KR20230149575A - System and method for mixing a chemical - Google Patents
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Abstract
케미컬 혼합 시스템 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 시스템은, 케미컬 공급원으로부터 공급되는 적어도 2종의 케미컬이 함께 이동하는 배관; 배관을 통해 이동하는 적어도 2종의 케미컬을 1차적으로 혼합하는 혼합부재; 및 배관에 연결되며, 적어도 2종의 케미컬이 순환하면서 혼합되도록 케미컬을 2차적으로 혼합하는 펌프부재를 포함한다.A chemical mixing system and method thereof are disclosed. A chemical mixing system according to an embodiment of the present invention includes a pipe through which at least two types of chemicals supplied from a chemical source move together; A mixing member that primarily mixes at least two types of chemicals moving through the pipe; and a pump member connected to the pipe and secondarily mixing chemicals so that at least two types of chemicals are circulated and mixed.
Description
본 발명은, 케미컬 혼합 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 간편하고 효율적으로 케미컬을 혼합할 수 있는 케미컬 혼합 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical mixing system and method, and to a chemical mixing system and method that can mix chemicals simply and efficiently.
일반적으로 반도체 공장이나 화학약품 공장에서는 다양한 종류의 케미컬(chemical)이 사용되고 있다. 예를 들어, 반도체 공장에서 반도체 제조시 웨이퍼의 확산, 사진, 식각 및 박막 공정 등을 통해 반도체 칩을 제조하게 되는데, 각 공정의 퇴적, 현상, 식각 등에서 상기 케미컬이 사용된다.In general, various types of chemicals are used in semiconductor factories or chemical factories. For example, when manufacturing semiconductors in a semiconductor factory, semiconductor chips are manufactured through wafer diffusion, photography, etching, and thin film processes, and the above chemicals are used in deposition, development, etching, etc. in each process.
이러한 케미컬은 공정 라인에서 필요로 하는 농도로 희석되거나 2종 이상의 케미컬이 혼합되어 공급되기도 한다. 여기서, 혼합이란 희석을 포함하는 개념이다.These chemicals may be diluted to the concentration required in the process line or supplied as a mixture of two or more chemicals. Here, mixing is a concept that includes dilution.
종래의 케미컬 혼합 시스템은, 특허문헌 1(한국 특허공개번호 제10-2005-0076909호 공보)을 참조하면, 그 도 1에 도시된 바와 같이 메인혼합기(110)와 보조혼합기(130)를 포함하며, 메인혼합기(110)는 외부로부터 각각 유입되는 제1 및 제2 유체를 동일 공간에서 제공받은 후 다단의 인접 중공으로 이동시키며 자동 혼합하도록 구성되어 있고, 보조혼합기(130)는 제 1 농도계(120)를 통과한 혼합액을 선별 제공받아 저장하도록 구성된다.Referring to Patent Document 1 (Korean Patent Publication No. 10-2005-0076909), the conventional chemical mixing system includes a main mixer 110 and an auxiliary mixer 130, as shown in FIG. 1. , the main mixer 110 is configured to automatically mix the first and second fluids introduced from the outside by moving them to multiple adjacent hollows after receiving them in the same space, and the auxiliary mixer 130 is configured to automatically mix the first and second fluids introduced from the outside (120). ) is configured to select and store the mixed liquid that has passed.
즉, 종래 케미컬 혼합 시스템은 메인혼합기(110)라는 미리 설정된 공간 내에서 유체의 혼합이 이루어진다.That is, in the conventional chemical mixing system, mixing of fluids occurs within a preset space called the main mixer 110.
하지만, 종래 방식의 경우 메인혼합기(110)에 유체들을 모두 채운 후 혼합하는 방식이므로 유체들을 혼합하는데 많은 시간이 소요되며, 이에 의해 효율이 떨어지는 문제점이 있다.However, in the case of the conventional method, since the main mixer 110 is filled with all the fluids and then mixed, it takes a lot of time to mix the fluids, which has the problem of lowering efficiency.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 케미컬을 미리 설정된 공간에 저장하지 않고도 혼합이 가능하여 공정 시간을 감소시키고 작업 효율을 향상시킬 수 있는 케미컬 혼합 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a chemical mixing system and method that can reduce processing time and improve work efficiency by enabling mixing without storing chemicals in a preset space.
