KR20230131457A - A package and a method of forming the package - Google Patents

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KR20230131457A
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Abstract

본 발명은 패키지 및 패키지 형성 방법을 제공한다. 패키지 형성 방법은 캐리어의 상부에 정면이 아래를 향하는 복수의 제1 칩 및 상기 복수의 제1 칩 사이의 복수의 칩 커플러를 포함하는 제1 칩층을 배치하는 단계; 상기 제1 칩층에 정면이 아래를 향하는 복수의 제2 칩을 포함하는 제2 칩층을 배치하여 조립하는 단계; 상기 캐리어의 상부에서 모든 칩층에 대해 몰딩 처리를 수행하는 단계; 상기 캐리어를 제거하여 패키지 본체를 형성하고, 상기 패키지 본체의 하부에 재배선층과 범프를 추가하는 단계; 및 상기 패키지 본체를 분할하여 복수의 상기 패키지를 형성하는 단계를 포함한다.The present invention provides a package and a method of forming the package. The package forming method includes disposing a first chip layer including a plurality of first chips with the front facing downward on an upper part of a carrier and a plurality of chip couplers between the plurality of first chips; assembling a second chip layer including a plurality of second chips with front faces facing downward on the first chip layer; performing a molding process on all chip layers on top of the carrier; forming a package body by removing the carrier, and adding a redistribution layer and bumps to a lower part of the package body; and dividing the package body to form a plurality of the packages.

Description

패키지 및 패키지 형성 방법{A package and a method of forming the package}Package and a method of forming the package {A package and a method of forming the package}

본 발명은 반도체 기술분야에 관한 것으로서, 특히 패키지 및 패키지 형성 방법에 관한 것이다.The present invention relates to the field of semiconductor technology, and particularly to packages and methods of forming packages.

현재, 반도체 집적회로에 필요한 기능이 갈수록 많아지고, 필요한 계산 속도가 빨라지고 있는 추세하에 업계에서는 칩 적층 기술에서 더욱 효과적인 해결방안을 모색하기 위해, 칩 적층 기술의 연구에 투자를 확대하기 시작하였다. 그러나 종래의 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 기술은 칩 적층을 구현할 수 없다. 종래의 칩 적층 기술에서 적층은 대부분 최종 조립 과정에서 완료되고, 또한 실리콘 관통 비아(TSV, Through Silicon Via), 유리 관통 비아(TGV，Through Glass Via), 몰드 관통 비아(TMV，Through Mold Via) 또는 와이어 본드(Wire-bond) 등 기술을 이용하여 적층된 칩의 수직 연결을 구현해야 한다. 종래의 적층 기술은 패키징 공정이 비교적 복잡하고 원가가 높다.Currently, as the number of functions required for semiconductor integrated circuits increases and the required calculation speed increases, the industry has begun to expand investment in research on chip stacking technology in order to find more effective solutions in chip stacking technology. However, conventional wafer level packaging (WLP) technology cannot implement chip stacking. In conventional chip stacking technology, stacking is mostly completed in the final assembly process, and can also be done through through silicon via (TSV, Through Glass Via), through mold via (TMV), or through mold via (TMV). Vertical connection of stacked chips must be implemented using technologies such as wire-bond. Conventional lamination technology has a relatively complex packaging process and high cost.

본 발명의 실시예는 패키지를 형성하는 방안을 제공하며, 상기 패키지는 적층되는 복수의 칩을 포함한다.Embodiments of the present invention provide a method of forming a package, wherein the package includes a plurality of chips that are stacked.

일 측면으로, 본 발명은 패키지 형성방법을 제공하며, 상기 방법은 캐리어의 상부에 정면이 아래를 향하는 복수의 제1 칩 및 상기 복수의 제1 칩 사이의 복수의 칩 커플러를 포함하는 제1 칩층을 배치하는 단계; 상기 제1 칩층에 정면이 아래를 향하는 복수의 제2 칩을 포함하는 제2 칩층을 배치하여 조립하는 단계; 상기 캐리어의 상부에서 상기 제1 칩층과 상기 제2 칩층에 대해 몰딩 처리를 수행하는 단계; 상기 캐리어를 제거하여 패키지 본체를 형성하고, 상기 패키지 본체의 하부에 재배선층과 범프를 추가하는 단계; 및 상기 패키지 본체를 분할하여 복수의 상기 패키지를 형성하는 단계;를 포함할 수 있다.In one aspect, the present invention provides a method of forming a package, the method comprising forming a first chip layer including a plurality of first chips with their front faces facing down on an upper part of a carrier and a plurality of chip couplers between the plurality of first chips. placing a; assembling a second chip layer including a plurality of second chips with front faces facing downward on the first chip layer; performing a molding process on the first chip layer and the second chip layer on top of the carrier; forming a package body by removing the carrier, and adding a redistribution layer and bumps to a lower part of the package body; and dividing the package body to form a plurality of the packages.

상기 패키지는 제1 칩, 제2 칩 및 분할된 칩 커플러를 포함할 수 있으며, 상기 제2 칩은 상기 제1 칩의 상부에 배치되어 상기 분할된 칩 커플러의 상부에 조립되고, 상기 제2 칩은 상기 분할된 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다.The package may include a first chip, a second chip, and a split chip coupler, wherein the second chip is disposed on top of the first chip and assembled on top of the split chip coupler, and the second chip may be electrically connected to the first chip through the divided chip coupler and the redistribution layer.

상기 패키지는 제1 칩, 제2 칩과 칩 커플러를 포함할 수 있으며, 상기 제2 칩은 상기 제1 칩의 상부에 배치되어 상기 칩 커플러의 상부에 조립되고, 상기 제2 칩은 상기 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다.The package may include a first chip, a second chip, and a chip coupler, wherein the second chip is disposed on top of the first chip and assembled on top of the chip coupler, and the second chip is placed on the chip coupler. and may be electrically connected to the first chip through the redistribution layer.

다른 측면으로, 본 발명은 패키지 형성 방법을 제공하며, 상기 방법은, 캐리어의 상부에 복수의 제1 칩 커플러와 정면이 아래를 향하는 복수의 제1 칩을 포함하는 제1 칩층을 배치하는 단계; 상기 제1 칩층의 상부에 각각 정면이 아래를 향하는 복수의 제2 칩 및 복수의 제2 칩 커플러를 포함하는 적어도 하나의 제2 칩층을 배치하여 조립하는 단계; 상기 적어도 하나의 제2 칩층에 정면이 아래를 향하는 복수의 제3 칩을 포함하는 제3 칩층을 배치하여 조립하는 단계; 상기 캐리어의 상부에서 상기 제1 칩층, 상기 적어도 하나의 제2 칩층과 상기 제3 칩층에 대해 몰딩 처리를 수행하는 단계; 상기 캐리어를 제거하여 패키지 본체를 형성하고, 상기 패키지 본체의 하부에 재배선층과 범프를 추가하는 단계; 및 상기 패키지 본체를 분할하여 복수의 상기 패키지를 형성하는 단계;를 포함할 수 있다. In another aspect, the present invention provides a method of forming a package, the method comprising: disposing a first chip layer including a plurality of first chip couplers and a plurality of first chips with the front facing downward on an upper part of a carrier; disposing and assembling at least one second chip layer including a plurality of second chips and a plurality of second chip couplers, each with its front side facing downward, on top of the first chip layer; assembling a third chip layer including a plurality of third chips with front faces facing downward on the at least one second chip layer; performing a molding process on the first chip layer, the at least one second chip layer, and the third chip layer on the carrier; forming a package body by removing the carrier, and adding a redistribution layer and bumps to a lower part of the package body; and dividing the package body to form a plurality of the packages.

