KR20230165056A - Metal의 Micro-patterning을 이용한 전기 광학적 전자기 차폐 윈도우 - Google Patents
Metal의 Micro-patterning을 이용한 전기 광학적 전자기 차폐 윈도우 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20230165056A KR20230165056A KR1020220064966A KR20220064966A KR20230165056A KR 20230165056 A KR20230165056 A KR 20230165056A KR 1020220064966 A KR1020220064966 A KR 1020220064966A KR 20220064966 A KR20220064966 A KR 20220064966A KR 20230165056 A KR20230165056 A KR 20230165056A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- closed
- pattern
- electromagnetic shielding
- shapes
- shielding window
- Prior art date
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 25
- 238000000059 patterning Methods 0.000 title 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields
- H05K9/0001—Rooms or chambers
- H05K9/0005—Shielded windows
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields
- H05K9/0064—Earth or grounding circuit
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields
- H05K9/0073—Shielding materials
- H05K9/0081—Electromagnetic shielding materials, e.g. EMI, RFI shielding
- H05K9/0084—Electromagnetic shielding materials, e.g. EMI, RFI shielding comprising a single continuous metallic layer on an electrically insulating supporting structure, e.g. metal foil, film, plating coating, electro-deposition, vapour-deposition
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
본 발명의 전자기 차폐 윈도우는 투명한 기재와, 상기 기재의 일면에 전도성 금속을 증착하여 금속층을 형성한 후, 상기 금속층을 식각하여 패턴을 형성한 패턴층을 포함하고, 상기 패턴층은 상기 기재의 외곽을 따라 연장되어 폐구간을 이루는 접지부와, 상기 폐구간 내에 형성되고, 상기 접지부와 전기적으로 연결되며, 폐도형이 반복되는 형태로 이루어지되, 인접한 폐도형들이 부분적으로 중첩됨으로써 모든 폐도형들이 전기적으로 연결되는 패턴부를 포함한다.
Description
본 발명은 전기 광학적 특성을 갖는 전자기 차폐 윈도우에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 투명한 기재 상에 형성된 단일한 금속층을 가공하여 패턴을 형성하되, 상기 패턴을 구성하는 모든 선들이 전기적으로 연결된 전자기 차폐 윈도우에 관한 것이다.
전자기 차폐 윈도우(Electromagnetic Interference Shield Window)는 광을 투과시키는 광학적 성질과, 전자파 또는 전자기파를 차폐하는 전기적 성질을 함께 갖는 전자기 차폐 쉴드(EMI Shield)이다.
통상적으로 전자기 차폐 윈도우는 투명한 기판 상에 금속을 가공하여 형성한 패턴층이 적층된 형태로 구성되는데, 우수한 전기 광학적(electro-optical) 특성을 위해서는 패턴을 어떠한 형태로 구성하는지가 중요하다.
US9,073,084 B2(종래기술 1)는 랜덤한 형태의 원과 타원이 부분적으로 중첩된 형태의 패턴을 개시하고 있다. 중첩된 패턴들이 이루는 폐구간들의 다양성으로 인해 다양한 주파수의 전자파를 차폐할 수 있으나, 원과 타원의 형태와 치수 다양성을 고려하여야 하기 때문에 설계가 어려울 뿐만 아니라, 패턴이 비정형적으로, 즉, 랜덤하게 구성되기 때문에 광학적 또는 전기적 특성이 패턴의 전 영역에서 균일하게 예측되지 못하는 문제가 있다.
한편, 한국 공개특허공보 제10-2011-0127236호(종래기술 2)는 두 세트의 전도성 미세 패턴(즉, 제 1 전도성 미세 패턴과 제 2 전도성 미세패턴)이 서로 절연된 상태로 오버레이 되어, 하나는 센서를 구성하고 다른 하나는 EMI 차폐기를 구성하는 구조를 개시하고 있다.
