KR20230158714A - 오버헤드 호이스트 이송 장치 - Google Patents

오버헤드 호이스트 이송 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20230158714A
KR20230158714A KR1020220058165A KR20220058165A KR20230158714A KR 20230158714 A KR20230158714 A KR 20230158714A KR 1020220058165 A KR1020220058165 A KR 1020220058165A KR 20220058165 A KR20220058165 A KR 20220058165A KR 20230158714 A KR20230158714 A KR 20230158714A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
vehicle body
overhead hoist
module
electromagnetic brake
elastic body
Prior art date
Application number
KR1020220058165A
Other languages
English (en)
Inventor
이승준
김길도
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020220058165A priority Critical patent/KR20230158714A/ko
Publication of KR20230158714A publication Critical patent/KR20230158714A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)

Abstract

OHT 장치는 주행 레일과 접하는 주행 휠을 구비한 제1 주행 모듈 및 제1 주행 모듈과 연결되고, 제1 탄성체가 설치되는 제1 차량 본체를 포함한다.
제1 주행 모듈은 주행 휠에 회전력을 제공이 가능한 모터 및 주행 휠의 회전을 구속이 가능한 전자브레이크를 포함한다.
제1 차량 본체는 제1 차량 본체와 멀어지는 방향으로 제1 탄성체에 의한 제1 탄성력을 받는 범퍼 및 제1 탄성체가 일정 길이 이하로 신축하면 상기 전자브레이크에 전류를 제공하는 전자브레이크용 배터리를 포함한다.

