KR20230143796A - Opening and closing apparatus for foup for semiconductor wafers - Google Patents

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KR20230143796A
KR20230143796A KR1020220042859A KR20220042859A KR20230143796A KR 20230143796 A KR20230143796 A KR 20230143796A KR 1020220042859 A KR1020220042859 A KR 1020220042859A KR 20220042859 A KR20220042859 A KR 20220042859A KR 20230143796 A KR20230143796 A KR 20230143796A
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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치에 관한 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 웨이퍼가 출입 가능한 크기의 개구부가 적어도 하나 이상 형성된 베이스부; 상기 베이스부의 전방에서 상기 개구부의 하부에 제공되며, 복수 개의 웨이퍼를 수납할 수 있는 수납용기가 탑재되는 스테이지유닛; 상기 베이스부의 후방에서 상기 개구부를 개폐하며, 상기 개구부의 개방시 상기 베이스부의 후방에서 일측방으로 수평 이동되는 슬라이딩 도어유닛; 상기 슬라이딩 도어유닛의 전방에 설치되어 상기 개구부를 통과하며, 상기 수납용기가 상기 스테이지유닛에 안착될 때 상기 수납용기의 도어를 탈거하기 위해 상기 슬라이딩 도어유닛 상에 상기 도어를 향하는 전후 방향으로 이동되는 전후진 이동유닛; 및 상기 전후진 이동유닛이 상기 수납용기의 도어에 접촉될 때 상기 도어를 흡착하여 상기 수납용기로부터 분리하기 위해 상기 전후진 이동유닛에 제공되는 도어홀더유닛;을 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.The present invention relates to an opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers.
According to one aspect of the present invention, a base portion having at least one opening large enough to allow a wafer to enter and exit; a stage unit provided at a lower portion of the opening in front of the base portion and on which a storage container capable of storing a plurality of wafers is mounted; a sliding door unit that opens and closes the opening from the rear of the base, and moves horizontally to one side from the rear of the base when the opening is opened; It is installed in front of the sliding door unit, passes through the opening, and moves forward and backward toward the door on the sliding door unit to remove the door of the storage container when the storage container is seated on the stage unit. Forward and backward movement unit; and a door holder unit provided to the forward and backward moving unit to adsorb the door and separate it from the storage container when the forward and backward moving unit contacts the door of the storage container. Opening and closing a storage container for semiconductor wafers, including a. A device may be provided.

Description

반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치{OPENING AND CLOSING APPARATUS FOR FOUP FOR SEMICONDUCTOR WAFERS}Storage container opening and closing device for semiconductor wafers {OPENING AND CLOSING APPARATUS FOR FOUP FOR SEMICONDUCTOR WAFERS}

본 발명은 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치에 관한 것이다.The present invention relates to an opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers.

반도체 웨이퍼는 웨이퍼에 전기적 특성을 제공하는 증착 공정, 웨이퍼에 미세한 회로 패턴을 형성하는 노광 공정, 형성된 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 식각 공정 및 제거된 부분을 씻어 내는 세정 공정 등의 과정을 거치며 가공된다.Semiconductor wafers go through a deposition process that provides electrical properties to the wafer, an exposure process that forms a fine circuit pattern on the wafer, an etching process that removes the remaining part except for the formed circuit pattern, and a cleaning process that washes away the removed part. It is processed.

이러한 웨이퍼 가공 공정은 여러 반도체 장비가 연결되어 일련의 단계로 진행되는 바, 각 단계의 웨이퍼 공정라인은 복수 개의 장비가 하나로 연결되어 작동하며 가공된 웨이퍼를 다음 단계의 공정으로 자동 이동시킨다.This wafer processing process is carried out in a series of stages by connecting various semiconductor equipment. The wafer processing line at each stage operates with multiple equipment connected as one, and automatically moves the processed wafer to the next stage of the process.

한편, 최근에는 소자의 고집적화나 회로의 미세화가 추진되고 있는 바, 웨이퍼 표면에 파티클이나 수분의 부착이 발생하지 않도록 웨이퍼 주변을 높은 클린도로 유지하는 것이 요구되고 있다. 또한 웨이퍼 표면이 산화되는 등 표면 성상이 변화하는 일이 없도록 웨이퍼 주변을 불활성 가스인 질소 분위기로 하거나 진공 상태로 하는 것도 행해지고 있다.Meanwhile, as high integration of devices and miniaturization of circuits are promoted in recent years, it is required to maintain a high level of cleanliness around the wafer to prevent particles or moisture from adhering to the wafer surface. In addition, to prevent changes in surface properties such as oxidation of the wafer surface, the area around the wafer is placed in a nitrogen atmosphere, an inert gas, or in a vacuum state.

웨이퍼 주변의 분위기를 적절하게 유지하기 위해 웨이퍼는 FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 불리는 밀폐식의 웨이퍼용 수납용기의 내부에 넣어 관리되고 이 내부에는 질소가 충전된다.In order to properly maintain the atmosphere around the wafer, the wafer is placed inside a sealed wafer storage container called FOUP (Front Opening Unified Pod), and the inside is filled with nitrogen.

구체적으로, 웨이퍼용 수납용기(FOUP)는 300 mm 웨이퍼에 주로 사용되는 것으로, 카세트 일체형이고 전방이 개폐 가능하도록 도어가 구비된다. 이 웨이퍼 수납용기는 통상 합성수지로 제작되며, 내부에 산소나 오염물질이 침투하여 웨이퍼 상에 산화막이 형성되는 것을 막기 위해 질소 같은 불활성 가스를 주입하여 산소나 오염물질이 배출되도록 구성된다.Specifically, the wafer storage container (FOUP) is mainly used for 300 mm wafers, is a cassette-integrated type, and has a front door that can be opened and closed. This wafer storage container is usually made of synthetic resin, and is configured to discharge oxygen or contaminants by injecting an inert gas such as nitrogen to prevent oxygen or contaminants from penetrating inside and forming an oxide film on the wafer.

따라서, 웨이퍼 가공 공정에서 수납용기에 적재된 웨이퍼를 다른 공정으로 이송시키기 위해서는 수납용기로부터 웨이퍼를 인출해야 하는 바, 밀폐된 수납용기의 도어를 개폐하기 위한 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.Therefore, in the wafer processing process, in order to transfer the wafer loaded in the storage container to another process, the wafer must be removed from the storage container. Therefore, a storage container opening and closing device for semiconductor wafers can be provided to open and close the door of the sealed storage container. there is.

한국등록특허 제10-2200250호(2021.01.04. 등록)Korean Patent No. 10-2200250 (registered on January 4, 2021)

본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치는 웨이퍼가 적재된 수납용기(FOUP)가 안착되면 수납용기를 안정적으로 고정시키고 도어를 분리, 탈거하여 웨이퍼의 반입, 반출에 간섭되지 않도록 하는데 그 목적이 있다. The storage container opening and closing device for semiconductor wafers according to an embodiment of the present invention stably fixes the storage container when the storage container (FOUP) loaded with wafers is seated, and separates and removes the door to prevent interference with the loading and unloading of wafers. There is a purpose to doing so.

본 발명의 일측면에 따르면, 웨이퍼가 출입 가능한 크기의 개구부가 적어도 하나 이상 형성된 베이스부; 상기 베이스부의 전방에서 상기 개구부의 하부에 제공되며, 복수 개의 웨이퍼를 수납할 수 있는 수납용기가 탑재되는 스테이지유닛; 상기 베이스부의 후방에서 상기 개구부를 개폐하며, 상기 개구부의 개방시 상기 베이스부의 후방에서 일측방으로 수평 이동되는 슬라이딩 도어유닛; 상기 슬라이딩 도어유닛의 전방에 설치되어 상기 개구부를 통과하며, 상기 수납용기가 상기 스테이지유닛에 안착될 때 상기 수납용기의 도어를 탈거하기 위해 상기 슬라이딩 도어유닛 상에 상기 도어를 향하는 전후 방향으로 이동되는 전후진 이동유닛; 및 상기 전후진 이동유닛이 상기 수납용기의 도어에 접촉될 때 상기 도어를 흡착하여 상기 수납용기로부터 분리하기 위해 상기 전후진 이동유닛에 제공되는 도어홀더유닛;을 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.According to one aspect of the present invention, a base portion having at least one opening large enough to allow a wafer to enter and exit; a stage unit provided at a lower portion of the opening in front of the base portion and on which a storage container capable of storing a plurality of wafers is mounted; a sliding door unit that opens and closes the opening from the rear of the base, and moves horizontally to one side from the rear of the base when the opening is opened; It is installed in front of the sliding door unit, passes through the opening, and moves forward and backward toward the door on the sliding door unit to remove the door of the storage container when the storage container is seated on the stage unit. Forward and backward movement unit; and a door holder unit provided to the forward and backward moving unit to adsorb the door and separate it from the storage container when the forward and backward moving unit contacts the door of the storage container. Opening and closing a storage container for semiconductor wafers, including a. A device may be provided.

또한, 상기 스테이지유닛은, 상기 개구부의 하부 상에서 전방을 향해 돌출 고정되는 고정스테이지; 상기 고정스테이지 상에서 전후 방향으로 슬라이딩 이동되게 제공되며, 상부면에 상기 수납용기가 안착되는 이동스테이지; 및 상기 이동스테이지를 전후 방향으로 이동시키기 위해 제공되는 것으로, 길이 신축 가능하게 설치되는 스테이지실린더부;를 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.In addition, the stage unit includes: a fixed stage protruding and fixed toward the front on the lower part of the opening; a moving stage that is provided to slide in a forward and backward direction on the fixed stage and on which the storage container is mounted on the upper surface; and a stage cylinder portion that is provided to move the moving stage in the front and rear direction and is installed to be flexible in length. An opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers may be provided, including a.