종래기술 2는 외관상 제 1, 2 전도성 미세패턴이 중첩된 것으로 보이기는 하나, 상기 제 1 전도성 미세패턴과 상기 제 2 전도성 미세패턴은 전기적으로 서로 절연됨으로써 각각 센서와 EMI 차폐기로 기능하도록 되어 있다. 즉, EMI 차폐는 비중첩의 하나의 전도성 미세패턴에 의해 구현되는 것에 불과하다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 첫째, 투명한 기재 상에 형성된 금속층에 고밀도의 미세 구멍을 가공함으로써 충분한 전자기 차폐력을 확보함과 아울러 광학적으로도 우수한 전자기 차폐 윈도우를 제공하는 것이다.
둘째, 다양한 주파수에 대해 패턴의 전영역에서 실질적으로 균등한 전자기 차폐력을 갖는 전자기 차폐 윈도우를 제공하는 것이다.
셋째, 단일한 폐도형을 비중첩적으로 반복 배열한 경우와 비교하여, 같은 폐도형이나 배치 방식을 변경함으로써 패턴에 의해 구성되는 폐도형들의 다양성을 확보한 전자기 차폐 윈도우를 제공하는 것이다.
본 발명의 전자기 차폐 윈도우는, 투명한 기재와, 상기 기재의 일면에 전도성 금속층을 형성한 후, 상기 금속층을 식각하여 패턴을 형성한 패턴층을 포함하고, 상기 패턴층은, 상기 기재의 외곽을 따라 연장되어 폐구간을 이루는 접지부와, 상기 폐구간 내에 형성되고, 상기 접지부와 전기적으로 연결되며, 폐도형이 반복되는 형태로 이루어지되, 인접한 폐도형들이 부분적으로 중첩됨으로써 모든 폐도형들이 전기적으로 연결되는 패턴부를 포함한다.
상기 패턴은, 상기 폐도형 3개에 의해 규정되되, 3개의 교점과 2개의 꼭지점을 갖는 폐구간을 포함할 수 있다.
상기 패턴은, 상기 폐도형 4개에 의해 규정되되, 4개의 교점과 요각을 이루는 2개의 꼭지점을 갖는 폐구간을 포함할 수 있다.
상기 패턴은, 상기 폐도형 4개에 의해 규정되되, 4개의 교점과 둔각을 이루는 2개의 꼭지점을 갖는 폐구간을 포함할 수 있다.
상기 패턴은, 상기 폐도형 6개에 의해 규정되되, 6개의 교점과 요각을 이루는 2개의 꼭지점을 갖는 폐구간을 포함할 수 있다.
상기 패턴은, 상기 폐도형 1개와, 상기 폐도형 1개를 중심으로 한 소정의 원주를 따라 배열되는 5개 이상의 상기 폐도형을 포함하고, 상기 5개 이상의 상기 폐도형은 상기 원주를 따라 인접한 것들끼리 부분적으로 중첩되는 형태이고, 상기 폐도형 1개는 상기 5개 이상의 상기 폐도형 모두와 부분적으로 중첩되는 형태일 수 있다.
상기 폐도형은, 폭이 1 내지 100μm인 연속하는 선분으로 이루어질 수 있다.
상기 폐도형으로 둘러싸인 영역의 직경은 10 내지 10,000μm일 수 있다.
상기 금속층의 두께는 1μm 이하일 수 있다.
본 발명의 전자기 차폐 윈도우는, 첫째, 투명한 기재 상에 형성된 박막의 금속층에 매우 가는 폭으로 구성된 패턴을 구현함으로써, 상기 금속층을 이루는 금속의 광차폐 특성에도 불구하고 전체적으로는 광학적 투명성을 갖는다.
둘째, 동일한 형태의 폐도형들을 중첩함으로써, 다양한 주파수에 대해 패턴의 전영역에서 실질적으로 균등한 전자기 차폐력을 가질 수 있는 효과가 있다.
