KR20240013424A - Servo valve and pressure sensor integrated volume booster - Google Patents

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이병기
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(주)넥스콘텍
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Abstract

본 발명은 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터에 관한 것으로서, 특히 유체가 공급되는 입력포트와 유체가 배출되는 출력포트가 구비되고, 다수의 내부유로가 형성된 볼륨부스터와; 상기 볼륨부스터의 외측면에 고정되고, 상기 내부유로를 통해 입력포트와 연결되어 상기 입력포트로부터 유체를 공급받은 후 인가되는 입력신호에 따라 제어된 일정압력을 볼륨부스터에 제공하는 서보밸브와; 상기 볼륨부스터의 외측면에 고정되고, 상기 내부유로를 통해 상기 출력포트와 연결되어 출력압력을 측정하는 압력센서;로 구성되어, 볼륨부스터 자체를 관통시켜 형성된 내부유로를 이용하여 서보밸브와 압력센서 및 볼륨부스터를 연결함으로써 외부에 호스나 연결구 등이 노출되지 않아 심플한 제품으로 제작될 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a volume booster integrated with a servo valve and a pressure sensor. In particular, the volume booster is provided with an input port through which fluid is supplied and an output port through which fluid is discharged, and has a plurality of internal flow paths; a servo valve fixed to the outer surface of the volume booster, connected to an input port through the internal flow path, and providing the volume booster with a constant pressure controlled according to an input signal after receiving fluid from the input port; A pressure sensor is fixed to the outer surface of the volume booster and connected to the output port through the internal passage to measure output pressure; a servo valve and a pressure sensor are connected using an internal passage formed by penetrating the volume booster itself. By connecting the volume booster, hoses or connectors are not exposed to the outside, which has the effect of making it a simple product.

Description

서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터{Servo valve and pressure sensor integrated volume booster}Servo valve and pressure sensor integrated volume booster}

본 발명은 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터에 관한 것으로서, 특히 심플한 형태로 제작이 가능하면서 유체의 유동량이나 유동압력을 정밀하게 제어할 수 있는 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터에 관한 것이다.The present invention relates to a volume booster integrated with a servo valve and a pressure sensor. In particular, it relates to a volume booster integrated with a servo valve and a pressure sensor that can be manufactured in a simple form and can precisely control the flow amount or flow pressure of the fluid.

볼륨부스터(Volume Booster)는 일반적으로 낮은 볼륨의 압력 시그널을 파일럿 포트로 받아서 높은 볼륨으로 변환하여 출력포트를 통해 액츄에이터로 보내는 기능을 가지는 공압용 부품을 말한다. 이러한 볼륨부스터의 출력포트측 압력은 파일럿 압력과 일정한 비례 관계를 유지한다.A volume booster generally refers to a pneumatic component that receives a low volume pressure signal through a pilot port, converts it into a high volume signal, and sends it to the actuator through an output port. The pressure on the output port side of this volume booster maintains a certain proportional relationship with the pilot pressure.

그리고, 서보밸브는 기계적 또는 전기적 입력 신호에 의해서 압력 또는 유량을 제어하는 밸브를 말한다. 이러한 서보밸브는 각종 산업용 유압시스템, 자동차의 자동변속기, 건설기계 등 여러 산업분야에서 다양한 형태로 많이 사용되고 있다.And, a servo valve refers to a valve that controls pressure or flow rate by mechanical or electrical input signals. These servo valves are widely used in various forms in various industrial fields, such as various industrial hydraulic systems, automobile automatic transmissions, and construction machinery.

근래에는 [도 1]에 도시된 것과 같이 볼륨부스터(1)와 서보밸브(2) 및 압력센서(미도시)를 호스나 연결구(3) 등을 이용하여 서로 연결한 일체형 볼륨부스터도 많이 사용되고 있다.Recently, as shown in [Figure 1], an integrated volume booster in which the volume booster (1), servo valve (2), and pressure sensor (not shown) are connected to each other using a hose or connector (3) is also widely used. .

그러나, [도 1]에 도시된 것과 같은 방식의 일체형 볼륨부스터는 서로를 연결하는 호스나 연결구가 외부로 그대로 노출되다 보니 제품이 심플하지 않고 지저분해 보일 뿐만 아니라 보관이나 운송이 쉽지 않은 단점이 있다.However, the integrated volume booster of the type shown in [Figure 1] has the disadvantage that the hoses or connectors connecting each other are exposed to the outside, so the product not only looks unsophisticated and messy, but is also difficult to store or transport. .

등록특허 10-1872762Registered Patent 10-1872762

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 볼륨부스터와 서보밸브 및 압력센서를 연결할 때 외부에 노출되는 호스나 연결구를 이용하지 않고 볼륨부스터를 관통시켜 형성한 내부유로를 이용함으로써 심플한 제작이 가능한 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was developed to solve the problems of the prior art described above. When connecting the volume booster, the servo valve, and the pressure sensor, an internal flow path formed by penetrating the volume booster is used instead of using a hose or connector exposed to the outside. The purpose is to provide a volume booster with an integrated servo valve and pressure sensor that can be manufactured simply.

또한, 볼륨부스터에 입력되는 입력압력과 볼륨부스터에서 출력되는 출력압력을 실시간으로 비교하면서 작동시켜 정밀한 제어를 할 수 있는 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터를 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, the purpose is to provide a volume booster integrated with a servo valve and pressure sensor that can be controlled precisely by comparing the input pressure input to the volume booster and the output pressure output from the volume booster in real time.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터는 유체가 공급되는 입력포트와 유체가 배출되는 출력포트가 구비되고, 다수의 내부유로가 형성된 볼륨부스터와; 상기 볼륨부스터의 외측면에 고정되고, 상기 내부유로를 통해 입력포트와 연결되어 상기 입력포트로부터 유체를 공급받은 후 인가되는 입력신호에 따라 제어된 일정압력을 볼륨부스터에 제공하는 서보밸브와; 상기 볼륨부스터의 외측면에 고정되고, 상기 내부유로를 통해 상기 출력포트와 연결되어 출력압력을 측정하는 압력센서;로 구성된다.A volume booster integrated with a servo valve and a pressure sensor according to the present invention to solve the above problems includes a volume booster provided with an input port through which fluid is supplied and an output port through which fluid is discharged, and a plurality of internal flow paths formed; a servo valve fixed to the outer surface of the volume booster, connected to an input port through the internal flow path, and providing the volume booster with a constant pressure controlled according to an input signal after receiving fluid from the input port; It consists of a pressure sensor that is fixed to the outer surface of the volume booster and is connected to the output port through the internal flow path to measure output pressure.