본 발명의 일 측면에 따르면, 케미컬 공급원으로부터 공급되는 적어도 2종의 케미컬이 함께 이동하는 배관; 상기 배관을 통해 이동하는 상기 적어도 2종의 케미컬을 1차적으로 혼합하는 혼합부재; 및 상기 배관에 연결되며, 상기 적어도 2종의 케미컬이 순환하면서 혼합되도록 상기 케미컬을 2차적으로 혼합하는 펌프부재를 포함하는 케미컬 혼합 시스템이 제공될 수 있다.According to one aspect of the present invention, a pipe through which at least two types of chemicals supplied from a chemical source move together; a mixing member that primarily mixes the at least two types of chemicals moving through the pipe; and a pump member connected to the pipe and secondarily mixing the at least two chemicals so that they circulate and mix.
일 실시예에서, 상기 케미컬 공급원으로부터 공급되는 케미컬의 유량을 제어하도록, 상기 케미컬 공급원에 결합되는 유량 제어부가 구비될 수 있다.In one embodiment, a flow rate control unit coupled to the chemical supply source may be provided to control the flow rate of the chemical supplied from the chemical supply source.
일 실시예에서, 상기 배관은, 상기 케미컬 공급원에 결합되는 적어도 하나의 공급배관; 상기 적어도 하나의 공급배관에 연결되며, 상기 혼합부재의 유입부에 연결되는 이동배관; 상기 혼합부재의 유출부에 연결되며, 복수의 케미컬이 저장되는 배출부재에 연결되는 배출배관; 및 상기 배출배관과 상기 펌프부재를 연결하는 순환배관을 포함할 수 있다.In one embodiment, the pipe includes at least one supply pipe coupled to the chemical supply source; a moving pipe connected to the at least one supply pipe and connected to an inlet of the mixing member; a discharge pipe connected to the outlet of the mixing member and connected to a discharge member in which a plurality of chemicals are stored; And it may include a circulation pipe connecting the discharge pipe and the pump member.
일 실시예에서, 상기 순환배관은, 상기 적어도 2종의 케미컬이 상기 펌프부재로 유입되는 유입배관; 및 상기 적어도 2종의 케미컬이 상기 펌프부재로부터 유출되는 유출배관을 포함하며, 상기 배출배관을 통해 이동하는 상기 적어도 2종의 케미컬이 상기 펌프부재의 작동에 의해 순환배관을 따라 이동하면서 혼합되도록, 상기 순환배관의 상기 유입배관과 상기 유출배관이 상기 배출배관에 각각 연결될 수 있다.In one embodiment, the circulation pipe includes an inlet pipe through which the at least two types of chemicals flow into the pump member; and an outlet pipe through which the at least two types of chemicals flow out from the pump member, and the at least two types of chemicals moving through the discharge pipe are mixed while moving along the circulation pipe by the operation of the pump member. The inlet pipe and the outlet pipe of the circulation pipe may be respectively connected to the discharge pipe.
일 실시예에서, 상기 배출배관은, 상기 혼합부재에 연결되는 제1 배관; 상기 제1 배관으로부터 절곡되도록 연장되며, 상기 순환배관의 상기 유출배관이 연결되는 제2 배관; 및 상기 제2 배관으로부터 절곡되도록 연장되며, 상기 순환배관의 유입배관이 연결되고, 상기 배출부재에 연결되는 제3 배관을 포함할 수 있다.In one embodiment, the discharge pipe includes: a first pipe connected to the mixing member; a second pipe extending to be bent from the first pipe and connected to the outflow pipe of the circulation pipe; and a third pipe that extends to be bent from the second pipe, is connected to the inlet pipe of the circulation pipe, and is connected to the discharge member.
일 실시예에서, 상기 적어도 2종의 케미컬은 상기 펌프부재에 의해 상기 순환배관과 상기 배출배관을 따라 계속적으로 이동하면서 혼합될 수 있다.In one embodiment, the at least two types of chemicals may be mixed while continuously moving along the circulation pipe and the discharge pipe by the pump member.
