KR20240008364A - 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법, 이 방법을 실행하기 위한 프로그램 및 이 방법을 실행하는 장치 - Google Patents

Abstract

플랜지 변위량 추정 방법에서는, 하측 플랜지 면과 연속되는 면 중에 있어서의 제1 피지지부의 하측 제1 위치와, 상측 플랜지 면과 연속되는 면 중에서 상기 하측 제1 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다. 상기 하측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경한다. 좌표 변경 후의 상측 플랜지 면 중의 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치와 좌표 변경 후의 하측 플랜지 면 중의 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치의 차이에 의거하여, 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때의 상기 상측 대상 위치 및 상기 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구한다.

Description

회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법, 이 방법을 실행하기 위한 프로그램 및 이 방법을 실행하는 장치

본 개시는 회전 기계로서, 로터의 외주(外周)를 덮는 상반 케이싱 및 하반 케이싱의 플랜지 면에 있어서의 변위량을 추정하는 플랜지 변위량 추정 방법, 이 방법을 실행하기 위한 프로그램 및 이 방법을 실행하는 장치에 관한 것이다.

본원은 2022년2월25일 일본국에 출원된 특허출원 2022-027443호에 근거해 우선권을 주장하고, 이 내용을 이곳에 원용한다.

증기 터빈 등의 회전 기계는 수평 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 하여 회전 가능한 로터와, 로터의 외주를 덮는 케이싱과, 케이싱 내에 배치되어, 이 케이싱에 설치되어 있는 다이어프램(diaphragm) 등의 정지 부품을 구비한다. 케이싱은 일반적으로 상측의 상반 케이싱과, 하측의 하반 케이싱과, 상반 케이싱과 하반 케이싱을 체결하는 복수의 볼트를 가진다. 상반 케이싱은 하측을 향하는 상측 플랜지 면이 형성되어 있는 상측 플랜지를 가진다. 하반 케이싱은 상측을 향하고, 상측 플랜지 면과 상하 방향으로 대향하는 하측 플랜지 면이 형성되어 있는 하측 플랜지 가진다.

회전 기계의 점검 시에는 하반 케이싱으로부터 상반 케이싱을 분리한 개방 상태로 하여 회전 기계를 구성하는 복수의 부품을 점검하고 필요에 따라 수리한다. 증기터빈 등의 회전 기계에 있어서의 케이싱은 운전 중의 열 등의 영향으로 크리프 변형 등의 비탄성 변형이 발생하는 경우가 있다. 이 때문에, 일단 운전한 후에 있어서의 개방 상태에서의 하반 케이싱 및 상반 케이싱은 공장 출하 때부터 엄밀하게는 변형하고 있다. 점검이 종료하면 복수의 부품을 조립한다. 이 조립 공정에는 복수의 볼트를 이용하여 하반 케이싱에 상반 케이싱을 체결하여 체결 상태로 하는 공정이 포함된다. 하반 케이싱 및 상반 케이싱을 개방 상태에서 체결 상태로 하는 과정에서, 하반 케이싱 및 상반 케이싱은 더 변형한다.

케이싱에 설치되는 정지 부품과 로터 사이의 지름 방향의 간격은 미리 정해진 허용 치수의 범위 내로 할 필요가 있다. 그러나 케이싱이 개방 상태에서 체결 상태가 되고, 하반 케이싱 및 상반 케이싱의 형상이 변해 버리면 케이싱에 설치된 정지 부품과 로터 사이의 지름 방향의 간격이 변하고, 이 간격이 허용 치수의 범위에서 벗어나는 경우가 있다.

따라서 이하의 특허문헌 1에 기재된 기술에서는, 아래의 순서로 개방 상태에서 체결 상태가 되었을 시의 하반 케이싱 및 상반 케이싱의 변형량을 추정하고 있다. 먼저, 하반 케이싱 및 상반 케이싱의 삼차원 형상에 관한 유한 요소 모델을 취득한다. 이어서 개방 상태에 있어서의 하반 케이싱 및 상반 케이싱의 삼차원 형상 데이터를 실측에 의해 취득한다. 그다음에 유한 요소 모델이 실측 삼차원 형상 데이터에 맞도록, 실측 삼차원 형상 데이터를 이용하여 유한 요소 모델을 보정한다. 그다음에, 개방 상태를 나타내는 보정 후의 유한 요소 모델을 이용하여 체결 상태를 시뮬레이션하여 체결 상태를 나타내는 유한 요소 모델을 작성한다. 그리고 개방 상태를 나타내는 유한 요소 모델과 체결 상태를 나타내는 유한 요소 모델의 차이로부터 하반 케이싱 및 상반 케이싱에 있어서의 소정 부위의 변형량을 추정한다. 또한 하반 케이싱 및 상반 케이싱에 있어서의 소정 부위란 하반 케이싱의 하측 플랜지 면 및 상반 케이싱의 상측 플랜지 면이다.

즉, 특허문헌 1에 기재된 기술에서는 개방 상태를 나타내는 유한 요소 모델을 이용하여 체결 상태를 시뮬레이션하고 이 시뮬레이션에서 얻어진 체결 상태를 나타내는 유한 요소 모델로부터 하반 케이싱의 하측 플랜지 면 및 상반 케이싱의 상측 플랜지 면의 변위량을 추정하고 있다.

일본특허공개 2019-070334호 공보

특허문헌 1에 기재된 기술에서는 개방 상태를 나타내는 유한 요소 모델을 이용하여 체결 상태를 시뮬레이션하기 때문에 이 시뮬레이션을 실행하기 위한 계산 부하가 크다고 하는 문제점이 있다. 이 때문에, 특허문헌 1에 기재된 기술에서는 준비 기간이 장기화되는 데다 플랜지 면의 변위량의 추정 비용이 상승한다고 하는 문제점도 내재하고 있다.

그래서 본 개시는 상반 케이싱 및 하반 케이싱의 플랜지 면의 변위량을 추정함에 있어서 계산 부하를 억제함으로써 플랜지 면의 추정 준비 기간을 단축하는 동시에, 그 추정 비용을 억제할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 일형태로서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은 이하의 회전 기계에 적용된다.

이 회전 기계는 수평 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 하여 회전 가능한 로터와, 상기 로터의 외주를 덮는 케이싱과, 상기 케이싱 내에 배치되어 상기 케이싱에 설치되어 있는 정지 부품과, 상기 케이싱을 하측으로부터 지지하는 가대(架臺)를 구비한다. 상기 케이싱은 상측의 상반 케이싱과, 하측의 하반 케이싱과, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱을 체결하는 복수의 볼트를 가진다. 상기 상반 케이싱은 하측을 향하는 상측 플랜지 면이 형성되어 있는 상측 플랜지를 가진다. 상기 하반 케이싱은 상측을 향하고, 상기 상측 플랜지 면과 상하 방향으로 대향하는 하측 플랜지 면이 형성되어 있는 하측 플랜지와, 상기 하측 플랜지에 연속되어 상기 가대에 의해 하측으로부터 지지받고, 상기 축선이 연장하는 축선 방향으로 서로 떨어진 제1 피지지부 및 제2 피지지부를 가진다. 상기 상측 플랜지 및 상기 하측 플랜지에는 상하 방향으로 관통하여 상기 복수의 볼트 각각이 삽입 통과 가능한 볼트 구멍이 형성되어 있다. 상기 제1 피지지부의 상면 및 상기 제2 피지지부의 상면은 상기 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있다.

이상의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법에서는,

상기 회전 기계를 분해한 후에, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결되어 있지 않은 개방 상태에 있어서의, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하는 실측 좌표 접수 공정과, 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 제1 피지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치와, 상기 제2 피 지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서, 상기 개방 상태로부터 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결된 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제1 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제2 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치와, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하측 대상 위치와 수평 방향의 위치가 일치한 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 유효 좌표 파악 공정과, 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 상기 하측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하고, 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 상기 하측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록, 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경하는 좌표 변경 공정과, 상기 좌표 변경 공정 후의 상기 상측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치와 상기 좌표 변경 공정 후의 상기 하측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치 차이에 의거하여, 상기 개방 상태로부터 상기 체결 상태가 되었을 때의 상기 상측 대상 위치 및 상기 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구하는 변위량 연산 공정을 실행한다. 상기 유효 좌표 파악 공정은, 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제1 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제1 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제2 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제2 위치와, 상기 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하연 제1 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하연 제2 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제2 위치와, 상기 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 1차 처리 공정과, 상기 하연 제1 위치 및 상기 하연 제2 위치를 포함하는 상기 하측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하고, 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치를 포함하는 상기 상측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 2차 처리 공정을 포함한다.

본 형태에서는 상측 플랜지 면 중에서 케이싱이 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향의 변위량을 얻고 싶은 상측 대상 위치의 상하 방향의 위치와, 하측 플랜지 면 중에서 케이싱이 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치의 상하 방향의 위치 차이에 의거하여, 케이싱이 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때의 상측 대상 위치 및 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구한다. 이 때문에, 본 형태에서는 하반 케이싱 및 상반 케이싱의 유한 요소 모델을 이용하여 하반 케이싱 및 상반 케이싱의 변형을 시뮬레이션 하지 않아도 상측 대상 위치(U) 및 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구할 수 있다. 따라서, 본 형태에서는 변위량을 구할 시의 계산 부하를 억제할 수 있다.

본 형태에서 상측 대상 위치 및 상기 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구할 시에는 개방 상태일 때의 이하 4점의 삼차원 좌표 데이터가 필요하다.

a) 제1 피지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치와 하측 플랜지 면과 연속되는 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치

b) 제2 피지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 대표 위치와 하측 플랜지 면과 연속되는 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치

c) 상측 플랜지 면과 연속되는 면 중에서 상기 제1 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치

d) 상측 플랜지 면과 연속되는 면 중에서 상기 제2 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치

본 형태에서는 이상의 4곳의 유효 삼차원 좌표 데이터를 1차 처리 공정 및 2차 처리 공정을 실행함으로써 추정하고 있다. 따라서 본 형태에서는 설령 제1 피지지부의 상면 및 제2 피지지부의 상면이 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있고, 하측 제1 위치, 하측 제2 위치, 상측 제1 위치, 및 상측 제2 위치의 실측 삼차원 좌표 데이터를 취득할 수 없는 경우에도 상측 대상 위치 및 하측 대상 위치의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 일형태로서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램은 이하의 회전 기계에 적용된다.

이 회전 기계는 수평 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 하여 회전 가능한 로터와, 상기 로터의 외주를 덮는 케이싱과, 상기 케이싱 내에 배치되어 상기 케이싱에 설치되어 있는 정지 부품과, 상기 케이싱을 하측으로부터 지지하는 가대를 구비한다. 상기 케이싱은 상측의 상반 케이싱과, 하측의 하반 케이싱과, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱을 체결하는 복수의 볼트를 가진다. 상기 상반 케이싱은 하측을 향하는 상측 플랜지 면이 형성되어 있는 상측 플랜지를 가진다. 상기 하반 케이싱은 상측을 향하고, 상기 상측 플랜지 면과 상하 방향으로 대향하는 하측 플랜지 면이 형성되어 있는 하측 플랜지와, 상기 하측 플랜지와 연속되고 상기 가대에 의해 하측으로부터 지지되고, 상기 축선이 연장하는 축선 방향으로 서로 떨어진 제1 피지지부 및 제2 피지지부를 가진다. 상기 상측 플랜지 및 상기 하측 플랜지에는 상하 방향으로 관통하여 상기 복수의 볼트 각각이 삽입 통과 가능한 볼트 구멍이 형성되어 있다. 상기 제1 피지지부의 상면 및 제2 피지지부의 상면은 상기 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있다.

회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램은,

상기 회전 기계를 분해한 후에, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결되어 있지 않은 개방 상태에 있어서의, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하는 실측 좌표 접수 공정과, 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 제1 피지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치와, 상기 제2 피 지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서, 상기 개방 상태로부터 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결된 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제1 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제2 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치와, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하측 대상 위치와 수평 방향의 위치가 일치한 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 유효 좌표 파악 공정과, 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 상기 하측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하고, 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 상기 하측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록, 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경하는 좌표 변경 공정과, 상기 좌표 변경 공정 후의 상기 상측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치와 상기 좌표 변경 공정 후의 상기 하측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치 차이에 의거하여, 상기 개방 상태로부터 상기 체결 상태가 되었을 때의 상기 상측 대상 위치 및 상기 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구하는 변위량 연산 공정을 컴퓨터로 실행시킨다. 상기 유효 좌표 파악 공정은, 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제1 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제1 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제2 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제2 위치와, 상기 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하연 제1 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하연 제2 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제2 위치와, 상기 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 1차 처리 공정과, 상기 하연 제1 위치 및 상기 하연 제2 위치를 포함하는 상기 하측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하고 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치를 포함하는 상기 상측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 2차 처리 공정을 포함한다.

본 형태에서는 이 프로그램을 컴퓨터로 실행시킴으로써, 플랜지 변위량 추정 방법의 일형태과 마찬가지로, 변위량을 추구할 시의 계산 부하를 억제할 수 있다. 나아가 본 형태에서는 이 프로그램을 컴퓨터로 실행시킴으로써 플랜지 변위량 추정 방법의 일형태와 마찬가지로, 설령 제1 피지지부의 상면 및 제2 피지지부의 상면이 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있고, 하측 제1 위치, 하측 제2 위치, 상측 제1 위치, 및 상측 제2 위치의 실측 삼차원 좌표 데이터를 취득할 수 없는 경우에도 상측 대상 위치 및 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 일형태로서의 회전 기계의 플랜지 변위량 장치는 이하의 회전 기계에 적용된다.

이 회전 기계는 수평 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 하여 회전 가능한 로터와, 상기 로터의 외주를 덮는 케이싱과, 상기 케이싱 내에 배치되어 상기 케이싱에 설치되어 있는 정지 부품과, 상기 케이싱을 하측으로부터 지지하는 가대를 구비한다. 상기 케이싱은 상측의 상반 케이싱과, 하측의 하반 케이싱과, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱을 체결하는 복수의 볼트를 가진다. 상기 상반 케이싱은 하측을 향하는 상측 플랜지 면이 형성되어 있는 상측 플랜지를 가진다. 상기 하반 케이싱은 상측을 향하고, 상기 상측 플랜지 면과 상하 방향으로 대향하는 하측 플랜지 면이 형성되어 있는 하측 플랜지와, 상기 하측 플랜지와 연속되고 상기 가대에 의해 하측으로부터 지지되고, 상기 축선이 연장하는 축선 방향으로 서로 떨어진 제1 피지지부 및 제2 피지지부를 가진다. 상기 상측 플랜지 및 상기 하측 플랜지에는 상하 방향으로 관통하여 상기 복수의 볼트 각각이 삽입 통과 가능한 볼트 구멍이 형성되어 있다. 상기 제1 피지지부의 상면 및 제2 피지지부의 상면은 상기 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있다.

이상의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치는,

상기 회전 기계를 분해한 후에, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결되어 있지 않은 개방 상태에 있어서의, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하는 실측 좌표 접수부와, 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 제1 피지지부 중 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치와, 상기 제2 피지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 피지지부의 제2 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서, 상기 개방 상태로부터 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결된 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제1 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제2 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치와, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하측 대상 위치와 수평 방향의 위치가 일치한 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 유효 좌표 파악부와, 상기 유효 좌표 파악부에서 파악한 상기 하측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하고, 상기 유효 좌표 파악부에서 파악한 상기 하측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록, 상기 유효 좌표 파악부에서 파악한 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경하는 좌표 변경부와, 좌표 변경 후의 상기 상측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치와 좌표 변경 후의 상기 하측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치 차이에 의거하여, 상기 개방 상태로부터 상기 체결 상태가 되었을 때의 상기 상측 대상 위치 및 상기 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구하는 변위량 연산부를 구비한다. 상기 유효 좌표 파악부는, 상기 하측 플랜지 면(L) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제1 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제1 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제2 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제2 위치와, 상기 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 면 중에서 상기 하연 제1 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 면 중에서 상기 하연 제2 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제2 위치와, 상기 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 1차 처리부와, 상기 하연 제1 위치 및 상기 하연 제2 위치를 포함하는 상기 하측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하고 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치를 포함하는 상기 상측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 2차 처리부를 포함한다.