여기에서, 상기 볼륨부스터는 상기 입력포트와 출력포트가 양측면에 구비되고, 상기 다수의 내부유로가 형성되며, 상기 입력포트와 연결되면서 입력포트와 출력포트 사이를 가로막는 원형벽이 내부에 구비되고, 하단에 보텀커버(bottom cover)가 설치된 바디와; 상기 바디의 상면에 설치되어 바디와의 사이에 챔버를 형성시키고, 상면에 배기구가 구비된 탑커버(top cover)와; 상기 챔버를 상부챔버와 그 아래의 하부챔버로 구획하는 다이아프램 어셈블리와; 상기 바디의 원형벽 내부에 설치되면서 상기 다이아프램 어셈블리와 연동되어 상기 상부챔버와 하부챔버의 압력변화에 따라 상하로 이동하는 풀밸브와; 상기 보텀커버와 풀밸브 사이에 설치되어 상기 다이아프램 어셈블리를 상승시키는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링;을 포함하여 구성되며, 상기 상부챔버와 하부챔버 중 어느 하나만 내부유로를 통해 상기 출력포트와 연결되어 출력포트로부터 출력압력을 공급받는다.Here, the volume booster is provided with the input port and the output port on both sides, the plurality of internal passages are formed, and a circular wall is provided inside to block the input port and the output port while being connected to the input port, A body with a bottom cover installed at the bottom; a top cover installed on the upper surface of the body to form a chamber between the body and the upper surface and having an exhaust port; a diaphragm assembly dividing the chamber into an upper chamber and a lower chamber below it; a pull valve installed inside the circular wall of the body and linked with the diaphragm assembly to move up and down according to pressure changes in the upper and lower chambers; It is configured to include a spring installed between the bottom cover and the full valve to provide elastic force in a direction to raise the diaphragm assembly, and only one of the upper chamber and the lower chamber is connected to the output port through an internal flow path. Output pressure is supplied from the output port.

그리고, 상기 다이아프램 어셈블리는 상기 챔버를 상부챔버와 하부챔버로 구획하는 다이아프램과; 상기 다이아프램의 중앙을 관통하면서 상기 풀밸브의 상단에 위치하고, 상기 탑커버의 배기구와 연통되는 다이아프램 로드;로 구성된다.And, the diaphragm assembly includes a diaphragm dividing the chamber into an upper chamber and a lower chamber; It consists of a diaphragm rod that passes through the center of the diaphragm, is located at the top of the full valve, and communicates with the exhaust port of the top cover.

한편, 상기 다이아프램 어셈블리가 하측으로 이동할 때 상기 원형벽의 하단에 밀착되어 있던 상기 풀밸브도 하측으로 이동하여 풀밸브와 원형벽의 하단 사이에 유로가 형성됨으로써 상기 유로를 통해 출력포트 쪽으로 출력압력이 제공된다.Meanwhile, when the diaphragm assembly moves downward, the pull valve, which was in close contact with the lower end of the circular wall, also moves downward, forming a flow path between the full valve and the lower end of the circular wall, thereby increasing the output pressure toward the output port through the flow path. This is provided.

그리고, 상기 서보밸브는 상기 상부챔버와 하부챔버 중 상기 출력포트와 연결되지 않은 나머지 하나와 내부유로를 통해 연결되어, 인가된 입력신호에 따라 제어된 일정압력을 출력포트와 연결되지 않은 상부챔버 또는 하부챔버에 공급한다.In addition, the servo valve is connected to the remaining one of the upper chamber and the lower chamber that is not connected to the output port through an internal flow path, and applies a constant pressure controlled according to the applied input signal to the upper chamber or the lower chamber that is not connected to the output port. It is supplied to the lower chamber.

여기서, 상기 탑커버를 전면이 상기 서보밸브와 압력센서를 향하도록 하여 상기 바디에 설치하는 경우, 상기 출력포트는 상기 상부챔버와 내부유로를 통하여 연결되고 상기 서보밸브는 상기 하부챔버와 내부유로를 통하여 연결된다.Here, when the top cover is installed on the body with the front facing the servo valve and the pressure sensor, the output port is connected to the upper chamber and the internal flow passage, and the servo valve is connected to the lower chamber and the internal flow passage. connected through.

그리고, 상기 탑커버를 수평면 상에서 180도 회전시켜 전면이 상기 서보밸브와 압력센서의 반대방향을 향하도록 하여 상기 바디에 설치하는 경우, 상기 출력포트는 상기 하부챔버와 내부유로를 통하여 연결되고 상기 서보밸브는 상기 상부챔버와 내부유로를 통하여 연결된다.In addition, when the top cover is rotated 180 degrees on a horizontal plane and installed on the body so that the front face faces the opposite direction of the servo valve and pressure sensor, the output port is connected to the lower chamber through an internal flow path and the servo The valve is connected to the upper chamber through an internal flow path.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터는 서보밸브와 볼륨부스터 및 압력센서를 서로 연결할 때 볼륨부스터 자체를 관통시켜 형성된 내부유로를 이용함으로써 외부에 호스나 연결구 등이 노출되지 않아 제품 자체를 지저분하지 않으면서 심플한 형태로 제작할 수 있으며, 이에 따라 보관이나 운송 등도 그만큼 편리한 이점이 있다.The servo valve and pressure sensor integrated volume booster of the present invention configured as described above uses an internal flow path formed by penetrating the volume booster itself when connecting the servo valve, volume booster, and pressure sensor, so that no hose or connector is exposed to the outside. Therefore, the product itself can be manufactured in a simple form without being messy, which has the advantage of being convenient for storage and transportation.