일 실시예에서, 상기 배출부재는 케미컬을 일시 저장하여 케미컬의 사용처로 공급하는 공급탱크일 수 있다.In one embodiment, the discharge member may be a supply tank that temporarily stores chemicals and supplies them to a place where the chemicals are used.
일 실시예에서, 상기 혼합부재는, 상기 이동배관과 상기 배출배관에 각각 연결되는 케이스; 및 상기 케이스 내부에 마련되어 케미컬의 흐름에 난류를 발생시키는 난류형성부재를 포함할 수 있다.In one embodiment, the mixing member includes a case connected to the moving pipe and the discharge pipe, respectively; and a turbulence forming member provided inside the case to generate turbulence in the flow of chemicals.
한편, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 케미컬 공급원으로부터 적어도 2종의 케미컬이 공급되는 단계; 상기 적어도 2종의 케미컬이 배관을 통해 이동하여 혼합부재에 의해 1차적으로 혼합되는 단계; 1차적으로 혼합된 상기 적어도 2종의 케미컬이 펌프부재에 의해 순환하면서 2차적으로 혼합되는 단계; 및 혼합이 완료된 케미컬이 배출되는 단계를 포함하는 케미컬 혼합 방법이 제공될 수 있다.Meanwhile, according to another aspect of the present invention, supplying at least two types of chemicals from a chemical source; A step of moving the at least two types of chemicals through a pipe and mixing them primarily by a mixing member; A step of secondarily mixing the at least two primarily mixed chemicals while circulating by a pump member; A chemical mixing method may be provided including the step of discharging the mixed chemical.
일 실시예에서, 상기 적어도 2종의 케미컬은 상기 펌프부재에 의해 상기 배관을 따라 계속적으로 이동하면서 혼합될 수 있다.In one embodiment, the at least two types of chemicals may be mixed while continuously moving along the pipe by the pump member.
따라서, 본 발명의 실시예에 의하면, 케미컬을 미리 설정된 공간에 저장하지 않고도 펌프부재에 의해 순환하면서 혼합이 가능하여 공정 시간을 감소시키고 작업 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Therefore, according to an embodiment of the present invention, chemicals can be mixed while circulating through a pump member without having to be stored in a preset space, which has the effect of reducing process time and improving work efficiency.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 시스템의 개략적인 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 시스템에서 혼합부재의 단면도이다.1 is a schematic overall perspective view of a chemical mixing system according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view of a mixing member in a chemical mixing system according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 상세히 설명하기로 한다. 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과하고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. Terms or words used in this specification and claims should not be construed as limited to their common or dictionary meanings, and the inventor may appropriately define the concept of terms in order to explain his or her invention in the best way. It must be interpreted with meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it is. Therefore, the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only one of the most preferred embodiments of the present invention and do not represent the entire technical idea of the present invention, so at the time of filing the present application, various alternatives may be used to replace them. It should be understood that equivalents and variations may exist.
도면에서 각 구성요소 또는 그 구성요소를 이루는 특정 부분의 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 따라서, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그러한 설명은 생략하도록 한다.In the drawings, the size of each component or specific part constituting the component is exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Therefore, the size of each component does not entirely reflect the actual size. If it is determined that specific descriptions of related known functions or configurations may unnecessarily obscure the gist of the present invention, such descriptions will be omitted.
본 명세서에서 사용되는 '결합' 또는 '연결'이라는 용어는, 하나의 부재와 다른 부재가 직접 결합되거나, 직접 연결되는 경우뿐만 아니라 하나의 부재가 이음부재를 통해 다른 부재에 간접적으로 결합되거나, 간접적으로 연결되는 경우도 포함한다.The term 'coupling' or 'connection' used in this specification refers not only to the case where one member and another member are directly coupled or directly connected, but also when one member is indirectly coupled to another member through a joint member, or indirectly connected to another member. Also includes cases where it is connected to .
