KR20230163819A

KR20230163819A - Control apparatus, control system, and operating method of control apparatus

Info

Publication number: KR20230163819A
Application number: KR1020220063621A
Authority: KR
Inventors: 이세은; 김용진; 한진기; 정헌철; 박준규; 최정호
Original assignee: 주식회사 엘지에너지솔루션
Priority date: 2022-05-24
Filing date: 2022-05-24
Publication date: 2023-12-01

Abstract

본 문서에 개시되는 일 실시예에 따른 제어 시스템은, 슬러리를 토출하는 랜드부 및 상기 랜드부의 높이를 국부적으로 조절하는 복수의 조절부를 포함하는 코팅 다이; 및 상기 랜드부에서 토출되어 기재에 코팅되는 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득하는 데이터 획득부, 상기 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산하는 연산부, 및 상기 코팅 상태의 분석 결과에 대응하여 상기 조절부를 제어하는 제어부를 포함하는 제어 장치를 포함할 수 있다.A control system according to an embodiment disclosed in this document includes a coating die including a land portion that discharges slurry and a plurality of adjustment portions that locally adjust the height of the land portion; and a data acquisition unit that acquires first data about the slurry discharged from the land unit and coated on the substrate, a calculation unit that calculates the coating state of the slurry based on the first data, and corresponding to the analysis result of the coating state. It may include a control device including a control unit that controls the adjustment unit.

Description

Control device, control system, and operating method of the control device {CONTROL APPARATUS, CONTROL SYSTEM, AND OPERATING METHOD OF CONTROL APPARATUS}

본 문서에 개시된 실시예들은 제어 장치, 제어 시스템 및 제어 장치의 동작 방법에 관한 것이다. Embodiments disclosed in this document relate to a control device, a control system, and a method of operating the control device.

최근 이차 전지에 대한 연구 개발이 활발히 이루어지고 있다. 여기서 이차 전지는 충방전이 가능한 전지로서, 종래의 Ni/Cd 배터리, Ni/MH 배터리 등과 최근의 리튬 이온 배터리를 모두 포함하는 의미이다. 이차 전지 중 리튬 이온 배터리는 종래의 Ni/Cd 배터리, Ni/MH 배터리 등에 비하여 에너지 밀도가 훨씬 높다는 장점이 있다. 또한, 리튬 이온 배터리는 소형, 경량으로 제작할 수 있어서 이동 기기의 전원으로 사용되며, 최근에는 전기 자동차의 전원으로 사용 범위가 확장되어 차세대 에너지 저장 매체로 주목을 받고 있다. Recently, research and development on secondary batteries has been actively conducted. Here, the secondary battery is a battery capable of charging and discharging, and includes both conventional Ni/Cd batteries, Ni/MH batteries, etc., and recent lithium ion batteries. Among secondary batteries, lithium-ion batteries have the advantage of having much higher energy density than conventional Ni/Cd batteries, Ni/MH batteries, etc. In addition, lithium-ion batteries can be made small and lightweight, so they are used as a power source for mobile devices. Recently, their range of use has expanded to a power source for electric vehicles, and they are attracting attention as a next-generation energy storage medium.

이차 전지는 양극, 음극, 및 양극과 음극 사이에 개재되는 분리막이 적층된 구조의 전극 조립체를 포함하며, 활물질, 도전재 및/또는 바인더 등을 용매에 분산시켜 슬러리를 제조한 후, 슬러리를 집전체에 직접 도포하여 형성하는 방법, 또는 슬러리를 별도의 지지체 상부에 도포시키고, 지지체로부터 박리한 필름을 집전체 상에 라미네이션하여 형성하는 방법을 통해 제조된다. The secondary battery includes an electrode assembly having a stacked structure of a positive electrode, a negative electrode, and a separator interposed between the positive electrode and the negative electrode. The slurry is prepared by dispersing an active material, a conductive material, and/or a binder in a solvent, and then the slurry is collected. It is manufactured by forming it by directly applying it to the entire surface, or by applying the slurry on top of a separate support and laminating the film peeled from the support onto the current collector.

전극 코팅 공정에 있어서, 슬러리의 코팅에 관한 균일성을 제어하기 위한 기술을 제안할 필요가 있다. In the electrode coating process, there is a need to propose a technology for controlling the uniformity of slurry coating.

슬러리 코팅의 결과를 고려한 피드백 제어를 통해 슬러리의 코팅량에 관한 품질을 향상시킬 필요가 있다. There is a need to improve the quality of the slurry coating amount through feedback control that considers the results of slurry coating.

슬러리 코팅 균일성을 확보하기 위하여, 슬러리에 관한 데이터 및/또는 코팅 다이를 포함하는 코터에 관한 데이터를 종합적으로 고려한 피드백 제어를 제안할 필요가 있다. In order to ensure slurry coating uniformity, it is necessary to propose feedback control that comprehensively considers data about the slurry and/or data about the coater including the coating die.

본 문서에 개시된 실시예들의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또다른 기술적 과제들은 아래의 기재들로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems of the embodiments disclosed in this document are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

본 문서에 개시되는 일 실시예에 따른 제어 장치는 코팅 다이의 랜드부에서 토출되어 기재에 코팅되는 슬러리(slurry)에 관한 제1 데이터를 획득하는 데이터 획득부; 상기 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산하는 연산부 및 상기 코팅 상태의 연산 결과에 대응하여 상기 랜드부의 높이를 국부적으로 조절하도록 상기 코팅 다이를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. A control device according to an embodiment disclosed in this document includes a data acquisition unit that acquires first data about a slurry that is discharged from a land portion of a coating die and coated on a substrate; It may include a calculation unit that calculates the coating state of the slurry based on the first data, and a control unit that controls the coating die to locally adjust the height of the land portion in response to the calculation result of the coating state.

일 실시예에 따르면, 상기 제1 데이터는 슬러리의 코팅량 또는 코팅 두께에 관한 데이터를 포함할 수 있다. According to one embodiment, the first data may include data regarding the coating amount or coating thickness of the slurry.

일 실시예에 따르면, 상기 데이터 획득부는 상기 코팅 다이를 포함하는 코터에 관한 제2 데이터를 더 획득하고, 상기 연산부는 상기 제1 데이터 및 상기 제2 데이터에 기반하여 상기 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. According to one embodiment, the data acquisition unit further acquires second data about the coater including the coating die, and the calculation unit calculates the coating state of the slurry based on the first data and the second data. You can.

일 실시예에 따르면, 상기 제2 데이터는 슬러리 펌프 유량, 슬러리 온도 또는 상기 코터의 설치 정보에 관한 데이터를 포함할 수 있다. According to one embodiment, the second data may include data regarding slurry pump flow rate, slurry temperature, or installation information of the coater.

본 문서에 개시되는 일 실시예에 따른 제어 시스템은, 슬러리를 토출하는 랜드부 및 상기 랜드부의 높이를 국부적으로 조절하는 복수의 조절부를 포함하는 코팅 다이; 및 상기 랜드부에서 토출되어 기재에 코팅되는 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득하는 데이터 획득부, 상기 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산하는 연산부, 및 상기 코팅 상태의 연산 결과에 대응하여 상기 조절부를 제어하는 제어부를 포함하는 제어 장치를 포함할 수 있다. A control system according to an embodiment disclosed in this document includes a coating die including a land portion that discharges slurry and a plurality of adjustment portions that locally adjust the height of the land portion; and a data acquisition unit for acquiring first data about the slurry discharged from the land unit and coated on the substrate, a calculation unit for calculating the coating state of the slurry based on the first data, and corresponding to the calculation result of the coating state. It may include a control device including a control unit that controls the adjustment unit.

일 실시예에 따르면, 상기 조절부는 서보 모터를 포함할 수 있다. According to one embodiment, the control unit may include a servo motor.

본 문서에 개시되는 일 실시예에 따른 제어 장치의 동작 방법은 코팅 다이의 랜드부에서 토출되어 기재에 코팅되는 슬러리(slurry)에 관한 제1 데이터를 획득하는 동작; 상기 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산하는 동작; 및 상기 코팅 상태의 연산 결과에 대응하여 상기 랜드부의 높이를 국부적으로 조절하도록 상기 코팅 다이를 제어하는 동작을 포함할 수 있다. A method of operating a control device according to an embodiment disclosed in this document includes acquiring first data about a slurry discharged from a land portion of a coating die and coated on a substrate; An operation of calculating the coating state of the slurry based on the first data; And it may include an operation of controlling the coating die to locally adjust the height of the land portion in response to the calculation result of the coating state.

일 실시예에 따르면, 상기 코팅 다이를 포함하는 코터에 관한 제2 데이터를 획득하는 동작을 더 포함하고, 상기 제1 데이터 및 상기 제2 데이터에 기반하여 상기 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다.According to one embodiment, the method further includes acquiring second data about a coater including the coating die, and calculating the coating state of the slurry based on the first data and the second data.