또한, 볼륨부스터에 입력되는 입력압력(즉, 서보밸브에서 볼륨부스터 내부로 공급되는 압력)과 볼륨부스터에서 출력되는 출력압력(즉, 볼륨부스터의 출력포트를 통해 출력되는 압력)을 실시간으로 비교하면서 작동되므로 정밀한 제어를 가능하게 할 수 있는 이점이 있다.In addition, the input pressure input to the volume booster (i.e., the pressure supplied from the servo valve into the volume booster) and the output pressure output from the volume booster (i.e., the pressure output through the output port of the volume booster) are compared in real time. Since it operates, it has the advantage of enabling precise control.

도 1은 종래기술에 따른 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터를 보인 도.
도 2는 본 발명에 의한 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터를 보인 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 분해사시도.
도 4는 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터에서 유체압력의 이동관계를 개념적으로 보인 도.
도 5는 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 내부유로를 보인 도.
도 6 및 도 7은 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 단면을 보인 도.
도 8은 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 다이아프램이 하측으로 당겨졌을 때의 모습을 보인 도.
도 9는 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 다이아프램이 상측으로 당겨졌을 때의 모습을 보인 도.
도 10은 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 다이아프램이 상하로 이동하지 않고 수평상태를 유지할 때의 모습을 보인 도.
도 11은 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터에서 탑커버를 180도 회전시켰을 때 유체압력의 이동관계를 개념적으로 보인 도.Figure 1 shows a volume booster integrated with a servo valve and pressure sensor according to the prior art.
Figure 2 is a perspective view showing a volume booster integrated with a servo valve and pressure sensor according to the present invention.
Figure 3 is an exploded perspective view of the integrated volume booster shown in Figure 2.
Figure 4 is a diagram conceptually showing the movement relationship of fluid pressure in the integrated volume booster shown in Figure 2.
Figure 5 is a diagram showing the internal flow path of the integrated volume booster shown in Figure 2.
Figures 6 and 7 are cross-sectional views of the integrated volume booster shown in Figure 2.
Figure 8 is a diagram showing the diaphragm of the integrated volume booster shown in Figure 2 when it is pulled downward.
Figure 9 is a diagram showing the diaphragm of the integrated volume booster shown in Figure 2 when it is pulled upward.
Figure 10 is a diagram showing the diaphragm of the integrated volume booster shown in Figure 2 when it maintains a horizontal state without moving up and down.
Figure 11 is a diagram conceptually showing the movement relationship of fluid pressure when the top cover is rotated 180 degrees in the integrated volume booster shown in Figure 2.

이하, 본 발명에 의한 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the servo valve and pressure sensor integrated volume booster according to the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

도 2는 본 발명에 의한 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터를 보인 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 분해사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing a volume booster integrated with a servo valve and a pressure sensor according to the present invention, and Figure 3 is an exploded perspective view of the integrated volume booster shown in Figure 2.

그리고, 도 4는 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터에서 유체압력의 이동관계를 개념적으로 보인 도이다.And, Figure 4 is a diagram conceptually showing the movement relationship of fluid pressure in the integrated volume booster shown in Figure 2.

또한, 도 5는 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 내부유로를 보인 도이고, 도 6 및 도 7은 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 단면을 보인 도이다.In addition, Figure 5 is a diagram showing the internal flow path of the integrated volume booster shown in Figure 2, and Figures 6 and 7 are diagrams showing a cross section of the integrated volume booster shown in Figure 2.

또한, 도 8은 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 다이아프램이 하측으로 당겨졌을 때의 모습을 보인 도이고, 도 9는 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 다이아프램이 상측으로 당겨졌을 때의 모습을 보인 도이며, 도 10은 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터의 다이아프램이 상하로 이동하지 않고 수평상태를 유지할 때의 모습을 보인 도이다.In addition, Figure 8 is a diagram showing the diaphragm of the integrated volume booster shown in Figure 2 when it is pulled downward, and Figure 9 is a diagram showing the diaphragm of the integrated volume booster shown in Figure 2 when it is pulled upward. This is a diagram showing the appearance, and FIG. 10 is a diagram showing the diaphragm of the integrated volume booster shown in FIG. 2 when it maintains a horizontal state without moving up and down.

또한, 도 11은 도 2에 도시된 일체형 볼륨부스터에서 탑커버를 180도 회전시켰을 때 유체압력의 이동관계를 개념적으로 보인 도이다.In addition, FIG. 11 is a diagram conceptually showing the movement relationship of fluid pressure when the top cover is rotated 180 degrees in the integrated volume booster shown in FIG. 2.

본 발명에 의한 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터는 볼륨부스터(10)와, 상기 볼륨부스터(10)의 외측면에 고정되어 일체화되는 서보밸브(20)와, 상기 볼륨부스터(10)의 외측면에 고정되어 일체화되면서 상기 서보밸브(20) 옆에 설치되는 압력센서(30)로 구성된다.The servo valve and pressure sensor integrated volume booster according to the present invention includes a volume booster (10), a servo valve (20) fixed and integrated to the outer surface of the volume booster (10), and an outer surface of the volume booster (10). It consists of a pressure sensor 30 that is fixed and integrated and installed next to the servo valve 20.

상기 볼륨부스터(10)는 유체가 공급되는 입력포트(11a)와 유체가 배출되는 출력포트(11b)가 양측면에 각각 구비되고, 다수의 내부유로가 형성된다. The volume booster 10 is provided with an input port 11a through which fluid is supplied and an output port 11b through which fluid is discharged on both sides, and a plurality of internal flow paths are formed.

이러한 볼륨부스터(10)에 대해 좀 더 자세히 설명하면, 볼륨부스터(10)는 바디(11)와, 상기 바디(11)의 상면에 설치되는 탑커버(12)와, 상기 바디(11)의 내부공간에 설치되는 다이아프램 어셈블리(13)와, 상기 바디(11)의 내부공간에 설치되되 상기 다이아프램 어셈블리(13)의 아래쪽에 설치되는 풀밸브(14)와, 상기 바디(11)의 내부공간에 설치되어 풀밸브(14)에 탄성력을 제공하는 스프링(15)을 포함하여 구성된다.To describe the volume booster 10 in more detail, the volume booster 10 includes a body 11, a top cover 12 installed on the upper surface of the body 11, and an interior of the body 11. A diaphragm assembly (13) installed in the space, a pull valve (14) installed in the inner space of the body (11) and below the diaphragm assembly (13), and an inner space of the body (11). It is installed and includes a spring 15 that provides elastic force to the pull valve 14.