Description

오버헤드 호이스트 이송 장치{OVERHEAD HOIST TRANSPORT}
본 발명은 기판 오버헤드 호이스트 이송 장치(overhead hoist transport; 이하 'OHT 장치'라 한다)에 관한 것이다. 보다 상세하게는 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반송물의 이송을 위한 OHT 장치에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 반도체 웨이퍼, 반도체 스트립, 유리 기판, 디스플레이 패널 등과 같은 자재들은 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치, RGV(Rail Guided Vehicle) 장치 등과 같은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 상기와 같은 이송 장치들은 클린룸의 천장 또는 바닥에 설치된 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 차량을 포함할 수 있으며, 상기 이송 차량의 운행 제어는 OCS(OHT Control Server) 장치와 같은 상위 제어 장치에 의해 제어될 수 있다.
예를 들면, 반도체 장치의 제조를 위한 클린룸 내에는 자재 이송을 위한 주행 레일들이 천장 부위에 설치될 수 있으며, 상기 주행 레일을 따라 복수의 이송 차량들이 이동 가능하게 배치될 수 있다. 상기 이송 차량들의 운행 제어는 상기 OCS 장치에 의해 수행될 수 있으며, 상기 이송 차량들과 상기 OCS 장치는 무선 통신 방식으로 서로 연결될 수 있다.
한편, 상기 이송 차량이 상기 주행 레일 상에서 이동하는 도중에 이상이 발생되는 경우 상기 이송 차량은 상기 주행 레일 상에서 정지할 수 있다. 이 경우, 상기 이송 차량에 설치된 전자브레이크가 상기 이송 차량의 이동을 구속할 수 있다.
본 발명의 과제는 이상이 발생된 이송 차량을 용이하게 견인할 수 있는 오버헤드 호이스트 이송 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 OHT 장치는 주행 레일과 접하는 주행 휠을 구비한 제1 주행 모듈 및 상기 제1 주행 모듈과 연결되고, 제1 탄성체가 설치되는 제1 차량 본체를 포함하고, 상기 제1 주행 모듈은, 상기 주행 휠에 회전력을 제공이 가능한 모터 및 상기 주행 휠의 회전을 구속이 가능한 전자브레이크를 포함하고, 상기 제1 차량 본체는, 상기 제1 차량 본체와 멀어지는 방향으로 상기 제1 탄성체에 의한 제1 탄성력을 받는 범퍼 및 상기 제1 탄성체가 일정 길이 이하로 신축하면, 상기 전자브레이크에 전류를 제공하는 전자브레이크용 배터리를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 전자브레이크용 배터리는 상기 모터에 의해 충전될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 주행 모듈은, 상기 모터와 연결되고, 상기 주행 휠에 상기 회전력을 전달하는 회전축을 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 전자브레이크는 상기 회전축에 마찰력을 제공이 가능한 디스크 플레이트를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 전자브레이크는 제2 탄성체가 설치되고, 상기 디스크 플레이트는 상기 회전축과 가까워지는 방향으로 상기 제2 탄성체에 의한 제2 탄성력을 받는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 전자브레이크는 상기 디스크 플레이트에 자력을 제공이 가능한 전자석을 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 전자브레이크용 배터리가 상기 전자브레이크에 상기 전류를 제공하면, 상기 디스크 플레이트가 상기 회전축과 멀어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 오버헤드 호이스트 이송 장치는, 상기 주행 휠을 구비한 제2 주행 모듈 및 상기 제2 주행 모듈과 연결되고, 상기 제1 탄성체가 설치되는 제2 차량 본체를 더 포함하고, 상기 범퍼는, 상기 제1 차량 본체 및 상기 제2 차량 본체 사이의 충격을 완화할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치는 제1 이송 차량이 기능 이상으로 정지하여 제2 이송 차량이 상기 제1 이송 차량을 견인할 때, 전자브레이크가 주행 휠의 회전을 구속하지 않을 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 이송 차량이 상기 제1 이송 차량을 용이하게 견인할 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치의 일 예를 나타내는 구성도이다.
도 2는 도 1의 OHT 장치에 포함되는 제1 주행 모듈 및 제1 차량 본체를 나타내는 측면도이다.
도 3은 도 1의 OHT 장치에 포함되는 제1 주행 모듈 및 제1 차량 본체를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 1의 제1 차량 본체와 도 1의 제2 차량 본체가 서로 접촉한 모습을 나타내는 평면도이다.
도 5 및 도 6은 도 1의 제1 차량 본체에 포함되는 전자브레이크용 배터리를 나타내는 측면도들이다.
