KR20230100551A - Article transport facility - Google Patents

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이성호
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Abstract

In an article transport facility according to the present invention, a first magnet is provided on a steering member (steering wheel), and a second magnet that generates a repulsive force with the first magnet is provided on the steering rail. Thus, the steering member and the steering rail do not come into contact with each other, and the travel direction of a vehicle can be guided to the selected travel path.

Description

물품 이송 설비 {ARTICLE TRANSPORT FACILITY}Goods transport facility {ARTICLE TRANSPORT FACILITY}

본 발명의 실시예는 물품을 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하기 위한 물품 이송 설비에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to an article transfer facility for transferring articles from a location to a desired location.

반도체 제조 효율 향상을 위하여, 반도체 제조 설비들에 의하여 수행되는 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정을 개선하기 위한 기술뿐만 아니라, 반도체를 제조하는 데 사용되는 물품을 반도체 제조 설비들 간에 보다 신속하고 정확하게 이송하기 위한 설비가 널리 보급되어 사용되고 있다. 예를 들면, 반도체 제조 공장의 천장 측에 제공되는 물품 이송 경로를 따라 이동하면서 공정에 요구되는 물품을 이송하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT) 등을 가진 물품 이송 설비가 그 중 하나이다.In order to improve semiconductor manufacturing efficiency, not only technologies for improving processes such as exposure, deposition, etching, ion implantation, and cleaning performed by semiconductor manufacturing facilities, but also products used to manufacture semiconductors are transferred between semiconductor manufacturing facilities. Equipment for more rapid and accurate transfer is widely spread and used. For example, one of them is a product transport facility having an overhead hoist transport (OHT) that transports products required for a process while moving along a product transport path provided on the ceiling side of a semiconductor manufacturing plant. .

일반적으로, 오버헤드 호이스트 트랜스포트(OHT)를 포함하는 물품 이송 설비는 주행 레일, 조향 레일들 및 물품 이송 차량들을 포함하고, 물품 이송 차량 각각은 비히클, 조향 부재 및 호이스트 장치를 포함한다.Generally, an article transfer facility comprising an overhead hoist transport (OHT) includes travel rails, steering rails and article transfer vehicles, each of which includes a vehicle, a steering member and a hoist device.

주행 레일은 복수의 주행 경로를 포함하는 물품 이송 경로를 제공한다. 조향 레일들은 물품 이송 경로에서 주행 경로들이 서로 접속된 접속 영역의 상방에 서로 접속된 주행 경로 각각을 따라 제공된다.The travel rail provides an article transport path comprising a plurality of travel paths. Steering rails are provided along each of the travel paths connected to each other above a connection area where the travel paths are connected to each other in the article transport path.

비히클은 주행 레일을 따라 주행한다. 조향 부재는, 비히클의 상부에 제공되고, 접속 영역에서 조향 레일들 중 선택된 어느 하나에 접촉되어 비히클의 진행 방향을 선택된 주행 경로로 안내하며, 비히클의 폭 방향인 좌우 방향으로 이동 가능하여 이동 방향에 따라 제1 조향 위치 또는 제2 조향 위치에서 선택된 조향 레일에 접촉되고, 비히클이 접속 영역으로 진입되기 전에 선택된 조향 위치에 위치하도록 제어된다. 호이스트 장치는, 비히클의 하부에 제공되고, 이송할 물품을 지지할 수 있다.The vehicle runs along the running rail. The steering member is provided on the upper part of the vehicle, comes into contact with a selected one of the steering rails in the connection area, guides the driving direction of the vehicle to the selected driving path, and is movable in the left and right directions, which is the width direction of the vehicle, to change the direction of movement. Accordingly, the first steering position or the second steering position is in contact with the selected steering rail, and the vehicle is controlled to be positioned at the selected steering position before entering the connection area. A hoist device is provided on the lower part of the vehicle and can support an article to be transported.

이와 같은 물품 이송 설비는, 조향 부재가 접속 영역에서 조향 레일들 중 선택된 어느 하나에 접촉되기 때문에, 접촉 마찰에 의한 파티클이 발생할 수 있다.In such an article conveying facility, since the steering member comes into contact with a selected one of the steering rails in the connection area, particles may be generated due to contact friction.

대한민국 공개특허공보 제10-2018-0061542호(2018.06.08)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2018-0061542 (2018.06.08) 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0047905호(2019.05.09)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0047905 (2019.05.09) 대한민국 공개특허공보 제10-2019-0072262호(2019.06.25)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2019-0072262 (2019.06.25)

본 발명의 실시예는 조향 부재와 조향 레일들의 접촉 마찰에 의한 파티클 발생을 방지할 수 있는 물품 이송 설비를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide an article transport facility capable of preventing generation of particles due to contact friction between a steering member and steering rails.

해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.The problem to be solved is not limited thereto, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 실시예에 따르면, 서로 접속된 제1 경로와 제2 경로를 가지는 물품 이송 경로를 제공하는 주행 레일과; 상기 제1 경로와 상기 제2 경로가 접속된 접속 영역의 상방에 상기 제1 경로 및 상기 제2 경로를 따라 제공되는 제1 조향 레일 및 제2 조향 레일과; 상기 주행 레일을 따라 주행하고 상기 제1 조향 레일 또는 상기 제2 조향 레일을 이용하여 상기 접속 영역에서 조향을 행하는 적어도 하나 이상의 물품 이송 차량을 포함하며, 상기 물품 이송 차량은 조향 유닛이 상부에 제공되고, 상기 조향 유닛은, 좌우 이동 가능하여 이동 방향에 따라 상기 접속 영역에서 상기 제1 조향 레일의 조향 면과 수평으로 대향하는 제1 위치 또는 상기 제2 조향 레일의 조향 면과 수평으로 대향하는 제2 위치에 위치되는 조향 부재와; 상기 조향 부재의 위치에 따라 상기 조향 부재와 상기 제1 조향 레일 사이 또는 상기 조향 부재와 상기 제2 조향 레일 사이에 조향을 위한 상호 작용적인 힘으로서 서로 밀어내는 척력(repulsive force)을 발생시키는 척력 발생 모듈을 포함하는, 물품 이송 설비가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a traveling rail providing a product transport path having a first path and a second path connected to each other; first steering rails and second steering rails provided along the first path and the second path above a connection area where the first path and the second path are connected; and at least one article transport vehicle driving along the travel rail and performing steering in the connection area using the first steering rail or the second steering rail, wherein the article transport vehicle has a steering unit provided at an upper portion thereof, and , The steering unit is movable left and right, and a first position horizontally facing the steering surface of the first steering rail or a second position horizontally facing the steering surface of the second steering rail in the connection area according to the moving direction a steering member positioned at the position; Depending on the position of the steering member, a repulsive force is generated to generate a repulsive force as an interactive force for steering between the steering member and the first steering rail or between the steering member and the second steering rail to push each other. An article transport facility comprising a module may be provided.