상기 바디(11)는 볼륨부스터(10)의 외형을 이루는 것으로서, [도 3]를 참조하였을 때 도면부호 11로 표시된 아래의 두꺼운 블록과, 마찬가지로 도면부호 11로 표시된 그 위쪽의 얇은 블록을 포함하여 구성된다.The body 11 forms the external shape of the volume booster 10, and when referring to [FIG. 3], it includes a thick block below, indicated by reference numeral 11, and a thin block above it, similarly indicated by reference number 11. It is composed.

이러한 바디(11)는 입력포트(11a)와 출력포트(11b)가 양측면에 각각 구비되고, 다수의 내부유로가 바디(11)를 관통하여 형성되며, 하단에 보텀커버(bottom cover,11c)가 설치된다.This body 11 is provided with an input port 11a and an output port 11b on both sides, a plurality of internal passages are formed penetrating the body 11, and a bottom cover 11c is provided at the bottom. It is installed.

그리고, 바디(11)의 내부공간에는 원형벽(11d)이 구비되는데, 이 원형벽(11d)은 입력포트(11a)와 연결되면서 입력포트(11a)와 출력포트(11b) 사이를 가로막는다.In addition, a circular wall (11d) is provided in the internal space of the body 11, and this circular wall (11d) is connected to the input port (11a) and blocks the space between the input port (11a) and the output port (11b).

부연하면, 상기 원형벽(11d)은 상하방향으로 길게 형성되는데, 입력포트(11a) 쪽은 개방되고 출력포트(11b) 쪽은 밀폐됨으로써 입력포트(11a) 쪽을 향해 개방된 알파벳 'C'자와 유사한 단면 형태를 갖는다.To elaborate, the circular wall (11d) is formed to be long in the vertical direction, and the input port (11a) side is open and the output port (11b) side is sealed, forming an alphabet 'C' shape that is open toward the input port (11a). It has a cross-sectional shape similar to that of

상기 탑커버(top cover,12)는 바디(11)의 상면에 설치되어 바디(11)와의 사이에 일정한 빈 공간인 챔버(16)를 형성시킨다. 이러한 탑커버(12)의 상면에는 배기구(12a)가 구비된다.The top cover 12 is installed on the upper surface of the body 11 to form a chamber 16, which is a certain empty space between the body 11 and the body 11. An exhaust port 12a is provided on the upper surface of the top cover 12.

상기 다이아프램 어셈블리(13)는 챔버(16)를 상부챔버(16a)와 그 아래의 하부챔버(16b)로 구획한다. 좀 더 자세히 설명하면 다이아프램 어셈블리(13)는 다이아프램(13a)과, 상기 다이아프램(13a)의 중앙을 관통하는 파이프 형태의 다이아프램 로드(13b)로 구성된다.The diaphragm assembly 13 divides the chamber 16 into an upper chamber 16a and a lower chamber 16b below it. In more detail, the diaphragm assembly 13 consists of a diaphragm 13a and a pipe-shaped diaphragm rod 13b that penetrates the center of the diaphragm 13a.

상기 다이아프램(13a)은 챔버(16)의 중앙부분을 수평방향으로 가로지르도록 설치됨으로써 챔버(16)를 상부챔버(16a)와 하부챔버(16b)로 구획한다. 이러한 다이아프램(13a)은 상부챔버(16a)와 하부챔버(16b)의 압력변화에 의해 상측으로 당겨지거나 하측으로 당겨진다.The diaphragm 13a is installed to horizontally cross the central portion of the chamber 16, dividing the chamber 16 into an upper chamber 16a and a lower chamber 16b. The diaphragm 13a is pulled upward or downward due to pressure changes in the upper chamber 16a and lower chamber 16b.

상기 다이아프램 로드(13b)는 다이아프램(13a)의 중앙에 설치되는 것으로서, 풀밸브(14)의 상단에 위치되고 탑커버(12)의 배기구(12a)와 연통된다. 따라서 다이아프램(13a)이 아래쪽으로 당겨지면 다이아프램 로드(13b)도 아래쪽으로 이동하여 풀밸브(14)를 누르게 되고, 내부로 유입된 유체는 다이아프램 어셈블리(13)가 위로 당겨져 풀밸브(14)와의 사이에 틈이 발생되었을 때 탑커버(12)의 배기구(12a)를 통해 외부로 배기(vent)된다.The diaphragm rod 13b is installed in the center of the diaphragm 13a, is located at the top of the full valve 14, and communicates with the exhaust port 12a of the top cover 12. Therefore, when the diaphragm (13a) is pulled downward, the diaphragm rod (13b) also moves downward and presses the pull valve (14), and the fluid flowing inside is pulled upward and the diaphragm assembly (13) is pulled up and the pull valve (14) ) When a gap is created between the top cover (12), it is vented to the outside through the exhaust port (12a) of the top cover (12).

상기 풀밸브(14)는 일종의 푸쉬밸브로서 바디(11)의 원형벽(11d) 내부에 배치되면서 다이아프램 어셈블리(13)와 연동되어 상부챔버(16a)와 하부챔버(16b)의 압력변화에 따라 상하로 이동한다.The pull valve 14 is a type of push valve that is disposed inside the circular wall 11d of the body 11 and is interlocked with the diaphragm assembly 13 according to pressure changes in the upper chamber 16a and lower chamber 16b. Move up and down.

상기 스프링(15)은 보텀커버(11c)와 풀밸브(14) 사이에 설치되어 다이아프램 어셈블리(13)를 상승시키는 방향으로 탄성력을 제공한다.The spring 15 is installed between the bottom cover 11c and the pull valve 14 to provide elastic force in the direction of raising the diaphragm assembly 13.

상기 서보밸브(20)는 볼륨부스터(10)의 바디(11)에 설치되고, 바디(11)에 형성된 내부유로를 통해 입력포트(11a)와 연결되어 입력포트(11a)로부터 유체를 공급받은 후 인가되는 입력신호에 따라 제어된 일정압력을 볼륨부스터(10)에 제공한다.The servo valve 20 is installed on the body 11 of the volume booster 10, is connected to the input port 11a through an internal passage formed in the body 11, and receives fluid from the input port 11a. A constant pressure controlled according to the applied input signal is provided to the volume booster (10).

