a corresponding to the first locking part 141a are formed to protrude outward.

제1 로킹부(141a)와 제2 로킹부(123a)는 밸브 셔터 모듈(100)이 수평 방향으로 이동하여 결합 및 해제가 가능하도록 형성된다. 예를 들어, 제1 로킹부(141a)는 고정 부재(141)의 하단측에 형성되고, 제2 로킹부(123a)는 제1 로킹부(141a)에 대해서 상부측에서 결합 가능하도록 상부 프레임(123)의 상단측에 형성될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 로킹부(141a, 123a)는 서로 결합되는 면이 수평면으로 형성될 수 있다. 그리고 고정부(140)는 상하 방향으로 구속력을 갖고, 수평 방향으로는 비교적 구속력이 없기 때문에, 밸브 셔터 모듈(100)을 수평 방향(도면에서는 X축 방향)으로 이동시키면 결합 및 해제시킬 수 있다.The first locking part 141a and the second locking part 123a are formed so that the valve shutter module 100 can be coupled and released by moving in the horizontal direction. For example, the first locking part 141a is formed on the lower side of the fixing member 141, and the second locking part 123a is an upper frame so that it can be coupled to the first locking part 141a from the upper side. 123) can be formed on the upper side. Additionally, the surfaces where the first and second locking parts 141a and 123a are coupled to each other may be formed as horizontal surfaces. And since the fixing part 140 has a binding force in the vertical direction and has relatively no binding force in the horizontal direction, the valve shutter module 100 can be engaged and disengaged by moving it in the horizontal direction (X-axis direction in the drawing).

다만, 도면에서 제1 및 제2 로킹부(141a, 123a)는 상하로 구속하는 돌기 형태로서 예시하였으나 이는 다만 설명의 편의를 위한 예시에 불과한 것으로, 제1 및 제2 로킹부(141a, 123a)의 위치와 수 및 그 형상은 실질적으로 다양하게 변경될 수 있다.However, in the drawings, the first and second locking parts 141a and 123a are illustrated in the form of protrusions that restrain them up and down, but this is only an example for convenience of explanation, and the first and second locking parts 141a and 123a The location, number, and shape of can be substantially changed in various ways.

고정 해제부(143)는 고정 부재(141)와 상부 프레임(123)의 결합을 해제 및 고정시킬 수 있도록 형성되고, 예를 들어, 고정 해제부(143)는 고정 부재(141)를 관통하여 상부 프레임(123)에 고정되는 레버 형태를 가질 수 있다. 다만, 고정 해제부(143)의 형상 및 위치는 도면에 의해 한정되지 않고, 실질적으로 다양하게 변경될 수 있다.The fixing release part 143 is formed to release and fix the coupling between the fixing member 141 and the upper frame 123. For example, the fixing release part 143 penetrates the fixing member 141 to connect the upper frame 123 to the upper frame 123. It may have a lever shape fixed to the frame 123. However, the shape and position of the fixing release part 143 are not limited by the drawings and may be substantially changed in various ways.

고정 부재(141)의 단부에는 스톱퍼(142)가 형성될 수 있다. 스톱퍼(142)는 제1 및 제2 로킹부(141a, 123a)가 서로 결합된 상태에 상부 프레임(123)의 수평 이동을 제한하도록 고정 부재(141)의 단부에 형성되며, 상부 프레임(123)을 향해 돌출 형성될 수 있다. 다만, 스톱퍼(142)의 형상 및 위치는 도면에 의해 한정되지 않고 상부 프레임(123)의 수평 방향 이동을 제한할 수 있다면 실질적으로 다양하게 변경될 수 있다.A stopper 142 may be formed at the end of the fixing member 141. The stopper 142 is formed at the end of the fixing member 141 to limit the horizontal movement of the upper frame 123 when the first and second locking parts 141a and 123a are coupled to each other, and the upper frame 123 It may be formed to protrude toward. However, the shape and position of the stopper 142 are not limited by the drawings and may be substantially changed as long as the horizontal movement of the upper frame 123 can be restricted.

본 실시예에 따르면, 밸브 셔터 모듈(100)은 고정부(140)에 의해서 수평 방향으로 이동시키면 해제 및 결합이 가능하므로, 밸브 셔터 모듈(100)의 조립 및 분리 작업이 용이하다.According to this embodiment, the valve shutter module 100 can be released and coupled by moving it in the horizontal direction by the fixing part 140, so assembling and disassembling the valve shutter module 100 is easy.

