KR20230083693A - 진공단열체, 진공단열체의 제조방법, 진공단열체 제조장치 - Google Patents

진공단열체, 진공단열체의 제조방법, 진공단열체 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 진공단열체는, 제 1 플레이트; 제 2 플레이트; 및 진공공간부를 제공할 수 있도록 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 밀봉하는 밀봉부를 포함할 수 있다. 선택적으로, 상기 밀봉부는 내부식성이 향상될 수 있다.

Description

진공단열체, 진공단열체의 제조방법, 진공단열체 제조장치{Vacuum adiabatic body, fabrication method for the same, and fabrication apparatus for the same}
본 발명은 진공단열체, 진공단열체의 제조방법, 진공단열체 제조장치에 관한 것이다.
진공으로 단열벽을 구성하여 단열성능을 향상시킬 수 있다. 내부공간의 적어도 일부가 진공으로 이루어지고 단열효과를 얻는 형성하는 장치를 진공단열체라고 할 수 있다.
출원인은 다양한 장치 및 가전기기에 사용이 가능한 진공단열체를 얻기 위하여 기술을 개발하였고, 대한민국출원번호 10-2015-0109724 및 10-2015-0109722의 진공단열체를 개시한 바가 있다.
상기 인용문헌에는 진공공간부를 제공하기 위하여 다수의 부재를 체결한다. 구체적으로, 제 1 플레이트부재, 전도저항쉬트, 사이드 플레이트, 및 제 2 플레이트를 서로 밀봉한다. 상기 각 부재의 체결부를 밀봉하기 위해서는 밀봉공정을 수행한다. 상기 밀봉공정에 발생하는 작은 공정실수는 진공파괴로 이어진다.
대한민국출원번호 10-2015-0109724호, 진공단열체 대한민국출원번호 10-2015-0109722호, 진공단열체
본 발명은 상기되는 문제를 해소하기 위한 것으로서, 신뢰성이 향상되는 진공단열체를 제안한다. 본 발명은 다양한 기술적 과제는 실시예의 설명에 상세하게 개시한다.
본 발명에 따른 진공단열체는, 제 1 플레이트; 제 2 플레이트; 및 진공공간부를 제공할 수 있도록 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 밀봉하는 밀봉부를 포함할 수 있다. 선택적으로, 상기 밀봉부는 용접되는 용접부일 수 있다.
선택적으로, 상기 용접부 단면의 외곽선은 적어도 하나의 변곡점을 가질 수 있다. 선택적으로, 상기 변곡점은 곡선의 곡률중심의 방향이 바뀌는 지점 또는 비연속점(non-linear point)일 수 있다. 선택적으로, 상기 곡선에는 제 1 변곡점, 및 상기 제 1 변곡점에서 이격하는 제 2 변곡점을 가질 수 있다. 선택적으로, 상기 제 1, 2 변곡점의 사이에는 가로방향으로 연장하는 가로연장부가 제공될 수 있다.
상기 용접부의 첨점, 상기 용접부의 상단크기(B), 상기 가로연장부의 크기(C), 및 상기 첨점과 제 1 변곡점의 각도(θ)를 정의할 수 있다. 선택적으로, 적어도 하나의 절단면은, A/B는 0.5보다 크고 0.9보다 작을 수 있다. 선택적으로, 적어도 하나의 절단면은, C/A는 0보다 크고 0.2보다 작을 수 있다. 선택적으로, 적어도 하나의 절단면은, C/A가 0.2이상인 영역이 5%이하일 수 있다. 선택적으로, 적어도 하나의 절단면은, θ가 30도보다 크고 70도보다 작을 수 있다.
선택적으로, A/B는 0.5보다 크고 0.9보다 작은 상기 절단면의 영역의 비율이 0.8이상일 수 있다. 선택적으로, C/A는 0보다 크고 0.2보다 작은 상기 절단면의 영역의 비율이 0.8이상일 수 있다. 선택적으로, θ가 30도보다 크고 70도보다 작은 상기 절단면의 영역의 비율이 0.8이상일 수 있다.
선택적으로, 상기 용접부의 용접부 깊이의 표준편차와 상기 용접부 깊이의 비가 0.5이하일 수 있다.
본 발명에 따른 진공단열체의 제조방법에는, 진공단열체에 적용되는 부품을 제작하는 진공단열체 부품준비단계; 상기 부품을 조립하는 진공단열체 부품조립단계; 진공공간부를 외부공간과 차단하기 위하여 진공공간부의 외벽을 밀봉하는 진공단열체 부품밀봉단계; 상기 진공공간부의 내부 공기를 배기하는 진공단열체 진공배기단계; 및 상기 진공단열체를 이용하여 장치를 제공하는 장치조립단계가 포함될 수 있다. 선택적으로, 상기 밀봉된 밀봉부는 용접부로 제공되고, 상기 용접부의 용접공정은 트렌지언트 모드에서 수행될 수 있다.
선택적으로, 상기 용접부에 인가되는 레이저의 에너지 밀도(J/㎠)는 1,000 이상 10,000이하일 수 있다. 선택적으로, 상기 용접부에 인가되는 레이저의 에너지 밀도(J/㎠)는 1,000이상 20,000이하일 수 있다. 선택적으로, 상기 용접부에 인가되는 레이저의 에너지 밀도(J/㎠)는 1,000이상 15,000이하일 수 있다. 선택적으로, 상기 용접부에서 인가되는 레이저의 에너지 밀도(J/㎠)는 1,000이상 8,000이하일 수 있다.
상기 용접시에 출력이 먼저 인가되는 제 1 플레이트, 및 상기 제 1 플레이트 하측의 제 2 플레이트가 포함될 수 있다. 선택적으로, 상기 제 1 플레이트의 두께 대비 상기 용접부의 깊이는 100~500%일 수 있다. 선택적으로, 상기 제 1 플레이트의 두께 대비 상기 용접부의 깊이는 100~400%일 수 있다. 선택적으로, 상기 제 1 플레이트의 두께 대비 상기 용접부의 깊이는 110~300%일 수 있다. 선택적으로, 상기 제 1 플레이트의 두께 대비 상기 용접부의 깊이는 150~300%일 수 있다.
선택적으로, 레이저빔의 빔직경은 100마이크로미터 이상 200마이크로미터 이하일 수 있다. 선택적으로, 레이저짐의 레이저 이동 속도는 7~15m/min일 수 있다. 레이저빔의 출력이 200~800W일 수 있다.
상기 밀봉부는 밀봉되는 길이 방향에 따라 형성되는 복수의 절단면을 포함할 수 있다. 선택적으로, 상기 복수의 절단면 형상 중 적어도 하나는 A/B ≥ 0.8일 수 있다. 선택적으로, 밀봉 중에 쉴드가스의 분사유량은 2리터/min이하일 수 있다. 선택적으로, 상기 A/B ≥ 0.8의 관계를 만족하는 영역이 80%이상 일 수 있다. 선택적으로, 상기 쉴드가스의 분사 유량은 2리터/min일 수 있다. 선택적으로, 상기 밀봉 중에 쉴드가스의 분사유속은 2.65m/sec이하일 수 있다. 선택적으로, 상기 쉴드가스의 분사유속은 2.65m/sec인 진공단열체의 제조방법.
선택적으로, 상기 밀봉부는 제 1 플레이트와 제 2 플레이틀 겹쳐서 용접하는 용접부로 제공될 수 있다. 선택적으로, 상기 용접부는 레이저 용접에 의해서 제공될 수 있다. 선택적으로, 상기 레이저의 빔직경(D)과 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 0.5
Figure pat00001
(D/t1)
Figure pat00002
1 을 만족할 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)와 상기 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 2
Figure pat00003
(t2/t1)
Figure pat00004
20을 만족할 수 있다. 선택적으로, 상기 레이저의 빔직경(D)과 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 0.5
Figure pat00005
(D/t1)
Figure pat00006
3을 만족할 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)와 상기 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 1
Figure pat00007
(t2/t1)
Figure pat00008
2를 만족할 수 있다. 선택적으로, 상기 레이저의 빔직경(D)과 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 1
Figure pat00009
(D/t1)
Figure pat00010
10을 만족할 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)와 상기 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 2
Figure pat00011
(t2/t1)
Figure pat00012
20를 만족할 수 있다. 선택적으로, 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계가 a1
Figure pat00013
(D/t1)
Figure pat00014
b1을 만족할 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)와 상기 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 1
Figure pat00015
(t2/t1)
Figure pat00016
2를 만족할 수 있다. 선택적으로, 상기 레이저 빔직경(D)과 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 a2
Figure pat00017
(D/t1)
Figure pat00018
b2를 만족할 수 있다. 선택적으로, a1 < a2 및/또는 b1<b2를 만족할 수 있다.
본 발명에 따른 진공단열체는 높은 단열효과를 오랫동안 유지할 수 있다. 본 발명의 다양한 효과는 실시예의 설명에 더 상세하게 개시한다.
도 1은 실시예에 따른 냉장고의 사시도.
도 2는 냉장고의 본체 및 도어에 사용되는 진공단열체를 개략적으로 나타내는 도면.
도 3은 진공공간부를 유지하는 서포트의 실시예를 보이는 도면.
도 4는 열전달저항체를 중심으로 하는 진공단열체의 실시예를 설명하는 도면.
도 5는 서포트가 사용되는 경우에 진공단열체의 내부를 배기하는 공정을 시간과 압력으로 관찰하는 그래프.
도 6은 진공압과 가스전도도를 비교하는 그래프.
도 7은 진공공간부의 다양한 실시예를 보이는 도면.
도 8는 추가적인 단열체를 설명하는 도면.
도 9는 온도가 다른 제 1, 2 플레이트 사이의 열전달경로를 설명하는 도면.
도 10은 온도가 다른 제 1, 2 플레이트 사이의 열전달경로 상의 분지부를 설명하는 도면.
도 11는 진공단열체의 제조방법을 설명하는 도면.
도 12는 진공단열체에서 관이 설치되는 코너부 위의 확대사시도.
도 13는 제 1 플레이트의 관통공을 가공하는 방법을 설명하는 도면.
도 14는 도 12(b)의 1-1'의 단면도.
도 15는 플랜지가 진공공간부의 바깥쪽을 향하여 연장하는 실시예를 보이는 도면.
도 16 내지 도 18은 진공단열체를 제작하는 방법을 설명하는 도면.
도 19는 실시예에 따른 진공단열체의 사시도.
도 20은 상기 강도보강부와 상기 밀봉부의 관계를 상세하게 보이는 도면.
도 21은 위치에 따라서 다른 강도보강부의 실시예를 보이는 도면.
도 22는 강도보강부의 제공방법에 따라서 다른 강도보강부의 실시예를 보이는 도면.
도 23은 포밍된 강도보강부의 작용에 대하여 설명하는 도면.
도 24는 관이 설치되는 제 1 플레이트의 일 부분을 확대한 도면.
도 25는 강도보강부를 중심으로 진공단열체를 진공단열체의 두께방향으로 절단한 단면사시도.
도 26은 강도보강부를 설명하는 진공단열체의 단면도.
도 27은 진공단열체의 평면도.
도 28은 국소전해연마공정의 전체 공정을 설명하는 도면.
도 29는 제 1 전극장치와 진공단열체의 접속을 보이는 사시도.
도 30은 제 1 전극장치와 진공단열체의 접속을 보이는 평면도.
도 31은 전해연마작용을 설명하는 도면.
도 32는 혼합물을 도포하는 제 2 단계공정을 예시하는 진공단열체의 부분평면도.
도 33은 단위지점당 받는 에너지 총량과 용접부의 깊이의 관계 그래프.
도 34는 레이저의 조사를 설명하는 도면.
도 35는 용잎깊이와 인장강도의 관계 그래프.
도 36은 실시예의 용접조건을 설명하는 그래프.
도 37은 에너지 밀도와 용접부 깊이의 표준편차와 용접부깊이의 비를 비교하는 그래프.
도 38은 용접부깊이의 평균과 표준편차의 관계 및 에너지밀도의 관계를 나타내는 그래프.
도 39는 트렌지언트 모드의 용접부의 단면과 그를 위한 쉴드가스의 유량을 보이는 도면.
도 40은 쉴드가스의 유량에 따른 용접불량의 발생빈도(a)와 산화막의 발생빈도(b)를 관찰한 그래프.
도 41은 쉴드가스의 유량과 용접부깊이의 산포를 비교하는 그래프.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 이하에 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 구성요소나 구성요소에 대한 한정사항의 부가, 변경, 삭제, 및 추가 등에 의해서 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명 사상의 범위 내에 포함된다고 할 것이다. 본 발명은, 그 사상이 구현되는 많은 실시예를 가질 수 있고, 각 실시예는, 어느 일 부분이 다른 실시예의 대응되는 부분 또는 연관작용을 하는 부분으로 치환될 수 있다. 본 발명은, 아래에서 제시되는 예들 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다.
본 발명은, 제 1 플레이트; 제 2 플레이트; 상기 제 1, 2 플레이트 사이에 형성된 진공공간부; 상기 진공 상태의 공간부(진공공간부, vacuum space)을 제공하기 위한 밀봉부(seal)를 포함하는 진공단열체(vacuum adiabatic body)일 수 있다. 상기 진공공간부는 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이의 내부공간에 제공되는 진공상태의 공간일 수 있다. 상기 밀봉부는 진공 상태로 제공되는 내부공간을 제공하도록 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 밀봉할 수 있다. 상기 진공단열체는 선택적으로 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 연결하는 사이드 플레이트를 포함할 수 있다. 본 발명에서, 플레이트라는 표현은 상기 제 1, 2 플레이트 및 상기 사이드 플레이트 중 적어도 하나를 의미할 수 있다. 상기 제 1, 2 플레이트 및 사이드 플레이트는 적어도 일부가 일체로 형성되거나 적어도 일부가 서로 밀봉될 수 있다. 선택적으로, 상기 진공단열체는 상기 진공공간부를 유지하는 서포트(Support)를 포함할 수 있다. 상기 진공단열체는 선택적으로 상기 제 1 플레이트의 인근에 제공되는 제 1 공간과 상기 제 2 플레이트의 인근에 제공되는 제 2 공간 간의 열전달량을 감소시키거나, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 간의 열전달량을 감소시키기 위한 열전달저항체(thermal insulator)를 포함할 수 있다. 선택적으로 상기 진공단열체는 상기 플레이트의 적어도 일부에 형성되는 부품체결부를 포함할 수 있다. 선택적으로 상기 진공단열체는 추가적인 단열체(another adiabatic body)를 포함할 수 있다. 상기 추가적인 단열체는 상기 진공단열체에 연결되도록 제공될 수 있다. 상기 추가적인 단열체는 상기 진공단열체와 진공도가 같거나 다른 단열체 일 수 있다. 상기 추가적인 단열체는 상기 진공단열체보다 진공도나 낮거나 그 내부에 진공상태인 부분을 포함하지 않는 단열체일 수 있다. 이 경우, 상기 추가적인 단열체에 다른 물체를 연결하는데 유리할 수 있다.