또한, 상기 슬라이딩 도어유닛은, 상기 베이스부의 후방에 배치되며, 상기 개구부를 폐쇄할 수 있는 크기로 제공되는 슬라이딩도어 본체; 상기 베이스부의 후방면에 일측 수평 방향으로 연장되게 배치되며, 상기 슬라이딩도어 본체의 이동 경로를 제공하는 슬라이딩도어 레일수단; 및 상기 슬라이딩도어 본체를 수평 방향으로 이동시키기 위해 제공되는 것으로, 상기 베이스부의 후방면에 길이 신축 가능하게 설치되는 슬라이딩실린더부;를 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.In addition, the sliding door unit includes a sliding door body disposed at the rear of the base portion and provided in a size capable of closing the opening; a sliding door rail means disposed to extend in one horizontal direction on the rear surface of the base portion and providing a movement path for the sliding door body; and a sliding cylinder portion that is provided to move the sliding door body in the horizontal direction and is installed to be flexible in length on the rear surface of the base portion. An opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers may be provided, including a.

또한, 상기 전후진 이동유닛은, 상기 슬라이딩 도어유닛의 전방에 상기 개구부를 통과할 수 있는 크기로 제공되어 상기 도어에 밀착되는 이동몸체; 상기 이동몸체의 전후진 이동 경로를 제공하기 위해 상기 슬라이딩도어 본체에 설치되는 전후진 레일수단; 및 상기 이동몸체에 전후진 이동을 위한 외력을 제공하는 전후진 액츄에이터;을 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.In addition, the forward and backward moving unit includes: a moving body provided in front of the sliding door unit of a size capable of passing through the opening and in close contact with the door; Forward and backward rail means installed on the sliding door body to provide a forward and backward movement path for the moving body; And a forward and backward actuator that provides an external force for forward and backward movement to the moving body. An opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers may be provided, including a.

또한, 상기 도어홀더유닛은, 상기 도어와 밀착되는 상기 이동몸체의 표면 상에 돌출되는 적어도 하나 이상의 래치에 의해 상기 도어를 록킹 또는 언록킹하는 것으로, 상기 이동몸체에 내장되는 도어록킹수단; 및 상기 도어와 밀착되는 상기 이동몸체의 표면 상에 돌출되어 상기 도어록킹수단에 의해 상기 수납용기로부터 분리된 상기 도어를 파지하는 것으로, 상기 이동몸체에 내장되는 도어파지수단;을 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.In addition, the door holder unit locks or unlocks the door by at least one latch protruding on the surface of the movable body in close contact with the door, and includes a door locking means built into the movable body; and a door holding means built into the moving body, which protrudes on the surface of the moving body in close contact with the door and holds the door separated from the storage container by the door locking means. A semiconductor wafer comprising a. A storage container opening and closing device may be provided.

또한, 상기 도어록킹수단은, 상기 이동몸체의 일측에 제공되어 길이 신장에 따른 외력을 제공하는 록킹구동부; 상기 록킹구동부와 연결되어 외력을 제공받는 방향으로 회전되는 록킹회전부; 및 상기 록킹회전부의 회전 중심 상에 돌출되게 제공되며, 상기 도어의 록킹홈에 삽입되어 도어를 개폐하는 래치;를 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.In addition, the door locking means includes a locking drive unit provided on one side of the moving body to provide an external force according to the length of the moving body; A locking rotating part connected to the locking driving part and rotated in a direction in which an external force is provided; and a latch provided to protrude from the rotation center of the locking rotation unit and inserted into the locking groove of the door to open and close the door. An opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers may be provided, including a latch.

또한, 상기 도어록킹수단은, 상기 이동몸체의 일측에 제공되어 길이 신장에 따른 외력을 제공하는 록킹구동부; 상기 록킹구동부와 연결되어 외력을 제공받는 방향으로 직선 이동되는 이동암; 상기 이동암의 양단에 각각 독립적으로 결합되며, 상기 이동암의 직선 운동을 회전 운동으로 전환시키는 복수 개의 크랭크부; 및 복수 개의 상기 크랭크부에 각각 결합되어 회전 가능하게 제공되며, 상기 도어의 록킹홈에 삽입되어 상기 도어를 개폐하는 복수 개의 래치;를 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.In addition, the door locking means includes a locking drive unit provided on one side of the moving body to provide an external force according to the length of the moving body; A moving arm connected to the locking drive unit and moving linearly in a direction in which an external force is provided; a plurality of crank units each independently coupled to both ends of the movable arm and converting the linear motion of the movable arm into a rotational movement; and a plurality of latches that are respectively coupled to the plurality of crank parts to be rotatable and are inserted into a locking groove of the door to open and close the door.

또한, 상기 도어파지수단은, 상기 도어의 적어도 일측을 진공압에 의해 흡착하기 위해 진공라인과 연결되는 진공흡착부를 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.In addition, the door holding means may include a vacuum adsorption unit connected to a vacuum line to adsorb at least one side of the door by vacuum pressure, and an opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers may be provided.

또한, 상기 베이스부의 전방에서 상기 개구부의 상부에 제공되는 것으로, 상기 수납용기가 상기 스테이지유닛에 안착될 때 상기 수납용기의 상부를 가압하여 고정시키는 용기고정수단을 더 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.In addition, the storage container for semiconductor wafers is provided at an upper portion of the opening in front of the base portion and further includes container fixing means that pressurizes and secures the upper part of the storage container when the storage container is seated on the stage unit. A switchgear may be provided.

또한, 상기 용기고정수단은, 상기 개구부의 상부에 높이 방향으로 승강 가능하게 제공되는 승강아암; 상기 승강아암의 끝단에 하방향으로 돌출되며, 상기 승강아암의 하강시 상기 수납용기의 상부를 가압하여 상기 수납용기의 유동을 방지하는 탄성가압부; 상기 승강아암에 높이 방향의 이동 경로를 제공하는 승강레일; 상기 승강아암의 일측에 배치되며, 높이 방향의 외력을 제공하도록 길이 신축되는 승강 액츄에이터; 및 일측은 상기 승강아암과 연결되고 타측은 상기 승강 액츄에이터와 연결되도록 1회 절곡된 형상의 커넥팅아암;을 포함하는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.In addition, the container fixing means includes: a lifting arm provided at an upper portion of the opening to be capable of being raised and lowered in the height direction; an elastic pressing part that protrudes downward at the end of the lifting arm and prevents the storage container from moving by pressing the upper part of the storage container when the lifting arm is lowered; a lifting rail that provides a movement path in the height direction for the lifting arm; a lifting actuator disposed on one side of the lifting arm and extending and contracting in length to provide an external force in the height direction; And a connecting arm bent once so that one side is connected to the lifting arm and the other side is connected to the lifting actuator. An opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers can be provided, including a.

또한, 상기 개구부는 하나의 상기 베이스부에 높이 방향으로 이격되게 복수 개로 제공되고, 이격된 상기 개구부에는 상기 스테이지유닛, 상기 슬라이딩 도어유닛, 상기 전후진 이동유닛, 상기 도어홀더유닛 및 상기 용기고정수단이 각각 독립적으로 일대일 대응하도록 제공되는, 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치가 제공될 수 있다.In addition, a plurality of openings are provided in one base part to be spaced apart in the height direction, and the spaced openings include the stage unit, the sliding door unit, the forward and backward moving unit, the door holder unit, and the container fixing means. An opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers may be provided, each of which is independently provided in one-to-one correspondence.

본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치는 수납용기가 스테이지유닛에 탑재되면 수납용기의 도어를 안정적으로 탈거한 후 일측으로 슬라이딩 이동시켜 웨이퍼의 반입, 반출에 간섭되지 않도록 함으로써 웨이퍼의 이송 효율을 증대시킬 수 있다.The storage container opening and closing device for semiconductor wafers according to an embodiment of the present invention stably removes the door of the storage container when the storage container is mounted on a stage unit and then slides it to one side to prevent interference with the loading and unloading of wafers. The transfer efficiency can be increased.

또한, 수납용기가 스테이지유닛에 탑재되면 수납용기를 안정적으로 고정시켜 임의로 움직이지 않도록 함으로써 웨이퍼의 반입, 반출시 안정성을 높일 수 있다.In addition, when the storage container is mounted on the stage unit, the storage container is stably fixed to prevent it from moving arbitrarily, thereby improving stability when loading and unloading wafers.

또한, 웨이퍼의 반입, 반출시 복수 개의 수납용기가 동시에 탑재 가능하기 때문에 웨이퍼의 반출과 반입을 동시에 진행할 수 있기 때문에 공정 효율을 높일 수 있다. In addition, since a plurality of storage containers can be loaded at the same time when loading and unloading wafers, process efficiency can be increased because the loading and unloading of wafers can be carried out simultaneously.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치에 수납용기가 탑재된 상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 배면 사시도이다.
도 5는 본 발명의 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 전후진 이동유닛의 구성을 나타낸 부분 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 도어홀더유닛의 구성을 보이기 위한 후방 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 도어홀더유닛의 구성을 보이기 위한 전방 분해 사시도이다.
도 8은 본 발명의 도어록킹수단의 제2실시예를 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 용기고정수단의 구성을 보이기 위한 정면도이다.Figure 1 is a perspective view showing an opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a storage container is mounted on the semiconductor wafer storage container opening and closing device of FIG. 1.
Figure 3 is a side view of an opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a rear perspective view of an opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a partially exploded perspective view showing the configuration of the forward and backward moving unit of the semiconductor wafer storage container opening and closing device of the present invention.
Figure 6 is a rear exploded perspective view showing the configuration of the door holder unit of the semiconductor wafer storage container opening and closing device of the present invention.
Figure 7 is a front exploded perspective view showing the configuration of the door holder unit of the opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers of the present invention.
Figure 8 is a diagram showing a second embodiment of the door locking means of the present invention.
Figure 9 is a front view showing the configuration of the container fixing means of the opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers of the present invention.