본 문서의 개시에 따른 제어 장치, 제어 시스템, 제어 장치의 동작 방법은 슬러리의 코팅량을 1㎛ 단위로 정밀하게 제어할 수 있다. The control device, control system, and operating method of the control device according to the disclosure of this document can precisely control the coating amount of slurry in units of 1㎛.

본 문서의 개시에 따른 제어 장치, 제어 시스템, 제어 장치의 동작 방법은 약 1%의 오차 범위 내에서 슬러리의 코팅량을 정밀하게 제어할 수 있다. The control device, control system, and operating method of the control device according to the disclosure of this document can precisely control the coating amount of slurry within an error range of about 1%.

본 문서의 개시에 따른 제어 장치, 제어 시스템, 제어 장치의 동작 방법은 슬러리 코팅 결과를 고려한 피드백 제어를 통해 코팅 품질을 현저히 향상시킬 수 있다. The control device, control system, and operating method of the control device according to the disclosure of this document can significantly improve coating quality through feedback control that considers the slurry coating results.

본 문서의 개시에 따른 제어 장치, 제어 시스템, 제어 장치의 동작 방법에 따르면 슬러리의 코팅량을 정밀하게 제어함으로써, 종래 기술을 이용한 경우에 비하여 슬러리의 코팅 균일성을 현저하게(약 30%) 향상시킬 수 있다.According to the control device, control system, and operation method of the control device according to the disclosure of this document, the coating amount of the slurry is precisely controlled, thereby significantly improving the coating uniformity of the slurry (about 30%) compared to the case using the conventional technology. You can do it.

본 문서의 개시에 따른 제어 장치, 제어 시스템, 제어 장치의 동작 방법은 슬러리에 관한 데이터 및/또는 코팅 다이를 포함하는 코터에 관한 데이터를 종합적으로 고려하여 코팅량을 제어할 수 있다. The control device, control system, and operating method of the control device according to the disclosure of this document can control the coating amount by comprehensively considering data about the slurry and/or data about the coater including the coating die.

본 문서의 개시에 따른 제어 장치, 제어 시스템, 제어 장치의 동작 방법의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또다른 효과들은 본 문서의 개시에 따라 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the control device, control system, and operating method of the control device according to the disclosure of this document are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art according to the disclosure of this document. You will be able to.

도 1은 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 제어 시스템을 보여주는 블록도이다.
도 2는 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 코팅 다이 및 제어 장치를 포함하는 제어 시스템을 보여주는 도면이다.
도 3은 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 코팅 다이를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 도 3의 코팅 다이를 a-a선을 따라 절단한 단면도이다.
도 5는 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 제어 장치를 보여주는 블록도이다.
도 6 및 도 7은 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 제어 장치의 동작 방법을 보여주는 도면이다.
도면의 설명과 관련하여, 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일 또는 유사한 참조 부호가 사용될 수 있다. 1 is a block diagram showing a control system according to an embodiment disclosed in this document.
Figure 2 is a diagram showing a control system including a coating die and a control device according to an embodiment disclosed in this document.
Figure 3 is a diagram showing a coating die according to an embodiment disclosed in this document.
Figure 4 is a cross-sectional view taken along line aa of the coating die of Figure 3 according to an embodiment disclosed in this document.
Figure 5 is a block diagram showing a control device according to an embodiment disclosed in this document.
6 and 7 are diagrams showing a method of operating a control device according to an embodiment disclosed in this document.
In relation to the description of the drawings, identical or similar reference numerals may be used for identical or similar components.

이하, 본 발명의 다양한 실시 예가 첨부된 도면을 참조하여 기재된다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 실시 예의 다양한 변경(modification), 균등물(equivalent), 및/또는 대체물(alternative)을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. Hereinafter, various embodiments of the present invention are described with reference to the accompanying drawings. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include various modifications, equivalents, and/or alternatives to the embodiments of the present invention.

본 문서의 다양한 실시예들 및 이에 사용된 용어들은 본 문서에 기재된 기술적 특징들을 특정한 실시예들로 한정하려는 것이 아니며, 해당 실시예의 다양한 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면의 설명과 관련하여, 유사한 또는 관련된 구성요소에 대해서는 유사한 참조 부호가 사용될 수 있다. 아이템에 대응하는 명사의 단수 형은 관련된 문맥상 명백하게 다르게 지시하지 않는 한, 상기 아이템 한 개 또는 복수 개를 포함할 수 있다. The various embodiments of this document and the terms used herein are not intended to limit the technical features described in this document to specific embodiments, and should be understood to include various changes, equivalents, or replacements of the embodiments. In connection with the description of the drawings, similar reference numbers may be used for similar or related components. The singular form of a noun corresponding to an item may include one or more of the above items, unless the relevant context clearly indicates otherwise.

본 문서에서, "A 또는 B", "A 및 B 중 적어도 하나", "A 또는 B 중 적어도 하나", "A, B 또는 C", "A, B 및 C 중 적어도 하나", 및 "A, B, 또는 C 중 적어도 하나"와 같은 문구들 각각은 그 문구들 중 해당하는 문구에 함께 나열된 항목들 중 어느 하나, 또는 그들의 모든 가능한 조합을 포함할 수 있다. "제 1", "제 2", "첫째", "둘째", "A", "B", "(a)" 또는 "(b)"와 같은 용어들은 단순히 해당 구성요소를 다른 해당 구성요소와 구분하기 위해 사용될 수 있으며, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성요소들을 다른 측면(예: 중요성 또는 순서)에서 한정하지 않는다. As used herein, “A or B”, “at least one of A and B”, “at least one of A or B”, “A, B or C”, “at least one of A, B and C”, and “A Each of phrases such as “at least one of , B, or C” may include any one of the items listed together in the corresponding phrase, or any possible combination thereof. Terms such as “first”, “second”, “first”, “second”, “A”, “B”, “(a)” or “(b)” simply refer to one element as another corresponding element. It can be used to distinguish between and, unless specifically stated to the contrary, does not limit the components in other respects (e.g., importance or order).

본 문서에서, 어떤(예: 제 1) 구성요소가 다른(예: 제 2) 구성요소에, "기능적으로" 또는 "통신적으로"라는 용어와 함께 또는 이런 용어 없이, "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 언급되거나 "커플드" 또는 "커넥티드"라고 언급된 경우, 그것은 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로(예: 유선으로), 무선으로, 또는 제 3 구성요소를 통하여 연결될 수 있다는 것을 의미한다.In this document, one (e.g. first) component is referred to as "connected" or "coupled" to another (e.g. second) component, with or without the terms "functionally" or "communicatively". " or "connected," or "coupled," or "connected," means that any component is connected to another component directly (e.g., wired), wirelessly, or via a third component. This means that it can be connected through.

일실시예에 따르면, 본 문서에 개시된 다양한 실시예들에 따른 방법은 컴퓨터 프로그램 제품(computer program product)에 포함되어 제공될 수 있다. 컴퓨터 프로그램 제품은 상품으로서 판매자 및 구매자 간에 거래될 수 있다. 컴퓨터 프로그램 제품은 기기로 읽을 수 있는 저장 매체(예: compact disc read only memory(CD-ROM))의 형태로 배포되거나, 또는 어플리케이션 스토어를 통해 또는 두 개의 사용자 장치들 간에 직접, 온라인으로 배포(예: 다운로드 또는 업로드)될 수 있다. 온라인 배포의 경우에, 컴퓨터 프로그램 제품의 적어도 일부는 제조사의 서버, 어플리케이션 스토어의 서버, 또는 중계 서버의 메모리와 같은 기기로 읽을 수 있는 저장 매체에 적어도 일시 저장되거나, 임시적으로 생성될 수 있다.According to one embodiment, methods according to various embodiments disclosed in this document may be included and provided in a computer program product. Computer program products are commodities and can be traded between sellers and buyers. A computer program product may be distributed on a machine-readable storage medium (e.g. compact disc read only memory (CD-ROM)) or distributed online, directly through an application store or between two user devices (e.g. : can be downloaded or uploaded). In the case of online distribution, at least a portion of the computer program product may be at least temporarily stored or temporarily created in a machine-readable storage medium, such as the memory of a manufacturer's server, an application store's server, or a relay server.