상기 척력 발생 모듈은, 상기 조향 부재에 제공된 제1 자석과; 상기 제1 조향 레일과 상기 제2 조향 레일에 각각 상기 제1 자석과의 사이에 척력이 작용하도록 제공된 제2 자석을 포함할 수 있다. 상기 제1 자석은 영구 자석 또는 전자석일 수 있다. 상기 제2 자석은 영구 자석 또는 전자석일 수 있다.The repulsive force generating module includes: a first magnet provided on the steering member; The first steering rail and the second steering rail may each include a second magnet provided to act between the first magnet and a repulsive force. The first magnet may be a permanent magnet or an electromagnet. The second magnet may be a permanent magnet or an electromagnet.

상기 제1 자석은 상기 조향 부재의 둘레 방향을 따라 링 형상으로 제공되고, 상기 제2 자석은 각각 상기 제1 조향 레일의 조향 면의 길이 방향과 상기 제2 조향 레일의 조향 면의 길이 방향을 따라 제공될 수 있다.The first magnet is provided in a ring shape along the circumferential direction of the steering member, and the second magnet is provided along the longitudinal direction of the steering surface of the first steering rail and the longitudinal direction of the steering surface of the second steering rail, respectively. can be provided.

상기 조향 부재는 상하 방향의 축을 중심으로 자유 회전 가능하게 제공된 휠(wheel)일 수 있다.The steering member may be a wheel provided to freely rotate about an axis in an up and down direction.

상기 조향 유닛은, 구동력을 이용하여 상기 조향 부재를 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 중 어느 하나로부터 다른 하나로 이동시키고, 탄성력을 이용하여 복귀시키도록 구성될 수 있다.The steering unit may be configured to move the steering member from one of the first position and the second position to another using a driving force and return it using an elastic force.

과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.The means for solving the problems will be more specific and clear through embodiments, drawings, etc. described below. In addition, various solutions other than the aforementioned solutions may be additionally presented below.

본 발명의 실시예에 의하면, 조향 부재(조향 휠)와 조향 레일이 비히클의 진행 방향을 비접촉 방식에 의하여 선택된 주행 경로로 안내할 수 있다. 즉, 조향 부재와 조향 레일들의 접촉을 서로 밀어내는 척력(자석을 이용할 수 있다.)으로 방지할 수 있다. 이에, 조향 부재와 조향 레일들의 접촉 마찰에 기인한 파티클 발생 및 이로 인한 오염 문제 등을 보다 적극적으로 방지할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the steering member (steering wheel) and the steering rail may guide the traveling direction of the vehicle to the selected driving path in a non-contact manner. That is, contact between the steering member and the steering rails can be prevented by a repulsive force (magnets can be used) that push each other. As a result, it is possible to more actively prevent generation of particles and contamination due to contact friction between the steering member and the steering rails.

발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.Effects of the invention are not limited thereto, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from this specification and the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성을 나타내는 개념도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 OHT의 구성을 나타내는 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 OHT의 구성을 나타내는 측면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 OHT의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 6 및 도 7은 도 2에 도시된 OHT의 작동을 나타내는 정면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 조향 레일과 관련된 구성을 나타내는 평면도이다.
도 9는 도 5, 도 8 등에 도시된 조향 부재를 나타내는 평면도이다.
도 10은 도 8 등에 도시된 조향 레일을 나타내는 평면도이다.1 is a conceptual diagram showing the overall configuration of an article transfer facility according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 are front views showing the configuration of the OHT shown in FIG.
4 is a side view showing the configuration of the OHT shown in FIG. 1;
5 is a plan view showing the configuration of the OHT shown in FIG. 1;
6 and 7 are front views illustrating the operation of the OHT shown in FIG. 2 .
8 is a plan view showing a configuration related to a steering rail of an article conveying facility according to an embodiment of the present invention.
9 is a plan view illustrating the steering member shown in FIGS. 5 and 8;
10 is a plan view illustrating the steering rail shown in FIG. 8 and the like.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 사람이 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여러 가지 다른 형태로 구현될 수 있고 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. However, the present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명의 실시예를 설명하는 데 있어서, 관련된 공지 기능이나 구성에 대한 구체적 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 구체적 설명을 생략하고, 유사 기능 및 작용을 하는 부분은 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용하기로 한다.In describing the embodiments of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted, and parts with similar functions and actions will be omitted. The same reference numerals will be used throughout the drawings.

명세서에서 사용되는 용어들 중 적어도 일부는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이기에 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 그 용어에 대해서는 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석되어야 한다. 또한, 명세서에서, 어떤 구성 요소를 포함한다고 하는 때, 이것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 그리고, 어떤 부분이 다른 부분과 연결(또는, 결합)된다고 하는 때, 이것은, 직접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우뿐만 아니라, 다른 부분을 사이에 두고 간접적으로 연결(또는, 결합)되는 경우도 포함한다.Since at least some of the terms used in the specification are defined in consideration of functions in the present invention, they may vary according to user, operator intention, custom, and the like. Therefore, the term should be interpreted based on the contents throughout the specification. In addition, in the specification, when it is said to include a certain component, this means that it may further include other components without excluding other components unless otherwise stated. And, when a part is said to be connected (or combined) with another part, this is not only directly connected (or combined), but also indirectly connected (or combined) through another part. include

한편, 도면에서 구성 요소의 크기나 형상, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다.On the other hand, in the drawing, the size or shape of the component, the thickness of the line, etc. may be expressed somewhat exaggerated for convenience of understanding.

본 발명은 반도체, 디스플레이(display) 등에 대한 제조를 수행하기 위한 공장에서 물품을 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하는 데 주로 사용될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 물품을 반도체, 디스플레이 등의 제조에 필요한 공정 설비들 간에 이송할 수 있다. 이때, 물품은 웨이퍼(wafer) 등의 기판을 포함할 수 있다. 일례로, 물품은 복수의 기판이 수납되는 컨테이너(container)일 수 있다. 나아가, 컨테이너는 수납된 기판들을 외부로부터 보호할 수 있는 밀폐형 컨테이너일 수 있다. 구체적으로, 밀폐형 컨테이너는 FOUP일 수 있다.The present invention can be mainly used to transfer an article from an arbitrary position to a desired position in a factory for manufacturing semiconductors, displays, and the like. For example, the present invention can transfer articles between process facilities required for the manufacture of semiconductors, displays, and the like. In this case, the article may include a substrate such as a wafer. As an example, the article may be a container in which a plurality of substrates are accommodated. Furthermore, the container may be an airtight container capable of protecting the stored substrates from the outside. Specifically, the hermetically sealed container may be a FOUP.