이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예들에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 아울러 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 측면 중 하나이며, 하기의 설명은 본 발명에 대한 상세한 기술의 일부를 이룰 수 있다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, when describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. The following description is one of several aspects of the invention that may be claimed for patent, and may form part of a detailed description of the invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예들을 포함할 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명을 통해 설명할 수 있다. 그러나 이는 본 발명의 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention can make various changes and include various embodiments, and specific embodiments may be illustrated in the drawings and described in detail. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결되어' 있다거나 '접속되어' 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.Terms including ordinal numbers, such as first, second, etc., may be used to describe various components, but the components are not limited by these terms. These terms are used only to distinguish one component from another. When a component is said to be 'connected' or 'connected' to another component, it is understood that it may be directly connected or connected to the other component, but that other components may exist in between. It should be.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terms used in this application are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치를 도시한 사시도이다. 도 2는 도 1의 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치에 수납용기가 탑재된 상태를 도시한 사시도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 측면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 배면 사시도이다. 도 5는 본 발명의 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 전후진 이동유닛의 구성을 나타낸 부분 분해 사시도이다. 도 6은 본 발명의 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 도어홀더유닛의 구성을 보이기 위한 후방 분해 사시도이다. 도 7은 본 발명의 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 도어홀더유닛의 구성을 보이기 위한 전방 분해 사시도이다. 도 8은 본 발명의 도어록킹수단의 제2실시예를 도시한 도면이다. 도 8은 본 발명의 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치의 용기고정수단의 구성을 보이기 위한 정면도이다.Figure 1 is a perspective view showing an opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a storage container is mounted on the semiconductor wafer storage container opening and closing device of FIG. 1. Figure 3 is a side view of an opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers according to an embodiment of the present invention. Figure 4 is a rear perspective view of an opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers according to an embodiment of the present invention. Figure 5 is a partially exploded perspective view showing the configuration of the forward and backward moving unit of the semiconductor wafer storage container opening and closing device of the present invention. Figure 6 is a rear exploded perspective view showing the configuration of the door holder unit of the semiconductor wafer storage container opening and closing device of the present invention. Figure 7 is a front exploded perspective view showing the configuration of the door holder unit of the opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers of the present invention. Figure 8 is a diagram showing a second embodiment of the door locking means of the present invention. Figure 8 is a front view showing the configuration of the container fixing means of the opening and closing device for a storage container for semiconductor wafers of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 수납용기 개폐장치(10)는 수납용기(20)가 안착되면 수납용기(20)의 도어(21)를 완전히 개폐, 분리하여 수납용기(20)에 적재된 웨이퍼의 이송시 도어(21)의 간섭을 방지하기 제공되는 것으로, 베이스부(100), 스테이지유닛(200), 슬라이딩 도어유닛(300), 전후진 이동유닛(400) 및 도어홀더유닛(500)을 포함할 수 있다.Referring to Figures 1 and 2, the storage container opening and closing device 10 according to an embodiment of the present invention completely opens and closes and separates the door 21 of the storage container 20 when the storage container 20 is seated. It is provided to prevent interference with the door 21 when transferring wafers loaded in the container 20, and includes a base unit 100, a stage unit 200, a sliding door unit 300, and a forward and backward movement unit 400. and a door holder unit 500.

베이스부(100)는 본 발명에 따른 수납용기 개폐장치(10)의 다른 구성들이 설치될 수 있는 토대가 되는 것으로, 평판과 같은 형태로 제공될 수 있다. 베이스부(100)의 적어도 일측에는 수납용기(20)에 적재된 웨이퍼가 출입할 수 있을 정도의 크기를 갖는 개구부(110)가 형성될 수 있는데, 이 개구부(110)는 베이스부(100) 상에 관통 가능한 구조로 제공될 수 있으며, 필요에 따라 1개 이상 형성될 수 있다. The base portion 100 serves as a foundation on which other components of the storage container opening and closing device 10 according to the present invention can be installed, and may be provided in a flat form. An opening 110 having a size large enough to allow wafers loaded in the storage container 20 to enter and exit may be formed on at least one side of the base portion 100. This opening 110 is formed on the base portion 100. It may be provided as a structure capable of penetrating, and one or more may be formed as needed.

스테이지유닛(200)은 베이스부(100)의 전방에서 개구부(110)의 하부에 제공되는 것으로, 스테이지유닛(200)은 복수 개의 웨이퍼를 수납할 수 있는 수납용기(20)가 착탈 가능하게 탑재되도록 제공된다.The stage unit 200 is provided in the lower part of the opening 110 in front of the base part 100, and the stage unit 200 is configured so that a storage container 20 capable of storing a plurality of wafers is mounted in a detachable manner. provided.

이때 스테이지유닛(200)에 탑재되는 수납용기(20)는 복수 개의 웨이퍼를 수납할 수 있도록 그 내부에 복수 개의 'U'자 형 슬롯 가이드들이 형성되어 있다. 또한 수납용기(20)의 일 측면에는 웨이퍼를 반입할 수 있도록 수납용기(20)의 본체로부터 분리 가능한 도어(21)가 구비될 수 있다.At this time, the storage container 20 mounted on the stage unit 200 has a plurality of 'U' shaped slot guides formed inside it to accommodate a plurality of wafers. Additionally, a door 21 that can be separated from the main body of the storage container 20 may be provided on one side of the storage container 20 to allow wafers to be brought in.

도어(21)에는 수납용기(20)를 개폐하기 위한 록킹홈(미도시)이 형성되는 바, 이 록킹홈에 후술할 래치(513)가 삽입된 상태에서 어느 일 방향으로 회전되면 도어(21)는 개방 상태가 되고, 래치(513)가 삽입된 상태에서 반대 방향(다른 일 방향)으로 회전되면 도어(21)는 폐쇄 상태가 되어 도어(21)는 잠긴다. 수납용기(20)는 반도체 제조 공정시 웨이퍼의 청정도를 유지하기 위해 질소 가스와 같은 불활성 가스가 충전될 수 있고, 내부의 관찰이 용이하도록 수납용기(20)의 적어도 일부 또는 도어(21)는 광학적으로 투명하게 형성될 수 있다.A locking groove (not shown) for opening and closing the storage container 20 is formed on the door 21. When the latch 513, which will be described later, is inserted into this locking groove and rotated in one direction, the door 21 opens. is in an open state, and when the latch 513 is inserted and rotated in the opposite direction (another direction), the door 21 is in a closed state and the door 21 is locked. The storage container 20 may be filled with an inert gas such as nitrogen gas to maintain wafer cleanliness during the semiconductor manufacturing process, and at least a portion of the storage container 20 or the door 21 may be optically operated to facilitate internal observation. It can be formed transparently.

구체적으로, 도 1 내지 도 3을 참조하면 상기 스테이지유닛(200)은 고정스테이지(210), 이동스테이지(220) 및 스테이지실린더부(230)를 포함할 수 있다.Specifically, referring to FIGS. 1 to 3, the stage unit 200 may include a fixed stage 210, a movable stage 220, and a stage cylinder unit 230.

고정스테이지(210)는 개구부(110)의 하부 상에서 전방을 향해 돌출되는 것으로, 베이스부(100) 상에서 움직이지 않고 고정될 수 있다. 고정스테이지(210)는 수납용기(20)의 무게를 견딜 수 있을 정도의 강도와 강성을 보유해야 하며, 베이스부(100)에 대하여 직교하도록 배치되며 수평을 이루도록 설치된다.The fixed stage 210 protrudes forward from the lower part of the opening 110 and can be fixed without moving on the base 100. The fixed stage 210 must have sufficient strength and rigidity to withstand the weight of the storage container 20, is arranged perpendicular to the base portion 100, and is installed horizontally.

이동스테이지(220)는 고정스테이지(210) 상에서 전후 방향으로 슬라이딩 이동되게 제공되는 것으로, 이동스테이지(220)의 상부면에는 수납용기(20)가 탑재되어 안착될 수 있다.The mobile stage 220 is provided to slide in the front-back direction on the fixed stage 210, and the storage container 20 can be mounted and seated on the upper surface of the mobile stage 220.

수납용기(20)는 이동스테이지(220)에 탑재된 후 베이스부(100) 쪽으로 접근할 수도 있어야 하고, 원래 위치로 복귀될 수도 있어야 하는 바, 이동스테이지(220)는 베이스부(100)를 향하는 수평 방향으로 직선 왕복 이동 가능하게 제공될 수 있다.The storage container 20 must be able to approach the base part 100 after being mounted on the moving stage 220 and be able to return to its original position, so the moving stage 220 is directed toward the base part 100. It can be provided to allow straight reciprocating movement in the horizontal direction.

수납용기(20)의 도어(21)가 도어홀더유닛(500)에 의해 개폐되고 파지되기 위해 수납용기(20)가 안착된 이동스테이지(220)는 수납용기(20)를 베이스부(100)의 개구부(110) 쪽으로 직선 이동시킬 수 있다.In order for the door 21 of the storage container 20 to be opened, closed, and held by the door holder unit 500, the moving stage 220 on which the storage container 20 is seated holds the storage container 20 on the base portion 100. It can be moved straight toward the opening 110.