좀 더 자세히 설명하면, 서보밸브(20)는 컨트롤보드가 탑재되어 있으며, 유체가 유입되는 유입구(21)와 배출되는 배출구(22)가 구비되어 있으면서 유체의 유입과 배출을 제어하는 공급 솔레노이드 밸브(23)와 배기 솔레노이드 밸브(24)를 구비하고 있다.In more detail, the servo valve 20 is equipped with a control board and has an inlet 21 through which fluid flows in and an outlet 22 through which fluid flows out, and a supply solenoid valve ( 23) and an exhaust solenoid valve (24).

이러한 서보밸브(20)는 바디(11)에 형성된 다수의 내부유로 중에서 일단이 볼륨부스터(10)의 입력포트(11a)에 연결되고 타단이 서보밸브(20)의 유입구(21)에 연결된 제1유로(R1)를 통해 볼륨부스터(10)에 연결된다. 따라서 볼륨부스터(10)의 입력포트(11a)로 유체가 유입되면 제1유로(R1)와 유입구(21)를 통해 서보밸브(20)로 유입된다.Among the plurality of internal passages formed in the body 11, the servo valve 20 has one end connected to the input port 11a of the volume booster 10 and the other end connected to the inlet 21 of the servo valve 20. It is connected to the volume booster (10) through the flow path (R1). Therefore, when fluid flows into the input port (11a) of the volume booster (10), it flows into the servo valve (20) through the first flow path (R1) and the inlet (21).

그리고, 서보밸브(20)의 배출구(22)는 바디(11)에 형성된 다수의 내부유로 중에서 끝단이 상부챔버(16a) 또는 하부챔버(16b)와 연결된 내부유로와 연결된다. 따라서 서보밸브(20)에 인가된 입력신호에 따라 제어된 일정압력은 상부챔버(16a) 또는 하부챔버(16b)에 공급될 수 있다.And, the outlet 22 of the servo valve 20 is connected to an internal passage whose end is connected to the upper chamber 16a or the lower chamber 16b among the plurality of internal passages formed in the body 11. Therefore, a constant pressure controlled according to the input signal applied to the servo valve 20 can be supplied to the upper chamber 16a or the lower chamber 16b.

한편, 상부챔버(16a)와 하부챔버(16b)는 어느 하나만 바디(11)에 형성된 내부유로를 통해 바디(11)의 출력포트(11b)와 연결됨으로써 출력포트(11b)로부터 출력압력을 공급받을 수 있고, 서보밸브(20)는 상부챔버(16a)와 하부챔버(16b) 중 출력포트(11b)와 연결되지 않은 나머지 하나와 내부유로를 통해 연결됨으로써 서보밸브(20)에 인가된 입력신호에 따라 제어된 일정압력을 출력포트(11b)와 연결되지 않은 상부챔버(16a) 또는 하부챔버(16b)에 공급할 수 있다.Meanwhile, only one of the upper chamber 16a and the lower chamber 16b is connected to the output port 11b of the body 11 through an internal passage formed in the body 11, so that the output pressure is supplied from the output port 11b. The servo valve 20 is connected to the remaining one of the upper chamber 16a and the lower chamber 16b that is not connected to the output port 11b through an internal flow path, thereby responding to the input signal applied to the servo valve 20. Accordingly, a controlled constant pressure can be supplied to the upper chamber 16a or lower chamber 16b that is not connected to the output port 11b.

부연하면, 도 4에 도시된 것처럼 탑커버(12)를 전면이 서보밸브(20)와 압력센서(30)를 향하도록 하여 바디(11)에 설치하는 경우에는, 바디(11)의 출력포트(11b)는 상부챔버(16a)와 제2유로(R2)를 통하여 연결되고 서보밸브(20)는 하부챔버(16b)와 제3유로(R3)를 통해 연결된다.To elaborate, when installing the top cover 12 on the body 11 with the front facing the servo valve 20 and the pressure sensor 30 as shown in FIG. 4, the output port of the body 11 ( 11b) is connected to the upper chamber (16a) and the second flow path (R2), and the servo valve 20 is connected to the lower chamber (16b) and the third flow path (R3).

그리고, 도 11에 도시된 것처럼 탑커버(12)를 수평면 상에서 180도 회전시켜 전면이 서보밸브(20)와 압력센서(30)의 반대방향을 향하도록 하여 바디(11)에 설치하는 경우에는 바디(11)의 출력포트(11b)는 하부챔버(16b)와 제4유로(R4)를 통하여 연결되고 서보밸브(20)는 상부챔버(16a)와 제5유로(R5)를 통하여 연결된다.In addition, as shown in Figure 11, when the top cover 12 is rotated 180 degrees on the horizontal plane and installed on the body 11 so that the front face faces the opposite direction of the servo valve 20 and the pressure sensor 30, the top cover 12 is rotated 180 degrees on the horizontal plane. The output port (11b) of (11) is connected to the lower chamber (16b) and the fourth passage (R4), and the servo valve 20 is connected to the upper chamber (16a) and the fifth passage (R5).

상기 압력센서(30)는 바디(11)에 형성된 다수의 내부유로 중에서 일단이 출력포트(11b)에 연결되고 타단이 압력센서(30)에 연결되는 제6유로(R6)를 통해 출력포트(11b)와 연결되어 출력압력을 측정한다.The pressure sensor 30 is connected to the output port 11b through the sixth passage R6, one end of which is connected to the output port 11b and the other end connected to the pressure sensor 30 among the plurality of internal passages formed in the body 11. ) is connected to measure the output pressure.

이러한 압력센서(30)는 볼륨부스터(10)의 출력포트(11b)에서 출력되는 출력압력을 실시간으로 측정하여 서보밸브(20)에 전송한다. 이렇게 압력센서(30)에 의해 측정된 출력압력이 전송되면 서보밸브(20)의 컨트롤보드는 압력센서(30)가 전송한 출력압력과 서보밸브(20)에 인가된 입력신호에 따라 제어된 후 볼륨부스터(10)의 상부챔버(16a) 또는 하부챔버(16b)에 공급된 일정압력을 비교한다.This pressure sensor 30 measures the output pressure output from the output port 11b of the volume booster 10 in real time and transmits it to the servo valve 20. When the output pressure measured by the pressure sensor 30 is transmitted, the control board of the servo valve 20 is controlled according to the output pressure transmitted by the pressure sensor 30 and the input signal applied to the servo valve 20. The constant pressure supplied to the upper chamber (16a) or lower chamber (16b) of the volume booster (10) is compared.