본 발명은 다양한 기술 분야에서 물품을 이송하는 데 사용될 수 있는 것이지만, 본 발명의 실시예는 반도체 제조 공장에서 물품으로서 FOUP을 반도체 제조용의 공정 설비들 간에 이송하는 경우를 중심으로 살펴보기로 한다.Although the present invention can be used to transfer articles in various technical fields, an embodiment of the present invention will focus on the case of transferring a FOUP as an article between semiconductor manufacturing process facilities in a semiconductor manufacturing plant.

반도체 제조 공장은 적어도 하나 이상의 클린 룸(clean room)으로 구성될 수 있고, 반도체의 제조를 위한 공정으로서 노광, 증착, 식각, 세정 등을 수행하는 공정 설비들은 클린 룸에 설치될 수 있다.A semiconductor manufacturing plant may be composed of at least one clean room, and process facilities for performing exposure, deposition, etching, cleaning, and the like as processes for manufacturing semiconductors may be installed in the clean room.

반도체는 웨이퍼에 반도체 제조 공정을 반복적으로 수행함으로써 완성될 수 있다. 특정 공정 설비에서 해당의 공정이 완료된 웨이퍼는 후속 공정을 위하여 다음의 공정 설비로 이송될 수 있다. 이때, 웨이퍼의 이송은 FOUP에 수납된 상태에서 OHT를 포함하는 물품 이송 설비에 의하여 이루어질 수 있다.A semiconductor can be completed by repeatedly performing a semiconductor manufacturing process on a wafer. A wafer whose corresponding process has been completed in a specific process facility may be transferred to a next process facility for a subsequent process. At this time, the transfer of the wafer may be performed by a product transfer facility including an OHT in a state accommodated in the FOUP.

본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비의 전체 구성 등이 도 1에 개념적으로 도시되어 있다.The overall configuration of an article transfer facility according to an embodiment of the present invention is conceptually shown in FIG. 1 .

도 1에서, 도면 부호 1은 반도체 제조 공장에 설치된 복수의 공정 설비를 나타낸다. 또, 도면 부호 10은 물품인 FOUP을 공정 설비(1)들 간에 이송하기 위한 물품 이송 경로(11, 12)를 제공하는 주행 레일이고, 도면 부호 20은 물품 이송 경로(11, 12)를 따라 각각 이동하면서 물품을 이송하는 복수의 물품 이송 차량이다. 또한, 도면 부호 30은 물품의 일시적 보관 공간을 제공하는 버퍼(buffer)를 나타낸다. 그리고, 도면 부호 35는 물품 보관을 위한 창고 구조의 스토커(stoker)를 나타낸다.In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a plurality of process equipment installed in a semiconductor manufacturing plant. In addition, reference numeral 10 denotes a running rail providing article transfer paths 11 and 12 for transferring the FOUP, which is a product, between process facilities 1, and reference numeral 20 denotes a running rail along the article transfer paths 11 and 12, respectively It is a plurality of article conveying vehicle that conveys articles while moving. Also, reference numeral 30 denotes a buffer providing a temporary storage space for articles. And, reference numeral 35 denotes a stocker of a warehouse structure for storing goods.

주행 레일(10)은 물품 이송 경로(11, 12)를 반도체 제조 공장의 천장과 인접한 위치에 제공할 수 있다. 물품 이송 차량(20) 각각은, 물품을 공정 설비(1)들 중 특정 설비로부터 다른 설비로 이송할 수도 있고, 또 물품을 공정 설비(1)들 중 특정 설비로부터 버퍼(30)나 스토커(35)로 이송할 수도 있으며, 또 물품을 버퍼(30) 또는 스토커(35)로부터 특정 공정 설비(1)로 이송할 수도 있다. 버퍼(30)와 스토커(35)는 각각 적어도 하나 이상이 구비될 수 있다.The running rail 10 may provide article transfer paths 11 and 12 at locations adjacent to the ceiling of a semiconductor manufacturing plant. Each of the article transfer vehicles 20 may transfer articles from a specific facility among the process facilities 1 to another facility, and may transfer the product from a specific facility among the process facilities 1 to a buffer 30 or a stocker 35. ), or the goods can be transferred from the buffer 30 or the stocker 35 to a specific process facility 1. Each of the buffer 30 and the stocker 35 may include at least one or more.

본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, OHT를 포함하고, OHT가 주행 레일(10) 및 물품 이송 차량(20)들을 포함할 수 있다. 이러한 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, 물품 이송 차량(20)들이 급전 유닛과 수전 유닛을 통하여 전원 공급 장치로부터 구동 전력을 제공받아 독립적으로 작동하도록 구성될 수 있고, 소위 OCS(OHT control system)라고 칭하는 통합 제어 장치를 이용하여 물품 이송 차량(20)들을 자동으로 운영할 수 있다.An article transport facility according to an embodiment of the present invention includes an OHT, and the OHT may include a running rail 10 and article transport vehicles 20 . In the article transport facility according to the embodiment of the present invention, the article transport vehicles 20 may be configured to operate independently by receiving driving power from a power supply device through a power supply unit and a power receiving unit, and so-called OCS (OHT control) The product transport vehicles 20 may be automatically operated using an integrated control device called a system).

도 1을 참조하면, 물품 이송 경로는 복수의 주행 경로로 구성된다. 구체적으로, 물품 이송 경로는, 주행 경로들로서 제1 주행 경로(11)와 제2 주행 경로(12)를 포함하고, 제1 주행 경로(11)와 제2 주행 경로(12)가 서로 접속, 연결되는 접속 영역들(13A, 13B 참조)을 가진다. 예를 들어, 물품 이송 경로는, 제1 주행 경로(11)와 제2 주행 경로(12) 중 어느 하나로서 단일의 메인 경로(main path)(11 참조)를 포함하고, 제1 주행 경로(11)와 제2 주행 경로(12) 중 나머지 하나로서 메인 경로에 각각 접속된 복수의 서브 경로(sub path)(12 참조)를 포함할 수 있다. 서브 경로들은, 물품 이송 차량(20)의 주행 방향을 기준으로, 메인 경로에 분기하는 형태로 접속되어 접속 영역으로서 분기 영역(13A)을 제공할 수도 있고, 메인 경로에 합류하는 형태로 접속되어 접속 영역으로서 합류 영역(13B)을 제공할 수도 있다.Referring to FIG. 1 , an article transfer path is composed of a plurality of travel paths. Specifically, the article transfer path includes a first travel path 11 and a second travel path 12 as travel paths, and the first travel path 11 and the second travel path 12 are connected to and connected to each other. It has connection areas (see 13A and 13B) that become. For example, the article transfer path includes a single main path (see 11) as any one of the first travel path 11 and the second travel path 12, and the first travel path 11 ) and a plurality of sub-paths (see 12) each connected to the main path as the other one of the second travel path 12. The sub-paths may be connected in a form branching from the main route based on the driving direction of the article transport vehicle 20 to provide a branching area 13A as a connection area, or may be connected in a form joining the main path to be connected. A confluence area 13B may be provided as an area.