스테이지실린더부(230)는 이동스테이지(220)를 전후 방향으로 이동시키기 위한 외력을 제공하는 것으로, 길이 신축 가능하게 제공될 수 있다. 이때, 스테이지실린더부(230)는 유압이나 공압의 작용에 의해 길이가 늘어나거나 줄어들 수 있으며, 이에 따라 이동스테이지(220)가 직선 이동될 수 있다. 스테이지실린더부(230)는 고정스테이지(210)와 이동스테이지(220) 간에 설치될 수 있으며, 베이스부(100)와 이동스테이지(220) 간에 설치되는 것도 가능하다.The stage cylinder unit 230 provides an external force to move the mobile stage 220 in the front and rear directions, and can be provided to be flexible in length. At this time, the stage cylinder unit 230 can be lengthened or shortened by the action of hydraulic or pneumatic pressure, and the moving stage 220 can be moved in a straight line accordingly. The stage cylinder unit 230 can be installed between the fixed stage 210 and the mobile stage 220, and can also be installed between the base unit 100 and the mobile stage 220.

한편, 도 4 내지 도 7을 참조하여 상기 슬라이딩 도어유닛(300)과 전후진 이동유닛(400) 및 도어홀더유닛(500)을 일괄 설명한다.Meanwhile, the sliding door unit 300, the forward and backward moving unit 400, and the door holder unit 500 will be collectively described with reference to FIGS. 4 to 7.

슬라이딩 도어유닛(300)은 베이스부(100)의 후방에서 개구부(110)를 개폐하기 위해 제공될 수 있다. 슬라이딩 도어유닛(300)은 개구부(110)의 개방시 개구부(110)를 통과하여 반출 또는 반입되는 웨이퍼와의 간섭을 피하기 위해 베이스부(100)의 후방에서 일측방으로 수평 이동 가능하게 제공될 수 있다. The sliding door unit 300 may be provided to open and close the opening 110 at the rear of the base portion 100. The sliding door unit 300 may be provided to be horizontally movable from the rear of the base 100 to one side to avoid interference with wafers being carried out or brought in through the opening 110 when the opening 110 is opened. there is.

또한, 전후진 이동유닛(400)은 슬라이딩 도어유닛(300)의 전방에 설치되어 개구부(110)를 통과 가능하게 제공되는 구성으로, 수납용기(20)가 스테이지유닛(200)에 안착될 때 도어(21)를 탈거하기 위해 제공될 수 있다. 이에 따라 전후진 이동유닛(400)은 슬라이딩 도어유닛(300) 상에서 수납용기(20)의 도어(21)를 향하는 전후 방향으로 수평 이동 가능하게 제공될 수 있다.In addition, the forward and backward movement unit 400 is installed in front of the sliding door unit 300 and is provided to pass through the opening 110, and when the storage container 20 is seated on the stage unit 200, the door is moved. (21) can be provided for removal. Accordingly, the forward and backward moving unit 400 can be provided to be horizontally movable in the forward and backward direction toward the door 21 of the storage container 20 on the sliding door unit 300.

도어홀더유닛(500)은 전후진 이동유닛(400)이 수납용기(20)의 도어(21)에 접촉될 때 도어(21)를 흡착하여 도어(21)를 수납용기(20)의 본체로부터 분리하기 위해 제공되는 것으로, 도어홀더유닛(500)은 전후진 이동유닛(400)의 내부에 제공될 수 있다.The door holder unit 500 separates the door 21 from the main body of the storage container 20 by adsorbing the door 21 when the forward and backward movement unit 400 contacts the door 21 of the storage container 20. As provided for this purpose, the door holder unit 500 may be provided inside the forward and backward movement unit 400.

구체적으로, 슬라이딩 도어유닛(300)은 개구부(110)를 통과하는 웨이퍼와 간섭되지 않고 베이스부(100)의 후방에서 개구부(110)를 개폐하기 위해 제공되는 것으로서, 슬라이딩도어 본체(310), 슬라이딩도어 레일수단(320) 및 슬라이딩실린더부(330)를 포함할 수 있다.Specifically, the sliding door unit 300 is provided to open and close the opening 110 from the rear of the base 100 without interfering with the wafer passing through the opening 110, and the sliding door main body 310, sliding It may include a door rail means 320 and a sliding cylinder unit 330.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 슬라이딩도어 본체(310)는 베이스부(100)의 후방에 배치되며, 개구부(110)를 폐쇄할 수 있는 크기로 제공될 수 있다. 슬라이딩도어 본체(310)는 개구부(110)의 직 후방에 배치되어 개구부(110)를 폐쇄할 수도 있고 베이스부(100)의 일 측방으로 슬라이딩 이동하여 개구부(110)가 완전히 개방되도록 배치될 수도 있다.As shown in FIGS. 4 and 5, the sliding door body 310 is disposed at the rear of the base portion 100 and may be provided in a size that can close the opening 110. The sliding door body 310 may be placed directly behind the opening 110 to close the opening 110, or may be arranged to slide to one side of the base 100 to completely open the opening 110. .

슬라이딩도어 본체(310)는 내부에 소정의 수용 공간이 형성되는 육면체의 형태로 제공될 수 있고, 슬라이딩도어 커버(311)에 의해 내부의 수용공간이 개폐될 수 있다. 참고로, 도 5는 슬라이딩도어 본체(310)에서 슬라이딩도어 커버(311)가 탈거된 상태를 도시한 도면이다.The sliding door body 310 may be provided in the form of a hexahedron with a predetermined receiving space formed inside, and the internal receiving space may be opened and closed by the sliding door cover 311. For reference, Figure 5 is a diagram showing the sliding door cover 311 removed from the sliding door body 310.

도 6에 도시된 바와 같이, 슬라이딩도어 레일수단(320)은 베이스부(100)의 후방면에 일측 수평 방향으로 연장되게 배치되어 슬라이딩도어 본체(310)의 이동 경로를 제공할 수 있다. 슬라이딩도어 레일수단(320)은 베이스부(100)의 후방면에 적어도 1개 이상 설치될 수 있으며, 슬라이딩도어 본체(310)의 안정적인 이동을 위해서는 슬라이딩도어 레일수단(320)이 서로 평행하게 2개 이상으로 제공되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 슬라이딩도어 본체(310)는 개구부(110)를 개방할 때 슬라이딩도어 레일수단(320)을 따라 베이스부(100)의 일 측방으로 슬라이딩 이동하게 된다.As shown in FIG. 6, the sliding door rail means 320 is arranged to extend in one horizontal direction on the rear surface of the base portion 100 to provide a movement path for the sliding door main body 310. At least one sliding door rail means 320 may be installed on the rear surface of the base portion 100, and for stable movement of the sliding door main body 310, two sliding door rail means 320 are installed parallel to each other. It is desirable to provide the above. Accordingly, the sliding door body 310 slides to one side of the base portion 100 along the sliding door rail means 320 when the opening 110 is opened.

슬라이딩실린더부(330)는 슬라이딩도어 본체(310)를 수평 방향으로 이동시키기 위해 슬라이딩도어 본체(310)에 외력을 제공하는 요소로서, 베이스부(100)의 후방면에 길이 신축 가능하게 설치될 수 있다.The sliding cylinder unit 330 is an element that provides external force to the sliding door main body 310 to move the sliding door main body 310 in the horizontal direction, and can be installed on the rear surface of the base unit 100 to be flexible in length. there is.

슬라이딩실린더부(330)는 유압 또는 공압의 작용에 의해 길이 신축이 일어나는 유압식 실린더일 수 있으며, 전력에 의해 길이 신축이 일어나는 전기식 액츄에이터도 사용 가능하다. 슬라이딩실린더부(330)는 슬라이딩도어 본체(310)의 상부 또는 하부 중 적당한 위치에 설치될 수 있는 바, 슬라이딩실린더부(330)의 설치 위치는 필요에 따라 변경 가능하다.The sliding cylinder unit 330 may be a hydraulic cylinder whose length is expanded and contracted by the action of hydraulic or pneumatic pressure, and an electric actuator whose length is expanded and contracted by electric power can also be used. The sliding cylinder unit 330 may be installed at an appropriate position among the upper or lower part of the sliding door body 310, and the installation location of the sliding cylinder unit 330 can be changed as needed.

또한, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 전후진 이동유닛(400)은 슬라이딩 도어유닛(300)의 전방에 제공되는 것으로, 스테이지유닛(200)에 안착된 수납용기(20)의 도어(21)를 탈거하여 개구부(110)를 통과한 후 슬라이딩 도어유닛(300)과 함께 베이스부(100)의 일측방으로 퇴비하기 위해 제공될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 5, the forward and backward movement unit 400 is provided in front of the sliding door unit 300, and moves the door 21 of the storage container 20 mounted on the stage unit 200. After being removed and passing through the opening 110, it can be provided for composting on one side of the base portion 100 together with the sliding door unit 300.

이를 위해 전후진 이동유닛(400)은 슬라이딩 도어유닛(300) 상에서 수납용기(20)의 도어(21)를 향하는 전후 방향으로 이동 가능하게 제공되는 바, 이동몸체(410), 전후진 레일수단(420) 및 전후진 액츄에이터(430)를 포함할 수 있다.For this purpose, the forward and backward moving unit 400 is provided to be movable in the forward and backward direction toward the door 21 of the storage container 20 on the sliding door unit 300, and includes a moving body 410 and forward and backward rail means ( 420) and a forward/backward actuator 430.

이동몸체(410)는 슬라이딩 도어유닛(300)의 전방에 배치되며, 개구부(110)를 통과할 수 있는 크기로 형성될 수 있다. 또한, 수납용기(20)가 스테이지유닛(200)에 안착된 후 이동스테이지(220)가 개구부(110) 쪽으로 이동 완료되면 이동몸체(410)가 전진하여 이동몸체(410)의 전방면이 수납용기(20)의 도어(21)에 밀착될 수 있다.The moving body 410 is disposed in front of the sliding door unit 300 and may be sized to pass through the opening 110. In addition, after the storage container 20 is seated on the stage unit 200 and the moving stage 220 is completed moving toward the opening 110, the moving body 410 moves forward so that the front surface of the moving body 410 is a storage container. It can be in close contact with the door 21 of (20).