상기 패키지는 제1칩, 적어도 하나의 제2 칩, 제3 칩, 분할된 제1 칩 커플러 및 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러를 포함할 수 있으며, 상기 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러는 상기 분할된 제1 칩 커플러의 상부에 조립되고, 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 제1 칩의 상부에 배치되고, 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩의 상부에 배치되며, 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 상기 분할된 제1 칩 커플러를 통해 상기 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있고, 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 상기 분할된 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있으며, 또한 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 분할된 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 상기 분할된 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다.The package may include a first chip, at least one second chip, a third chip, a split first chip coupler, and at least one split second chip coupler, and the at least one split second chip coupler is assembled on top of the divided first chip coupler, the at least one second chip is disposed on top of the first chip, and the third chip is disposed on top of the at least one second chip, The third chip may be electrically connected to the at least one second chip through the at least one divided second chip coupler and the divided first chip coupler, and the third chip may be electrically connected to the at least one divided second chip coupler. A second chip coupler may be electrically connected to the first chip through the divided first chip coupler and the redistribution layer, and the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the divided first chip coupler and the redistribution layer. may be electrically connected to the first chip through, or the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the at least one divided second chip coupler, the divided first chip coupler, and the redistribution layer. Can be electrically connected.

상기 패키지는 제1 칩, 적어도 하나의 제2 칩, 제3 칩, 제1 칩 커플러와 적어도 하나의 제2 칩 커플러를 포함할 수 있으며, 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러는 상기 제1 칩 커플러의 상부에 조립되고, 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 제1 칩의 상부에 배치되고, 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩의 상부에 배치되며, 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러를 통해 상기 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있고, 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있으며, 또한 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다. The package may include a first chip, at least one second chip, a third chip, a first chip coupler, and at least one second chip coupler, and the at least one second chip coupler is the first chip coupler. assembled on top of, wherein the at least one second chip is disposed on top of the first chip, the third chip is disposed on top of the at least one second chip, and the third chip is disposed on the at least one second chip. A second chip coupler may be electrically connected to the at least one second chip through the first chip coupler, and the third chip may be electrically connected to the at least one second chip coupler, the first chip coupler, and the redistribution layer. may be electrically connected to the first chip through, and the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer, or the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer. Two chips may be electrically connected to the first chip through the at least one second chip coupler, the first chip coupler, and the redistribution layer.

상기 복수의 제1 칩 커플러 중의 일부 제1 칩 커플러는 그 위에 적층되는 적어도 하나의 제2 칩 커플러와 일체형으로 성형될 수 있다.Some first chip couplers among the plurality of first chip couplers may be molded integrally with at least one second chip coupler stacked thereon.

상기 복수의 제1 칩 커플러 중의 일부 제1 칩 커플러는 그 위에 적층되는 적어도 하나의 제2 칩 커플러와 수평 방향에서의 면적이 동일할 수 있다.Some first chip couplers among the plurality of first chip couplers may have the same area in the horizontal direction as at least one second chip coupler stacked thereon.

상기 복수의 제1 칩 커플러 중의 일부 제1 칩 커플러는 그 위에 적층되는 적어도 하나의 제2 칩 커플러와 수평 방향에서의 면적이 상이할 수 있다.Some first chip couplers among the plurality of first chip couplers may have different areas in the horizontal direction from at least one second chip coupler stacked thereon.

다른 일 측면에서, 본 발명은 제1측과 제2측을 포함하는 재배선층; 상기 재배선층의 제1측에 설치되는 복수의 범프; 정면과 배면을 포함하며, 상기 정면이 상기 재배선층의 제2측에 배치되어 조립되는 제1 칩; 상기 재배선층의 제2측에 배치되어 조립되며, 각각 상기 제1 칩의 양측에 수평으로 배치되어 조립되는 제1 칩 커플러 및 제2 칩 커플러; 및 각각 정면과 배면을 포함하며, 상기 제1칩의 배면과 상기 제1 칩 커플러의 상부에 정면이 아래를 향하도록 배치되어 조립되는 제2칩, 상기 제1 칩의 배면과 상기 제2 칩 커플러의 상부에 정면이 아래를 향하도록 배치되어 조립되는 제3 칩을 포함하며, 상기 패키지는 몰딩 처리되어 몰드 구조를 형성하는 패키지를 제공한다. 여기서, 상기 제2 칩은 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결되고, 상기 제3 칩은 상기 제2 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결된다.In another aspect, the present invention includes a redistribution layer including a first side and a second side; a plurality of bumps installed on a first side of the redistribution layer; a first chip including a front side and a back side, the front side being disposed and assembled on a second side of the redistribution layer; a first chip coupler and a second chip coupler that are disposed and assembled on a second side of the redistribution layer, and are horizontally disposed and assembled on both sides of the first chip, respectively; and a second chip, which includes a front and a back, respectively, and is assembled with the front facing downward on the back of the first chip and the top of the first chip coupler, the back of the first chip and the second chip coupler. It includes a third chip that is disposed and assembled with the front side facing down on top of the package, and the package is molded to form a mold structure. Here, the second chip is electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer, and the third chip is electrically connected to the first chip through the second chip coupler and the redistribution layer. It is connected to

또 다른 일 측면으로, 본 발명은 제1측과 제2측을 포함하는 재배선층; 상기 재배선층의 제1측에 설치되는 복수의 범프; 정면과 배면을 포함하며, 상기 정면이 상기 재배선층의 제2측에 배치되어 조립되는 제1 칩; 상기 재배선층의 제2측에 배치되어 조립되며, 상기 제1 칩의 측면에 수평으로 배치되어 조립되는 제1 칩 커플러; 상기 제1 칩 커플러의 상부에 배치되어 조립되는 적어도 하나의 제2 칩 커플러; 정면과 배면을 포함하며, 상기 정면이 아래를 향하도록 상기 제1칩의 배면에 배치되고 상기 제1 칩 커플러의 상부에 조립되는 적어도 하나의 제2 칩; 및 상기 적어도 하나의 제2 칩의 배면의 상부에 배치되어 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러의 상부에 조립되는 제3 칩을 포함하며, 상기 패키지는 몰딩 처리되어 몰드 구조를 형성하는 패키지를 제공한다. 여기서, 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있고, 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러와 상기 제1 칩 커플러를 통해 상기 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러를 통해 상기 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있으며, 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다. In another aspect, the present invention includes a redistribution layer including a first side and a second side; a plurality of bumps installed on a first side of the redistribution layer; a first chip including a front side and a back side, the front side being disposed and assembled on a second side of the redistribution layer; a first chip coupler disposed and assembled on a second side of the redistribution layer and horizontally disposed and assembled on a side of the first chip; at least one second chip coupler disposed and assembled on top of the first chip coupler; At least one second chip including a front and a back, disposed on the back of the first chip with the front facing downward, and assembled on the top of the first chip coupler; and a third chip disposed on an upper surface of the at least one second chip and assembled on an upper surface of the at least one second chip coupler, wherein the package is molded to form a mold structure. . Here, the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer, or the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the at least one second chip coupler, It may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer, and the third chip may be electrically connected to the at least one second chip through the at least one second chip coupler and the first chip coupler. may be electrically connected to, or the third chip may be electrically connected to the at least one second chip through the at least one second chip coupler, and the third chip may be electrically connected to the at least one second chip coupler , may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer.