본 발명에서, 상기 진공공간부를 정의하는 벽을 따르는 방향은, 상기 진공공간부의 길이방향과 상기 진공공간부의 높이방향을 포함할 수 있다. 상기 진공공간부의 높이 방향은, 상기 진공공간부를 관통하면서 후술할 제 1 공간과 제 2 공간을 연결하는 가상선 중 어느 하나의 방향으로 정의될 수 있다. 상기 진공공간부의 길이 방향은, 상기 설정된 진공공간부의 높이 방향에 대해 수직인 방향으로 정의될 수 있다. 본 발명에서, 물체 A가 물체 B에 연결(connect)된다는 것은, 물체 A의 적어도 일부와 물체 B의 적어도 일부가 직접 연결되거나, 물체 A의 적어도 일부와 물체 B의 적어도 일부가 상기 물체 A, B 사이에 개재된 매개체(intermedium)를 통해 연결되는 것으로 정의할 수 있다. 상기 매개체는 물체 A와 물체 B 중 적어도 하나에 제공될 수 있다. 상기 연결은, 상기 물체A는 상기 매개체에 연결되고, 상기 매개체는 상기 물체B에 연결되는 것을 포함할 수 있다. 상기 매개체의 일부는, 물체A와 물체B 중 어느 하나에 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 매개체의 다른 일부는, 물체A와 물체B 중 다른 하나에 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 변형예로, 물체 A가 물체 B에 연결된다는 것은, 물체 A와 물체 B가 전술한 방법으로 연결된 형상으로 일체로 준비되는 것을 포함할 수 있다. 본 발명에서, 상기 연결의 실시예가 후술할 지지(support), 결합(combine), 밀봉(seal)일 수 있다. 본 발명에서, 물체 A가 물체 B에 의해 지지(support)된다는 것은, 물체 A가 물체 B에 의해 +X, -X, +Y, -Y, +Z, 및 -Z축 방향 중 하나 이상의 방향으로 이동이 제한된다는 것을 정의할 수 있다. 본 발명에서, 상기 지지의 실시예가 후술할 결합, 밀봉일 수 있다. 본 발명에서, 물체 A가 물체 B에 결합(combine)된다는 것은, 물체 A가 물체 B에 의해 X, Y, 및 Z축 방향 중 하나 이상의 방향으로 이동이 제한된다는 것을 정의할 수 있다. 본 발명에서, 상기 결합의 실시예가 후술할 밀봉일 수 있다. 본 발명에서, 물체 A가 물체 B에 밀봉(seal)된다는 것은, 상기 물체 A와 물체 B가 연결된 부분에서 유체의 이동이 허용되지 않는 상태를 정의할 수 있다. 본 발명에서, 하나 이상의 물체, 즉, 물체 A 및 물체 B의 적어도 일부는, 물체 A의 일부, 물체 A의 전체, 물체 B의 일부, 물체 B의 전체, 물체 A의 일부와 물체 B의 일부, 물체 A의 일부와 물체 B의 전체, 물체 A의 전체와 물체 B의 일부, 및 물체 A의 전체와 물체 B의 전체를 포함하는 것으로 정의할 수 있다. 본 발명에서, 플레이트A가 공간A을 정의하는 벽일 수 있다는 것은, 플레이트A의 적어도 일부가 공간A의 적어도 일부를 형성하는 벽일 수 있다는 것으로 정의할 수 있다. 즉 플레이트A의 적어도 일부가 공간A를 형성하는 벽이거나 플레이트A가 공간A의 적어도 일부를 형성하는 벽일 수 있다. 본 발명에서, 상기 물체의 중앙부는 상기 물체의 길이방향을 기준으로 상기 물체를 3등분할 경우에, 상기 3등분된 부분 중 중앙에 위치하는 부분으로 정의할 수 있다. 상기 물체의 주변부는 상기 3등분된 부분 중 상기 중앙부의 좌측이나 우측에 위치하는 부분으로 정의할 수 있다. 상기 물체의 주변부는 상기 중앙부와 접하는 면과 그 반대편의 면을 포함할 수 있다. 그 반대편의 면을 상기 물체의 테두리 혹은 에지로 정의할 수 있다. 상기 물체의 예로는, 본 발명에서 소개될 진공단열체, 플레이트, 열전달저항체, 서포트, 진공공간부 및 각종 부품일 수 있다. 본 발명에서 열전달저항도(Degree of heat transfer resistance)는, 물체가 열전달에 저항하는 정도를 나타내는 것으로, 물체의 두께를 포함한 형상, 물체의 재질, 및 물체의 가공방법 등에 의해 결정되는 값으로 정의할 수 있다. 상기 열전달저항도는 전도저항도 (Degree of conduction resistance), 복사저항도(Degree of radiation resistance) 및 대류저항도(Degree of convection resistance의 합으로 정의될 수 있다. 본 발명의 진공단열체는, 서로 온도가 다른 공간사이에 형성되는 열전달경로를 포함하거나, 서로 온도가 다른 플레이트 사이에 형성되는 열전달경로를 포함할 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 진공단열체는, 온도가 낮은 플레이트로부터 온도가 높은 플레이트를 향해 콜드(Cold)가 전달되는 열전달경로를 포함할 수 있다. 본 발명에서, 곡선부는, 물체가 제1방향으로 연장되는 제 1 부분과 상기 물체가 상기 제1방향과는 다른 제2방향으로 연장되는 제 2 부분을 포함할 경우, 상기 제 1 부분과 상기 제 2 부분을 연결하는 부분으로 정의할 수 있다(90도 포함).
본 발명에서, 진공단열체는 선택적으로 부품체결부를 포함할 수 있다. 상기 부품체결부는 플레이트에 제공되어 부품이 연결되는 부분으로 정의할 수 있다. 상기 플레이트에 연결되는 부품은, 상기 플레이트의 적어도 일부를 관통하도록 배치되는 관통부품과 상기 플레이트의 적어도 일부의 표면에 연결되도록 배치되는 표면부품으로 정의할 수 있다. 상기 부품체결부에 관통부품 및 표면부품 중 적어도 하나가 연결될 수 있다. 상기 관통부품은, 주로 유체(전기, 냉매, 물, 및 공기 등)가 통과하는 경로를 형성하는 부품일 수 있다. 본 발명에서 유체는 흐르는 모든 종류의 물체로 정의된다. 상기 유체는 이동하는 고체, 액체 및 기체 및 전기 등을 포함한다. 일 예로, 상기 부품은, SLHX(Suction LIne Heat Exchanger)나 냉매관과 같이 열교환을 위한 냉매가 통과하는 경로를 형성하는 부품일 수 있다. 상기 부품은 장치(Apparatus)에 전기를 공급하는 전선일 수 있다. 또 다른 예로, 상기 부품은 냉기덕트, 열기덕트, 및 배기포트 등과 같이 공기가 통과할 수 있는 경로를 형성하는 부품일 수 있다. 또 다른 예로, 상기 부품은 냉각수, 온수, 얼음, 및 제상수 등과 같은 유체가 통과할 수 있는 경로일 수 있다. 상기 표면부품은, 주변부 단열재, 사이드 패널, 주입되는 발포폼, 미리 준비된 수지, 힌지, 래치, 바스켓, 서랍, 선반, 조명, 센서, 증발기, 전면데코, 및 핫라인, 히터, 외장커버, 추가적인 단열체 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 진공단열체가 적용된 예로, 본 발명은 상기 진공단열체를 가지는 장치(apparatus)를 포함할 수 있다. 상기 장치의 예로 기기(appliance)를 들 수 있다. 상기 기기(appliance)의 예로, 냉장고(refrigerator), 조리기기(cooking appliance), 세탁기기(washing machine), 식기세척기(dishwasher), 및 공조기(air conditioner) 등을 포함하는 가전기기(home appliance)를 들 수 있다. 상기 진공단열체가 기기에 적용된 예로, 상기 진공단열체는 기기의 본체 및 도어의 적어도 일부를 이룰 수 있다. 상기 도어의 예로, 상기 진공단열체는 상기 본체에 직접 접하는 일반도어 및 도어 인 도어(DID)의 적어도 일부를 이룰 수 있다. 여기서, 상기 도어 인 도어는 상기 일반도어 안에 놓이는 작은 도어를 의미할 수 있다. 상기 진공단열체가 적용된 다른 예로, 본 발명은 상기 진공단열체를 가지는 벽(wall)을 포함할 수 있다. 상기 벽의 예로 창문을 포함한 건축물의 벽을 들 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 구체적으로 설명한다. 실시예와 동반되는 각 도면은, 실제 물품과는 다르거나 과장되거나 간단하게 표시될 수 있고, 세밀한 부품은 특징부가 간략하게 표시될 수 있다. 실시예는 도면에 제시되는 크기와 구조와 형상 만으로 제한되어 해석되지 않아야 한다. 각 도면에 동반하는 실시예에 있어서, 설명이 서로 충돌하지 않는다면, 어느 실시예의 도면의 일부 구성이 다른 실시예의 도면의 일부 구성에 적용될 수 있고, 어느 실시예의 일부 구조가 다른 실시예의 일부 구조에 적용될 수 있다. 실시예를 위한 도면 설명에서 실시예를 이루는 특정 구성요소의 부호는, 서로 다른 도면에 대해서도 같은 부호가 부여될 수 있다. 같은 도면번호를 가지는 구성요소는 같은 기능을 수행할 수 있다. 예를 들어, 진공단열체를 이루는 제 1 플레이트는, 모든 실시예를 걸쳐서 제 1 공간에 대응하는 부분을 가지고 도면번호 10으로 지시한다. 상기 제 1 플레이트는 모든 실시예에 대하여 동일한 번호를 가지고, 제 1 공간에 대응하는 부분을 가질 수 있지만, 상기 제 1 플레이트의 형상은 각 실시예에서 달라질 수 있다. 상기 제 1 플레이트뿐만 아니라, 사이드 플레이트, 제 2 플레이트, 및 추가적인 단열체 등도 마찬가지로 이해할 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 냉장고의 사시도이고, 도 2는 냉장고의 본체 및 도어에 사용되는 진공단열체를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 냉장고(1)에는 저장물을 저장할 수 있는 캐비티(9)가 제공되는 본체(2)와, 상기 본체(2)를 개폐하도록 마련되는 도어(3)를 포함된다. 상기 도어(3)는 회동 또는 슬라이딩 가능하게 배치되어 캐비티(9)를 개폐할 수 있다. 상기 캐티비(9)는 냉장실 및 냉동실 중의 적어도 하나를 제공할 수 있다. 상기 캐비티에 냉기(Cold)를 공급하는 냉원(Cold source)가 마련될 수 있다. 일례로, 상기 냉원은 냉매를 증발시켜 열을 빼앗는 증발기(7)일 수 있다. 상기 증발기(7)는 상기 냉원에 상기 증발된 냉매를 압축하는 압축기(4)와 연결될 수 있다. 상기 증발기(7)는 상기 냉원에 상기 압축된 냉매를 응축하는 응축기(5)가 연결될 수 있다. 상기 증발기(7)는 상기 냉원에 상기 응축된 냉매를 팽창시키는 팽창기(6)와 연결될 수 있다. 상기 증발기 및 상기 응축기에 대응하는 팬이 마련되어 열교환작용을 촉진시킬 수 있다. 다른 예로, 상기 냉원은 열전소자의 흡열면일 수 있다. 상기 열전소자의 흡열면에 흡열싱크가 연결될 수 있다. 상기 열전소자의 방열면에 방열싱크가 연결될 수 있다. 상기 흡열면 및 상기 발열면에 대응하는 팬이 마련되어 열교환작용을 촉진시킬 수 있다.
도 2를 참조하면, 플레이트(10,15,20)는, 상기 진공공간부를 정의하는 벽일 수 있다. 상기 플레이트는 상기 진공공간부와 상기 진공공간부의 외부공간을 구획하는 벽일 수 있다. 상기 플레이트의 예는 아래와 같다. 본 발명은 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다.
상기 플레이트는 하나의 부분으로 제공되거나 서로 연결되는 적어도 두 개의 부분을 포함하도록 제공될 수 있다. 첫째 예로, 상기 플레이트는 상기 진공공간부를 정의하는 벽을 따르는 방향으로 서로 연결되는 적어도 두 개의 부분을 포함할 수 있다. 상기 두 개의 부분 중 어느 하나는, 상기 진공공간부를 형성하는 부분 (예, 제1부분)을 포함할 수 있다. 상기 제1부분은 하나의 부분이거나 서로 밀봉되는 적어도 두 개의 부분을 포함할 수 있다. 상기 두 개의 부분 중 다른 하나는, 상기 제 1 플레이트의 제1부분으로부터 상기 진공공간부와 멀어지는 방향으로 연장되거나 상기 진공공간부의 내부방향으로 연장되는 부분 (예, 제2부분)을 포함할 수 있다. 두번째 예로, 상기 플레이트는 상기 플레이트의 두께방향으로 서로 연결되는 적어도 두 개의 층을 포함할 수 있다. 상기 두 개의 층 중 어느 하나는, 상기 진공공간부를 형성하는 층 (예, 제1부분)을 포함할 수 있다. 상기 두 개의 층 중 다른 하나는, 상기 진공공간부의 외부공간 (예, 제1공간, 제2공간)에 제공되는 부분 (예, 제2부분)을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제2부분은 상기 플레이트의 외측커버로 정의할 수 있다. 상기 두 개의 층 중 다른 하나는, 상기 진공공간부에 제공되는 부분 (예, 제2부분)을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제2부분은 상기 플레이트의 내측커버로 정의할 수 있다.