전후진 레일수단(420)은 이동몸체(410)의 전후진 이동 경로를 제공하기 위해 슬라이딩도어 본체(310)의 내부에 설치될 수 있다. 전후진 레일수단(420)은 이동몸체(410)가 수납용기(20)의 도어(21)를 향해 전진 또는 후퇴하도록 도어(21)를 향하는 방향으로 수평하게 연장 배치될 수 있으며, 1개 또는 필요에 따라 2개 이상으로 평행하게 제공될 수 있다.The forward and backward rail means 420 may be installed inside the sliding door main body 310 to provide a forward and backward movement path for the moving body 410. The forward and backward rail means 420 can be arranged to extend horizontally in the direction toward the door 21 so that the moving body 410 advances or retreats toward the door 21 of the storage container 20, and is one or as many as necessary. Depending on the number, two or more may be provided in parallel.

전후진 액츄에이터(430)는 이동몸체(410)에 전후진 이동을 위한 외력을 제공하는 요소로서, 전후진 액츄에이터(430)는 도 5에 도시된 바와 같이 슬라이딩도어 본체(310)의 내부에 내장될 수 있다. 전후진 액츄에이터(430)는 유압식 액츄에이터나 전기식 액츄에이터로 구성될 수 있으며, 여기에서 발생한 외력을 이동몸체(410)에 전달하여 이동몸체(410)를 전진 또는 후진시킬 수 있다. 별도의 도면 부호를 사용하여 설명하지는 않았지만, 이동몸체(410)와 전후진 레일수단(420) 간, 이동몸체(410)와 전후진 액츄에이터(430) 간에는 서로 다른 두 요소를 서로 연결하기 위한 브래킷이 제공될 수 있다. The forward and backward actuator 430 is an element that provides external force for forward and backward movement to the moving body 410. The forward and backward actuator 430 is installed inside the sliding door body 310 as shown in FIG. 5. You can. The forward and backward actuator 430 may be composed of a hydraulic actuator or an electric actuator, and can transmit the external force generated here to the moving body 410 to move the moving body 410 forward or backward. Although not described using separate drawing symbols, there is a bracket between the moving body 410 and the forward and backward rail means 420, and between the moving body 410 and the forward and backward actuator 430 to connect the two different elements to each other. can be provided.

또한, 도어홀더유닛(500)은 전후진 이동유닛(400)이 수납용기(20)의 도어(21)에 밀착되었을 때 도어(21)를 수납용기(20)로부터 분리하여 흡착하기 위해 제공될 수 있다. 이를 위해 도어홀더유닛(500)은 전후진 이동유닛(400)에 설치될 수 있으며, 도어록킹수단(510) 및 도어파지수단(520)을 포함할 수 있다.In addition, the door holder unit 500 may be provided to separate the door 21 from the storage container 20 and adsorb it when the forward and backward movement unit 400 is in close contact with the door 21 of the storage container 20. there is. To this end, the door holder unit 500 may be installed in the forward and backward moving unit 400 and may include a door locking means 510 and a door holding means 520.

도 1, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 도어록킹수단(510)은 도어(21)와 밀착되는 이동몸체(410)의 표면 상에 돌출되는 적어도 하나 이상의 래치(513)에 의해 도어(21)를 록킹 또는 언록킹할 수 있다. 도어록킹수단(510)은 이동몸체(410)의 내부에 설치될 수 있다.As shown in FIGS. 1, 6, and 7, the door locking means 510 locks the door 21 by at least one latch 513 protruding on the surface of the moving body 410 in close contact with the door 21. ) can be locked or unlocked. The door locking means 510 may be installed inside the moving body 410.

상기 도어록킹수단(510)은 본 발명에 따르면 제1실시예와 제2실시예로 구현될 수 있는데, 구체적으로 도 6 및 도 7에 도시된 본 발명의 제1실시예에 따른 도어록킹수단(510)은 록킹구동부(511)와 록킹회전부(512) 및 래치(513)를 포함할 수 있다.The door locking means 510 can be implemented in the first and second embodiments according to the present invention. Specifically, the door locking means according to the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 6 and 7 ( 510 may include a locking drive unit 511, a locking rotation unit 512, and a latch 513.

록킹구동부(511)는 이동몸체(410)의 일측에 제공되어 길이 신장에 따른 외력을 제공할 수 있다. 록킹구동부(511)는 작동시 길이가 늘어나거나 줄어드는 물리량의 변화에 의해 외부에 힘을 제공할 수 있따. 록킹구동부(511)는 길이가 신장되는 구성이라면 그 종류에 제한은 없는 바, 길이 신장되는 모터나 유압 또는 공압에 의해 작동하는 실린더가 사용될 수 있다.The locking drive unit 511 is provided on one side of the moving body 410 and can provide an external force according to the length extension. The locking drive unit 511 can provide external force by changing a physical quantity such that its length increases or decreases during operation. There is no limit to the type of the locking drive unit 511 as long as it is configured to extend in length, and a motor that extends in length or a cylinder operated by hydraulic or pneumatic pressure may be used.

록킹회전부(512)는 록킹구동부(511)와 연결되어 외력을 제공받는 방향으로 회전되도록 구성될 수 있다. 록킹회전부(512)는 록킹구동부(511)의 길이가 늘어나거나 줄어드는 방향에 따라 회전 방향이 전환될 수 있다. The locking rotation unit 512 may be connected to the locking drive unit 511 and configured to rotate in a direction in which external force is provided. The rotation direction of the locking rotation unit 512 may be changed depending on the direction in which the length of the locking drive unit 511 increases or decreases.

래치(513)는 록킹회전부(512)의 회전 중심 상에 돌출되게 제공되며, 도어(21)의 록킹홈에 삽입되어 도어(21)를 개폐할 수 있다.The latch 513 is provided to protrude on the rotation center of the locking rotation unit 512 and can be inserted into the locking groove of the door 21 to open and close the door 21.

즉, 래치(513)는 이동몸체(410)가 수납용기(20)의 도어(21)와 접촉하였을 때 도어(21)의 록킹홈에 삽입되도록 록킹홈에 대응하는 형상으로 형성될 수 있으며, 래치(513)가 록킹홈에 삽입된 상태에서 록킹회전부(512)에 의하여 어느 일 방향으로 회전됨에 따라 도어(21)를 개방하거나 록킹할 수 있다. 따라서, 래치(513)가 록킹홈에 삽입되어 도어(21)를 개방하게 되면 도어(21)는 수납용기(20)로부터 분리되어 수납용기(20)의 일면이 개방될 수 있는 바, 이에 따라 수납용기(20)에 적재된 웨이퍼가 반입 또는 반출 가능한 상태가 된다.That is, the latch 513 may be formed in a shape corresponding to the locking groove so that it is inserted into the locking groove of the door 21 when the moving body 410 contacts the door 21 of the storage container 20. When 513 is inserted into the locking groove, the door 21 can be opened or locked by being rotated in one direction by the locking rotation unit 512. Therefore, when the latch 513 is inserted into the locking groove to open the door 21, the door 21 is separated from the storage container 20 and one side of the storage container 20 can be opened, and thus the storage container 20 can be opened. The wafer loaded in the container 20 becomes available for loading or unloading.

한편, 도 8을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 도어록킹수단(510)을 설명한다.Meanwhile, the door locking means 510 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 8.

도 8은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 도어록킹수단(510)만을 도시한 것인 바, 도 6 및 도7에서와 같이 이동몸체(410)에 설치될 수 있는 도어록킹수단(510)의 제1실시예 이외의 다른 구성들은 그대로 적용되지만 편의상 생략하여 도시한 것이다. Figure 8 shows only the door locking means 510 to aid understanding of the present invention. As shown in Figures 6 and 7, the first door locking means 510 can be installed on the moving body 410. Other configurations other than the embodiment are applied as is, but are omitted for convenience.

본 발명의 도면에 기재된 전방(Front)은 수납용기(20)의 도어(21)를 향하는 방향을 의미하며, 후방(Rear)은 도어(21)의 반대 방향 즉, 도어(21)에서 멀어지는 방향을 의미한다.Front described in the drawing of the present invention refers to the direction toward the door 21 of the storage container 20, and rear refers to the direction opposite to the door 21, that is, the direction away from the door 21. it means.

제2실시예에 따른 도어록킹수단(510)은 록킹구동부(514), 이동암(515), 크랭크부(516) 및 래치(513)를 포함할 수 있다.The door locking means 510 according to the second embodiment may include a locking drive unit 514, a moving arm 515, a crank unit 516, and a latch 513.

록킹구동부(514)는 이동몸체(410)의 내부 일측에 고정 설치되는 것으로, 록킹구동부(514)는 1개가 제공되며 작동시 길이 신장에 따른 외력을 제공할 수 있다. 이 록킹구동부(514) 역시 길이가 신장되는 구성이라면 그 종류에 제한은 없으며, 길이 신장되는 모터나 유압 또는 공압에 의해 작동하는 실린더가 사용될 수 있다. 제1실시예에서는 록킹구동부(514)가 복수개로 제공되는 반면, 제2실시예에서는 록킹구동부(514)가 1개 제공되는 점에 차이가 있다.The locking drive unit 514 is fixedly installed on one side of the inside of the moving body 410. One locking drive unit 514 is provided and can provide an external force according to the length extension during operation. There is no limit to the type of the locking drive unit 514 as long as it is configured to extend in length, and a motor that extends in length or a cylinder operated by hydraulic or pneumatic pressure may be used. In the first embodiment, a plurality of locking actuators 514 are provided, whereas in the second embodiment, a single locking actuator 514 is provided.

