KR20240002077A - metal structure with a magnetic domain wall and a method for generating Skyrmion - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 소자에 적용 가능한 메탈 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 강자성체 안에 존재하는 스커미온(Skyrmion)을 생성하거나, 제어하기 위한 메탈구조물 또는 방법에 관한 것이다.
본 명세서의 실시예에 따른 메탈구조물은, 헤비메탈층; 및 헤비메탈층 상에 배치되고, 자구벽(magnetic domain wall)을 포함하고, 상기 자구벽의 이동에 기반하여 스커미온(Skyrmion)이 생성되는 강자성층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
The present invention relates to a metal structure applicable to semiconductor devices, and more specifically, to a metal structure or method for generating or controlling skyrmions present in a ferromagnetic material.
A metal structure according to an embodiment of the present specification includes a heavy metal layer; and a ferromagnetic layer disposed on the heavy metal layer, including a magnetic domain wall, and generating skyrmions based on movement of the magnetic domain wall.

Description

자구벽이 형성된 메탈구조물 및 스커미온 생성 방법 {metal structure with a magnetic domain wall and a method for generating Skyrmion}Metal structure with a magnetic domain wall and a method for generating Skyrmion {metal structure with a magnetic domain wall and a method for generating Skyrmion}

본 발명은 반도체 소자에 적용 가능한 메탈 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 강자성체 안에 존재하는 스커미온(Skyrmion)을 생성하거나, 제어하기 위한 메탈구조물 또는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a metal structure applicable to semiconductor devices, and more specifically, to a metal structure or method for generating or controlling skyrmions present in a ferromagnetic material.

반도체 집적회로의 고집적화, 고성능화에 따라서 새로운 미세 가공 기술이 지속적으로 개발되고 있다. 하지만 종래 반도체 소자에서는 집적도가 높아짐에 따라 게이트 산화막이 더 이상 절연막의 기능을 하지 않게 되며, 집적도를 높이기 위해 배선의 폭을 줄이는 경우 배선의 합선으로 인해 배선의 단락이 발생하게 된다. 이와 같이 종래의 반도체 소자에서는 전류 밀도의 증가로 인한 구조적 제한이 있으며 집적도를 높이기 위한 한계가 있다.As semiconductor integrated circuits become more highly integrated and perform better, new microfabrication technologies are continuously being developed. However, in conventional semiconductor devices, as the degree of integration increases, the gate oxide film no longer functions as an insulating film, and when the width of the wiring is reduced to increase the degree of integration, a short circuit in the wiring occurs. As such, in conventional semiconductor devices, there are structural limitations due to an increase in current density and there are limits to increasing integration.

더 나아가 소모 전력의 급격한 증대에 따른 열문제, 정보처리 속도의 정체, 제조장비 및 공정비용의 급격한 증가 같은 한계에도 봉착하게 됨으로써, 실리콘 기반의 기존 소자 개념을 탈피한 새로운 개념 및 접근 방법이 시도되고 있다.Furthermore, as limitations such as thermal problems due to rapid increases in power consumption, stagnation in information processing speed, and rapid increases in manufacturing equipment and process costs are encountered, new concepts and approaches that break away from the existing silicon-based device concept are attempted. there is.

일 예로서 스커미온 기반 자기 메모리 소자에 관한 연구를 들 수 있다. One example is research on skyrmion-based magnetic memory devices.

도 1은 스커미온을 이용하여 정보 판독을 수행하는 종래의 기술을 개략적으로 도시하는 도면이다.1 is a diagram schematically showing a conventional technique for performing information reading using skyrmions.

스커미온은 스핀(Spin)이 소용돌이 모양의 나선형으로 배열된 입자 형태의 스핀 구조체이며, 메모리 소자 속에서 펄스 전압의 높은 레벨을 1, 낮은 레벨을 0로 설정한 디지털 부호에 대응시켜 논리 연산을 수행하도록 설계할 수 있다.A skyrmion is a spin structure in the form of particles in which spins are arranged in a vortex-like spiral, and logic operations are performed by corresponding to digital codes in which the high level of the pulse voltage is set to 1 and the low level to 0 in the memory device. It can be designed to do so.

구체적으로 도 1의 a를 참조하면 스커미온(1)이 정보 저장의 기본단위(bit)의 역할을 수행할 수 있으며, 스커미온(1)의 이동을 통해 도 1의 b와 같이 판독기(3)를 지나게 되는 순간 논리 소자 bit 의 값을 1로 판독하여 자기 메모리 소자로서 기능하게 할 수 있다.Specifically, referring to a in FIG. 1, the skyrmion (1) can serve as a basic unit (bit) of information storage, and through the movement of the skyrmion (1), the reader (3) as shown in b in FIG. The moment it passes, the value of the logic element bit can be read as 1 and function as a magnetic memory element.

그러나 스커미온은 비대칭 교환 또는 Dzyaloshinskii-Moriya interaction (DMI) 작용이 강하게 나타나는 일부 물질에서만 생성되며, 이러한 DMI 작용이 있다 하더라도 물질의 물성이나 구조를 제어하지 않고서는 스커미온을 생성하기 위한 기술적인 한계가 있다는 단점이 있다.However, skyrmions are generated only in some materials that exhibit a strong asymmetric exchange or Dzyaloshinskii-Moriya interaction (DMI) effect, and even if this DMI effect exists, there are technical limitations in generating skyrmions without controlling the physical properties or structure of the material. There is a downside to this.