상기 플레이트는, 제 1 플레이트(10) 및 제 2 플레이트(20)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 플레이트의 일면(“제 1 플레이트의 내면”)은 상기 진공공간부를 정의하는 벽을 제공하고, 상기 제 1 플레이트의 다른 면(“제 1 플레이트의 외면”)은 제1공간을 정의하는 벽을 제공할 수 있다. 상기 제1공간은 상기 제 1 플레이트의 인근에 제공되는 공간이거나 상기 장치가 형성하는 공간이거나 상기 장치의 내부공간일 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 플레이트를 내측케이스로 칭할 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 추가적인 부재가 상기 내부공간을 형성하는 경우에는 상기 제 1 플레이트와 상기 추가적인 부재를 내측케이스로 칭할 수 있다. 상기 내측케이스는 두 개 이상의 층을 포함할 수 있다. 이 경우, 복수의 층 중 하나를 내측패널로 칭할 수 있다. 상기 제 2 플레이트의 일면(“제 2 플레이트의 내면”)은 상기 진공공간부를 정의하는 벽을 제공하고, 상기 제 2 플레이트의 다른 면(“제 2 플레이트의 외면”)은 제2공간을 정의하는 벽을 제공할 수 있다. 상기 제2공간은 상기 제 2 플레이트의 인근에 제공되는 공간이거나 상기 장치가 형성하는 다른 하나의 공간이거나 상기 장치의 외부공간일 수 있다. 이 경우, 상기 제 2 플레이트를 외측케이스로 칭할 수 있다. 상기 제 2 플레이트와 추가적인 부재가 상기 외부공간을 형성할 경우에는 상기 제 2 플레이트와 상기 추가적인 부재를 외측케이스로 칭할 수 있다. 상기 외측케이스를 두 개 이상의 층을 포함할 수 있다. 이 경우, 복수의 층 중 하나를 외측패널로 칭할 수 있다. 상기 제 2 공간은 상기 제 1 공간보다 온도가 높은 공간이거나 상기 제 1 공간보다 온도가 낮은 공간일 수 있다. 선택적으로 상기 플레이트는 사이드 플레이트(15)를 포함할 수 있다. 도 2에서, 사이드 플레이트는 배치되는 위치에 따라, 후술할 전도저항쉬트(60)의 기능도 수행할 수 있다. 상기 사이드 플레이트는, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이에 형성된 공간의 높이 방향으로 연장된 부분을 포함하거나, 상기 진공공간부의 높이방향으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 사이드 플레이트의 일면은 상기 진공공간부를 정의하는 벽을 제공하고, 상기 사이드 플레이트의 다른 면은 상기 진공공간부의 외부공간을 정의하는 벽을 제공할 수 있다. 상기 진공공간부의 외부공간은, 상기 제1공간 및 상기 제2공간 중 적어도 하나이거나, 후술할 추가적 단열재가 배치되는 공간일 수 있다. 상기 사이드 플레이트는 상기 제 1 플레이트 및 상기 제 2 플레이트 중 적어도 하나가 연장되어 일체로 형성되거나 상기 제 1 플레이트 및 상기 제 2 플레이트 중 적어도 하나에 연결되는 별도의 부품일 수 있다.
상기 플레이트는 선택적으로 곡선부를 포함할 수 있다. 본 발명에서, 곡선부를 포함하는 플레이트를 절곡 플레이트라 칭할 수 있다. 상기 곡선부는, 상기 제 1 플레이트, 제 2 플레이트, 사이드 플레이트, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이, 상기 제 1 플레이트와 상기 사이드 플레이트 사이, 및 상기 제 2 플레이트와 상기 사이드 플레이트 사이 중 적어도 하나에 제공될 수 있다. 상기 플레이트는 제1곡선부 및 제2곡선부 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 그 예는 다음과 같다. 첫째로, 상기 사이드 플레이트는 상기 제 1 곡선부를 포함할 수 있다. 상기 제 1 곡선부의 일부는 상기 제 1 플레이트에 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 제 1 곡선부의 다른 일부가 제 2 곡선부에 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 이 경우는, 상기 제 1 곡선부와 상기 제 2 곡선부의 곡률반경이 큰 경우일 수 있다. 상기 제 1 곡선부의 다른 일부는 상기 제 1 곡선부와 상기 제 2 곡선부 사이에 제공되는 추가적인 직선부나 추가적인 곡선부와 연결될 수 있다. 이 경우는, 상기 제 1 곡선부와 상기 제 2 곡선부의 곡률반경이 작은 경우일 수 있다. 둘째, 상기 사이드 플레이트는 상기 제 2 곡선부를 포함할 수 있다. 상기 제 2 곡선부의 일부는 상기 제 2 플레이트에 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 제 2 곡선부의 다른 일부는 상기 제 1 곡선부에 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 이 경우는, 상기 제 1 곡선부와 상기 제 2 곡선부의 곡률반경이 큰 경우일 수 있다. 상기 제 2 곡선부의 다른 일부는 상기 제 1 곡선부와 상기 제 2 곡선부의 사이에 제공되는 추가적인 직선부나 추가적인 곡선부와 연결될 수 있다. 이 경우는, 상기 제 1 곡선부와 상기 제 2 곡선부의 곡률반경이 작은 경우일 수 있다. 여기서, 직선부는 곡선부보다 곡률반경이 큰 부분으로 정의될 수 있다. 직선부는 완전한 평면이나 곡선부보다 큰 곡률반경을 가지 부분으로 이해될 수 있다. 셋째, 상기 제 1 플레이트는 상기 제 1 곡선부를 포함할 수 있다. 상기 제 1 곡선부의 일부는 상기 사이드 플레이트에 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 사이드 플레이트에 연결되는 부분은, 상기 제 1 플레이트가 상기 진공공간부의 길이방향으로 연장된 부분에서 상기 제 2 플레이트로부터 멀어지는 위치에 제공될 수 있다. 넷째, 상기 제 2 플레이트는 상기 제 2 곡선부를 포함할 수 있다. 상기 제 2 곡선부의 일부는 상기 사이드 플레이트에 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 사이드 플레이트에 연결되는 부분은, 상기 제 2 플레이트가 상기 진공공간부의 길이방향으로 연장된 부분에서 상기 제 1 플레이트로부터 멀어지는 위치에 제공될 수 있다. 본 발명은, 전술한 첫 번째 예와 두 번째 예의 어느 하나와 전술한 세 번째 예와 네 번째 예의 어느 하나의 조합을 포함할 수 있다.
본 발명에서, 상기 진공공간부(50)는 제 3 공간으로 정의할 수 있다. 상기 진공공간부는 진공압이 유지되는 공간일 수 있다. 본 발명에서, A가 B보다 진공도가 높다는 표현은 A의 진공압이 B의 진공압보다 낮다는 것을 의미한다.
본 발명에서 밀봉부(61)는, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이에 제공되는 부분일 수 있다. 밀봉에 관련된 예는 다음과 같다. 본 발명은 다음의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다. 상기 밀봉은 복수 개의 물체의 적어도 일부를 녹여서(melting) 상기 복수 개의 물체를 결합하는 융접(fusion welding)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트가 매개체가 개재되지 않은 상태에서, 레이저 용접 등에 의해 융접되거나, 상기 제 1, 2 플레이트의 일부와 상기 부품체결부의 일부가, 용가제 등 매개체가 개재된 상태에서 고주파 브레이징 등에 의해 융접되거나, 상기 복수 개의 물체가 발열하는 매개체(예, Melting bond)에 의해 융접될 수 있다. 상기 밀봉은 복수 개의 물체의 적어도 일부에 가해진 압력(mechanical pressure)에 의해, 상기 복수 개의 물체를 결합하는 압접(pressure welding)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 부품체결부에 연결되는 부품으로서, 상기 플레이트 보다 내변형도가 작은 재질의 물체가 핀치오프 등 방법에 의해 압접될 수 있다.
상기 진공단열체의 외측에는 기계실(8)이 선택적으로 제공될 수 있다. 상기 기계실은 상기 냉원에 연결되는 부품이 수납되는 공간으로 정의될 수 있다. 선택적으로 상기 진공단열체는 관(40)을 포함할 수 있다. 상기 관은 상기 진공단열체의 어느 일측에는 제공되어 상기 진공공간부(50)의 공기를 배기하기 위해 제공될 수 있다. 선택적으로 상기 진공단열체는 상기 제1공간과 상기 제2공간에 연결되는 부품의 설치를 위하여 상기 진공공간부(50)를 관통하는 관로(64)를 포함할 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
도 3은 상기 진공공간부를 유지하는 서포트의 실시예를 보이는 도면이다. 상기 서포트의 예는 아래와 같다. 본 발명은 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다.
상기 서포트(30,31,33,35)는, 외력에 의해 상기 진공공간부(50), 상기 플레이트 및 후술할 열전달 저항체 중 적어도 일부가 변형되는 것을 줄일 수 있도록, 상기 플레이트 및 후술할 열전달저항체 중 적어도 일부를 지지하도록 제공될 수 있다. 상기 외력은 진공압과 상기 진공압을 제외한 외력 중 적어도 하나를 포함한다. 상기 변형이 상기 진공공간부의 높이가 낮아지는 방향으로 발생될 경우에, 상기 서포트는 후술할 복사열전도, 가스열전도, 표면열전도 및 서포터열전도 중 적어도 하나가 증가하는 것을 저감할 수 있다. 상기 서포트는 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이 간격을 유지하도록 제공되는 물체이거나, 상기 열전달저항체를 지지하도록 제공되는 물체일 수 있다. 상기 서포트는 상기 플레이트보다 큰 내변형도를 가지거나 상기 진공단열체, 상기 진공단열체를 가지는 장치, 상기 진공단열체를 가지는 벽 등을 구성하는 부분들 중에서 상기 내변형도가 취약한 부분에 제공될 수 있다. 본 발명에서 내변형도(degree of deformation resistance)는, 물체가 물체에 가해지는 외력에 의한 변형에 대해 저항하는 정도를 나타내는 것으로, 물체의 두께를 포함한 형상, 물체의 재질, 및 물체의 가공방법 등에 의해 결정되는 값으로 정의할 수 있다. 상기 내변형도가 취약한 부분의 예는, 상기 플레이트가 형성하는 곡선부의 인근이나 상기 곡선부의 적어도 일부, 상기 플레이트가 제공하는 장치의 본체에 형성된 개구부의 인근이나 상기 개구부의 적어도 일부 등일 수 있다. 상기 서포트는 상기 곡선부나 상기 개구부의 적어도 일부를 둘러싸도록 배치되거나, 상기 곡선부나 상기 개구부의 형상에 대응하도록 제공될 수 있지만, 상기 서포트는 그 외에 다른 부분에 제공되는 것을 배제하지 않는다. 상기 개구부는 본체 및 본체에 형성된 개구부를 열고 닫을 수 있는 도어를 포함하는 장치가 가진 부분으로 이해될 수 있다.
상기 서포트가 플레이트를 지지하도록 제공되는 예는 다음과 같다. 첫째, 상기 서포트의 적어도 일부가 상기 플레이트의 내부에 형성된 공간에 제공될 수 있다. 상기 플레이트는 복수의 층을 가지는 부분을 포함하고, 상기 서포트는 상기 복수의 층 사이에 제공될 수 있다. 선택적으로, 상기 서포트가 상기 복수의 층 중 적어도 일부와 연결되도록 제공되거나 상기 복수의 층 중 적어도 일부를 지지하도록 제공될 수 있다. 둘째, 상기 서포트의 적어도 일부는 상기 플레이트의 외부에 형성된 표면에 연결되도록 제공될 수 있다. 상기 서포트는 상기 진공공간부 혹은 상기 진공공간부의 외부공간에 제공될 수 있다 일 예로, 상기 플레이트는 복수의 층을 포함하고, 상기 서포트는 상기 복수의 층 중 어느 하나로 제공될 수 있다. 선택적으로, 상기 서포트는 상기 복수의 층 다른 하나를 지지하도록 제공될 수 있다. 다른 예로, 상기 플레이트는 길이방향으로 연장되는 복수의 부분을 포함하고, 상기 서포트는 상기 복수의 부분 중 어느 하나로 제공될 수 있다. 선택적으로, 상기 서포트는 상기 복수의 부분 중 다른 하나를 지지하도록 제공될 수 있다. 또다른 예로, 상기 서포트는 상기 플레이트와 구분되는 부품으로서 상기 진공공간부 혹은 상기 진공공간부의 외부공간에 제공될 수 있다. 선택적으로, 상기 서포트는 상기 플레이트의 외부에 형성된 표면 중 적어도 일부를 지지하도록 제공될 수 있다. 선택적으로, 상기 서포트는 상기 제 1 플레이트의 일면과 상기 제 2 플레이트의 일면을 지지하도록 제공될 수 있고, 상기 제 1 플레이트의 일면과 상기 제 2 플레이트의 일면은 서로 마주보도록 제공될 수 있다. 셋째, 상기 서포트는 상기 플레이트와 일체로 제공될 수 있다. 상기 서포트가 상기 열전달저항체를 지지하도록 제공되는 예는, 상기 서포트가 상기 플레이트를 지지하도록 제공되는 예로 대체하여 이해할 수 있다. 중복된 설명을 생략한다.
상기 서포트는 상기 서포트를 경유하는 열전달이 저감되도록 설계되는 예는 다음과 같다. 첫째 , 상기 서포트의 인근에 배치되는 부품의 적어도 일부는, 상기 서포트와 접촉하지 않도록 제공되거나 상기 서포트가 제공하는 빈 공간에 배치되도록 제공될 수 있다. 상기 부품의 예는, 후술할 열전달저항체, 배기포트, 게터포트, 상기 플레이트에 연결되는 관이나 부품, 상기 진공공간부를 관통하는 관이나 부품, 적어도 일부가 상기 진공공간부에 배치되는 관이나 부품 등 일 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다. 상기 빈 공간의 예는, 상기 서포트의 내부에 제공된 빈 공간, 복수의 서포트 사이에 제공되는 빈 공간, 서포트 및 상기 서포트와 구분되는 별도의 부품 사이에 제공되는 빈 공간 등 일 수 있다. 선택적으로, 상기 부품의 적어도 일부는, 상기 서포트에 형성된 관통공에 배치되거나 복수의 바 사이에 배치되거나 복수의 연결 플레이트 사이에 배치되거나 복수의 지지 플레이트 사이에 배치될 수 있다. 선택적으로, 상기 부품의 적어도 일부는, 복수의 바 사이에 이격된 공간에 배치되거나 복수의 연결 플레이트 사이에 이격된 공간에 배치되거나 복수의 지지 플레이트 사이에 이격된 공간에 배치될 수 있다. 둘째, 단열재가 상기 서포트의 적어도 일부에 혹은 상기 서포트의 적어도 일부의 인근에 제공될 수 있다. 상기 단열재는 상기 서포트와 접촉하도록 제공되거나 접촉하지 않도록 제공될 수 있다. 상기 단열재는 상기 서포트와 상기 플레이트가 접촉하는 부분에 제공될 수 있다. 상기 단열재는 상기 서포트의 일면과 타면의 적어도 일부의 위에 제공되거나 상기 서포트의 일면과 타면의 적어도 일부를 덮도록 제공될 수 있다. 상기 단열재는 상기 서포트의 일면의 인근과 상기 서포트의 타면의 인근 중 적어도 일부의 위에 제공되거나 상기 서포트의 일면의 인근과 상기 서포트의 타면의 인근 중 적어도 일부를 덮도록 제공될 수 있다. 상기 서포트는 복수의 바를 포함하고, 상기 복수의 바 중 어느 하나가 위치한 지점으로부터 상기 어느 하나의 바와 주변의 바 사이의 중간지점까지의 영역에 단열재가 배치될 수 있다. 셋째, 상기 서포트를 통해 냉기가 전달되는 경우에는, 상기 두 번째 예에서 설명한 단열재가 배치되는 위치에 열원(Heat source)을 배치될 수 있다. 상기 제 1 공간의 온도가 상기 제 2 공간의 온도보다 낮은 경우에는, 상기 열원이 상기 제 2 플레이트나 상기 제 2 플레이트의 인근에 배치될 수 있다. 상기 서포트를 통해 열기(Heat)가 전달되는 경우에는, 상기 두 번째 예에서 설명한 단열재가 배치되는 위치에 냉원(Cold source)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 공간의 온도가 상기 제 2 공간의 온도보다 높은 경우에는, 상기 냉원이 상기 제 2 플레이트나 상기 제 2 플레이트의 인근에 배치될 수 있다. 네 번째 예로, 상기 서포트는 금속보다 높은 열전달저항도를 가지거나 상기 플레이트보다 높은 열전달저항도를 가지는 부분을 포함할 수 있다. 상기 서포트는 추가적인 단열체 (Additional adiabatic body)보다 낮은 열전달저항도를 가지는 부분을 포함할 수 있다. 상기 서포트는 비금속재질, PPS 및 GF(Glass Fiber), low outgassing PC, PPS, 및 LCP 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 그 이유는, 높은 압축강도, 낮은 아웃게싱(outgassing) 및 물흡수율, 낮은 열전도율, 고온에서 높은 압축강도, 및 우수한 가공성을 얻을 수 있기 때문이다.
