KR20230157037A - 메타표면 기반 포화흡수체 및 이를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저 - Google Patents

메타표면 기반 포화흡수체 및 이를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저 Download PDF

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KR20230157037A
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박연상
김지수
박민수
장재원
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충남대학교산학협력단
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Abstract

본 발명은, 기판; 및 상기 기판 위의 레이저빔이 지나갈 수 있는 크기의 영역에 나노 구조물이 일정한 간격을 두고 배열된 메타표면;을 포함하는 것을 일 특징으로 한다.

Description

메타표면 기반 포화흡수체 및 이를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저{METASURFACE-BASED SATURABLE ABSORBER AND MODE-LOCKED FIBER LASER USING THE SAME}
본 발명은 메타표면 기반 포화흡수체 및 이를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저에 관한 것으로서, 특히 수동형 모드 잠금 방식을 이용하여 펨토초에 해당하는 짧은 펄스를 발생시키기 위한 메타표면 기반 포화흡수체 및 이를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저에 관한 것이다.
펨토초에 해당하는 짧은 펄스를 만들어내는 대표적인 방법은 포화흡수체를 이용하여 펄스로 발진시키는 수동형 모드 잠금 방식이 있다. 포화흡수체는 빛의 세기에 따라서 흡수율이 다른 비선형적 성질을 가지고 있다. 즉, 낮은 세기의 빛은 흡수하고, 높은 세기의 빛은 투과하는 성질이다. 이 성질을 구현하기 위한 포화흡수체의 종류는 반도체 기반 포화흡수체 거울 (Semiconductor satruable aborber mirror: SESAM), 그래핀(Graphene), 탄소나노튜브(Carbon nanotube: CNT) 등이 있다. 또한, 인공적인 포화흡수체로 빛의 비선형성과 편광 특성을 이용한 비선형 편광 회전(nonlinear polarization rotation: NPR)방식으로도 모드 잠금을 구현한다. 그러나 비선형 편광 회전방식을 제외한 일반적인 포화흡수체를 이용하는 경우에는 제작하는 공정 과정이 매우 복잡하고 까다로우며, 그에 따라 가격이 비싸고, 입사하는 빛의 세기에 따른 열화 현상이 발생하기 쉬워 레이저의 사용 가능한 파워가 제한적이다. 인공 포화흡수체인 비선형 편광 회전방식을 광섬유 형태로 이루어진 편광 조절기와 광섬유 편광기를 이용하여 구현하는 경우 빛이 진행하는 단일 모드 광섬유의 복굴절 성질을 이용하기 때문에 펄스 발진이 안정적이지 못하고, 모드 잠금 되었을 때의 유지 시간에 한계가 있다. 이러한 단점들로 인하여 새로운 포화흡수체의 개발이나 광섬유의 여러 비선형성을 이용한 인공적인 포화흡수체의 연구 및 개발이 지속되고 있다.
이와 같은 종래의 포화흡수체의 문제점을 해결하고, 이를 이용하여 모드 잠금 광섬유 레이저를 개발하는 것이 요구되고 있는 실정이다.
본 발명은 매우 작은 구조물을 의도적으로 배열하여 제작한 메타표면 기반 포화흡수체와 메타표면 기반 포화흡수체를 이용하여 제작한 극초단 광섬유 레이저를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판; 및 상기 기판 위의 레이저빔이 지나갈 수 있는 크기의 영역에 나노 구조물이 일정한 간격을 두고 배열된 메타표면을 포함하는 것을 일 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 메타표면은, 나노 구조물이 파장 크기보다 작게 구성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 메타표면은, 나노 구조물이 파장의 1/5 내지 1배 크기로 구성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 메타표면은, 나노 구조물이 유전체, 금속, 또는 유전체-금속-유전체 구조의 복합체로 형성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 메타표면은, 원기둥 또는 사각기둥 모양으로 형성된 나노 구조물로 구성될 수 있다.
바람직하게는, 상기 메타표면은, 나노 구조물이 파장의 1/5 내지 1배 간격을 두고 배열될 수 있다.
바람직하게는, 상기 메타표면과 결합되는 광섬유를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 광섬유는, 단면이 상기 메타표면과 결합될 수 있다.
바람직하게는, 상기 광섬유는, 측면이 연마되어, 연마된 부위에 상기 메타표면이 결합될 수 있다.