도 7 및 도 8은 도 1의 제1 주행 모듈에 포함되는 전자브레이크를 나타내는 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치의 일 예를 나타내는 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치(1000)는 제1 주행 모듈(100), 제1 차량 본체(200), 제2 주행 모듈(100') 및 제2 차량 본체(200')를 포함할 수 있다.
제1 주행 모듈(100) 및 제1 차량 본체(200)는 제1 이송 차량을 구성할 수 있고, 제2 주행 모듈(100') 및 제2 차량 본체(200')는 제2 이송 차량을 구성할 수 있다. 상기 제1 이송 차량 및 상기 제2 이송 차량은 반도체 장치 또는 디스플레이 장치의 제조 공정에서 다양한 형태의 반송물(5)을 운반하기 위해 사용될 수 있다.
도 2는 도 1의 OHT 장치에 포함되는 제1 주행 모듈 및 제1 차량 본체를 나타내는 측면도이고, 도 3은 도 1의 OHT 장치에 포함되는 제1 주행 모듈 및 제1 차량 본체를 나타내는 평면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 제1 주행 모듈(100)은 주행 휠(10)을 구비할 수 있다. 주행 휠(10)은 주행 레일(20)과 접하면서 회전할 수 있다. 이에 따라, 제1 주행 모듈(100)은 주행 레일(20)을 따라 이동할 수 있다.
제1 주행 모듈(100)은 모터(110), 전자브레이크(120) 및 회전축(130)을 포함할 수 있다.
모터(110)는 주행 휠(10)에 회전력을 제공할 수 있다. 예를 들어, 모터(110)는 모터(110)와 연결되는 회전축(130)에 상기 회전력을 제공할 수 있고, 회전축(130)은 주행 휠(10)에 상기 회전력을 전달할 수 있다. 이에 따라, 모터(110)는 주행 휠(10)에 상기 회전력을 제공할 수 있다.
전자브레이크(120)는 주행 휠(10)의 회전을 구속할 수 있다. 다만, 이에 관한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
제1 차량 본체(200)는 제1 주행 모듈(100)과 연결될 수 있다. 예를 들어, 제1 차량 본체(200)는 제1 주행 모듈(100)의 하부에 배치되도록 제1 주행 모듈(100)과 연결될 수 있다.
제1 차량 본체(200)는 범퍼(210) 및 전자브레이크용 배터리(220)를 포함할 수 있다.
범퍼(210)는 제1 차량 본체(200) 및 제2 차량 본체(200') 사이의 충격을 완화할 수 있다. 예를 들어, 범퍼(210)는 전방 범퍼(210a) 및 후방 범퍼(210b)를 포함할 수 있다. 전방 범퍼(210)는 전방(D1)으로 돌출되도록 제1 차량 본체(200)의 상부에 설치되고, 후방 범퍼(210b)는 후방(D2)으로 돌출되도록 제1 차량 본체(200)의 상부에 설치될 수 있다. 이에 따라, 범퍼(210)는 제1 차량 본체(200) 및 제2 차량 본체(200') 사이의 충격을 완화할 수 있다.
제1 차량 본체(200)에는 범퍼(210)에 제1 탄성력을 제공하는 제1 탄성체(211)가 설치될 수 있다. 이에 따라, 범퍼(210)는 제1 차량 본체(200)와 멀어지는 방향으로 제1 탄성체(211)에 의한 상기 제1 탄성력을 받을 수 있다.
예를 들어, 제1 탄성체(211)는 제1 전방 탄성체(211a) 및 제1 후방 탄성체(211b)를 포함할 수 있다. 제1 전방 탄성체(211a)는 전방 범퍼(210a)에 탄성력을 제공할 수 있고, 전방 범퍼(210a)는 전방(D1)으로 제1 전방 탄성체(211a)에 의한 상기 탄성력을 받을 수 있다. 또한, 제1 후방 탄성체(211b)는 후방 범퍼(210b)에 탄성력을 제공할 수 있고, 후방 범퍼(210b)는 후방(D2)으로 제1 후방 탄성체(211b)에 의한 상기 탄성력을 받을 수 있다.
전자브레이크용 배터리(220)는 전자브레이크(120)에 전류를 제공할 수 있다. 다만, 이에 관한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
다시 도 1을 참조하면, 제2 주행 모듈(100')은 주행 휠(10)을 구비할 수 있다. 주행 휠(10)은 주행 레일(20)과 접하면서 회전할 수 있다. 이에 따라, 제2 주행 모듈(100')은 주행 레일(20)을 따라 이동할 수 있다.
제2 차량 본체(200')는 제2 주행 모듈(100')과 연결될 수 있다. 예를 들어, 제2 차량 본체(200')는 제2 주행 모듈(100')의 하부에 배치되도록 제2 주행 모듈(100')과 연결될 수 있다.
일 실시예에서, 제2 주행 모듈(100')은 제1 주행 모듈(100)과 실질적으로 동일할 수 있고, 제2 차량 본체(200')는 제1 차량 본체(200)와 실질적으로 동일할 수 있다. 이하에서, 제1 주행 모듈(100) 및 제1 차량 본체(200)에 관한 설명과 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 4는 도 1의 제1 차량 본체와 도 1의 제2 차량 본체가 서로 접촉한 모습을 나타내는 평면도이고, 도 5 및 도 6은 도 1의 제1 차량 본체에 포함되는 전자브레이크용 배터리를 나타내는 측면도들이다.