서포트의 예는, 바(30,31), 연결 플레이트(35), 지지 플레이트(35), 다공성 물질(33) 및 충진재(33) 등 일 수 있다. 본 발명에서 서포트는, 상기 예 중 어느 하나이거나, 적어도 두 개가 결합된 예를 포함할 수 있다. 첫번째 예로, 상기 서포트는 바(30,31)를 포함할 수 있다 상기 바는 제 1 플레이트와 제 2 플레이트의 사이 간격을 지지하기 위하여 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 연결하는 방향으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 바는, 상기 진공공간부의 높이방향으로 연장되는 부분을 포함하거나 상기 플레이트가 연장되는 방향에 대해 실질적으로 수직인 방향으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 바가 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 중 어느 하나만 지지하도록 제공되거나 상기 바가 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 모두 지지하도록 제공될 수 있다. 일례로, 상기 바의 일면은 상기 플레이트의 일부를 지지하도록 제공되고, 상기 바의 타면은 상기 플레이트의 다른 일부와 접촉하지 않도록 제공될 수 있다. 다른 예로, 상기 바의 일면은 상기 플레이트의 적어도 일부를 지지하도록 제공되고, 상기 바의 타면은 상기 플레이트의 다른 일부를 지지하도록 제공될 수 있다. 상기 서포트는 그 내부에 빈 공간이 제공되는 바를 포함하거나, 상기 서포트를 복수의 바를 포함하고 상기 복수의 바 사이에 빈 공간이 제공되거나, 상기 서포트는 바를 포함하고 상기 바는 상기 바와 구분되어 제공되는 별도의 부품 사이에 빈 공간이 제공되도록 배치될 수 있다. 상기 서포트는 상기 바와 연결되는 부분을 포함하거나 복수의 바를 연결하는 부분을 포함하는 연결 플레이트(35)를 선택적으로 포함할 수 있다. 상기 연결 플레이트는, 상기 진공공간부의 길이방향으로 연장되는 부분을 포함하거나 상기 플레이트가 연장되는 방향을 따라 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 연결 플레이트의 XZ면 단면적은 상기 바의 XZ면 단면적보다 클 수 있다. 상기 연결 플레이트는 상기 바의 일면과 타면 중 적어도 하나에 제공되거나 상기 바의 일면과 타면 사이에 제공될 수 있다. 상기 바의 일면과 타면 중 적어도 하나는, 상기 바가 상기 플레이트를 지지하는 면일 수 있다. 상기 연결 플레이트의 형상은 제한되지 않는다. 상기 서포트는 그 내부에 빈 공간이 제공되는 연결 플레이트를 포함하거나, 상기 서포트를 복수의 연결 플레이트를 포함하고 상기 복수의 연결 플레이트 사이에 빈 공간이 제공되거나, 상기 서포트는 연결 플레이트를 포함하고 상기 연결 플레이트는 상기 연결 플레이트와 구분되어 제공되는 별도의 부품 사이에 빈 공간이 제공되도록 배치될 수 있다. 두번째 예로, 상기 서포트는 지지 플레이트(35)를 포함할 수 있다. 상기 지지 플레이트는 상기 진공공간부의 길이방향으로 연장되는 부분을 포함하거나 상기 플레이트가 연장되는 방향으로 따라 연장된 부분을 포함할 수 있다. 상기 지지 플레이트가 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 중 어느 하나만 지지하도록 제공되거나 상기 지지 플레이트가 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 모두 지지하도록 제공될 수 있다. 일례로, 상기 지지 플레이트의 일면은 상기 플레이트의 일부를 지지하도록 제공되고, 상기 지지 플레이트의 타면은 상기 플레이트의 다른 일부와 접촉하지 않도록 제공될 수 있다. 다른 예로, 상기 지지 플레이트의 일면은 상기 플레이트의 적어도 일부를 지지하도록 제공되고, 상기 지지 플레이트의 타면은 상기 플레이트의 다른 일부를 지지하도록 제공될 수 있다. 상기 지지 플레이트의 단면 형상은 제한이 없다. 상기 서포트는 그 내부에 빈 공간이 제공되는 지지 플레이트를 포함하거나, 상기 서포트를 복수의 지지 플레이트를 포함하고 상기 복수의 지지 플레이트 사이에 빈 공간이 제공되거나, 상기 서포트는 지지 플레이트를 포함하고 상기 지지 플레이트는 상기 지지 플레이트와 구분되어 제공되는 별도의 부품 사이에 빈 공간이 제공되도록 배치될 수 있다. 세번째 예로, 상기 서포트는 다공성 물질(33)이나 충진재(33)를 포함할 수 있다. 상기 진공공간부의 내부는 다공성 물질이나 충진재에 의해 지지될 수 있다. 상기 진공공간부의 내부는 상기 다공성 물질이나 충진재에 의해 완전히 (wholly) 충진될 수 있다. 상기 서포트는 복수 개의 다공성 물질이나 복수의 충진재를 포함하고, 상기 복수 개의 다공성 물질이나 복수의 충진재는 접촉하도록 배치될 수 있다. 상기 다공성 물질의 내부에 빈 공간이 제공되거나, 복수의 다공성 물질 사이에 빈 공간이 제공되거나, 상기 다공성 물질 및 상기 다공성 물질과 구분되는 별도의 부품 사이에 빈 공간이 제공되는 경우에는, 상기 다공성 물질은 전술한 바, 연결 플레이트, 지지 플레이트 중 어느 하나로 이해될 수 있다. 상기 충진재의 내부에 빈 공간이 제공되거나, 복수의 충진재 사이에 빈 공간이 제공되거나, 상기 충진재 및 상기 충진재와 구분되는 별도의 부품 사이에 빈 공간이 제공되는 경우에는, 상기 충진재는 전술한 바, 연결 플레이트, 지지 플레이트 중 어느 하나로 이해될 수 있다. 본 발명의 서포트는, 전술한 예 중 어느 하나이거나 두 개 이상이 결합된 예를 포함할 수 있다.
도 3a를 참조하면, 실시예로서 상기 서포트는 바(31)과 연결 플레이트 겸 지지 플레이트(35)를 포함할 수 있다. 상기 연결 플레이트와 지지 플레이트는 분리되어 설계될 수 있다. 도 3b를 참조하면, 실시예로서 상기 서포트는 상기 서포트는 바(31), 연결 플레이트 겸 지지 플레이트(35) 및 진공공간부 내부에 충전된 다공성물질(33)을 포함할 수 있다. 상기 다공성물질(33)은 플레이트의 재질인 스테인레스 스틸보다는 방사율이 높을 수 있지만, 진공공간부를 충전하고 있으므로 복사열전달의 저항효율이 높다. 상기 다공성물질은 후술할 열전달저항체의 기능도 수행할 수 있다. 더 바람직하게는, 상기 다공성물질은 후술할 복사저항쉬트의 기능을 수행할 수 있다. 도 3c를 참조하면, 실시예로서 상기 서포트는 다공성 물질(33)이나 충진재(33)를 포함할 수 있다. 상기 다공성물질(33)이 충진재는 진공공간부의 간격을 유지할 수 있도록 압축된 상태로 제공될 수 있다. 필름(34)은 예시적으로 PE재질로서 구멍이 뚫려 있는 상태로 제공될 수 있다. 상기 다공성물질(33)이나 충진재는, 후술할 열전달저항체의 기능과 상기 서포트의 기능을 함께 수행할 수 있다. 더 바람직하게는, 상기 다공성물질은 후술할 복사저항쉬트의 기능과 상기 서포트의 기능을 함께 수행할 수 있다.
도 4는 열전달저항체(32,33,60,63, thermal insulator, heat transfer resistance body)을 중심으로 진공단열체의 실시예를 설명하는 도면이다. 본 발명의 진공단열체는, 선택적으로 열전달저항체를 포함할 수 있다. 상기 열전달저항체의 예는 아래와 같다. 본 발명은 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다.
상기 열전달저항체(32,33,60,63)는, 상기 제 1 공간과 상기 제 2 공간 사이의 열전달량을 감소시키는 물체이거나 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이의 열전달량을 감소시키는 물체일 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제 1 공간에서 상기 제 2 공간 사이에 형성되는 열전달경로 (heat transfer path) 상에 배치되거나 상기 제 1 플레이트에서 상기 제 2 플레이트 사이에 형성되는 열전달경로 (heat transfer path) 상에 배치될 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 진공공간부를 정의하는 벽을 따르는 방향으로 연장되는 부분을 포함하거나, 상기 열전달저항체는 상기 플레이트가 연장되는 방향을 따라 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 선택적으로, 상기 열전달저항체는, 상기 플레이트로부터 상기 진공공간부에서 멀어지는 방향으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제 1 플레이트의 주변부와 상기 제 2 플레이트의 주변부 중 적어도 일부에 제공되거나 상기 제 1 플레이트의 테두리와 상기 제 2 플레이트의 테두리 중 적어도 일부에 제공될 수 있다. 상기 열전달저항체는 관통공이 형성된 부분에 제공되거나 상기 관통공에 연결되는 관으로써 제공될 수 있다. 상기 관의 내부에 상기 관과 구분되는 별도의 관이나 별도의 부품이 배치될 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 플레이트 보다 더 큰 열전달저항도를 가지는 부분을 포함할 수 있다. 이 경우, 진공단열체의 단열성능이 더욱 향상될 수 있다. 상기 열전달저항체의 외부에는 차폐부(62, shield)가 제공되어 단열될 수 있다. 상기 열전달저항체 내부는 진공공간부에 의해서 단열될 수 있다. 상기 차폐부는, 상기 열전달저항체 내부의 외부에 접하는 다공성물질이나 충진재로 제공될 수도 있다. 상기 차폐부는 상기 열전달저항체 내부의 외부에 놓이는 별도의 가스켓으로 예시가능한 단열구조물로 제공될 수도 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제3공간을 정의하는 벽일 수 있다.
열전달저항체가 상기 플레이트에 연결되어 제공되는 예는, 상기 서포트가 플레이트를 지지하도록 제공되는 예에서 상기 서포트를 상기 열전달저항체로 대체하여 이해할 수 있다. 중복된 설명은 생략한다. 열전달저항체가 상기 서포트에 연결되어 제공되는 예는, 상기 열전달저항체가 플레이트에 연결되어 제공되는 예에서 상기 플레이트를 상기 서포트로 대체하여 이해할 수 있다. 중복된 설명은 생략한다. 상기 열전달체를 경유하는 열전달을 저감하는 예는, 상기 서포트를 경유하는 열전달을 저감하는 예에 대체하여 적용될 수 있고, 동일한 설명은 생략한다.
본 발명에서 상기 열전달저항체는, 복사저항쉬트(32), 다공성 물질(33), 충진재(33) 및 전도저항쉬트 중 어느 하나일 수 있다. 본 발명에서 상기 열전달저항체는, 복사저항쉬트(32), 다공성 물질(33), 충진재(33) 및 전도저항쉬트 중 적어도 두개가 혼합된 것을 포함할 수 있다. 첫번째 예로, 상기 열전달저항체는 복사저항쉬트(32, radiation resistance sheet)를 포함할 수 있다. 상기 복사저항쉬트는 상기 플레이트보다 더 큰 열전달저항도를 가지는 부분을 포함할 수 있고, 상기 열전달저항도는 복사에 의한 열전달에 저항하는 정도일 수 있다. 상기 서포트가 상기 복사저항쉬트의 기능을 함께 수행할 수 있다. 후술할 전도저항쉬트가 상기 복사저항쉬트의 기능을 함께 수행할 수 있다. 두번째 예로, 상기 열전달저항체는 전도저항쉬트(60,63, conduction resistance sheet)를 포함할 수 있다. 상기 전도저항쉬트는 상기 플레이트보다 더 큰 열전달저항도를 가지는 부분을 포함할 수 있고, 상기 열전달저항도는 전도에 의한 열전달에 저항하는 정도일 수 있다. 일례로, 상기 전도저항쉬트는 상기 플레이트의 적어도 일부보다 작은 두께를 가질 수 있다. 다른 예로, 상기 전도저항쉬트는 일단과 타단을 포함하고, 상기 전도저항쉬트의 길이는 상기 전도저항쉬트의 일단과 상기 전도저항쉬트의 타단을 연결하는 직선거리보다 길 수 있다. 또다른 예로, 상기 전도저항쉬트는 상기 플레이트보다 전도에 의한 열전달저항도가 큰 재질을 포함할 수 있다. 또다른 예로, 상기 열전달저항체는 상기 플레이트보다 곡률반경이 작은 부분을 포함할 수 있다.
도 4a를 참조하면, 일 예로, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 연결하는 사이드 플레이트에 전도저항쉬트가 제공될 수 있다. 도 4b를 참조하면, 일례로, 상기 제 1 플레이트 및 상기 제 2 플레이트의 적어도 일부에 전도저항쉬트(60)가 제공될 수 있다. 상기 전도저항쉬트의 바깥쪽으로는 연결프레임(70)이 더 제공될 수 있다. 상기 연결프레임은 상기 제 1 플레이트나 상기 제 2 플레이트가 연장된 부분이거나 상기 사이드 플레이트가 연장된 부분일 수 있다. 선택적으로, 상기 연결프레임(70)은 도어와 본체와의 실링을 위한 부품과 배기공정에 필요한 배기포트와 진공유지를 위한 게터포트 등 상기 진공공간부의 외측에 배치되는 부품이 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 도 4c를 참조하면, 일례로, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 연결하는 사이드 플레이트에 전도저항쉬트가 제공될 수 있다. 상기 전도저항쉬트는 상기 진공공간부를 관통하는 관통공에 설치될 수 있다. 상기 전도저항쉬트의 외측에 상기 관로(64)가 별도로 제공될 수도 있다. 상기 전도저항쉬트는 주름형으로 제공될 수 있다. 이를 통해, 열전달경로를 길게 할 수 있고, 압력차에 의한 변형을 방지할 수 있다. 상기 전도저항쉬트(63)의 단열을 위한 별도의 차폐부재도 제공될 수 있다. 상기 전도저항쉬트는 상기 플레이트, 복사저항쉬트 및 서포트 중 적어도 하나보다 작은 내변형도를 가지는 부분을 포함할 수 있다. 상기 복사저항쉬트는 상기 플레이트 및 서포트 중 적어도 하나보다 작은 내변형도를 가지는 부분을 포함할 수 있다. 상기 플레이트는 상기 서포트보다 작은 내변형도를 가지는 부분을 포함할 수 있다. 상기 전도저항쉬트는 상기 플레이트, 복사저항쉬트 및 서포트 중 적어도 하나보다 큰 전도열전달저항도를 가지는 부분을 포함할 수 있다. 상기 복사저항쉬트는 상기 플레이트, 전도저항쉬트 및 서포트 중 적어도 하나보다 큰 복사열전달저항도를 가지는 부분을 포함할 수 있다. 상기 서포트는 상기 플레이트보다 큰 열전달저항도를 가지는 부분을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 플레이트, 전도저항쉬트, 연결프레임 중 적어도 하나는 스테인레스 스틸, 상기 복사저항쉬트는 알루미늄, 상기 서포트는 수지 재질를 포함할 수 있다.