이에 상대적으로 간단한 구조와 그 제조 방법을 제공하고자 한다.Accordingly, we would like to provide a relatively simple structure and manufacturing method.

본 명세서의 실시 예는 상술한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로 스커미온 생성을 위한 자구벽이 형성된 메탈구조물 및 스커미온 생성 방법을 제안하고자 한다.The embodiment of the present specification is proposed to solve the above-mentioned problems and proposes a metal structure with a magnetic domain wall for skyrmion generation and a skyrmion generation method.

상술한 과제를 달성하기 위한 메탈구조물은, 헤비메탈층; 및 헤비메탈층 상에 배치되고, 자구벽(magnetic domain wall)을 포함하고, 상기 자구벽의 이동에 기반하여 스커미온(Skyrmion)이 생성되는 강자성층을 포함하는 것을 특징으로 한다.The metal structure for achieving the above-described problem includes a heavy metal layer; and a ferromagnetic layer disposed on the heavy metal layer, including a magnetic domain wall, and generating skyrmions based on movement of the magnetic domain wall.

상술한 과제를 달성하기 위한 상기 스커미온을 생성하는 방법은, 상기 강자성층에 자구벽을 생성하는 단계; 상기 메탈구조물에 포함된 상기 자구벽을 이동시키는 단계; 및 상기 자구벽의 이동에 기반하여 스커미온을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The method for generating the skyrmion to achieve the above-described problem includes generating a magnetic domain wall in the ferromagnetic layer; moving the magnetic domain wall included in the metal structure; and generating a skyrmion based on the movement of the magnetic domain wall.

본 발명의 실시 예에 따르면 상대적으로 간단한 구조를 이용하여 스커미온을 생성할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, skyrmions can be generated using a relatively simple structure.

본 발명의 또 다른 실시 예에 따르면 스커미온의 생성 개수를 제어할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the number of skyrmions generated can be controlled.

본 발명의 또 다른 실시 예에 따르면 스커미온의 위치를 제어할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the position of the skyrmion can be controlled.

도 1은 스커미온을 이용하여 정보 판독을 수행하는 종래의 기술을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 2는 스커미온 생성을 위한 메탈구조물을 나타내는 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시 예에 따른 스커미온 생성 장치가 메탈구조물에 자구벽을 생성하고, 스커미온을 생성하는 주요 과정을 나타내는 도면이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시 예에 따른 스커미온 생성 장치가 메탈구조물에 펄스 자기장을 인가하여 생성 스커미온의 개수를 제어하는 주요 과정을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 스커미온 생성 장치의 스커미온 생성 방법을 나타내는 순서도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 스커미온 생성 장치가 자구벽을 이동시키고 생성을 제어하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 스커미온 생성 장치의 블록 구성을 나타내는 블록도이다.
1 is a diagram schematically showing a conventional technique for performing information reading using skyrmions.
Figure 2 is a diagram showing a metal structure for skyrmion generation.
Figures 3a and 3b are diagrams showing the main process in which a skyrmion generating device according to an embodiment of the present invention creates a magnetic domain wall in a metal structure and generates skyrmions.
Figures 4a and 4b are diagrams showing the main process in which the skyrmion generation device according to an embodiment of the present invention controls the number of skyrmions generated by applying a pulsed magnetic field to a metal structure.
Figure 5 is a flowchart showing a skyrmion generation method of the skyrmion generation device according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a diagram showing the process by which the skyrmion generation device moves the magnetic domain wall and controls generation according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 is a block diagram showing the block configuration of the skyrmion generation device of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. Since the present invention can be modified in various ways and can have various embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. The effects and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. When describing with reference to the drawings, identical or corresponding components will be assigned the same reference numerals and redundant description thereof will be omitted. .

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, terms such as first and second are used not in a limiting sense but for the purpose of distinguishing one component from another component.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, singular terms include plural terms unless the context clearly dictates otherwise.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, terms such as include or have mean that the features or components described in the specification exist, and do not exclude in advance the possibility of adding one or more other features or components.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, the sizes of components may be exaggerated or reduced for convenience of explanation. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are shown arbitrarily for convenience of explanation, so the present invention is not necessarily limited to what is shown.

하기에서 본 개시를 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 개시의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. In the following description of the present disclosure, if a detailed description of a related known function or configuration is determined to unnecessarily obscure the gist of the present disclosure, the detailed description will be omitted.

도 2는 스커미온 생성을 위한 메탈구조물을를 나타내는 도면이다. Figure 2 is a diagram showing a metal structure for skyrmion generation.

도 2의 스커미온 생성을 위한 메탈구조물은는 헤비메탈층(23)과 강자성층(21)으로 이루어져 있다. The metal structure for generating skyrmions in FIG. 2 consists of a heavy metal layer 23 and a ferromagnetic layer 21.

강자성층(21)은 외부에서 강한 자기장을 걸어주었을 때 그 자기장의 방향으로 강하게 자화된 뒤 외부 자기장이 사라져도 자화가 남아있는 물질로서, 구체적으로 수직 이방성을 가지는 CoFe, CoFeB 등과 같은 합금계 자성체 또는 Co2FeSi, Co2MnSi 등과 같은 호이슬러 합금계 자성체 등이 사용될 수 있다.The ferromagnetic layer 21 is a material that is strongly magnetized in the direction of the magnetic field when a strong magnetic field is applied from the outside and then remains magnetized even when the external magnetic field disappears. Specifically, it is an alloy-based magnetic material such as CoFe, CoFeB, etc., or Co2FeSi with perpendicular anisotropy. Heusler alloy-based magnetic materials such as , Co2MnSi, etc. may be used.