본 발명에 따르면, 메타표면은 열화 현상에 의한 손실이 적어 모드 잠금 레이저의 출력 파워가 제한되지 않는다는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 메타표면을 광섬유의 단면 또는 측면에 결합하여 레이저 공진기 전체를 광섬유로 제작함으로써 작은 형태의 모드 잠금 광섬유 레이저를 쉽게 제작할 수 있다는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 제작 공정이 간단하여 쉽게 제작할 수 있다는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 메타표면 기반 포화흡수체의 구성도를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광섬유 단면에 메타표면이 결합된 메타표면 기반 포화흡수체를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 광섬유 측면의 연마된 부위에 메타표면이 결합된 메타표면 기반 포화흡수체를 나타내다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 메타표면 기반 포화흡수체를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저의 구성도를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 광섬유 측면의 연마된 부위에 메타표면이 결합된 메타표면 기반 포화흡수체를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저의 구성도를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 메타표면 기반 편광소자를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저의 구성도를 나타낸다.
이하, 첨부된 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명이 예시적 실시 예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일 참조부호는 실질적으로 동일한 기능을 수행하는 부재를 나타낸다.
본 발명의 목적 및 효과는 하기의 설명에 의해서 자연스럽게 이해되거나 보다 분명해 질 수 있으며, 하기의 기재만으로 본 발명의 목적 및 효과가 제한되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 메타표면 기반 포화흡수체(10)의 구성도를 나타낸다. 도 1을 참조하면, 메타표면 기반 포화흡수체(10)는 기판(100), 메타표면(300) 및 광섬유(500)를 포함할 수 있다.
메타표면 기반 포화흡수체(10)는 입사되는 빛의 세기가 강해질수록 흡수계수가 감소할 수 있다. 메타표면 기반 포화흡수체(10)는 입사광의 세기가 약하면 빛을 흡수하여 투과하는 빛을 감소시킬 수 있다. 메타표면 기반 포화흡수체(10)는 입사광의 세기가 강하면 흡수하는 빛이 포화되어 대부분 빛을 투과시킬 수 있다. 즉, 메타표면 기반 포화흡수체(10)는 빛의 세기에 따라서 흡수율이 다른 비선형적 성질을 가질 수 있다. 메타표면 기반 포화흡수체(10)는 광섬유 레이저 공진기 안에 삽입되어 모드 잠금을 구현할 수 있다.
메타표면 기반 포화흡수체(10)는 구조물들을 배열하여 의도적으로 성질을 만들어 제작하므로 열화 현상에 의한 손실을 줄일 수 있다. 메타표면 기반 포화흡수체(10)는 모드 잠금 레이저에 사용시 출력 파워가 제한되지 않을 수 있다. 메타표면 기반 포화흡수체(10)는 구조물의 모양에 따라서 편광 의존성을 정할 수 있어 편강 유지 광섬유에 사용할 수 있다. 메타표면 기반 포화흡수체(10)는 메타표면(300)의 구조물을 변경하여 다양한 파장에서 사용할 수 있다. 메타표면 기반 포화흡수체(10)는 광섬유(500)의 단면 또는 측면에 결합된 형태로 제공될 수 있다.
기판(100)은 광섬유와 굴절율이 비슷한 폴리머 또는 유전체 계열로 형성될 수 있다. 기판(100)은 광에 대해 투명한 물질층일 수 있다. 기판(100)의 일면에는 메타표면(300)이 형성될 수 있다.
메타표면(300)은 파장보다 작은 수십 나노미터 이하의 단위 구조물을 주기적으로 배열하고, 그 구조물들의 회전각이나 구조물의 위치조절을 통해 자연계에 존재하지 않는 다양한 특성을 갖도록 하는 표면을 일컫는다. 메타표면(300)은 파장보다 작은 나노미터(nanometer)크기의 특정 구조물들을 규칙성 있게 임의로 배열하여 구조물의 유전율과 투자율이 임의의 값이 되도록 하고, 이 구조물에 빛이 진행할 때 유전율과 투자율에 의한 영향을 받아서 빛의 편광이나 빛의 흡수율, 투과율, 빛의 굴절 방향 등 빛의 성질들을 조절할 수 있도록 해준다.