이동암(515)은 록킹구동부(514)와 연결되어 외력을 전달받는 구성으로서, 이동암(515)은 록킹구동부(514)에 의하여 외력을 제공받는 방향으로 직선 이동될 수 있다. 이에 따라 이동암(515)은 록킹구동부(514)가 작동될 때 록킹구동부(514)의 길이 증가 또는 감소에 따라 좌측 또는 우측으로 수평 이동될 수 있다.The movable arm 515 is connected to the locking drive unit 514 to receive external force. The movable arm 515 can be moved in a straight line in the direction in which the external force is provided by the locking drive unit 514. Accordingly, the moving arm 515 may be horizontally moved to the left or right as the length of the locking driving part 514 increases or decreases when the locking driving part 514 is operated.

크랭크부(516)는 복수 개로 제공되며, 이동암(515)의 양단에 각각 독립적으로 결합될 수 있다. 크랭크부(516)는 이동암(515)의 직선 운동을 회전 운동으로 전환시키는 구성으로서, 이동암(515)이 어느 일 방향으로 직선 운동할 때 크랭크부(516)는 이동암(515)에 의하여 회전 운동으로 변환될 수 있다.A plurality of crank units 516 are provided, and each can be independently coupled to both ends of the moving arm 515. The crank unit 516 is a component that converts the linear motion of the moving arm 515 into a rotational movement. When the moving arm 515 moves linearly in one direction, the crank unit 516 is converted into a rotational movement by the moving arm 515. can be converted.

크랭크부(516)는 회전 중심축을 가지며, 그 회전 중심축으로부터 소정 반경 연장되는 반경부가 상기 이동암(515)의 일측 끝단과 연결되는데, 이동암(515)의 직선 운동이 회전 운동으로 전환되도록 크랭크부(516)의 반경부와 연결되는 이동암(515)에는 장홈이 형성될 수 있다.The crank unit 516 has a central axis of rotation, and a radius part extending from the central axis of rotation by a predetermined radius is connected to one end of the moving arm 515. The crank unit ( A long groove may be formed in the moving arm 515 connected to the radius portion of 516).

또한, 래치(513)는 복수 개의 크랭크부(516)에 각각 결합되어 회전 가능하게 제공되는 것으로, 크랭크부(516)의 회전 중심축과 동일한 회전 중심을 갖도록 설치될 수 있다. 여기서 상기 래치(513)의 형상 및 기능 작용은 앞의 제1실시예에서 설명한 래치(513)와 동일하므로 상세한 설명은 생략하고 동일한 도면 부호를 사용한다.Additionally, the latch 513 is provided to be rotatable by being coupled to a plurality of crank units 516, and may be installed to have the same rotation center as the rotation center axis of the crank unit 516. Here, the shape and function of the latch 513 are the same as those of the latch 513 described in the first embodiment, so detailed description is omitted and the same reference numerals are used.

한편, 도 1, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 도어파지수단(520)은 수납용기(20)의 도어(21)와 밀착되는 이동몸체(410)의 표면 상에 돌출되어 도어록킹수단(510)에 의해 수납용기(20)로부터 분리된 도어(21)를 파지하기 위해 제공될 수 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 1, 6 and 7, the door holding means 520 protrudes on the surface of the moving body 410 in close contact with the door 21 of the storage container 20 and forms a door locking means ( It may be provided to hold the door 21 separated from the storage container 20 by 510).

도 6 및 도 7에서 보듯이 도어파지수단(520)은 이동몸체(410)의 내부에 설치될 수 있으며, 도어(21)의 적어도 일측을 진공압에 의해 흡착할 수 있도록 진공라인(미도시)과 연결되는 진공흡착부(521)를 구비할 수 있다.As shown in FIGS. 6 and 7, the door holding means 520 may be installed inside the moving body 410, and a vacuum line (not shown) may be used to adsorb at least one side of the door 21 by vacuum pressure. It may be provided with a vacuum adsorption unit 521 connected to.

따라서, 진공압이 형성된 진공흡착부(521)가 도어(21)에 밀착되면 진공력에 의해 수납용기(20)의 몸체로부터 분리된 도어(21)를 이동몸체(410)의 표면 상에 흡착할 수 있다. 진공흡착부(521)는 이동몸체(410)의 일측 및 타측에 대각 방향으로 배치될 수 있다.Therefore, when the vacuum adsorption unit 521 with vacuum pressure is in close contact with the door 21, the door 21 separated from the body of the storage container 20 is adsorbed on the surface of the moving body 410 by vacuum force. You can. The vacuum adsorption unit 521 may be disposed diagonally on one side and the other side of the moving body 410.

또한, 도 1, 도 2 및 도 9에 도시된 바와 같이 본 발명의 수납용기 개폐장치(10)는 용기고정수단(600)을 더 포함할 수 있다.In addition, as shown in FIGS. 1, 2, and 9, the storage container opening and closing device 10 of the present invention may further include container fixing means 600.

용기고정수단(600)은 베이스부(100)의 전방에서 개구부(110)의 상부에 제공되는 것으로, 수납용기(20)가 스테이지유닛(200)에 안착될 때 수납용기(20)의 상부를 가압하여 수납용기(20)가 움직이지 못하도록 고정시킬 수 있다.The container fixing means 600 is provided at the upper part of the opening 110 in front of the base part 100, and presses the upper part of the storage container 20 when the storage container 20 is seated on the stage unit 200. Thus, the storage container 20 can be fixed so that it cannot move.

구체적으로, 용기고정수단(600)은 승강아암(610), 탄성가압부(620), 승강레일(630), 승강 액츄에이터(640) 및 커넥팅아암(650)을 포함할 수 있다.Specifically, the container fixing means 600 may include a lifting arm 610, an elastic pressing part 620, a lifting rail 630, a lifting actuator 640, and a connecting arm 650.

승강아암(610)은 개구부(110)의 상부에 설치되는 것으로, 높이 방향으로 승강 가능하게 제공될 수 있다. 이때 승강아암(610)은 베이스부(100)의 표면 상에서 수납용기(20)의 상부면 중심을 향하여 돌출되게 연장될 수 있다.The lifting arm 610 is installed at the top of the opening 110 and can be provided to be lifted up and down in the height direction. At this time, the lifting arm 610 may extend protruding from the surface of the base portion 100 toward the center of the upper surface of the storage container 20.

탄성가압부(620)는 승강아암(610)의 끝단에서 하 방향으로 돌출되게 제공되며, 승강아암(610)의 하강시 수납용기(20)의 상부를 가압하여 수납용기(20)의 유동을 방지할 수 있다. 탄성가압부(620)는 수납용기(20)의 상부면을 실제로 가압하는 구성으로서, 탄성 변형 가능한 고무 재질의 소재로 제공될 수 있으며, 수납용기(20)의 상부면에 형성된 마운트플랜지(22)에 맞닿아 수납용기(20)를 가압할 수 있다. 탄성가압부(620)는 승강아암(610)의 승강에 따라 함께 승강되면서 수납용기(20)를 가압하거나 가압 해제할 수 있다. The elastic pressing portion 620 is provided to protrude downward from the end of the lifting arm 610, and prevents the storage container 20 from moving by pressing the upper part of the storage container 20 when the lifting arm 610 is lowered. can do. The elastic pressing portion 620 is a component that actually presses the upper surface of the storage container 20, and may be made of an elastically deformable rubber material, and the mount flange 22 formed on the upper surface of the storage container 20 It is possible to pressurize the storage container 20 by contacting it. The elastic pressing unit 620 can pressurize or release the pressure on the storage container 20 by moving up and down as the lifting arm 610 moves up and down.

승강레일(630)은 승강아암(610)에 높이 방향의 이동 경로를 제공하기 위한 것으로 베이스부(100)의 전방면에 높이 방향을 따라 설치될 수 있다. 따라서, 승강아암(610)은 승강레일(630)에 끼워져 승강레일(630)의 경로를 따라 안정적으로 높이 조절될 수 있다.The lifting rail 630 is intended to provide a movement path in the height direction for the lifting arm 610 and may be installed on the front surface of the base portion 100 along the height direction. Therefore, the lifting arm 610 can be inserted into the lifting rail 630 and stably adjust its height along the path of the lifting rail 630.

승강 액츄에이터(640)는 승강아암(610)에 외력을 제공하여 승강아암(610)을 승강시키기 위한 것으로, 승강아암(610)의 일측에 배치되며, 높이 방향의 외력을 제공하도록 높이 방향으로 길이 신축될 수 있다.The lifting actuator 640 is used to provide an external force to the lifting arm 610 to raise and lower the lifting arm 610. It is disposed on one side of the lifting arm 610 and expands and contracts in the height direction to provide an external force in the height direction. It can be.

커넥팅아암(650)은 승강아암(610)과 승강 액츄에이터(640)를 상호 연결하기 위한 것으로, 일측은 승강아암(610)과 연결되고 타측은 승강 액츄에이터(640)와 연결되며, 이를 위해 1회 절곡된 형상으로 제공될 수 있다. The connecting arm 650 is for interconnecting the lifting arm 610 and the lifting actuator 640. One side is connected to the lifting arm 610 and the other side is connected to the lifting actuator 640. For this purpose, it is bent once. It can be provided in a given shape.

따라서, 수납용기(20)가 스테이지유닛(200)에 안착되고 이동스테이지(220)가 개구부(110) 쪽으로 완전히 이동하고 나면, 승강 액츄에이터(640)가 작동하여 커넥팅아암(650)에 의하여 외력이 승강아암(610)에 전달되고, 승강아암(610)은 승강레일(630)을 따라 하강함에 따라 탄성가압부(620)가 수납용기(20)의 마운트플랜지(22)에 닿아 수납용기(20)를 하방향으로 가압함으로써 수납용기(20)가 움직이지 않고 스테이지유닛(200)에 고정될 수 있다.Therefore, after the storage container 20 is seated on the stage unit 200 and the mobile stage 220 is completely moved toward the opening 110, the lifting actuator 640 operates to lift and lower the external force by the connecting arm 650. It is transmitted to the arm 610, and as the lifting arm 610 descends along the lifting rail 630, the elastic pressing part 620 touches the mount flange 22 of the storage container 20 to lift the storage container 20. By pressing downward, the storage container 20 can be fixed to the stage unit 200 without moving.