접속 영역 각각을 구성하는 제1 주행 경로(11)의 접속 부분과 제2 주행 경로(12)의 접속 부분 중 어느 하나는 다른 하나의 측방에 접속된다. 어느 하나의 접속 영역에서, 제1 주행 경로(11)의 접속 부분은 직선형일 수 있고, 제2 주행 경로(12)의 접속 부분은 곡선형일 수 있다.Either one of the connection parts of the first travel path 11 and the connection parts of the second travel path 12 constituting each connection area is connected to the side of the other one. In any one connection region, the connection portion of the first travel path 11 may be straight, and the connection portion of the second travel path 12 may be curved.

OHT의 구성, 작동 등이 도 2 내지 도 10에 도시되어 있다.The configuration and operation of the OHT are shown in FIGS. 2 to 10 .

도 2, 도 5 등을 참조하면, 주행 레일(10)은, 물품 이송 경로(11, 12)를 따라 연장되고 좌우 방향으로 이격되며 서로 짝을 이루는 한 쌍의 레일을 포함하고, 복수의 레일 서포트(rail support, 15)에 의하여 반도체 제조 공장의 천장 측에 설치될 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 5 , the travel rail 10 includes a pair of rails that extend along the article transfer paths 11 and 12 and are spaced apart in the left and right directions and paired with each other, and includes a plurality of rail supports. (rail support, 15) can be installed on the ceiling side of the semiconductor manufacturing plant.

좌우 한 쌍의 레일은 역 U자 형상으로 형성된 레일 연결 부재(16)들에 의하여 서로 연결된다. 레일 연결 부재(16) 각각은, 한 쌍의 레일 각각의 외측에 하단 쪽이 연결된 수직 부분, 그리고 좌우 양쪽의 수직 부분의 상단 쪽을 연결하는 수평 부분으로 구성될 수 있다.A pair of left and right rails are connected to each other by rail connecting members 16 formed in an inverted U shape. Each of the rail connecting members 16 may be composed of a vertical part connected to the lower end of each of the pair of rails, and a horizontal part connecting the upper end of the left and right vertical parts.

레일 서포트(15) 각각은, 하단 부분이 한 쌍의 레일을 지지하고, 상단 부분이 반도체 제조 공장의 천장에 정착될 수 있다.Each of the rail supports 15 has a lower portion supporting a pair of rails, and an upper portion may be fixed to a ceiling of a semiconductor manufacturing plant.

제1 주행 경로(11)와 제2 주행 경로(12)가 서로 접속되는 접속 영역인 분기 영역(13A)이나 합류 영역(13B)은 직선 형상인 한 쌍의 레일과 곡선 형상인 한 쌍의 레일이 서로 연결된 구성을 가질 수 있다. 이러한 한 쌍의 레일은 상측에 주행 면을 제공하고 대향하는 내측에 안내 면을 제공하도록 구성된다.The branching area 13A or joining area 13B, which is a connection area where the first travel path 11 and the second travel path 12 are connected to each other, has a pair of straight rails and a pair of curved rails. They may have configurations that are connected to each other. This pair of rails is configured to provide a running surface on the upper side and a guide surface on the opposite inner side.

도 2, 도 3 등에 도시된 바와 같이, 급전 유닛(40)은 주행 레일(10)의 하부에 물품 이송 경로(11, 12)를 따라 설치된 급전 라인(electricity supply line, 41)을 포함한다. 급전 라인(41)은 한 쌍으로 구성된다. 급전 라인(41)은 한 쌍의 레일 사이에 배치되고 주행 레일(10)에 장착된 라인 서포트(42)들에 의하여 안정적으로 지지될 수 있다. 이러한 급전 라인(41)은 구동 전력을 제공하는 전원 공급 장치와 전기적으로 연결된다.As shown in FIGS. 2 and 3 , the power supply unit 40 includes an electricity supply line 41 installed under the travel rail 10 along the article transfer paths 11 and 12 . The power supply line 41 is composed of a pair. The power supply line 41 may be stably supported by line supports 42 disposed between a pair of rails and mounted on the traveling rail 10 . The power supply line 41 is electrically connected to a power supply device providing driving power.

도 2, 도 8 등을 참조하면, 접속 영역인 분기 영역(13A)과 합류 영역(13B) 각각의 상방에는 조향 레일(500)로서 제1 조향 레일(510) 및 제2 조향 레일(520)이 각각 제1 주행 경로(11) 및 제2 주행 경로(12)를 따라 제공된다.Referring to FIGS. 2 and 8 , a first steering rail 510 and a second steering rail 520 are provided as steering rails 500 above each of the junction area 13A and the junction area 13B. Each is provided along the first travel path 11 and the second travel path 12 .

제1 조향 레일(510) 및 제2 조향 레일(520)은 접속 영역이 분기 영역(13A)인지 합류 영역(13B)인지에 따라 분기되는 형태로 서로 접속되거나 합류되는 형태로 서로 접속될 수 있다. 조향 레일(500)은 레일 연결 부재(16)의 수평 부분에 장착되어 위치가 고정될 수 있다.The first steering rail 510 and the second steering rail 520 may be connected to each other in a diverging form or connected to each other in a joined form depending on whether the connection area is the diverging area 13A or the joining area 13B. The steering rail 500 may be mounted on a horizontal portion of the rail connecting member 16 to have a fixed position.

도 2 내지 도 5 등을 참조하면, 물품 이송 차량(20) 각각은, 주행 레일(10)을 따라 주행 가능한 비히클(100), 비히클(100)의 하부에서 물품(FOUP)을 지지하는 호이스트 장치(200), 그리고 급전 라인(41)으로부터 구동 전력을 비접촉 방식으로 제공받는 전원 장치(300)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 2 to 5 , each of the article transport vehicles 20 includes a vehicle 100 capable of traveling along the travel rail 10 and a hoist device supporting the article FOUP under the vehicle 100 ( 200), and a power supply device 300 that receives driving power from the power supply line 41 in a non-contact manner.

호이스트 장치(200)는 비히클(100)의 하측에 비히클(100)과 함께 이동하도록 제공될 수 있다. 전원 장치(300)는 비히클(100)의 하부 또는 호이스트 장치(200)의 상부에 급전 라인(41)과 대향하도록 제공된 수전 유닛을 포함한다.The hoist device 200 may be provided on the lower side of the vehicle 100 to move together with the vehicle 100 . The power unit 300 includes a power receiving unit provided to face the power supply line 41 at the bottom of the vehicle 100 or the top of the hoist device 200 .