도 5는 서포트가 사용되는 경우에 진공단열체의 내부를 배기하는 공정을 시간과 압력으로 관찰하는 그래프이다. 상기 진공단열체 진공배기단계의 예는 아래와 같다. 본 발명은 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다.
상기 배기단계가 수행되는 중에, 상기 진공공간부의 기체가 배기되거나 상기 진공단열체의 부품에 남아있는 잠재적인 기체가 배기되는 과정인 아웃게싱단계가 수행될 수 있다. 상기 아웃게싱단계의 일례로, 상기 배기단계는, 상기 진공단열체를 가열하거나 건조하는 단계, 상기 진공단열체에 진공압이 제공되는 단계 및 상기 진공단열체에 게터가 제공되는 단계 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 진공공간부에 제공된 부품에 남아있는 잠재적인 기체가 기화되어 배기되는 것을 촉진할 수 있다. 상기 배기단계는, 상기 진공단열체를 냉각하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 냉각단계는, 상기 진공단열체가 가열되거나 건조되는 단계가 수행된 이후에 수행될 수 있다. 바람직하게, 상기 진공단열체를 가열하거나 건조하는 단계와 상기 진공단열체에 진공압이 제공되는 단계가 함께 수행될 수 있다. 바람직하게, 상기 진공단열체를 가열하거나 건조하는 단계와 상기 진공단열체에 게터가 제공되는 단계가 함께 수행될 수 있다. 바람직하게, 상기 진공단열체를 가열하거나 건조하는 단계가 수행된 이후에, 상기 진공단열체가 냉각되는 단계가 수행될 수 있다. 바람직하게, 상기 진공단열체에 진공압이 제공되는 단계와 상기 진공단열체에 게터가 제공되는 단계는 중첩되지 않도록 수행될 수 있다. 예를 들어, 상기 진공단열체에 진공압이 제공되는 단계가 수행된 이후에 상기 진공단열체에 게터가 제공되는 단계가 수행될 수 있다. 상기 진공단열체에 진공압이 제공되는 경우, 상기 진공공간부의 압력은 일정 수준까지 하강한 후 더 이상이 하강하지 않을 수도 있다. 이때, 상기 진공단열체에 진공압을 제공하는 단계를 중단한 후, 게터를 투입할 수 있다. 상기 진공단열체에 진공압을 제공하는 단계를 중단하는 예로, 상기 진공공간부에 연결된 진공펌프의 작동이 중단되는 것일 수 있다. 상기 게터를 투입할 때, 상기 진공단열체를 가열하거나 건조시키는 단계를 함께 수행할 수도 있다. 이를 통해, 아웃게싱을 촉진할 수 있다. 다른 예로, 상기 진공단열체에 게터가 제공되는 단계가 수행된 이후에 상기 진공단열체에 진공압이 제공되는 단계가 수행될 수 있다.
상기 진공단열체 진공배기단계가 수행되는 시간을 진공배기시간이라고 칭할 수 있다. 상기 진공배기시간은, 상기 진공단열체가 가열되거나 건조되는 단계가 수행되는 시간(△t1), 상기 진공단열체에 게터가 투입된 상태로 유지되는 단계가 수행되는 시간을(△t2) 및 상기 진공단열체가 냉각되는 단계가 수행되는 시간(△t3) 중 적어도 하나의 시간을 포함할 수 있다. △t1, △t2, △t3에 대한 예는 아래와 같다. 본 발명의 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다. 상기 진공단열체 진공배기단계에서 상기 △t1은 t1a이상이고 t1b이하일 수 있다. 첫번째 예로, 상기 t1a는 0.2hr보다 크거나 같고 0.5hr보다 작거나 같을 수 있다. 상기 t1b는 1hr보다 크거나 같고 24.0hr보다 작거나 같을 수 있다. 바람직하게, 상기 △t1은 0.3hr이상이고 12.0hr이하일 수 있다. 바람직하게, 상기 △t1은 0.4hr이상이고 8.0hr이하일 수 있다. 더 바람직하게, 상기 △t1은 0.5hr이상이고 4.0hr이하일 수 있다. 이 경우는, △t1을 가능한 짧게 유지하여도 아웃게싱이 충분한 진공단열체에 적용될 수 있다. 일례로, 상기 진공단열체의 부품 중에서 상기 진공공간부에 노출되는 부품이, 상기 진공단열체의 부품 중에서 상기 진공공간부의 외부공간에 노출되는 되는 부품 중 어느 하나보다 더 적은 아웃게싱율(outgassing rate, %)를 가지는 부분을 포함하는 경우일 수 있다. 구체적으로, 상기 진공공간부에 노출되는 부품이 열가소성 플라스틱(thermoplastic polymer)보다 더 적은 아웃게싱율을 가지는 부분을 포함할 수 있다. 더 구체적으로, 서포트나 복사저항쉬트가 상기 진공공간부에 배치되고, 상기 서포트의 아웃게싱율은 상기 열가소성 플라스틱보다 낮을 수 있다. 다른 예로, 진공단열체의 부품 중에서 상기 진공공간부에 노출되는 부품이, 상기 진공단열체의 부품 중에서 상기 진공공간부의 외부공간에 노출되는 되는 부품 중 어느 하나보다 더 높은 사용온도(max operating temperature, ℃를 가지는 부분을 포함하는 경우일 수 있다. 이 경우, 상기 진공단열체를 더 높은 온도로 가열할 수 있어, 아웃게싱율을 높일 수 있다. 예를 들어, 상기 진공공간부에 노출되는 부품이 열가소성 플라스틱(thermoplastic polymer)보다 더 높은 사용온도를 부분을 포함할 수 있다. 더 구체적인 예로, 서포트나 복사저항쉬트가 상기 진공공간부에 배치되고, 상기 서포트의 사용온도는 상기 열가소성 플라스틱보다 높을 수 있다. 또 다른 예로, 상기 진공단열체의 부품 중에서 상기 진공공간부에 노출되는 부품은, 비금속재질부분보다 금속재질부분을 더 많이 포함할 수 있다. 즉 금속재질부분의 질량이 비금속재질부분의 질량보다 크거나, 금속재질부분의 체적이 비금속재질부분의 체적보다 크거나, 금속재질부분이 상기 진공공간부에 노출된 면적이 비금속재질부분이 상기 진공공간부에 노출된 면적보다 클 수 있다. 상기 진공공간부에 노출되는 부품이 복수인 경우에는, 제1부품이 포함하는 금속재질의 체적과 제2부품이 포함하는 금속재질의 체적의 합산이, 제1부품이 포함하는 비금속재질의 체적과 제2부품이 포함하는 비금속재질의 체적의 합산보다 큰 경우일 수 있다. 상기 진공공간부에 노출되는 부품이 복수인 경우에는, 제1부품이 포함하는 금속재질의 질량과 제2부품이 포함하는 금속재질의 질량의 합산이, 제1부품이 포함하는 비금속재질의 질량과 제2부품이 포함하는 비금속재질의 질량의 합산보다 큰 경우일 수 있다. 상기 진공공간부에 노출되는 부품이 복수인 경우에는, 제1부품이 포함하는 금속재질이 상기 진공공간부에 노출된 면적과 제2부품이 포함하는 금속재질이 상기 진공공간부에 노출된 면적의 합산이, 제1부품이 포함하는 비금속재질이 상기 진공공간부에 노출된 면적과 제2부품이 포함하는 비금속재질이 상기 진공공간부에 노출된 면적의 합산보다 큰 경우일 수 있다. 두번째 예로, 상기 t1a는 0.5hr보다 크거나 같고 1hr보다 작거나 같은 값일 수 있다. 상기 t1b는 24.0hr보다 크거나 같고 65hr보다 작거나 같을 수 있다. 바람직하게, 상기 △t1은 1.0hr이상이고 48.0hr이하일 수 있다. 바람직하게, 상기 △t1은 2hr이상이고 24.0hr이하일 수 있다. 더 바람직하게, 상기 △t1은 3hr이상이고 12.0hr이하일 수 있다. 이 경우는, △t1을 가능한 길게 유지할 필요성이 있는 진공단열체일 수 있다. 이 경우는, 상기 첫번째 예에서 기술한 예들의 반대 경우이거나 상기 진공공간부에 노출되는 부품이 열가소성 물질인 경우 등을 그 예로 가질 수 있다. 중복된 설명을 생략한다. 상기 진공단열체 진공배기단계에서 상기 △t2은 t2a이상이고 t2b이하일 수 있다. 상기 t2a는 0.1hr보다 크거나 같고 0.3hr보다 작거나 같을 수 있다. 상기 t2b는 1hr보다 크거나 같고 5.0hr보다 작거나 같을 수 있다. 바람직하게, 상기 △t2은 0.2hr이상이고 3.0hr이하일 수 있다. 더 바람직하게, 상기 △t2은 0.3hr이상이고 2.0hr이하일 수 있다. 더 바람직하게, 상기 △t2은 0.5hr이상이고 1.5hr이하일 수 있다. 이 경우는, △t2을 가능한 짧게 유지하여도 게터를 통한 아웃게싱이 충분한 진공단열체일 수 있다. 상기 진공단열체 진공배기단계에서 상기 △t3은 t3a이상이고 t3b이하일 수 있다. 상기 t3a는 0.2hr보다 크거나 같고 0.8hr보다 작거나 같을 수 있다. 상기 t3b는 1hr보다 크거나 같고 65.0hr보다 작거나 같을 수 있다. 바람직하게, 상기 △t3은 0.2hr이상이고 48.0hr이하일 수 있다. 바람직하게, 상기 △t3은 0.3hr이상이고 24.0hr이하일 수 있다. 더 바람직하게, 상기 △t3은 0.4hr이상이고 12.0hr이하일 수 있다. 더 바람직하게, 상기 △t3은 0.5hr이상이고 5.0hr이하일 수 있다. 상기 배기단계 중 가열되거나 건조되는 단계가 수행된 이후에, 상기 냉각단계가 수행될 수 있다. 일 예로, 상기 가열되거나 건조되는 단계가 수행된 시간이 긴 경우에, △t3가 길어질 수 있다. 본 발명의 진공단열체는 △t1이 △t2보다 크도록 제작되거나, △t1이 △t3보다 작거나 같도록 제작되거나, △t3는 △t2보다 크도록 제작될 수 있다. 바람직하게는, △t2<△t1≤△t3일 수 있다. 본 발명의 진공단열체는 △t1+△t2+△t3이, 0.3hr보다 크거나 같고, 70hr보다 작거나 같도록 제작되거나, 1hr보다 크거나 같고, 65hr보다 작거나 같도록 제작되거나, 2hr보다 크거나 같고, 24hr보다 작거나 같도록 제작될 수 있다. 더 바람직하게는, △t1+△t2+△t3이 3hr보다 크거나 같고, 6hr보다 작거나 같도록 제작될 수 있다.
상기 배기단계 중 진공압 조건에 대한 예는 아래와 같다. 본 발명은 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다. 상기 배기단계 중에 상기 진공공간부 진공압의 최저값은 1.8E-6 Torr보다 클 수 있다. 바람직하게, 상기 진공압의 최저값은 1.8E-6 Torr보다 크고, 1.0E-4 Torr보다 작거나 같거나, 0.5E-6 Torr보다 크고, 1.0E-4 Torr보다 작거나 같거나, 0.5E-6 Torr보다 크고, 0.5E-5 Torr보다 작거나 같을 수 있다. 더 바람직하게, 상기 진공압의 최저값은 0.5E-6Torr 보다 크고 1.0E-5Torr보다 작은 값일 수 있다. 이와 같이, 상기 배기단계 중에 제공되는 진공압의 최저값을 제한하는 것은, 상기 배기단계 중에 진공펌프로 감압을 수행하여도, 일정수준이하에서는 진공압이 내려가는 정도가 둔화되기 때문이다. 실시예로서, 상기 배기단계가 수행된 이후에 상기 진공공간부의 진공압은 1.0E-5 Torr보다 크거나 같고 5.0E-1 Torr보다 작거나 같은 압력으로 유지될 수 있다. 상기 유지되는 진공압은 1.0E-5 Torr보다 크거나 같고, 1.0E-1 Torr보다 작거나 같거나, 1.0E-5 Torr보다 크거나 같고, 1.0E-2 Torr보다 작거나 같거나, 1.0E-4 Torr보다 크거나 같고, 1.0E-2 Torr보다 작거나 같거나, 1.0E-5 Torr보다 크거나 같고, 1.0E-3 Torr보다 작거나 같거나, 1.0E-4 Torr보다 크거나 같고, 1.0E-3 Torr보다 작거나 같은 압력일 수 있다. 실시예의 진공단열체는, 두 대의 예시 제품의 가속실험으로 상기 진공압의 변화를 예측한 결과, 하나는 16.3년 이후에도 1.0E-04Torr이하로 진공압이 유지되는 것을 확인하고, 다른 하나는 17.8년 이루에도 1.0E-04Torr이하로 진공압이 유지되는 것을 확인할 수 있었다. 이와 같이, 진공단열체의 진공압은 경년변화가 있더라도 소정의 수준 이하로 유지되어야만 산업적인 바람직하게 이용할 수 있다.
도 5a는 일 예에 따른 배기공정의 경과시간과 압력의 그래프이고, 도 5b는 128리터의 내부용적을 가지는 냉장고의 진공단열체의 가속실험으로 장기 진공유지실험을 한 결과를 설명한다. 도 5b를 참조하면, 경년변화에 따라서 상기 진공압은 점진적으로 상승하는 것을 볼 수 있다. 예를 들어, 4.7년이 경과한 후에 6.7E-04Torr이고, 10년이 경과한 후에 1.7E-03Torr이고, 59년이 경과한 후에 1.0E-02Torr에 이르는 것을 확인할 수 있었다. 이와 같은 실험결과에 따르면 실시예에 따른 진공단열체는 충분히 산업적인 적용이 가능한 것을 확인할 수 있다.