본 형태에서는 플랜지 변위량 추정 방법의 일형태와 마찬가지로, 변위량을 구할 때의 계산 부하를 억제할 수 있다. 나아가 본 형태에서는 이 프로그램을 컴퓨터로 실행시킴으로써 플랜지 변위량 추정 방법의 일형태와 마찬가지로, 설령 제1 피지지부의 상면 및 제2 피지지부의 상면이 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있고, 하측 제1 위치, 하측 제2 위치, 상측 제1 위치, 및 상측 제2 위치의 실측 삼차원 좌표 데이터를 취득할 수 없는 경우에도 상측 대상 위치 및 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구할 수 있다.

본 개시의 일형태에서는 계산 부하를 억제하면서도 상반 케이싱 및 하반 케이싱의 플랜지 면의 변위량을 추정할 수 있다. 이 때문에 본 개시의 일형태에서는, 플랜지 면의 추정 준비 기간을 단축함과 동시에 그 추정 비용을 억제할 수 있다. 나아가 본 개시의 일형태에서는 제1 피지지부의 상면 및 제2 피지지부의 상면이 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있고 하측 제1 위치, 하측 제2 위치, 상측 제1 위치, 및 상측 제2 위치의 실측 삼차원 좌표 데이터를 취득할 수 없는 경우에도 상측 대상 위치 및 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구할 수 있다.

도 1은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 회전 기계로서의 증기 터빈의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 2는 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 회전 기계로서의 증기 터빈의 개략 외형을 나타내는 모식도이다.
도 3은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 상반 케이싱의 요부 및 하반 케이싱의 요부의 평면도이다.
도 4는 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 개방 상태의 케이싱 단면도이다.
도 5는 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 체결 상태의 케이싱 단면도이다.
도 6은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 플랜지 변위량 추정 장치의 기능 블록도이다.
도 7은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 플랜지 변위량 추정 방법의 순서를 나타내는 플로우 차트이다.
도 8은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 플랜지 면 중에서, 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 위치를 나타내는 설명도이다.
도 9는 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 좌표 변경 공정에서의 처리 내용을 나타내는 설명도이다.
도 10은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 2차 처리 공정에서의 처리 내용을 나타내는 설명도이다.
도 11은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 2차 처리 공정에서의 다른 처리 내용을 나타내는 설명도이다.
도 12는 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제1 파악 방법을 실행하는 경우에 필요한 실측 삼차원 좌표 데이터의 위치를 나타내는 설명도이다.
도 13은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제2 파악 방법을 실행하는 경우에 필요한 실측 삼차원 좌표 데이터의 위치를 나타내는 설명도이다.
도 14는 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제2 파악 방법을 실행하는 경우의 1차 처리 공정(S2a)에서의 처리 내용을 나타내는 설명도이다.
도 15는 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제3 파악 방법을 실행하는 경우에 필요한 실측 삼차원 좌표 데이터의 위치를 나타내는 설명도이다.
도 16은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제3 파악 방법을 실행하는 경우의, 기준 삼차원 형상 데이터가 나타내는 플랜지 면과, 실제의 플랜지 면의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 점과의 상대 위치 관계를 나타내는 이미지 도이다.
도 17은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 복수의 폴리곤 데이터를 설명하기 위한 설명도이다.
도 18은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 복수의 폴리곤 데이터로부터 특정한 복수의 폴리곤 데이터의 추출을 설명하기 위한 설명도이다.
도 19는 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제3 파악 방법을 실행하는 경우의, 기준 삼차원 형상 데이터가 나타내는 플랜지 면과, 실제의 플랜지 면의 복수의 위치 중, 폴리곤 데이터 추출후의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 점과의 상대 위치 관계를 나타내는 이미지 도이다.
도 20은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제3 파악 방법을 실행하는 경우의 1차 처리 공정에서 참조 위치의 구하는 방법을 나타내는 설명도이다.
도 21은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제4 파악 방법을 실행하는 경우에 필요한 실측 삼차원 좌표 데이터의 위치를 나타내는 설명도이다.
도 22는 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제4 파악 방법을 실행하는 경우의, 기준 삼차원 형상 데이터가 나타내는 플랜지 면과, 실제의 플랜지 면의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 점과의 상대 위치 관계를 나타내는 이미지 도이다.
도 23은 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제4파악 방법을 실행하는 경우의, 기준 삼차원 형상 데이터가 나타내는 플랜지 면과, 실제의 플랜지 면의 복수의 위치 중, 폴리곤 데이터 추출후의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 점과의 상대 위치 관계를 나타내는 이미지 도이다.
도 24는 본 개시에 관한 일실시형태에 있어서의 제4 파악 방법을 실행하는 경우의 1차 처리 공정에서 참조 위치를 구하는 방법을 나타내는 설명도이다.

이하, 본 개시에 관한 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법, 이 방법을 실행하기 위한 프로그램 및 이 방법을 실행하는 장치의 실시형태에 대하여 설명한다.

「회전 기계의 실시형태」

본 실시형태에 있어서의 회전 기계에 대하여, 도 1∼도 5를 참조해서 설명한다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 회전 기계는 증기 터빈(10)이다. 이 증기 터빈(10)은 수평 방향으로 연장되는 축선(Ar)을 중심으로 회전하는 로터(15)와, 로터(15)의 외주측을 덮는 케이싱(30)과, 로터(15)를 회전 가능하게 지지하는 제1 베어링 장치(12a) 및 제2 베어링 장치(12b)와, 복수의 다이어프램(diaphragm)(20)과, 케이싱(30)과 로터(15)의 틈을 봉지 하는 제1 축봉 장치(13a) 및 제2 축봉 장치(13b)와, 케이싱(30)을 하측으로부터 지지하는 가대(11)를 구비한다.

여기에서, 축선(Ar)이 연장하는 방향을 축선 방향(Dy), 축선(Ar)에 대한 원주 방향을 간단히 원주 방향(Dc), 축선(Ar)에 대한 지름 방향을 간단히 지름 방향(Dr)으로 한다. 또한 이 지름 방향(Dr)에서, 축선(Ar)에 근접하는 측을 지름 방향 내측(Dri), 축선(Ar)으로부터 멀어지는 측을 지름 방향 외측(Dro)으로 한다. 또한, 도면 중의 부호로 이용하고 있는 U는 상반을 의미하고, L은 하반을 의미한다.

로터(15)는 축선 방향(Dy)으로 연장되는 로터 축(16)과, 축선 방향(Dy)으로 나란히 로터 축(16)에 설치되어 있는 복수의 동익열(動翼列)(17)을 가진다. 복수의 동익열(17)은 모두 축선(Ar)에 대한 원주 방향(Dc)으로 나열하는 복수의 동익을 가진다. 로터 축(16)의 양단부는 케이싱(30)으로부터 축선 방향(Dy)으로 돌출하고 있다. 로터 축(16)에서, 축선 방향(Dy)에 있어서의 한쪽 단부는, 가대(11)에 설치되어 있는 제1 베어링 장치(12a)에 의해, 회전 가능하게 지지되어 있다. 로터 축(16)에서, 축선 방향(Dy)에 있어서의 다른쪽 단부는 가대(11)에 설치되어 있는 제2 베어링 장치(12b)에 의해, 회전 가능하게 지지되어 있다.

제1 축봉 장치(13a)는 케이싱(30)의 축선 방향(Dy)에 있어서의 한쪽 단부에 설치되어 있다. 제2 축봉 장치(13b)는 케이싱(30)의 축선 방향(Dy)에 있어서의 다른쪽 단부에 설치되어 있다. 제1 축봉 장치(13a) 및 제2 축봉 장치(13b)는 모두 로터 축(16)과 케이싱(30) 사이의 틈을 봉지하는 장치이다.

복수의 다이어프램(20)은 케이싱(30) 안에서 축선 방향(Dy)으로 나열되어 있다. 복수의 다이어프램(20)은 모두 축선(Ar)보다도 하측의 부분을 구성하는 하반 다이어프램(20L)과, 축선(Ar)보다도 상측의 부분을 구성하는 상반 다이어프램(20U)을 가진다. 하반 다이어프램(20L) 및 상반 다이어프램(20U)은 모두 원주 방향(Dc)으로 나열되는 복수의 정익(?췬?)(22)과, 복수의 정익(22)의 지름 방향 내측(Dri)의 부분을 서로 연결하는 다이어프램 내륜("輪)(23)과, 복수의 정익(22)의 지름 방향 외측(Dro)의 부분을 서로 연결하는 다이어프램 외륜(外輪)(24)과, 다이어프램 내륜(23)의 지름 방향 내측(Dri)에 설치되어 있는 실링 장치(25)를 가진다. 이 실링 장치(25)는 다이어프램 내륜(23)과 로터 축(16) 사이의 틈을 실링하는 실링 장치다.

이상에서 설명한 제1 축봉 장치(13a) 및 제2 축봉 장치(13b), 나아가 복수의 다이어프램(20)은 모두 축선(Ar)에 대한 원주 방향으로 연장되고, 케이싱(30)에 설치되어 있는 정지 부품이다.

케이싱(30)은 도 2에 나타낸 바와 같이, 축선(Ar)보다도 하측의 부분을 구성하는 하반 케이싱(30L)과, 축선(Ar)보다도 상측의 부분을 구성하는 상반 케이싱(30U)과, 하반 케이싱(30L)에 대하여 상반 케이싱(30U)을 체결하기 위한 복수 볼트(39)를 가진다. 하반 케이싱(30L)은 원주 방향(Dc)으로 연장되는 하반 케이싱 본체(31L)와, 하반 케이싱 본체(31L)의 원주 방향(Dc)의 양단부에서 지름 방향 외측(Dro)으로 돌출하는 하측 플랜지(32L)와, 하측 플랜지(32L)에 연속되고 가대(11)에 의해 하측으로부터 지지되는 제1 피지지부(35a) 및 제2 피지지부(35b)를 가진다. 또한, 상반 케이싱(30U)은 원주 방향(Dc)으로 연장되는 상반 케이싱 본체(31U)와, 상반 케이싱 본체(31U)의 원주 방향(Dc)의 양단부에서 지름 방향 외측(Dro)으로 돌출하는 상측 플랜지(32U)를 가진다. 한편, 상측 플랜지(32U)에는 하측 플랜지(32L)에 있어서의 제1 피지지부(35a) 및 제2 피지지부(35b)에 대향하는 부분이 설치되어 있지 않다. 그러나, 상측 플랜지(32U)에, 하측 플랜지(32L)에 있어서의 제1 피지지부(35a) 및 제2 피지지부(35b)에 대향하는 부분이 설치되어 있어도 된다.

도 2∼도 5에 나타낸 바와 같이, 하측 플랜지(32L)에서 상측을 향하는 면이 하측 플랜지 면(33L)을 이룬다. 또한, 상측 플랜지(32U)에서 하측을 향하는 면이 상측 플랜지 면(33U)을 이룬다. 하측 플랜지 면(33L)과 상측 플랜지 면(33U)은 상하 방향(Dz)으로 서로 대향하고 있다.

제1 피지지부(35a)는 하측 플랜지(32L)의 축선 방향(Dy)에 있어서의 양측 중의 한 측에서 한 측으로 돌출하고 있다. 제2 피지지부(35b)는 하측 플랜지(32L)의 축선 방향(Dy)에 있어서의 양측 중 다른 측에서 다른 측으로 돌출하고 있다. 따라서, 제1 피지지부(35a)에 대하여, 제2 피지지부(35b)는 축선 방향(Dy)으로 떨어져 있다. 본 실시형태에 있어서, 제1 피지지부(35a)의 상면(35ap) 및 제2 피지지부(35b)의 상면(35bp)은 하측 플랜지 면(33L)에 대하여 상하 방향(Dz)으로 어긋나 있다. 한편, 상측 플랜지(32U)에 하측 플랜지(32L)에 있어서의 제1 피지지부(35a) 및 제2 피지지부(35b)에 상당하는 부분이 설치되어 있는 경우, 제1 피지지부(35a)에 상당하는 부분의 하면 및 제 2 피지지부(35b)에 상당하는 부분의 하면은 상측 플랜지 면(33U)에 대하여 상하 방향(Dz)으로 어긋나 있다.

하측 플랜지(32L) 및 상측 플랜지(32U)에는, 상하 방향(Dz)으로 관통하여 복수의 볼트(39)의 각각이 삽입 통과 가능한 볼트 구멍(34)이 형성되어 있다. 하반 케이싱(30L)과 상반 케이싱(30U)은 하측 플랜지(32L)의 볼트 구멍(34) 및 상측 플랜지(32U)의 볼트 구멍(34)에 삽입 통과된 볼트(39)에 의해 체결된다.

하반 케이싱 본체(31L)의 내주면 및 상반 케이싱(30U)의 내주면에는 전술한 복수의 정지 부품이 각각 격납되는 복수의 정지 부품 격납부(36)가 형성되어 있다. 하반 케이싱 본체(31L)의 각 정지 부품 격납부(36)는 하반 케이싱 본체(31L)의 내주면에서 지름 방향 외측(Dro)으로 오목하고, 원주 방향(Dc)으로 연장되는 홈이다. 또한, 상반 케이싱 본체(31U)의 각 정지 부품 격납부(36)는 상반 케이싱 본체(31U)의 내주면에서 지름 방향 외측(Dro)으로 오목하고, 원주 방향(Dc)으로 연장되는 홈이다. 한편, 정지 부품의 일종인 다이어프램(20)은 원주 방향(Dc)으로 연장되는 정지 부품 격납부(36) 중, 플랜지 면 근방의 부분에서 지지되어 있다.

케이싱(30)의 내주면은 증기 터빈(10)의 운전에 의해 고온의 증기에 노출된다. 이 때문에, 케이싱(30)은 증기 터빈(10)의 운전에 의해, 크리프 변형 등의 비탄성 변형이 발생하는 경우가 있다. 이 변형의 결과, 하반 케이싱(30L)에 대하여 상반 케이싱(30U)이 체결되어 있지 않은 개방 상태에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 하측 플랜지 면(33L) 및 상측 플랜지 면(33U)의 상하 방향(Dz)의 위치가 축선 방향(Dy)의 위치에 따라서 변한다.

이상과 같이 변형한 하반 케이싱(30L)에 이상과 같이 변형한 상반 케이싱(30U)을 체결하여 케이싱(30)을 체결 상태로 하면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 하측 플랜지 면(33L) 및 상측 플랜지 면(33U)의 상하 방향(Dz)의 위치가 축선 방향(Dy)의 위치에 따라서 더 변한다.

케이싱(30)에 설치되는 정지 부품과 로터(15) 사이의 지름 방향(Dr)의 간격은 미리 정해진 허용 치수의 범위 내로 할 필요가 있다. 구체적으로, 예를 들어 정지 부품의 일종인 제1 축봉 장치(13a) 및 제2 축봉 장치(13b)와 로터 축(16) 사이의 간격이나, 다이어프램(20)의 실링 장치(25)와 로터 축(16) 사이의 간격은 미리 정해진 허용 치수의 범위 내로 할 필요가 있다. 그러나 개방 상태의 하반 케이싱(30L)의 형상 데이터 및 상반 케이싱(30U)의 형상 데이터가 있다고 해도 케이싱(30)이 개방 상태로부터 체결 상태가 되고, 하반 케이싱(30L) 및 상반 케이싱(30U)의 형상이 변해 버리면, 정지 부품과 로터(15) 사이의 지름 방향(Dr)의 간격이 변하고 이 간격이 허용 치수의 범위에서 벗어나는 경우가 있다.