셋째, 랜덤한 형태의 패턴을 중첩하는 종래의 방식과 비교하여, 설계, 가공이 쉬우면서도 폐도형들의 다양성을 확보함으로써 전자기 차폐력은 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우를 도시한 것이다.
도 2는 도 1에 표시된 B부분을 확대한 것이다.
도 3은 도 2에 표시된 C부분을 확대한 것이다.
도 4는 도 3에 도시된 제 1 구간을 확대한 것이다.
도 5는 도 3에 도시된 제 2 구간을 확대한 것이다.
도 6은 도 3에 도시된 제 3 구간을 확대한 것이다.
도 7은 도 3에 도시된 제 4 구간을 확대한 것이다.
도 8은 파장에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우와 비교예에 따른 전자기 차폐 부재의 광 투과율을 비교한 것이다.
도 9는 파장에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우의 광 투과율을 비교예에 따른 사파이어 판재와 비교한 그래프이다.
도 10은 파장에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우의 전자기 투과율을 비교예에 따른 사파이어 판재의 전자기 투과율과 비교한 그래프이다.
도 2는 도 1에 표시된 B부분을 확대한 것이다.
도 3은 도 2에 표시된 C부분을 확대한 것이다.
도 4는 도 3에 도시된 제 1 구간을 확대한 것이다.
도 5는 도 3에 도시된 제 2 구간을 확대한 것이다.
도 6은 도 3에 도시된 제 3 구간을 확대한 것이다.
도 7은 도 3에 도시된 제 4 구간을 확대한 것이다.
도 8은 파장에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우와 비교예에 따른 전자기 차폐 부재의 광 투과율을 비교한 것이다.
도 9는 파장에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우의 광 투과율을 비교예에 따른 사파이어 판재와 비교한 그래프이다.
도 10은 파장에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우의 전자기 투과율을 비교예에 따른 사파이어 판재의 전자기 투과율과 비교한 그래프이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우(1)를 도시한 것이다. 도 2는 도 1에 표시된 B부분을 확대한 것이다. 도 3은 도 2에 표시된 C부분을 확대한 것이다
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우(EMI(Electromagnetic Interference) shield window, 1)는 투명한 기재(substrate, 11)와, 기재(11)의 일면에 전도성 금속층을 형성한 후, 상기 금속층을 식각(etching)하여 형성한 패턴층(12)을 포함한다. 상기 금속층은 바람직하게는 증착에 의해 형성되나, 반드시 이에 한정되어야 하는 것은 아니다.
전자기 차폐 윈도우(1)는 충분한 강성을 갖는 경질의 정형적인 것일 수도 있으나, 반드시 이에 한정되어야 할 필요는 없으며, 유연하거나, 연질이거나, 박막의 시트체로써 변형이 가능한 것일 수도 있다.
실시예에서 패턴층(12)은 기재(11)의 일면에 형성되나, 양쪽면 모두에 형성되는 것도 가능하다.
기재(11)는 투명한 것으로써 글래스(glass)나 스피넬(spinel) 등일 수 있으며, 재질은 SiO2 및 Al2O3 중에서 선택된 1종 이상의 원소를 포함할 수 있다. 또한, 기재(11)는 경질에 한정되지 않고 휘거나 접히는 등의 변형이 가능한 유연한 재질인 것도 가능하다.
상기 금속은 Ti, Cu, Au, Ag, Cr, Ni, Pd 및 Pt 중에서 선택된 1종 이상의 원소일 수 있으며, 바람직하게는 Au이다. 상기 금속은 비휘발성의 것일 수 있다.