이와 같은 강자성층(21)은 예컨대 스퍼터링, MBE(molecular beam epitaxy), ALD(atomic layer deposition), PLD(pulse laser deposition), 전자 빔 이베퍼레이터(E-beam evaporator) 등과 같은 공정을 통해 단일층(mono_layer) 구조로서 계면(interfacial) Dzyaloshinskii-Moriya interaction (DMI)를 위한 단일층로 이루어지거나 또는 다층 구조로 형성될 수 있다. 또한 계면 DMI를 이용하는 경우일 때, 강자성층(21)은 단일층 구조로서 그 두께가, 예컨대 수Å 내지 수㎚의 범위로 될 수 있고, 그 선폭이, 예컨대 수십㎚ 내지 수㎛의 범위로 될 수 있다.Such a ferromagnetic layer 21 is formed into a single layer through processes such as sputtering, molecular beam epitaxy (MBE), atomic layer deposition (ALD), pulse laser deposition (PLD), and electron beam evaporator. As a (mono_layer) structure, it can be formed as a single layer for interfacial Dzyaloshinskii-Moriya interaction (DMI) or as a multilayer structure. In addition, when using the interface DMI, the ferromagnetic layer 21 has a single-layer structure, and its thickness may range from, for example, several Å to several nm, and its line width may range, for example, from several tens of nm to several μm. You can.

헤비메탈층(23)으로는 예컨대 플래티넘, 탄탈, 이리듐, 탄탈륨, 하프늄, 텅스텐, 팔라듐 중 어느 하나 혹은 둘 이상의 혼합물이 사용될 수 있으며, 예컨대 스퍼터링, MBE, ALD, PLD 전자 빔 이베퍼레이터 등과 같은 공정을 통해 단일층 구조 또는 다층 구조로 형성될 수 있다. 여기에서, 헤비메탈층(23)의 두께는, 예컨대 수㎚ 내지 수십㎚의 범위가 될 수 있으며, 그 선폭은, 예컨대 수십㎚ 내지 수㎛의 범위가 될 수 있다.For the heavy metal layer 23, any one or a mixture of two or more of platinum, tantalum, iridium, tantalum, hafnium, tungsten, and palladium may be used, and processes such as sputtering, MBE, ALD, and PLD electron beam evaporator may be used as the heavy metal layer 23. It can be formed into a single-layer structure or a multi-layer structure. Here, the thickness of the heavy metal layer 23 may range from several nm to several tens of nm, for example, and its line width may range from several tens of nm to several μm, for example.

본 발명의 메탈 구조체는 종래의 DMI 작용이 강하게 나타내는 경우보다 물성의 제약이 적을 수 있으며, 후술하는 바와 같이 자구벽과 자구벽의 이동에 기반하여 스커미온(Skyrmion)이 생성될 수 있다.The metal structure of the present invention may have fewer limitations in physical properties than in the case where the conventional DMI action is strong, and as will be described later, skyrmions can be generated based on the movement of the magnetic domain walls.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시 예에 따른 스커미온 생성 장치가 메탈구조물에 자구벽을 생성하고, 스커미온을 생성하는 주요 과정을 나타내는 도면이다. 이러한 메탈구조물은 강자성층에 자구벽(magnetic domain wall)을 생성할 수 있다. 구체적으로 강자성층에서는 여러 방향의 자화 구역들로 나누어진다. 이와 같은 자화 구역을 자구(magnetic domain)라고 하며, 자구와 자구의 경계를 자구벽(magnetic domain wall)이라고 할 수 있다. Figures 3a and 3b are diagrams showing the main process in which a skyrmion generating device according to an embodiment of the present invention creates a magnetic domain wall in a metal structure and generates skyrmions. These metal structures can create magnetic domain walls in the ferromagnetic layer. Specifically, the ferromagnetic layer is divided into magnetization zones in various directions. This magnetization region is called a magnetic domain, and the boundary between the magnetic domains can be called a magnetic domain wall.

도 3a를 참고하면 메탈구조물은 강자성층 상의 제1 부분(31)에 제1 방향의 자화를 형성하고, 제2 부분(33)에 제2 방향의 자화를 형성할 수 있다. 예를 들면 제1 부분(31)의 제1 방향의 자화의 방향은 up 방향이고, 제2 부분(33)의 제2 방향의 자화의 방향은 down일 수 있다. Referring to FIG. 3A, the metal structure may form magnetization in a first direction in the first part 31 of the ferromagnetic layer and magnetization in the second direction in the second part 33. For example, the direction of magnetization in the first direction of the first part 31 may be up, and the direction of magnetization in the second direction of the second part 33 may be down.

이와 같은 강자성층이 자화를 형성하기 위해 외부 자기장을 인가하는 방식 등을 통해 강자성체에 방향을 달리하는 복수개의 자구를 생성할 수 있다.Such a ferromagnetic layer can generate a plurality of magnetic domains with different directions in the ferromagnetic material by applying an external magnetic field to form magnetization.

이에 따라 제1 부분(31)과 제2 부분(33)을 각각 자구를 형성하게 되며, 자구의 경계로서 자구벽(35)이 생성되게 된다.Accordingly, the first part 31 and the second part 33 each form a magnetic domain, and a magnetic domain wall 35 is created as a boundary of the magnetic domain.