밸브 셔터 모듈(100)의 상부에는 밸런스부(130)가 구비될 수 있다. 밸런스부(130)는 밸브 셔터(110)에 결합되어서 밸브 셔터(110)가 승강 이동하는 동안 또는 밸브 셔터(110)가 가스 용기(10)에 결합될 때 균형을 조절한다. 예를 들어, 밸런스부(130)는 밸브 셔터(110)의 복수의 위치에 결합되는 와이어(131)를 포함하고, 와이어(131)의 장력을 조절 가능한 와이어 밸런스일 수 있다. 밸런스부(130)는 와이어(131)를 통해 밸브 셔터(110)에 인가되는 장력을 조절함으로써, 밸브 셔터(110)의 균형을 조절하고 구동부(122)에 걸리는 부하를 최소화할 수 있다.A balance unit 130 may be provided on the upper part of the valve shutter module 100. The balance unit 130 is coupled to the valve shutter 110 to adjust the balance while the valve shutter 110 moves up and down or when the valve shutter 110 is coupled to the gas container 10. For example, the balance unit 130 may be a wire balance that includes wires 131 coupled to a plurality of positions of the valve shutter 110 and can adjust the tension of the wires 131. The balance unit 130 adjusts the tension applied to the valve shutter 110 through the wire 131, thereby controlling the balance of the valve shutter 110 and minimizing the load on the driving unit 122.

이상과 같이 실시예들이 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.Although the embodiments have been described with limited drawings as described above, those skilled in the art can apply various technical modifications and variations based on the above. For example, the described techniques are performed in a different order than the described method, and/or components of the described system, structure, device, circuit, etc. are combined or combined in a different form than the described method, or other components are used. Alternatively, appropriate results may be achieved even if substituted or substituted by an equivalent.

그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 청구범위의 범위에 속한다.Therefore, other implementations, other embodiments, and equivalents of the claims also fall within the scope of the following claims.

10: 가스 용기
100: 밸브 셔터 모듈
110: 밸브 셔터
120: 메인 프레임
121: 승강부
121a, 121b: 슬라이더
122: 구동부
122a: 가동부
122b: 연결부
123: 상부 프레임
123a: 제2 로킹부
124: 실린더 센서
125: 위치 감지 센서
130: 밸런스부
131: 와이어
140: 고정부
141: 고정 부재
141a: 제1 로킹부
142: 스톱퍼
143: 고정 해제부10: Gas container
100: valve shutter module
110: valve shutter
120: main frame
121: Elevating section
121a, 121b: Slider
122: driving unit
122a: moving part
122b: connection part
123: upper frame
123a: second locking part
124: cylinder sensor
125: Position detection sensor
130: Balance part
131: wire
140: fixing part
141: Fixing member
141a: first locking part
142: stopper
143: Fixing release part

Claims (14)