메타표면(300)은 레이저빔이 지나갈 수 있는 크기의 영역에 나노 구조물(310)이 일정한 간격을 두고 배열될 수 있다. 메타표면(300)은 기판(100) 위에 레이저 빔(빔의 직경 수십 ㎛ 정도)이 지나갈 정도의 크기로 형성될 수 있다. 구체적으로 메타표면(300)은 가로×세로가 100㎛ × 100㎛ 되는 크기로 형성될 수 있다. 메타표면(300)은 나노미터 크기의 구조물들이 일정한 간격을 두고 배열된 형태일 수 있다.
메타표면(300)은 나노 구조물(310)이 파장 크기보다 작게 구성될 수 있다. 메타표면(300)은 파장보다 작은 수십 나노미터(nanometer) 이하의 단위 구조물이 주기적으로 배열된 형태일 수 있다. 메타표면(300)은 파장보다 작은 나노미터 크기의 특정 구조물들을 규칙성 있게 임의로 배열하여 구조물의 유전율과 투자율이 임의의 값이 되도록 하고, 이 구조물에 빛이 진행할 때 유전율과 투자율에 의한 영향을 받아서 빛의 편광이나 빛의 흡수율, 투과율, 빛의 굴절 방향 등 빛의 성질들을 조절되게 할 수 있다.
메타표면(300)은 나노 구조물(310)이 파장의 1/5 내지 1배 크기로 구성될 수 있다. 메타표면(300)은 원기둥 또는 사각기둥 모양으로 형성된 나노 구조물(310)로 구성될 수 있다.
메타표면(300)은 나노 구조물(310)이 파장의 1/5 내지 1배 간격을 두고 배열될 수 있다. 메타표면(300)은 나노 구조물(310)을 사용하고자 하는 파장 크기보다 작은 주기로 규칙성 있게 배열하여 나노 구조물(310)의 유전율과 투자율이 임의의 값이 되게 할 수 있다. 이를 통해, 메타표면(300)은 다양한 편광소자로 사용될 수 있다. 예를 들면, 메타표면(300)은 1/4 파장판(quarter wave plate), 1/2 파장판(half wave plate), 편광기(polarizer)를 만드는데 사용될 수 있다. 메타표면(300)으로 구성된 1/4 파장판(quarter wave plate), 1/2 파장판(half wave plate), 편광기(polarizer)는 광섬유(500)와 결합되어 광섬유 편광 소자로 활용될 수 있다. 또한, 이러한 광섬유 편광 소자를 광섬유 레이저 공진기 안에 삽입하면 인공 포화흡수체를 이용한 것과 동일한 효과가 있으므로 광섬유 레이저의 모드 잠금을 구현할 수 있다.
광섬유(500)는 코어(510)와 클래딩(530)으로 구성될 수 있다. 광섬유(500)는 메타표면(300)과 결합될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광섬유(500) 단면에 메타표면(300)이 결합된 메타표면 기반 포화흡수체(10)를 나타낸다. 도 2를 참조하면, 광섬유(500)는 단면이 메타표면(300)과 결합될 수 있다. 구체적으로, 광섬유(500)는 단면이 메타표면(300)과 기판(100)에 결합될 수 있다. 광섬유(500)의 단면에서 코어(510)는 메타표면(300)의 내부에 위치할 수 있다. 광섬유(500)의 단면과 결합되는 기판(100)은 멤브레인으로 광섬유와 굴절율이 비슷한 폴리머 또는 유전체 계열을 사용할 수 있다. 또한, 광섬유(500)의 단면에 메타표면(300)을 결합한 형태를 이용하여 pulse shaper 또는 pulse stretcher를 구현할 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 광섬유 측면의 연마된 부위(550)에 메타표면이 결합된 메타표면 기반 포화흡수체(10)를 나타내다. 도 3을 참조하면, 광섬유(500)는 측면이 연마되되, 연마된 부위에 메타표면(300)이 결합될 수 있다. 광섬유(500)의 측면 연마된 부위(550)에 광섬유를 결합하여 포화흡수체를 구현한 경우에는 이를 이용하여 레이저 공진기 전체를 광섬유로 제작할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 메타표면 기반 포화흡수체(10)를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저(1)의 구성도를 나타낸다. 도 4를 참조하면, 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 펌프레이저 다이오드(Pump Laser Diode, Pump LD), 파장 다중 분할 커플러 (Wavelength Division Mutiplexing coupler, WDM coupler), 이터븀 첨가 광섬유(Ytterbium-doped fiber, YDF), 편광조절기(Polarization Controller), 90:10 커플러, 대역폭 필터(band pass filter, BPF), 및 광 고립기(Isolator, ISO)를 포함할 수 있다.