도 3 내지 도 6를 참조하면, 제1 차량 본체(200)에 포함되는 전자브레이크용 배터리(220)의 동작을 이해할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 이송 차량(제1 주행 모듈(100) 및 제1 차량 본체(200)를 포함한다.)이 기능 이상으로 정지할 수 있다. 이 경우, 상기 제2 이송 차량(제2 주행 모듈(100') 및 제2 차량 본체(200')를 포함한다.)이 상기 제1 이송 차량을 견인할 수 있다. 또한, 제1 차량 본체(200) 및 제2 차량 본체(200')가 서로 접촉할 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 차량 본체(200)의 후방 범퍼(210b) 및 제2 차량 본체(200')의 전방 범퍼(210a')가 서로 접촉할 수 있다. 이와 달리, 제1 차량 본체(200)의 전방 범퍼(210a) 및 제2 차량 본체(200')의 후방 범퍼가 서로 접촉할 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 제2 이송 차량이 기능 이상으로 정지할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 이송 차량이 상기 제2 이송 차량을 견인할 수 있다. 또한, 제1 차량 본체(200) 및 제2 차량 본체(200')가 서로 접촉할 수 있다.
이하에서, 이해의 편의를 위하여, 제1 차량 본체(200)의 후방 범퍼(210b) 및 제2 차량 본체(200')의 전방 범퍼(210a')가 서로 접촉하는 경우를 전제로 설명하기로 한다.
제1 차량 본체(200)에 포함된 전자브레이크용 배터리(220)는 제1 주행 모듈(100)에 포함된 전자브레이크(예를 들어, 도 3의 전자브레이크(120))에 전류를 제공할 수 있다. 예를 들어, 제1 탄성체(211)가 일정 길이 이하로 신축하면, 전자브레이크용 배터리(220)가 전자브레이크(120)에 전류를 제공할 수 있다.
일 실시예에서, 제1 후방 탄성체(211b)의 후방(D2)에 제1 도체(1)가 설치되고, 제1 후방 탄성체(211b)의 전방(D1)에 제2 도체(2)가 설치될 수 있다. 제1 도체(1)는 전자브레이크용 배터리(220)와 전기적으로 연결될 수 있고, 제2 도체(2)는 전자브레이크(120)와 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제1 탄성체(211)가 상기 일정 길이 이하로 신축하면, 제1 도체(1) 및 제2 도체(2)는 전기적으로 연결될 수 있다. 이에 따라, 전자브레이크용 배터리(220)가 전자브레이크(120)에 전류를 제공할 수 있다.
일 실시예에서, 전자브레이크용 배터리(220)는 모터(110)에 의해 충전될 수 있다.
도 7 및 도 8은 도 1의 제1 주행 모듈에 포함되는 전자브레이크를 나타내는 도면들이다.
도 1, 도 3, 도 7 및 도 8을 참조하면, 제1 주행 모듈(100)에 포함되는 전자브레이크(120)의 동작을 이해할 수 있다.
전자브레이크(120)는 디스크 플레이트(121) 및 전자석(123)을 포함할 수 있다.
디스크 플레이트(121)는 회전축(130)과 접하거나 이격하는 마찰면을 가질 수 있다.
전자브레이크(120)에는 디스크 플레이트(121)에 제2 탄성력을 제공하는 제2 탄성체(122)가 설치될 수 있다. 이에 따라, 디스크 플레이트(121)는 회전축(130)과 가까워지는 방향으로 제2 탄성체(122)에 의한 상기 제2 탄성력을 받을 수 있다. 따라서, 디스크 플레이트(121)는 회전축(130)에 마찰력을 제공할 수 있고, 전자브레이크(120)는 주행 휠(10)의 회전을 구속할 수 있다.
즉, 제1 이송 차량(제1 주행 모듈(100) 및 제1 차량 본체(200)을 포함한다.)이 기능 이상으로 정지하면, 전자브레이크(120)는 주행 휠(10)의 회전을 구속할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 이송 차량은 전자브레이크(120)에 의해 이동이 구속될 수 있다.
전자석(123)은 디스크 플레이트(121)에 자력을 제공할 수 있다.
일 실시예에서, 제2 도체(예를 들어, 도 6의 제2 도체(2))는 전자브레이크(120)와 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 도체(2)는 전자석(123)과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 전자브레이크용 배터리(220)가 전자브레이크(120)에 상기 전류를 제공하면, 전자석(123)은 디스크 플레이트(121)에 인력을 제공할 수 있다. 이에 따라, 디스크플레이트(121)은 전자석(123)과 가까워질 수 있고, 회전축(130)과 멀어질 수 있다. 이 경우, 전자브레이크(120)가 주행 휠(10)의 회전을 구속하지 않을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 OHT 장치(1000)는 상기 제1 이송 차량이 기능 이상으로 정지하여 제2 이송 차량(제2 주행 모듈(100') 및 제2 차량 본체(200')를 포함한다.)이 상기 제1 이송 차량을 견인할 때, 전자브레이크(120)가 주행 휠(10)의 회전을 구속하지 않을 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 이송 차량이 상기 제1 이송 차량을 용이하게 견인할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1000 : OHT 장치 10 : 주행 휠
20 : 주행 레일 100 : 제1 주행 모듈
110 : 모터 120 : 전자브레이크
121 : 디스크 플레이트 123 : 전자석
130 : 회전축 100' : 제2 주행 모듈
200 : 제1 차량 본체 210 : 범퍼
220 : 전자브레이크용 배터리