즉, 본 발명이 제어해야 하는 압력은 볼륨부스터(10)의 출력압력이기 때문에, 서보밸브(20)에 인가된 입력신호(즉 명령값)에 비례하는 압력을 볼륨부스터(10)에서 출력할 수 있도록 압력센서(30)가 실시간으로 체크하는 것이다.That is, since the pressure to be controlled by the present invention is the output pressure of the volume booster 10, the volume booster 10 can output a pressure proportional to the input signal (i.e. command value) applied to the servo valve 20. The pressure sensor 30 checks in real time.

상기와 같이 구성된 본 발명에 의한 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터의 동작과정을 서보밸브(20)에 의한 진공압력 제어를 바탕으로 하여 도 8 내지 도 10을 참조하여 설명하도록 한다. 그리고, 볼륨부스터(10)의 출력포트(11b)는 제2유로(R2)를 통해 상부챔버(16a)와 연결된 경우를 전제로 하여 설명하도록 한다.The operation process of the servo valve and pressure sensor integrated volume booster according to the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 8 to 10 based on vacuum pressure control by the servo valve 20. In addition, the explanation will be made on the assumption that the output port 11b of the volume booster 10 is connected to the upper chamber 16a through the second flow path R2.

제1유로(R1)를 통해 볼륨부스터(10)의 입력포트(11a)에서 유체를 제공받은 서보밸브(20)는 인가된 입력신호에 따른 진공압력을 제3유로(R3)를 통해 볼륨부스터(10)의 하부챔버(16b)로 공급한다. 이때 상부챔버(16a)는 대기압 상태이다.The servo valve 20, which receives fluid from the input port 11a of the volume booster 10 through the first flow path (R1), sends the vacuum pressure according to the applied input signal to the volume booster ( It is supplied to the lower chamber (16b) of 10). At this time, the upper chamber 16a is at atmospheric pressure.

하부챔버(16b)로 진공압력이 공급되면 하부챔버(16b)에 진공이 형성되어 상부챔버(16a)와의 압력차에 의해 다이아프램(13a)이 아래로 당겨진다.When vacuum pressure is supplied to the lower chamber (16b), a vacuum is formed in the lower chamber (16b) and the diaphragm (13a) is pulled down by the pressure difference with the upper chamber (16a).

다이아프램(13a)이 아래로 당겨지면 다이아프램 로드(13b)가 하측으로 이동하여 풀밸브(14)를 가압한다.When the diaphragm (13a) is pulled down, the diaphragm rod (13b) moves downward and pressurizes the pull valve (14).

이렇게 다이아프램 어셈블리(13)가 하측으로 이동함으로써 풀밸브(14)가 가압되면 풀밸브(14) 역시 하측으로 이동하게 되는데, 이때 풀밸브(14)는 원형벽(11d)의 하단에 밀착되어 있던 상태에서 하측으로 이동하게 되는 것이다.When the diaphragm assembly 13 moves downward and the pull valve 14 is pressurized, the pull valve 14 also moves downward. At this time, the pull valve 14 is in close contact with the bottom of the circular wall 11d. It moves downward in this state.

원형벽(11d)의 하단에 밀착되어 있던 풀밸브(14)가 하측으로 이동하면 풀밸브(14)와 원형벽(11d) 하단 사이에 유로가 형성되고, 이 유로를 통해 출력포트(11b) 쪽으로 진공압력이 제공된다. When the full valve 14, which was in close contact with the lower end of the circular wall 11d, moves downward, a flow path is formed between the full valve 14 and the lower end of the circular wall 11d, and through this flow path toward the output port 11b. Vacuum pressure is provided.

출력포트(11b)로 제공된 진공압력은 제2유로(R2)를 통해 상부챔버(16a)로 공급되고, 이 상태에서는 출력포트(11b)의 진공압력이 하부챔버(16b)의 진공압력보다 큰 상태이므로 다이아프램 어셈블리(13)는 복귀하여 출력포트(11b) 쪽으로 향하는 진공압력을 차단해야 한다. 이때 다이아프램 어셈블리(13)를 복귀시키는 힘은 상부챔버(16a)에 전달되는 진공압력으로서, 이 진공압력은 다이아프램 어셈블리(13)를 위쪽으로 당기는 올리는 힘으로 작용한다.The vacuum pressure provided to the output port (11b) is supplied to the upper chamber (16a) through the second flow path (R2), and in this state, the vacuum pressure of the output port (11b) is greater than the vacuum pressure of the lower chamber (16b). Therefore, the diaphragm assembly 13 must return to block the vacuum pressure directed toward the output port 11b. At this time, the force returning the diaphragm assembly 13 is vacuum pressure transmitted to the upper chamber 16a, and this vacuum pressure acts as an upward force to pull the diaphragm assembly 13 upward.

이때 하부챔버(16b)의 누르는 힘과 상부챔버(16a)의 위쪽으로 당기는 힘이 평행하게 되면 다이아프램 어셈블리(13)는 더 이상 풀밸브(14)를 누르지 못하고 스프링(15)의 복원력에 의해 풀밸브(14)는 위쪽으로 이동한다.At this time, when the pressing force of the lower chamber (16b) and the upward pulling force of the upper chamber (16a) become parallel, the diaphragm assembly (13) can no longer press the pull valve (14) and is released by the restoring force of the spring (15). The valve 14 moves upward.