본 명세서에서 케미컬은 다양한 화학물질을 포함하며, 화학물질의 희석 등을 위해 과수(H2O2)나 탈이온수(deionized water)와 같은 물이 혼합될 수 있는데, 이 범위에서 물도 혼합을 위해 공급되는 케미컬에 포함된다. 또한 케미컬이란 주로 액체 상태의 것을 의미하지만, 액체에 고체 입자가 분산된 슬러리나 페이스트 상태의 것, 나아가 질소, 산소, 공기 등의 기체 상태의 것도 포함하여, 배관을 통해 흐를 수 있는 유체를 포함하는 개념이다.In this specification, chemicals include various chemicals, and water such as fruit water (H2O2) or deionized water can be mixed for dilution of chemicals. Within this range, water is also added to the chemicals supplied for mixing. Included. In addition, chemicals mainly refer to those in a liquid state, but also include those in a slurry or paste state in which solid particles are dispersed in a liquid, and those in a gaseous state such as nitrogen, oxygen, and air, and include fluids that can flow through pipes. It's a concept.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 시스템의 개략적인 전체 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 시스템에서 혼합부재의 단면도이다.Figure 1 is a schematic overall perspective view of a chemical mixing system according to an embodiment of the present invention, and Figure 2 is a cross-sectional view of a mixing member in the chemical mixing system according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 시스템(10)은, 케미컬 공급원(100)과, 배관(200)과, 혼합부재(300)와, 펌프부재(400)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the
본 실시예에서 케미컬 공급원(100)은 복수로 마련되어 적어도 2종의 케미컬을 각각 공급한다. 즉, 복수의 케미컬이 각각 공급되어 혼합된다. 예를 들어, 불산을 희석시키기 위해 불산과 물을 공급할 수 있고, 암모니아를 희석시키기 위해 암모니아와 물을 공급할 수 있다.In this embodiment, a plurality of
다만, 공급되는 케미컬이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 화학기계적 연마를 위한 슬러리는 연마액에 연마 입자가 섞여 있는데, 이 경우 연마액과 연마 입자는 ‘2종의 케미컬’이라 할 수 있다. 또한, 이 경우 슬러리는 연마액과 연마 입자가 이미 혼합된 상태로 공급되므로, 케미컬 혼합 시스템은 하나의 케미컬 공급원(100)만을 통해 케미컬을 공급할 수 있다. 한편, 이러한 슬러리와 같이 2종의 케미컬이 이미 혼합된 상태로 공급되는 경우라도, 시간이 지나면 비중의 차이로 인해 어느 1종의 케미컬이 가라앉는 등 농도(혼합비)에 불균일이 발생할 수 있어 혼합이 필요하다.However, the supplied chemicals are not limited to this. For example, the slurry for chemical mechanical polishing contains abrasive particles mixed with the polishing liquid. In this case, the polishing liquid and the abrasive particles can be said to be ‘two types of chemicals.’ Additionally, in this case, since the slurry is supplied in a state in which the polishing liquid and the abrasive particles are already mixed, the chemical mixing system can supply chemicals through only one
유량 제어부(500)는 케미컬 공급원(100)으로부터 공급되는 케미컬의 유량을 제어하도록 케미컬 공급원(100)에 결합될 수 있다. 케미컬의 혼합에서는 케미컬의 유량이 중요하므로 유량 제어부(500)에 의해 케미컬 공급원(100)으로부터 공급되는 케미컬의 유량이 정밀하게 제어되며 정확한 유량이 공급된다.The flow
배관(200)은 복수의 케미컬 공급원(100)에 연결되며, 복수의 케미컬이 함께 이동하도록 구성된다. The