또 다른 일 측면으로, 본 발명은 제1측과 제2측을 포함하는 재배선층; 상기 재배선층의 제1측에 설치되는 복수의 범프; 정면과 배면을 포함하며, 상기 정면이 상기 재배선층의 제2측에 배치되어 조립되는 제1 칩; 상기 재배선층의 제2측에 배치되어 조립되며, 상기 제1 칩의 일측에 수평으로 배치되어 조립되는 제1 칩 커플러; 상기 재배선층의 제2측에 배치되어 조립되며, 상기 제1 칩의 타측에 수평으로 배치되어 조립되는 크로스층 칩 커플러; 정면과 배면을 포함하며, 상기 정면이 아래를 향하도록 상기 제1칩의 배면의 상부에 배치되고 상기 제1 칩 커플러의 상부에 조립되는 적어도 하나의 제2 칩; 상기 제1 칩 커플러의 상부에 배치되어 조립되는 적어도 하나의 제2 칩 커플러; 및 상기 적어도 하나의 제2 칩의 배면의 상부에 배치되어 상기 크로스층 칩 커플러의 상부에 조립되는 제3 칩을 포함하며, 상기 패키지는 몰딩 처리되어 몰드 구조를 형성하는 패키지를 제공한다. 여기서, 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있으며, 상기 제3 칩은 상기 크로스층 칩 커플러, 상기 재배선층, 상기 제1 칩 커플러와 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러를 통해 상기 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 상기 제3 칩은 상기 크로스층 칩 커플러, 상기 재배선층과 상기 제1 칩 커플러를 통해 상기 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있으며, 여기서, 상기 제3 칩은 상기 크로스층 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다.In another aspect, the present invention includes a redistribution layer including a first side and a second side; a plurality of bumps installed on a first side of the redistribution layer; a first chip including a front side and a back side, the front side being disposed and assembled on a second side of the redistribution layer; a first chip coupler disposed and assembled on a second side of the redistribution layer and horizontally disposed and assembled on one side of the first chip; a cross-layer chip coupler disposed and assembled on a second side of the redistribution layer and horizontally disposed and assembled on the other side of the first chip; At least one second chip including a front and a back, disposed on the back of the first chip with the front facing downward, and assembled on the top of the first chip coupler; at least one second chip coupler disposed and assembled on top of the first chip coupler; and a third chip disposed on the back of the at least one second chip and assembled on the cross-layer chip coupler, wherein the package is molded to form a mold structure. Here, the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer, or the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the at least one second chip coupler, It may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer, and the third chip may be connected to the cross-layer chip coupler, the redistribution layer, the first chip coupler, and the at least one second chip. It may be electrically connected to the at least one second chip through a coupler, or the third chip may be electrically connected to the at least one second chip through the cross layer chip coupler, the redistribution layer, and the first chip coupler. Can be connected, where the third chip can be electrically connected to the first chip through the cross-layer chip coupler and the redistribution layer.

본 발명의 실시예는 칩 커플러와 원스탑형 WLP 공정을 이용하여 칩의 적층을 구현하므로, 기능칩에 TSV 등의 칩을 수직으로 연결하는 기술을 사용할 필요가 없다. 따라서, 3차원 다층 칩 패키지의 복잡성과 제조비용이 절감된다. Since the embodiment of the present invention implements stacking of chips using a chip coupler and a one-stop WLP process, there is no need to use technology to vertically connect chips such as TSV to the functional chip. Therefore, the complexity and manufacturing cost of the 3D multilayer chip package are reduced.

상기 설명은 단지 본 발명의 기술방안을 보다 명확하게 이해하고 명세서의 내용에 따라 실시할 수 있도록 본 발명의 기술방안에 대해 개략적으로 기술한 것에 불과하다. 본 발명의 상기 및 기타 목적, 특징과 장점이 더욱 명확하고 쉽게 이해될 수 있도록, 이하 본 발명의 구체적인 실시방식을 상세히 설명한다.The above description is merely a rough description of the technical solution of the present invention so that the technical solution of the present invention can be more clearly understood and implemented according to the contents of the specification. In order that the above and other objects, features and advantages of the present invention can be more clearly and easily understood, specific implementation methods of the present invention will be described in detail below.

첨부도면을 참조한 본문의 상세한 설명을 통해, 본 발명의 예시적 실시방식의 상기 및 기타 목적, 특징과 장점이 쉽게 이해될 것이다. 도면에서 예시적이되 비제한적인 방식으로 본 발명의 일부 실시방식을 도시하였다.
도면에서, 동일하거나 대응되는 부호는 동일하거나 또는 되응되는 부분을 나타낸다.
도 1 내지 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 패키지를 형성하는 단면 설명도이다.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 패키지를 형성하는 단면 설명도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 패키지를 형성하는 단면 설명도이다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 제4 실시예에 따른 패키지를 형성하는 단면 설명도이다.
도 12 내지 도 13은 본 발명의 제5 실시예에 따른 패키지를 형성하는 단면 설명도이다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따라 패키지를 형성하는 방법의 흐름도이다. Through the detailed description of the text with reference to the accompanying drawings, the above and other objects, features and advantages of exemplary embodiments of the present invention will be easily understood. In the drawings, some embodiments of the present invention are shown in an illustrative but non-limiting manner.
In the drawings, identical or corresponding symbols indicate identical or corresponding parts.
1 to 3 are cross-sectional views illustrating a package according to a first embodiment of the present invention.
4 to 5 are cross-sectional views illustrating a package according to a second embodiment of the present invention.
6 to 8 are cross-sectional views illustrating a package according to a third embodiment of the present invention.
9 to 11 are cross-sectional views illustrating a package according to a fourth embodiment of the present invention.
12 to 13 are cross-sectional views illustrating a package according to a fifth embodiment of the present invention.
14 is a flowchart of a method of forming a package according to an embodiment of the present invention.

이하 공개 내용은 본 발명의 각기 다른 특징을 구현하기 위한 많은 상이한 실시예 또는 구현예를 제공한다. 아래에서 본 발명을 단순화하기 위해 어셈블리와 배치의 구체적인 구현예를 기술하였다. 물론 이들은 단지 구현예일 뿐 본 발명을 제한하고자 하는 것이 아니다. 예를 들어, 아래의 설명에서, 제2 부재의 상부 또는 위에 제1 부재를 형성하는 경우, 제1 부재와 제2 부재를 직접 접촉시켜 형성되는 실시예를 포함할 수도 있고, 제1 부재와 제2 부재 사이에 별도의 부재를 형성함으로써, 제1 부재와 제2 부재를 직접 접촉시키지 않는 실시예를 포함할 수도 있다. 또한, 본 발명은 각 실시예에서 참고 부호 및/또는 문자 부호를 중복할 수 있으며, 상기 중복은 간단 명료의 목적을 위한 것일 뿐, 그 자체가 토론하는 각 실시예 및/또는 구성 간의 관계를 나타내는 것이 아니다. The following disclosure provides many different embodiments or implementations for implementing different features of the invention. Below, specific embodiments of assembly and arrangement are described to simplify the present invention. Of course, these are merely implementation examples and are not intended to limit the present invention. For example, in the description below, when forming the first member on or above the second member, an embodiment in which the first member and the second member are formed by direct contact may be included, and the first member and the second member may be formed in direct contact with each other. An embodiment in which the first member and the second member are not directly contacted may be included by forming a separate member between the two members. In addition, the present invention may overlap reference numerals and/or letter symbols in each embodiment, and the duplication is only for the purpose of simplicity and clarity, which itself indicates the relationship between each embodiment and/or configuration discussed. It's not.

또한, 설명의 편의를 위하여, 여기에서는 "…의 아래에", "…의 하부에", "하부", "…의 위에", "상부", "…의 상부에" 등 공간적 상대성 용어를 사용하여 도시된 바와 같은 하나의 소자 또는 부재와 다른(또는 다른 일부) 소자 또는 부재의 관계를 기술할 수 있다. 도시된 방위 이외에, 공간적 상대성 용어의 목적은 사용 중이거나 조작 중인 디바이스의 다른 방위를 포함시키고자 하는데 있다. 디바이스는 기타 방식으로 방향이 정해질 수 있으며(90도 회전 또는 기타 방위에), 본문에서 사용된 공간적 상대성 기술어 역시 마찬가지로 상응한 해석을 할 수 있다. 또한, 본문에서, "조립"이라는 용어는 각 전자 디바이스 사이에서 전기적인 연결을 구현하는 것을 의미한다. 용어 "칩"은 각종 유형의 칩, 예를 들어 논리 칩, 저장 칩 등을 의미할 수 있다.In addition, for convenience of explanation, spatial relativity terms such as “below…”, “at the bottom of…”, “lower part”, “above…”, “above”, “on top of…” are used here. Thus, the relationship between one element or member as shown and another (or some other) element or member can be described. In addition to the orientation shown, the purpose of the spatial relativity term is to include other orientations of the device in use or operation. The device may be oriented in other ways (rotated by 90 degrees or in some other orientation), and the spatial relativity descriptors used herein may also have corresponding interpretations. Additionally, in the text, the term “assembly” refers to implementing electrical connections between each electronic device. The term “chip” may refer to various types of chips, such as logic chips, storage chips, etc.