다양한 실시예들에 따르면, 상기 기술한 구성요소들의 각각의 구성요소(예: 모듈 또는 프로그램)는 단수 또는 복수의 개체를 포함할 수 있으며, 복수의 개체 중 일부는 다른 구성요소에 분리 배치될 수도 있다. 다양한 실시예들에 따르면, 전술한 해당 구성요소들 중 하나 이상의 구성요소들 또는 동작들이 생략되거나, 또는 하나 이상의 다른 구성요소들 또는 동작들이 추가될 수 있다. 대체적으로 또는 추가적으로, 복수의 구성요소들(예: 모듈 또는 프로그램)은 하나의 구성요소로 통합될 수 있다. 이런 경우, 통합된 구성요소는 상기 복수의 구성요소들 각각의 구성요소의 하나 이상의 기능들을 상기 통합 이전에 상기 복수의 구성요소들 중 해당 구성요소에 의해 수행되는 것과 동일 또는 유사하게 수행할 수 있다. 다양한 실시예들에 따르면, 모듈, 프로그램 또는 다른 구성요소에 의해 수행되는 동작들은 순차적으로, 병렬적으로, 반복적으로, 또는 휴리스틱하게 실행되거나, 상기 동작들 중 하나 이상이 다른 순서로 실행되거나, 생략되거나, 또는 하나 이상의 다른 동작들이 추가될 수 있다.According to various embodiments, each component (e.g., module or program) of the above-described components may include a single or plural entity, and some of the plurality of entities may be separately placed in other components. there is. According to various embodiments, one or more of the components or operations described above may be omitted, or one or more other components or operations may be added. Alternatively or additionally, multiple components (eg, modules or programs) may be integrated into a single component. In this case, the integrated component may perform one or more functions of each component of the plurality of components in the same or similar manner as those performed by the corresponding component of the plurality of components prior to the integration. . According to various embodiments, operations performed by a module, program, or other component may be executed sequentially, in parallel, iteratively, or heuristically, or one or more of the operations may be executed in a different order, or omitted. Alternatively, one or more other operations may be added.

도 1은 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 제어 시스템을 보여주는 블록도이다. 1 is a block diagram showing a control system according to an embodiment disclosed in this document.

도 1을 참조하면, 제어 시스템(1)은 코팅 다이(10) 및 제어 장치(20)를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 코팅 다이(10)는 랜드부(12) 및 복수의 조절부(14)를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어 장치(20)는 데이터 획득부(22), 연산부(24) 및 제어부(26)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , the control system 1 may include a coating die 10 and a control device 20 . According to an embodiment, the coating die 10 may include a land portion 12 and a plurality of adjustment portions 14. According to the embodiment, the control device 20 may include a data acquisition unit 22, a calculation unit 24, and a control unit 26.

코팅 다이(10)는 공급받은 슬러리를 토출할 수 있다. 실시예에 따르면, 코팅 다이(10)는 랜드부(12)를 통하여 슬러리를 토출할 수 있다. 실시예에 따르면, 랜드부(12)는 상부 다이 및 하부 다이 사이의 이격 공간을 의미할 수 있다. 예를 들면, 코팅 다이(10)는 상부 다이 및 하부 다이 사이의 이격 공간을 통하여 슬러리를 토출할 수 있다. 실시예에 따르면, 랜드부(12)에서 토출되는 슬러리는 기재(foil)에 코팅될 수 있다. The coating die 10 can discharge the supplied slurry. According to the embodiment, the coating die 10 may discharge slurry through the land portion 12. According to the embodiment, the land portion 12 may refer to a space between the upper die and the lower die. For example, the coating die 10 may discharge slurry through the space between the upper die and the lower die. According to an embodiment, the slurry discharged from the land portion 12 may be coated on a substrate (foil).

코팅 다이(10)는 랜드부(12)의 높이를 국부적으로 조절할 수 있다. 실시예에 따르면, 코팅 다이(10)는 조절부(14)를 통하여 랜드부(12)의 높이를 국부적으로 조절할 수 있다. 실시예에 따르면, 코팅 다이(10)는 복수의 조절부(14)를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 복수의 조절부(14)는 상하 제어를 통하여 랜드부(12)의 높이를 국부적으로 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 복수의 조절부(14)는 상호 병렬로 연결될 수 있다. The coating die 10 can locally adjust the height of the land portion 12. According to the embodiment, the coating die 10 can locally adjust the height of the land portion 12 through the adjusting portion 14. According to an embodiment, the coating die 10 may include a plurality of adjusting portions 14. According to the embodiment, the plurality of adjustment units 14 may locally control the height of the land unit 12 through up and down control. According to the embodiment, the plurality of control units 14 may be connected to each other in parallel.

실시예에 따르면, 조절부(14)는 서보 모터를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 조절부(14)는 서보 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 변환할 수 있다. 예를 들면, 조절부(14)는 서보 모터의 회전 운동을 상하 운동으로 변환할 수 있다. 실시예에 따르면, 서보 모터를 포함하는 복수의 조절부(14) 중 적어도 하나는 상하로 제어됨으로써, 랜드부(12)의 높이를 국부적으로 조절할 수 있다. 실시예에 따르면, 서보 모터를 포함하는 조절부(14)는 랜드부(12)의 높이를 1㎛ 단위로 조절할 수 있다. According to an embodiment, the control unit 14 may include a servo motor. According to the embodiment, the control unit 14 may convert the rotational motion of the servo motor into linear motion. For example, the control unit 14 can convert the rotational movement of the servo motor into up and down movement. According to the embodiment, at least one of the plurality of adjustment units 14 including a servo motor is controlled up and down, thereby allowing the height of the land unit 12 to be locally adjusted. According to the embodiment, the control unit 14 including a servo motor can adjust the height of the land part 12 in 1㎛ units.

제어 장치(20)는 데이터 획득부(22)를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 데이터 획득부(22)는 랜드부(12)에서 토출된 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, 제1 데이터는 랜드부(12)에서 토출되어 기재에 코팅되는 슬러리에 관한 데이터에 해당할 수 있다. 예를 들면, 데이터 획득부(22)는 랜드부(12)에서 토출되어 기재에 코팅되는 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, 제1 데이터는 슬러리의 코팅량 또는 두께에 관한 데이터를 포함할 수 있다. The control device 20 may include a data acquisition unit 22. According to the embodiment, the data acquisition unit 22 may acquire first data regarding the slurry discharged from the land unit 12. According to the embodiment, the first data may correspond to data about the slurry discharged from the land portion 12 and coated on the substrate. For example, the data acquisition unit 22 may acquire first data about the slurry discharged from the land unit 12 and coated on the substrate. According to an embodiment, the first data may include data regarding the coating amount or thickness of the slurry.

실시예에 따르면, 데이터 획득부(22)는 코팅 다이(10)를 포함하는 코터에 관한 제2 데이터를 더 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, 코터는 코팅 다이(10) 및 전극 제조 공정에 참여하는 구성을 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 전극 제조 공정에 참여하는 구성은 건조부, 검사부, 권취부 및/또는 권출부를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 건조부는 슬러리가 코팅된 기재를 건조시키는 구성이고, 검사부는 슬러리의 코팅이 정상적으로 수행되었는지 여부를 검사하는 구성이고, 권취부는 기재에 슬러리가 코팅되어 형성된 전극을 권취하는 구성이고, 권출부는 기재를 감아두었다가 권출하여 공급하는 구성일 수 있다. 예를 들면, 코터는 코팅 다이(10)를 포함하고, 건조부, 검사부, 권취부 및/또는 권출부를 더 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 제2 데이터는 코팅 다이(10)를 포함하는 코터의 설비 인자에 관한 데이터를 의미할 수 있다. 실시예에 따르면, 제2 데이터는 슬러리 펌프 유량, 슬러리 온도 또는 다이(10)의 설치 정보를 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않는다. According to the embodiment, the data acquisition unit 22 may further acquire second data about the coater including the coating die 10. According to an embodiment, the coater may include components participating in the coating die 10 and the electrode manufacturing process. According to an embodiment, components participating in the electrode manufacturing process may include a drying unit, an inspection unit, a winding unit, and/or an unwinding unit. According to the embodiment, the drying unit is configured to dry the slurry-coated substrate, the inspection unit is configured to inspect whether the slurry coating was performed normally, and the winding unit is configured to wind the electrode formed by coating the slurry on the substrate, The unwinding unit may be configured to wind the base material, then unwrap it and supply it. For example, the coater includes a coating die 10 and may further include a drying section, an inspection section, a winding section, and/or an unwinding section. According to an embodiment, the second data may mean data about equipment parameters of a coater including the coating die 10. According to an embodiment, the second data may include slurry pump flow rate, slurry temperature, or installation information of die 10. However, it is not limited to this.

제어장치(20)는 연산부(24)를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(24)는 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(24)는 데이터 획득부(22)에서 획득한 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(24)는 슬러리의 코팅 결과를 분석하고, 슬러리의 코팅 결과에 따른 코팅 제어 방향을 도출하는 등으로 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. The control device 20 may include a calculation unit 24. According to the embodiment, the calculation unit 24 may calculate the coating state of the slurry. According to the embodiment, the calculation unit 24 may calculate the coating state of the slurry based on data acquired by the data acquisition unit 22. According to the embodiment, the calculation unit 24 may calculate the coating state of the slurry by analyzing the coating result of the slurry and deriving a coating control direction according to the coating result of the slurry.

실시예에 따르면, 연산부(24)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 결과를 분석할 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(24)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 균일성을 분석할 수 있다. 예를 들면, 연산부(24)는 슬러리의 코팅량 또는 두께에 관한 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 균일성을 분석할 수 있다. According to the embodiment, the calculation unit 24 may analyze the slurry coating result based on the first data. According to the embodiment, the calculation unit 24 may analyze the coating uniformity of the slurry based on the first data. For example, the calculation unit 24 may analyze the coating uniformity of the slurry based on data regarding the coating amount or thickness of the slurry.