한편, 볼륨부스터(10)의 출력포트(11b) 진공압력이 하부챔버(16b)의 진공압력보다 높으면 풀밸브(14)가 상승하여 볼륨부스터(10)의 출력압력이 차단된다고 위에서 살펴봤는데, 풀밸브(14)가 복귀하여(즉 상승하여) 볼륨부스터(10)의 출력압력이 차단된 상황에서도 출력포트(11b)의 진공압력이 하부챔버(16b)의 진공압력보다 높으면 다이아프램(13a)은 위로 들어 올려지고 이에 따라 다이아프램 로드(13b)와 풀밸브(14) 사이에는 빈틈이 발생되어 이 빈틈을 통해 진공압력이 다이아프램 로드(13b) 내부로 유입된 후 탑커버(12)의 배기구로 벤트(vent)된다.Meanwhile, as seen above, when the vacuum pressure of the output port (11b) of the volume booster (10) is higher than the vacuum pressure of the lower chamber (16b), the full valve (14) rises and the output pressure of the volume booster (10) is blocked. Even in a situation where the valve 14 returns (i.e. rises) and the output pressure of the volume booster 10 is blocked, if the vacuum pressure of the output port (11b) is higher than the vacuum pressure of the lower chamber (16b), the diaphragm (13a) It is lifted upward, and as a result, a gap is created between the diaphragm rod (13b) and the pull valve (14), and vacuum pressure flows into the diaphragm rod (13b) through this gap and then through the exhaust port of the top cover (12). It is vented.

한편, 압력센서(30)는 출력포트(11b)에서 출력되는 진공압력을 제6유로(R6)를 통해 전달받아 실시간으로 체크해서 서보밸브(20)의 컨트롤보드에 피드백 신호를 보내고, 서보밸브(20)는 이를 계산해서 정밀한 압력을 출력하도록 공급 솔레노이드 밸브(23)와 배기 솔레노이드 밸브(24)를 조정한다. 즉 서보밸브(20)의 출력 압력을 조정한다.Meanwhile, the pressure sensor 30 receives the vacuum pressure output from the output port 11b through the sixth passage (R6), checks it in real time, sends a feedback signal to the control board of the servo valve 20, and sends a feedback signal to the control board of the servo valve 20. 20) calculates this and adjusts the supply solenoid valve 23 and exhaust solenoid valve 24 to output precise pressure. That is, the output pressure of the servo valve 20 is adjusted.

10: 볼륨부스터 11: 바디
11a: 입력포트 11b: 출력포트
11c: 보텀커버 11d: 원형벽
12: 탑커버 12a: 배기구
13: 다이아프램 어셈블리 13a: 다이아프램
13b: 다이아프램 로드 14: 풀밸브
15: 스프링 16: 챔버
16a: 상부챔버 16b: 하부챔버
20: 서보밸브 21: 유입구
22: 배출구 23: 공급 솔레노이드 밸브
24; 배기 솔레노이드 밸브 30: 압력센서
R1: 제1유로 R2: 제2유로
R3: 제3유로 R4: 제4유로
R5: 제5유로 R6: 제6유로10: Volume Booster 11: Body
11a: input port 11b: output port
11c: Bottom cover 11d: Circular wall
12: Top cover 12a: Exhaust port
13: diaphragm assembly 13a: diaphragm
13b: Diaphragm rod 14: Full valve
15: spring 16: chamber
16a: upper chamber 16b: lower chamber
20: servo valve 21: inlet
22: outlet 23: supply solenoid valve
24; Exhaust solenoid valve 30: pressure sensor
R1: 1st Euro R2: 2nd Euro
R3: 3rd euro R4: 4th euro
R5: Euro 5 R6: Euro 6

Claims (8)