발명자는 개방 상태로부터 체결 상태로 함으로써 하반 케이싱(30L) 및 상반 케이싱(30U)의 변형에 동반되는 정지 부품과 로터(15) 사이의 지름 방향(Dr)의 간격의 변화는, 하측 플랜지 면(33L) 및 상측 플랜지 면(33U)의 변형에 대하여 지배적인 것을 발견했다. 그래서, 발명자는 개방 상태로부터 체결 상태로 한 것에 의한 하측 플랜지 면(33L)의 변위량 및 상측 플랜지 면(33U)의 변위량을 추정하고, 이 변위량에 의거하여 체결 상태 때의 정지 부품과 로터(15) 사이의 지름 방향(Dr)의 간격을 파악하도록 하였다.

이하, 하측 플랜지 면(33L)의 변위량 및 상측 플랜지 면(33U)의 변위량을 추정하는 플랜지 변위량 추정 장치 및 플랜지 변위량 추정 방법에 대하여 설명한다.

「플랜지 변위량 추정 장치의 실시형태」

본 실시형태에 있어서의 플랜지 변위량 추정 장치에 대하여 도 6을 참조하여 설명한다.

플랜지 변위량 추정 장치(50)는 컴퓨터이다. 이 플랜지 변위량 추정 장치(50)는, 각종 연산을 하는 CPU(Central Processing Unit)(60)와, CPU(60)의 작업 영역 등이 되는 메모리(57)와, 하드디스크 드라이브 장치 등의 보조 기억 장치(58)와, 키보드나 마우스 등의 수동 입력 장치(입력 장치)(51)와, 표시 장치(출력 장치)(52)와, 수동 입력 장치(51) 및 표시 장치(52)의 입출력 인터페이스(53)와, 삼차원 레이저 계측기 등의 삼차원 형상 측정 장치(69)의 사이에서 데이터의 송수신을 위한 장치 인터페이스(입력 장치)(54)와, 네트워크(N)를 통해서 외부와 통신하기 위한 통신 인터페이스(입출력 장치)(55)와, 비일시적인 기억 매체의 일종인 디스크형 기억 매체(D)에 대하여 데이터의 기억 처리나 재생 처리를 하는 기억·재생 장치(입출력 장치)(56)를 구비하고 있다.

보조 기억 장치(58)에는 플랜지 변위량 추정 프로그램(58p)이나, 증기 터빈(10)을 구성하는 복수의 부품 마다의 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 미리 격납되어 있다. 이 기준 삼차원 형상 데이터(58d)는 삼차원 설계 데이터여도 되고, 예를 들어 증기 터빈(10)을 공장에서 출하하기 전에 실측으로 얻은 삼차원 데이터여도 된다. 즉, 이 기준 삼차원 형상 데이터(58d)는 정기 검사 전의 운전보다도 먼저 얻어진 삼차원 데이터이면 된다. 기준 삼차원 형상 데이터(58d)로부터는 복수의 부품 마다의 각 위치에 있어서의 삼차원 좌표 데이터를 얻을 수 있다. 플랜지 변위량 추정 프로그램(58p)은 예를 들어, 기억·재생 장치(56)를 통하여 비일시적 기억 매체의 일종인 디스크형 기억 매체(D)로부터 보조 기억 장치(58)에 로드된다. 한편, 이 플랜지 변위량 추정 프로그램(58p)은, 통신 인터페이스(55)를 통해서 외부의 장치로부터 보조 기억 장치(58)에 로드되어도 된다.

CPU(60)는 기능적으로 실측 좌표 접수부(61)와, 유효 좌표 파악부(62)와, 좌표 변경부(63)와, 변위량 연산부(64)를 가진다. 유효 좌표 파악부(62)는 1차 처리부(62a)와 2차 처리부(62b)를 가진다. 이들 각 기능부(61∼64)는 모두 CPU(60)가 보조 기억 장치(58)에 격납되어 있는 플랜지 변위량 추정 프로그램(58p)을 실행함으로써 기능한다. 이들 각 기능부(61∼64)에 있어서의 동작에 대하여는 후술한다.

「플랜지 변위량 추정 방법의 실시형태」

본 실시형태에 있어서의 플랜지 변위량 추정 방법에 대하여 도 7에 나타내는 플로우 차트에 따라서 설명한다. 한편, 이 플랜지 변위량 추정 방법은 전술한 플랜지 변위량 추정 장치에 의해 실행된다.

증기 터빈(10)은 점검 등을 할 때마다 분해, 조립이 실시된다. 증기 터빈(10)은, 분해가 완료한 시점에서는 도 4에 나타낸 바와 같이, 상반 케이싱(30U)이 하반 케이싱(30L)으로부터 분리된다. 이 결과, 케이싱(30)은 상반 케이싱(30U)과 하반 케이싱(30L)이 볼트(39)에 의해 체결되어 있지 않은 개방 상태가 된다. 나아가 로터(15), 복수의 다이어프램(20), 제1 축봉 장치(13a) 및 제2 축봉 장치(13b)는 케이싱(30)으로부터 분리되어 이 케이싱(30) 밖에 배치된다. 한편, 증기 터빈(10)의 분해가 완료한 시점에 하반 케이싱(30L)이 가대(11)로부터 분리되어 있어도 되지만, 여기에서는 하반 케이싱(30L)이 가대(11)에 지지되어 있는 것으로 한다.

작업자는 이상과 같이 증기 터빈(10)을 분해하고 케이싱(30)이 개방 상태가 되면, 삼차원 레이저 계측기 등의 삼차원 형상 측정 장치(69)를 이용하여, 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 삼차원 좌표값 및 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 삼차원 좌표값을 측정한다. 그리고, 작업자는 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 삼차원 좌표값 및 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 삼차원 좌표값을 실측 삼차원 좌표 데이터로서, 삼차원 형상 측정 장치(69)로부터 플랜지 변위량 추정 장치(50)에 전송시킨다. 플랜지 변위량 추정 장치(50)의 실측 좌표 접수부(61)는 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수한다(실측 좌표 접수 공정 (S1)).

본 실시형태에 있어서의 삼차원 좌표 데이터는 수평 방향으로 연장되는 축선 방향(Dy)의 위치를 나타내는 좌표값과, 축선 방향(Dy)과 수직인 상하 방향(Dz)의 위치를 나타내는 좌표값과, 수평 방향에서 축선 방향(Dy)과 수직인 가로 방향(Dx)의 위치를 나타내는 좌표값을 포함한다.

실측 좌표 접수부(61)가 복수의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하면 플랜지 변위량 추정 장치(50)의 유효 좌표 파악부(62)는 복수의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 도 8에 나타낸 바와 같이, 복수의 하측 대상 위치(71L)와, 하측 제1 위치(72La)와, 하측 제2 위치(72Lb)와, 복수의 상측 대상 위치(71U)와, 상측 제1 위치(72Ua)와, 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다(유효 좌표 파악 공정 (S2)). 여기에서 유효 삼차원 좌표 데이터란, 접수한 복수의 실측 삼차원 좌표 데이터를 기초로 산출된, 가상 상의 면도 포함시킨 하측 플랜지 면(33L) 및 상측 플랜지 면(33U)의 면 상의 점의 삼차원 좌표 데이터이다. 이 데이터는 개방 상태에서 체결 상태로 한 것에 의한 하측 플랜지 면(33L)의 변위량 및 상측 플랜지 면(33U)의 변위량을 추정하기 위해 필요한 데이터이다. 이 유효 삼차원 좌표 데이터의 파악 방법에 대하여는 이후에 상세하게 설명한다.

여기에서, 하측 제1 위치(72La)는 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 가상 면 중에서 제1 피지지부(35a)의 제1 대표 위치(74a)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 위치이다. 제1 대표 위치(74a)는 제1 피지지부(35a) 중에서 가장 큰 하중이 걸리는 위치이다. 하측 제2 위치(72Lb)는 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 가상 면 중에서 제2 피지지부(35b)의 제2 대표 위치(74b)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 위치이다. 제2 대표 위치(74b)는 제2 피지지부(35b) 중에서 가장 큰 하중이 걸리는 위치이다. 복수의 하측 대상 위치(71L)는 하측 플랜지 면(33L) 중에서 케이싱(30)이 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 위치이다. 여기에서, 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 위치란, 하측 플랜지 면(33L) 중에서 축선 방향(Dy)에서 정지 부품 격납부(36)가 형성되어 있는 위치인, 하측 플랜지 면(33L) 중의 내측 가장자리의 위치이다. 상측 제1 위치(72Ua)는 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 면 중에서 제1 피지지부(35a)의 제1 대표 위치(74a)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 위치이다. 상측 제2 위치(72Ub)는 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 면 중에서 제2 피지지부(35b)의 제2 대표 위치(74b)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 위치이다. 복수의 상측 대상 위치(71U)는 상측 플랜지 면(33U) 중에서 케이싱(30)이 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 위치이다. 여기에서, 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 위치란, 상측 플랜지 면(33U) 중에서 축선 방향(Dy)에서 정지 부품 격납부(36)가 형성되어 있는 위치인, 상측 플랜지 면(33U) 중의 내측 가장자리의 위치이다.

복수의 상측 대상 위치(71U)는 모두 복수의 하측 대상 위치(71L) 중의 임의의 하측 대상 위치(71L)와 수평 방향의 위치가 일치하고 있다. 여기에서, 수평 방향의 위치가 일치하다는 것은 축선 방향(Dy)의 위치를 나타내는 좌표값이 같음과 동시에 가로 방향(Dx)의 위치를 나타내는 좌표값도 같다고 하는 의미일 뿐만 아니라, 축선 방향(Dy)의 위치를 나타내는 좌표값이 실질적으로 같음과 동시에 가로 방향(Dx)의 위치를 나타내는 좌표값도 실질적으로 같다고 하는 의미도 포함된다.

개방 상태로부터 체결 상태로 함으로써 하반 케이싱(30L) 및 상반 케이싱(30U)의 변형에 동반하는 정지 부품과 로터(15) 사이의 지름 방향(Dr)의 간격의 변화는 하측 플랜지 면(33L) 중에서 축선 방향(Dy)으로 정지 부품 격납부(36)가 형성되어 있는 위치인 하측 플랜지 면(33L) 중의 내측 가장자리의 위치 변형 및 상측 플랜지 면(33U) 중에서 축선 방향(Dy)으로 정지 부품 격납부(36)가 형성되어 있는 위치인 상측 플랜지 면(33U) 중의 내측 가장자리의 위치 변형에 대하여 지배적이다. 이 때문에, 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치(71L)를 전술한 위치로 하고, 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 상측 대상 위치(71U)를 전술한 위치로 하고 있다.

또한 하측 대상 위치(71L)는 하측 플랜지 면(33L)의 내측 가장자리의 위치가 아니어도 되며, 예를 들어 플랜지 폭 방향으로 하측 플랜지 면(33L)의 내측 가장자리에서 플랜지 폭의 1/3의 위치까지의 범위 내의 어느 쪽의 위치여도 된다. 마찬가지로 상측 대상 위치(71U)는 상측 플랜지 면(33U)의 내측 가장자리의 위치가 아니어도 되며, 예를 들어 플랜지 폭방향으로 상측 플랜지 면(33U)의 내측 가장자리에서 플랜지 폭의 1/3의 위치까지의 범위 내의 어느 쪽의 위치여도 된다.

이어서 플랜지 변위량 추정 장치(50)의 좌표 변경부(63)가 유효 좌표 파악부(62)에서 파악된 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경한다(좌표 변경 공정 S3). 구체적으로 좌표 변경부(63)는 도 9에 나타낸 바와 같이, 하측 제1 위치(72La)의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상측 제1 위치(72Ua)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하고, 하측 제2 위치(72Lb)의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상측 제2 위치(72Ub)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록, 평행 이동 및/또는 회전 이동 등의 좌표 변환에 의해, 유효 좌표 파악부(62)에서 파악된 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경한다.

이어서 플랜지 변위량 추정 장치(50)의 변위량 연산부(64)가 좌표 변경부(63)에 의해 좌표 변경된 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 하측 플랜지(32L)에 있어서의 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량 및 상측 플랜지(32U)에 있어서의 상측 대상 위치(71U)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구하고, 외부로부터의 요구에 따라서 이들 변위량을 출력한다(변위량 연산 공정 S4). 구체적으로 변위량 연산부(64)는 이하의 식에 나타낸 바와 같이, 좌표 변경 후 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터에 포함되는 상하 방향(Dz)의 좌표값(ZL)과, 좌표 변경 후 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터에 포함되는 상하 방향(Dz)의 좌표값(ZU)의 차이의 1/2의 값을, 하측 대상 위치(71L) 및 상측 대상 위치(71U)의 상하 방향(Dz)의 변위량(Zd)으로 한다.

Zd= (ZL-ZU)/2

이상으로 플랜지 변위량 추정 장치(50)에 의한, 하측 플랜지(32L) 하측 대상 위치(71L) 및 상측 대상 위치(71U)의 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 상하 방향(Dz)의 변위량의 추정이 종료한다.

이어서 유효 좌표 파악부(62)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 복수 종류의 파악 방법에 대하여 설명한다.

「제1 파악 방법」

제1 파악 방법에서는 유효 좌표 파악부(62)의 1차 처리부(62a)가 1차 처리 공정(S2a)을 하고, 유효 좌표 파악부(62)의 2차 처리부(62b)가 2차 처리 공정(S2b)을 하고, 하측 제1 위치(72a)와 하측 제2 위치(72Lb)와 복수의 하측 대상 위치(71L)와, 상측 제1 위치(72Ua)와, 상측 제2 위치(72Ub)와, 복수의 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다.

1차 처리 공정(S2a)에서는 도 8에 나타낸 바와 같이, 유효 좌표 파악부(62)의 1차 처리부(62a)가 복수의 하측 대상 위치(71L)와, 하연 제1 위치(73La)와, 하연 제2 위치(73Lb)와, 복수의 상측 대상 위치(71U)와, 상연 제1 위치(73Ua)와, 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다. 여기서 하연 제1 위치(73La)는 하측 플랜지 면(33L) 중에서 제1 피지지부(35a)와의 경계선의 위치이다. 하연 제2 위치(73Lb)는 하측 플랜지 면(33L) 중에서 제2 피지지부(35b)와의 경계선의 위치이다. 상연 제1 위치(73Ua)는 상측 플랜지 면(33U) 중에서 하연 제1 위치(73La)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 위치이다. 상연 제2 위치(73Ub)는 상측 플랜지 면(33U) 중에서 하연 제2 위치(73Lb)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 위치이다.

유효 좌표 파악 공정(S2)에서 제1 파악 방법을 실행하는 경우, 실측 좌표 접수 공정(S1)에서는 복수의 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb), 복수의 상측 대상 위치(71U), 상연 제1 위치(73Ua), 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수한다. 유효 좌표 파악 공정(S2)에서는 1차 처리부(62a)가 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 접수한 복수의 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb), 복수의 상측 대상 위치(71U), 상연 제1 위치(73Ua), 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 그대로 복수의 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb), 복수의 상측 대상 위치(71U), 상연 제1 위치(73Ua), 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터로 한다.