강자성층 상에 자구벽이 형성된 상태에서 특정 방향으로 자기장 또는 전류를 인가하면, 특정 자구의 영역이 확대되어 자구벽(35)이 이동하는 것과 같은 효과가 발생할 수 있다. When a magnetic field or current is applied in a specific direction while a magnetic domain wall is formed on the ferromagnetic layer, an effect such as the area of the specific magnetic domain being expanded and the magnetic domain wall 35 moving may occur.

구체적으로 도 3b를 참고하면 제1 방향 또는 up 방향으로 자기장을 인가하면 제1 부분(31) 자구의 영역이 확장되면서 자구벽(35)이 이동하게 되며, 더 강한 자기장을 인가할수록 자구벽(35)의 이동 속도가 빨라질 수 있다.Specifically, referring to FIG. 3B, when a magnetic field is applied in the first or up direction, the area of the magnetic domain of the first part 31 expands and the magnetic domain wall 35 moves. As a stronger magnetic field is applied, the magnetic domain wall 35 moves. )'s movement speed can become faster.

자구벽(35)이 특정 속도를 넘으면, 워커붕괴현상(walker breakdown)이라는 자구벽 변형 현상이 발생하게 된다. When the magnetic domain wall 35 exceeds a certain speed, a magnetic domain wall deformation phenomenon called walker breakdown occurs.

일반적인 강자성체의 경우 워커붕괴현상이 발생한 이후에는 자구벽의 변형이 발생하고 자구벽 이동 속도가 제한된다. In the case of general ferromagnetic materials, after the Walker collapse phenomenon occurs, the magnetic domain walls are deformed and the speed of magnetic domain wall movement is limited.

하지만 워커붕괴현상이 발생한 이후에 더 강한 자기장을 DMI 작용이 나타날 수 있는 메탈구조물에 인가하게되면 자구벽(35)에서 스커미온(1)이 생성될 수 있다.However, if a stronger magnetic field is applied to a metal structure where DMI action may occur after the Walker collapse phenomenon occurs, skyrmions (1) may be generated in the magnetic domain wall (35).

결과적으로 스커미온(1)은 자구벽(35)이 형성되고, DMI 작용이 나타날 수 있는 메탈구조물에 임계값 이상의 자기장 또는 전류를 인가하여 생성될 수 있다.As a result, the skyrmion 1 is formed by forming a magnetic domain wall 35, and can be generated by applying a magnetic field or current exceeding a threshold value to a metal structure in which DMI action can occur.

메탈구조물에 임계값 이상의 자기장 또는 전류를 인가하면 스커미온(1)을 생성할 수 있는바, 이하에서는 스커미온의 개수 조절 및 제어 방법에 관하여 후술하도록 한다.When a magnetic field or current exceeding a threshold value is applied to a metal structure, skyrmions 1 can be generated. Hereinafter, methods for controlling and controlling the number of skyrmions will be described later.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시 예에 따른 메탈구조물에 펄스 자기장을 인가하여 생성되는 스커미온의 개수를 제어하는 주요 과정을 나타내는 도면이다. 특히 도 4b에서의 자구벽은 메탈구조물 내에서 이동하고 있으나, 자구벽을 중심으로 도시된 것이다. Figures 4a and 4b are diagrams showing the main process of controlling the number of skyrmions generated by applying a pulsed magnetic field to a metal structure according to an embodiment of the present invention. In particular, the magnetic domain wall in Figure 4b is moving within the metal structure, but is shown centered on the magnetic domain wall.

자구벽이 형성되고, DMI 작용이 나타날 수 있는 메탈구조물에 펄스 자기장을 인가하여 생성되는 스커미온의 개수를 제어할 수 있다. 구체적으로 도 4a에 메탈구조물에 펄스 자기장의 최대 값이 임계값 이상인 자기장을 인가하면, 자구벽이 자기장의 방향 및 세기에 따라 이동속도가 달라질 수 있고, 도 4b와 같이 자구벽을 중심으로 스커미온이 생성되거나 생성되지 않을 수 있다. 예컨대 생성된 스커미온을 확인 하고 개수를 제한하는 방식을 이용하여 스커미온의 개수를 제한할 수 있다.The number of skyrmions generated can be controlled by applying a pulsed magnetic field to a metal structure where a magnetic domain wall is formed and DMI action can occur. Specifically, when a magnetic field in which the maximum value of the pulse magnetic field is greater than the threshold value is applied to the metal structure in Figure 4a, the moving speed of the magnetic domain wall may vary depending on the direction and strength of the magnetic field, and skyrmions are formed around the magnetic domain wall as shown in Figure 4b. This may or may not be created. For example, the number of skyrmions can be limited by checking the generated skyrmions and limiting the number.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면 메탈구조물에 펄스 전류의 최대 값이 임계값 이상인 전류를 인가되는 경우, 생성되는 스커미온의 개수를 제어할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, when a current whose maximum value of the pulse current is greater than or equal to a threshold value is applied to the metal structure, the number of skyrmions generated can be controlled.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면 스커미온은 메탈구조물에 임계값 이상의 자기장 또는 임계값 이상의 전류를 인가하여 자구벽을 제1 방향으로 이동시켜 생성되고, 스커미온은 메탈구조물에 임계값 이하의 자기장 또는 임계값 이하의 전류를 인가하여 자구벽을 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 이동시켜 제2 방향으로 이동될 수 있다. 이러한 방법을 통해 메탈구조물의 길이와 무관하게 스커미온의 개수를 제어할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the skyrmion is generated by applying a magnetic field above a threshold or a current above the threshold to the metal structure to move the magnetic domain wall in the first direction, and the skyrmion is generated by applying a magnetic field above the threshold to the metal structure. Alternatively, the magnetic domain wall may be moved in the second direction opposite to the first direction by applying a current below the threshold value. Through this method, the number of skyrmions can be controlled regardless of the length of the metal structure.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면 스커미온은 메탈구조물에 임계값 이상의 일방향 방향의 자기장 또는 임계값 이상의 일방향의 전류를 인가하여 자구벽을 제1 방향으로 이동시켜 생성되고, 스커미온은 메탈구조물에 임계값 이상의 타방향 자기장 또는 임계값 이상의 타방향 전류를 인가하여 자구벽을 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 이동시켜 생성될 수 있다. 이러한 방법을 통해 메탈구조물의 길이와 무관하게 스커미온의 개수를 제어할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the skyrmion is generated by moving the magnetic domain wall in the first direction by applying a unidirectional magnetic field greater than a threshold or a unidirectional current greater than the threshold to the metal structure, and the skyrmion is generated by moving the magnetic domain wall in the first direction. It can be generated by applying a magnetic field in the other direction greater than a threshold or a current in the other direction greater than the threshold to move the magnetic domain wall in a second direction opposite to the first direction. Through this method, the number of skyrmions can be controlled regardless of the length of the metal structure.