유체가 공급되는 입력포트(11a)와 유체가 배출되는 출력포트(11b)가 구비되고, 다수의 내부유로가 형성된 볼륨부스터(10)와;
상기 볼륨부스터(10)의 외측면에 고정되고, 상기 내부유로를 통해 입력포트(11a)와 연결되어 상기 입력포트(11a)로부터 유체를 공급받은 후 인가되는 입력신호에 따라 제어된 일정압력을 볼륨부스터(10)에 제공하는 서보밸브(20)와;
상기 볼륨부스터(10)의 외측면에 고정되고, 상기 내부유로를 통해 상기 출력포트(11b)와 연결되어 출력압력을 측정하는 압력센서(30);로 구성된 것을 특징으로 하는 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터.
A volume booster (10) provided with an input port (11a) through which fluid is supplied and an output port (11b) through which fluid is discharged, and formed with a plurality of internal flow paths;
It is fixed to the outer surface of the volume booster 10, and is connected to the input port 11a through the internal flow path to receive fluid from the input port 11a and then apply a constant pressure controlled according to the applied input signal to the volume. A servo valve 20 provided to the booster 10;
A pressure sensor (30) fixed to the outer surface of the volume booster (10) and connected to the output port (11b) through the internal flow path to measure the output pressure. A servo valve and pressure sensor integrated type. Volume booster.
 청구항 1에 있어서,
상기 볼륨부스터(10)는 상기 입력포트(11a)와 출력포트(11b)가 양측면에 구비되고, 상기 다수의 내부유로가 형성되며, 상기 입력포트(11a)와 연결되면서 입력포트(11a)와 출력포트(11b) 사이를 가로막는 원형벽(11d)이 내부에 구비되고, 하단에 보텀커버(bottom cover,11c)가 설치된 바디(11)와;
상기 바디(11)의 상면에 설치되어 바디(11)와의 사이에 챔버(16)를 형성시키고, 상면에 배기구(12a)가 구비된 탑커버(top cover,12)와;
상기 챔버(16)를 상부챔버(16a)와 그 아래의 하부챔버(16b)로 구획하는 다이아프램 어셈블리(13)와;
상기 바디(11)의 원형벽(11d) 내부에 설치되면서 상기 다이아프램 어셈블리(13)와 연동되어 상기 상부챔버(16a)와 하부챔버(16b)의 압력변화에 따라 상하로 이동하는 풀밸브(14)와;
상기 보텀커버(11c)와 풀밸브(14) 사이에 설치되어 상기 다이아프램 어셈블리(13)를 상승시키는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링(15);을 포함하여 구성되며,
상기 상부챔버(16a)와 하부챔버(16b) 중 어느 하나만 내부유로를 통해 상기 출력포트(11b)와 연결되어 출력포트(11b)로부터 출력압력을 공급받는 것을 특징으로 하는 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터.
In claim 1,
The volume booster 10 is provided with the input port 11a and the output port 11b on both sides, has the plurality of internal passages, and is connected to the input port 11a to provide an input port 11a and an output port 11b. A body (11) provided with a circular wall (11d) blocking the ports (11b) inside, and a bottom cover (11c) installed at the bottom;
a top cover (12) installed on the upper surface of the body (11) to form a chamber (16) between the body (11) and having an exhaust port (12a) on the upper surface;
a diaphragm assembly (13) dividing the chamber (16) into an upper chamber (16a) and a lower chamber (16b) below it;
A pull valve (14) installed inside the circular wall (11d) of the body (11) and linked with the diaphragm assembly (13) to move up and down according to pressure changes in the upper chamber (16a) and lower chamber (16b). )and;
It is configured to include a spring 15 installed between the bottom cover 11c and the full valve 14 to provide elastic force in a direction to raise the diaphragm assembly 13,
A servo valve and pressure sensor integrated volume, characterized in that only one of the upper chamber (16a) and the lower chamber (16b) is connected to the output port (11b) through an internal flow path and receives output pressure from the output port (11b). booster.
 청구항 2에 있어서,
상기 다이아프램 어셈블리(13)는 상기 챔버(16)를 상부챔버(16a)와 하부챔버(16b)로 구획하는 다이아프램(13a)과;
상기 다이아프램(13a)의 중앙을 관통하면서 상기 풀밸브(14)의 상단에 위치하고, 상기 탑커버(12)의 배기구(12a)와 연통되는 다이아프램 로드(13b);로 구성된 것을 특징으로 하는 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터.
In claim 2,
The diaphragm assembly 13 includes a diaphragm 13a that divides the chamber 16 into an upper chamber 16a and a lower chamber 16b;
A diaphragm rod (13b) passing through the center of the diaphragm (13a), located at the top of the pull valve (14), and communicating with the exhaust port (12a) of the top cover (12). Volume booster with integrated valve and pressure sensor.
 청구항 2에 있어서,
상기 다이아프램 어셈블리(13)가 하측으로 이동할 때 상기 원형벽(11d)의 하단에 밀착되어 있던 상기 풀밸브(14)도 하측으로 이동하여 풀밸브(14)와 원형벽(11d)의 하단 사이에 유로가 형성됨으로써 상기 유로를 통해 출력포트(11b) 쪽으로 출력압력이 제공되는 것을 특징으로 하는 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터.
In claim 2,
When the diaphragm assembly 13 moves downward, the pull valve 14, which was in close contact with the lower end of the circular wall 11d, also moves downward and is positioned between the pull valve 14 and the lower end of the circular wall 11d. A volume booster integrated with a servo valve and pressure sensor, characterized in that an output pressure is provided toward the output port (11b) through the flow path by forming a flow path.
 청구항 2에 있어서,
상기 서보밸브(20)는 상기 상부챔버(16a)와 하부챔버(16b) 중 상기 출력포트(11b)와 연결되지 않은 나머지 하나와 내부유로를 통해 연결되어, 인가된 입력신호에 따라 제어된 일정압력을 출력포트(11b)와 연결되지 않은 상부챔버(16a) 또는 하부챔버(16b)에 공급하는 것을 특징으로 하는 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터.
In claim 2,
The servo valve 20 is connected to the remaining one of the upper chamber 16a and the lower chamber 16b that is not connected to the output port 11b through an internal flow path, and provides a constant pressure controlled according to an applied input signal. A servo valve and pressure sensor integrated volume booster, characterized in that it supplies to the upper chamber (16a) or lower chamber (16b) that is not connected to the output port (11b).
 청구항 5에 있어서,
상기 탑커버(12)를 전면이 상기 서보밸브(20)와 압력센서(30)를 향하도록 하여 상기 바디(11)에 설치하는 경우,
상기 출력포트(11b)는 상기 상부챔버(16a)와 내부유로를 통하여 연결되고 상기 서보밸브(20)는 상기 하부챔버(16b)와 내부유로를 통하여 연결되는 것을 특징으로 하는 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터.
In claim 5,
When installing the top cover 12 on the body 11 with the front facing the servo valve 20 and the pressure sensor 30,
The output port (11b) is connected to the upper chamber (16a) through an internal flow path, and the servo valve 20 is connected to the lower chamber (16b) through an internal flow path. Volume booster.
 청구항 6에 있어서,
상기 탑커버(12)를 수평면 상에서 180도 회전시켜 전면이 상기 서보밸브(20)와 압력센서(30)의 반대방향을 향하도록 하여 상기 바디(11)에 설치하는 경우,
상기 출력포트(11b)는 상기 하부챔버(16b)와 내부유로를 통하여 연결되고 상기 서보밸브(20)는 상기 상부챔버(16a)와 내부유로를 통하여 연결되는 것을 특징으로 하는 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터.
In claim 6,
When the top cover 12 is rotated 180 degrees on a horizontal plane and installed on the body 11 so that the front face faces the opposite direction of the servo valve 20 and the pressure sensor 30,
The output port (11b) is connected to the lower chamber (16b) through an internal flow path, and the servo valve 20 is connected to the upper chamber (16a) through an internal flow path. A servo valve and pressure sensor integrated type. Volume booster.
 청구항 7에 있어서,
상기 압력센서(30)는 볼륨부스터(10)의 출력포트(11b)에서 출력되는 출력압력을 실시간으로 측정하여 서보밸브(20)에 탑재된 컨트롤보드에 전송하고,
상기 서보밸브(20)의 컨트롤보드는 상기 압력센서(30)가 전송한 출력압력과 상기 서보밸브(20)에 인가된 입력신호에 따라 제어된 후 볼륨부스터(10)의 상부챔버(16a) 또는 하부챔버(16b)에 공급된 일정압력을 비교하는 것을 특징으로 하는 서보밸브 및 압력센서 일체형 볼륨부스터.In claim 7,
The pressure sensor 30 measures the output pressure output from the output port 11b of the volume booster 10 in real time and transmits it to the control board mounted on the servo valve 20,
The control board of the servo valve 20 is controlled according to the output pressure transmitted by the pressure sensor 30 and the input signal applied to the servo valve 20, and then moves to the upper chamber 16a of the volume booster 10 or A volume booster integrated with a servo valve and pressure sensor, characterized in that it compares the constant pressure supplied to the lower chamber (16b).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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