패턴층(12)은, 상기 금속층의 외곽을 따라 연장되어 폐구간을 이루는 접지부(12a)와, 상기 폐구간 내에 형성되는 패턴부(12b)를 포함한다. 접지부(12a)는, 바람직하게는, 일정한 폭을 갖는 선으로 이루어지며, 기재(11) 또는 금속층의 외곽 형상과 대응하는 형태로 이루어질 수 있다. 실시예에서는 사각형태의 기재(11)와 대응하여 사각형으로 이루어졌으나, 기재(11)의 형태에 따라 달라질 수 있음은 물론이다.
한편, 본 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우(1)를 다수개 이용하여 일정한 공간을 둘러 싸는 패러데이 케이지(faraday cage)를 구성하는 경우, 각 윈도우(1)들에 형성된 모든 패턴들을 전기적으로 연결하는 것이 용이하기 위해서는 윈도우(1)들이 서로 맞닿는 부분인 기재(11)의 둘레에 접지부(12a)를 형성하는 것이 바람직하다. 도 1에 도시된 바와 같이 접지부(12a)는 도전선 등을 통해 그라운드에 접지될 수 있다.
한편, 패턴부(12b)는 폐도형이 반복되는 형태로 이루어질 수 있으며, 인접한 폐도형들이 부분적으로 중첩됨으로써 모든 폐도형들이 전기적으로 연결될 수 있다. 특히, 패턴부(12b)는 동일한 형태의 폐도형이 일정한 규칙에 따라 반복적으로 배열되는 패턴을 포함할 수 있다.
여기서, 폐도형이란 선의 시작점과 끝점이 서로 만나 닫힌 영역을 규정하는 도형으로써, 삼각형, 사각형, 오각형, 육각형, 팔각형, 십각형 등의 다각형이나 원형, 타원형 등의 곡선 도형 등 종류에 제한을 두지 않으며, 기본 도형이 아닌 다른 형태의 쪽매원형(prototile)도 가능하다.
상기 폐도형은, 소정의 선폭(W, 도 3 참조)을 갖는 선분으로 구성된 다각형일 수 있다. 한편, 폐도형을 구성하는 선분의 폭(W)은 1 내지 100μm이며, 바람직하게는, 1 내지 10μm이다.
하나의 폐도형으로 둘러싸인 영역의 직경(L)은 10 내지 10,000μm이 일 수 있다. 여기서, 직경(L)은 하나의 폐도형으로 둘러싸인 영역에서 그릴 수 있는 직선의 최대 길이로 정의되며, 출원인은 여러 실험을 통해 직경(L)이 10 내지 10,000μm일 때 충분한 전자파 차단 성능이 확보됨을 알게 되었다.
패턴층(12)의 두께는 1μm 이하일 수 있다. 1μm 이하의 박막이더라도, 직경(L)을 적절하게 정하여 다수개의 미세한 구멍으로 이루어진 패턴을 형성하는 경우에는 충분한 전기적 특성뿐만 아니라 광학적으로도 우수한 특성을 갖게 된다.
특히, 금속은 기본적으로 광이 투과할 수 없는 물질이기 때문에 1μm 이하의 박막이더라도 패턴이 형성된 선(line) 구간에서는 비투광성을 갖는다고 할 수 있겠으나, 패턴을 구성하는 선의 폭이 1 내지 100μm로 매우 가늘고, 이러한 패턴이 조밀하게 구성되기 때문에 윈도우(1)는 전체적으로는 우수한 광학적 특성을 갖게 되어 광학 센서나 레이더 등을 수용하는 용도로 활용될 수 있다.
도 8은 파장에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우와 비교예에 따른 전자기 차폐 부재의 광 투과율을 비교한 것이다. 도 9는 파장에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우의 광 투과율을 비교예에 따른 사파이어 판재와 비교한 그래프이다. 도 10은 파장에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우의 전자기 투과율을 비교예에 따른 사파이어 판재의 전자기 투과율과 비교한 그래프이다.
도 8 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우(1)는 비교예의 금속의 패턴층이 없는 사파이어 기재(bare sapphire) 대비 대략 92 내지 94%의 광 투과력을 보이는 우수한 광학적 특성을 가짐을 알 수 있다.