유효 좌표 파악부(62)는 보조 기억 장치(58)에 기억되어 있는 기준 삼차원 형상 데이터(58d)로부터, 이 데이터가 작성된 시점에 있어서의 복수의 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb), 복수의 상측 대상 위치(71U), 상연 제1 위치(73Ua) 및 상연 제2 위치(73Ub)의 삼차원 좌표 데이터를 얻을 수 있다. 그래서 유효 좌표 파악부(62)는 예를 들어, 아래와 같이 하여, 실측 좌표 접수부(61)가 접수한 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 중에서, 하나의 하측 대상 위치(71L)의 실측 삼차원 좌표 데이터를 인식한다. 유효 좌표 파악부(62)는 실측 좌표 접수부(61)가 접수한 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 중에서, 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 하나의 하측 대상 위치(71L)의 삼차원 좌표 데이터와 수평 방향의 좌표값이 일치한 실측 삼차원 좌표 데이터를 추출하고, 이 실측 삼차원 좌표 데이터에서 하나의 하측 대상 위치(71L)의 실측 삼차원 좌표 데이터를 인식한다.

2차 처리 공정(S2b)에서는 유효 좌표 파악부(62)의 2차 처리부(62b)가 복수의 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La) 및 하연 제2 위치(73Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다. 나아가 2차 처리부(62b)는 복수의 상측 대상 위치(71U), 상연 제1 위치(73Ua) 및 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다.

2차 처리부(62b)가 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 경우, 도 10에 나타낸 바와 같이, 복수의 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La) 및 하연 제2 위치(73Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 하측 플랜지 면(33L)의 면 형상을 근사적으로 나타내는 2차 함수 등의 고차함수(F)를 구한다. 2차 처리부(62b)는 이 고차함수(F)를 이용하여, 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 하측 제1 위치(72La)의 수평 방향의 좌표값에 대한, 상하 방향(Dz)의 좌표값을 외삽(Extrapolation)에서 의해 구한다. 그리고 2차 처리부(62b)는 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 하측 제1 위치(72La)에 관한 각 방향의 좌표값 중, 상하 방향(Dz)의 좌표값을 먼저 구한 상하 방향(Dz)의 좌표값으로 치환하여 이것을 하측 제1 위치(72La)의 유효 삼차원 좌표 데이터로 한다. 나아가 2차 처리부(62b)는 이 고차함수(F)를 이용하여 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 하측 제2 위치(72Lb)의 수평 방향의 좌표값에 대한 상하 방향(Dz)의 좌표값을 구한다. 그리고 2차 처리부(62b)는 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 하측 제2 위치(72Lb)에 관한 각 방향의 좌표값 중, 상하 방향(Dz)의 좌표값을 앞서 구한 상하 방향(Dz)의 좌표값으로 치환하고, 이것을 하측 제2 위치(72Lb)의 유효 삼차원 좌표 데이터로 한다. 2차 처리부(62b)는 이상과 같이 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구한다.

이상에서는 고차함수(F)로 하측 플랜지 면(33L) 및 상측 플랜지 면(33U)의 면 형상을 근사한다. 그러나 도 11에 나타낸 바와 같이, 1차 함수에서 하측 플랜지 면(33L)의 일부의 면 형상이나 상측 플랜지 면(33U)의 일부의 면 형상을 근사해도 된다. 이 경우 2차 처리부(62b)는 복수의 하측 대상 위치(71L) 중에서 하연 제1 위치(73La)에 가까운 복수의 하측 대상 위치(71L) 및 하연 제1 위치(73La)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 하연 제1 위치(73La) 부근에 있어서의 하측 플랜지 면(33L)의 면 형상을 1차함수(Fa)로 근사한다. 그리고 이 1차함수(Fa)를 이용하여 하측 제1 위치(72La)의 상하 방향(Dz)의 좌표값을 구한다. 나아가 2차 처리부(62b)는 복수의 하측 대상 위치(71L) 중에서 하연 제2 위치(73Lb)에 가까운 복수의 하측 대상 위치(71L) 및 하연 제2 위치(73Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 하연 제2 위치(73Lb) 부근에 있어서의 하측 플랜지 면(33L)의 면 형상을 1차함수(Fb)로 근사한다. 그리고 이 1차함수(Fb)를 이용하여 하측 제2 위치(72Lb)의 상하 방향(Dz)의 좌표값을 구한다.

이상으로, 하측 제1 위치(72La)와, 하측 제2 위치(72Lb)와, 복수의 하측 대상 위치(71L)와, 상측 제1 위치(72Ua)와, 상측 제2 위치(72Ub)와, 복수의 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터가 파악된다.

이상과 같이 제1 파악 방법에서는, 취급하는 삼차원 좌표 데이터의 개수를 적게 할 수 있기 때문에, 작업자가 삼차원 좌표값을 측정할 수고를 경감할 수 있는 데다 컴퓨터에 의한 계산 부하를 경감할 수 있다.

이상에서는 2차 처리부(62b)가 복수의 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La) 및 하연 제2 위치(73Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다. 나아가 2차 처리부(62b)는 복수의 상측 대상 위치(71U), 상연 제1 위치(73Ua) 및 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다. 그러나 2차 처리 공정(S2b)에서 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터 대신에 도 12에 나타낸 바와 같이 복수의 하측 폭 방향 대표 위치(75L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용해도 된다. 또한 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터 대신에 복수의 상측 폭 방향 대표 위치(75U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용해도 된다.

여기서 하측 폭 방향 대표 위치(75L)란 하측 플랜지 면(33L) 중에서 축선 방향(Dy)의 소정 위치이면서 또한 플랜지 폭 방향(Dw)의 중심 위치이다. 또한 상측 폭 방향 대표 위치(75U)란 상측 플랜지 면(33U) 중에서 축선 방향(Dy)의 소정 위치이면서 또한 플랜지 폭 방향(Dw)의 중심 위치이다. 또한 플랜지 폭 방향(Dw)이란 플랜지 면을 따라 플랜지 면의 외연부와 내연부를 연결하는 방향인, 소정 위치부터 플랜지 면의 외연 또는 내연까지의 거리가 가장 짧아지는 방향이다. 또한 여기에서의 하측 플랜지 면(33L) 중의 소정 위치는 하측 대상 위치(71L)이고, 상측 플랜지 면(33U) 중의 소정 위치는 상측 대상 위치(71U)이다.

실측 좌표 접수 공정(S1)에서는 복수의 하측 폭 방향 대표 위치(75L) 및 복수의 상측 폭 방향 대상 위치(75U)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수한다. 유효 좌표 파악 공정(S2)의 1차 처리 공정(S2a)에서는 복수의 하측 폭 방향 대표 위치(75L) 및 복수의 상측 폭 방향 대표 위치(75U)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 그대로 복수의 하측 폭 방향 대표 위치(75L) 및 복수의 상측 폭 방향 대표 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터로 한다. 그리고 2차 처리 공정(S2b)에서 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 상술한 바와 같이 복수의 하측 폭 방향 대표 위치(75L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용한다. 또한 2차 처리 공정(S2b)에서 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 상측 폭 방향 대표 위치(75U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용한다.

하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb) 및 하측 폭 방향 대표 위치(75L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향은, 예를 들어 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb) 및 하측 플랜지 면(33L) 중의 내측 가장자리의 위치에 있어서의 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향이나, 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb) 및 하측 플랜지 면(33L) 중의 외측 가장자리의 위치에 있어서의 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향보다도, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)의 삼차원 좌표 데이터를 정확하게 반영한다. 이 때문에 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)의 삼차원 좌표 데이터의 추정 정밀도를 높이기 위해서는 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb) 및 하측 폭 방향 대표 위치(75L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)를 추정하는 것이 바람직하다.

또한 상연 제1 위치(73Ua), 상연 제2 위치(73Ub) 및 상측 폭 방향 대표 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향은, 예를 들어 상연 제1 위치(73Ua), 상기 상연 제2 위치(73Ub) 및 플랜지 면(33U) 중의 내측 가장자리의 위치에 있어서의 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향이나, 상연 제1 위치(73Ua), 상연 제2 위치(73Ub) 및 상측 플랜지 면(33U) 중의 외측 가장자리의 위치에 있어서의 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향보다도, 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)의 삼차원 좌표 데이터를 정확하게 반영한다. 이 때문에 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 삼차원 좌표 데이터의 추정 정밀도를 높이기 위해서는 상연 제1 위치(73Ua), 상연 제2 위치(73Ub) 및 상측 폭 방향 대표 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)를 추정하는 것이 바람직하다.

「제2 파악 방법」

제2 파악 방법, 나아가 후술하는 제3 파악 방법 및 제4 파악 방법에서도, 제1 파악 방법과 같이 유효 좌표 파악부(62)의 1차 처리부(62a)가 1차 처리 공정(S2a)을 하고, 유효 좌표 파악부(62)의 2차 처리부(62b)가 2차 처리 공정(S2b)을 한다. 제2 파악 방법, 제3 파악 방법 및 제4 파악 방법에 있어서의 2차 처리 공정(S2b)은 제1 파악 방법에 있어서의 2차 처리 공정(S2b)과 거의 동일한 처리를 한다. 그래서 아래에서는 1차 처리 공정(S2a)에 대하여 주로 설명한다.

유효 좌표 파악 공정(S2)에서 제2 파악 방법을 실행하는 경우, 실측 좌표 접수 공정(S1)에서는 도 13에 나타내는 이하의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수한다.

a. 복수의 하측 대상 위치(71L)마다, 하측 대상 위치(71L)를 지나는 동시에 플랜지 폭 방향으로 연장되는 하측 가상 선(76L) 상의 복수의 위치(78)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터．

b. 복수의 상측 대상 위치(71U)마다, 상측 대상 위치(71U)를 지나는 동시에 플랜지 폭 방향으로 연장되는 상측 가상 선(76U) 상의 복수의 위치(78)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터

c. 하연 제1 위치(73La)를 지나는 동시에 플랜지 폭 방향으로 연장되는 하측 제1 가상 선(77La) 상의 복수의 위치(78)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터

d. 하연 제2 위치(73Lb)를 지나는 동시에 플랜지 폭 방향으로 연장되는 하측 제2 가상 선(77Lb) 상의 복수의 위치(78)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터

e. 상연 제1 위치(73Ua)를 지나는 동시에 플랜지 폭 방향으로 연장되는 상측 제1 가상 선(77Ua) 상의 복수의 위치(78)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터

f. 상연 제2 위치(73Ub)를 지나는 동시에 플랜지 폭 방향으로 연장되는 상측 제2 가상 선(77Ub) 상의 복수의 위치(78)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터

여기에서 플랜지 폭 방향이란, 플랜지 면을 따라 플랜지 면의 외연과 내연을 연결하는 방향이며, 참조 위치부터 플랜지 면의 외연 또는 내연까지의 거리가 가장 짧아지는 방향이다. 한편 참조 위치란, 상측 대상 위치(71U), 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb), 상연 제1 위치(73Ua), 상연 제2 위치(73Ub)의 각각이다. 또한, 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하는 가상 선상의 위치 개수는, 예를 들어 2 이상 10 미만이다.

제2 파악 방법에 있어서의 1차 처리 공정(S2a)에서는 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 접수한 복수의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 유효 좌표 파악부(62)의 1차 처리부(62a)가 복수의 하측 대상 위치(71L)와, 하연 제1 위치(73La)와, 하연 제2 위치(73Lb)와, 복수의 상측 대상 위치(71U)와, 상연 제1 위치(73Ua)와, 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다. 즉, 1차 처리부(62a)는 전술한 모든 참조 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다.

1차 처리부(62a)는 도 14에 나타낸 바와 같이 참조 위치(71)를 지나면서 플랜지 폭 방향(Dw)으로 연장되는 가상 선(76) 상의 복수 위치(78)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 가상 선(76) 상의 복수 위치(78)에 있어서의 상하 방향(Dz)의 좌표값을 근사적으로 나타내는 함수(F2)를 구한다. 1차 처리부(62a)는 이 함수(F2)를 이용하여 참조 위치(71)에 있어서의 상하 방향(Dz)의 좌표값을 외삽에 의해 구한다. 그리고 1차 처리부(62a)는 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 참조 위치(71)에 관한 각 방향의 좌표값 중, 상하 방향(Dz)의 좌표값을 먼저 구한 상하 방향(Dz)의 좌표값으로 치환하고, 이것을 참조 위치(71)의 유효 삼차원 좌표 데이터로 한다.

제2 파악 방법에 있어서의 2차 처리 공정(S2b)에서도, 제1 파악 방법에 있어서의 2차 처리 공정(S2b)과 마찬가지로 유효 좌표 파악부(62)의 2차 처리부(62b)가 복수의 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La) 및 하연 제2 위치(73Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다. 나아가 2차 처리부(62b)는 복수의 상측 대상 위치(71U), 상연 제1 위치(73Ua) 및 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다.

이상으로, 하측 제1 위치(72La)와, 하측 제2 위치(72Lb)와, 복수의 하측 대상 위치(71L)와, 상측 제1 위치(72Ua)와, 상측 제2 위치(72Ub)와, 복수의 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터가 파악된다.

제1 파악 방법에서는 참조 위치의 실측 삼차원 좌표 데이터를 그대로 이 참조 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터로 하고 있다. 이 때문에 참조 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터에는 국소적인 형상 변화의 영향을 받기 쉬운 데다 큰 계측 오차가 포함될 가능성이 있다. 예를 들어 삼차원 형상 측정 장치(69)가 삼차원 레이저 계측기인 경우, 계측 대상과 삼차원 레이저 계측기 사이에 미소한 부유물이 존재하면 이 삼차원 레이저 계측기로 계측된 삼차원 위치 데이터에는 오차가 포함되게 된다. 한편, 제2 파악 방법에서는 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로 부터 참조 위치(71)의 삼차원 좌표 데이터를 추정하고, 이 삼차원 좌표 데이터를 유효 삼차원 좌표 데이터로 하고 있다. 이 때문에 제2 파악 방법에서는 제1 파악 방법보다도 국소적인 형상 변화의 영향을 받기 어려워지는 데다 큰 계측 오차가 포함될 가능성을 억제할 수 있다.

이상에서는 2차 처리부(62b)가, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용한다. 나아가 2차 처리부(62b)는 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용한다. 그러나 제2 파악 방법에서도 제1 파악 방법에서 설명한 바와 같이, 2차 처리 공정(S2b)에서 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터 대신에 복수의 하측 폭 방향 대표 위치(75L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용해도 된다. 또한 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 상측 폭 방향 대표 위치(75U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용해도 된다.

이 경우 하측 폭 방향 대표 위치(75L) 및 상측 폭 방향 대표 위치(75U)의 유효 삼차원 좌표 데이터는 1차 처리부(62a)에 의해 참조 위치(71)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구할 시에 이용한 함수(F2)를 이용하여 구할 수 있다.

「제3 파악 방법」

유효 좌표 파악 공정(S2)에서 제3 파악 방법을 실행하는 경우, 도 15 및 도 16에 나타낸 바와 같이, 실측 좌표 접수 공정(S1)에서는 하측 플랜지 면(33L)의 전체에 걸친 복수의 위치(78)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 상측 플랜지 면(33U)의 전체에 걸친 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수한다. 또한 도 16은 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 플랜지 면(80) 및 참조 위치(81)와, 실제의 플랜지 면의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 점(85)과의 상대 위치 관계를 나타내는 이미지 도이다.

제3 파악 방법에 있어서의 1차 처리 공정(S2a)에서도, 이상의 파악 방법에 있어서의 1차 처리 공정(S2a)과 마찬가지로, 유효 좌표 파악부(62)의 1차 처리부(62a)가 복수의 하측 대상 위치(71L)와, 하연 제1 위치(73La)와, 하연 제2 위치(73Lb)와, 복수의 상측 대상 위치(71U)와, 상연 제1 위치(73Ua)와, 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다. 즉, 1차 처리부(62a)는 전술한 모든 참조 위치(71)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다.