도 14는 본 발명의 실시예에 따른 패키지 형성 방법의 흐름도이다. 상기 방법은 이하 4개의 단계를 포함한다:Figure 14 is a flowchart of a package forming method according to an embodiment of the present invention. The method includes the following four steps:

단계 100: 캐리어에 칩층을 배치하여 조립하는 단계.Step 100: Assembling the chip layer by placing it on the carrier.

단계 200: 칩층에 대해 몰딩 처리를 수행하는 단계.Step 200: Performing molding processing on the chip layer.

단계 300: 캐리어를 제거하여 패키지 본체를 형성하고, 재배선층과 범프를 추가하는 단계.Step 300: Removing the carrier to form a package body, and adding a redistribution layer and bumps.

단계 400: 패키지 본체를 분할하여 패키지를 형성하는 단계.Step 400: Splitting the package body to form a package.

일부 실시예에서, 캐리어는 표면 평탄도가 매우 높은 부재로서, 적어도 하나의 칩층을 캐리어상에 적층할 수 있다. 칩층에 대해 몰딩 처리를 수행한 후, 캐리어에 몰드 구조를 형성할 수 있으며, 일부 실시예에서, 몰딩 처리를 위한 재료는 실리카계 또는 유리 충전재를 첨가하거나 또는 첨가하지 않은 에폭시 수지, 유기중합체 또는 기타 화합물을 원료로 하는 고체 또는 액체 몰딩 재료를 포함할 수 있다. In some embodiments, the carrier is a member with a very high surface flatness, and at least one chip layer can be stacked on the carrier. After performing a molding process on the chip layer, a mold structure can be formed on the carrier, and in some embodiments, the material for the molding process is epoxy resin, organic polymer, or other with or without the addition of silica-based or glass filler. It may include solid or liquid molding materials made from compounds.

일부 실시예에서, 캐리어를 제거하는 단계, 재배선층과 범프를 추가하는 단계와 패키지 본체를 분할하는 단계는 웨이퍼 레벨 패키징(WLP)에 이미 알려진 단계이다.In some embodiments, removing the carrier, adding redistribution layers and bumps, and dividing the package body are steps already known in wafer level packaging (WLP).

이하 상기 방법을 바탕으로 각 첨부도면을 참조하여 본 발명의 각 실시예에 대해 설명한다.Hereinafter, based on the above method, each embodiment of the present invention will be described with reference to each accompanying drawing.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 패키지를 형성하는 단면 설명도이다.1 to 3 are cross-sectional views illustrating a package according to a first embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 캐리어(10)에 2개의 칩층을 배치한다. 제1 칩층은 복수의 제1 칩(11)과 복수의 칩 커플러(13)를 포함하고, 제2 칩층은 복수의 제2 칩(12)을 포함한다. As shown in FIG. 1, two chip layers are placed on the carrier 10. The first chip layer includes a plurality of first chips 11 and a plurality of chip couplers 13, and the second chip layer includes a plurality of second chips 12.

먼저 제1 칩(11)과 칩 커플러(13)를 수평방향에서 간격을 두고 캐리어(10)에 배치한 다음, 제2 칩(12)을 제1 칩(11)과 칩 커플러(13)상에 배치하여 조립할 수 있다. 칩은 정면과 배면을 포함한다. 당업계에서는 예컨대 범프를 구비한 표면을 정면으로 간주한다. 일부 실시예에서, 제1 칩(11)과 제2 칩(12)은 정면이 아래를 향하도록 배치된다.First, the first chip 11 and the chip coupler 13 are placed on the carrier 10 at a distance in the horizontal direction, and then the second chip 12 is placed on the first chip 11 and the chip coupler 13. It can be placed and assembled. The chip includes a front and back side. In the art, a surface with, for example, bumps is considered a front surface. In some embodiments, the first chip 11 and the second chip 12 are arranged with their front faces facing down.

본문에서, 칩 커플러는 상이한 전자 디바이스를 전기적으로 연결하기 위한 것일 수 있으며, 상기 전자 디바이스는 예를 들어 칩, 재배선층과 기타 칩 커플러 등 각종 디바이스를 포함한다. 칩 커플러에 연결되는 전자 디바이스는 일반적으로 칩 커플러와 동일한 칩층에 위치하지 않는다. 일부 실시예에서, 칩 커플러는 유리 또는 실리콘 등의 재료로 제작될 수 있으며, 일부 실시예에서, 칩 커플러는 능동 커플링 디바이스 또는 수동 커플링 디바이스일 수 있다. 예를 들어 칩 커플러는 수직방향에서 약간의 비아홀(18)을 구비할 수 있으며, 비아홀(18)에 전도성 매질을 충전할 수 있다. 일부 실시예에서, 칩 커플러의 상부 표면과 하부 표면에 모두 전도성 트레이스를 설치할 수 있으며, 이에 따라 하나의 표면에서 상이한 비아홀이 전기적으로 연결된다. In the text, a chip coupler may be used to electrically connect different electronic devices, and the electronic devices include various devices such as chips, redistribution layers, and other chip couplers. Electronic devices connected to a chip coupler are generally not located on the same chip layer as the chip coupler. In some embodiments, the chip coupler may be made of materials such as glass or silicon, and in some embodiments, the chip coupler may be an active coupling device or a passive coupling device. For example, the chip coupler may have a few via holes 18 in the vertical direction, and the via holes 18 may be filled with a conductive medium. In some embodiments, conductive traces may be installed on both the top and bottom surfaces of the chip coupler, thereby electrically connecting different via holes on one surface.

상이한 칩층 사이에 접착점(adhesive dot)을 더 설치할 수 있으며, 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같은 접착점(14)이다. 접착점은 상이한 칩층을 격리 및 고정시키기 위한 것이다. 일부 실시예에서, 접착점은 비전도성 매질로 제작되며, 일부 실시예에서는 접착점에 대한 설명을 생략할 것이다. Adhesive dots may further be installed between different chip layers, for example adhesive dots 14 as shown in FIG. 1 . The adhesive points are to isolate and secure the different chip layers. In some embodiments, the adhesive point is made of a non-conductive medium, and in some embodiments, description of the adhesive point will be omitted.

도 2는 단계 200과 300을 실시한 후의 패키지 본체의 구조를 도시한 것이다. Figure 2 shows the structure of the package body after steps 200 and 300 are performed.

도 2에 도시된 바와 같이, 2개의 칩층은 몰딩 처리되어 몰드 구조(15)를 형성한다. 캐리어(10)를 제거한 후, 패키지 본체의 하부에 재배선층(16)을 추가하고, 또한 재배선층(16) 아래에 범프(17)를 추가할 수 있다.As shown in FIG. 2, the two chip layers are molded to form a mold structure 15. After removing the carrier 10, a redistribution layer 16 may be added to the lower part of the package body, and a bump 17 may be added under the redistribution layer 16.

도 3은 단계 400을 실시한 후의 패키지 구조를 도시한 것이다.Figure 3 shows the package structure after step 400 is performed.

상기 패키지는 2개의 분할된 칩 커플러, 2개의 제2 칩 및 하나의 제1 칩을 포함한다. 2개의 제2 칩은 각각 2개의 분할된 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다.The package includes two split chip couplers, two second chips and one first chip. The two second chips may be electrically connected to the first chip through two divided chip couplers and a redistribution layer, respectively.

도 4 내지 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 패키지를 형성하는 단면 설명도이다. 제2 실시예는 제1 실시예의 변형체이다. 4 to 5 are cross-sectional views illustrating a package according to a second embodiment of the present invention. The second embodiment is a variant of the first embodiment.

도 4는 단계 200과 300을 실시한 후의 패키지 본체의 구조를 도시한 것이다. 패키지 본체는 복수의 제1 칩(21), 복수의 제2 칩(22)과 복수의 칩 커플러(23)를 포함한다.Figure 4 shows the structure of the package body after steps 200 and 300 are performed. The package body includes a plurality of first chips 21, a plurality of second chips 22, and a plurality of chip couplers 23.

도 5는 단계 400을 실시한 후의 패키지 구조를 도시한 것이다.Figure 5 shows the package structure after step 400 is performed.