수전 유닛은 픽업 코일(pickup coil) 및 정류기를 포함할 수 있다. 급전 라인(41)에 교류 전류가 흐르기 때문에 급전 라인(41)의 가까이 발생하는 자속의 방향과 강도가 항상 변동한다. 픽업 코일은 이러한 자속의 변동에 따라 전자 유도에 의하여 발전압을 발생시킬 수 있다. 발생된 발전압은 교류 전압이지만 정류기에 의하여 직류 전압으로 변환되어 물품 이송 차량(20)에 공급될 수 있다.The power receiving unit may include a pickup coil and a rectifier. Since alternating current flows through the power supply line 41, the direction and strength of magnetic flux generated close to the power supply line 41 always fluctuates. The pick-up coil may generate a power generation voltage by electromagnetic induction according to the variation of the magnetic flux. Although the generated voltage is AC voltage, it may be converted into DC voltage by the rectifier and supplied to the product transfer vehicle 20 .

비히클(100)은 복수로 구성될 수 있다. 도 4, 도 5 등은 비히클(100)이 전후 방향으로 일렬로 배열된 전방 비히클(100A)과 후방 비히클(100B)로 구성될 수 있음을 예시한다.The vehicle 100 may be composed of a plurality. 4 and 5 illustrate that the vehicle 100 may be composed of a front vehicle 100A and a rear vehicle 100B arranged in a line in the front-back direction.

이와 같은 비히클(100)은 차체(110), 주행 휠(120)들, 구동 장치(140), 안내 휠(160)들, 조향 휠(조향 부재, 170) 및 조향 휠 구동 모듈(180)을 포함한다.Such a vehicle 100 includes a vehicle body 110, driving wheels 120, a driving device 140, guide wheels 160, a steering wheel (steering member) 170, and a steering wheel drive module 180. do.

주행 휠(120)들은 차체(110)가 주행 레일(10)을 따라 주행 가능하도록 차체(110)에 이동성을 부여한다. 차축은 좌우 방향으로 연장된다. 차축의 좌우 양단 부분에는 각각 주행 휠(120)이 장착되어, 주행 휠(120)들은 양쪽으로 배치된다. 양쪽의 주행 휠(120)은 한 쌍의 레일 부재의 상측에 마련된 주행 면에 접촉된다.The driving wheels 120 impart mobility to the vehicle body 110 so that the vehicle body 110 can travel along the traveling rail 10 . The axle extends in the left and right directions. Driving wheels 120 are mounted on both left and right ends of the axle, respectively, and the driving wheels 120 are disposed on both sides. The running wheels 120 on both sides are in contact with the running surface provided on the upper side of the pair of rail members.

차축은, 양단 사이의 부분이 차체(110)의 내부 공간에 배치되고, 양단 부분이 각각 차체(110)의 좌우를 관통하여 차체(110)의 외부로 돌출될 수 있다. 차체(110)에는 차축을 회전 가능하도록 지지하는 베어링(bearing) 등의 회전 지지 부재가 구비될 수 있다.A portion between both ends of the axle shaft may be disposed in the inner space of the vehicle body 110, and both end portions may protrude to the outside of the vehicle body 110 through left and right sides of the vehicle body 110, respectively. The vehicle body 110 may be provided with a rotation support member such as a bearing that rotatably supports the axle shaft.

구동 장치(140)는 양쪽의 주행 휠(120)을 구동시킨다. 구동 장치(140)는, 회전 모터, 그리고 회전 모터의 회전력을 차축에 전달하는 동력 전달 기구로서 벨트 전동 기구를 포함한다. 또한, 구동 장치(140)는 회전 모터의 회전 속도를 감소시켜 벨트 전동 기구에 전달하기 위한 감속기를 더 포함할 수 있다.The driving device 140 drives both driving wheels 120 . The driving device 140 includes a rotation motor and a belt transmission mechanism as a power transmission mechanism that transmits rotational force of the rotation motor to an axle shaft. In addition, the driving device 140 may further include a reducer for reducing the rotational speed of the rotational motor and transmitting the reduced rotational speed to the belt transmission mechanism.

벨트 전동 기구는, 회전 모터의 축에 장착된 구동 풀리(driving pully), 차축에 장착된 종동 풀리(driven pully), 그리고 구동 풀리와 종동 풀리에 걸리도록 감긴 벨트를 포함한다. 벨트 전동 기구는, V 벨트(V-belt)를 사용하는 V 벨트 전동 기구일 수도 있고, 타이밍 벨트(timing belt)를 사용하는 타이밍 벨트 전동 기구일 수도 있다. 물론, 실시 조건 등에 따라서는, 벨트 전동 기구 대신, 체인(chain)을 포함하는 체인 전동 기구가 적용될 수도 있다.The belt transmission mechanism includes a driving pulley mounted on a shaft of a rotary motor, a driven pulley mounted on an axle, and a belt wound to be caught on the driving pulley and the driven pulley. The belt transmission mechanism may be a V-belt transmission mechanism using a V-belt or a timing belt transmission mechanism using a timing belt. Of course, depending on the implementation conditions and the like, a chain transmission mechanism including a chain may be applied instead of the belt transmission mechanism.

본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는 제어 유닛을 더 포함한다. 제어 유닛은 물품 이송 차량(20) 각각에 설치되어 물품 이송 차량(20) 각각을 제어할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는 물품 이송 차량(20) 각각의 주행 위치를 나타내는 위치 정보를 기반으로 물품 이송 차량(20) 각각의 작동을 제어하도록 구성될 수 있다. 물품 이송 차량(20) 각각에 대한 위치 정보에 의하면, 물품 이송 차량(20)들이 접속 영역에 접근하였는지, 접속 영역을 통과하였는지 등을 기반으로 물품 이송 차량(20) 각각을 제어할 수 있다. 일례로, 제어 유닛은 물품 이송 설비 전체의 작동을 제어하는 통합 제어 장치(OCS)로부터 지령을 수신하여 물품 이송 차량(20)의 작동을 제어할 수 있다.An article conveying facility according to an embodiment of the present invention further includes a control unit. The control unit may be installed in each of the article transport vehicles 20 to control each of the article transport vehicles 20 . An article transport facility according to an embodiment of the present invention may be configured to control the operation of each article transport vehicle 20 based on location information indicating the driving position of each article transport vehicle 20 . According to the location information of each of the product transport vehicles 20, each of the product transport vehicles 20 may be controlled based on whether the product transport vehicles 20 approach or pass through the connection area. For example, the control unit may control the operation of the article transport vehicle 20 by receiving a command from an integrated control system (OCS) that controls the operation of the entire article transport facility.

안내 휠(160)들은 차체(110)의 하부에 좌우 양쪽으로 배치되고 한 쌍의 레일 부재의 대향하는 내측에 마련된 안내 면에 각각 접촉된다.The guide wheels 160 are disposed on both left and right sides of the lower part of the vehicle body 110 and contact guide surfaces provided on opposite inner sides of a pair of rail members, respectively.