더 나아가, 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우(1)는 200 내지 18GMhz에 이르는 시험 주파수 대역에서 우수한 전자기 차폐력을 보임을 알 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우(1)는 폐도형들을 부분적으로 중첩시킨 형태로 패턴을 구성함으로써, 비중첩의 단일 패턴이 반복되는 경우에 비해 다양한 주파수의 전자파에 대한 충분한 차폐성을 확보하였다.
도 3을 참조하면, 패턴부(12b)는 1개의 폐도형(P0)과, 폐도형(P0)을 중심으로 한 소정의 원주를 따라 배열되는 5개 이상의 폐도형(P1, P2, P3, P4, P5, P6)을 포함할 수 있다. 상기 5개 이상(실시예에서는 6개)의 폐도형은 상기 원주를 따라 인접한 것들끼리 부분적으로 중첩되는 형태이고, 폐도형(P0)은 다른 폐도형들(P1, P2, P3, P4, P5, P6) 모두와 부분적으로 중첩되는 형태의 패턴을 포함할 수 있다.
하나의 폐도형 둘레에 일정한 각도로 5개 이상의 폐도형들이 배치된다. 바람직하게는, 중심에 위치하는 폐도형은 n개의 모든 꼭지점이 예각으로 이루어진 볼록 도형(실시예에서는 10각형)이며, 상기 폐도형의 둘레에 배열되는 폐도형들은 360/n 보다는 큰 값을 갖는 일정한 각도로 배열될 수 있다.
n각형의 둘레에 n개의 동일한 폐도형을 배열하는 경우에 비해 다양한 형태의 폐구간(I, II, III, IV)을 형성할 수 있기 때문에 치수 다양성이 확보되며, 따라서, 다양한 주파수(또는, 파장)의 전자기파에 대한 차폐가 가능하다.
예를 들어, 실시예에서는 정십각형(n=10)으로 폐도형들이 이루어지고, 둘레에 배치된 폐도형들(P1 내지 P6)은 중심에 배치된 폐도형(P0)에 대해 60도 마다 하나씩 배열되었다. 즉, 둘레에 위치한 폐도형들(P1 내지 P6) 중 인접한 어느 한 쌍이 이루는 각도는 60도(360/10보다 큰 값)를 이룬다.
출원인의 실험에 의하면, 차폐 가능한 주파수 영역은 패턴의 프로파일(profile), 즉, 패턴을 구성하는 선들 간의 거리, 꼭지점의 수, 꼭지점들 간의 거리 등에 큰 영향을 받는데, 비중첩의 단일 패턴의 경우는 프로파일 특성이 단순하여 차폐 가능한 주파수 영역이 제한적인 문제가 있었다.
이에 반해, 본 실시예에 따른 전자기 차폐 윈도우(1)는 폐도형들의 중첩에 의해 형성된, 도 2에 도시된 여러 구간들(I, II, III, IV)의 형태적 특성으로 인해 도 9에서 보이는 바와 같이 다양한 주파수의 전자파들에 대해 충분한 전자기 차폐 성능을 확보하였다.
이하, 패턴을 구성하는 구간들을 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
이하, '교점'은 선분과 선분이 교차하는 지점으로 정의하였고, '꼭지점'은 패턴의 기본이 되는 폐도형의 꼭지점들 중에서 정의하기로 한다.
도 4는 도 3에 도시된 제 1 구간(I)을 확대한 것이다. 도 4를 참조하면, 제 1 구간(I)은 3개의 폐도형(P11, P12, P13)에 의해 규정되되, 3개의 교점(S11, S12, S13)과 2개의 꼭지점(C11, C12)을 갖는 폐구간일 수 있다.