상기 패키지는 하나의 칩 커플러, 하나의 제2 칩과 하나의 제1 칩을 포함한다. 제2 칩은 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다.The package includes one chip coupler, one second chip and one first chip. The second chip may be electrically connected to the first chip through a chip coupler and a redistribution layer.

도 6 내지 도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 패키지를 형성하는 단면 설명도이다. 6 to 8 are cross-sectional views illustrating a package according to a third embodiment of the present invention.

도 6에 도시된 바와 같이, 캐리어(30)상에 3개의 칩층을 배치한다. 제1 칩층은 복수의 제1 칩(31)과 복수의 제1 칩 커플러(33)를 포함한다. 제2 칩층은 복수의 제2 칩(32)과 복수의 제2 칩 커플러(34)를 포함한다. 제3 칩층은 복수의 제3 칩(35)을 포함한다.As shown in FIG. 6, three chip layers are placed on the carrier 30. The first chip layer includes a plurality of first chips 31 and a plurality of first chip couplers 33. The second chip layer includes a plurality of second chips 32 and a plurality of second chip couplers 34. The third chip layer includes a plurality of third chips 35.

먼저 복수의 제1 칩(31)과 복수의 제1 칩 커플러(33)를 캐리어(10)상에 배치한 다음, 복수의 제2 칩(32)과 복수의 제2 칩 커플러(34)를 제1 칩(11)과 칩 커플러(13)상에 배치하여 조립하며, 마지막으로 복수의 제3 칩(35)을 복수의 제2 칩(32)과 복수의 제2 칩 커플러(34)상에 배치하여 조립할 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 칩(31), 제2 칩(32)과 제3 칩(35)은 정면이 아래를 향하도록 배치된다.First, a plurality of first chips 31 and a plurality of first chip couplers 33 are placed on the carrier 10, and then a plurality of second chips 32 and a plurality of second chip couplers 34 are placed on the carrier 10. 1. Assemble by placing on the chip 11 and the chip coupler 13, and finally, place the plurality of third chips 35 on the plurality of second chips 32 and the plurality of second chip couplers 34. It can be assembled. In some embodiments, the first chip 31, the second chip 32, and the third chip 35 are arranged with their front faces facing down.

일부 실시예에서, 도 6 내지 도 8에 도시된 패키지 구조는 복수의 제2 칩층을 포함할 수 있다. 복수의 제2 칩층 중의 각 층은 복수의 제2 칩과 복수의 제2 칩 커플러를 포함한다. 다층의 제2 칩 커플러는 제1 칩 커플러(33)상에 적층될 수 있다. 일부 실시예에서, 다층의 제2 칩 커플러와 제1 칩 커플러(33)에 의해 형성되는 스택에서, 각 층의 칩 커플러는 수평방향에서의 면적이 완전히 같지 않을 수 있다. 예를 들어 다층의 제2 칩 커플러와 제1 칩 커플러(33)에 의해 형성되는 스택에서, 어느 한 층 중의 칩 커플러의 수평방향에서의 면적은 상기 칩 커플러 하부에 위치한 칩 커플러의 수평방향에서의 면적보다 작거나 또는 클 수 있다. In some embodiments, the package structure shown in FIGS. 6-8 may include a plurality of second chip layers. Each layer of the plurality of second chip layers includes a plurality of second chips and a plurality of second chip couplers. A multi-layer second chip coupler may be stacked on the first chip coupler 33. In some embodiments, in a stack formed by the multi-layered second chip coupler and the first chip coupler 33, the chip coupler of each layer may not have completely the same area in the horizontal direction. For example, in a stack formed by a multi-layered second chip coupler and a first chip coupler 33, the horizontal area of the chip coupler in one layer is the horizontal area of the chip coupler located below the chip coupler. It may be smaller or larger than the area.

도 7은 단계 200과 300을 실시한 후의 패키지 본체의 구조를 도시한 것이다.Figure 7 shows the structure of the package body after steps 200 and 300 are performed.

도 7에 도시된 바와 같이, 3개의 칩층은 몰딩 처리되어 몰드 구조를 형성한다. 캐리어(30)를 제거한 후, 패키지 본체의 하부에 재배선층(36)을 추가하고, 재배선층(36) 아래에 범프(37)를 추가할 수 있다.As shown in Figure 7, three chip layers are molded to form a mold structure. After removing the carrier 30, a redistribution layer 36 can be added to the lower part of the package body, and a bump 37 can be added under the redistribution layer 36.

도 8은 단계 400을 실시한 후의 패키지의 구조를 도시한 것이다.Figure 8 shows the structure of the package after step 400 is performed.

상기 패키지는 하나의 분할된 제1 칩 커플러, 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 하나의 제3 칩, 하나의 제2 칩 및 하나의 제1 칩을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 상기 패키지는 하나의 분할된 제1 칩 커플러, 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 하나의 제3 칩, 적어도 하나의 제2 칩 및 하나의 제1 칩을 포함할 수 있다.The package may include one divided first chip coupler, one divided second chip coupler, one third chip, one second chip, and one first chip. In some embodiments, the package may include one split first chip coupler, at least one split second chip coupler, one third chip, at least one second chip, and one first chip. .

분할된 제1 칩 커플러의 표면에 전도성 트레이스를 설치할 수 있기 때문에, 제3 칩은 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러와 분할된 제1 칩 커플러를 통해 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있다. 제3 칩은 또한 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 분할된 제1 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다. 적어도 하나의 제2 칩은 분할된 제1 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 적어도 하나의 제2 칩은 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 분할된 제1 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다.Since the conductive trace can be installed on the surface of the split first chip coupler, the third chip can be electrically connected to the at least one split second chip coupler and to the at least one second chip via the split first chip coupler. there is. The third chip may also be electrically connected to the first chip through at least one split second chip coupler, a split first chip coupler, and a redistribution layer. The at least one second chip may be electrically connected to the first chip through a split first chip coupler and a redistribution layer, or the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through a split first chip coupler and a redistribution layer. It may be electrically connected to the first chip through a chip coupler and a redistribution layer.

도 9 내지 도 11은 본 발명의 제4 실시예에 따른 패키지를 형성하는 단면 설명도이다.9 to 11 are cross-sectional views illustrating a package according to a fourth embodiment of the present invention.

도 9에 도시된 바와 같이, 캐리어(40)에 3개의 칩층을 배치한다. 제1 칩층은 복수의 제1 칩(41), 복수의 제1 칩 커플러(44), 복수의 크로스층 칩 커플러(45)를 포함하며, 여기서 크로스층 칩 커플러(45)의 두께는 적어도 하나의 칩층을 초과한다. 제2 칩층은 복수의 제2 칩(42)을 포함하고, 제3 칩층은 복수의 제3 칩(43)을 포함한다. 일부 실시예에서, 크로스층 칩 커플러는 함께 적층되는 복수의 칩 커플러일 수도 있고, 일체형으로 성형된 칩 커플러일 수도 있다. 일부 실시예에서, 복수의 칩 커플러가 함께 적층된 경우, 그 중의 각 칩 커플러는 수평방향에서의 면적이 같을 수도 있고 다를 수도 있다. 일부 실시예에서, 크로스층 칩 커플러가 일체형으로 성형된 경우, 크로스층 칩 커플러는 사다리꼴 형상, 피라미드 형상 또는 기타 형상을 구비할 수 있다.As shown in FIG. 9, three chip layers are placed on the carrier 40. The first chip layer includes a plurality of first chips 41, a plurality of first chip couplers 44, and a plurality of cross-layer chip couplers 45, where the thickness of the cross-layer chip coupler 45 is at least one exceeds the chip layer. The second chip layer includes a plurality of second chips 42, and the third chip layer includes a plurality of third chips 43. In some embodiments, the cross-layer chip coupler may be multiple chip couplers stacked together, or may be a chip coupler molded in one piece. In some embodiments, when a plurality of chip couplers are stacked together, each chip coupler among them may have the same or different area in the horizontal direction. In some embodiments, when the cross-layer chip coupler is molded in one piece, the cross-layer chip coupler may have a trapezoidal shape, pyramidal shape, or other shape.