실시예에 따르면, 연산부(24)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. 슬러리의 코팅 제어 방향이란, 슬러리의 목표 코팅 상태에 도달하기 위하여 제어가 필요한 방향성을 의미할 수 있다. 예를 들면, 슬러리의 코팅 제어 방향은 슬러리의 코팅 결과에 기반하여 도출될 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(24)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 결과를 분석하고, 분석 결과에 기반하여 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. 예를 들면, 연산부(24)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 균일성을 분석하고, 코팅 균일성의 분석 결과에 기반하여 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. 실시예에 따르면, 슬러리의 코팅 제어 방향은 슬러리의 목표 코팅량, 토출되는 슬러리의 제어량, 제어가 수행되는 시간, 복수의 조절부(14) 중에서 제어가 필요한 조절부(14), 제어가 필요한 조절부(14)의 제어 방향(상 또는 하) 및/또는 제어 거리(높이)를 포함할 수 있다. 다만, 연산부(24)에서 분석하는 슬러리의 코팅 제어 방향은 이에 한정되지 않는다. 실시예에 따르면, 연산부(24)는 제어가 필요한 조절부(14)의 제어의 정도를 분석하기 위하여, 조절부(14)의 제어에 따른 랜드부(12)의 높이 변화를 분석할 수 있다. According to the embodiment, the calculation unit 24 may derive the coating control direction of the slurry based on the first data. The coating control direction of the slurry may mean the direction that needs to be controlled in order to reach the target coating state of the slurry. For example, the coating control direction of the slurry may be derived based on the coating result of the slurry. According to the embodiment, the calculation unit 24 may analyze the coating result of the slurry based on the first data and derive the coating control direction of the slurry based on the analysis result. For example, the calculation unit 24 may analyze the coating uniformity of the slurry based on the first data and derive the coating control direction of the slurry based on the analysis result of the coating uniformity. According to the embodiment, the coating control direction of the slurry is the target coating amount of the slurry, the control amount of the slurry discharged, the time for which control is performed, the control unit 14 that requires control among the plurality of control units 14, and the control that requires control. It may include a control direction (up or down) and/or a control distance (height) of the portion 14. However, the coating control direction of the slurry analyzed by the calculation unit 24 is not limited to this. According to the embodiment, the calculation unit 24 may analyze the change in height of the land portion 12 according to the control of the adjustment unit 14 in order to analyze the degree of control of the adjustment unit 14 that requires control.

실시예에 따르면, 연산부(24)는 제1 데이터 및 제2 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(24)는 제1 데이터 및 제2 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(24)는 제2 데이터가 슬러리의 코팅 상태에 미치는 영향을 고려하여, 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. According to the embodiment, the calculation unit 24 may calculate the coating state of the slurry based on the first data and the second data. According to the embodiment, the calculation unit 24 may derive the coating control direction of the slurry based on the first data and the second data. According to the embodiment, the calculation unit 24 may derive the coating control direction of the slurry by considering the influence of the second data on the coating state of the slurry.

제어장치(20)는 제어부(26)를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(26)는 조절부(14)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(26)는 연산부(24)의 분석 결과에 대응하여 조절부(14)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(26)는 코팅 상태의 분석 결과에 대응하여 조절부(14)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(26)는 연산부(24)에서 도출한 슬러리의 코팅 제어 방향에 대응하여 조절부(14)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(26)는 연산부(24)에서 분석한 슬러리의 코팅 제어 방향에 대응하여 조절부(14)를 상하 방향으로 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(26)는 조절부(14)를 1㎛ 단위로 제어할 수 있다. The control device 20 may include a control unit 26. According to the embodiment, the control unit 26 may control the adjustment unit 14. According to the embodiment, the control unit 26 may control the adjustment unit 14 in response to the analysis result of the calculation unit 24. According to the embodiment, the control unit 26 may control the adjustment unit 14 in response to the analysis result of the coating state. According to the embodiment, the control unit 26 may control the adjustment unit 14 in response to the coating control direction of the slurry derived from the calculation unit 24. According to the embodiment, the control unit 26 may control the adjustment unit 14 in the vertical direction in response to the coating control direction of the slurry analyzed by the calculation unit 24. According to the embodiment, the control unit 26 may control the adjustment unit 14 in units of 1 μm.

도 2는 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 코팅 다이 및 제어 장치를 포함하는 제어 시스템을 보여주는 도면이다. Figure 2 is a diagram showing a control system including a coating die and a control device according to an embodiment disclosed in this document.

도 2를 참조하면, 제어 시스템은 코팅 다이(100) 및 제어 장치(200)를 포함할 수 있다. 이하에서는 제어 시스템에 대하여 도 1을 참조하여 설명하고, 중복되는 내용은 생략하거나 간략히 설명한다. Referring to FIG. 2, the control system may include a coating die 100 and a control device 200. Hereinafter, the control system will be described with reference to FIG. 1, and overlapping content will be omitted or briefly described.

코팅 다이(100)는 랜드부(120) 및 조절부(140)를 포함할 수 있다. 이들 구성은 각각 도 1의 코팅 다이(10), 랜드부(12), 및 조절부(14)와 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. 도 2의 제어 시스템에 포함된 코팅 다이(100)는 코팅 다이의 단면에 대한 모식도로서, 코팅 다이(100)의 구성에 대한 보다 구체적인 내용은 도 3 및 도 4에서 설명한다.The coating die 100 may include a land portion 120 and an adjustment portion 140. These configurations may be substantially the same as the coating die 10, land portion 12, and adjusting portion 14 of FIG. 1, respectively. The coating die 100 included in the control system of FIG. 2 is a schematic diagram of the cross section of the coating die, and more detailed information about the configuration of the coating die 100 will be described in FIGS. 3 and 4.

코팅 다이(100)는 랜드부(120)를 통하여 슬러리를 토출할 수 있다. 슬러리는 코팅 다이(100)에서 코팅롤(R)이 설치된 방향으로 토출될 수 있다. 코팅 다이(100)에서 토출된 슬러리는 코팅롤(R)에 의해 이동되는 기재(M)에 코팅될 수 있다. The coating die 100 may discharge slurry through the land portion 120. The slurry may be discharged from the coating die 100 in the direction in which the coating roll (R) is installed. The slurry discharged from the coating die 100 may be coated on the substrate (M) moved by the coating roll (R).

조절부(140)는 랜드부(120)의 높이를 국부적으로 조절할 수 있다. 조절부(140)는 랜드부(120)의 높이를 조절함으로써, 기재(M)에 토출되는 슬러리의 양을 조절할 수 있다. 실시예에 따르면, 조절부(140)는 서보 모터를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 조절부(140)는 서보 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 변환할 수 있다. The adjusting unit 140 can locally adjust the height of the land unit 120. The control unit 140 can control the amount of slurry discharged to the substrate M by adjusting the height of the land unit 120. According to the embodiment, the control unit 140 may include a servo motor. According to the embodiment, the control unit 140 may convert the rotational motion of the servo motor into linear motion.

제어장치(200)는 데이터 획득부(220), 연산부(240), 및 제어부(260)를 포함할 수 있다. 이들 구성은 각각 도 1의 제어장치(20), 데이터 획득부(22), 연산부(24), 및 제어부(26)과 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. The control device 200 may include a data acquisition unit 220, a calculation unit 240, and a control unit 260. These configurations may be substantially the same as the control device 20, data acquisition unit 22, calculation unit 24, and control unit 26 of FIG. 1, respectively.

데이터 획득부(220)는 랜드부(12)에서 토출된 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, 데이터 획득부(220)는 랜드부(120)에서 토출되어 기재(M)에 코팅되는 슬러리에 관한 제1 데이터(예: 슬러리의 코팅량 또는 코팅 두께 등)를 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, 데이터 획득부(220)는 코팅 다이(10)를 포함하는 코터에 관한 제2 데이터를 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, 제2 데이터는 코팅 다이(10)를 포함하는 코터의 설비 인자에 관한 데이터(예: 슬러리 펌프 유량, 슬러리 온도 또는 코터의 설치 정보 등)를 의미할 수 있다. The data acquisition unit 220 may acquire first data regarding the slurry discharged from the land unit 12. According to the embodiment, the data acquisition unit 220 may acquire first data (e.g., the coating amount or coating thickness of the slurry, etc.) regarding the slurry discharged from the land portion 120 and coated on the substrate M. . According to the embodiment, the data acquisition unit 220 may acquire second data about the coater including the coating die 10. According to the embodiment, the second data may mean data about equipment parameters of the coater including the coating die 10 (eg, slurry pump flow rate, slurry temperature, or installation information of the coater, etc.).