배관(200)은 공급배관(210)과, 이동배관(220)과, 배출배관(230)과, 순환배관(240)을 포함하여 구성될 수 있다. 공급배관(210)은 복수의 케미컬 공급원(100)에 결합된다. 여기서, 공급배관(210)에는 유량 제어부(500)가 결합될 수 있다.The
이동배관(220)은 복수의 공급배관(210)이 연결되며, 후술하는 혼합부재(300)의 유입부(311)에 연결된다. 즉, 공급배관(210)을 통해 각각 공급되는 복수의 케미컬이 이동배관(220)에서 만나 혼합부재(300)측으로 함께 이동한다.The
배출배관(230)은 혼합부재(300)의 유출부(312)에 연결되며, 또한, 복수의 케미컬이 저장되는 배출부재(600)에 연결된다. 여기서, 배출부재(600)는 케미컬을 일시 저장하였다가 필요로 하는 사용처로 공급하는 공급탱크일 수 있다. 즉, 케미컬이 혼합된 후 배출배관(230)을 통해 공급탱크로 이동하여 저장될 수 있다.The
배출배관(230)은 제1 배관(231)과, 제2 배관(232)과, 제3 배관(233)을 포함하여 구성될 수 있다. 제1 배관(231)은 혼합부재(300)의 유출부(312)에 연결된다. The
그리고, 제2 배관(232)은 제1 배관(231)으로부터 절곡되도록 연장된다. 예를 들어, 제2 배관(232)은 제1 배관(231)으로부터 직각으로 절곡되도록 연장될 수 있지만 이는 하나의 실시예에 불과한다. 제2 배관(232)에는 순환배관(240)의 유출배관(242)이 연결된다. And, the
제3 배관(233)은 제2 배관(232)으로부터 절곡되도록 연장된다. 제3 배관(233) 역시 예를 들어, 제2 배관(232)으로부터 직각으로 절곡되도록 연장될 수 있지만 이는 하나의 실시예에 불과한다. 제3 배관(233)에는 순환배관(240)의 유입배관(241)이 연결된다. 그리고, 제3 배관(233)은 배출부재(600)에 연결된다.The
순환배관(240)은 배출배관(230)과 펌프부재(400)를 연결한다. 배출배관(230)을 통해 이동하는 복수의 케미컬이 순환배관(240)을 통해 펌프부재(400)로 유입된 후 펌프부재(400)로부터 유출되어 다시 배출배관(230)으로 들어간다. 즉, 펌프부재(400)가 작동하면 배출배관(230)을 따라 이동하는 복수의 케미컬이 순환배관(240)을 따라 계속 순환하면서 혼합된다.The
순환배관(240)은 유입배관(241)과 유출배관(242)을 포함하여 구성될 수 있다. 유입배관(241)은 복수의 케미컬이 펌프부재(400)로 유입되도록 형성된다. 그리고, 유출배관(242)은 복수의 케미컬이 펌프부재(400)로부터 유출되도록 형성된다.The
즉, 배출배관(230)을 통해 이동하는 복수의 케미컬이 펌프부재(400)의 작동에 의해 순환배관(240)을 따라 이동하면서 혼합되도록 순환배관(240)의 유입배관(241)과 유출배관(242)이 배출배관(230)에 각각 연결된다. 그리고, 복수의 케미컬은 펌프부재(400)에 의해 순환배관(240)과 배출배관(230)을 따라 계속적으로 이동하면서 혼합된다.That is, the
혼합부재(300)는 배관(200)을 통해 이동하는 복수의 케미컬을 1차적으로 혼합한다.The mixing
도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 혼합부재(300)는 케이스(310)와, 난류형성부재(320)를 포함하여 구성될 수 있다. 케이스(310)는 이동배관(220)과 배출배관(230)에 각각 연결된다. 그리고, 난류형성부재(320)는 케이스(310) 내부에 회전하도록 배치된다. Referring to FIGS. 1 and 2 together, the mixing
그리고, 난류형성부재(320)는 케이스(310) 내부에 회전하도록 배치된 프로펠러나 임펠러와 같은 회전날개로 구현될 수 있다. 회전날개는 동력에 의해 능동적으로 회전할 수도 있고, 별도의 동력 없이 케이스(31)를 통과하는 케미컬의 흐름에 의해 수동적으로 회전할 수도 있다. 또한, 난류형성부재(320)는 케이스(310) 내부에 고정된 돌기 등 케이스(310) 내부를 통과하는 케미컬의 흐름에 난류를 발생시킬 수 있다면 어떠한 구조물로 구현되어도 된다.Additionally, the
이와 같은 구성에 의해, 이동배관(220)으로부터 유입되는 복수의 케미컬이 케이스(310) 내부의 난류형성부재(320)에 의해 혼합이 촉진되어 배출배관(230)을 통해 배출된다. 여기서, 난류형성부재(320)인 회전날개의 회전시 발생되는 와류에 의해 복수의 케미컬이 쉽게 혼합될 수 있다.With this configuration, mixing of a plurality of chemicals flowing in from the moving
펌프부재(400)는 배관(200)에 연결되며, 복수의 케미컬이 순환하면서 혼합되도록 케미컬을 2차적으로 혼합한다. 즉, 혼합부재(300)에 의해 1차적으로 혼합된 복수의 케미컬이 펌프부재(400)의 작동에 의해 순환배관(240)을 따라 순환하여 이동하면서 2차적으로 혼합된다.The