도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 스커미온 생성 장치의 스커미온 생성 방법을 나타내는 순서도이다.Figure 5 is a flowchart showing a skyrmion generation method of the skyrmion generation device according to an embodiment of the present invention.

스커미온 생성 장치는 S101 단계에서, 헤비메탈층 및 강자성층을 포함하는 메탈구조물에 포함된 강자성층에 자구벽(magnetic domain wall)을 생성할 수 있다. 스커미온 생성 장치는 S101 단계에서, 강자성층의 제1 부분에 제1 방향의 자화를 형성하고, 강자성층의 제2 부분에 제2 방향의 자화를 형성하여 자구벽을 생성할 수 있다. 예를 들면 스커미온 생성 장치는 강자성층의 제1 부분에 up 방향의 자기장을 인가하거나, 전류를 인가하여 up 방향의 자화를 형성시켜 제1 부분에 up 방향의 자화를 형성할 수 있다. 또한 스커미온 생성 장치는 강자성층의 제2 부분에 down 방향의 자기장을 인가하거나, 전류를 인가하여 down 방향의 자화를 형성시켜 제2 부분에 down 방향의 자화를 형성할 수 있다.The skyrmion generating device may generate a magnetic domain wall in a ferromagnetic layer included in a metal structure including a heavy metal layer and a ferromagnetic layer in step S101. In step S101, the skyrmion generating device may generate a magnetic domain wall by forming magnetization in a first direction in the first part of the ferromagnetic layer and magnetization in the second direction in the second part of the ferromagnetic layer. For example, the skyrmion generating device may apply an up-directed magnetic field to the first part of the ferromagnetic layer, or apply a current to form up-directed magnetization to form up-directed magnetization in the first part. Additionally, the skyrmion generating device may apply a downward-directed magnetic field to the second part of the ferromagnetic layer, or apply a current to form downward-directed magnetization to form downward-directed magnetization in the second part.

스커미온 생성 장치는 S103 단계에서, 메탈구조물에 포함된 자구벽을 이동시킬 수 있다. 구체적으로 스커미온 생성 장치는 자기장 또는 전류를 인가하여, 메탈구조물에 포함된 자구벽을 이동시킬 수 있다. The skyrmion generating device may move the magnetic domain wall included in the metal structure in step S103. Specifically, the skyrmion generating device can apply a magnetic field or current to move the magnetic domain wall included in the metal structure.

스커미온 생성 장치가 메탈구조물에 자기장을 인가하는 경우, 메탈구조물에서의 수직 방향으로 자기장을 인가하여 자구벽을 이동시킬 수 있다.When the skyrmion generating device applies a magnetic field to the metal structure, the magnetic domain wall can be moved by applying the magnetic field in a vertical direction to the metal structure.

스커미온 생성 장치가 메탈구조물에 전류를 인가하는 경우, 메탈구조물에서의 수평 방향으로 전류를 인가하여 자구벽을 이동시킬 수 있다.When the skyrmion generating device applies current to the metal structure, the magnetic domain wall can be moved by applying the current in the horizontal direction of the metal structure.

스커미온 생성 장치는 S105 단계에서, 메탈구조물에 포함된 자구벽의 이동에 기반하여 스커미온을 생성할 수 있다. 예컨대 스커미온 생성 장치는 메탈구조물 내에서의 자구벽의 이동 속도가 임계값 이상이 되도록 하여 스커미온을 생성할 수 있다. 또한 스커미온 생성 장치는 메탈구조물에 임계값 이상의 자기장 또는 임계값 이상의 전류를 인가하고, 자구벽에서 스커미온을 생성할 수 있다.The skyrmion generating device may generate skyrmions based on the movement of the magnetic domain wall included in the metal structure in step S105. For example, the skyrmion generating device can generate skyrmions by ensuring that the moving speed of the magnetic domain wall within the metal structure is greater than or equal to a threshold value. Additionally, the skyrmion generating device can apply a magnetic field above a threshold or a current above a threshold to the metal structure and generate skyrmions at the magnetic domain wall.