이 1차 처리 공정(S2a)에서는 1차 처리부(62a)가, 먼저 도 17에 나타낸 바와 같이, 플랜지 면의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 복수의 폴리곤 데이터를 작성한다. 폴리곤 데이터란, 다각형의 평면을 규정하는 데이터이다. 1차 처리부(62a)는 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 점(85) 중, 서로 근접하는 복수의 점(85)을 선분으로 잇고, 이들 선분으로 둘러싸인 다각형 평면을 폴리곤(86)으로 한다.

1차 처리부(62a)는 이어서 복수의 폴리곤 데이터 중에서 도 18에 나타낸 바와 같이, 어떤 조건을 채우는 복수의 폴리곤 데이터를 추출한다. 또한 도 18에서는 추출하는 폴리곤 데이터로 특정되는 폴리곤(86a)에 모양을 입히고, 추출하지 않는 폴리곤 데이터로 특정되는 폴리곤(86b)에는 모양을 입히지 않고 있다. 또한, 도 18중 XY평면은 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 플랜지 면(80)과 평행한 면이다. 여기에서 전술한 조건이란, 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 플랜지 면(80)에 대한, 폴리곤 데이터로 특정되는 폴리곤(86)의 경사가 소정의 경사 이내라고 하는 것이다. 1차 처리부(62a)는, 먼저 복수의 폴리곤(86) 마다 폴리곤(86)의 법선(n)을 구한다. 이어서 1차 처리부(62a)는 복수의 폴리곤(86) 마다 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 플랜지 면(80)에 대한 수직선(p)과 폴리곤(86)의 법선(n)의 각도(α)를 구한다. 그리고 1차 처리부(62a)는 복수의 폴리곤 데이터 중에서, 플랜지 면(80)에 대한 수직선(p)과 폴리곤(86)의 법선(n)의 각도(α)가 소정의 각도(소정의 경사) 이내의 복수 폴리곤 데이터를 추출한다.

이 데이터의 추출 처리는 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 접수한 복수의 점(85)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터, 플랜지 면의 가장자리 벽 중의 점이나, 플랜지 면을 관통하는 볼트 구멍(34)의 내주면 중의 점에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 제거하기 위해서 실행된다. 이 때문에 이 추출 처리 후의 점(85)의 개수는 도 19에 나타낸 바와 같이, 그 전의 점(85)의 개수보다 적어진다. 특히, 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 기준 형상 모델 중에서, 플랜지 면(80)에 대하여 경사하고 있는 면(82)에 관해서, 추출 처리 후의 점(85)의 개수는 그 전의 점(85)의 개수보다 현저하게 적어진다.

1차 처리부(62a)는 이어서 도 20에 나타낸 바와 같이, 플랜지 면(80)을 포함하는 가상 삼차원 공간을 복수의 삼차원 블록(83)으로 분할한다. 그리고 1차 처리부(62a)는 복수의 삼차원 블록(83)마다, 대상으로 하는 삼차원 블록(83) 중의 대표점(87)을 정한다. 구체적으로 1차 처리부(62a)는 추출 처리에서 추출된 복수의 폴리곤 데이터로 특정되는 폴리곤(86a)에 포함되는 복수의 점(85) 중, 대상으로 하는 삼차원 블록(83) 중에 포함되는 복수의 점(85)의 중간값이 되는 점을, 대상으로 하는 삼차원 블록(83) 안의 대표점(87)으로 한다.

또한, 대표점(87)은 추출 처리에서 추출된 복수의 폴리곤 데이터로 특정되는 폴리곤(86a)에 포함되는 복수의 점(85)의 로렌츠 분포에 근거하는 로버스트 추정이나 바이 웨이트 추정에 의해 정해도 된다.

1차 처리부(62a)는 복수의 삼차원 블록(83)마다 대표점(87)을 서로의 보완면으로서의 평면 또는 곡면으로 접속하여, 복수의 삼차원 블록(83)마다 대표점(87)을 포함하는 보완면의 면 형상 데이터를 작성한다. 이 면 형상 데이터는 플랜지 면 전체의 형상을 나타내는 함수(F3)로 나타낸다. 유효 좌표 파악부(62)는 함수(F3)로 나타내는 플랜지 면 전체의 면 형상 데이터를 이용하여, 전술한 참조 위치(71)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구한다.

제3 파악 방법에 있어서의 2차 처리 공정(S2b)에서도 제1 파악 방법 및 제2 파악 방법에 있어서의 2차 처리 공정(S2b)과 마찬가지로, 유효 좌표 파악부(62)의 2차 처리부(62b)가 복수의 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La) 및 하연 제2 위치(73Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다. 나아가 2차 처리부(62b)는 복수의 상측 대상 위치(71U), 상연 제1 위치(73Ua) 및 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다.

이상으로, 하측 제1 위치(72La)와, 하측 제2 위치(72Lb)와, 복수의 하측 대상 위치(71L)와, 상측 제1 위치(72Ua)와, 상측 제2 위치(72Ub)와, 복수의 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터가 파악된다.

제3 파악 방법에서는 제2 파악 방법보다도 국소적인 형상 변화의 영향을 받기 어려워지는 데다 큰 계측 오차가 포함될 가능성을 억제할 수 있다. 나아가 제3 파악 방법에서는 장해물 등에 기인한 광범위한 데이터 결손이 있는 경우에도 참조 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악할 수 있다.

이상에서는 2차 처리부(62b)가, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용한다. 나아가 2차 처리부(62b)는 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용한다. 그러나 제3 파악 방법에서도 제1 및 제2 파악 방법에서 설명한 바와 같이, 2차 처리 공정(S2b)에서 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터 대신에 복수의 하측 폭 방향 대표 위치(75L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용해도 된다. 또한 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 상측 폭 방향 대표 위치(75U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용해도 된다.

이 경우 하측 폭 방향 대표 위치(75L) 및 상측 폭 방향 대표 위치(75U)의 유효 삼차원 좌표 데이터는 1차 처리부(62a)에 의해 참조 위치(71)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구할 시에 이용한 함수(F2)를 이용하여 구할 수 있다.

「제4 파악 방법」

유효 좌표 파악 공정(S2)에서 제4 파악 방법을 실행하는 경우, 도 21 및 도 22에 나타낸 바와 같이, 실측 좌표 접수 공정(S1)에서는 플랜지 면 중에서, 전술한 참조 위치(71)를 포함하는 참조 계측 영역(79) 중의 복수 위치(78)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수한다. 또한, 도 22는 기준 삼차원 형상 데이터(58d)가 나타내는 플랜지 면(80)과, 실제의 플랜지 면 중에서 참조 계측 영역(79) 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 점(85)과의 상대 위치 관계를 나타내는 이미지 도이다. 여기에서 참조 계측 영역(79)이란, 도 21에 나타낸 바와 같이 예를 들어, 참조 위치(71)를 기점으로 하여 이 참조 위치(71)에 있어서의 플랜지 폭의 1/20∼1/2의 거리 범위 내 영역이다. 따라서, 이 참조 계측 영역(79)은 하측 플랜지 면(33L) 중에서 하측 대상 위치(71L)를 포함하는 하측 계측 영역이며, 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상측 대상 위치(71U)를 포함하는 상측 계측 영역이기도 한다. 또한 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 접수하는 참조 계측 영역(79) 내의 실측 삼차원 좌표 데이터의 개수는 예를 들어, 10 이상이다. 따라서, 제4 파악 방법의 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 접수하는 참조 계측 영역(79) 내의 실측 삼차원 좌표 데이터의 개수는 제2 파악 방법의 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 접수하는 가상 선상의 위치의 실측 삼차원 좌표 데이터의 개수보다도 많다.

제4 파악 방법에 있어서의 1차 처리 공정(S2a)에서도, 이상의 파악 방법에 있어서의 1차 처리 공정(S2a)과 마찬가지로, 유효 좌표 파악부(62)의 1차 처리부(62a)가 복수의 하측 대상 위치(71L)와, 하연 제1 위치(73La)와, 하연 제2 위치(73Lb)와, 복수의 상측 대상 위치(71U)와, 상연 제1 위치(73Ua)와, 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다. 즉, 1차 처리부(62a)는 전술한 모든 참조 위치(71)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다.

이 1차 처리 공정(S2a)에서는 1차 처리부(62a)가 먼저, 제3 파악 방법에 있어서의 1차 처리 공정(S2a)과 마찬가지로, 복수의 위치(78)에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 복수의 폴리곤 데이터를 작성하고, 복수의 폴리곤 데이터 중에서 어떤 조건을 채우는 복수의 폴리곤 데이터를 추출한다. 이 결과, 이 추출 처리 후의 실측 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 점(85)의 개수는 도 23에 나타낸 바와 같이, 그 전의 점(85)의 개수보다 적어진다.

1차 처리부(62a)는 이어서 제3 파악 방법에 있어서의 1차 처리 공정(S2a)과 마찬가지로 도 24에 나타낸 바와 같이, 플랜지 면(80)을 포함하는 가상 삼차원 공간을 복수의 삼차원 블록(83)으로 분할한다. 그리고 1차 처리부(62a)가 복수의 삼차원 블록(83)마다, 대상으로 하는 삼차원 블록(83) 중의 대표점(87)을 정한다.

1차 처리부(62a)는 복수의 삼차원 블록(83)마다 대표점(87)을 서로 보완면으로서의 평면 또는 곡면으로 접속하여, 복수의 삼차원 블록(83)마다 대표점(87)을 포함하는 보완면의 면 형상 데이터를 작성한다. 이 면 형상 데이터는 플랜지 면 중의 참조 계측 영역(79) 내의 형상을 나타내는 함수(F4)로 나타낸다. 1차 처리부(62a)는 함수(F4)로 나타내는 면 형상 데이터를 이용하여, 전술한 참조 위치(71)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구한다.

제4 파악 방법에 있어서의 2차 처리 공정(S2b)에서도, 제1 파악 방법 및 제2 파악 방법에 있어서의 2차 처리 공정(S2b)과 마찬가지로 유효 좌표 파악부(62)의 2차 처리부(62b)가 복수의 하측 대상 위치(71L), 하연 제1 위치(73La) 및 하연 제2 위치(73Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다. 나아가 2차 처리부(62b)는 복수의 상측 대상 위치(71U), 상연 제1 위치(73Ua) 및 상연 제2 위치(73Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다.

이상으로, 하측 제1 위치(72La)와, 하측 제2 위치(72Lb)와, 복수의 하측 대상 위치(71L)와, 상측 제1 위치(72Ua)와, 상측 제2 위치(72Ub)와, 복수의 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터가 파악된다.

제4 파악 방법에서는 제2 파악 방법보다도 국소적인 형상 변화의 영향을 받기 어려워지는 데다 큰 계측 오차가 포함될 가능성을 억제할 수 있다. 나아가 제4 파악 방법에서는 장해물 등에 기인한 광범위한 데이터 결손이 있는 경우에도 참조 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악할 수 있다.

이상에서는, 플랜지 면 중의 참조 계측 영역(79) 중의 면 형상 데이터를 이용하여 전술한 참조 위치(71)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구한다. 그러나 면 형상 데이터를 작성하지 않고 복수의 삼차원 블록 중, 참조 위치(71)를 포함하는 삼차원 블록(83)의 대표점(87)에 있어서의 상하 방향(Dz)의 좌표값을, 참조 위치(71)에 있어서의 상하 방향(Dz)의 좌표값으로 하여도 된다.

이상에서는 2차 처리부(62b)가, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용한다. 나아가 2차 처리부(62b)는 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용한다. 그러나 제4 파악 방법에서도 이상의 각 파악 방법에서 설명한 바와 같이, 2차 처리 공정(S2b)에서 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터 대신에 복수의 하측 폭 방향 대표 위치(75L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용해도 된다. 또한 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시, 복수의 상측 폭 방향 대표 위치(75U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용해도 된다.

이 경우 하측 폭 방향 대표 위치(75L) 및 상측 폭 방향 대표 위치(75U)의 유효 삼차원 좌표 데이터는 1차 처리부(62a)에 의해 참조 위치(71)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구할 시에 이용한 함수(F4)를 이용하여 구할 수 있다.

이상과 같이, 본 실시형태에서는 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 상측 대상 위치(71U)의 상하 방향(Dz)의 위치와, 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 위치 차이에 의거하여, 케이싱(30)이 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때 상측 대상 위치(71U) 및 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구한다. 이 때문에, 본 실시형태에서는 하반 케이싱(30L) 및 상반 케이싱(30U)의 유한 요소 모델을 이용하여, 하반 케이싱(30L) 및 상반 케이싱(30U)의 변형을 시뮬레이션 하지 않아도, 상측 대상 위치(71U) 및 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구할 수 있다. 따라서, 본 실시형태에서는 변위량을 구할 시의 계산 부하를 억제할 수 있다. 이 때문에 본 실시형태에서는, 플랜지 면의 추정 준비 기간을 단축함과 동시에 그 추정 비용을 억제할 수 있다.

본 실시형태에서 상측 대상 위치(71U) 및 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구할 시에는 개방 상태일 때의 이하 4점의 삼차원 좌표 데이터가 필요하다.

a) 제1 피지지부(35a) 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치(74a)와 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치(72La)

b) 제2 피지지부(35b) 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 대표 위치(74b)와 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치(72Lb)

c) 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 면 중에서 상기 제1 대표 위치(74a)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치(72Ua)

d) 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 면 중에서 상기 제2 대표 위치(74b)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치(72Ub)

본 실시형태에서는 이상의 4점의 유효 삼차원 좌표 데이터를 1차 처리 공정(S2a) 및 2차 처리 공정(S2b)을 실행함으로써 추정하고 있다. 따라서, 본 실시형태에서는 가령 제1 피지지부(35a)의 상면(35ap) 및 제2 피지지부(35b)의 상면(35bp)이 하측 플랜지 면(33L)에 대하여 상하 방향(Dz)의 위치가 어긋나 있고 하측 제1 위치(72La), 하측 제2 위치(72Lb), 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)의 실측 삼차원 좌표 데이터를 취득할 수 없는 경우에도 상측 대상 위치(71U) 및 상기 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구할 수 있다.

이상, 본 개시의 실시형태에 대하여 상세히 서술하였으나, 본 개시는 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 특허청구범위에 규정된 내용 및 그 균등물로부터 도출되는 본 발명의 개념적인 사상과 취지를 이탈하지 않는 범위에 있어서, 각종 추가, 변경, 치환, 부분적 삭제 등이 가능하다. 데이터를 추정시키는 공정이 포함된다.

「덧붙임」

이상의 실시형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은 예를 들어 다음과 같이 파악된다.

(1) 제1 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은 이하의 회전 기계에 적용된다.

이 회전 기계는 수평 방향으로 연장되는 축선(Ar)을 중심으로 하여 회전 가능한 로터(15)와, 상기 로터(15)의 외주를 덮는 케이싱(30)과, 상기 케이싱(30) 안에 배치되어, 상기 케이싱(30)에 설치되어 있는 정지 부품과, 상기 케이싱(30)을 하측으로부터 지지하는 가대(11)를 구비한다. 상기 케이싱(30)은 상측의 상반 케이싱(30U)과, 하측의 하반 케이싱(30L)과, 상기 상반 케이싱(30U)과 상기 하반 케이싱(30L)을 체결하는 복수의 볼트(39)를 가진다. 상기 상반 케이싱(30U)은 하측을 향하는 상측 플랜지 면(33U)이 형성되어 있는 상측 플랜지(32U)를 가진다. 상기 하반 케이싱(30L)은 상측을 향하여 상기 상측 플랜지 면(33U)과 상하 방향(Dz)에서 대향하는 하측 플랜지 면(33L)이 형성되어 있는 하측 플랜지(32L)와, 상기 하측 플랜지(32L)에 연속되고, 상기 가대(11)에 의해 하측으로부터 지지되어, 상기 축선(Ar)이 연장하는 축선 방향(Dy)으로 서로 떨어진 제1 피지지부(35a) 및 제2 피지지부(35b)를 가진다. 상기 상측 플랜지(32U) 및 상기 하측 플랜지(32L)에는 상하 방향(Dz)으로 관통하고, 상기 복수의 볼트(39)의 각각이 삽입 통과 가능한 볼트 구멍(34)이 형성되어 있다. 상기 제1 피지지부(35a)의 상면(35ap) 및 상기 제2 피지지부(35b)의 상면(35bp)은 상기 하측 플랜지 면(33L)에 대하여 상하 방향(Dz)의 위치가 어긋나 있다.