이에 의해, 복수의 케미컬을 미리 설정된 공간에 저장하지 않고 혼합시킬 수 있으므로, 공정 시간이 감소하고 작업 효율이 향상되는 효과가 있다.As a result, a plurality of chemicals can be mixed without storing them in a preset space, which has the effect of reducing process time and improving work efficiency.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 시스템(10)의 작용 및 효과에 대해 설명한다.Hereinafter, the operation and effects of the
케미컬 공급원(100)에서 복수의 케미컬이 공급배관(210)으로 각각 공급되며 공급배관(210)을 따라 혼합 대상인 복수의 케미컬이 이동배관(220)으로 이동한다. 복수의 케미컬은 이동배관(220)에서 만나 혼합부재(300)측으로 함께 이동하며 혼합부재(300)의 유입부(311)를 통해 혼합부재(300)의 케이스(310) 내부로 이동한다. A plurality of chemicals are supplied from the
복수의 케미컬의 유동에 의해 혼합부재(300)의 케이스(310) 내부의 난류형성부재(320)인 회전날개가 회전하면 복수의 케미컬이 1차적으로 혼합된다. 혼합부재(300)에서 1차적으로 혼합된 복수의 케미컬은 혼합부재(300)의 유출부(312)에 연결되는 배출배관(230)의 제1 배관(231)으로 이동하며, 제1 배관(231)으로부터 연장되는 제2 배관(232)과, 제2 배관(232)으로부터 연장되는 제3 배관(233)을 따라 이동한다. When the rotating blade, which is the
여기서, 제3 배관(233)에는 순환배관(240)의 유입배관(241)이 연결되어 있으므로, 펌프부재(400)가 작동하는 경우 복수의 케미컬이 제3 배관(233)으로부터 순환배관(240)의 유입배관(241)을 따라 이동 후 순환배관(240)의 유출배관(242)을 따라 유출된다. 그리고, 순환배관(240)의 유출배관(242)은 배출배관(230)의 제2 배관(232)에 연결되므로 순환배관(240)의 유출배관(242)을 통해 유출된 복수의 케미컬은 제2 배관(232)과 제3 배관(233)을 따라 이동 후 다시 순환배관(240)의 유입배관(241)으로 유입된다.Here, since the
즉, 혼합부재(300)에서 1차적으로 혼합된 복수의 케미컬은 배출배관(230)에 연결된 순환배관(240)을 따라 계속적으로 순환되면서 자연스럽게 2차적으로 혼합된다. 이와 같은 복수의 케미컬의 순환 중 일부는 제3 배관(233)을 통해 배출부재(600), 예를 들어 공급탱크로 배출되어 저장된다.That is, the plurality of chemicals primarily mixed in the mixing
이와 같은 방식에 의해, 복수의 케미컬을 미리 설정된 공간에 저장하지 않고도 혼합할 수 있으며, 또한, 배관(200)에 밸브가 구비되지 않더라도 혼합될 수 있으므로, 복수의 케미컬의 혼합이 간편하고 용이해지며 공정 시간이 감소되고 작업 효율이 향상되는 효과가 있다.In this way, multiple chemicals can be mixed without storing them in a preset space, and they can be mixed even if the
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 방법의 작용 및 효과에 대해 설명한다. 다만, 전술한 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 혼합 시스템(10)에서 설명한 부분과 공통되는 설명은 전술한 설명으로 대체한다.Hereinafter, the operation and effects of the chemical mixing method according to an embodiment of the present invention will be described. However, descriptions that are common to the parts described in the
먼저, 케미컬 공급원(100)으로부터 적어도 2종의 케미컬, 즉 복수의 케미컬이 각각 공급된다. 그리고, 복수의 케미컬이 배관(200)을 통해 혼합부재(300)로 이동하여 혼합부재(300)에 의해 1차적으로 혼합된다. 여기서, 혼합부재(300)는 다양할 수 있으며, 케이스(310)와 난류형성부재(320)를 구비하도록 마련될 수 있다. 다만, 이에 관한 설명은 전술한 설명으로 대체한다.First, at least two types of chemicals, that is, a plurality of chemicals, are supplied from the
다음, 1차적으로 혼합된 복수의 케미컬은 펌프부재(400)에 의해 순환하면서 2차적으로 혼합된다. 즉, 복수의 케미컬은 펌프부재(400)에 의해 배관(200)을 따라 계속적으로 이동하면서 혼합된다.Next, the plurality of chemicals mixed primarily are mixed secondarily while circulating by the