먼저 복수의 제1 칩(41), 복수의 크로스층 칩 커플러(45)와 복수의 제1 칩 커플러(44)를 캐리어(40)상에 배치한 다음, 복수의 제2 칩(42)을 복수의 제1 칩(41)과 복수의 제1 칩 커플러(44)상에 배치하여 조립하고, 마지막으로 복수의 제3 칩(43)을 복수의 제2 칩(42)과 복수의 크로스층 칩 커플러(45)상에 배치하여 조립할 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 칩(41), 제2 칩(42)과 제3 칩(43)은 정면이 아래를 향하도록 배치된다.First, a plurality of first chips 41, a plurality of cross-layer chip couplers 45 and a plurality of first chip couplers 44 are placed on the carrier 40, and then a plurality of second chips 42 are placed on the carrier 40. are assembled by placing them on the first chip 41 and the plurality of first chip couplers 44, and finally, the plurality of third chips 43 are connected to the plurality of second chips 42 and the plurality of cross-layer chip couplers. It can be assembled by placing it on (45). In some embodiments, the first chip 41, the second chip 42, and the third chip 43 are arranged with their front faces facing down.

일부 실시예에서, 도 9 내지 도 11에 도시된 패키지 구조는 복수의 제2 칩층을 포함할 수 있다. 복수의 제2 칩층 중의 각 층은 복수의 제2 칩과 복수의 제2 칩 커플러를 포함하고, 다층의 제2 칩 커플러는 제1 칩 커플러(44)상에 적층될 수 있다. 일부 실시예에서, 다층의 제2 칩 커플러와 제1 칩 커플러(44)에 의해 형성되는 스택 중, 각 층의 칩 커플러는 수평방향에서의 면적이 완전히 같지 않을 수 있다. 예를 들어, 다층의 제2 칩 커플러와 제1 칩 커플러(44)에 의해 형성되는 스택 중, 어느 한 층 중의 칩 커플러의 수평방향에서의 면적은 상기 칩 커플러 하부에 위치한 칩 커플러의 수평방향에서의 면적보다 작거나 또는 클 수 있다. In some embodiments, the package structure shown in FIGS. 9-11 may include a plurality of second chip layers. Each layer of the plurality of second chip layers includes a plurality of second chips and a plurality of second chip couplers, and the multiple layers of second chip couplers may be stacked on the first chip coupler 44. In some embodiments, among the stack formed by the multi-layer second chip coupler and the first chip coupler 44, the chip coupler of each layer may not have completely the same area in the horizontal direction. For example, among the stacks formed by the multi-layer second chip coupler and the first chip coupler 44, the horizontal area of the chip coupler in any one layer is the horizontal area of the chip coupler located below the chip coupler. It may be smaller or larger than the area of .

도 10은 단계 200과 300을 실시한 후의 패키지 본체의 구조를 도시한 것이다.Figure 10 shows the structure of the package body after steps 200 and 300 are performed.

도 10에 도시된 바와 같이, 3개의 칩층은 몰딩 처리되어 몰드 구조를 형성한다. 캐리어(40)를 제거한 후, 패키지 본체의 하부에 재배선층(46)을 추가하고, 재배선층(46) 아래에 범프(47)를 추가할 수 있다.As shown in Figure 10, three chip layers are molded to form a mold structure. After removing the carrier 40, a redistribution layer 46 may be added to the lower part of the package body, and a bump 47 may be added under the redistribution layer 46.

도 11은 단계 400을 실시한 후의 패키지의 구조를 나타낸 것이다.Figure 11 shows the structure of the package after step 400 is performed.

상기 패키지는 하나의 분할된 제1 칩 커플러, 하나의 분할된 크로스층 칩 커플러, 하나의 제3 칩, 하나의 제2 칩 및 하나의 제1 칩을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 상기 패키지는 하나의 분할된 제1 칩 커플러, 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 하나의 분할된 크로스층 칩 커플러, 하나의 제3 칩, 적어도 하나의 제2 칩 및 하나의 제1 칩을 포함할 수 있다.The package may include one divided first chip coupler, one divided cross-layer chip coupler, one third chip, one second chip, and one first chip. In some embodiments, the package includes one segmented first chip coupler, at least one segmented second chip coupler, one segmented cross-layer chip coupler, one third chip, at least one second chip and one segmented cross-layer chip coupler. It may include a first chip.

적어도 하나의 제2 칩은 분할된 제1 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 적어도 하나의 제2 칩은 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 분할된 제1 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다. 제3 칩은 분할된 크로스층 칩 커플러, 재배선층, 분할된 제1 칩 커플러와 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러를 통해 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 제3 칩은 분할된 크로스층 칩 커플러, 재배선층과 분할된 제1 칩 커플러를 통해 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있다. 제3 칩은 분할된 크로스층 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩과 전기적으로 연결될 수 있다.The at least one second chip may be electrically connected to the first chip through a split first chip coupler and a redistribution layer, or the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through a split first chip coupler and a redistribution layer. It may be electrically connected to the first chip through a chip coupler and a redistribution layer. The third chip may be electrically connected to at least one second chip via a split cross-layer chip coupler, a redistribution layer, a split first chip coupler and at least one split second chip coupler, or the third chip may be electrically connected to the second chip. It may be electrically connected to at least one second chip through a divided cross-layer chip coupler, a redistribution layer, and a divided first chip coupler. The third chip may be electrically connected to the first chip through a divided cross-layer chip coupler and a redistribution layer.

도 12 내지 도 13은 본 발명의 제5 실시예의 패키지를 형성하는 단면 설명도이며, 도 5 실시예는 제4 실시예의 변형체이다.12 to 13 are cross-sectional explanatory views forming a package of the fifth embodiment of the present invention, and the Fig. 5 embodiment is a modification of the fourth embodiment.

도 12는 단계 200과 300을 실시한 후의 패키지 본체의 구조를 도시한 것이다.Figure 12 shows the structure of the package body after steps 200 and 300 are performed.

도 12에 도시된 바와 같이, 패키지 본체의 칩층은 몰딩 처리되어 몰드 구조를 형성한다. 패키지 본체는 3개의 칩층, 복수의 범프(56)와 재배선층(57)을 포함한다. 제1 칩층은 복수의 제1 칩(51), 복수의 제1 칩 커플러(55), 복수의 크로스층 칩 커플러(54)를 포함하며, 여기서 크로스층 칩 커플러(54)의 두께는 적어도 하나의 칩층을 초과한다. 제2 칩층은 복수의 제2 칩(52)을 포함한다. 제3 칩층은 복수의 제3 칩(53)을 포함한다. 일부 실시예에서, 복수의 칩 커플러가 함께 적층된 경우, 그 중의 각 칩 커플러는 수평방향에서의 면적이 같을 수도 있고 다를 수도 있다. 일부 실시예에서, 크로스층 칩 커플러가 일체형으로 성형된 경우, 크로스층 칩 커플러는 사다리꼴 형상, 피라미드 형상 또는 기타 형상을 구비할 수 있다.As shown in Figure 12, the chip layer of the package body is molded to form a mold structure. The package body includes three chip layers, a plurality of bumps 56, and a redistribution layer 57. The first chip layer includes a plurality of first chips 51, a plurality of first chip couplers 55, and a plurality of cross-layer chip couplers 54, where the thickness of the cross-layer chip coupler 54 is at least one exceeds the chip layer. The second chip layer includes a plurality of second chips 52. The third chip layer includes a plurality of third chips 53. In some embodiments, when a plurality of chip couplers are stacked together, each chip coupler among them may have the same or different area in the horizontal direction. In some embodiments, when the cross-layer chip coupler is molded in one piece, the cross-layer chip coupler may have a trapezoidal shape, pyramidal shape, or other shape.