본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 스커미온 생성 장치는 S105 단계에서, 스커미온의 생성 개수를 제어할 수 있다. 메탈구조물에 자기장을 펄스 신호로 인가하는 경우, 펄스 신호에 기반하여 스커미온의 생성 개수를 제어할 수 있다. 구체적으로 펄스 신호의 자기장의 최대 세기가 임계값 이상인 경우 스커미온의 생성 개수를 제어할 수 있다. The skyrmion generation device according to another embodiment of the present invention can control the number of skyrmions generated in step S105. When a magnetic field is applied to a metal structure as a pulse signal, the number of skyrmions generated can be controlled based on the pulse signal. Specifically, when the maximum intensity of the magnetic field of the pulse signal is greater than the threshold, the number of skyrmions generated can be controlled.

또한 메탈구조물에 전류를 펄스 신호로 인가하는 경우, 펄스 신호에 기반하여 스커미온의 생성 개수를 제어할 수 있다. 구체적으로 펄스 신호의 전류의 최대 세기가 임계값 이상인 경우 스커미온의 생성 개수를 제어할 수 있다.Additionally, when applying current to a metal structure as a pulse signal, the number of skyrmions generated can be controlled based on the pulse signal. Specifically, when the maximum intensity of the current of the pulse signal is greater than the threshold, the number of skyrmions generated can be controlled.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 스커미온 생성 장치가 자구벽을 이동시키고 생성을 제어하는 과정을 나타내는 도면이다. 도 6은 도 5에서의 S103 또는 S105과 대응될 수 있다.Figure 6 is a diagram showing the process by which the skyrmion generation device moves the magnetic domain wall and controls generation according to an embodiment of the present invention. FIG. 6 may correspond to S103 or S105 in FIG. 5.

스커미온 생성 장치는 S201 단계에서, 헤비메탈층 및 강자성층을 포함하고, 자구벽이 형성된 메탈구조물에 자기장 또는 전류를 인가할 수 있다.In step S201, the skyrmion generating device may apply a magnetic field or current to a metal structure including a heavy metal layer and a ferromagnetic layer and having a magnetic domain wall formed thereon.

스커미온 생성 장치는 S203 단계에서, 자구벽을 제1 방향으로 이동시켜 제1 스커미온을 생성할 수 있다. 구체적으로 스커미온 생성 장치는 메탈구조물 내에서의 자구벽의 제1 방향 이동 속도가 임계값 이상이 되도록 하여 스커미온을 생성할 수 있다. 또한 스커미온 생성 장치는 메탈구조물에 임계값 이상의 자기장 또는 임계값 이상의 전류를 인가하고, 자구벽에서 스커미온을 생성할 수 있다.The skyrmion generating device may generate the first skyrmion by moving the magnetic domain wall in the first direction in step S203. Specifically, the skyrmion generating device may generate skyrmions by ensuring that the moving speed of the magnetic domain wall in the first direction within the metal structure is greater than or equal to a threshold value. Additionally, the skyrmion generating device can apply a magnetic field above a threshold or a current above a threshold to the metal structure and generate skyrmions at the magnetic domain wall.

스커미온 생성 장치는 S205 단계에서, 자구벽을 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동시켜 제1 스커미온을 제2 방향으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로 스커미온 생성 장치는 메탈구조물 내에서의 자구벽의 제2 방향 이동 속도가 임계값 이하가 되도록 하여 S203 단계에서 생성된 제1 스커미온을 제2 방향으로 이동시킬 수 있다. 또한 스커미온 생성 장치는 메탈구조물에 임계값 이하의 자기장 또는 임계값 이하의 전류를 인가하고, 자구벽을 제2 방향으로 이동시킬 수 있다.In step S205, the skyrmion generating device may move the magnetic domain wall in a second direction opposite to the first direction to move the first skyrmion in the second direction. Specifically, the skyrmion generating device may move the first skyrmion generated in step S203 in the second direction by ensuring that the movement speed of the magnetic domain wall in the second direction within the metal structure is below a threshold value. Additionally, the skyrmion generating device may apply a magnetic field below a threshold value or a current below a threshold value to the metal structure and move the magnetic domain wall in the second direction.

스커미온 생성 장치는 S207 단계에서, 제1 방향으로 이동시켜 제2 스커미온을 생성할 수 있다. 구체적으로 스커미온 생성 장치는 메탈구조물 내에서의 자구벽의 제1 방향 이동 속도가 임계값 이상이 되도록 하여 스커미온을 생성할 수 있다. 또한 스커미온 생성 장치는 메탈구조물에 임계값 이상의 자기장 또는 임계값 이상의 전류를 인가하고, 자구벽에서 스커미온을 생성할 수 있다.The skyrmion generating device may generate a second skyrmion by moving in the first direction in step S207. Specifically, the skyrmion generating device may generate skyrmions by ensuring that the moving speed of the magnetic domain wall in the first direction within the metal structure is greater than or equal to a threshold value. Additionally, the skyrmion generating device can apply a magnetic field above a threshold or a current above a threshold to the metal structure and generate skyrmions at the magnetic domain wall.