이상의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법에서는,

상기 회전 기계를 분해한 후에, 상기 상반 케이싱(30U)과 하반 케이싱(30U)이 상기 복수의 볼트(39)로 체결되어 있지 않은 개방 상태에 있어서의, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하는 실측 좌표 접수 공정(S1)과, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 제1 피지지부(35a) 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치(74a)와 상기 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치(72La)와, 상기 제2 피지지부(35b) 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 대표 위치(74b)와 상기 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치(72Lb)와, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서, 상기 개방 상태로부터 상기 상반 케이싱(30U)과 상기 하반 케이싱(30L)이 상기 복수의 볼트(39)로 체결된 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제1 대표 위치(74a)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치(72Ua)와, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제2 대표 위치(74b)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치(72Ub)와, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상기 하측 대상 위치(71L)와 수평 방향의 위치가 일치한 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 유효 좌표 파악 공정(S2)과, 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)에서 파악한 상기 하측 제1 위치(72La)의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제1 위치(72Ua)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하고, 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)에서 파악한 상기 하측 제2 위치(72Lb)의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제2 위치(72Ub)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록, 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)에서 파악한 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경하는 좌표 변경 공정(S3)과, 상기 좌표 변경 공정(S3) 후의 상기 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향(Dz)의 위치와 상기 좌표 변경 공정(S3) 후의 상기 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향(Dz)의 위치와의 차이에 의거하여, 상기 개방 상태로부터 상기 체결 상태가 되었을 때의 상기 상측 대상 위치(71U) 및 상기 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구하는 변위량 연산 공정(S4)을 실행한다. 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)은, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상기 제1 피지지부(35a)와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제1 위치(73La)와, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상기 제2 피지지부(35b)와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제2 위치(73Lb)와, 상기 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상기 하연 제1 위치(73La)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제1 위치(73Ua)와, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상기 하연 제2 위치(73Lb)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제2 위치(73Ub)와, 상기 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 1차 처리 공정(S2a)과, 상기 하연 제1 위치(73La) 및 상기 하연 제2 위치(73Lb)를 포함하는 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치(72La) 및 상기 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하고, 상기 상연 제1 위치(73Ua) 및 상기 상연 제2 위치(73Ub)를 포함하는 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치(72Ua) 및 상기 상측 제2 위치(72Ub) 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 2차 처리 공정(S2b)을 포함한다.

본 형태에서는 상측 플랜지 면(33U) 중에서 케이싱(30)이 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 상측 대상 위치(71U)의 상하 방향(Dz)의 위치와, 하측 플랜지 면(33L) 중에서 케이싱(30)이 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 위치 차이에 의거하여, 케이싱(30)이 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때 상측 대상 위치(71U) 및 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구한다. 이 때문에, 본 형태에서는 하반 케이싱(30L) 및 상반 케이싱(30U)의 유한 요소 모델을 이용하여, 하반 케이싱(30L) 및 상반 케이싱(30U)의 변형을 시뮬레이션 하지 않아도, 상측 대상 위치(71U) 및 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구할 수 있다. 따라서, 본 형태에서는 변위량을 구할 때의 계산 부하를 억제할 수 있다.

본 형태에서 상측 대상 위치(71U) 및 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구할 시에는 개방 상태일 때의 이하 4점의 삼차원 좌표 데이터가 필요하다.

a) 제1 피지지부(35a) 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치(74a)와 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치(72La)

b) 제2 피지지부(35b) 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 대표 위치(74b)와 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치(72Lb)

c) 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 면 중에서 상기 제1 대표 위치(74a)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치(72Ua)

d) 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 면 중에서 상기 제2 대표 위치(74b)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치(72Ub)

본 형태에서는 이상의 4점의 유효 삼차원 좌표 데이터를 1차 처리 공정(S2a) 및 2차 처리 공정(S2b)을 실행함으로써 추정하고 있다. 따라서 본 형태에서는 가령 제1 피지지부(35a)의 상면(35ap) 및 상기 제2 피지지부(35b)의 상면(35bp)이 하측 플랜지 면(33L)에 대하여 상하 방향(Dz)의 위치가 어긋나 있고 하측 제1 위치(72La), 하측 제2 위치(72Lb), 상측 제1 위치(72Ua), 및 상측 제2 위치(72Ub)의 실측 삼차원 좌표 데이터를 취득할 수 없는 경우에도 상측 대상 위치(71U) 및 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구할 수 있다.

(2) 제2 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은,

상기 제1 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법에 있어서, 상기 1차 처리 공정(S2a)에서는 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수의 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상기 축선 방향(Dy)의 소정 위치이면서 또한 플랜지 폭 방향(Dw)의 중심 위치인 하측 폭 방향 대표 위치(75L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상기 하측 폭 방향 대표 위치(75L)와 수평 방향의 위치와 일치한 상측 폭 방향 대상 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다. 상기 2차 처리 공정(S2b)에서는 상기 하연 제1 위치(73La), 상기 하연 제2 위치(73Lb) 및 상기 하측 폭 방향 대표 위치(75L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치(72La) 및 상기 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치(73Ua) 및 상기 상연 제2 위치(73Ub) 및 상기 상측 폭 방향 대표 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치(72Ua) 및 상기 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다.

하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb) 및 하측 폭 방향 대표 위치(75L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향은 예를 들어 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb) 및 하측 플랜지 면(33L) 중의 내측 가장자리의 위치에 있어서의 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향이나 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb) 및 하측 플랜지 면(33L) 중의 외측 가장자리의 위치에 있어서의 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향보다도, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)의 삼차원 좌표 데이터를 정확하게 반영한다. 그래서 본 형태에서는 하연 제1 위치(73La), 하연 제2 위치(73Lb) 및 하측 폭 방향 대표 위치(75L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)를 추정한다.

또한 상연 제1 위치(73Ua), 상연 제2 위치(73Ub) 및 상측 폭 방향 대표 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향은 예를 들어 상연 제1 위치(73Ua), 상기 상연 제2 위치(73Ub) 및 플랜지 면(33U) 중의 내측 가장자리의 위치에 있어서의 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향이나 상연 제1 위치(73Ua), 상연 제2 위치(73Ub) 및 상측 플랜지 면(33U) 중의 외측 가장자리의 위치에 있어서의 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향보다도, 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)의 삼차원 좌표 데이터를 정확하게 반영한다. 그래서 본 형태에서는 상연 제1 위치(73Ua), 상연 제2 위치(73Ub) 및 상측 폭 방향 대표 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)를 추정한다.

(3) 제3 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은,

상기 제1 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법에 있어서, 상기 2차 처리 공정(S2b)에서는 상기 하연 제1 위치(73La), 상기 하연 제2 위치(73Lb) 및 상기 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치(72La) 및 상기 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치(73Ua) 및 상기 상연 제2 위치(73Ub) 및 상기 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치(72Ua) 및 상기 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다.

본 형태에서는, 변위량 연산 공정(S4)에서 필요한 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다. 나아가 본 형태에서는 변위량 연산 공정(S4)에서 필요한 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다. 이 때문에 본 형태에서는 하측 제1 위치(72La), 하측 제2 위치(72Lb), 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시의 수고를 최소한으로 억제할 수 있다.

(4) 제4 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은,

상기 제1 형태 내지 상기 제3 형태 중 어느 일형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법에 있어서, 상기 변위량 연산 공정(S4)에서는, 상기 차이의 1/2을, 상기 상측 대상 위치(71U)의 상기 변위량 및 상기 하측 대상 위치(71L)의 상기 변위량으로 한다.

(5) 제5 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은,

상기 제1 형태 내지 상기 제4 형태 중 어느 일형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법에 있어서, 상기 하측 대상 위치(71L)는 상기 축선 방향(Dy)으로 상기 정지 부품이 배치되어 있는 위치이면서 동시에 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 내측 가장자리의 위치이다.

회전 기계의 성능 등의 관점에서, 정지 부품과 로터(15) 사이의 지름 방향(Dr)의 간격을 관리할 필요가 있다. 발명자는 케이싱(30)이 개방 상태로부터 체결 상태가 됨으로써 하반 케이싱(30L) 및 상반 케이싱(30U)의 변형에 동반하는 정지 부품과 로터(15) 사이의 지름 방향(Dr)의 간격의 변화는 하측 플랜지 면(33L) 중에서 축선 방향(Dy)으로 정지 부품 격납부(36)가 형성되어 있는 위치인 하측 플랜지 면(33L) 중의 내측 가장자리의 위치 변형 및 상측 플랜지 면(33U) 중에서 축선 방향(Dy)으로 정지 부품 격납부(36)가 형성되어 있는 위치인 상측 플랜지 면(33U) 중의 내측 가장자리의 위치 변형에 대하여 지배적이라는 것을 발견하였다. 따라서, 본 형태에서는 케이싱(30)이 개방 상태로부터 체결 상태가 되었을 때의 정지 부품과 로터(15) 사이의 지름 방향(Dr)의 간격을 고정밀도로 관리할 수 있다.

(6) 제6 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은,

상기 제1 형태로부터 상기 제5 형태 중 임의의 일형태에 있어서의 플랜지 변위량 추정 방법에 있어서, 상기 실측 좌표 접수 공정(S1)에서는 상기 하측 대상 위치(71L) 및 상기 상측 대상 위치(71U)의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수한다. 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)에서는 상기 하측 대상 위치(71L)의 실측 삼차원 좌표 데이터를 그대로 상기 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터로서 파악하고, 상기 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 취득한 상기 상측 대상 위치(71U)의 실측 삼차원 좌표 데이터를 그대로 상기 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터로서 파악한다.

본 형태에서는 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 취득한 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)의 실측 삼차원 좌표 데이터를 그대로 하측 제1 위치(72La) 및 하측 제2 위치(72Lb)의 유효 삼차원 좌표 데이터로서 파악하므로, 계산 부하를 억제할 수 있다.

(7) 제7 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은,

상기 제1 형태로부터 상기 제5 형태 중 임의의 일형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법에 있어서, 상기 실측 좌표 접수 공정(S1)에서는 상기 하측 대상 위치(71L)를 지나는 동시에 플랜지 폭 방향(Dw)으로 연장되는 하측 가상 선(76L) 상의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수함과 함께, 상기 상측 대상 위치(71U)를 지나는 동시에 플랜지 폭 방향(Dw)으로 연장되는 상측 가상 선(76U) 상의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수한다. 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)에서는 상기 하측 가상 선(76L) 상의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터 상기 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구하고, 상기 상측 가상 선(76U) 상의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터 상기 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구한다.

본 형태에서는 하측 가상 선(76L) 상의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구하고, 상측 가상 선(76U) 상의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구한다. 따라서, 본 형태에서는 하측 대상 위치(71L) 및 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터에 관해서, 국소적인 형상 변화의 영향을 받기 어려워지는 데다 큰 계측 오차가 포함될 가능성을 억제할 수 있다.

(8) 제8 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은,

상기 제1 형태로부터 상기 제5 형태 중 임의의 일형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법에 있어서, 상기 실측 좌표 접수 공정(S1)에서는 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상기 하측 대상 위치(71L)를 포함하는 하측 계측 영역 중의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상기 상측 대상 위치(71U)를 포함하는 상측 계측 영역 중의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수한다. 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)에서는 상기 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 접수한 상기 하측 계측 영역 중의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 상기 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구하고, 상기 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 접수한 상기 상측 계측 영역 중의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 상기 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구한다.

본 형태에서는 하측 계측 영역 중의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구하고, 상측 계측 영역 중의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구한다. 따라서, 본 형태에서는 하측 대상 위치(71L) 및 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터에 관해서, 국소적인 형상 변화의 영향을 받기 어려워지는 데다 큰 계측 오차가 포함될 가능성을 억제할 수 있다.

(9) 제9 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법은,

상기 제1 형태 내지 상기 제5 형태의 임의의 일형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법에 있어서, 상기 실측 좌표 접수 공정(S1)에서는 상기 하측 플랜지 면(33L)의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U)의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수한다. 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)에서는 상기 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 접수한 상기 하측 플랜지 면(33L)의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 상기 하측 플랜지 면(33L)전체의 삼차원 형상을 나타내는 하측 플랜지 면(33L)의 형상 데이터를 구함과 함께, 상기 실측 좌표 접수 공정(S1)에서 접수한 상기 상측 플랜지 면(33U)의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 상기 상측 플랜지 면(33U) 전체의 삼차원 형상을 나타내는 상측 플랜지 면(33U)의 형상 데이터를 구한다. 나아가, 상기 하측 플랜지 면(33L)의 형상 데이터를 이용하여 상기 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 형상 데이터를 이용하여 상기 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구한다.

본 형태에서는 하측 플랜지 면(33L)의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구하고, 상측 플랜지 면(33U)의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구한다. 따라서, 본 형태에서는 하측 대상 위치(71L) 및 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터에 관해서, 국소적인 형상 변화의 영향을 받기 어려워지는 데다 큰 계측 오차가 포함될 가능성을 억제할 수 있다. 나아가, 본 형태에서는 또한 장해물 등에 기인한 광범위한 데이터 결손이 있는 경우에도 하측 대상 위치(71L) 및 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악할 수 있다.

이상의 실시형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램은 예를 들어 다음과 같이 파악된다.

(10) 제10 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램은 이하의 회전 기계에 적용된다.

이 회전 기계는 수평 방향으로 연장되는 축선(Ar)을 중심으로 하여 회전 가능한 로터(15)와, 상기 로터(15)의 외주를 덮는 케이싱(30)과, 상기 케이싱(30) 안에 배치되어, 상기 케이싱(30)에 설치되어 있는 정지 부품과, 상기 케이싱(30)을 하측으로부터 지지하는 가대(11)를 구비한다. 상기 케이싱(30)은 상측의 상반 케이싱(30U)과, 하측의 하반 케이싱(30L)과, 상기 상반 케이싱(30U)과 상기 하반 케이싱(30L)을 체결하는 복수의 볼트(39)를 가진다. 상기 상반 케이싱(30U)은 하측을 향하는 상측 플랜지 면(33U)이 형성되어 있는 상측 플랜지(32U)를 가진다. 상기 하반 케이싱(30L)은 상측을 향하고, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 상하 방향(Dz)에서 대향하는 하측 플랜지 면(33L)이 형성되어 있는 하측 플랜지(32L)와, 상기 하측 플랜지(32L)에 연속되고, 상기 가대(11)에 의해 하측으로부터 지지되어, 상기 축선(Ar)이 연장하는 축선 방향(Dy)으로 서로 떨어진 제1 피지지부(35a) 및 제2 피지지부(35b)를 가진다. 상기 상측 플랜지(32U) 및 상기 하측 플랜지(32L)에는 상하 방향(Dz)으로 관통하여, 상기 복수의 볼트(39)의 각각이 삽입 통과 가능한 볼트 구멍(34)이 형성되어 있다. 상기 제1 피지지부(35a)의 상면(35ap) 및 상기 제2 피지지부(35b)의 상면(35bp)은 상기 하측 플랜지 면(33L)에 대하여 상하 방향(Dz)의 위치가 어긋나 있다.