도 6은 진공압과 가스전도도(gas conductivity)를 비교하는 그래프이다. 도 6을 참조하면, 상기 진공공간부(50) 내부의 사이 갭의 크기에 따라서 진공압에 따른 가스전도열(gas conductivity)을 실질열전달계수(eK)의 그래프로 나타내었다. 상기 진공공간부의 갭은 3mm, 4.5mm, 및 9mm의 세 가지 경우로 측정하였다. 상기 진공공간부의 갭은 다음과 같이 정의된다. 상기 진공공간부의 내부에 상기 복사저항쉬트(32)가 있는 경우는 상기 복사저항쉬트와 인접한 플레이트 사이의 거리이고, 상기 진공공간부의 내부에 복사저항쉬트가 없는 경우는 상기 제 1 플레이트 및 상기 제 2 플레이트 사이의 거리이다. 폴리우레탄을 발포하여 단열재를 제공하는 종래의 실질열전달계수 0.0196 W/mk과 대응되는 지점은 갭의 크기가 작아서 3mm인 경우에도 5.0E-1 Torr 인 것을 볼 수 있었다. 한편, 진공압이 낮아지더라도 가스전도열에 의한 단열효과의 저감효과가 포화되는 지점은 대략 4.5E-3Torr인 지점인 것을 확인할 수 있었다. 상기 4.5E-3Torr의 압력은 가스전도열의 저감효과가 포화되는 지점으로 확정할 수 있다. 또한, 실질열전달계수가 0.01W/mk일때에는 1.2E-2Torr이다. 갭에 따른 진공공간부의 진공압의 범위를 제시하는 예를 다음과 같다. 상기 서포트는 바, 연결 플레이트 및 지지 플레이트 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 진공공간부의 갭은 3mm보다 크거나 같은 경우에, 상기 진공압은 A보다 크거나 같고 5E-1 Torr보다 작거나, 2.65E-1 Torr보다 크고, 5E-1 Torr보다 작을 수 있다. 다른예로, 상기 서포트는 바, 연결 플레이트 및 지지 플레이트 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 진공공간부의 갭은 4.5mm보다 크거나 같은 경우에, 상기 진공압은 A보다 크거나 같고 3E-1 Torr보다 작거나, 1.2E-2 Torr보다 크고, 5E-1 Torr보다 작을 수 있다. 또다른 예로, 상기 서포트는 바, 연결 플레이트 및 지지 플레이트 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 진공공간부의 갭은 9mm보다 크거나 같은 경우에, 상기 진공압은 A보다 크거나 같고 1.0×10^-1 Torr보다 작거나, 4.5E-3 Torr보다 크고, 5E-1 Torr보다 작을 수 있다 여기서, A는 1.0×10^-6Torr보다 크거나 같고, 1.0E-5Torr보다 작거나 같은 값일 수 있다. 바람직하게, A는 1.0×10^-5Torr보다 크거나 같고, 1.0E-4Torr보다 작거나 같은 값일 수 있다. 상기 서포트가 다공성 물질이나 충진재를 포함하는 경우에, 상기 진공압은 4.7E-2Torr보다 크거나 같고, 5E-1 Torr보다 작거나 같을 수 있다. 이 경우는, 갭의 크기가 수 마이크로미터에서 수백 마이크로미터인 것으로 이해될 수 있다. 상기 진공공간부에 상기 서포트와 상기 다공성물질이 함께 제공되는 경우에는 상기 서포트만을 사용하는 경우와 상기 다공성물질만을 사용하는 경우의 중간 정도의 진공압을 조성하여 사용할 수 있다.
도 7은 상기 진공공간부의 다양한 실시예를 보이는 도면이다. 본 발명은 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 진공단열체는 진공공간부를 포함할 수 있다. 상기 진공공간부(50)는, 제1방향으로 (예. X축) 연장되고 소정의 높이를 가지는 제 1 진공공간부를 포함할 수 있다. 상기 진공공간부(50)는, 상기 제 1 진공공간부와, 높이 및 방향 중의 적어도 하나가 다른, 제 2 진공공간부(이하, 진공공간 확장부)를 선택적으로 포함할 수 있다. 상기 진공공간 확장부는 상기 제1,2플레이트 및 사이드 플레이트 중 적어도 하나가 연장되어 제공될 수 있다. 이 경우 상기 플레이트를 따르는 열전도경로를 길게 하여 열전달저항도를 크게 할 수 있다. 상기 제 2 플레이트가 연장된 진공공간 확장부는 진공단열체의 전면부(front portion)의 단열성능을 보강할 수 있고, 상기 제 1 플레이트가 연장된 진공공간 확장부는 진공단열체의 후면부(rear portion)의 단열성능을 보강할 수 있고, 상기 사이드 플레이트가 연장된 진공공간 확장부는 진공단열체의 측면부(side portion)의 단열성능을 보강할 수 있다. 도 7a를 참조하면, 상기 제 2 플레이트가 연장하여 상기 진공공간 확장부(51)를 제공할 수 있다. 상기 제 2 플레이트는 상기 진공공간부(50) 및 상기 진공공간 확장부(51)을 형성하는 제1부분(201)으로부터 연장되는 제 2 부분(202)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 플레이트의 제 2 부분(202)은 상기 제 2 플레이트를 따르는 열전도경로를 분지시켜, 열전달저항도를 크게 할 수 있다. 도 7b를 참조하면, 상기 사이드 플레이트가 연장하여 상기 진공공간 확장부를 제공할 수 있다. 상기 사이드 플레이트는 상기 진공공간부(50) 및 상기 진공공간 확장부(51)을 형성하는 제1부분(151)으로부터 연장되는 제2부분(152)을 포함할 수 있다. 상기 사이드 플레이트의 제 2 부분은 상기 사이드 플레이트를 따르는 열전도경로를 분지시킬 수 있어, 단열성능을 향상시킬 수 있다. 다. 상기 사이드 플레이트의 제 1, 2 부분(151)(152)은 열전도경로를 분지시켜 열전달저항도를 크게 할 수 있다. 도 7c를 참조하면, 상기 제 1 플레이트가 연장하여 상기 진공공간 확장부를 제공할 수 있다. 상기 제 1 플레이트는 상기 진공공간부(50) 및 상기 진공공간 확장부(51)를 형성하는 제1부분(101)으로부터 연장되는 제2부분(102)을 포함할 수 있다 상기 제 1 플레이트의 제 2 부분은 상기 제 2 플레이트를 따르는 열전도경로를 분지시켜, 열전달저항도를 크게 할 수 있다. 도 7d를 참조하면, 상기 진공공간 확장부(51)는 상기 진공공간부의 X방향연장부(51a) 및 Y방향연장부(51b)를 포함할 수 있다. 상기 진공공간 확장부(51)는 상기 진공공간부(50)의 복수 방향으로 연장할 수 있다. 이를 통해, 복수 방면의 단열성능을 보강할 수 있고, 복수의 방향으로 열전도경로를 길게 하여, 열전달저항도를 높일 수 있다. 상기 복수방향으로 연장하는 진공공간 확장부는 열전도경로를 분지하여 단열성능을 더욱 향상시킬 수 있다. 도 7e를 참조하면, 상기 사이드 플레이트는 복수방향으로 연장하는 상기 진공공간 확장부를 제공할 수 있다. 상기 진공공간 확장부는 상기 진공단열체의 측면부의 단열성능을 보강할 수 있다. 도 7f를 참조하면, 상기 제 1 플레이트는 복수방향으로 연장하는 상기 진공공간 확장부를 제공할 수 있다. 상기 진공공간 확장부는 상기 진공단열체의 측면부의 단열성능을 보강할 수 있다.
도 8은 추가적인 단열체를 설명하는 도면이다. 본 발명은 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다. 도 8을 참조하면, 본 발명의 진공단열체는 추가적인 단열체(90)를 선택적으로 포함할 수 있다. 상기 추가적인 단열체는, 상기 진공단열체보다 진공도가 낮거나 그 내부에 진공상태인 부분을 포함하지 않는 물체일 수 있다 상기 진공단열체와 상기 추가적인 진공단열체는 직접 연결되거나 매개체를 통해 연결될 수 있다. 이 경우, 상기 매개체는 상기 진공단열체 및 상기 추가적인 단열체 중 적어도 하나보다 진공도가 낮거나 그 내부에 진공상태인 부분을 포함하지 않는 물체일 수 있다. 상기 진공단열체가 상기 진공단열체의 높이가 높은 부분과 상기 진공단열체의 높이가 낮은 부분을 포함하는 경우에, 상기 추가적인 단열체는 상기 진공단열체의 높이가 낮은 부분에 배치될 수 있다. 상기 추가적인 단열체는, 상기 제 1, 2 플레이트 및 상기 사이드 플레이트 중 적어도 일부와 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 추가적인 단열체는 상기 플레이트에 지지되거나 결합 혹은 밀봉될 수 있다. 상기 추가적인 단열체와 상기 플레이트 사이의 밀봉정도는 상기 플레이트 사이의 밀봉정도보다 낮을 수 있다. 상기 추가적인 단열체는, 주입된 이후에 경화되는 경화 단열체(예, PU발포액), 미리 성형된 수지, 주변부 단열재, 및 사이드 패널 등을 포함할 수 있다. 상기 플레이트의 적어도 일부는 상기 추가적인 단열체의 내부에 위치하도록 제공될 수 있다. 상기 추가적인 단열체는 빈 공간을 포함할 수 있다. 상기 플레이트는 상기 빈 공간에 수용되도록 제공될 수 있다. 상기 플레이트의 적어도 일부는 상기 추가적인 단열체의 적어도 일부를 덮도록 제공될 수 있다. 상기 추가적인 단열체는 그 외면을 덮는 부재를 포함할 수 있다. 상기 부재는 상기 플레이트의 적어도 일부일 수 있다. 상기 추가적인 단열체는, 상기 진공단열체와 부품의 연결, 지지, 결합, 또는 밀봉을 위한 매개체일 수 있다. 상기 추가적인 단열체는, 상기 진공단열체와 다른 하나의 진공단열체의 연결, 지지, 결합, 또는 밀봉을 위한 매개체일 수 있다. 상기 추가적인 단열체는, 상기 플레이트 중 적어도 일부에 제공된 부품체결부와 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 추가적인 단열체는, 상기 추가적인 단열체를 덮는 커버와 연결되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 커버는, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 1 공간 사이에 배치되거나, 상기 제 2 플레이트와 상기 제 2 공간 사이에 배치되거나, 상기 사이드 플레이트와 상기 진공공간부(50) 이외의 공간 사이에 배치될 수 있다. 일 예로, 상기 커버는 부품이 장착되는 부분을 포함할 수 있다. 다른 예로, 상기 커버는, 상기 추가적인 단열체의 외관을 형성하는 부분을 포함할 수 있다. 도 8a~f를 참조하면, 상기 추가적인 단열체는 주변부 단열체를 포함할 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 진공단열체의 주변부, 상기 제 1 플레이트의 주변부, 상기 제 2 플레이트의 주변부, 및 상기 사이드 플레이트 중의 적어도 일부에 배치될 수 있다. 상기 제 1 플레이트의 주변부나 상기 제 2 플레이트에 배치된 주변부 단열체는, 상기 사이드 플레이트가 형성된 부분까지 연장되거나 상기 사이드 플레이트의 외측까지 연장될 수 있다. 상기 사이드 플레이트에 배치된 주변부 단열체는, 상기 제 1 플레이트나 상기 제 2 플레이트가 형성된 부분까지 연장되거나, 상기 제 1 플레이트나 상기 제 2 플레이트의 외측까지 연장될 수 있다. 도 8g~h를 참조하면, 상기 추가적인 단열체는 중앙부 단열체를 포함할 수 있다 상기 중앙부 단열체는 상기 진공단열체의 중앙부, 상기 제 1 플레이트의 중앙부, 및 상기 제 2 플레이트의 중앙부의 적어도 일부에 배치될 수 있다.
도 8a를 참조하면, 상기 주변부 단열체(92)는 상기 제 1 플레이트의 주변부에 놓일 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 제 1 플레이트에 접촉할 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 제 1 플레이트와 분리되거나, 더 연장할 수 있다(점선표시). 상기 주변부 단열체는 제 1 플레이트의 주변부의 단열성능을 향상시킬 수 있다. 도 8b를 참조하면, 상기 주변부 단열체는 상기 제 2 플레이트의 주변부에 놓일 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 제 2 플레이트에 접촉할 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 제 2 플레이트와 분리되거나, 더 연장할 수 있다(점선표시). 상기 주변부 단열체는 제 2 플레이트의 주변부의 단열성능을 향상시킬 수 있다. 도 8c를 참조하면, 상기 주변부 단열체는 상기 사이드 플레이트의 주변부에 놓일 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 사이드 플레이트에 접촉할 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 사이드 플레이트와 분리되거나 더 연장할 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 사이드 플레이트의 주변부의 단열성능을 향상시킬 수 있다. 도 8d를 참조하면, 상기 주변부 단열체(92)는, 상기 제 1 플레이트의 주변부에 놓일 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 진공공간 확장부(51)를 이루는 상기 제 1 플레이트의 주변부에 놓일 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 진공공간 확장부는 이루는 상기 제 1 플레이트에 접촉할 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 진공공간 확장부를 이루는 상기 제 1 플레이트와 분리되거나 더 연장할 수 있다. 상기 주변부 단열체는 상기 진공공간 확장부를 이루는 제 1 플레이트의 주변부의 단열성능을 향상시킬 수 있다. 도 8e 및 도 8f를 참조하면, 상기 주변부 단열체는, 상기 진공공간 확장부는 상기 제 2 플레이트 또는 상기 사이드 플레이트의 주변부에 놓일 수 있다. 도 8d와 같은 설명을 적용할 수 있다. 도 8g를 참조하면, 상기 중앙부 단열체(91)는 상기 제 1 플레이트의 중앙부에 놓일 수 있다. 상기 중앙부 단열체는 상기 제 1 플레이트의 중앙부의 단열성능을 향상시킬 수 있다. 도 8h를 참조하면, 상기 중앙부 단열체는 상기 제 2 플레이트의 중앙부에 놓일 수 있다. 상기 중앙부 단열체는 상기 제 2 플레이트의 중앙부의 단열성능을 향상시킬 수 있다.
도 9은 온도가 다른 제 1, 2 플레이트 사이의 열전달경로를 설명하는 도면이다. 상기 열전달경로의 예는 아래와 같다. 본 발명은 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다.