스커미온 생성 장치는 자구벽을 제1 방향으로 이동시켜 스커미온을 생성하고, 제2 방향으로 이동시켜 스커미온의 이동 방향을 제어하고 생성된 스커미온을 타 메탈구조물로 이동시킬 수 있다. 이후 다시 제1 방향으로 이동시켜 스커미온을 생성하고 일련의 과정을 반복할 수 있다.The skyrmion generating device can generate skyrmions by moving the magnetic domain wall in a first direction, control the movement direction of the skyrmions by moving them in a second direction, and move the generated skyrmions to another metal structure. Afterwards, it can be moved again in the first direction to create a skyrmion and repeat the series of processes.

나아가 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 스커미온 생성 장치는 S205 단계에서, 자구벽을 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동시켜 제2 스커미온을 생성할 수 있다. 구체적으로 스커미온 생성 장치는 메탈구조물 내에서의 자구벽의 제2 방향 이동 속도가 임계값 이상이 되도록 하여 제2 스커미온을 생성할 수 있다. 또한 스커미온 생성 장치는 메탈구조물에 임계값 이상의 자기장 또는 임계값 이상의 전류를 인가하고, 자구벽에서 스커미온을 생성할 수 있다.Furthermore, the skyrmion generating device according to another embodiment of the present invention may generate a second skyrmion by moving the magnetic domain wall in a second direction opposite to the first direction in step S205. Specifically, the skyrmion generating device may generate the second skyrmion by ensuring that the movement speed of the magnetic domain wall in the second direction within the metal structure is greater than or equal to a threshold value. Additionally, the skyrmion generating device can apply a magnetic field above a threshold or a current above a threshold to the metal structure and generate skyrmions at the magnetic domain wall.

도 7은 본 발명의 스커미온 생성 장치의 블록 구성을 나타내는 블록도이다. 스커미온 생성 장치 (700)는 프로세서(710), 스커미온 생성부(720)를 포함하는 것으로 도시하였으나 반드시 이에 한정되는 것이 아니다. 예를 들면 프로세서(710), 스커미온 생성부(720)는 물리적으로 독립한 구성일 수 있다.Figure 7 is a block diagram showing the block configuration of the skyrmion generation device of the present invention. The skyrmion generating device 700 is shown as including a processor 710 and a skyrmion generating unit 720, but is not necessarily limited thereto. For example, the processor 710 and the skyrmion generator 720 may be physically independent components.

프로세서(710)는 스커미온 생성 장치 (700)를 전반적으로 제어하기 위한 구성일 수 있다. 구체적으로 프로세서(710)는 CPU, 램(RAM), 롬(ROM), 시스템 버스 등을 포함할 수 있다. 프로세서(710)는 단일 CPU 또는 복수의 CPU(또는 DSP, SoC)로 구현될 수 있다. 일 실시예로, 프로세서(710)는 디지털 신호를 처리하는 디지털 시그널 프로세서(digital signal processor(DSP), 마이크로프로세서(microprocessor), TCON(Time controller)으로 구현될 수 있다. The processor 710 may be configured to generally control the skyrmion generating device 700. Specifically, the processor 710 may include a CPU, RAM, ROM, and a system bus. The processor 710 may be implemented as a single CPU or multiple CPUs (or DSP, SoC). In one embodiment, the processor 710 may be implemented as a digital signal processor (DSP), a microprocessor, or a time controller (TCON) that processes digital signals.

스커미온 생성부(720)는 메탈구조물, 자기장 인가부, 전류 인가부를 포함할 수 있다. 메탈구조물은 강자성층 및 헤비메탈층을 포함하여 DMI 작용이 발생될 수 있고, 강자성층 상에서 자구벽을 형성하고, 스커미온을 생성할 수 있다. 자기장 인가부는 메탈구조물에 자기장을 인가하여, 자구벽을 형성하거나 자구벽을 이동시킬 수 있다. 전류 인가부는 메탈구조물에 전류를 인가하여, 자구벽을 형성하거나 자구벽을 이동시킬 수 있다.The skyrmion generation unit 720 may include a metal structure, a magnetic field application unit, and a current application unit. The metal structure includes a ferromagnetic layer and a heavy metal layer, so that DMI action can occur, a magnetic domain wall can be formed on the ferromagnetic layer, and skyrmions can be generated. The magnetic field applicator may apply a magnetic field to the metal structure to form a magnetic domain wall or move the magnetic domain wall. The current applicator may apply a current to the metal structure to form a magnetic domain wall or move the magnetic domain wall.

한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 게시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시 예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.Meanwhile, in this specification and drawings, preferred embodiments of the present invention are posted, and although specific terms are used, they are used only in a general sense to easily explain the technical content of the present invention and aid understanding of the present invention. It is not intended to limit the scope of the invention. In addition to the embodiments disclosed herein, it is obvious to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention can be implemented.