연산부(240)는 데이터 획득부(220)에서 획득한 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(240)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 균일성을 분석하거나 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(240)는 제1 데이터 및 제2 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 균일성을 분석하거나 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. The calculation unit 240 may calculate the coating state of the slurry based on the data acquired by the data acquisition unit 220. According to the embodiment, the calculation unit 240 may analyze the coating uniformity of the slurry or derive the coating control direction of the slurry based on the first data. According to the embodiment, the calculation unit 240 may analyze the coating uniformity of the slurry or derive the coating control direction of the slurry based on the first data and the second data.

제어부(260)는 조절부(140)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(260)는 연산부(24)의 연산 결과에 대응하여 조절부(140)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(260)는 코팅 상태의 연산 결과에 대응하여 조절부(140)를 제어할 수 있다. 제어부(260)는 조절부(140)의 상하 움직임을 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(260)자 조절부(140)의 상하 움직임을 제어함으로써, 랜드부(120)의 높이가 국부적으로 조절될 수 있다. The control unit 260 can control the adjustment unit 140. According to the embodiment, the control unit 260 may control the adjustment unit 140 in response to the calculation result of the calculation unit 24. According to the embodiment, the control unit 260 may control the adjustment unit 140 in response to the calculation result of the coating state. The control unit 260 may control the vertical movement of the adjustment unit 140. According to an embodiment, the height of the land portion 120 can be locally adjusted by controlling the vertical movement of the control portion 140 of the control portion 260.

도 3은 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 코팅 다이를 보여주는 도면이다. Figure 3 is a diagram showing a coating die according to an embodiment disclosed in this document.

도 3을 참조하면, 코팅 다이는 랜드부(120) 및 조절부(140)를 포함할 수 있다. 이하에서는 코팅 다이에 대하여 도 1 및 도 2를 참조하여 설명하고, 중복되는 내용은 생략하거나 간략히 설명한다. Referring to FIG. 3, the coating die may include a land portion 120 and an adjusting portion 140. Hereinafter, the coating die will be described with reference to FIGS. 1 and 2, and overlapping content will be omitted or briefly described.

도 3의 코팅 다이는 도 1의 코팅 다이(10) 및 도 2의 코팅 다이(100)와, 도 3의 랜드부(120)는 도 1의 랜드부(12) 및 도 2의 랜드부(120)와, 도 3의 조절부(140)는 도 1의 조절부(14) 및 도 2의 조절부(140)와 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. The coating die of FIG. 3 includes the coating die 10 of FIG. 1 and the coating die 100 of FIG. 2, and the land portion 120 of FIG. 3 includes the land portion 12 of FIG. 1 and the land portion 120 of FIG. 2. ), and the control unit 140 of FIG. 3 may have substantially the same configuration as the control unit 14 of FIG. 1 and the control unit 140 of FIG. 2.

랜드부(120)는 코팅 다이의 제1 다이(131) 및 제2 다이(132) 사이의 이격 공간을 의미할 수 있다. 실시예에 따르면, 랜드부(120)는 코팅 다이 외부로 슬러리를 토출할 수 있다. 실시예에 따르면, 랜드부(120)의 높이는 슬러리의 물성, 코팅 다이의 길이 또는 그 외의 요인들에 따라 다르게 설계될 수 있다. The land portion 120 may refer to the space between the first die 131 and the second die 132 of the coating die. According to an embodiment, the land portion 120 may discharge slurry to the outside of the coating die. According to the embodiment, the height of the land portion 120 may be designed differently depending on the physical properties of the slurry, the length of the coating die, or other factors.

조절부(140)는 랜드부(120)의 높이를 국부적으로 조절할 수 있다. 조절부(140)는 복수의 조절부를 포함할 수 있다. 복수의 조절부(140)는 각각의 상하 제어를 통하여 랜드부(120)의 높이를 국부적으로 조절할 수 있다. 조절부(140)는 서보 모터를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 서보 모터를 포함하는 조절부(140)는 랜드부(120)의 높이를 1㎛ 단위로 조절할 수 있다. 조절부(140)의 구성에 대한 보다 구체적인 내용은 도 4에서 설명한다.The adjusting unit 140 can locally adjust the height of the land unit 120. The control unit 140 may include a plurality of control units. The plurality of adjustment units 140 can locally adjust the height of the land unit 120 through respective up and down controls. The control unit 140 may include a servo motor. According to the embodiment, the control unit 140 including a servo motor can adjust the height of the land part 120 in 1㎛ units. More detailed information about the configuration of the control unit 140 is explained in FIG. 4.

도 4는 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 도 3의 코팅 다이를 a-a선을 따라 절단한 단면도이다. Figure 4 is a cross-sectional view taken along line a-a of the coating die of Figure 3 according to an embodiment disclosed in this document.

도 4를 참조하면, 코팅 다이(100)는 랜드부(120) 및 조절부(140)를 포함할 수 있다. 이하에서는 코팅 다이에 대하여 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하고, 중복되는 내용은 생략하거나 간략히 설명한다. Referring to FIG. 4, the coating die 100 may include a land portion 120 and an adjustment portion 140. Hereinafter, the coating die will be described with reference to FIGS. 1 to 3, and overlapping content will be omitted or briefly described.

도 4의 코팅 다이는 도 1의 코팅 다이(10), 도 2의 코팅 다이(100) 및 도 3의 코팅 다이와 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. The coating die of FIG. 4 may have substantially the same configuration as the coating die 10 of FIG. 1, the coating die 100 of FIG. 2, and the coating die of FIG. 3.

랜드부(120)는 제1 다이(131) 및 제2 다이(132) 사이의 이격 공간을 의미할 수 있다. 도 4의 랜드부(120)는 도 1의 랜드부(12), 도 2의 랜드부(120) 및 도 3의 랜드부(120)와 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. The land portion 120 may refer to the space between the first die 131 and the second die 132. The land portion 120 of FIG. 4 may have substantially the same configuration as the land portion 12 of FIG. 1, the land portion 120 of FIG. 2, and the land portion 120 of FIG. 3.

조절부(140)는 구동부(142), 이동부(144), 연결부(146), 및/또는 블록부(148)을 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 조절부(140)는 제1 다이(131) 및/또는 제2 다이(132)에 장착될 수 있다. The adjusting unit 140 may include a driving unit 142, a moving unit 144, a connecting unit 146, and/or a block unit 148. According to the embodiment, the adjusting unit 140 may be mounted on the first die 131 and/or the second die 132.

구동부(142)는 전기적인 신호를 전달받을 수 있다. 실시예에 따르면, 구동부(142)는 전기적 신호에 의하여 운동 에너지를 발생시킬 수 있다. 구동부(142)는 발생된 운동 에너지를 이동부(144)에 전달함으로써, 이동부(144) 및 블록부(148)의 이동을 야기할 수 있다. The driving unit 142 can receive electrical signals. According to an embodiment, the driving unit 142 may generate kinetic energy by an electrical signal. The driving unit 142 may cause the moving unit 144 and the block unit 148 to move by transferring the generated kinetic energy to the moving unit 144.

실시예에 따르면, 구동부(142)는 회전 운동을 직선 운동으로 변환할 수 있다. 실시예에 따르면, 구동부(142)의 모터는 구동부(142)의 길이 방향상 중심 축을 따라 회전 운동할 수 있고, 이에 따라 모터와 연결된 스크류(예: 리드 스크류, 또는 볼 스크류 등) 등이 함께 회전할 수 있다. 실시예에 따르면, 스크류가 회전함에 따라, 수나사 및 암나사를 통해 스크류와 암수 결합된 부재(예: 너트 및/또는 너트와 결합된 로드 등)는 축 방향을 따라 이동(즉, 직선 운동)할 수 있다. According to an embodiment, the drive unit 142 may convert rotational motion into linear motion. According to an embodiment, the motor of the drive unit 142 may rotate along the central axis in the longitudinal direction of the drive unit 142, and the screw connected to the motor (e.g., lead screw, ball screw, etc.) rotates together. can do. According to an embodiment, as the screw rotates, a member male and female coupled to the screw through male and female threads (e.g., a nut and/or a rod coupled with the nut, etc.) may move along the axial direction (i.e., linear motion). there is.

실시예에 따르면, 이동부(144)는 수나사 및 암나사를 통해 구동부(142)의 스크류와 암수 결합될 수 있다. 실시예에 따르면, 스크류와 암수 결합된 이동부(144)는 블록부(148)와 연결될 수 있다. 실시예에 따르면, 구동부(142)가 회전 운동을 하여 스크류가 회전함에 따라, 스크류와 암수 결합된 이동부(144) 및 이동부(144)와 연결된 블록부(148) 등의 직선 운동이 야기될 수 있다. According to the embodiment, the moving part 144 may be male and female coupled to the screw of the driving part 142 through male and female screws. According to the embodiment, the moving part 144, which is male and female coupled to the screw, may be connected to the block part 148. According to the embodiment, as the driving part 142 rotates and the screw rotates, linear movement of the moving part 144 coupled to the screw and the block part 148 connected to the moving part 144 is caused. You can.