먼저 복수의 제1 칩(51), 복수의 크로스층 칩 커플러(54)와 복수의 제1 칩 커플러(55)를 캐리어상에 배치한 다음, 복수의 제2 칩(52)을 복수의 제1 칩(51)과 복수의 제1 칩 커플러(55)상에 배치하여 조립하고, 마지막으로 복수의 제3 칩(53)을 복수의 제2 칩(52)과 복수의 크로스층 칩 커플러(54)상에 배치하여 조립할 수 있다. 일부 실시예에서, 제1 칩(51), 제2 칩(52)과 제3 칩(53)은 정면이 아래를 향해 배치된다.First, a plurality of first chips 51, a plurality of cross-layer chip couplers 54 and a plurality of first chip couplers 55 are placed on the carrier, and then the plurality of second chips 52 are placed on the plurality of first chips 52. The chip 51 is placed and assembled on the plurality of first chip couplers 55, and finally, the plurality of third chips 53 are connected to the plurality of second chips 52 and the plurality of cross-layer chip couplers 54. It can be assembled by placing it on the table. In some embodiments, the first chip 51, the second chip 52, and the third chip 53 are disposed with their front faces facing downward.

일부 실시예에서, 도 12 내지 도 13에 도시된 바와 같은 패키지 구조는 복수의 제2 칩층을 포함할 수 있다. 복수의 제2 칩층 중의 각 층은 복수의 제2 칩과 복수의 제2 칩 커플러를 포함하고, 다층의 제2 칩 커플러는 제1 칩 커플러(55)상에 적층될 수 있다. 일부 실시예에서, 다층의 제2 칩 커플러와 제1 칩 커플러(55)에 의해 형성되는 스택 중, 각 층의 칩 커플러는 수평방향에서의 면적이 완전히 같지 않을 수 있다. 예를 들어, 다층의 제2 칩 커플러와 제1 칩 커플러(55)에 의해 형성되는 스택 중, 어느 한 층 중의 칩 커플러의 수평방향에서의 면적은 상기 칩 커플러 하부에 위치한 칩 커플러의 수평방향에서의 면적보다 작거나 또는 클 수 있다. In some embodiments, the package structure as shown in FIGS. 12-13 may include a plurality of second chip layers. Each layer of the plurality of second chip layers includes a plurality of second chips and a plurality of second chip couplers, and the multiple layers of second chip couplers may be stacked on the first chip coupler 55. In some embodiments, among the stack formed by the multi-layer second chip coupler and the first chip coupler 55, the chip coupler of each layer may not have completely the same area in the horizontal direction. For example, among the stacks formed by the multi-layer second chip coupler and the first chip coupler 55, the horizontal area of the chip coupler in any one layer is the horizontal area of the chip coupler located below the chip coupler. It may be smaller or larger than the area of .

도 13은 단계 400을 실시한 후의 패키지의 구조를 도시한 것이다. Figure 13 shows the structure of the package after step 400 is performed.

상기 패키지는 하나의 제1 칩 커플러, 하나의 크로스층 칩 커플러, 하나의 제3 칩, 하나의 제2 칩 및 하나의 제1 칩을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 상기 패키지는 하나의 제1 칩 커플러, 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 하나의 크로스층 칩 커플러, 하나의 제3 칩, 적어도 하나의 제2 칩 및 하나의 제1 칩을 포함할 수 있다.The package may include one first chip coupler, one cross-layer chip coupler, one third chip, one second chip, and one first chip. In some embodiments, the package includes one first chip coupler, at least one second chip coupler, one cross-layer chip coupler, one third chip, at least one second chip, and one first chip. can do.

적어도 하나의 제2 칩은 제1 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 적어도 하나의 제2 칩은 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 제1 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있다. 제3 칩은 크로스층 칩 커플러, 재배선층, 제1 칩 커플러와 적어도 하나의 제2 칩 커플러를 통해 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 제3 칩은 크로스층 칩 커플러, 재배선층과 제1 칩 커플러를 통해 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있다. 제3 칩은 크로스층 칩 커플러와 재배선층을 통해 제1 칩과 전기적으로 연결될 수 있다.The at least one second chip may be electrically connected to the first chip through a first chip coupler and a redistribution layer, or the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through a first chip coupler, a first chip coupler, and a redistribution layer. It can be electrically connected to the first chip through. The third chip may be electrically connected to at least one second chip through a cross-layer chip coupler, a redistribution layer, a first chip coupler and at least one second chip coupler, or the third chip may be electrically connected to the cross-layer chip coupler, a redistribution layer, a first chip coupler and at least one second chip coupler. It may be electrically connected to at least one second chip through the wiring layer and the first chip coupler. The third chip may be electrically connected to the first chip through a cross-layer chip coupler and a redistribution layer.

본 발명의 각 실시예에서, 각각의 칩은 칩 커플러 및/또는 재배선층을 이용하여 상호 연결할 수 있을 뿐만 아니라, 칩 커플러, 및/또는 재배선층 및 범프를 이용하여 패키지 외부의 각종 회로구조에 연결할 수도 있다.In each embodiment of the present invention, each chip can be connected to each other using a chip coupler and/or a redistribution layer, as well as connected to various circuit structures outside the package using a chip coupler, a redistribution layer, and bumps. It may be possible.

당업자가 공지하는 바와 같이, 범프는 전도성 재료 또는 솔더로 제조될 수 있으며, 전도성 재료는 Cu, Ni, Au, Ag 등 또는 기타 합금재료를 포함하고, 기타 재료를 포함할 수도 있다. 일부 실시예에서, 범프는 패드 형식을 구비할 수도 있고, 기타 가능한 형식을 구비할 수도 있다.As known to those skilled in the art, the bumps may be made of conductive materials or solder, and the conductive materials include Cu, Ni, Au, Ag, etc., or other alloy materials, and may also include other materials. In some embodiments, the bump may have a pad format, or other possible formats.

이상으로 당업자가 본 발명의 각 측면을 더욱 잘 이해할 수 있도록, 일부 실시예의 특징을 개략적으로 설명하였다. 당업자라면, 이들 실시예가 용이하게 사용될 수 있으며, 본 발명을 기초로 하여 본문에 소개된 실시예와 동일한 목적을 실시 및/또는 동일한 장점을 구현하기 위한 기타 공정과 구조로 설계하거나 또는 수정할 수 있음을 이해하여야 한다. 당업자는 또한 이러한 동등한 구조가 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않으며, 또한 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않는 한, 본문에서 다양한 변화, 교체 및 변경이 가능하다는 것을 인식하여야 한다.Above, the features of some embodiments have been briefly described so that those skilled in the art can better understand each aspect of the present invention. Those skilled in the art will recognize that these embodiments can be easily used, and that they can design or modify other processes and structures to implement the same purpose and/or achieve the same advantages as the embodiments introduced in the text based on the present invention. You must understand. Those skilled in the art should also recognize that such equivalent structures do not depart from the spirit and scope of the present invention, and that various changes, substitutions, and changes may be made in the text without departing from the spirit and scope of the present invention.

Claims (12)

