KR20230123792A - 듀얼 광전변환소자를 사용한 액체 내의 마이크로미터 크기의 불순물 메탈 입자와 공기 방울의 구분법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 듀얼 광전변환소자를 사용한 액체 내의 마이크로미터 크기의 불순물 메탈 입자와 공기 방울의 구분법에 관한 것이다.

Description

듀얼 광전변환소자를 사용한 액체 내의 마이크로미터 크기의 불순물 메탈 입자와 공기 방울의 구분법{A method of discrimination between a micrometer-sized impurity particle and air bubble in a liquid using dual photodiodes}

본 발명은 듀얼 광전변환소자를 사용한 액체 내의 마이크로미터 크기의 불순물 메탈 입자와 공기 방울의 구분법에 관한 것이다.

액체 파티클 카운터 장비 사용시, 액체 내에 존재하는 μm 정도 크기의 메탈 입자 불순물과 공기 방울(bubble)의 구분이 명확하지 않은 문제점이 있다.

본 발명이 이루고자 하는 과제는 상기한 문제점을 해결하여 액체 내의 불순물(보통 메탈 입자)과 공기 방울의 구분 확률을 높이는 방법을 제시하여 액체 파티클 카운터의 신뢰성을 향상시키고자 한다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 본 발명은 듀얼 광전변환소자를 사용한 공기 방울 구별법을 제공한다.

공기 방울을 구별하여 불순물 검출의 정확도를 향상시킨다.

도 1. 듀얼 광전변환소자를 사용한 입자 계수기 개략도
도 2. 불순물 입자가 지나갈 때 광전변환소자에 측정되는 신호.
도 3. 공기 방울 입자가 지나갈 때 광전변환소자에 측정되는 신호.
도 4. 폭이 좁은 타원체 형태의 불순물 입자가 길이 방향으로 지나갈 때 광전변환소자에 측정되는 신호.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 우선, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.

본 명세서에서 사용되는 정도의 용어 '약', '실질적으로' 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본 발명의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다.

도 1과 같이 플로우 셀(flow cell, 위치1)에 액체가 흐르고 있을 때 불순물로써 메탈 입자가 섞여 있거나 주변의 마찰 및 와류로 인하여 공기 방울이 섞여 있을 가능성이 있다. 이를 검출하기 위하여 레이저(위치2)를 플로우 셀 밖에 위치시켜 렌즈(위치3)로 약 수 μm 크기로 집속시키고 입자 및 공기방울(위치4)에서 반사 및 산란된 빛을 광전변환소자(위치5,6)를 통해 전기적 신호로 측정하게 된다.

일반적인 경우, 레이저에서 직접적으로 들어오는 빛을 제거하기 위해서 빛의 방향과 90도 방향인 곳에 광전변환소자를 위치시키고 입자에서 반사 및 산란된 빛만 검출하게 되는데, 불순물 입자 뿐 아니라 공기 방울 역시 반사 및 산란이 일어나므로 두 입자를 구별하기 어렵게 된다.

불순물 입자는 보통 메탈로 이루어져 있고, 사용되는 레이저의 자외선부터 근적외선 파장 영역까지 흡수되어 광학적으로 불투명하므로 투과하는 광량이 적은 반면, 공기 방울 입자는 빛을 굴절시키나 흡수하지는 않으므로 반사로 인해 소실되는 광량을 제외하면 대부분이 투과하게 된다.

광전변환소자를 레이저 산란각 90도(위치 5)와 투과방향(위치 6)에 각각 위치시키고 레이저를 조사할 때, 불순물 입자가 지나가는 경우 위치 5의 소자에서는 도 2의 신호 2처럼 반사 및 산란에 의한 신호가 증가하게 되며, 도 1의 위치 6 소자에서는 도 2의 신호 1과 같이 흡수, 반사, 산란에 의해 최대값에서 감소하는 신호가 얻어진다. 이에 비해, 공기 방울이 지나가는 경우는 도 3의 신호 2에서 보는 것과 같이 산란각 90도 방향에서 도 2의 신호 2와 비슷한 양상으로 신호가 얻어지나 훨씬 작은 신호가 측정되며, 투과 방향에서는 도 3의 신호 1과 같이 최대 신호에서 감소하는 양상이나 흡수가 없으므로 감소 폭은 크게 줄어들게 된다.

도 2와 도 3의 차이는 불순물 입자에 의한 흡수가 주요 원인이며, 이는 신호 1, 3의 차이를 나타낸다. 만약 불순물 입자와 공기 방울의 입자 크기가 동일하며 구 형태라고 가정한다면 신호의 반측폭(가로 점선으로 표기)으로 입자의 크기를 알 수 있고 신호 3의 크기를 대략적으로 계산할 수 있어 불순물인지 공기 방울인지 분류가 가능하다. 그러나 구 형태가 아닌 폭은 좁으나 길이는 유지되는 타원체 불순물이 길이 방향으로 지나갈 경우, 좁은 폭에 의하여 도 4의 신호 1에 나타낸 것처럼 반측폭은 유지된 채로 흡수, 반사 및 산란 신호 크기는 도 2와 도 3의 신호 1의 사이 값에, 반사 및 산란 신호는 도 2와 도 3의 신호 2의 사이 값에 존재하게 됨을 알 수 있다. 따라서 만약 입자가 구 형태로만 이루어져 있다고 가정하면 산란각 90도 측정만으로 불순물과 공기 방울을 구별할 수 있으나, 그렇지 않은 경우가 존재하므로 오판독이 발생할 확률을 감소시키기 위해서 산란각 90도 뿐 아니라 투과방향도 측정해야 한다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.

Claims (1)

1. 듀얼 광전변환소자를 사용한 공기 방울 구별법.