실시예에 따르면, 구동부(142)는 전기적인 신호를 전달받고, 이에 따라 운동 에너지를 발생시킴으로써 구동부(142)와 연결된 이동부(144)를 이동시킬 수 있다. 구동부(142)는 외부의 신호를 수신하기 위한 수신부를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 구동부(142)는 회전 운동을 수행하기 위한 서보 모터를 포함할 수 있다. 예를 들면, 구동부(142)는 외부의 전기적 신호를 수신하여 서보 모터를 구동할 수 있고, 이에 따라, 서보 모터에 연결된 스크류 등이 회전함으로써, 스크류와 암수 결합된 이동부(144)의 직선 운동이 수행될 수 있다. According to an embodiment, the driving unit 142 can move the moving unit 144 connected to the driving unit 142 by receiving an electrical signal and generating kinetic energy accordingly. The driving unit 142 may include a receiving unit for receiving external signals. According to an embodiment, the driving unit 142 may include a servo motor to perform rotational movement. For example, the driving unit 142 may receive an external electrical signal to drive a servo motor, and accordingly, the screw connected to the servo motor rotates, thereby causing the linear movement of the moving unit 144 coupled with the screw. This can be done.

실시예에 따르면, 구동부(142)가 서보 모터를 포함하는 경우, 구동부(142)에 의한 직선 운동은 정밀한 단위로 제어될 수 있다. 구체적으로는, 구동부(142)가 서보 모터를 포함하는 경우, 1㎛ 단위로 이동부(144) 및 블록부(148) 등의 직선 운동을 야기할 수 있다. According to an embodiment, when the drive unit 142 includes a servo motor, linear motion by the drive unit 142 can be controlled in precise units. Specifically, when the driving unit 142 includes a servo motor, it can cause linear movement of the moving unit 144 and the block unit 148 in units of 1㎛.

연결부(146)는 구동부(142) 및/또는 이동부(144)를 블록부(148)와 연결하기 위한 구성으로서, 블록부(148)의 용이한 교체를 위한 것일 수 있다. 실시예에 따르면, 연결부(146)는 구동부(142)의 일단과 블록부(148)의 일단을 연결할 수 있다. 다른 실시예에 따르면, 연결부(146)는 이동부(144)의 일단과 블록부(148)의 일단을 연결할 수 있다. The connection part 146 is a component for connecting the driving part 142 and/or the moving part 144 with the block part 148, and may be used to easily replace the block part 148. According to the embodiment, the connection part 146 may connect one end of the driving part 142 and one end of the block part 148. According to another embodiment, the connection part 146 may connect one end of the moving part 144 and one end of the block part 148.

실시예에 따르면, 연결부(146)는 구동부(142) 또는 이동부(144)의 일단 및 블록부(148)의 일단이 삽입될 수 있도록, 양단에 홈이 구비된 형태로 제공될 수 있다. 다른 실시예예 따르면, 연결부(146)의 구동부(142) 또는 이동부(144)의 외면과 블록부(148)의 외면을 감싸는 실린더 형상 또는 튜브 형상으로 제공될 수 있다. 다른 실시예에 의하면, 연결부(146)는 구동부(142) 또는 이동부(144)의 일단 및 블록부(148)의 일단을 볼트 및 너트를 통하여 연결가능하도록 하는 형상으로 제공될 수 있다. 이외에도 연결부(146)는 구동부(142) 또는 이동부(144)의 일단 및 블록부(148)의 일단을 연결할 수 있는 모든 공개된 형상으로 제공될 수 있으며, 본 문서에 개시된 실시예에 한정되지 않는다. According to an embodiment, the connection part 146 may be provided with grooves at both ends so that one end of the driving part 142 or the moving part 144 and one end of the block part 148 can be inserted. According to another embodiment, it may be provided in a cylindrical or tube shape surrounding the outer surface of the driving part 142 or the moving part 144 of the connecting part 146 and the outer surface of the block part 148. According to another embodiment, the connection part 146 may be provided in a shape that allows one end of the driving part 142 or the moving part 144 and one end of the block part 148 to be connected through a bolt and nut. In addition, the connection part 146 may be provided in any publicly known shape that can connect one end of the driving part 142 or the moving part 144 and one end of the block part 148, and is not limited to the embodiment disclosed in this document. .

블록부(148)는 제1 다이(131) 및/또는 제2 다이(132)에 삽입되어, 구동부(142) 및/또는 이동부(144)에 의해 이동됨으로써 슬러리의 유량을 조절할 수 있다. 블록부(148)는 구동부(142)에 의해 축 방향으로 이동하고, 랜드부(120)의 국부적인 높이를 조절할 수 있다. 실시예에 따르면, 블록부(148)가 제1 다이(131)에 위치하는 경우, 구동부(142)에 의하여 블록부(148)는 제1 다이(131)의 일면으로부터 돌출되거나 함침됨으로써, 슬러리가 토출되는 공간을 축소하거나 확대할 수 있다. The block unit 148 can be inserted into the first die 131 and/or the second die 132 and moved by the driving unit 142 and/or the moving unit 144 to adjust the flow rate of the slurry. The block unit 148 moves in the axial direction by the driving unit 142 and can adjust the local height of the land unit 120. According to an embodiment, when the block portion 148 is located in the first die 131, the block portion 148 protrudes or is impregnated from one surface of the first die 131 by the driving unit 142, thereby forming a slurry. The discharge space can be reduced or expanded.

실시예에 따르면, 블록부(148)에 의하여 제1 다이(131)의 일면이 돌출되는 경우, 랜드부(120)의 높이는 낮아질 수 있다. 다른 실시예에 따르면, 블록부(148)에 의하여 제1 다이(131)의 일면이 함침되는 경우, 랜드부(120)의 높이는 높아질 수 있다. 본 문서에 개시된 실시예에 따른 랜드부(120)의 높이가 낮아지고 높아짐에 따라, 랜드부(120)를 통해 토출되는 슬러리의 양을 조절할 수 있다. According to an embodiment, when one surface of the first die 131 protrudes by the block portion 148, the height of the land portion 120 may be lowered. According to another embodiment, when one surface of the first die 131 is impregnated by the block portion 148, the height of the land portion 120 may be increased. As the height of the land portion 120 according to the embodiment disclosed in this document is lowered and increased, the amount of slurry discharged through the land portion 120 can be adjusted.

실시예에 따르면, 블록부(148)는 제1 다이(131) 및/또는 제2 다이(132)와 평행하게 배치될 수 있을 뿐만 아니라, 제1 다이(131) 및/또는 제2 다이(132)와 일정 범위의 각을 이룰 수 있다. According to an embodiment, the block portion 148 may be disposed parallel to the first die 131 and/or the second die 132, as well as the first die 131 and/or the second die 132. ) can form an angle within a certain range.

도 5는 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 제어 장치를 보여주는 블록도이다. Figure 5 is a block diagram showing a control device according to an embodiment disclosed in this document.

도 5를 참조하면, 제어 장치(200)는 데이터 획득부(220), 연산부(240), 및 제어부(260)를 포함할 수 있다. 이하에서는 제어 장치(200)에 대하여 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명하고, 중복되는 내용은 생략하거나 간략히 설명한다. Referring to FIG. 5 , the control device 200 may include a data acquisition unit 220, a calculation unit 240, and a control unit 260. Hereinafter, the control device 200 will be described with reference to FIGS. 1 to 4, and overlapping content will be omitted or briefly described.

제어 장치(200)는 도 1의 제어 장치(20) 및 도 2의 제어 장치(200)와 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. The control device 200 may have substantially the same configuration as the control device 20 of FIG. 1 and the control device 200 of FIG. 2 .

데이터 획득부(220)는 도 1의 데이터 획득부(22) 및 도 2의 데이터 획득부(220)와 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. 실시예에 따르면, 데이터 획득부(220)는 랜드부(120)에서 토출된 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득할 수 있다. 예를 들면, 데이터 획득부(220)는 랜드부(120)에서 토출되어 기재에 코팅되는 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, 제1 데이터는 슬러리의 코팅량 또는 두께에 관한 데이터를 포함할 수 있다. The data acquisition unit 220 may have substantially the same configuration as the data acquisition unit 22 of FIG. 1 and the data acquisition unit 220 of FIG. 2. According to the embodiment, the data acquisition unit 220 may acquire first data regarding the slurry discharged from the land unit 120. For example, the data acquisition unit 220 may acquire first data about the slurry discharged from the land unit 120 and coated on the substrate. According to an embodiment, the first data may include data regarding the coating amount or thickness of the slurry.

데이터 획득부(220)는 코팅 다이를 포함하는 코터에 관한 제2 데이터를 더 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, 제2 데이터는 코팅 다이를 포함하는 코터의 설비 인자에 관한 데이터를 의미할 수 있다. 실시예에 따르면, 제2 데이터는 슬러리 펌프 유량, 슬러리 온도 또는 코터의 설치 정보를 포함할 수 있다. The data acquisition unit 220 may further acquire second data about the coater including the coating die. According to an embodiment, the second data may mean data about equipment parameters of a coater including a coating die. According to an embodiment, the second data may include slurry pump flow rate, slurry temperature, or installation information of the coater.