조향 휠(조향 부재, 170)은, 차체(110)의 상부에 좌우 방향으로 이동 가능하게 장착되고, 조향 휠 구동 모듈(180)에 의하여 이동된다. 조향 휠(170)은 상하 방향의 축을 중심으로 회전된다. 조향 휠(170)은, 조향 시, 이동 방향에 따라 제1 조향 위치(예를 들어, 우측)에서 제1 조향 레일(510)과 대향하거나 제2 조향 위치(예를 들어, 좌측)에서 제2 조향 레일(520)과 대향할 수 있다.The steering wheel (steering member) 170 is mounted on the top of the vehicle body 110 to be movable in left and right directions, and is moved by the steering wheel driving module 180 . The steering wheel 170 is rotated about an axis in the up and down direction. When steering, the steering wheel 170 opposes the first steering rail 510 in the first steering position (eg, the right side) or the second steering rail 510 in the second steering position (eg, the left side) according to the moving direction. It may face the steering rail 520.

호이스트 장치(200)는 호이스트 하우징(hoist housing, 210)을 포함할 수 있다. 호이스트 하우징(210)은 주행 레일(10)의 하방에서 상부가 연결 모듈에 의하여 차체(110)에 연결될 수 있다. 호이스트 하우징(210)은, 물품이 수용되는 수용 공간(212)을 제공하는바, 물품을 수용 공간(212)으로부터 좌우 방향 및 하방으로 이동시킬 수 있게 좌우 양옆 및 하측이 모두 개방된 구조를 가지도록 형성될 수 있다. 이에, 물품은 수용 공간(212)에 대하여 출입될 수 있다.Hoist device 200 may include a hoist housing (hoist housing, 210). The hoist housing 210 may be connected to the vehicle body 110 by means of a connection module at an upper portion below the travel rail 10 . The hoist housing 210 provides an accommodating space 212 in which articles are accommodated, so that the hoist housing 210 has a structure in which both left and right sides and lower sides are open so that the articles can be moved left and right and downward from the accommodating space 212. can be formed Accordingly, articles may be taken in and out of the accommodation space 212 .

호이스트 장치(200)는, 물품을 그립(grip)하거나 언그립(ungrip)하는 핸드 유닛(hand unit, 220), 그리고 핸드 유닛(220)을 수용 공간(212)의 내부와 외부 간에 이동시키는 핸드 이동 유닛을 더 포함할 수 있다. 이러한 호이스트 장치(200)는 핸드 이동 유닛으로서 수직 구동 유닛(230), 회전 구동 유닛(240) 및 수평 구동 유닛(250)을 포함할 수 있다.The hoist device 200 includes a hand unit 220 that grips or ungrips an item, and a hand movement that moves the hand unit 220 between the inside and outside of the accommodation space 212. It may contain more units. The hoist device 200 may include a vertical drive unit 230, a rotation drive unit 240, and a horizontal drive unit 250 as hand moving units.

핸드 유닛(220)은, 물품에 대한 그립 및 언그립을 수행하는 핸드, 그리고 핸드를 지지하는 핸드 서포트를 포함할 수 있다. 이러한 핸드 유닛(220)은 수직 구동 유닛(230)에 의하여 승강될 수 있다. 예를 들어, 수직 구동 유닛(230)은 회전 가능한 드럼(drum)을 이용하여 복수의 벨트(belt)를 와인딩(winding)하거나 언와인딩(unwinding)하는 방식으로 핸드 유닛(220)을 승강시키도록 구성될 수 있다. 회전 구동 유닛(240)은 핸드 유닛(220)을 수직 방향의 축을 중심으로 회전시킬 수 있다. 수평 구동 유닛(250)은 핸드 유닛(220)을 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.The hand unit 220 may include a hand that grips and ungrips an object, and a hand support that supports the hand. The hand unit 220 may be moved up and down by the vertical driving unit 230 . For example, the vertical driving unit 230 is configured to lift the hand unit 220 by winding or unwinding a plurality of belts using a rotatable drum. It can be. The rotation driving unit 240 may rotate the hand unit 220 about an axis in a vertical direction. The horizontal driving unit 250 may move the hand unit 220 in the left and right directions.

이와 같은 호이스트 장치(200)는, 핸드 유닛(220)을 수직 구동 유닛(230)에 의하여 승강시키고, 수직 구동 유닛(230)을 회전 구동 유닛(240)에 의하여 수직 방향의 축을 중심으로 회전시키며, 회전 구동 유닛(240)을 수평 구동 유닛(250)에 의하여 좌우 방향으로 이동시킴으로써, 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품을 승강시키거나 회전시키거나 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.In such a hoist device 200, the hand unit 220 is moved up and down by the vertical drive unit 230, and the vertical drive unit 230 is rotated about a vertical axis by the rotation drive unit 240, By moving the rotary driving unit 240 in the left and right directions by the horizontal driving unit 250, the article gripped by the hand unit 220 can be raised, rotated, or moved in the left and right directions.

도 2 내지 도 4는 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품이 수용 공간(212)의 내부에 수용된 상태를 나타낸다. 도 2 내지 도 4에서와 같이, 물품 이송 차량(20)들은 물품을 목적하는 위치로 이송하기 위하여 물품 이송 경로(11, 12)를 따라 이동하는 동안 물품을 수용 공간(212)에 수용하여 물품을 보호할 수 있다.2 to 4 show a state in which an article gripped by the hand unit 220 is accommodated in the accommodation space 212 . As shown in FIGS. 2 to 4 , the article transfer vehicle 20 accommodates the article in the accommodation space 212 while moving along the article conveyance paths 11 and 12 to transport the article to a desired location to transport the article. can protect

도 6 및 도 7은 핸드 유닛(220)에 의하여 그립된 물품이 수용 공간(212)으로부터 수평 방향으로 이동되고 하측으로 이동되어 수용 공간(212)으로부터 벗어난 상태를 나타낸다.6 and 7 show a state in which an article gripped by the hand unit 220 moves horizontally from the accommodating space 212 and moves downward to escape from the accommodating space 212 .

도 2, 도 6, 도 7 등에서와 같이, 물품 이송 차량(20)들은 물품을 공정 설비(1), 버퍼(30), 스토커(35) 등으로부터 전달받거나 공정 설비(1), 버퍼(30), 스토커(35) 등에 전달하는 때에 물품을 수용 공간(212)의 내부와 외부 간에 이동시킬 수 있다.As shown in FIGS. 2, 6, and 7, the article transport vehicles 20 receive goods from the process equipment 1, the buffer 30, the stocker 35, etc., or the process equipment 1 and the buffer 30. , the article can be moved between the inside and outside of the accommodation space 212 when delivered to the stocker 35 or the like.