이상에서 설명한 본 발명의 수납용기 개폐장치(10)는 하나의 베이스부(100)에 하나의 개구부(110)가 형성되고, 상기한 모든 구성들이 1개씩 제공되어 수납용기(20)의 도어를 개폐할 수 있다.The storage container opening and closing device 10 of the present invention described above has one opening 110 formed in one base portion 100, and all of the above-mentioned components are provided one by one to open and close the door of the storage container 20. can do.

한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 수납용기 개폐장치(10)는 개구부(110)가 하나의 베이스부(100)에 높이 방향으로 이격되게 복수 개로 제공되는 것도 가능하다.Meanwhile, as shown in FIGS. 1 and 2, the storage container opening and closing device 10 of the present invention may be provided with a plurality of openings 110 spaced apart in the height direction on one base portion 100.

이 경우, 이격된 복수 개의 개구부(110)에는 상술한 스테이지유닛(200), 슬라이딩 도어유닛(300), 전후진 이동유닛(400), 도어홀더유닛(500), 용기고정수단(600)이 각각 독립적으로 일대일 대응하도록 제공되어 상측과 하측에서 각각 독립적으로 수납용기(20)의 도어(21)의 개폐 동작이 수행될 수 있다.In this case, the above-described stage unit 200, sliding door unit 300, forward and backward movement unit 400, door holder unit 500, and container fixing means 600 are installed in the plurality of spaced apart openings 110, respectively. It is provided independently in one-to-one correspondence, so that the opening and closing operation of the door 21 of the storage container 20 can be performed independently from the upper and lower sides.

이와 같이 상, 하에서 독립적으로 도어(21)의 개폐 동작이 수행되는 경우, 어느 하나의 수납용기(20)에서는 적재된 웨이퍼의 반출 작업이 수행될 수 있고, 다른 하나의 수납용기(20)에서는 특정 공정을 마친 웨이퍼가 반입되어 수납용기(20)에 적재될 수 있다.In this way, when the opening and closing operation of the door 21 is performed independently from the top and bottom, the loading operation of the wafer can be performed in one storage container 20, and a specific operation can be performed in the other storage container 20. The wafer that has completed the process may be brought in and loaded into the storage container 20.

상기한 바와 같은 본 발명의 수납용기 개폐장치(10)의 작용에 대하여 간략하게 설명한다.The operation of the storage container opening and closing device 10 of the present invention as described above will be briefly described.

웨이퍼가 적재된 수납용기(20)가 스테이지유닛(200)에 안착되면 이동스테이지(220)가 개구부(110) 쪽으로 이동하여 도어(21)가 개구부(110)의 근처로 접근하게 된다. 이동스테이지(220)의 이동이 종료되면, 용기고정수단(600)이 작동하여 탄성가압부(620)가 수납용기(20)의 상부를 가압하여 고정하게 된다.When the storage container 20 loaded with wafers is seated on the stage unit 200, the mobile stage 220 moves toward the opening 110 so that the door 21 approaches the vicinity of the opening 110. When the movement of the moving stage 220 is completed, the container fixing means 600 operates so that the elastic pressing part 620 presses and fixes the upper part of the storage container 20.

수납용기(20)가 안정적으로 고정된 상태에서 전후진 이동유닛(400)이 전방을 향하여 전진하는 방향으로 동작하면 이동몸체(410)가 도어(21)에 밀착되고, 도어파지수단(520)이 작동하여 도어(21)를 진공 흡착하게 된다. When the forward and backward moving unit 400 moves forward in a state in which the storage container 20 is stably fixed, the moving body 410 comes into close contact with the door 21, and the door holding means 520 It operates to vacuum adsorb the door 21.

이동몸체(410)가 도어(21)에 밀착되면 도어(21)의 록킹홈에 래치(513)가 삽입된 상태가 되는데, 이때 도어록킹수단(510)이 작동하면 래치(513)가 어느 일방향으로 회전하면서 도어(21)의 록킹 상태를 해제하게 된다.When the moving body 410 is in close contact with the door 21, the latch 513 is inserted into the locking groove of the door 21. At this time, when the door locking means 510 operates, the latch 513 moves in one direction. As it rotates, the locked state of the door 21 is released.

도어(21)의 록킹이 해제된 상태에서 전후진 이동유닛(400)이 후방으로 후퇴하게 되면 도어파지수단(520)에 의해 도어(21)가 이동몸체(410)의 표면에 진공 흡착된 상태로 전후진 이동유닛(400)과 함께 후퇴하게 되고, 계속해서 전후진 이동유닛(400)과 도어(21)가 개구부(110)를 통과하여 베이스부(100)의 후방면 쪽에 위치하게 된다.When the door 21 is unlocked and the forward and backward movement unit 400 retreats backward, the door 21 is vacuum-adsorbed on the surface of the moving body 410 by the door holding means 520. It retreats together with the forward and backward moving unit 400, and then the forward and backward moving unit 400 and the door 21 pass through the opening 110 and are located on the rear side of the base portion 100.

전후진 이동유닛(400)의 후퇴가 완전히 종료되면, 슬라이딩 도어유닛(300)이 작동하여 슬라이딩도어 본체(310)가 슬라이딩도어 레일수단(320)을 따라 베이스부(100)의 후방에서 일 측방 쪽으로 슬라이딩 이동하게 되는데, 이때 슬라이딩 도어유닛(300)의 전방에는 전후진 이동유닛(400)과 도어(21)가 위치하면서 슬라이딩 도어유닛(300)과 함께 베이스부(100)의 후방 일측 방향으로 이동되어 개구부(110)를 완전히 개방시키는 바, 이에 따라 개구부(110)를 통해 수납용기(20)에 적재된 웨이터가 반출 또는 반입될 수 있고, 수납용기(20)에서 분리된 도어(21) 및 전후진 이동유닛(400)과 슬라이딩 도어유닛(300)에 의해 개구부(110)가 가려지지 않으므로 웨이퍼의 반출 및 반입에 간섭이 발생하지 않는다.When the retreat of the forward and backward movement unit 400 is completely completed, the sliding door unit 300 operates so that the sliding door main body 310 moves from the rear of the base portion 100 to one side along the sliding door rail means 320. It moves in a sliding manner. At this time, the forward and backward moving unit 400 and the door 21 are located in front of the sliding door unit 300, and are moved together with the sliding door unit 300 toward one rear side of the base portion 100. The opening 110 is completely opened, so that the waiter loaded in the storage container 20 can be taken out or brought in through the opening 110, and the door 21 separated from the storage container 20 and forward and backward Since the opening 110 is not obscured by the moving unit 400 and the sliding door unit 300, no interference occurs in the loading and unloading of wafers.

이상 본 발명의 실시예에 따른 반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치를 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시 형태들을 조합, 치환하여 적시되지 않은 실시 형태를 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.Although the semiconductor wafer storage container opening and closing device according to the embodiment of the present invention has been described as a specific embodiment, this is only an example and the present invention is not limited thereto, and has the widest scope according to the basic idea disclosed in the present specification. It should be interpreted as A person skilled in the art may combine and substitute the disclosed embodiments to implement embodiments not specified, but this also does not deviate from the scope of the present invention. In addition, a person skilled in the art can easily change or modify the embodiments disclosed based on the present specification, and it is clear that such changes or modifications also fall within the scope of the present invention.

10 : 수납용기 개폐장치 20 : 수납용기
21 : 도어 22 : 마운트플랜지
100 : 베이스부 110 : 개구부
200 : 스테이지유닛 210 : 고정스테이지
220 : 이동스테이지 230 : 스테이지실린더부
300 : 슬라이딩 도어유닛 310 : 슬라이딩도어 본체
311 : 슬라이딩도어 커버 320 : 슬라이딩도어 레일수단
330 : 슬라이딩실린더부
400 : 전후진 이동유닛 410 : 이동몸체
420 : 전후진 레일수단 430 : 전후진 액츄에이터
500 : 도어홀더유닛 510 : 도어록킹수단
511 : 록킹구동부 512 : 록킹회전부
513 : 래치 514 : 록킹구동부
515 : 이동암 516 : 크랭크부
520 : 도어파지수단 521 : 진공흡착부
600 : 용기고정수단 610 : 승강아암
620 : 탄성가압부 630 : 승강레일
640 : 승강 액츄에이터 650 : 커넥팅아암10: storage container opening and closing device 20: storage container
21: Door 22: Mount flange
100: base portion 110: opening portion
200: stage unit 210: fixed stage
220: mobile stage 230: stage cylinder part
300: sliding door unit 310: sliding door body
311: sliding door cover 320: sliding door rail means
330: sliding cylinder part
400: forward and backward moving unit 410: moving body
420: Forward and backward rail means 430: Forward and backward actuator
500: Door holder unit 510: Door locking means
511: Locking driving part 512: Locking rotating part
513: Latch 514: Locking drive unit
515: moving arm 516: crank unit
520: Door holding means 521: Vacuum adsorption unit
600: Container fixing means 610: Elevating arm
620: Elastic pressurizing part 630: Elevating rail
640: Elevating actuator 650: Connecting arm

Claims (11)