연산부(240)는 도 1의 연산부(24) 및 도 2의 연산부(240)와 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(240)는 데이터 획득부(220)가 획득한 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. The calculation unit 240 may have substantially the same configuration as the calculation unit 24 of FIG. 1 and the calculation unit 240 of FIG. 2 . According to the embodiment, the calculation unit 240 may calculate the coating state of the slurry based on the data acquired by the data acquisition unit 220.

실시예에 따르면, 연산부(240)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. 예를 들면, 연산부(240)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 균일성을 분석하거나 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. 슬러리의 코팅 제어 방향은 슬러리의 목표 코팅량, 토출되는 슬러리의 제어량, 제어가 수행되는 시간, 복수의 조절부(140) 중에서 제어가 필요한 조절부(140), 제어가 필요한 조절부(140)의 제어 방향(상 또는 하) 및/또는 제어 거리(높이)를 포함할 수 있다. According to the embodiment, the calculation unit 240 may calculate the coating state of the slurry based on the first data. For example, the calculation unit 240 may analyze the coating uniformity of the slurry or derive the coating control direction of the slurry based on the first data. The coating control direction of the slurry is determined by the target coating amount of the slurry, the control amount of the discharged slurry, the time for which the control is performed, the control unit 140 that requires control among the plurality of control units 140, and the control unit 140 that requires control. May include control direction (up or down) and/or control distance (height).

실시예에 따르면, 연산부(240)는 제1 데이터 및 제2 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. 실시예에 따르면, 연산부(240)는 제1 데이터 및 제2 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 결과를 분석하거나 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. According to the embodiment, the calculation unit 240 may calculate the coating state of the slurry based on the first data and the second data. According to the embodiment, the calculation unit 240 may analyze the slurry coating result or derive the slurry coating control direction based on the first data and the second data.

제어부(260)는 도 1의 제어부(26) 및 도 2의 제어부(260)와 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(260)는 코팅 다이의 조절부(140)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(260)는 연산부(240)의 연산 결과에 대응하여 조절부(140)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(260)는 코팅 상태의 연산 결과에 대응하여 조절부(140)를 제어할 수 있다. The control unit 260 may have substantially the same configuration as the control unit 26 of FIG. 1 and the control unit 260 of FIG. 2. According to the embodiment, the control unit 260 may control the adjustment unit 140 of the coating die. According to the embodiment, the control unit 260 may control the adjustment unit 140 in response to the calculation result of the calculation unit 240. According to the embodiment, the control unit 260 may control the adjustment unit 140 in response to the calculation result of the coating state.

실시예에 따르면, 제어부(260)는 구동부(142)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(260)는 연산부(240)에서 도출한 슬러리의 코팅 제어 방향에 대응하여 조절부가 이동하도록, 구동부(142)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어부(260)는 구동부(142)에 전기적 신호를 전달할 수 있다. 예를 들면, 제어부(260)는 연산부(240)에서 연산한 슬러리의 코팅 제어 방향에 대응하여 조절부가 이동하도록 하는 전기적 신호를 구동부(142)에 전달할 수 있다. 실시예에 따르면, 구동부(142)가 서보 모터를 포함하는 경우, 제어부(260)는 조절부(140)를 1㎛ 단위로 제어할 수 있다. According to the embodiment, the control unit 260 may control the driving unit 142. According to the embodiment, the control unit 260 may control the driving unit 142 so that the adjustment unit moves in response to the coating control direction of the slurry derived from the calculation unit 240. According to an embodiment, the control unit 260 may transmit an electrical signal to the driving unit 142. For example, the control unit 260 may transmit an electrical signal to the driving unit 142 to cause the control unit to move in response to the coating control direction of the slurry calculated by the calculation unit 240. According to an embodiment, when the driving unit 142 includes a servo motor, the control unit 260 may control the adjusting unit 140 in units of 1 μm.

도 6은 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 제어 장치의 동작 방법을 보여주는 도면이다. Figure 6 is a diagram showing a method of operating a control device according to an embodiment disclosed in this document.

도 6을 참조하면, 제어 장치의 동작 방법은, 기재에 코팅되는 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득하는 동작(S110), 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산하는 동작(S120), 및 코팅 상태의 연산 결과에 대응하여 코팅 다이를 제어하는 동작(S130)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 6, the operating method of the control device includes an operation of acquiring first data about the slurry coated on a substrate (S110), an operation of calculating the coating state of the slurry based on the first data (S120), and It may include an operation (S130) of controlling the coating die in response to the calculation result of the coating state.

이하에서는 제어 장치의 동작 방법에 대하여 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명하고, 중복되는 내용은 생략하거나 간략히 설명한다. Hereinafter, the operating method of the control device will be described with reference to FIGS. 1 to 5, and overlapping content will be omitted or briefly described.

S110 동작에서 제어 장치(200)는 기재에 코팅되는 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, S110 동작은 제어 장치(200)의 데이터 획득부(220)에 의하여 수행될 수 있다. In operation S110, the control device 200 may acquire first data regarding the slurry coated on the substrate. According to the embodiment, operation S110 may be performed by the data acquisition unit 220 of the control device 200.

S110 동작에서 제어 장치(200)는 코팅 다이(100)의 랜드부(120)에서 토출되어 기재에 코팅되는 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, 제1 데이터는 슬러리의 코팅량 또는 코팅 두께에 관한 데이터를 포함할 수 있다. In operation S110, the control device 200 may acquire first data about the slurry discharged from the land portion 120 of the coating die 100 and coated on the substrate. According to an embodiment, the first data may include data regarding the coating amount or coating thickness of the slurry.

S120 동작에서 제어 장치(200)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. 실시예에 따르면, S120 동작은 제어 장치(200)의 연산부(240)에 의하여 수행될 수 있다. In operation S120, the control device 200 may calculate the coating state of the slurry based on the first data. According to the embodiment, operation S120 may be performed by the calculation unit 240 of the control device 200.

실시예에 따르면, S120 동작에서 제어 장치(200)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 결과를 분석할 수 있다. 예를 들면, 제어 장치(200)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 균일성을 분석할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어 장치(200)는 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. 실시예에 따르면, 슬러리의 코팅 제어 방향은 슬러리의 목표 코팅 상태에 도달하기 위하여 제어가 필요한 방향성을 의미할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어 장치(200)는 슬러리의 코팅 결과에 기반하여 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. 예를 들면, 슬러리의 코팅 제어 방향은 슬러리의 코팅 결과에 기반하여 분석될 수 있다. According to the embodiment, in operation S120, the control device 200 may analyze the slurry coating result based on the first data. For example, the control device 200 may analyze the coating uniformity of the slurry based on the first data. According to the embodiment, the control device 200 may derive the coating control direction of the slurry. According to an embodiment, the coating control direction of the slurry may mean the direction that needs to be controlled to reach the target coating state of the slurry. According to the embodiment, the control device 200 may derive the slurry coating control direction based on the slurry coating result. For example, the coating control direction of the slurry can be analyzed based on the coating results of the slurry.

실시예에 따르면, S120 동작에서 제어 장치(200)는 슬러리의 코팅량 또는 두께에 기반하여 슬러리의 코팅 균일성을 분석할 수 있다. 실시예에 따르면, S120 동작에서 제어 장치(200)는 슬러리의 코팅 균일성 분석 결과에 기반하여 슬러리의 코팅 균일성을 높이기 위해 제어가 필요한 조절부(140) 및 제어가 필요한 조절부(140)의 제어 방향 및 제어 거리(높이)를 도출할 수 있다. According to the embodiment, in operation S120, the control device 200 may analyze the coating uniformity of the slurry based on the coating amount or thickness of the slurry. According to the embodiment, in the S120 operation, the control device 200 controls the control unit 140 and the control unit 140 to increase the coating uniformity of the slurry based on the results of the slurry coating uniformity analysis. Control direction and control distance (height) can be derived.

S130 동작에서 제어 장치(200)는 코팅 상태의 연산 결과에 대응하여 코팅 다이를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, S130 동작은 제어 장치(200)의 제어부(260)에 의하여 수행될 수 있다. In operation S130, the control device 200 may control the coating die in response to the calculation result of the coating state. According to the embodiment, operation S130 may be performed by the control unit 260 of the control device 200.

실시예에 따르면, S130 동작에서 제어 장치(200)는 코팅 다이(100)의 조절부(140)가 연산부(240)의 연산 결과에 대응하여 조절부(140)가 이동하도록 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어 장치(200)는 슬러리의 코팅 상태의 연산 결과에 대응하여 조절부(140)가 이동하도록 제어할 수 있다. According to the embodiment, in operation S130, the control device 200 may control the adjustment unit 140 of the coating die 100 to move in response to the calculation result of the calculation unit 240. According to the embodiment, the control device 200 may control the adjustment unit 140 to move in response to the calculation result of the coating state of the slurry.