가스 공급장치의 가스 용기에 결합되는 밸브 셔터 모듈에 있어서,
메인 프레임;
가스 용기에 대해서 승하강하여 결합되는 밸브 셔터;
상기 메인 프레임에 구비되고 상기 밸브 셔터를 상기 가스 용기에 대해서 승하강시키는 승강부; 및
상기 메인 프레임의 상부에 분리 및 해제 가능하게 구비되는 고정부;
를 포함하는 밸브 셔터 모듈.
In the valve shutter module coupled to the gas container of the gas supply device,
main frame;
A valve shutter that is raised and lowered and coupled to the gas container;
a lifting unit provided on the main frame and raising and lowering the valve shutter with respect to the gas container; and
A fixing part detachably and releasably provided on an upper part of the main frame;
A valve shutter module containing a.
 제1항에 있어서,
상기 승강부는,
상기 메인 프레임에 구비되는 제1 슬라이더;
상기 밸브 셔터에 구비되고 상기 제1 슬라이더에 슬라이딩 이동 가능하게 결합되는 제2 슬라이더; 및
상기 메인 프레임에 구비되고, 상기 제2 슬라이더를 구동시키는 구동부;
를 포함하는 밸브 셔터 모듈.
According to paragraph 1,
The lifting unit,
A first slider provided on the main frame;
a second slider provided on the valve shutter and slidably coupled to the first slider; and
a driving unit provided on the main frame and driving the second slider;
A valve shutter module containing a.
 제2항에 있어서,
상기 제1 및 제2 슬라이더 중, 하나는 상하 방향으로 직선 형상으로 구비되는 레일로 형성되고, 다른 하나는 상기 레일에 구속되어 슬라이딩 가능하게 형성되는 밸브 셔터 모듈.
According to paragraph 2,
Among the first and second sliders, one is formed as a rail provided in a straight line in the vertical direction, and the other is formed to be slidable by being restrained by the rail.
 제2항에 있어서,
상기 구동부는,
상기 메인 프레임에 구비되는 가동부와,
상기 가동부와 상기 밸브 셔터를 연결하여 상기 밸브 셔터가 상하 구동 가능하도록 구동력을 전달하는 연결부를 포함하는 밸브 셔터 모듈.
According to paragraph 2,
The driving unit,
A movable part provided in the main frame,
A valve shutter module including a connection part that connects the movable part and the valve shutter to transmit a driving force so that the valve shutter can move up and down.
 제1항에 있어서,
상기 고정부는,
상기 메인 프레임의 상부 프레임이 결합 및 분리 가능하게 구비되는 고정 부재를 포함하는 밸브 셔터 모듈.
According to paragraph 1,
The fixing part,
A valve shutter module including a fixing member that is provided to enable the upper frame of the main frame to be coupled and detachable.
 제5항에 있어서,
상기 고정 부재는 상기 상부 프레임의 양측면에 결합되는 한 쌍으로 구비되는 밸브 셔터 모듈.
According to clause 5,
The fixing member is a valve shutter module provided as a pair coupled to both sides of the upper frame.
 제6항에 있어서,
상기 고정 부재에서 상기 상부 프레임에 대응되는 내측면 상에는 복수의 제1 로킹부가 돌출 형성되고,
상기 상부 프레임에는 상기 복수의 제1 로킹부와 고정 및 해제 가능하게 형성되는 복수의 제2 로킹부가 돌출 형성되고,
상기 제1 및 제2 로킹부는 상기 상부 프레임이 상기 고정 부재에 대해서 수평 방향으로 슬라이딩하여 결합 및 분리 가능하게 형성되는 밸브 셔터 모듈.
According to clause 6,
A plurality of first locking parts are protruding from the fixing member on an inner surface corresponding to the upper frame,
A plurality of second locking parts are formed to protrude from the upper frame and are capable of being fixed to and released from the plurality of first locking parts,
A valve shutter module in which the first and second locking units are formed to be coupled and detachable by sliding the upper frame in a horizontal direction with respect to the fixing member.
 제7항에 있어서,
상기 고정 부재의 일 측에는 상기 고정 부재와 상기 상부 프레임의 결합 상태를 유지 및 해제 가능한 고정 해제부가 구비되는 밸브 셔터 모듈.
In clause 7,
A valve shutter module including a fixing release part capable of maintaining and releasing the coupled state of the fixing member and the upper frame on one side of the fixing member.
 제8항에 있어서,
상기 고정 해제부는, 상기 고정 부재를 관통하여 상기 상부 프레임과 결합 가능한 레버 형태를 갖는 밸브 셔터 모듈.
According to clause 8,
The fixing release part is a valve shutter module having a lever shape that penetrates the fixing member and can be coupled to the upper frame.
 제8항에 있어서,
상기 고정 부재에서 타단부에는 상기 제1 및 제2 로킹부가 서로 결합 상태가 되었을 때 상기 상부 프레임의 수평 이동을 제한하는 스톱퍼가 형성되는 밸브 셔터 모듈.
According to clause 8,
A valve shutter module wherein a stopper is formed on the other end of the fixing member to limit horizontal movement of the upper frame when the first and second locking parts are coupled to each other.
 제1항에 있어서,
상기 메인 프레임의 상부에는 상기 밸브 셔터의 균형을 조절하는 밸런스부가 더 구비되고,
상기 밸런스부는, 상기 밸브 셔터의 복수 위치에 연결된 와이어의 장력을 조절하는 와이어 밸런스인 밸브 셔터 모듈.
According to paragraph 1,
A balance unit is further provided at the top of the main frame to adjust the balance of the valve shutter,
The balance unit is a valve shutter module that is a wire balance that adjusts the tension of wires connected to multiple positions of the valve shutter.
 가스가 저장된 가스 용기가 수용 가능하게 형성되는 본체;
상기 본체 내부에 구비되고, 상기 가스 용기에 대해서 자동으로 승하강하여 결합되는 제1항 기재의 밸브 셔터 모듈;
을 포함하고,
상기 밸브 셔터 모듈은, 상기 본체에서 탈부착 가능하게 형성되는 가스 공급장치.
a body formed to accommodate a gas container in which gas is stored;
The valve shutter module of claim 1, which is provided inside the main body and is automatically raised and lowered and coupled to the gas container;
Including,
The valve shutter module is a gas supply device that is formed to be detachable from the main body.
 제12항에 있어서,
상기 밸브 셔터가 상기 가스 용기에 안착되는 정위치를 감지하는 위치 감지 센서가 구비되는 가스 공급장치.
According to clause 12,
A gas supply device provided with a position detection sensor that detects the correct position at which the valve shutter is seated in the gas container.
 제13항에 있어서,
상기 승강부의 구동부에는 상기 밸브 셔터가 상기 가스 용기에 정위치에 안착된 것을 감지하는 실린더 센서가 더 구비되는 가스 공급장치.
According to clause 13,
The gas supply device further includes a cylinder sensor that detects that the valve shutter is seated in the correct position in the gas container at the driving part of the lifting unit.
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