Claims (8)

  1. 주행 레일과 접하는 주행 휠을 구비한 제1 주행 모듈; 및
    상기 제1 주행 모듈과 연결되고, 제1 탄성체가 설치되는 제1 차량 본체를 포함하고,
    상기 제1 주행 모듈은,
    상기 주행 휠에 회전력을 제공이 가능한 모터 및 상기 주행 휠의 회전을 구속이 가능한 전자브레이크를 포함하고,
    상기 제1 차량 본체는,
    상기 제1 차량 본체와 멀어지는 방향으로 상기 제1 탄성체에 의한 제1 탄성력을 받는 범퍼; 및
    상기 제1 탄성체가 일정 길이 이하로 신축하면, 상기 전자브레이크에 전류를 제공하는 전자브레이크용 배터리를 포함하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 전자브레이크용 배터리는 상기 모터에 의해 충전되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 주행 모듈은,
    상기 모터와 연결되고, 상기 주행 휠에 상기 회전력을 전달하는 회전축을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 전자브레이크는 상기 회전축에 마찰력을 제공이 가능한 디스크 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 전자브레이크는 제2 탄성체가 설치되고,
    상기 디스크 플레이트는 상기 회전축과 가까워지는 방향으로 상기 제2 탄성체에 의한 제2 탄성력을 받는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 전자브레이크는 상기 디스크 플레이트에 자력을 제공이 가능한 전자석을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 전자브레이크용 배터리가 상기 전자브레이크에 상기 전류를 제공하면, 상기 디스크 플레이트가 상기 회전축과 멀어지는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 오버헤드 호이스트 이송 장치는,
    상기 주행 휠을 구비한 제2 주행 모듈; 및
    상기 제2 주행 모듈과 연결되고, 상기 제1 탄성체가 설치되는 제2 차량 본체를 더 포함하고,
    상기 범퍼는,
    상기 제1 차량 본체 및 상기 제2 차량 본체 사이의 충격을 완화하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 이송 장치.
KR1020220058165A 2022-05-12 2022-05-12 오버헤드 호이스트 이송 장치 KR20230158714A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220058165A KR20230158714A (ko) 2022-05-12 2022-05-12 오버헤드 호이스트 이송 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220058165A KR20230158714A (ko) 2022-05-12 2022-05-12 오버헤드 호이스트 이송 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230158714A true KR20230158714A (ko) 2023-11-21

Family

ID=88981971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220058165A KR20230158714A (ko) 2022-05-12 2022-05-12 오버헤드 호이스트 이송 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20230158714A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5132471B2 (ja) 搬送台車と無人搬送車の自動連結装置
WO1996040545A1 (en) System for automated transport of automobile platforms, passenger cabins and other loads
US7765936B2 (en) Transporting system with fire door, rail apparatus with fire door, and transporting system
KR20170105196A (ko) 집적회로 소자 제조용 이송 장치
KR101957960B1 (ko) 자기 부상 이송 장치
KR20230158714A (ko) 오버헤드 호이스트 이송 장치
US6798612B2 (en) Power strip distribution system and method for an automated robotic device in a data storage system
KR20190038328A (ko) 선형 모터를 이용한 비접촉 이송 장치
CN107445013B (zh) 用于电梯系统的制动系统
KR20210010040A (ko) 이송 장치
JP3352787B2 (ja) トンネル搬送装置
JP2583253Y2 (ja) 搬送装置の帯電静電気放電装置
KR20220056394A (ko) 이송 장치 및 그 제어 방법
KR20230103119A (ko) 이송 장치 및 이송 방법
CN114524274B (zh) 运输装置
JP2009030708A (ja) 回転力伝達装置
KR102246796B1 (ko) 반송 차량의 충돌 방지 방법
CN217262703U (zh) 有轨制导车辆及运送系统
CA2223448C (en) System for automated transport of automobile platforms, passenger cabins and other loads
KR102439631B1 (ko) 자기 부상 이송 장치
KR102569490B1 (ko) 자기력을 증대시키기 위한 비접촉 동력 전달 장치 및 이를 포함하는 이송 장치
US20230256832A1 (en) Linear transport system and movable unit of a linear transport system
JP3147494B2 (ja) 磁気浮上搬送装置
KR20230075118A (ko) 물류 반송 장치
KR20170105199A (ko) 집적회로 소자 제조용 이송 장치