웨이퍼가 출입 가능한 크기의 개구부가 적어도 하나 이상 형성된 베이스부;
상기 베이스부의 전방에서 상기 개구부의 하부에 제공되며, 복수 개의 웨이퍼를 수납할 수 있는 수납용기가 탑재되는 스테이지유닛;
상기 베이스부의 후방에서 상기 개구부를 개폐하며, 상기 개구부의 개방시 상기 베이스부의 후방에서 일측방으로 수평 이동되는 슬라이딩 도어유닛;
상기 슬라이딩 도어유닛의 전방에 설치되어 상기 개구부를 통과하며, 상기 수납용기가 상기 스테이지유닛에 안착될 때 상기 수납용기의 도어를 탈거하기 위해 상기 슬라이딩 도어유닛 상에 상기 도어를 향하는 전후 방향으로 이동되는 전후진 이동유닛; 및
상기 전후진 이동유닛이 상기 수납용기의 도어에 접촉될 때 상기 도어를 흡착하여 상기 수납용기로부터 분리하기 위해 상기 전후진 이동유닛에 제공되는 도어홀더유닛;을 포함하는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.A base portion having at least one opening large enough to allow the wafer to enter and exit;
a stage unit provided at a lower portion of the opening in front of the base portion and on which a storage container capable of storing a plurality of wafers is mounted;
a sliding door unit that opens and closes the opening from the rear of the base, and moves horizontally to one side from the rear of the base when the opening is opened;
It is installed in front of the sliding door unit, passes through the opening, and moves forward and backward toward the door on the sliding door unit to remove the door of the storage container when the storage container is seated on the stage unit. Forward and backward movement unit; and
A door holder unit provided to the forward and backward moving unit to adsorb the door and separate it from the storage container when the forward and backward moving unit contacts the door of the storage container.
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers. 제1 항에 있어서,
상기 스테이지유닛은,
상기 개구부의 하부 상에서 전방을 향해 돌출 고정되는 고정스테이지;
상기 고정스테이지 상에서 전후 방향으로 슬라이딩 이동되게 제공되며, 상부면에 상기 수납용기가 안착되는 이동스테이지; 및
상기 이동스테이지를 전후 방향으로 이동시키기 위해 제공되는 것으로, 길이 신축 가능하게 설치되는 스테이지실린더부;를 포함하는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.According to claim 1,
The stage unit is,
a fixed stage protruding forward and fixed on the lower part of the opening;
a moving stage that is provided to slide in a forward and backward direction on the fixed stage and on which the storage container is mounted on the upper surface; and
It is provided to move the mobile stage in the front and rear directions, and includes a stage cylinder portion installed to be expandable in length.
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers. 제1 항에 있어서,
상기 슬라이딩 도어유닛은,
상기 베이스부의 후방에 배치되며, 상기 개구부를 폐쇄할 수 있는 크기로 제공되는 슬라이딩도어 본체;
상기 베이스부의 후방면에 일측 수평 방향으로 연장되게 배치되며, 상기 슬라이딩도어 본체의 이동 경로를 제공하는 슬라이딩도어 레일수단; 및
상기 슬라이딩도어 본체를 수평 방향으로 이동시키기 위해 제공되는 것으로, 상기 베이스부의 후방면에 길이 신축 가능하게 설치되는 슬라이딩실린더부;를 포함하는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.According to claim 1,
The sliding door unit,
A sliding door body disposed behind the base portion and provided with a size that can close the opening;
a sliding door rail means disposed to extend in one horizontal direction on the rear surface of the base portion and providing a movement path for the sliding door body; and
It is provided to move the sliding door body in the horizontal direction, and includes a sliding cylinder part installed to be expandable in length on the rear surface of the base part.
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers. 제3 항에 있어서,
상기 전후진 이동유닛은,
상기 슬라이딩 도어유닛의 전방에 상기 개구부를 통과할 수 있는 크기로 제공되어 상기 도어에 밀착되는 이동몸체;
상기 이동몸체의 전후진 이동 경로를 제공하기 위해 상기 슬라이딩도어 본체에 설치되는 전후진 레일수단; 및
상기 이동몸체에 전후진 이동을 위한 외력을 제공하는 전후진 액츄에이터;을 포함하는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.According to clause 3,
The forward and backward moving unit,
A moving body provided in front of the sliding door unit and of a size capable of passing through the opening and in close contact with the door;
Forward and backward rail means installed on the sliding door body to provide a forward and backward movement path for the moving body; and
Containing a forward and backward actuator that provides external force for forward and backward movement to the moving body,
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers. 제4 항에 있어서,
상기 도어홀더유닛은,
상기 도어와 밀착되는 상기 이동몸체의 표면 상에 돌출되는 적어도 하나 이상의 래치에 의해 상기 도어를 록킹 또는 언록킹하는 것으로, 상기 이동몸체에 내장되는 도어록킹수단; 및
상기 도어와 밀착되는 상기 이동몸체의 표면 상에 돌출되어 상기 도어록킹수단에 의해 상기 수납용기로부터 분리된 상기 도어를 파지하는 것으로, 상기 이동몸체에 내장되는 도어파지수단;을 포함하는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.According to clause 4,
The door holder unit is,
a door locking means built into the moving body, locking or unlocking the door using at least one latch protruding on the surface of the moving body in close contact with the door; and
A door gripping means built into the moving body, which protrudes on the surface of the moving body in close contact with the door and holds the door separated from the storage container by the door locking means,
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers. 제5 항에 있어서,
상기 도어록킹수단은,
상기 이동몸체의 일측에 제공되어 길이 신장에 따른 외력을 제공하는 록킹구동부;
상기 록킹구동부와 연결되어 외력을 제공받는 방향으로 회전되는 록킹회전부; 및
상기 록킹회전부의 회전 중심 상에 돌출되게 제공되며, 상기 도어의 록킹홈에 삽입되어 도어를 개폐하는 래치;를 포함하는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.According to clause 5,
The door locking means is,
A locking drive unit provided on one side of the moving body to provide an external force according to the length of the moving body;
A locking rotating part connected to the locking driving part and rotated in a direction in which an external force is provided; and
A latch is provided to protrude from the rotation center of the locking rotary unit and is inserted into the locking groove of the door to open and close the door.
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers. 제5 항에 있어서,
상기 도어록킹수단은,
상기 이동몸체의 일측에 제공되어 길이 신장에 따른 외력을 제공하는 록킹구동부;
상기 록킹구동부와 연결되어 외력을 제공받는 방향으로 직선 이동되는 이동암;
상기 이동암의 양단에 각각 독립적으로 결합되며, 상기 이동암의 직선 운동을 회전 운동으로 전환시키는 복수 개의 크랭크부; 및
복수 개의 상기 크랭크부에 각각 결합되어 회전 가능하게 제공되며, 상기 도어의 록킹홈에 삽입되어 상기 도어를 개폐하는 복수 개의 래치;를 포함하는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.According to clause 5,
The door locking means is,
A locking drive unit provided on one side of the moving body to provide an external force according to the length of the moving body;
A moving arm connected to the locking drive unit and moving linearly in a direction in which an external force is provided;
a plurality of crank units each independently coupled to both ends of the movable arm and converting the linear motion of the movable arm into a rotational movement; and
A plurality of latches are respectively coupled to the plurality of crank parts and rotatably provided, and are inserted into the locking groove of the door to open and close the door.
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers. 제5 항에 있어서,
상기 도어파지수단은,
상기 도어의 적어도 일측을 진공압에 의해 흡착하기 위해 진공라인과 연결되는 진공흡착부를 포함하는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.According to clause 5,
The door holding means is,
Comprising a vacuum adsorption unit connected to a vacuum line to adsorb at least one side of the door by vacuum pressure,
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers. 제1 항에 있어서,
상기 베이스부의 전방에서 상기 개구부의 상부에 제공되는 것으로, 상기 수납용기가 상기 스테이지유닛에 안착될 때 상기 수납용기의 상부를 가압하여 고정시키는 용기고정수단을 더 포함하는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.According to claim 1,
It is provided at the upper part of the opening in front of the base part, and further includes a container fixing means that presses and fixes the upper part of the storage container when the storage container is seated on the stage unit.
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers. 제9 항에 있어서,
상기 용기고정수단은,
상기 개구부의 상부에 높이 방향으로 승강 가능하게 제공되는 승강아암;
상기 승강아암의 끝단에 하방향으로 돌출되며, 상기 승강아암의 하강시 상기 수납용기의 상부를 가압하여 상기 수납용기의 유동을 방지하는 탄성가압부;
상기 승강아암에 높이 방향의 이동 경로를 제공하는 승강레일;
상기 승강아암의 일측에 배치되며, 높이 방향의 외력을 제공하도록 길이 신축되는 승강 액츄에이터; 및
일측은 상기 승강아암과 연결되고 타측은 상기 승강 액츄에이터와 연결되도록 1회 절곡된 형상의 커넥팅아암;을 포함하는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.According to clause 9,
The container fixing means is,
a lifting arm provided at an upper portion of the opening to be capable of being raised and lowered in the height direction;
an elastic pressing part that protrudes downward at the end of the lifting arm and prevents the storage container from moving by pressing the upper part of the storage container when the lifting arm is lowered;
a lifting rail that provides a movement path in the height direction for the lifting arm;
a lifting actuator disposed on one side of the lifting arm and extending and contracting in length to provide an external force in the height direction; and
A connecting arm bent once so that one side is connected to the lifting arm and the other side is connected to the lifting actuator.
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers. 제9 항에 있어서,
상기 개구부는 하나의 상기 베이스부에 높이 방향으로 이격되게 복수 개로 제공되고,
이격된 상기 개구부에는 상기 스테이지유닛, 상기 슬라이딩 도어유닛, 상기 전후진 이동유닛, 상기 도어홀더유닛 및 상기 용기고정수단이 각각 독립적으로 일대일 대응하도록 제공되는,
반도체 웨이퍼용 수납용기 개폐장치.According to clause 9,
A plurality of openings are provided in one base portion to be spaced apart in the height direction,
In the spaced openings, the stage unit, the sliding door unit, the forward and backward moving unit, the door holder unit, and the container fixing means are provided independently and in one-to-one correspondence,
Storage container opening and closing device for semiconductor wafers.
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