제 1 교점(S11)은 제 1 폐도형(P11)과 제 2 폐도형(P12)에 의해 형성되고, 제 2 교점(S12)은 제 2 폐도형(P12)과 제 3 폐도형(P13)에 의해 형성되고, 제 3 교점(S13)은 제 3 폐도형(P13)과 제 1 폐도형(P11)에 의해 형성된다.
제 1 꼭지점(C11)은 제 1폐도형(P11)을 구성하는 것이고, 제 2 꼭지점(C12)는 제 3 폐도형(P13)을 구성하는 것이다.
3개의 점(S11, S12, S13)만으로 폐도형을 구성하는 경우(예를 들어, 삼각형의 비중첩 패턴인 경우)와 비교하여 2 개의 점(C11, C12)이 더 추가되기 때문에 치수 다양성이 높아지며 따라서, 더 다양한 주파수에 대한 차폐가 가능하다.
도 5는 도 3에 도시된 제 2 구간(II)을 확대한 것이다. 도 5를 참조하면, 제 2 구간(II)은, 4개의 폐도형(P21, P22, P23, P24)에 의해 규정되되, 4개의 교점(S21, S22, S23, S24)과 2개의 요각(180도 보다 크고 360도 보다 작은 각)을 이루는 꼭지점(C21, C22)을 갖는 폐구간일 수 있다.
제 1 교점(S21)은 제 1 폐도형(P21)과 제 2 폐도형(P22)에 의해 형성되고, 제 2 교점(S22)은 제 2 폐도형(P22)과 제 3 폐도형(P23)에 의해 형성되고, 제 3 교점(S23)은 제 3 폐도형(P23)과 제 4 폐도형(P24)에 의해 형성되고, 제 4 교점(S24)는 제 4 폐도형(P24)과 제 1 폐도형(P21)에 의해 형성된다.
제 1 꼭지점(C21)은 제 1폐도형(P21)을 구성하는 것이고, 제 2 꼭지점(C22)는 제 3 폐도형(P33)을 구성하는 것이다.
4개의 점(S21, S22, S23, S24)만으로 폐도형을 구성하는 경우(예를 들어, 사각형의 비중첩 패턴인 경우)와 비교하여 2 개의 점(C21, C22)이 더 추가되기 때문에 치수 다양성이 높아지며 따라서, 더 다양한 주파수에 대한 차폐가 가능하다.
도 6은 도 3에 도시된 제 3 구간(III)을 확대한 것이다. 도 6을 참조하면, 제 3 구간(III)은, 4개의 폐도형(P31, P32, P33, P34)에 의해 규정되되, 4개의 교점(S31, S32, S33, S34)과 2개의 둔각을 이루는 꼭지점(C31, C32)을 갖는 폐구간일 수 있다.
제 1 교점(S31)은 제 1 폐도형(P31)과 제 2 폐도형(P32)에 의해 형성되고, 제 2 교점(S32)은 제 2 폐도형(P32)과 제 3 폐도형(P33)에 의해 형성되고, 제 3 교점(S33)은 제 3 폐도형(P33)과 제 4 폐도형(P34)에 의해 형성되고, 제 4 교점(S34)는 제 4 폐도형(P34)과 제 1 폐도형(P31)에 의해 형성된다.
제 1 꼭지점(C31)은 제 1폐도형(P31)을 구성하는 것이고, 제 2 꼭지점(C22)는 제 3 폐도형(P33)을 구성하는 것이다.
4개의 점(S31, S32, S33, S34)만으로 폐도형을 구성하는 경우(예를 들어, 사각형의 비중첩 패턴인 경우)와 비교하여 2 개의 점(C31, C32)이 더 추가되기 때문에 치수 다양성이 높아지며 따라서, 더 다양한 주파수에 대한 차폐가 가능하다. 또한, 본 실시예에 따른 폐구간(III)은 2개의 둔각 꼭지점(C31, C32)을 가지기 때문에, 전술한 2개의 요각 꼭지점을 갖는 제 2 구간(II)과는 다른 전자기 차폐 특성을 갖는다.