이상의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램은,

상기 회전 기계를 분해한 후에, 상기 상반 케이싱(30U)과 상기 하반 케이싱(30L)이 상기 복수의 볼트(39)로 체결되어 있지 않은 개방 상태에 있어서의, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하는 실측 좌표 접수 공정(S1)과, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 제1 피지지부(35a) 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치(74a)와 상기 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치(72La)와, 상기 제2 피지지부(35b) 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 대표 위치(74b)와 상기 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치(72Lb)와, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서, 상기 개방 상태로부터 상기 상반 케이싱(30U)과 상기 하반 케이싱(30L)이 상기 복수의 볼트(39)로 체결된 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제1 대표 위치(74a)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치(72Ua)와, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제2 대표 위치(74b)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치(72Ub)와, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상기 하측 대상 위치(71L)와 수평 방향의 위치가 일치한 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 유효 좌표 파악 공정(S2)과, 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)에서 파악한 상기 하측 제1 위치(72La)의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제1 위치(72Ua)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하고, 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)에서 파악한 상기 하측 제2 위치(72Lb)의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제2 위치(72Ub)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록, 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)에서 파악한 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경하는 좌표 변경 공정(S3)과, 상기 좌표 변경 공정(S3) 후의 상기 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향(Dz)의 위치와 상기 좌표 변경 공정(S3) 후의 상기 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향(Dz)의 위치 차이에 의거하여, 상기 개방 상태로부터 상기 체결 상태가 되었을 때의 상기 상측 대상 위치(71U) 및 상기 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구하는 변위량 연산 공정(S4)을 컴퓨터로 실행시킨다. 상기 유효 좌표 파악 공정(S2)은, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상기 제1 피지지부(35a)와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제1 위치(73La)와, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상기 제2 피지지부(35b)와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제2 위치(73Lb)와, 상기 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 면 중에서 상기 하연 제1 위치(73La)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제1 위치(73Ua)와, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 면 중에서 상기 하연 제2 위치(73Lb)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제2 위치(73Ub)와, 상기 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 1차 처리 공정(S2a)과, 상기 하연 제1 위치(73La) 및 상기 하연 제2 위치(73Lb)를 포함하는 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치(72La) 및 상기 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하고, 상기 상연 제1 위치(73Ua) 및 상기 상연 제2 위치(73Ub)를 포함하는 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치(72Ua) 및 상기 상측 제2 위치(72Ub) 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 2차 처리 공정(S2b)을 포함한다.

본 형태에서는 이 프로그램을 컴퓨터로 실행시킴으로써, 제1 형태과 마찬가지로 변위량을 구할 때의 계산 부하를 억제할 수 있다. 나아가 본 형태에서는 이 프로그램을 컴퓨터로 실행시킴으로써 제1 형태와 마찬가지로 가령 제1 피지지부(35a)의 상면(35ap) 및 제2 피지지부(35b)의 상면(35bp)이 하측 플랜지 면(33L)에 대하여 상하 방향(Dz)의 위치가 어긋나 있고 하측 제1 위치(72La), 하측 제2 위치(72Lb), 상측 제1 위치(72Ua), 및 상측 제2 위치(72Ub)의 실측 삼차원 좌표 데이터를 취득할 수 없는 경우에도 상측 대상 위치(71U) 및 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구할 수 있다.

(11) 제11 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램은, 상기 제10 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램에 있어서, 상기 1차 처리 공정(S2a)에서는 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상기 축선 방향(Dy)의 소정 위치이면서 또한 플랜지 폭 방향(Dw)의 중심 위치인 하측 폭 방향 대표 위치(75L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상기 하측 폭 방향 대표 위치(75L)와 수평 방향의 위치와 일치한 상측 폭 방향 대상 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다. 상기 2차 처리 공정(S2b)에서는 상기 하연 제1 위치(73La), 상기 하연 제2 위치(73Lb) 및 상기 하측 폭 방향 대표 위치(75L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치(72La) 및 상기 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치(73Ua) 및 상기 상연 제2 위치(73Ub) 및 상기 상측 폭 방향 대표 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치(72Ua) 및 상기 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다.

본 형태에서는 이 프로그램을 컴퓨터로 실행시킴으로써, 제2 형태과 마찬가지로 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)의 유효 삼차원 좌표 데이터의 추정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

(12) 제12 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램은, 상기 제10 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램에 있어서, 상기 2차 처리 공정(S2b)에서는, 상기 하연 제1 위치(73La), 상기 하연 제2 위치(73Lb) 및 상기 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치(72La) 및 상기 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치(73Ua), 상기 상연 제2 위치(73Ub) 및 상기 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치(72Ua) 및 상기 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다.

본 형태에서는 이 프로그램을 컴퓨터로 실행시킴으로써 제3 형태와 마찬가지로 하측 제1 위치(72La), 하측 제2 위치(72Lb), 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시의 수고를 최소한으로 억제할 수 있다.

(13) 제13 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램은, 상기 제10 형태 내지 상기 제12 형태 중 임의의 일형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램에 있어서, 상기 변위량 연산 공정(S4)에서는, 상기 차이의 1/2을, 상기 상측 대상 위치(71U)의 상기 변위량 및 상기 하측 대상 위치(71L)의 상기 변위량으로 한다.

이상의 실시형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치는 예를 들어 다음과 같이 파악된다.

(14) 제14 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치는 이하의 회전 기계에 적용된다.

이 회전 기계는 수평 방향으로 연장되는 축선(Ar)을 중심으로 하여 회전 가능한 로터(15)와, 상기 로터(15)의 외주를 덮는 케이싱(30)과, 상기 케이싱(30) 안에 배치되어, 상기 케이싱(30)에 설치되어 있는 정지 부품과, 상기 케이싱(30)을 하측으로부터 지지하는 가대(11)를 구비한다. 상기 케이싱(30)은 상측의 상반 케이싱(30U)과, 하측의 하반 케이싱(30L)과, 상기 상반 케이싱(30U)과 상기 하반 케이싱(30L)을 체결하는 복수의 볼트(39)를 가진다. 상기 상반 케이싱(30U)은 하측을 향하는 상측 플랜지 면(33U)이 형성되어 있는 상측 플랜지(32U)를 가진다. 상기 하반 케이싱(30L)은 상측을 향하고, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 상하 방향(Dz)에서 대향하는 하측 플랜지 면(33L)이 형성되어 있는 하측 플랜지(32L)와, 상기 하측 플랜지(32L)에 연속되고, 상기 가대(11)에 의해 하측으로부터 지지되어, 상기 축선(Ar)이 연장하는 축선 방향(Dy)으로 서로 떨어진 제1 피지지부(35a) 및 제2 피지지부(35b)를 가진다. 상기 상측 플랜지(32U) 및 상기 하측 플랜지(32L)에는 상하 방향(Dz)으로 관통하여 상기 복수의 볼트(39)의 각각이 삽입 통과 가능한 볼트 구멍(34)이 형성되어 있다. 상기 제1 피지지부(35a)의 상면(35ap) 및 상기 제2 피지지부(35b)의 상면(35bp)은 상기 하측 플랜지 면(33L)에 대하여 상하 방향(Dz)의 위치가 어긋나 있다.

이상의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치(50)는,

상기 회전 기계를 분해한 후에, 상기 상반 케이싱(30U)과 상기 하반 케이싱(30L)이 상기 복수의 볼트(39)로 체결되어 있지 않은 개방 상태에 있어서의, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하는 실측 좌표 접수부(61)와, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 제1 피지지부(35a) 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치(74a)와 상기 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 가상 면 중에 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치(72La)와, 상기 제2 피지지부(35b) 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 대표 위치(74b)와 상기 하측 플랜지 면(33L)과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치(72Lb)와, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서, 상기 개방 상태로부터 상기 상반 케이싱(30U)과 상기 하반 케이싱(30L)이 상기 복수의 볼트(39)로 체결된 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향(Dz)의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제1 대표 위치(74a)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치(72Ua)와, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제2 대표 위치(74b)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치(72Ub)와, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상기 하측 대상 위치(71L)와 수평 방향의 위치가 일치한 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 유효 좌표 파악부(62)와, 상기 유효 좌표 파악부(62)에서 파악한 상기 하측 제1 위치(72La)의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제1 위치(72Ua)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하고, 상기 유효 좌표 파악부(62)에서 파악한 상기 하측 제2 위치(72Ub)의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제2 위치(72Ub)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록, 상기 유효 좌표 파악부(62)에서 파악한 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경하는 좌표 변경부(63)와, 좌표 변경 후의 상기 상측 대상 위치(71U)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향(Dz)의 위치와 좌표 변경 후의 상기 하측 대상 위치(71L)의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향(Dz)의 위치 차이에 의거하여, 상기 개방 상태로부터 상기 체결 상태가 되었을 때의 상기 상측 대상 위치(71U) 및 상기 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구하는 변위량 연산부(64)를 구비한다. 상기 유효 좌표 파악부(62)는 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상기 제1 피지지부(35a)와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제1 위치(73La)와, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상기 제2 피지지부(35b)와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제2 위치(73Lb)와, 상기 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 상기 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 면 중에서 상기 하연 제1 위치(73La)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제1 위치(73Ua)와, 상기 상측 플랜지 면(33U)과 연속되는 면 중에서 상기 하연 제2 위치(73Lb)와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제2 위치(73Ub)와, 상기 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 1차 처리부(62a)와, 상기 하연 제1 위치(73La) 및 상기 하연 제2 위치(73Lb)를 포함하는 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치(72La) 및 상기 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하고, 상기 상연 제1 위치(73Ua) 및 상기 상연 제2 위치(73Ub)를 포함하는 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치(72Ub) 및 상기 상측 제2 위치(72Ub) 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 2차 처리부(62b)를 포함한다.

본 형태에서는 제1 형태과 마찬가지로 변위량을 구할 때의 계산 부하를 억제할 수 있다. 나아가 본 형태에서는 이 프로그램을 컴퓨터로 실행시킴으로써 제1 형태와 마찬가지로 가령 제1 피지지부(35a)의 상면(35ap) 및 제2 피지지부(35b)의 상면(35bp)이 하측 플랜지 면(33L)에 대하여 상하 방향(Dz)의 위치가 어긋나 있고 하측 제1 위치(72La), 하측 제2 위치(72Lb), 상측 제1 위치(72Ua), 및 상측 제2 위치(72Ub)의 실측 삼차원 좌표 데이터를 취득할 수 없는 경우에도 상측 대상 위치(71U) 및 하측 대상 위치(71L)의 상하 방향(Dz)의 변위량을 구할 수 있다.

(15) 제15 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치는,

제14 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치(50)에 있어서, 상기 1차 처리부(62a)는 상기 하측 플랜지 면(33L) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면(33L) 중에서 상기 축선 방향(Dy)의 소정 위치이면서 또한 플랜지 폭 방향(Dw)의 중심 위치인 하측 폭 방향 대표 위치(75L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면(33U) 중에서 상기 하측 폭 방향 대표 위치(75L)와 수평 방향의 위치와 일치한 상측 폭 방향 대상 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악한다. 상기 2차 처리부(62b)는 상기 하연 제1 위치(73La), 상기 하연 제2 위치(73Lb) 및 상기 하측 폭 방향 대표 위치(75L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치(72La) 및 상기 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치(73U) 및 상기 상연 제2 위치(73Ub) 및 상기 상측 폭 방향 대표 위치(75U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치(72Ua) 및 상기 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다.

본 형태에서는 제2 형태과 마찬가지로 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)의 유효 삼차원 좌표 데이터의 추정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

(16) 제16 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치는,

상기 제14 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치(50)에 있어서, 상기 2차 처리부(62b)는 상기 하연 제1 위치(73La), 상기 하연 제2 위치(73Lb) 및 상기 하측 대상 위치(71L)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치(72La) 및 상기 하측 제2 위치(72Lb)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치(73Ua) 및 상기 상연 제2 위치(73Ub) 및 상기 상측 대상 위치(71U)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치(72Ua) 및 상기 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정한다.

본 형태에서는 제3 형태와 마찬가지로 하측 제1 위치(72La), 하측 제2 위치(72Lb), 상측 제1 위치(72Ua) 및 상측 제2 위치(72Ub)에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정할 시의 수고를 최소한으로 억제할 수 있다.

(17) 제17 형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치는,

상기 제14 형태 내지 상기 제16 형태 중 어느 일형태에 있어서의 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치(50)에 있어서, 상기 변위량 연산부(64)는, 상기 차이의 1/2을, 상기 상측 대상 위치(71U)의 상기 변위량 및 상기 하측 대상 위치(71L)의 변위량으로 한다.

본 개시의 일형태에 의하면 계산 부하를 억제하면서도 상반 케이싱 및 하반 케이싱의 플랜지 면의 변위량을 추정할 수 있다. 이 때문에 본 개시의 일형태에서는, 플랜지 면의 추정 준비 기간을 단축함과 동시에 그 추정 비용을 억제할 수 있다. 나아가 본 개시의 일형태에서는 제1 피지지부의 상면 및 제2 피지지부의 상면이 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있고, 하측 제1 위치, 하측 제2 위치, 상측 제1 위치, 및 상측 제2 위치의 실측 삼차원 좌표 데이터를 취득할 수 없는 경우에도 상측 대상 위치 및 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구할 수 있다.