도 8 등을 참조하면, 물품 이송 차량(20)의 주행 방향을 기준으로 좌우 중에서 어느 한쪽이 제1 방향이고 나머지 한쪽이 제2 방향인 때, 제1 조향 레일(510)은 제1 방향을 향하는 쪽(예를 들어, 우측)에 조향 휠(170)과 수평으로 대향하는 조향 면이 마련되고, 제2 조향 레일(520)은 제2 방향을 향하는 쪽(예를 들어, 좌측)에 조향 휠(170)과 수평으로 대향하는 조향 면을 가진다.Referring to FIG. 8 and the like, when one of left and right sides is the first direction and the other side is the second direction based on the driving direction of the product transport vehicle 20, the first steering rail 510 is directed in the first direction. A steering surface horizontally opposed to the steering wheel 170 is provided on the side (eg, the right side), and the second steering rail 520 is provided on the side (eg, the left side) facing the second direction to the steering wheel (eg, the left side). 170) and has a steering surface facing horizontally.

조향 휠(170) 및 조향 휠 구동 모듈(180)은 조향 유닛을 구성한다. 조향 유닛은, 조향 휠(170)이 제1 조향 위치에 있는지 제2 조향 위치에 있는지에 따라 조향 휠(170)과 상기 제1 조향 레일(510) 사이 또는 조향 휠(170)과 제2 조향 레일(520) 사이에 조향을 위한 상호 작용적인 힘으로서 척력을 발생시키는 척력 발생 모듈을 더 포함하여 구성될 수 있다.The steering wheel 170 and the steering wheel driving module 180 constitute a steering unit. The steering unit is connected between the steering wheel 170 and the first steering rail 510 or between the steering wheel 170 and the second steering rail depending on whether the steering wheel 170 is in the first steering position or the second steering position. It may be configured to further include a repulsive force generating module that generates a repulsive force as an interactive force for steering between (520).

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 척력 발생 모듈은, 조향 휠(170)에 제공된 제1 자석(175), 그리고 제1 조향 레일(510) 및 제2 조향 레일(520)에 각각 제1 자석(175)과의 사이에 상호 작용적인 힘으로서 척력이 작용하도록 제공된 제2 자석(515, 525)을 포함한다.As shown in FIGS. 9 and 10 , the repulsive force generating module includes first magnets 175 provided on the steering wheel 170 and first steering rails 510 and second steering rails 520, respectively. and second magnets 515 and 525 provided so that a repulsive force acts as an interactive force between them and the magnet 175.

제1 자석(175)은 조향 휠(170)의 둘레 방향을 따라 고리 형상으로 제공된다. 일례로, 제1 자석(175)은 조향 휠(170)의 둘레 면을 구성하도록 제공될 수 있다. 제1 자석(175)은 극성이 내외로 상이하도록 구성된다. 예를 들어, 제1 자석(175)은 내측이 S극이고 외측이 N극일 수 있다.The first magnet 175 is provided in a ring shape along the circumferential direction of the steering wheel 170 . For example, the first magnet 175 may be provided to form a circumferential surface of the steering wheel 170 . The first magnet 175 is configured to have different polarities inside and outside. For example, the first magnet 175 may have an S pole on the inside and a N pole on the outside.

제2 자석(515, 525)은 각각 제1 조향 레일(510)의 조향 면의 길이 방향 및 제2 조향 레일(520)의 조향 면의 길이 방향을 따라 제공된다. 예를 들어, 제2 자석(515, 525)은 각각 제1 조향 레일(510)의 조향 면 및 제2 조향 레일(520)의 조향 면을 구성하도록 제공될 수 있다.The second magnets 515 and 525 are provided along the longitudinal direction of the steering surface of the first steering rail 510 and the longitudinal direction of the steering surface of the second steering rail 520 , respectively. For example, the second magnets 515 and 525 may be provided to constitute a steering surface of the first steering rail 510 and a steering surface of the second steering rail 520, respectively.

제2 자석(515, 525)은, 조향 시에, 제1 자석(175)과 대향하는 쪽이 제1 자석(175)의 외측의 극성과 동일한 극성을 가지도록 구성된다. 예를 들어, 제1 자석(175)의 외측이 N극이면, 제2 자석(515, 525)은 제1 자석과 대향하는 쪽이 N극이고 반대쪽이 S극으로 구성된다.The second magnets 515 and 525 are configured so that the side facing the first magnet 175 has the same polarity as the polarity of the outer side of the first magnet 175 during steering. For example, if the outer side of the first magnet 175 is an N pole, the second magnets 515 and 525 have an N pole on the opposite side of the first magnet and a S pole on the opposite side.

제1 자석(170)과 제2 자석(515, 525)은 모두 영구 자석일 수 있다. 제1 자석(170)과 제2 자석(515, 525) 중 적어도 어느 하나 이상은 영구 자석 대신 전자석이 적용될 수도 있다.Both the first magnet 170 and the second magnets 515 and 525 may be permanent magnets. At least one of the first magnet 170 and the second magnets 515 and 525 may be an electromagnet instead of a permanent magnet.

한편, 조향 휠 구동 모듈(180)은, 조향 시, 구동력을 이용하여 조향 휠(170)을 제2 조향 위치로부터 제1 조향 위치로 이동시키고, 탄성력을 이용하여 조향 휠(170)을 제1 조향 위치로부터 제2 조향 위치로 복귀시키도록 구성될 수 있다. 이에 의하면, 조향 휠(170)은 탄성력에 의하여 제2 조향 위치에 위치된 상태로 유지되고 구동력이 작용하는 때에 한하여 제1 조향 위치에 위치될 수 있다.Meanwhile, when steering, the steering wheel drive module 180 moves the steering wheel 170 from the second steering position to the first steering position using a driving force, and moves the steering wheel 170 to the first steering position using an elastic force. position to the second steer position. According to this, the steering wheel 170 is maintained at the second steering position by the elastic force and can be located at the first steering position only when the driving force acts.

조향 휠 구동 모듈(180)은 조향 휠(170)과 함께 조향 유닛을 구성한다. 조향 휠 구동 모듈(180)은 조향 휠(170)과 함께 이동되는 자성체, 조향 휠(170)을 제2 조향 위치로부터 제1 조향 위치로 이동시키기 위한 구동력으로서 자력을 자성체에 제공하는 전자석, 그리고 전자석의 자력 제공 작동이 중단되면 조향 휠(170)에 탄성력을 제공하여 조향 휠(170)을 제2 조향 위치로 복귀시키는 탄성 부재를 포함할 수 있다. 전자석은 조향 휠(170)이 제1 위치에 근접될수록 자력의 세기가 감소하도록 제어됨으로써 조향 휠(170)을 별도의 댐퍼 없이 보호할 수 있다. 자성체와 전자석 대신 솔레노이드 액추에이터가 적용될 수도 있다.The steering wheel driving module 180 together with the steering wheel 170 constitutes a steering unit. The steering wheel drive module 180 includes a magnetic body moving with the steering wheel 170, an electromagnet providing magnetic force to the magnetic body as a driving force for moving the steering wheel 170 from the second steering position to the first steering position, and the electromagnet. An elastic member may be included to return the steering wheel 170 to the second steering position by providing an elastic force to the steering wheel 170 when the operation of providing magnetic force is stopped. The electromagnet can protect the steering wheel 170 without a separate damper by controlling the intensity of magnetic force to decrease as the steering wheel 170 approaches the first position. A solenoid actuator may be applied instead of a magnetic body and an electromagnet.