도 7은 도 3에 도시된 제 4 구간(IV)을 확대한 것이다. 도 7을 참조하면, 제 4 구간(IV)은, 6개의 폐도형(P41, P42, P43, P44, P45, P46)에 의해 규정되되, 6개의 교점과 요각을 이루는 2개의 꼭지점을 갖는 전자기 차폐 윈도우.
6개의 폐도형(P41, P42, P43, P44, P45, P46)에 의해 규정되되, 6개의 교점(S41, S42, S43, S44, S45, S46)과 2개의 요각을 이루는 꼭지점(C41, C42)을 갖는 폐구간일 수 있다.
제 1 교점(S41)은 제 1 폐도형(P41)과 제 2 폐도형(P42)에 의해 형성되고, 제 2 교점(S42)은 제 2 폐도형(P42)과 제 3 폐도형(P43)에 의해 형성되고, 제 3 교점(S43)은 제 3 폐도형(P43)과 제 4 폐도형(P44)에 의해 형성되고, 제 4 교점(S44)은 제 4 폐도형(P44)과 제 5 폐도형(P45)에 의해 형성되고, 제 5 교점(S45)은 제 5 폐도형(P45)과 제 6 폐도형(P46)에 의해 형성되고, 제 6교점(S46)은 제 6 폐도형(P46)과 제 1 폐도형(P41)에 의해 형성된다.
제 1 꼭지점(C41)은 제2폐도형(P42)을 구성하는 것이고, 제 2 꼭지점(C22)은 제 5 폐도형(P45)을 구성하는 것이다.
6개의 점(S41, S42, S43, S44, S45, S46)만으로 폐도형을 구성하는 경우(예를 들어, 육각형의 비중첩 패턴인 경우)와 비교하여 2 개의 점(C41, C42)이 더 추가되기 때문에 치수 다양성이 높아지며 따라서, 더 다양한 주파수에 대한 차폐가 가능하다.
Claims (9)
- 투명한 기재; 및
상기 기재의 일면에 전도성 금속층을 형성한 후, 상기 금속층을 식각하여 패턴을 형성한 패턴층을 포함하고,
상기 패턴층은,
상기 기재의 외곽을 따라 연장되어 폐구간을 이루는 접지부; 및
상기 폐구간 내에 형성되고, 상기 접지부와 전기적으로 연결되며, 폐도형이 반복되는 형태로 이루어지되, 인접한 폐도형들이 부분적으로 중첩됨으로써 모든 폐도형들이 전기적으로 연결되는 패턴부를 포함하는 전자기 차폐 윈도우. - 제 1 항에 있어서,
상기 패턴은,
상기 폐도형 3개에 의해 규정되되, 3개의 교점과 2개의 꼭지점을 갖는 폐구간을 포함하는 전자기 차폐 윈도우. - 제 1 항에 있어서,
상기 패턴은,
상기 폐도형 4개에 의해 규정되되, 4개의 교점과 요각을 이루는 2개의 꼭지점을 갖는 폐구간을 포함하는 전자기 차폐 윈도우. - 제 1 항에 있어서,
상기 패턴은,
상기 폐도형 4개에 의해 규정되되, 4개의 교점과 둔각을 이루는 2개의 꼭지점을 갖는 폐구간을 포함하는 전자기 차폐 윈도우. - 제 1 항에 있어서,
상기 패턴은,
상기 폐도형 6개에 의해 규정되되, 6개의 교점과 요각을 이루는 2개의 꼭지점을 갖는 폐구간을 포함하는 전자기 차폐 윈도우. - 제 1 항에 있어서,
상기 패턴은,
상기 폐도형 1개와, 상기 폐도형 1개를 중심으로 한 소정의 원주를 따라 배열되는 5개 이상의 상기 폐도형을 포함하고,
상기 5개 이상의 상기 폐도형은 상기 원주를 따라 인접한 것들끼리 부분적으로 중첩되는 형태이고,
상기 폐도형 1개는 상기 5개 이상의 상기 폐도형 모두와 부분적으로 중첩되는 형태인 전자기 차폐 윈도우. - 제 1 항에 있어서,
상기 폐도형은,
폭이 1 내지 100μm인 연속하는 선분으로 이루어진 전자기 차폐 윈도우. - 제 1 항에 있어서,
상기 폐도형으로 둘러싸인 영역의 직경은 10 내지 10,000μm인 전자기 차폐 윈도우. - 제 1 항에 있어서,
상기 금속층의 두께는 1μm 이하인 전자기 차폐 윈도우.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220064966A KR20230165056A (ko) | 2022-05-26 | 2022-05-26 | Metal의 Micro-patterning을 이용한 전기 광학적 전자기 차폐 윈도우 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220064966A KR20230165056A (ko) | 2022-05-26 | 2022-05-26 | Metal의 Micro-patterning을 이용한 전기 광학적 전자기 차폐 윈도우 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230165056A true KR20230165056A (ko) | 2023-12-05 |