상기 열전달경로는 상기 제 1 플레이트의 제 1 부분(101), 상기 제 2 플레이트의 제 1 부분(201) 및 상기 사이드 플레이트의 제 1 부분(151) 중 적어도 일부에서, 연장되는 부분을 통과할 수 있다. 상기 제1부분은 상기 진공공간부를 형성하는 부분을 포함할 수 있다. 상기 연장된 부분(102,152,202)은, 상기 제1부분으로부터 멀어지는 방향으로 연장된 부분을 포함할 수 있다. 상기 연장된 부분은, 상기 진공단열체의 측면부(side portion) 혹은 상기 제 1, 2 플레이트 중 온도가 높은 플레이트의 측면부 혹은 상기 진공공간부(50)의 측면부를 향해 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 연장된 부분은, 상기 진공단열체의 전면부(front portion) 혹은 상기 제 1, 2 플레이트 중 온도가 높은 플레이트의 전면부 혹은 상기 진공공간부(50)의 전면부로부터 멀어지는 방향으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 이를 통해, 상기 전면부에 이슬이 생성되는 것을 저감할 수 있다. 상기 진공단열체나 상기 진공공간부(50)는 서로 온도가 다른 제 1, 2 면을 포함할 수 있다. 상기 제1면은 상기 제2면보다 온도가 낮을 수 있다. 예를 들어, 상기 1면이 상기 제 1 플레이트이고, 상기 2면이 상기 제 2 플레이트일 수 있다. 상기 연장된 부분은, 상기 2면으로부터 멀어지는 방향으로 연장되거나, 상기 1면으로 향해 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 연장된 부분은, 상기 제2면에 접촉하는 부분을 포함하거나 접촉한 상태로 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 연장된 부분은, 상기 2면과 이격된 상태로 연장되는 부분을 포함할 수 있다. 상기 연장된 부분은, 상기 플레이트의 적어도 일부보다 열전달저항도가 크거나 상기 제 1면보다 열전달저항도가 큰 부분을 포함할 수 있다. 상기 연장된 부분은, 서로 다른 방향으로 연장된 복수의 부분을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 연장된 부분은, 상기 제 2 플레이트의 제 2 부분(202) 및 상기 제 2 플레이트의 제 3 부분(203)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 플레이트나 상기 사이드 플레이트에도 제3부분이 제공될 수 있다. 이를 통해, 열전달경로를 길게 하여 열전달저항을 높일 수 있다. 상기 연장된 부분에, 전술한 열전달저항체가 배치될 수 있다. 상기 연장된 부분의 외측에 추가적인 단열체가 배치될 수 있다. 이를 통해, 상기 연장된 부분은, 상기 제2면에 이슬이 발생하는 것을 저감할 수 있다. 도 9a를 참조하면, 상기 제 2 플레이트는 제 2 플레이트의 주변부로 연장되는 상기 연장된 부분을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 연장된 부분은 후방으로 연장되는 더 포함할 수 있다. 도 9b를 참조하면, 상기 사이드 플레이트는 상기 사이드 플레이트의 주변부로 연장되는 상기 연장된 부분을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 연장된 부분은 상기 제 2 플레이트의 연장된 부분에 비하여 짧거나 같은 길이로 제공할 수 있다. 여기서, 상기 연장된 부분은 후방으로 연장되는 부분을 더 포함할 수 있다. 도 9c를 참조하면, 상기 제 1 플레이트는 상기 제 1 플레이트의 주변부로 연장되는 상기 연장된 부분을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 연장된 부분은 상기 제 2 플레이트의 연장된 부분에 비하여 짧거나 같은 길이로 연장할 수 있다. 여기서, 상기 연장된 부분은 후방으로 연장되는 부분을 더 포함할 수 있다.
도 10은 온도가 다른 제 1, 2 플레이트 사이의 열전달경로 상의 분지부를 설명하는 도면이다. 상기 분지부의 예는 아래와 같다. 본 발명은 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다.
선택적으로 상기 열전달경로는 상기 제 1 플레이트, 상기 제 2 플레이트 및 상기 사이드 플레이트 중 적어도 일부에서 분지되는 부분(205,153,104)을 통과할 수 있다. 여기서, 분지된 열전달경로는, 상기 플레이트를 따라 흐르는 열전달경로와 서로 다른 방향으로 분리되어 흐르는 열전달경로를 의미한다. 상기 분지된 부분은 상기 진공공간부(50)에서 멀어지는 방향으로 형성될 수 있다. 상기 분지된 부분은 상기 진공공간부(50)의 내부를 향하는 방향으로 형성될 수 있다. 상기 분지된 부분은, 도 9에서 설명된 연장되는 부분과 동일한 기능을 수행할 수 있어, 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다. 도 10a를 참조하면, 상기 제 2 플레이트는 상기 분지된 부분(205)을 포함할 수 있다. 상기 분지된 부분은 복수개가 서로 이격하여 마련될 수 있다. 상기 분지된 부분은 상기 제 2 플레이트의 제 3 부분(203)을 포함할 수 있다. 도 10b를 참조하면, 상기 사이드 플레이트는 상기 분지된 부분(153)을 포함할 수 있다. 상기 분지된 부분(153)은 상기 사이드 플레이트의 제 2 부분(152)에서 분지할 수 있다. 상기 분지된 부분(153)은 적어도 두 개를 제공할 수 있다. 상기 사이드 플레이트의 제 2 부분(152)에는 서로 이격하는 적어도 두 개의 분지된 부분(153)을 제공할 수 있다. 도 10c를 참조하면, 상기 제 1 플레이트는 상기 분지된 부분(104)을 포함할 수 있다. 상기 분지된 부분은 상기 제 1 플레이트의 제 2 부분(102)에서 더 연장할 수 있다. 상기 분지된 부분은 상기 주변부를 향하여 연장할 수 있다. 상기 분지된 부분(104)은 절곡하여 더 연장할 수 있다. 도 10a,b,c에서 상기 분지된 부분이 연장되는 방향은, 상기 도 10에서 설명한 연장되는 부분의 연장방향 중 적어도 하나와 동일할 수 있다.
도 11는 진공단열체의 제작공정을 설명하는 도면이다.
선택적으로, 상기 진공단열체는 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트가 미리 준비되는 진공단열체 부품준비단계에 의해 제작될 수 있다. 선택적으로, 상기 진공단열체는 상기 제 1 플레이트와 제 2 플레이트가 조립되는 진공단열체 부품조립단계에 의해 제작될 수 있다. 선택적으로, 상기 진공단열체는 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이에 형성된 공간의 기체가 배출되는 진공단열체 진공배기단계에 의해 제작될 수 있다. 선택적으로, 상기 진공단열체 부품준비단계가 수행된 이후에, 상기 진공단열체 부품조립단계가 수행되거나 상기 진공단열체 진공배기단계가 수행될 수 있다. 선택적으로, 상기 진공단열체 부품조립단계가 수행된 이후에, 상기 진공단열체 진공배기단계가 수행될 수 있다. 선택적으로, 상기 진공단열체는 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이의 공간이 밀봉되는 진공단열체 부품밀봉단계(S3)에 의해 제작될 수 있다. 상기 진공단열체 부품밀봉단계는 상기 진공단열체 진공배기단계(S4) 이전에 수행될 수 있다. 상기 진공단열체는, 상기 진공단열체가 장치를 구성하는 부품과 결합되는 장치조립단계(S5)에 의해 소정의 목적을 가진 물건으로 제작될 수 있다. 상기 장치조립단계는 상기 진공단열체 진공배기단계 이후에 수행될 수 있다. 여기서, 장치를 구성하는 부품은, 상기 진공단열체와 함께 상기 장치를 구성하는 부품을 의미한다.
상기 진공단열체 부품준비단계(S1)는 상기 진공단열체를 구성하는 부품이 준비되거나 제작되는 단계이다. 상기 진공단열체를 구성하는 부품의 예로, 플레이트, 서포트, 열전달저항체, 관 등 각종 부품이 포함될 수 있다. 상기 진공단열체 부품조립단계(S2)는 상기 준비된 부품이 조립되는 단계이다. 상기 진공단열체 부품조립단계는, 상기 플레이트의 적어도 일부에 상기 서포트 및 상기 열전달저항체 중 적어도 일부가 배치되는 단계를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 진공단열체 부품조립단계는, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이에 상기 서포트 및 상기 열전달저항체 중 적어도 일부가 배치되는 단계를 포함할 수 있다. 선택적으로, 상기 진공단열체 부품조립단계는, 상기 플레이트의 적어도 일부에 관통부품이 배치되는 단계를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 진공단열체 부품조립단계는, 상기 제1,2플레이트 사이에 관통부품이나 표면부품이 배치되는 단계를 포함할 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이에 상기 관통부품이 배치된 이후에, 상기 관통부품이 상기 관통부품체결부에 연결되거나 밀봉될 수 있다.
상기 진공단열체 진공배기단계의 예는 아래와 같다. 본 발명은, 아래의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다. 상기 진공단열체 진공배기단계는, 진공단열체가 배기로에 투입되는 단계, 게터 활성화단계, 진공누설 점검단계 및 배기포트 폐쇄단계 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 부품체결부가 형성되는 단계는, 상기 진공단열체 부품준비단계, 상기 진공단열체 부품조립단계 및 장치조립단계 중 적어도 하나의 단계에서 수행될 수 있다. 상기 진공단열체 진공배기단계가 수행되기 전에, 상기 진공단열체를 구성하는 부품이 세척되는 단계가 수행될 수 있다. 선택적으로, 상기 세척단계는, 상기 진공단열체를 구성하는 부품에 초음파가 인가되는 단계를 포함하거나 상기 진공단열체를 구성하는 부품의 표면에 에탄올이나 에탄올이 함유된 물질이 제공되는 단계를 포함할 수 있다. 상기 초음파는 10khz에서 50khz사이의 강도를 가질 수 있다. 상기 물질 중 에탄올의 함유량은 50%이상일 수 있다. 일례로, 상기 물질 중 에탄올의 함유량은 50%에서 90%이하일 수 있다. 다른 예로, 상기 물질 중 에탄올의 함유량은 60%에서 80%이하일 수 있다. 또 다른 예로, 상기 물질 중 에탄올의 함유량은 65%에서 75%이하일 수 있다. 선택적으로, 상기 세척단계가 수행된 이후에, 상기 진공단열체를 구성하는 부품이 건조되는 단계가 수행될 수 있다. 선택적으로, 상기 세척단계가 수행된 이후에, 상기 진공단열체를 구성하는 부품이 가열되는 단계가 수행될 수 있다.
실시예로서, 플레이트와 관련하여 공정의 예는 다음과 같다. 본 발명의 다음의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다. 상기 진공단열체 부품준비단계는 상기 플레이트가 제작되는 단계를 포함할 수 있다. 상기 진공단열체 진공배기단계가 수행되기 전에, 상기 플레이트가 제작되는 단계가 수행될 수 있다. 선택적으로, 상기 플레이트는 판금에 의해 제작될 수 있다. 예를 들어, 소성 변형을 이용하여 얇고 넓은 플레이트가 제작될 수 있다. 선택적으로, 상기 제작단계는 상기 플레이트가 성형되는 단계를 포함할 수 있다. 상기 성형단계는 상기 사이드 플레이트의 성형에 적용되거나 상기 성형단계는 제 1 플레이트 및 제 2 플레이트 중 적어도 일부와 사이드 플레이트를 일체로 제작하는 과정에서 적용될 수 있다. 일례로, 상기 성형은 드로잉을 포함할 수 있다. 상기 성형단계는, 상기 플레이트가 부분적으로 지지대에 안착되는 단계를 포함할 수 있다. 상기 성형단계는, 상기 플레이트에 부분적으로 힘이 가해지는 단계를 포함할 수 있다. 상기 성형단계는, 상기 플레이트의 일부가 지지대에 안착되고, 상기 플레이트의 다른 일부에 힘이 가해지는 단계를 포함 포함할 수 있다. 상기 성형단계는, 상기 플레이트가 변형되는 단계를 포함할 수 있다. 상기 변형단계는, 상기 플레이트에 적어도 하나 이상의 곡선부가 형성되는 단계를 포함할 수 있다. 상기 변형단계는, 상기 플레이트의 곡률반경이 변화되는 단계를 포함하거나 상기 변형단계는 상기 플레이트의 두께가 변화되는 단계를 포함할 수 있다. 첫번째 예로, 상기 두께변화 단계는, 상기 플레이트의 일부분의 두께가 증가되는 단계를 포함하고, 상기 일부분은 상기 내부공간의 길이방향으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다(제 1 직선부). 상기 일부분은, 상기 플레이트가 성형되는 단계에서 상기 플레이트가 지지대에 안착되는 부분의 인근에 제공될 수 있다. 두번째 예로, 상기 두께변화 단계는, 상기 플레이트의 일부분의 두께가 감소되는 단계를 포함하고, 상기 일부분은 상기 내부공간의 길이방향으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다(제 2 직선부). 상기 일부분은, 상기 플레이트가 성형되는 단계에서 상기 플레이트에 힘이 가해지는 부분의 인근에 제공될 수 있다. 세번째 예로, 상기 두께변화 단계는, 상기 플레이트의 일부분의 두께가 감소되는 단계를 포함하고, 상기 일부분은 상기 내부공간의 높이방향으로 연장되는 부분을 포함할 수 있다(제 2 직선부). 상기 일부분은 상기 플레이트에서 상기 내부공간의 길이방향으로 연장되는 부분과 연결될 수 있다. 네번째 예로, 상기 두께변화 단계는, 상기 플레이트의 일부분의 두께가 증가되는 단계를 포함하고, 상기 일부분은 상기 사이드 플레이트가 상기 내부공간의 길이방향으로 연장되는 부분과 상기 내부공간의 높이방향으로 연장되는 부분 사이에 제공되는 곡선부를 포함할 수 있다(제 1 곡선부). 상기 곡선부는, 상기 플레이트가 성형되는 단계에서 상기 플레이트가 지지대에 안착되는 부분이나 그 부분의 인근에 제공될 수 있다. 다섯번째 예로, 상기 두께변화 단계는, 상기 플레이트의 일부분의 두께가 감소되는 단계를 포함하고, 상기 일부분은 상기 사이드 플레이트가 상기 내부공간의 길이방향으로 연장되는 부분과 상기 내부공간의 높이방향으로 연장되는 부분 사이에 제공되는 곡선부를 포함할 수 있다(제 2 곡선부). 상기 곡선부는, 상기 플레이트가 성형되는 단계에서 상기 플레이트에 힘이 가해지는 부분의 인근에 제공될 수 있다. 상기 변형단계는 전술한 예 중 어느 하나이거나 전술한 예 중 적어도 두 개가 결합된 예일 수 있다.
상기 플레이트와 관련하여 공정은 상기 플레이트가 세척되는 단계를 선택적으로 포함할 있다. 상기 플레이트가 세척되는 단계와 관련된 공정순서의 예는 다음과 같다. 본 발명은 다음의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다. 상기 진공단열체 진공배기단계가 수행되기 전에, 상기 플레이트가 세척되는 단계가 수행될 수 있다. 상기 플레이트가 제작되는 단계가 수행된 이후에, 상기 플레이트가 성형되는 단계 및 상기 플레이트가 세척되는 단계 중 적어도 하나가 수행될 수 있다. 상기 플레이트가 성형되는 단계가 수행된 이후에, 상기 플레이트가 세척되는 단계가 수행될 수 있다. 상기 플레이트가 성형되는 단계가 수행되기 이전에, 상기 플레이트가 세척되는 단계가 수행될 수 있다. 상기 플레이트가 제작되는 단계가 수행된 이후에, 상기 플레이트의 일부에 상기 부품체결부가 제공되는 단계 및 상기 플레이트가 세척되는 단계 중 적어도 하나가 수행될 수 있다. 상기 플레이트의 일부에 상기 부품체결부가 제공되는 단계가 수행된 이후에, 상기 플레이트가 세척되는 단계가 수행될 수 있다.
