KR20230100806A - 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법 - Google Patents
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70383—Direct write, i.e. pattern is written directly without the use of a mask by one or multiple beams
Abstract
레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법이 개시된다. 상기 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법은 기판 위에 포지티브 포토레지스트 수지와 네거티브 포토레지스트 수지를 적층하는 단계, 및 레이저를 상기 기판에 조사하여 마이크로 렌즈 어레이를 제외한 나머지 부분을 제거하는 단계를 포함한다.
Description
본 발명은 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는 마이크로 렌즈 어레이의 사이즈를 감소시킬 수 잇는 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법에 관한 것이다.
종래에는 자외선을 이용하여 마이크로 렌즈 어레이가 제조되었다. 자외선을 이용할 경우, 렌즈의 개별 사이즈를 줄이는데 한계가 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적인 과제는 자외선을 이용하지 않고 레이저를 직접적으로 사용하여 마이크로 렌즈 어레이를 제조 하는 방법을 제공하는 것이다.
레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법이 개시된다. 상기 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법은 기판 위에 포지티브 포토레지스트 수지와 네거티브 포토레지스트 수지를 적층하는 단계, 및 레이저를 상기 기판에 조사하여 마이크로 렌즈 어레이를 제외한 나머지 부분을 제거하는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법은 레이저를 직접적으로 이용함으로써 마이크로 렌즈 어레이의 사이즈를 축소할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 상세한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법을 설명하기 위한 다이어그램을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법을 설명하기 위한 다이어그램을 나타낸다.
본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.
본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.
제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채, 제1구성요소는 제2구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2구성요소는 제1구성요소로도 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않은 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다." 또는 "가지다." 등의 용어는 설명된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 나타낸다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법을 설명하기 위한 다이어그램을 나타낸다.
도 1을 참고하면, 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법이 개시된다. 상기 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법은 기판 위에 포지티브 포토레지스트 수지와 네거티브 포토레지스트 수지를 적층하는 단계, 및 레이저를 상기 기판에 조사하여 마이크로 렌즈 어레이를 제외한 나머지 부분을 제거하는 단계를 포함한다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
Claims (1)
- 기판 위에 포지티브 포토레지스트 수지와 네거티브 포토레지스트 수지를 적층하는 단계; 및
레이저를 상기 기판에 조사하여 마이크로 렌즈 어레이를 제외한 나머지 부분을 제거하는 단계를 포함하는 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020210190003A KR20230100806A (ko) | 2021-12-28 | 2021-12-28 | 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020210190003A KR20230100806A (ko) | 2021-12-28 | 2021-12-28 | 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법 |
Publications (1)
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| KR20230100806A true KR20230100806A (ko) | 2023-07-06 |
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| KR1020210190003A KR20230100806A (ko) | 2021-12-28 | 2021-12-28 | 레이저 다이렉트 리소그래피를 이용한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법 |
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| KR (1) | KR20230100806A (ko) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100551623B1 (ko) | 2001-11-14 | 2006-02-13 | 주식회사 엘지에스 | 자외선 경화를 이용한 하이브리드 렌즈의 제조방법 |
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2021
- 2021-12-28 KR KR1020210190003A patent/KR20230100806A/ko unknown
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