Family
ID=89157187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020220064966A KR20230165056A (ko) | 2022-05-26 | 2022-05-26 | Metal의 Micro-patterning을 이용한 전기 광학적 전자기 차폐 윈도우 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20230165056A (ko) |
-
2022
- 2022-05-26 KR KR1020220064966A patent/KR20230165056A/ko not_active Application Discontinuation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11061518B2 (en) | Touch substrate and manufacturing method thereof, touch display panel | |
| JP2816832B2 (ja) | 位相シフトマスクの構造及び製造方法 | |
| KR102013604B1 (ko) | 도전성 필름, 및 이를 구비하는 표시 장치 | |
| US20120062472A1 (en) | Position-sensing panel | |
| US20130162552A1 (en) | Touch devices and fabrication methods thereof | |
| TWI564766B (zh) | 網狀電極、感測元件以及電極層 | |
| WO1998035542A1 (fr) | Nouveau reseau de conducteurs en boucle et materiau de blindage contre les ondes electromagnetiques a selectivite de frequence | |
| JP2013012016A (ja) | 透明電極素子、情報入力装置、および電子機器 | |
| KR20150092725A (ko) | 전자기기용 투명커버 | |
| KR20230165056A (ko) | Metal의 Micro-patterning을 이용한 전기 광학적 전자기 차폐 윈도우 | |
| JP2024012630A (ja) | 周波数選択反射板および反射構造体 | |
| CN108563364B (zh) | 一种触摸屏、其制作方法、触控显示面板及显示装置 | |
| US11563128B2 (en) | Optically transparent electromagnetically shielding element comprising a plurality of zones | |
| KR20180023095A (ko) | 안테나 기능을 포함하는 전자기기용 금속재질 커버 | |
| CN110348100B (zh) | 一种基于随机分布圆环的金属网栅结构及其设计方法 | |
| CN113555693B (zh) | 减反膜、电磁波透射结构及减反膜的制备方法 | |
| CN212991312U (zh) | 天线及电子装置 | |
| KR101660398B1 (ko) | 전자기기용 필름부재 | |
| KR102195039B1 (ko) | 터치 패널 전극 구조체 및 그의 제조 방법 | |
| CN109766030B (zh) | 触控装置 | |
| JP6695526B1 (ja) | 窓用光フィルター | |
| KR102572146B1 (ko) | 전자파 차폐 시트 및 그 제조방법 | |
| CN111399690A (zh) | 触控膜层结构和触摸屏 | |
| CN111198447A (zh) | 基于相位渐变超构光栅的光学笼子及其应用 | |
| EP4137920B1 (en) | Conductive sheet, touch sensor, and method for manufacturing touch sensor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E601 | Decision to refuse application |