그리고, 복수의 케미컬의 순환 중 일부는 배출부재(600), 예를 들어, 공급탱크로 배출되어 저장된다.In addition, some of the plurality of chemicals circulated are discharged to the
이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.Although the present invention has been described above with limited examples and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical idea of the present invention and the description below will be understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalence of the patent claims.
10 : 케미컬 혼합 시스템 100 : 케미컬 공급원
200 : 배관 210 : 공급배관
220 : 이동배관 230 : 배출배관
231 : 제1 배관 232 : 제2 배관
233 : 제3 배관 240 : 순환배관
241 : 유입배관 242 : 유출배관
300 : 혼합부재 310 : 케이스
311 : 유입부 312 : 유출부
320 : 난류형성부재 400 : 펌프부재
500 : 유량 제어부 600 : 배출부재10: Chemical mixing system 100: Chemical source
200: piping 210: supply piping
220: moving pipe 230: discharge pipe
231: first pipe 232: second pipe
233: Third pipe 240: Circulation pipe
241: inflow pipe 242: outflow pipe
300: Mixing member 310: Case
311: inlet 312: outlet
320: Turbulence forming member 400: Pump member
500: flow control unit 600: discharge member
Claims (10)
상기 배관을 통해 이동하는 상기 적어도 2종의 케미컬을 1차적으로 혼합하는 혼합부재; 및
상기 배관에 연결되며, 상기 적어도 2종의 케미컬이 순환하면서 혼합되도록 상기 케미컬을 2차적으로 혼합하는 펌프부재를 포함하는 케미컬 혼합 시스템.A pipe through which at least two types of chemicals supplied from a chemical source move together;
a mixing member that primarily mixes the at least two types of chemicals moving through the pipe; and
A chemical mixing system connected to the pipe and including a pump member that secondarily mixes the at least two chemicals so that they circulate and mix.
상기 케미컬 공급원으로부터 공급되는 케미컬의 유량을 제어하도록, 상기 케미컬 공급원에 결합되는 유량 제어부가 구비되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 시스템.According to paragraph 1,
A chemical mixing system comprising a flow rate control unit coupled to the chemical supply source to control the flow rate of the chemical supplied from the chemical supply source.
상기 배관은,
상기 케미컬 공급원에 결합되는 적어도 하나의 공급배관;
상기 적어도 하나의 공급배관에 연결되며, 상기 혼합부재의 유입부에 연결되는 이동배관;
상기 혼합부재의 유출부에 연결되며, 복수의 케미컬이 저장되는 배출부재에 연결되는 배출배관; 및
상기 배출배관과 상기 펌프부재를 연결하는 순환배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 시스템.In number 1,
The pipe is,
At least one supply pipe coupled to the chemical supply source;
a moving pipe connected to the at least one supply pipe and connected to an inlet of the mixing member;
a discharge pipe connected to the outlet of the mixing member and connected to a discharge member in which a plurality of chemicals are stored; and
A chemical mixing system comprising a circulation pipe connecting the discharge pipe and the pump member.