본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 설비는, 제1 자석(175)이 조향 휠(170)에 제공되고, 조향 시 제1 자석(175)과 척력을 발생시키는 제2 자석(515, 525)이 제1, 2 조향 레일(510, 520)에 제공됨으로써, 조향 휠(170) 및 조향 레일(500)이 분기 영역(13A)이나 합류 영역(13B)에서 비히클(100)의 진행 방향을 서로 접촉되지 않는 비접촉 방식에 의하여 선택된 주행 경로로 안내할 수 있다.In the article transport facility according to an embodiment of the present invention, the first magnet 175 is provided on the steering wheel 170, and the first magnet 175 and the second magnets 515 and 525 generating a repulsive force during steering are By being provided on the first and second steering rails 510 and 520, the steering wheel 170 and the steering rail 500 do not contact each other in the traveling direction of the vehicle 100 in the diverging area 13A or the merging area 13B. It can be guided to the selected driving route by non-contact method.

이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은 각각 독립적으로 실시될 수도 있고 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.Although the present invention has been described above, the present invention is not limited by the disclosed embodiments and the accompanying drawings, and may be variously modified by a person skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention. In addition, the technical ideas described in the embodiments of the present invention may be implemented independently or two or more may be combined with each other.

10: 주행 레일
11: 제1 주행 경로
12: 제2 주행 경로
13A, 13B: 접속 영역(13A: 분기 영역, 13B: 합류 영역)
20: 물품 이송 차량
100: 비히클
110: 차체
120: 주행 휠
170: 조향 휠(조향 부재)
175: 제1 자석
180: 조향 휠 구동 모듈
200: 호이스트 장치
500: 조향 레일
510: 제1 조향 레일
515: 제2 자석
520: 제2 조향 레일
525: 제2 자석10: running rail
11: first driving route
12: Second driving route
13A, 13B: connection area (13A: branching area, 13B: joining area)
20: goods transfer vehicle
100: vehicle
110: body
120: driving wheel
170: steering wheel (steering member)
175: first magnet
180: steering wheel drive module
200: hoist device
500: steering rail
510: first steering rail
515 second magnet
520: second steering rail
525 second magnet

Claims (7)

서로 접속된 제1 경로와 제2 경로를 가지는 물품 이송 경로를 제공하는 주행 레일과;
상기 제1 경로와 상기 제2 경로가 접속된 접속 영역의 상방에 상기 제1 경로 및 상기 제2 경로를 따라 제공되는 제1 조향 레일 및 제2 조향 레일과;
상기 주행 레일을 따라 주행하고 상기 제1 조향 레일 또는 상기 제2 조향 레일을 이용하여 상기 접속 영역에서 조향을 행하는 물품 이송 차량을 포함하며,
상기 물품 이송 차량은,
좌우 이동 가능하여 이동 방향에 따라 상기 접속 영역에서 상기 제1 조향 레일의 조향 면과 수평으로 대향하는 제1 위치 또는 상기 제2 조향 레일의 조향 면과 수평으로 대향하는 제2 위치에 위치되는 조향 부재와; 상기 조향 부재의 위치에 따라 상기 조향 부재와 상기 제1 조향 레일 사이 또는 상기 조향 부재와 상기 제2 조향 레일 사이에 조향을 위한 척력을 발생시키는 척력 발생 모듈을 포함하는 조향 유닛이, 상부에 제공된,
물품 이송 설비.a running rail providing an article transport path having a first path and a second path connected to each other;
first steering rails and second steering rails provided along the first path and the second path above a connection area where the first path and the second path are connected;
An article transport vehicle traveling along the running rail and performing steering in the connection area using the first steering rail or the second steering rail,
The goods transport vehicle,
The steering member is movable left and right and is located in a first position horizontally opposite to the steering surface of the first steering rail or a second position horizontally opposite to the steering surface of the second steering rail in the connection area according to the moving direction. and; A steering unit including a repulsive force generating module for generating a repulsive force for steering between the steering member and the first steering rail or between the steering member and the second steering rail according to the position of the steering member provided thereon,
Goods transfer facility. 청구항 1에 있어서,
상기 척력 발생 모듈은,
상기 조향 부재에 제공된 제1 자석과;
상기 제1 조향 레일과 상기 제2 조향 레일에 각각 상기 제1 자석과의 사이에 척력이 작용하도록 제공된 제2 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는,
물품 이송 설비.The method of claim 1,
The repulsive force generating module,
a first magnet provided on the steering member;
Characterized in that the first steering rail and the second steering rail each include a second magnet provided so that a repulsive force acts between the first magnet and the second magnet.
Goods transfer facility. 청구항 2에 있어서,
상기 제1 자석은 영구 자석 또는 전자석인 것을 특징으로 하는,
물품 이송 설비.The method of claim 2,
Characterized in that the first magnet is a permanent magnet or an electromagnet,
Goods transfer facility. 청구항 2에 있어서,
상기 제2 자석은 영구 자석 또는 전자석인 것을 특징으로 하는,
물품 이송 설비.The method of claim 2,
Characterized in that the second magnet is a permanent magnet or an electromagnet,
Goods transfer facility. 청구항 2에 있어서,
상기 제1 자석은 상기 조향 부재의 둘레 방향을 따라 링 형상으로 제공되고,
상기 제2 자석은 각각 상기 제1 조향 레일의 조향 면의 길이 방향과 상기 제2 조향 레일의 조향 면의 길이 방향을 따라 제공된 것을 특징으로 하는,
물품 이송 설비.The method of claim 2,
The first magnet is provided in a ring shape along the circumferential direction of the steering member,
Characterized in that the second magnets are provided along the longitudinal direction of the steering surface of the first steering rail and the longitudinal direction of the steering surface of the second steering rail, respectively.
Goods transfer facility. 청구항 5에 있어서,
상기 조향 부재는 상하 방향의 축을 중심으로 회전 가능한 휠인 것을 특징으로 하는,
물품 이송 설비.The method of claim 5,
Characterized in that the steering member is a wheel rotatable about an axis in the vertical direction,
Goods transfer facility. 청구항 1에 있어서,
상기 조향 유닛은,
구동력을 이용하여 상기 조향 부재를 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 중 어느 하나로부터 다른 하나로 이동시키고,
탄성력을 이용하여 복귀시키도록 구성된 것을 특징으로 하는,
물품 이송 설비.The method of claim 1,
The steering unit,
moving the steering member from one of the first position and the second position to another using a driving force;
Characterized in that it is configured to return using an elastic force,
Goods transfer facility.
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