모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 이득매질로는 희토류 원소가 첨가된 광섬유를 사용할 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 희토류 원소 종류에 따라 발진 파장이 달라질 수 있다. 도 4에 따른 실시예에서는 이터븀이 첨가된 광섬유를 사용한 경우이다.
도 4의 실시예에 따른 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 링 구조이며, 광섬유 부분과 자유공간으로 나뉘어져 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 펌프 레이저 다이오드에서 나온 중심파장이 980nm인 연속파가 파장 다중 분할 커플러를 통하여 공진기 내부로 입사될 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 980nm의 연속파가 이득매질로 사용된 이터븀 첨가 광섬유를 지나면서 흡수되어 1㎛ 대역의 빛으로 방출되게 할 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 방출된 1 ㎛ 대역의 빛이 모드 잠금을 위한 자유공간으로 나가기 위해 시준기(C1)를 거치도록 구성될 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 자유공간으로 나온 빛이 렌즈(L1)로 집속되어 메타표면 기반 포화흡수체(10)를 지난 뒤 렌즈(L2)와 시준기(C2)를 거쳐 다시 광섬유로 입사되게 구성될 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 광섬유로 입사한 빛이 출력 포트로 사용된 90:10 커플러를 지나 10%는 출력되고 90%는 대역폭 필터와 광 고립기를 지나 다시 파장 다중 분할 커플러로 입사되게 구성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 광섬유 측면의 연마된 부위에 메타표면이 결합된 메타표면 기반 포화흡수체(10)를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저(1)의 구성도를 나타낸다. 도 5를 참조하면, 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 메타표면(300)을 광섬유 단면에 결합한 포화흡수체(10)를 사용하여 자유공간 없이 전체가 광섬유(500)로 구성되게 할 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 전체가 광섬유로 제작됨으로써 작은 형태로 쉽게 제작될 수 있다.
도 5의 실시예에 따른 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 도 4에 따른 모드 잠금 광섬유 레이저(1)와는 달리 자유공간이 광섬유로 대체되므로, 시준기(C1, C2)와 렌즈(L1, L2) 부분이 요구되지 않는다. 따라서, 시준기(C1, C2) 사이의 모든 구성은 메타표면(300)을 광섬유 단면에 결합한 포화흡수체(10)로 대체될 수 있다.
도 5의 실시예에 따른 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 펌프 레이저 다이오드에서 나온 중심파장이 980nm인 연속파가 파장 다중 분할 커플러를 통하여 공진기 내부로 입사될 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 980nm의 연속파가 이득매질로 사용된 이터븀 첨가 광섬유를 지나면서 흡수되어 1㎛ 대역의 빛으로 방출되게 할 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 방출된 1㎛ 대역의 빛이 메타표면 기반 포화흡수체(10)를 지나도록 구성될 수 있다. 여기에서, 메타표면 기반 포화흡수체(10)는 메타표면(300)이 광섬유(500)의 단면에 결합된 것이거나 메타표면(300)이 광섬유(500) 측면의 연마된 부위(510)에 결합된 것일 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 메타표면 기반 포화흡수체(10)를 지난 빛이 출력 포트로 사용된 90:10 커플러를 지나 10%는 출력되고 90%는 대역폭 필터와 광 고립기를 지나 다시 파장 다중 분할 커플러로 입사되게 구성될 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 메타표면 기반 편광소자를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저(1)의 구성도를 나타낸다. 도 6을 참조하면, 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 메타표면 기반 편광소자를 이용하여 자유공간 없이 전체가 광섬유(500)로 구성되게 할 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 전체가 광섬유로 제작됨으로써 작은 형태로 쉽게 제작될 수 있다.
도 6의 실시예에 따른 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 도 4에 따른 모드 잠금 광섬유 레이저(1)와는 달리 자유공간이 광섬유로 대체되므로, 시준기(C1, C2)와 렌즈(L1, L2) 부분이 요구되지 않는다. 따라서, 시준기(C1, C2) 사이의 모든 구성은 메타표면 기반 편광소자로 대체될 수 있다.