1: 스커미온
21: 강자성층
3: 판독기
31: 제1 부분
33: 제2 부분
35: 자구벽
700: 스커미온 생성 장치
710: 프로세서
720: 스커미온 생성부
1: Skyrmion
21: Ferromagnetic layer
3: reader
31: first part
33: Second part
35: magnetic domain wall
700: Skyrmion generation device
710: Processor
720: Skyrmion generation unit

Claims (11)

헤비메탈층; 및
헤비메탈층 상에 배치되고, 자구벽(magnetic domain wall)을 포함하고, 상기 자구벽의 이동에 기반하여 스커미온(Skyrmion)이 생성되는 강자성층을 포함하는 메탈구조물.
Heavy metal layer; and
A metal structure disposed on a heavy metal layer, including a magnetic domain wall, and a ferromagnetic layer in which a skyrmion is generated based on movement of the magnetic domain wall.
헤비메탈층 및 강자성층을 포함하는 메탈구조물을 이용하여 스커미온을 생성하는 방법에 있어서,
상기 강자성층에 자구벽(magnetic domain wall)을 생성하는 단계;
상기 메탈구조물에 포함된 상기 자구벽을 이동시키는 단계; 및
상기 자구벽의 이동에 기반하여 스커미온(Skyrmion)을 생성하는 단계를 포함하는 스커미온을 생성하는 방법.
In a method of generating skyrmions using a metal structure including a heavy metal layer and a ferromagnetic layer,
Creating a magnetic domain wall in the ferromagnetic layer;
moving the magnetic domain wall included in the metal structure; and
A method of generating a skyrmion including the step of generating a skyrmion based on movement of the magnetic domain wall.
제2 항에 있어서,
상기 강자성층에 자구벽을 생성하는 단계는,
상기 강자성층의 제1 부분에 제1 방향의 자화를 형성하는 단계;
상기 강자성층의 제2 부분에 제2 방향의 자화를 형성하는 단계를 포함하는 스커미온을 생성하는 방법.
According to clause 2,
The step of creating a magnetic domain wall in the ferromagnetic layer is,
forming magnetization in a first direction in a first portion of the ferromagnetic layer;
A method of generating skyrmions comprising forming magnetization in a second direction in a second portion of the ferromagnetic layer.
제2 항에 있어서,
상기 자구벽의 이동에 기반하여 스커미온(Skyrmion)을 생성하는 단계는,
상기 자구벽의 이동 속도가 임계값 이상이 되도록 하는 단계를 포함하는 스커미온을 생성하는 방법.
According to clause 2,
The step of generating a skyrmion based on the movement of the magnetic domain wall is,
A method of generating a skyrmion comprising ensuring that the moving speed of the magnetic domain wall is greater than or equal to a threshold value.
제2 항에 있어서,
상기 자구벽의 이동에 기반하여 상기 스커미온(Skyrmion)을 생성하는 단계는,
상기 자구벽을 제1 방향으로 이동시켜 스커미온을 생성하고,
상기 자구벽을 제2 방향으로 이동시켜 상기 스커미온을 제2 방향으로 이동시키는 단계를 포함하는 스커미온을 생성하는 방법.
According to clause 2,
The step of generating the skyrmion based on the movement of the magnetic domain wall is,
Generate a skyrmion by moving the magnetic domain wall in a first direction,
A method of generating a skyrmion comprising moving the skyrmion in a second direction by moving the magnetic domain wall in a second direction.
제2 항에 있어서,
상기 자구벽을 이동시키는 단계는,
상기 메탈구조물에 자기장을 인가하는 단계를 포함하는 스커미온을 생성하는 방법.
According to clause 2,
The step of moving the magnetic domain wall is,
A method of generating skyrmions including the step of applying a magnetic field to the metal structure.
제6 항에 있어서,
상기 메탈구조물에 상기 자기장을 인가하는 단계는,
상기 메탈구조물에서의 수직 방향으로 상기 자기장을 인가하는 단계를 포함하는 스커미온을 생성하는 방법.
According to clause 6,
The step of applying the magnetic field to the metal structure,
A method of generating a skyrmion comprising applying the magnetic field in a vertical direction to the metal structure.
제6 항에 있어서,
상기 메탈구조물에 상기 자기장을 인가하는 단계는,
상기 자기장을 펄스 신호로 인가하는 단계; 및
상기 자구벽의 이동에 기반하여 스커미온의 생성하는 단계는,
상기 펄스 신호에 기반하여 상기 스커미온의 생성 개수를 제어하는 단계를 포함하는 스커미온을 생성하는 방법.
According to clause 6,
The step of applying the magnetic field to the metal structure,
applying the magnetic field as a pulse signal; and
The step of generating a skyrmion based on the movement of the magnetic domain wall is,
A method of generating skyrmions including the step of controlling the number of skyrmions generated based on the pulse signal.
제2 항에 있어서,
상기 자구벽을 이동시키는 단계는,
상기 메탈구조물에 전류를 인가하는 단계를 포함하는 스커미온을 생성하는 방법
According to clause 2,
The step of moving the magnetic domain wall is,
Method for generating skyrmions comprising applying a current to the metal structure
제9 항에 있어서,
상기 메탈구조물에 상기 전류를 인가하는 단계는,
상기 메탈구조물에서의 수평 방향으로 상기 전류를 인가하는 단계를 포함하는 스커미온을 생성하는 방법
According to clause 9,
The step of applying the current to the metal structure is,
A method of generating a skyrmion comprising applying the current in a horizontal direction to the metal structure.
제9 항에 있어서,
상기 메탈구조물에 상기 전류를 인가하는 단계는,
상기 전류를 펄스 신호로 인가하는 단계; 및
상기 자구벽의 이동에 기반하여 스커미온의 생성하는 단계는,
상기 펄스 신호에 기반하여 상기 스커미온의 생성 개수를 제어하는 단계를 포함하는 스커미온을 생성하는 방법.




According to clause 9,
The step of applying the current to the metal structure is,
applying the current as a pulse signal; and
The step of generating a skyrmion based on the movement of the magnetic domain wall is,
A method of generating skyrmions including the step of controlling the number of skyrmions generated based on the pulse signal.




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