패키지 형성 방법에 있어서, 상기 방법은,
캐리어의 상부에 복수의 제1 칩 커플러와 정면이 아래를 향하는 복수의 제1 칩을 포함하는 제1 칩층을 배치하는 단계;
상기 제1 칩층의 상부에 각각 정면이 아래를 향하는 복수의 제2 칩 및 복수의 제2 칩 커플러를 포함하는 적어도 하나의 제2 칩층을 배치하여 조립하는 단계;
상기 적어도 하나의 제2 칩층에 정면이 아래를 향하는 복수의 제3 칩을 포함하는 제3 칩층을 배치하여 조립하는 단계;
상기 캐리어의 상부에서 상기 제1 칩층, 상기 적어도 하나의 제2 칩층과 상기 제3 칩층에 대해 몰딩 처리를 수행하는 단계;
상기 캐리어를 제거하여 패키지 본체를 형성하고, 상기 패키지 본체의 하부에 재배선층과 범프를 추가하는 단계; 및
상기 패키지 본체를 분할하여 복수의 상기 패키지를 형성하는 단계;를 포함하는, 패키지 형성 방법.In the package forming method, the method includes:
Disposing a first chip layer including a plurality of first chip couplers and a plurality of first chips with the front facing downward on an upper part of the carrier;
disposing and assembling at least one second chip layer including a plurality of second chips and a plurality of second chip couplers, each with its front side facing downward, on top of the first chip layer;
assembling a third chip layer including a plurality of third chips with front faces facing downward on the at least one second chip layer;
performing a molding process on the first chip layer, the at least one second chip layer, and the third chip layer on the carrier;
forming a package body by removing the carrier, and adding a redistribution layer and bumps to a lower part of the package body; and
A method of forming a package comprising: dividing the package body to form a plurality of the packages. 제1항에 있어서,
상기 복수의 제1 칩 커플러는 능동 커플링 디바이스 또는 수동 커플링 디바이스이고, 또한 상기 복수의 제2 칩 커플러는 능동 커플링 디바이스 또는 수동 커플링 디바이스인, 방법.According to paragraph 1,
The method of claim 1, wherein the first plurality of chip couplers are active coupling devices or passive coupling devices, and the second plurality of chip couplers are active coupling devices or passive coupling devices. 제1항에 있어서,
상기 복수의 제1 칩 커플러와 상기 복수의 제2 칩 커플러는 수직 방향에서 적어도 하나의 비아홀을 포함하도록 설치되는, 방법.According to paragraph 1,
The method wherein the plurality of first chip couplers and the plurality of second chip couplers are installed to include at least one via hole in a vertical direction. 제1항에 있어서,
상기 패키지는 제1칩, 적어도 하나의 제2 칩, 제3 칩, 분할된 제1 칩 커플러 및 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러를 포함하며,
상기 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러는 상기 분할된 제1 칩 커플러의 상부에 조립되고, 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 제1 칩의 상부에 배치되고, 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩의 상부에 배치되며,
상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 상기 분할된 제1 칩 커플러를 통해 상기 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있고,
상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 상기 분할된 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있으며, 또한
상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 분할된 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 적어도 하나의 분할된 제2 칩 커플러, 상기 분할된 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있는, 방법.According to paragraph 1,
The package includes a first chip, at least one second chip, a third chip, a split first chip coupler, and at least one split second chip coupler,
The at least one split second chip coupler is assembled on top of the split first chip coupler, the at least one second chip is disposed on top of the first chip, and the third chip is disposed on the at least one split chip coupler. is placed on top of the second chip,
The third chip may be electrically connected to the at least one second chip through the at least one divided second chip coupler and the divided first chip coupler,
The third chip may be electrically connected to the first chip through the at least one divided second chip coupler, the divided first chip coupler, and the redistribution layer, and
The at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the divided first chip coupler and the redistribution layer, or the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the divided first chip coupler and the redistribution layer. A coupler, capable of being electrically connected to the first chip through the divided first chip coupler and the redistribution layer. 제1항에 있어서,
상기 패키지는 제1 칩, 적어도 하나의 제2 칩, 제3 칩, 제1 칩 커플러와 적어도 하나의 제2 칩 커플러를 포함할 수 있으며,
상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러는 상기 제1 칩 커플러의 상부에 조립되고, 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 제1 칩의 상부에 배치되며, 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩의 상부에 배치되고,
상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러를 통해 상기 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있고,
상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있으며, 또한
상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있는, 방법.According to paragraph 1,
The package may include a first chip, at least one second chip, a third chip, a first chip coupler, and at least one second chip coupler,
The at least one second chip coupler is assembled on top of the first chip coupler, the at least one second chip is disposed on top of the first chip, and the third chip is connected to the at least one second chip. is placed at the top of,
The third chip may be electrically connected to the at least one second chip through the at least one second chip coupler and the first chip coupler,
The third chip may be electrically connected to the first chip through the at least one second chip coupler, the first chip coupler, and the redistribution layer, and
The at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer, or the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer. 1. A method that can be electrically connected to the first chip through a chip coupler and the redistribution layer. 제1항에 있어서,
상기 복수의 제1 칩 커플러 중의 일부 제1 칩 커플러는 그 위에 적층되는 적어도 하나의 제2 칩 커플러와 일체형으로 성형될 수 있는, 방법.According to paragraph 1,
Some first chip couplers of the plurality of first chip couplers may be integrally molded with at least one second chip coupler stacked thereon. 제1항에 있어서,
상기 복수의 제1 칩 커플러 중의 일부 제1 칩 커플러는 그 위에 적층되는 적어도 하나의 제2 칩 커플러와 수평 방향에서의 면적이 동일할 수 있는, 방법.According to paragraph 1,
Some first chip couplers among the plurality of first chip couplers may have the same area in the horizontal direction as at least one second chip coupler stacked thereon. 제1항에 있어서,
상기 복수의 제1 칩 커플러 중의 일부 제1 칩 커플러는 그 위에 적층되는 적어도 하나의 제2 칩 커플러와 수평 방향에서의 면적이 상이할 수 있는, 방법.According to paragraph 1,
Some first chip couplers among the plurality of first chip couplers may have different areas in the horizontal direction from at least one second chip coupler stacked thereon. 패키지에 있어서,
제1측과 제2측을 포함하는 재배선층;
상기 재배선층의 제1측에 설치되는 복수의 범프;
정면과 배면을 포함하며, 상기 정면이 상기 재배선층의 제2측에 배치되어 조립되는 제1 칩;
상기 재배선층의 제2측에 배치되어 조립되며, 상기 제1 칩의 측면에 수평으로 배치되어 조립되는 제1 칩 커플러;
상기 제1 칩 커플러의 상부에 배치되어 조립되는 적어도 하나의 제2 칩 커플러;
정면과 배면을 포함하며, 상기 정면이 아래를 향하도록 상기 제1칩의 배면에 배치되고 상기 제1 칩 커플러의 상부에 조립되는 적어도 하나의 제2 칩; 및
상기 적어도 하나의 제2 칩의 배면의 상부에 배치되어 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러의 상부에 조립되는 제3 칩을 포함하며,
상기 패키지는 몰딩 처리되어 몰드 구조를 형성하는, 패키지.In the package,
a redistribution layer including a first side and a second side;
a plurality of bumps installed on a first side of the redistribution layer;
a first chip including a front side and a back side, the front side being disposed and assembled on a second side of the redistribution layer;
a first chip coupler disposed and assembled on a second side of the redistribution layer and horizontally disposed and assembled on a side of the first chip;
at least one second chip coupler disposed and assembled on top of the first chip coupler;
At least one second chip including a front and a back, disposed on the back of the first chip with the front facing downward, and assembled on the top of the first chip coupler; and
A third chip is disposed on the back of the at least one second chip and assembled on the at least one second chip coupler,
The package is molded to form a mold structure. 제9항에 있어서,
상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 상기 적어도 하나의 제2 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연될 수 있고,
상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러와 상기 제1 칩 커플러를 통해 상기 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있거나, 또는 상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러를 통해 상기 적어도 하나의 제2 칩에 전기적으로 연결될 수 있으며,
상기 제3 칩은 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러, 상기 제1 칩 커플러와 상기 재배선층을 통해 상기 제1 칩에 전기적으로 연결될 수 있는, 패키지.According to clause 9,
The at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer, or the at least one second chip may be electrically connected to the first chip through the first chip coupler and the redistribution layer. 1 Can be electrically connected to the first chip through a chip coupler and the redistribution layer,
The third chip may be electrically connected to the at least one second chip through the at least one second chip coupler and the first chip coupler, or the third chip may be electrically connected to the at least one second chip through the at least one second chip coupler. Can be electrically connected to the at least one second chip through,
The third chip may be electrically connected to the first chip through the at least one second chip coupler, the first chip coupler, and the redistribution layer. 제9항에 있어서,
상기 제1 칩 커플러는 능동 커플링 디바이스 또는 수동 커플링 디바이스이고, 또한 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러는 능동 커플링 디바이스 또는 수동 커플링 디바이스인, 패키지.According to clause 9,
The package of claim 1, wherein the first chip coupler is an active coupling device or a passive coupling device, and the at least one second chip coupler is an active coupling device or a passive coupling device. 제9항에 있어서,
상기 복수의 제1 칩 커플러와 상기 적어도 하나의 제2 칩 커플러는 수직 방향에서 적어도 하나의 비아홀을 포함하도록 설치되는, 패키지.According to clause 9,
A package wherein the plurality of first chip couplers and the at least one second chip coupler are installed to include at least one via hole in a vertical direction.
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