도 6의 실시예에 따른 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 펌프 레이저 다이오드에서 나온 중심파장이 980nm인 연속파가 파장 다중 분할 커플러를 통하여 공진기 내부로 입사될 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 980nm의 연속파가 이득매질로 사용된 이터븀 첨가 광섬유를 지나면서 흡수되어 1㎛ 대역의 빛으로 방출되게 할 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 방출된 1 ㎛ 대역의 빛이 메타표면(300) 기반 1/4 파장판(quarter wave plate)을 거쳐 메타표면(300) 기반 편광기(polarizer)에 입사되게 할 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 메타표면(300) 기반 편광기(polarizer)를 지난 빛이 메타표면(300) 기반 1/4 파장판(quarter wave plate)을 거쳐 다시 광섬유로 입사되게 구성될 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)는 광섬유로 입사한 빛이 출력 포트로 사용된 90:10 커플러를 지나 10%는 출력되고 90%는 대역폭 필터와 광 고립기를 지나 다시 파장 다중 분할 커플러로 입사되게 구성될 수 있다.
도 4 내지 도 6의 실시예에 따른 모드 잠금 광섬유 레이저(1)에서 사용되는 메타표면(300)은 나노 구조물이 파장 크기보다 작게 구성될 수 있다. 구체적으로는 모드 잠금 광섬유 레이저(1)에서 사용되는 메타표면(300)은 나노 구조물이 파장의 1/5 내지 1배 크기로 구성될 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)에서 사용되는 메타표면(300)은 나노 구조물(510)이 유전체, 금속, 또는 유전체-금속-유전체 구조의 복합체로 형성될 수 있다. 또한, 모드 잠금 광섬유 레이저(1)에서 사용되는 메타표면(300)은 원기둥 또는 사각기둥 모양으로 형성된 나노 구조물로 구성될 수 있다. 모드 잠금 광섬유 레이저(1)에서 사용되는 메타표면(300)은 나노 구조물(510)이 파장의 1/5 내지 1배 간격을 두고 배열될 수 있다.
이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리 범위는 설명한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 특허청구범위와 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태에 의하여 정해져야 한다.
1 : 모드 잠금 광섬유 레이저
10 : 메타표면 기반 포화흡수체
100 : 기판
300 : 메타표면
310 : 나노 구조물
500 : 광섬유
510 : 코어
530 : 클래딩
550 : 측면의 연마된 부위

Claims (10)

  1. 기판; 및
    상기 기판 위의 레이저빔이 지나갈 수 있는 크기의 영역에 나노 구조물이 일정한 간격을 두고 배열된 메타표면;을 포함하는 메타표면 기반 포화흡수체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 메타표면은,
    나노 구조물이 파장 크기보다 작게 구성되는 것을 특징으로 하는 메타표면 기반 포화흡수체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 메타표면은,
    나노 구조물이 파장의 1/5 내지 1배 크기로 구성되는 것을 특징으로 하는 메타표면 기반 포화흡수체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 메타표면은,
    나노 구조물이 유전체, 금속, 또는 유전체-금속-유전체 구조의 복합체로 형성되는 것을 특징으로 하는 메타표면 기반 포화흡수체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 메타표면은,
    원기둥 또는 사각기둥 모양으로 형성된 나노 구조물로 구성되는 것을 특징으로 하는 메타표면 기반 포화흡수체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 메타표면은,
    나노 구조물이 파장의 1/5 내지 1배 간격을 두고 배열된 것을 특징으로 하는 메타표면 기반 포화흡수체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 메타표면과 결합되는 광섬유;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메타표면 기반 포화흡수체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 광섬유는,
    단면이 상기 메타표면과 결합되는 것을 특징으로 하는 메타표면 기반 포화흡수체.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 광섬유는,
    측면이 연마되되, 연마된 부위에 상기 메타표면이 결합되는 것을 특징으로 하는 메타표면 기반 포화흡수체.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따른 포화흡수체를 포함하는 모드 잠금 광섬유 레이저.
KR1020220056507A 2022-05-09 2022-05-09 메타표면 기반 포화흡수체 및 이를 이용한 모드 잠금 광섬유 레이저 KR20230157037A (ko)

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