상기 순환배관은,
상기 적어도 2종의 케미컬이 상기 펌프부재로 유입되는 유입배관; 및
상기 적어도 2종의 케미컬이 상기 펌프부재로부터 유출되는 유출배관을 포함하며,
상기 배출배관을 통해 이동하는 상기 적어도 2종의 케미컬이 상기 펌프부재의 작동에 의해 순환배관을 따라 이동하면서 혼합되도록, 상기 순환배관의 상기 유입배관과 상기 유출배관이 상기 배출배관에 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 시스템.According to paragraph 3,
The circulation pipe is,
an inflow pipe through which the at least two types of chemicals flow into the pump member; and
It includes an outflow pipe through which the at least two types of chemicals flow out from the pump member,
The inlet pipe and the outlet pipe of the circulation pipe are respectively connected to the discharge pipe so that the at least two types of chemicals moving through the discharge pipe are mixed while moving along the circulation pipe by the operation of the pump member. Characterized by a chemical mixing system.
상기 배출배관은,
상기 혼합부재에 연결되는 제1 배관;
상기 제1 배관으로부터 절곡되도록 연장되며, 상기 순환배관의 상기 유출배관이 연결되는 제2 배관; 및
상기 제2 배관으로부터 절곡되도록 연장되며, 상기 순환배관의 유입배관이 연결되고, 상기 배출부재에 연결되는 제3 배관을 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 시스템.According to paragraph 4,
The discharge pipe is,
a first pipe connected to the mixing member;
a second pipe extending to be bent from the first pipe and connected to the outflow pipe of the circulation pipe; and
A chemical mixing system comprising a third pipe that extends to be bent from the second pipe, is connected to an inlet pipe of the circulation pipe, and is connected to the discharge member.
상기 적어도 2종의 케미컬은 상기 펌프부재에 의해 상기 순환배관과 상기 배출배관을 따라 계속적으로 이동하면서 혼합되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 시스템.According to paragraph 3,
A chemical mixing system, wherein the at least two types of chemicals are mixed while continuously moving along the circulation pipe and the discharge pipe by the pump member.
상기 배출부재는 케미컬을 일시 저장하여 케미컬의 사용처로 공급하는 공급탱크인 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 시스템.According to paragraph 3,
A chemical mixing system characterized in that the discharge member is a supply tank that temporarily stores chemicals and supplies them to places of use.
상기 혼합부재는,
상기 이동배관과 상기 배출배관에 각각 연결되는 케이스; 및
상기 케이스 내부에 마련되어 케미컬의 흐름에 난류를 발생시키는 난류형성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 시스템.According to paragraph 1,
The mixing member is,
Cases connected to the moving pipe and the discharge pipe, respectively; and
A chemical mixing system comprising a turbulence forming member provided inside the case to generate turbulence in the flow of chemicals.
상기 적어도 2종의 케미컬이 배관을 통해 이동하여 혼합부재에 의해 1차적으로 혼합되는 단계;
1차적으로 혼합된 상기 적어도 2종의 케미컬이 펌프부재에 의해 순환하면서 2차적으로 혼합되는 단계; 및
혼합이 완료된 케미컬이 배출되는 단계를 포함하는 케미컬 혼합 방법.supplying at least two chemicals from a chemical source;
A step in which the at least two types of chemicals move through a pipe and are primarily mixed by a mixing member;
A step of secondarily mixing the at least two primarily mixed chemicals while circulating by a pump member; and
A chemical mixing method including the step of discharging the mixed chemicals.
상기 적어도 2종의 케미컬은 상기 펌프부재에 의해 상기 배관을 따라 계속적으로 이동하면서 혼합되는 것을 특징으로 하는 케미컬 혼합 방법.
According to clause 9,
A chemical mixing method, characterized in that the at least two types of chemicals are mixed while continuously moving along the pipe by the pump member.
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---|---|---|---|
KR1020220048963A KR20230149575A (en) | 2022-04-20 | 2022-04-20 | System and method for mixing a chemical |
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KR20050076909A (en) | 2004-01-26 | 2005-07-29 | 한양이엔지 주식회사 | System for mixing a chemical materials in semiconductor fabrication |
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