실시예에 따르면, S130 동작에서 제어 장치(200)는 조절부(140)를 이동시키기 위하여 구동부(142)를 제어할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어 장치(200)는 구동부(142)에 전기적 신호를 전달할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어 장치(200)는 슬러리의 코팅 상태의 연산 결과에 대응하여 조절부(140)를 이동시키기 위하여, 구동부(142)에 전기적 신호를 전달할 수 있다. 실시예에 따르면, 구동부(142)가 서보 모터를 포함하는 경우, S130 동작에서 제어 장치는 조절부(140)를 1㎛ 단위로 제어할 수 있다.According to the embodiment, in operation S130, the control device 200 may control the driving unit 142 to move the adjusting unit 140. According to the embodiment, the control device 200 may transmit an electrical signal to the driver 142. According to an embodiment, the control device 200 may transmit an electrical signal to the driving unit 142 to move the adjusting unit 140 in response to the calculation result of the coating state of the slurry. According to an embodiment, when the driving unit 142 includes a servo motor, the control device may control the adjusting unit 140 in units of 1 μm in operation S130.

도 7은 본 문서에 개시된 일 실시예에 따른 제어 장치의 동작 방법을 보여주는 도면이다.Figure 7 is a diagram showing a method of operating a control device according to an embodiment disclosed in this document.

도 7을 참조하면, 제어 장치의 동작 방법은, 기재에 코팅되는 슬러리에 관한 제1 데이터를 획득하는 동작(S210), 코팅 다이를 포함하는 코터에 관한 제2 데이터를 획득하는 동작(S220), 제1 데이터 및 제2 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산하는 동작(S230) 및 코팅 상태의 연산 결과에 대응하여 코팅 다이를 제어하는 동작(S240)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 7, the operating method of the control device includes an operation of acquiring first data about a slurry coated on a substrate (S210), an operation of acquiring second data about a coater including a coating die (S220), It may include an operation of calculating the coating state of the slurry based on the first data and the second data (S230) and an operation of controlling the coating die in response to the calculation result of the coating state (S240).

이하에서는 제어 장치의 동작 방법에 대하여 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명하고, 중복되는 내용은 생략하거나 간략히 설명한다. Hereinafter, the operating method of the control device will be described with reference to FIGS. 1 to 6, and overlapping content will be omitted or briefly described.

S210 동작은 도 6의 S110 동작과 실질적으로 동일할 수 있다. Operation S210 may be substantially the same as operation S110 of FIG. 6.

S220 동작에서 제어 장치(200)는 코팅 다이를 포함하는 코터에 관한 제2 데이터를 획득할 수 있다. 실시예에 따르면, 제2 데이터는 코팅 다이를 포함하는 코터의 설비 인자에 관한 데이터를 의미할 수 있다. 실시예에 따르면, 제2 데이터는 슬러리 펌프 유량, 슬러리 온도 또는 코터의 설치 정보에 관한 데이터를 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어 장치(200)는 코팅 다이(100)를 포함하는 코터로부터 제2 데이터를 획득할 수 있다. In operation S220, the control device 200 may acquire second data about the coater including the coating die. According to an embodiment, the second data may mean data about equipment parameters of a coater including a coating die. According to an embodiment, the second data may include data regarding slurry pump flow rate, slurry temperature, or installation information of the coater. According to the embodiment, the control device 200 may obtain second data from a coater including the coating die 100.

실시예에 따르면, S220 동작은 제어 장치(200)의 데이터 획득부(220)에 의하여 수행될 수 있다. 실시예에 따르면, S220 동작은 S210 동작의 전후에 수행되거나 S210 동작과 동시에 수행될 수 있다. According to the embodiment, operation S220 may be performed by the data acquisition unit 220 of the control device 200. According to embodiments, operation S220 may be performed before or after operation S210 or may be performed simultaneously with operation S210.

S230 동작에 대한 설명은 도 6의 S120 동작에 대한 설명을 참조할 수 있다. 실시예에 따르면, S230 동작은 제어 장치의 연산부(240)에 의하여 수행될 수 있다. For a description of the S230 operation, refer to the description of the S120 operation of FIG. 6. According to the embodiment, operation S230 may be performed by the operation unit 240 of the control device.

S230 동작에서 제어 장치(200)는 제1 데이터 및 제2 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 상태를 연산할 수 있다. 실시예에 따르면 제어 장치(200)는 제1 데이터 및 제2 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 결과를 분석하고, 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어 장치(200)는 제1 데이터에 기반하여 슬러리의 코팅 결과(예: 코팅 균일성 등)를 분석하고, 분석 결과에 따라 슬러리의 코팅 제어 방향을 도출할 수 있다. 실시예에 따르면, 제어 장치(200)는 제2 데이터가 슬러리의 코팅 상태에 미치는 영향을 종합적으로 고려할 수 있다. In operation S230, the control device 200 may calculate the coating state of the slurry based on the first data and the second data. According to the embodiment, the control device 200 may analyze the slurry coating result based on the first data and the second data and derive the slurry coating control direction. According to an embodiment, the control device 200 may analyze the coating results of the slurry (eg, coating uniformity, etc.) based on the first data, and derive the coating control direction of the slurry according to the analysis results. According to the embodiment, the control device 200 may comprehensively consider the influence of the second data on the coating state of the slurry.

S240 동작은 도 6의 S130 동작과 실질적으로 동일할 수 있다. Operation S240 may be substantially the same as operation S130 of FIG. 6.

이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다", 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소를 내재할 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 문서에 개시된 실시예들이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 문서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Terms such as “include,” “comprise,” or “have,” as used above, mean that the corresponding component can be included unless specifically stated to the contrary, so excluding other components is not necessary. Rather, it should be interpreted as being able to include other components. All terms, including technical or scientific terms, have the same meaning as generally understood by a person of ordinary skill in the technical field to which the embodiments disclosed in this document belong, unless otherwise defined. Commonly used terms, such as those defined in dictionaries, should be interpreted as consistent with the contextual meaning of the relevant technology, and should not be interpreted in an idealized or overly formal sense unless explicitly defined in this document.

이상의 설명은 본 문서에 개시된 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 문서에 개시된 실시예들이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 문서에 개시된 실시예들의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 문서에 개시된 실시예들은 본 문서에 개시된 실시예들의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 문서에 개시된 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 문서에 개시된 기술사상의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술사상은 본 문서의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely an illustrative explanation of the technical idea disclosed in this document, and those skilled in the art in the technical field to which the embodiments disclosed in this document belong will understand without departing from the essential characteristics of the embodiments disclosed in this document. Various modifications and variations will be possible. Accordingly, the embodiments disclosed in this document are not intended to limit the technical idea of the embodiments disclosed in this document, but rather to explain them, and the scope of the technical idea disclosed in this document is not limited by these embodiments. The scope of protection of the technical ideas disclosed in this document shall be interpreted in accordance with the claims below, and all technical ideas within the equivalent scope shall be interpreted as being included in the scope of rights of this document.

Claims

A data acquisition unit that acquires first data about the slurry discharged from the land portion of the coating die and coated on the substrate;
a calculation unit that calculates the coating state of the slurry based on the first data; and
A control device comprising a control unit that controls the coating die to locally adjust the height of the land portion in response to the calculation result of the coating state.

In claim 1,
A control device wherein the first data includes data regarding the coating amount or coating thickness of the slurry.

In claim 1,
The data acquisition unit further acquires second data about the coater including the coating die,
The calculation unit is a control device that calculates the coating state of the slurry based on the first data and the second data.

In claim 3,
The second data includes data on slurry pump flow rate, slurry temperature, or installation information of the coater.

A coating die including a land portion that discharges slurry and a plurality of adjustment portions that locally adjust the height of the land portion; and
A data acquisition unit for acquiring first data about the slurry discharged from the land unit and coated on the substrate, a calculation unit for calculating the coating state of the slurry based on the first data, and the calculation unit corresponding to the calculation result of the coating state. A control system comprising a control device including a control unit that controls the adjusting unit.

In claim 5,
A control system wherein the controller includes a servo motor.

In claim 5,
A control system wherein the first data includes data regarding the coating amount or coating thickness of the slurry.

In claim 5,
The data acquisition unit further acquires second data about the coater including the coating die,
A control system in which the calculation unit calculates the coating state of the slurry based on the first data and the second data.

In claim 8,
The second data includes data regarding slurry pump flow rate, slurry temperature, or installation information of the coater.

An operation of acquiring first data about a slurry discharged from a land portion of a coating die and coated on a substrate;
An operation of calculating the coating state of the slurry based on the first data; and
A method of operating a control device comprising controlling the coating die to locally adjust the height of the land portion in response to a calculation result of the coating state.

In claim 10,
The first data is a method of operating a control device including data regarding the coating amount or coating thickness of the slurry.

In claim 10,
Further comprising the operation of acquiring second data regarding the coater including the coating die,
A method of operating a control device that calculates the coating state of the slurry based on the first data and the second data.

In claim 12,
The second data is a method of operating a control device including data on slurry pump flow rate, slurry temperature, or installation information of the coater.