10: 증기 터빈(회전 기계)
11: 가대
12a: 제1 베어링 장치
12b: 제2 베어링 장치
13a: 제1 축봉 장치(정지 부품)
13b: 제2 축봉 장치(정지 부품)
15: 로터
16: 로터 축
17: 동익열
20: 다이어프램(정지 부품)
20L: 하반 다이어프램
20U: 상반 다이어프램
22: 정익
23: 다이어프램 내륜
24: 다이어프램 외륜
25: 실링 장치
30: 케이싱
30L: 하반 케이싱
30U: 상반 케이싱
31L: 하반 케이싱 본체
31U: 상반 케이싱 본체
32L: 하측 플랜지
32U: 상측 플랜지
33L: 하측 플랜지 면
33U: 상측 플랜지 면
34: 볼트 구멍
35a: 제1 피지지부
35ap: 상면
35b: 제2 피지지부
35bp: 상면
36: 정지 부품 격납부
39: 볼트
50: 플랜지 변위량 추정 장치
51: 수동 입력 장치
52: 표시 장치
53: 입출력 인터페이스
54: 장치 인터페이스
55: 통신 인터페이스
56: 기억·재생 장치
57: 메모리
58: 보조 기억장치
58d: 기준 삼차원 형상 데이터
58p: 플랜지 변위량 추정 프로그램
60: CPU
61: 실측 좌표 접수부
62: 유효 좌표 파악부
62a: 1차 처리부
62b: 2차 처리부
63: 좌표 변경부
64: 변위량 연산부
69: 삼차원 형상 측정 장치
71: 참조 위치
71L: 하측 대상 위치
71U: 상측 대상 위치
72La: 하측 제1 위치
72Ua: 상측 제1 위치
72Lb: 하측 제2 위치
72Ub: 상측 제2 위치
73La: 하연 제1 위치
73Ua: 상연 제1 위치
73Lb: 하연 제2 위치
73Ub: 상연 제2 위치
74a: 제1 대표 위치
74b: 제2 대표 위치
75L: 하측 폭 방향 대표 위치
75U: 상측 폭 방향 대표 위치
76: 가상 선
76L: 하측 가상 선
76U: 상측 가상 선
77La: 하측 제1 가상 선
77Ua: 상측 제1 가상 선
77Lb: 하측 제2 가상 선
77Ub: 상측 제2 가상 선
79: 참조 계측 영역
80: 기준 삼차원 형상 데이터가 나타내는 플랜지 면
81: 기준 삼차원 형상 데이터가 나타내는 참조 위치
82: 기준 삼차원 형상 데이터가 나타내는, 플랜지 면에 대하여 경사진 면
83: 삼차원 블록
85: 점
86, 86a, 86b: 폴리곤(다각형 평면)
87: 대표점
Ar: 축선
Dc: 원주 방향
Dr: 지름 방향
Dri: 지름 방향 내측
Dro: 지름 방향 외측
Dx: 가로 방향
Dy: 축선 방향
Dz: 상하 방향
Dw: 플랜지 폭 방향

Claims (17)

1. 수평 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 하여 회전 가능한 로터와,
   상기 로터의 외주를 덮는 케이싱과,
   상기 케이싱 내에 배치되어, 상기 케이싱에 설치되어 있는 정지 부품과,
   상기 케이싱을 하측으로부터 지지하는 가대를 구비하고,
   상기 케이싱은, 상측의 상반 케이싱과, 하측의 하반 케이싱과, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱을 체결하는 복수의 볼트를 가지고,
   상기 상반 케이싱은, 하측을 향하는 상측 플랜지 면이 형성되어 있는 상측 플랜지를 가지고,
   상기 하반 케이싱은, 상측을 향하고, 상기 상측 플랜지 면과 상하 방향으로 대향하는 하측 플랜지 면이 형성되어 있는 하측 플랜지와, 상기 하측 플랜지에 연속되고, 상기 가대에 의해 하측으로부터 지지되어, 상기 축선이 연장하는 축선 방향으로 서로 떨어진 제1 피지지부 및 제2 피지지부를 가지고,
   상기 상측 플랜지 및 상기 하측 플랜지에는, 상하 방향으로 관통하여 상기 복수의 볼트 각각이 삽입 통과 가능한 볼트 구멍이 형성되고,
   상기 제1 피지지부의 상면 및 상기 제2 피지지부의 상면은 상기 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있는
   회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법에 있어서,
   상기 회전 기계를 분해한 후에, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결되어 있지 않은 개방 상태에 있어서의, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하는 실측 좌표 접수 공정과,
   상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 제1 피지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치와, 상기 제2 피지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 개방 상태로부터 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결된 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제1 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제2 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치와, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하측 대상 위치와 수평 방향의 위치가 일치한 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 유효 좌표 파악 공정과,
   상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 상기 하측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하고, 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 상기 하측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록, 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경하는 좌표 변경 공정과,
   상기 좌표 변경 공정 후의 상기 상측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치와 상기 좌표 변경 공정 후의 상기 하측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치 차이에 의거하여, 상기 개방 상태로부터 상기 체결 상태가 되었을 때의 상기 상측 대상 위치 및 상기 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구하는 변위량 연산 공정
   을 실행하고,
   상기 유효 좌표 파악 공정은,
   상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제1 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제1 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제2 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제2 위치와, 상기 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하연 제1 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하연 제2 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제2 위치와, 상기 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 1차 처리 공정과,
   상기 하연 제1 위치 및 상기 하연 제2 위치를 포함하는 상기 하측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하고, 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치를 포함하는 상기 상측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 2차 처리 공정
   을 포함하는
   회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법.
2. 제1항에 있어서,
   상기 1차 처리 공정에서는, 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 축선 방향의 소정 위치이면서 또한 플랜지 폭 방향의 중심 위치인 하측 폭 방향 대표 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하측 폭 방향 대표 위치와 수평 방향의 위치와 일치한 상측 폭 방향 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하고,
   상기 2차 처리 공정에서는, 상기 하연 제1 위치, 하연 제2 위치 및 상기 하측 폭 방향 대표 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치, 상기 상연 제2 위치 및 상기 상측 폭 방향 대표 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는
   회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법.
3. 제1항에 있어서,
   상기 2차 처리 공정에서는, 상기 하연 제1 위치, 상기 하연 제2 위치 및 상기 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치 및 상기 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 변위량 연산 공정에서는, 상기 차이의 1/2을, 상기 상측 대상 위치의 상기 변위량 및 상기 하측 대상 위치의 상기 변위량으로 하는
   회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법.
5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 하측 대상 위치는 상기 축선 방향으로 상기 정지 부품이 배치되어 있는 위치이면서 동시에 상기 하측 플랜지 면 중의 내측 가장자리의 위치인
   회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법.
6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 실측 좌표 접수 공정에서는, 상기 하측 대상 위치 및 상기 상측 대상 위치의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하고,
   상기 유효 좌표 파악 공정에서는, 상기 하측 대상 위치의 실측 삼차원 좌표 데이터를 그대로 상기 하측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터로서 파악하고, 상기 실측 좌표 접수 공정에서 취득한 상기 상측 대상 위치의 실측 삼차원 좌표 데이터를 그대로 상기 상측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터로서 파악하는
   회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법.
7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 실측 좌표 접수 공정에서는, 상기 하측 대상 위치를 지남과 동시에 플랜지 폭 방향으로 연장되는 하측 가상 선상의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수함과 함께, 상기 상측 대상 위치를 지남과 동시에 플랜지 폭 방향으로 연장하는 상측 가상 선 상의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하고,
   상기 유효 좌표 파악 공정에서는, 상기 하측 가상 선 상의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터 상기 하측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구하고, 상기 상측 가상 선 상의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터로부터 상기 상측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구하는
   회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법.
8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 실측 좌표 접수 공정에서는, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 하측 대상 위치를 포함하는 하측 계측 영역 중의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 상측 대상 위치를 포함하는 상측 계측 영역 중의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하고,
   상기 유효 좌표 파악 공정에서는, 상기 실측 좌표 접수 공정에서 접수한 상기 하측 계측 영역 중의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구하고, 상기 실측 좌표 접수 공정에서 접수한 상기 상측 계측 영역 중의 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 상기 상측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구하는
   회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법.
9. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 실측 좌표 접수 공정에서는, 상기 하측 플랜지 면의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수함과 함께, 상기 상측 플랜지 면의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하고,
   상기 유효 좌표 파악 공정에서는,
   상기 실측 좌표 접수 공정에서 접수한 상기 하측 플랜지 면의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 상기 하측 플랜지 면 전체의 삼차원 형상을 나타내는 하측 플랜지 면의 형상 데이터를 구함과 함께, 상기 실측 좌표 접수 공정에서 접수한 상기 상측 플랜지 면의 전체에 걸친 복수의 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여 상기 상측 플랜지 면 전체의 삼차원 형상을 나타내는 상측 플랜지 면의 형상 데이터를 구하고,
   상기 하측 플랜지 면의 형상 데이터를 이용하여 상기 하측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구함과 함께, 상기 상측 플랜지 면의 형상 데이터를 이용하여 상기 상측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터를 구하는 것
   을 포함하는
   회전 기계의 플랜지 변위량 추정 방법.
10. 수평 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 하여 회전 가능한 로터와,
    상기 로터의 외주를 덮는 케이싱과,
    상기 케이싱 내에 배치되어, 상기 케이싱에 설치되어 있는 정지 부품과,
    상기 케이싱을 하측으로부터 지지하는 가대를 구비하고,
    상기 케이싱은 상측의 상반 케이싱과, 하측의 하반 케이싱과, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱을 체결하는 복수의 볼트를 가지고,
    상기 상반 케이싱은, 하측을 향하는 상측 플랜지 면이 형성되어 있는 상측 플랜지를 가지고,
    상기 하반 케이싱은, 상측을 향하고, 상기 상측 플랜지 면과 상하 방향으로 대향하는 하측 플랜지 면이 형성되어 있는 하측 플랜지와, 상기 하측 플랜지에 연속되어, 상기 가대에 의해 하측으로부터 지지되고, 상기 축선이 연장하는 축선 방향으로 서로 떨어진 제1 피지지부 및 제2 피지지부를 가지고,
    상기 상측 플랜지 및 상기 하측 플랜지에는, 상하 방향으로 관통하여 상기 복수의 볼트 각각이 삽입 통과 가능한 볼트 구멍이 형성되고,
    상기 제1 피지지부의 상면 및 제2 피지지부의 상면은 상기 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있는
    회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램에 있어서,
    상기 회전 기계를 분해한 후에, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결되어 있지 않은 개방 상태에 있어서의, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하는 실측 좌표 접수 공정과,
    상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 제1 피지지부 중 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치와, 상기 제2 피지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 피지지부의 제2 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 개방 상태로부터 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결된 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제1 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치까 일치한 상측 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 상에서 상기 제2 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치와, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하측 대상 위치와 수평 방향의 위치가 일치한 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 유효 좌표 파악 공정과,
    상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 상기 하측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하고, 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 상기 하측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록, 상기 유효 좌표 파악 공정에서 파악한 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경하는 좌표 변경 공정과,
    상기 좌표 변경 공정 후의 상기 상측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치와 상기 좌표 변경 공정 후의 상기 하측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치 차이에 의거하여, 상기 개방 상태로부터 상기 체결 상태가 되었을 때의 상기 상측 대상 위치 및 상기 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구하는 변위량 연산 공정을
    컴퓨터로 실행시키고,
    상기 유효 좌표 파악 공정은,
    상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제1 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제1 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제2 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제2 위치와, 상기 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하연 제1 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하연 제2 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제2 위치와, 상기 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 1차 처리 공정과,
    상기 하연 제1 위치 및 상기 하연 제2 위치를 포함하는 상기 하측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하고, 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치를 포함하는 상기 상측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 2차 처리 공정
    을 포함하는
    회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램.
11. 제10항에 있어서,
    상기 1차 처리공정에서는, 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 축선 방향의 소정 위치이면서 또한 플랜지 폭 방향의 중심 위치인 하측 폭 방향 대표 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하측 폭 방향 대표 위치와 수평 방향의 위치와 일치한 상측 폭 방향 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하고,
    상기 2차 처리 공정에서는, 상기 하연 제1 위치, 상기 하연 제2 위치 및 상기 하측 폭 방향 대표 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치 및 상기 상측 폭 방향 대표 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는
    회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램.
12. 제10항에 있어서,
    상기 2차 처리 공정에서는, 상기 하연 제1 위치, 상기 하연 제2 위치 및 상기 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치 및 상기 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램.
13. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변위량 연산 공정에서는, 상기 차이의 1/2을, 상기 상측 대상 위치의 상기 변위량 및 상기 하측 대상 위치의 상기 변위량으로 하는
    회전 기계의 플랜지 변위량 추정 프로그램.
14. 수평 방향으로 연장되는 축선을 중심으로 하여 회전 가능한 로터와,
    상기 로터의 외주를 덮는 케이싱과,
    상기 케이싱 내에 배치되어, 상기 케이싱에 설치되어 있는 정지 부품과,
    상기 케이싱을 하측으로부터 지지하는 가대를 구비하고,
    상기 케이싱은, 상측의 상반 케이싱과, 하측의 하반 케이싱과, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱을 체결하는 복수의 볼트를 가지고,
    상기 상반 케이싱은, 하측을 향하는 상측 플랜지 면이 형성되어 있는 상측 플랜지를 가지고,
    상기 하반 케이싱은, 상측을 향하고, 상기 상측 플랜지 면과 상하 방향으로 대향하는 하측 플랜지 면이 형성되어 있는 하측 플랜지와, 상기 하측 플랜지에 연속되어 상기 가대에 의해 하측으로부터 지지되고, 상기 축선이 연장하는 축선 방향으로 서로 떨어진 제1 피지지부 및 제2 피지지부를 가지고,
    상기 상측 플랜지 및 상기 하측 플랜지에는 상하 방향으로 관통하고, 상기 복수의 볼트 각각이 삽입 통과 가능한 볼트 구멍이 형성되고,
    상기 제1 피지지부의 상면 및 제2 피지지부의 상면은 상기 하측 플랜지 면에 대하여 상하 방향의 위치가 어긋나 있는
    회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치에 있어서,
    상기 회전 기계를 분해한 후에, 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결되어 있지 않은 개방 상태에 있어서의, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터 및 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 실측 삼차원 좌표 데이터를 접수하는 실측 좌표 접수부와,
    상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 제1 피지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제1 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제1 위치와, 상기 제2 피지지부 중의 가장 큰 하중이 걸리는 제2 대표 위치와 상기 하측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 하측 제2 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 개방 상태로부터 상기 상반 케이싱과 상기 하반 케이싱이 상기 복수의 볼트로 체결된 체결 상태가 되었을 때의 상하 방향의 변위량을 얻고 싶은 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제1 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 가상 면 중에서 상기 제2 대표 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상측 제2 위치와, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하측 대상 위치와 수평 방향의 위치가 일치한 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 유효 좌표 파악부와,
    상기 유효 좌표 파악부에서 파악한 상기 하측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제1 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하고, 상기 유효 좌표 파악부에서 파악한 상기 하측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터와 상기 상측 제2 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 일치하도록, 상기 유효 좌표 파악부에서 파악한 유효 삼차원 좌표 데이터를 변경하는 좌표 변경부와,
    좌표 변경 후의 상기 상측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치와 좌표 변경 후의 상기 하측 대상 위치의 유효 삼차원 좌표 데이터가 나타내는 상하 방향의 위치 차이에 의거하여, 상기 개방 상태로부터 상기 체결 상태가 되었을 때의 상기 상측 대상 위치 및 상기 하측 대상 위치의 상하 방향의 변위량을 구하는 변위량 연산부
    를 구비하고,
    상기 유효 좌표 파악부는,
    상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제1 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제1 위치와, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 제2 피지지부와의 경계선의 위치를 나타내는 하연 제2 위치와, 상기 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 면 중에서 상기 하연 제1 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제1 위치와, 상기 상측 플랜지 면과 연속되는 면 중에서 상기 하연 제2 위치와 수평 방향에 있어서의 위치가 일치한 상연 제2 위치와, 상기 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하는 1차 처리부와,
    상기 하연 제1 위치 및 상기 하연 제2 위치를 포함하는 상기 하측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하고, 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치를 포함하는 상기 상측 플랜지 면 중의 복수의 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 2차 처리부
    을 포함하는
    회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치.
15. 제14항에 있어서,
    상기 1차 처리부는, 상기 하측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 하측 플랜지 면 중에서 상기 축선 방향의 소정 위치이면서 또한 플랜지 폭 방향의 중심 위치인 하측 폭 방향 대표 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악함과 함께, 상기 상측 플랜지 면 중의 복수 위치에 있어서의 상기 실측 삼차원 좌표 데이터를 이용하여, 상기 상측 플랜지 면 중에서 상기 하측 폭 방향 대표 위치와 수평 방향의 위치와 일치한 상측 폭 방향 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 파악하고,
    상기 2차 처리부는, 상기 하연 제1 위치, 상기 하연 제2 위치 및 상기 하측 폭 방향 대표 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치 및 상기 상측 폭 방향 대표 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는
    회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치.
16. 제14항에 있어서,
    상기 2차 처리부는, 상기 하연 제1 위치, 상기 하연 제2 위치 및 상기 하측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 하측 제1 위치 및 상기 하측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정함과 함께, 상기 상연 제1 위치 및 상기 상연 제2 위치 및 상기 상측 대상 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터의 변화 경향으로부터, 상기 상측 제1 위치 및 상기 상측 제2 위치에 있어서의 유효 삼차원 좌표 데이터를 추정하는 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치.
17. 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변위량 연산부는, 상기 차이의 1/2을, 상기 상측 대상 위치의 상기 변위량 및 상기 하측 대상 위치의 상기 변위량으로 하는 회전 기계의 플랜지 변위량 추정 장치.