상기 플레이트와 관련하여 공정은 상기 플레이트에 부품체결부가 제공되는 단계를 선택적으로 포함할 있다. 상기 플레이트에 부품체결부가 제공되는 단계와 관련된 공정순서의 예는 다음과 같다. 본 발명은 다음의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다. 상기 진공단열체 진공배기단계가 수행되기 전에, 상기 플레이트의 일부에 상기 부품체결부가 제공되는 단계가 수행될 수 있다. 예를 들어, 상기 부품체결부 제공단계는 상기 부품체결부에 제공되는 관이 제작되는 단계를 포함할 수 있다. 상기 관은 상기 플레이트의 일부에 연결될 수 있다. 상기 관은 상기 플레이트에 제공된 빈 공간이나 상기 플레이트 사이에 제공된 빈 공간에 배치될 수 있다. 다른 예로, 상기 부품체결부 제공단계는 상기 플레이트의 일부에 관통공이 제공되는 단계를 포함할 수 있다. 또 다른예로, 상기 부품체결부 제공단계는 상기 플레이트와 상기 관 중 적어도 하나에 곡선부가 제공되는 단계를 포함할 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
상기 플레이트와 관련하여 공정은 상기 플레이트와 관련된 진공단열체 부품밀봉단계에 관한 공정을 선택적으로 포함할 수 있다. 상기 플레이트와 관련된 진공단열체 부품밀봉단계에 관한 공정순서의 예는 다음과 같다. 본 발명은 다음의 예 중 어느 하나이거나 2개 이상이 조합된 예일 수 있다. 상기 플레이트의 일부에 관통공이 제공되는 단계가 수행된 이후에, 상기 플레이트 및 상기 관 중 적어도 일부에 곡선부가 제공되는 단계 및 상기 플레이트와 상기 관 사이에 밀봉부가 제공되는 단계 중 적어도 하나가 수행될 수 있다. 상기 플레이트와 상기 관 중 적어도 하나에 곡선부가 제공되는 단계가 수행된 이후에, 상기 플레이트와 상기 관 사이가 밀봉되는 단계가 수행될 수 있다. 상기 플레이트의 일부에 관통공이 제공되는 단계와 상기 플레이트와 상기 관 중 적어도 일부에 곡선부가 제공되는 단계는, 동시에 수행될 수 있다. 상기 플레이트의 일부에 관통공이 제공되는 단계와 상기 플레이트와 상기 관 사이에 밀봉부가 제공되는 단계는, 동시에 수행될 수 있다. 상기 관에 곡선부가 제공된 단계가 수행된 이후에, 상기 플레이트의 일부에 관통공이 제공되는 단계가 수행될 수 있다. 상기 진공단열체 진공배기단계가 수행되기 전에, 상기 관의 일부가 상기 플레이트에 제공되거나 밀봉되고, 상기 진공단열체 진공배기단계가 수행된 후에, 상기 관의 다른 일부가 밀봉될 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
플레이트의 적어도 일부가 열전달저항체와 일체로 사용되는 경우에는, 상기 플레이트에 관련된 공정의 예는 상기 열전달저항체의 공정의 예로도 적용될 수 있다.
선택적으로, 상기 진공단열체는 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 사이를 연결하는 사이드 플레이트를 포함할 수 있다. 상기 사이드 플레이트에 관한 예는 다음과 같다. 본 발명은 다음의 예들 중 어느 하나이거나 2개 이상이 결합된 예일 수 있다. 상기 사이드 플레이트는 상기 제1,2플레이트 중 적어도 하나와 일체로 제공될 수 있다. 상기 사이드 플레이트는 상기 제1,2플레이트 중 어느 하나와 일체로 제공될 수 있다. 상기 사이드 플레이트는 상기 제1,2플레이트 중 어느 하나로서 제공될 수 있다. 상기 사이드 플레이트는 상기 제1,2플레이트 중 어느 하나의 일부분으로 제공될 수 있다. 상기 사이드 플레이트는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나와는 분리된 별도의 부품으로 제공될 수 있다. 이 경우, 선택적으로 상기 사이드 플레이트는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나와 결합되거나 밀봉되도록 제공될 수 있다. 상기 사이드 플레이트는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나의 적어도 일부보다 내변형도가 큰 부분을 포함할 수 있다. 상기 사이드 플레이트는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나의 적어도 일부보다 더 큰 두께를 가진 부분을 포함할 수 있다. 상기 사이드 플레이트는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나의 적어도 일부보다 더 작은 곡률반경을 가진 부분을 포함할 수 있다.
이와 유사한 예로, 선택적으로, 상기 진공단열체는 상기 제 1 플레이트의 인근에 제공되는 제 1 공간과 상기 제 2 플레이트의 인근에 제공되는 제 2 공간 사이의 열전달량을 감소시키기 위해 제공되는 열전달저항체를 포함할 수 있다. 상기 열전달저항체에 관한 예는 다음과 같다. 본 발명은 다음의 예들 중 어느 하나이거나 2개 이상이 결합된 예일 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제1,2플레이트 중 적어도 하나와 일체로 제공될 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제1,2플레이트 중 어느 하나와 일체로 제공될 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제1,2플레이트 중 어느 하나로서 제공될 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제1,2플레이트 중 어느 하나의 일부분으로 제공될 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나와는 분리된 별도의 부품으로 제공될 수 있다. 이 경우, 선택적으로, 상기 열전달저항체는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나와 결합되거나 밀봉되도록 제공될 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나의 적어도 일부보다 열전달저항도가 큰 부분을 포함할 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나의 적어도 일부보다 더 작은 두께를 가진 부분을 포함할 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나의 적어도 일부보다 더 작은 곡률반경을 가진 부분을 포함할 수 있다. 상기 열전달저항체는 상기 제1,2플레이트 중 다른 하나의 적어도 일부보다 더 작은 곡률반경을 가지는 부분을 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 11에 기재된 내용은 이하의 도면에 제시되는 실시예에 모두 적용되거나 선택적으로 적용될 수 있다.
상기 관의 설치를 개략적으로 설명한다.
도 12는 진공단열체에서 관이 설치되는 사시도로서, (a)는 관이 체결되기 전이고, (b)는 관이 체결된 후의 도면이다.
도 12를 참조하면, 하나 또는 그 이상의 실시예에 따른 진공단열체는 관(40)을 가질 수 있다. 상기 관(40)은, 상기 진공공간부(50)의 유체를 배기하는 배기를 위한 관일 수 있다. 상기 관(40)은, 기체흡착을 위한 게터가 지지되는 게터를 위한 관일 수 있다. 상기 관(40)은, 배기포트 및 게터포트를 겸할 수 있다.
선택적으로, 상기 관의 두께는 제 1 플레이트(10)보다 두껍게 제공할 수 있다. 상기 관의 두께는 상기 제 2 플레이트(20)보다 두껍게 제공할 수 있다. 상기 관의 두께는 상기 관의 밀봉 시에 필요한 압착을 견디기에 충분한 두께로 제공할 수 있다. 상기 밀봉은 핀치오프로 수행될 수 있다. 상기 관은 충분한 살두께를 가질 수 있다. 상기 관은 연성의 재질이므로 살두께는 커질 필요가 있다. 상기 살두께가 작으면 밀봉시에 찢어지거나, 진공파괴를 발생시킬 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
선택적으로, 상기 관은 금속으로 원형 또는 타원형의 속이 빈 관으로 제공할 수 있다. 상기 관은 배기 후 또는 게터 삽입 후에 밀봉할 수 있다. 상기 관은 압접으로 밀봉할 수 있다. 상기 관은 관을 변형하여 밀봉할 수 있다. 상기 관은 핀치오프하여 밀봉할 수 있다. 상기 관은 용이한 변형을 위하여 동(CU)을 재질로 할 수 있다. 상기 관은 스테인레스 스틸보다 강도가 작은 동을 사용할 수 있다. 변형이 용이한 구리를 이용함으로써, 상기 핀치오프 공정을 원활히 수행하고 상기 밀봉부를 신뢰성있게 제공할 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
선택적으로, 상기 관(40)은 제 1 플레이트(10)에 삽입할 수 있다. 상기 관(40)의 적어도 일부는 상기 진공공간부(50) 안으로 삽입할 수 있다. 상기 관(40)의 적어도 일부는 상기 제 1 플레이트(10)와 접촉할 수 있다. 상기 관(40)은 진공단열체의 주변부에 제공할 수 있다. 상기 제 1 플레이트(10)에는 상기 관삽입을 위한 관통공(41)을 형성할 수 있다. 상기 관통공(41)의 주변부에는 상기 관(40)을 체결할 수 있는 플랜지(42)를 가공할 수 있다. 상기 플랜지(42)는 상기 제 1 플레이트(10)와 일체로 제공될 수 있다. 상기 플랜지(42)는 상기 관통공(41)의 버(burr)에 의해서 형성할 수 있다. 상기 관통공(41)은 상기 관(40)의 외형과 동일한 형상을 가질 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
선택적으로, 상기 플랜지(42)는 상기 진공공간부의 높이방향으로 연장되는 소정의 높이부분(HL)를 가질 수 있다. 상기 곡률부분은 상기 관(40)을 안내하여 상기 관통공(41) 안으로 관을 편리하게 삽입할 수 있다. 상기 높이부분의 적어도 일부는 상기 관(40)과의 접촉부분을 제공할 수 있다. 상기 관(40)의 적어도 일부는 상기 높이부분에 접촉 및 체결될 수 있다. 상기 관(40)은 상기 플랜지(42)에 안내되어, 상기 진공공간부(50)의 높이방향으로 연장될 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
도 13은 상기 제 1 플레이트의 관통공을 가공하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 13을 참조하면, 제 1 플레이트(10)에 홀을 가공한다(S1). 이후에, 상기 홀보다 큰 직경의 프레싱 툴을 이용하여 상기 홀을 프레스할 수 있다(S2).
선택적으로, 상기 홀의 크기는 상기 관통공(41)의 직경보다 작을 수 있다. 상기 관통공(41)이 원형인 경우에는 상기 홀은 원형으로 제공될 수 있다. 상기 홀을 가공하는 피어싱 툴의 직경은, 상기 관(40)의 바깥 직경보다 3mm 이하 작게 할 수 있다. 상기 플랜지(42)의 높이를 3mm이하로 형성할 수 있다. 상기 프레싱 툴과 상기 홀은 같은 기하학적 중심으로, 프레싱 공정이 수행될 수 있다. 상기 프레싱 툴은 상기 관(40)의 외부직경과 같은 직경을 사용할 수 있다. 상기 프레스 공정은 버링 공정일 수 있다. 상기 버링 공정에서 버(burr)를 제공할 수 있다. 상기 프레스 공정에서 상기 홀의 주변부는 소정길이 인장되어 플랜지(42)를 형성할 수 있다. 상기 버(402)는 상기 플랜지(42)를 제공할 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
선택적으로, 상기 버링공정에서 상기 플랜지(42)가 원활히 형성되도록 하기 위하여 다음과 같은 방식을 적용할 수 있다. 일반적인 버링공정에서 가하는 힘에 비하여 작은 힘을 제공할 수 있다. 일반적인 버링 공정에 소요되는 시간보다 긴 시간동안 서서히 힘을 가할 수 있다. 상기 피어싱 공정과 상기 버링 공정의 사이에, 상기 피어싱 공정에 의해서 제공된 홀의 주변부에 1차로 곡률을 가공할 수 있다. 상기 버링공정 시에, 상기 버가 생성되는 면에 목적하는 버의 형상과 대응하는 홈을 가지는 지지대를 제공할 수 있다. 이상의 공정을 통하여 곡률반경(R)이 작은 플랜지(42)를 제공할 수 있다. 상기 곡률반경이 형성되는 부분을 곡률부분이라고 할 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
도 14는 도 12(b)의 1-1'의 단면도이다. 참고로 도 14는 진공단열체가 도어에 적용된 상태를 나타낸다. 도 14를 참조하여 상기 관의 단면 및 그 관련구성을 설명한다.
하나 또는 그 이상의 실시예에서, 상기 제 1 플레이트(10)의 두께는 적어도 0.1mm 이상의 두께로 제공할 수 있다. 이를 통하여 상기 관(40)을 삽입하는데 공정 안정성을 얻는 강성을 확보할 수 있다. 바람직하게, 상기 제 1 플레이트(10)의 두께는 0.1mm를 사용할 수 있다. 상기 제 2 플레이트(20)는 0.5mm이상의 두께로 제공할 수 있다. 상기 제 1 플레이트(10)는 얇게 제공할수록 전도열이 작아지므로 바람직하다. 상기 제 1 플레이트(10)는 얇으면 변형에 취약한 단점이 있다. 상기 관(40)을 상기 관통공(41)에 삽입할 때, 상기 관통공(41) 주변부의 상기 제 1 플레이트(10)가 변형할 수 있다. 이 경우에는 제 1 플레이트(10)가 열전달저항체(32)에 접촉하여 열손실을 일으킬 우려가 크다. 상기 열전달저항체의 예는 복사저항쉬트일 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
바람직하게, 상기 플랜지(42)의 높이(H1)는 1mm 이상 3mm 이하로 제공할 수 있다. 상기 플랜지(42)의 높이가 3mm를 초과하면, 열전달저항체(32)와 플랜지(42)가 접촉할 우려가 크다. 상기 플랜지(42)의 높이가 3mm를 초과하면, 제 1 플레이트(10)가 프레싱 공정 중에 찢어져서 플랜지가 찢어질 우려가 크다. 상기 플랜지의 가공 오차가 발생하면, 이들 문제는 더욱 심각할 수 있다. 상기 플랜지가 높이가 1mm미만이면, 상기 관과 상기 플랜지를 브레이징할 때 접촉면이 작아져서 진공누설이 발생할 우려가 크다. 상기 플랜지가 높이가 1mm미만이면, 상기 관과 상기 플랜지의 체결강도가 약해져서 체결부가 파손될 우려가 크다. 상기 접촉면에는 용가재가 주입될 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
선택적으로, 상기 관통공(41)을 형성하는 플랜지(42)의 곡률부분의 곡률반경(R)은, 제 1 플레이트(10)에 형성되는 모든 곡선부의 곡률반경보다 작을 수 있다. 상기 관통공(41)을 형성하는 플랜지(42)의 곡률반경(R)은, 제 2 플레이트(20)에 형성되는 모든 곡선부의 곡률반경보다 작을 수 있다. 상기 관통공(41)을 형성하는 플랜지(42)의 곡률반경(R)은, 사이드 플레이트(15)에 형성되는 모든 곡선부의 곡률반경보다 작을 수 있다. 상기 플랜지(42)의 곡률반경을 작게 함으로써, 상기 플랜지(42)의 높이부분(HL)의 길이를 길게 할 수 있다. 상기 플랜지(42)의 높이부분(HL)은, 상기 관(40)과 상기 플랜지(42)가 브레이징으로 접합되는 부분이 될 수 있다. 상기 플랜지(42)의 높이부분(HL)의 길이를 길게 하여, 상기 관(40)과 상기 플랜지(42) 간의 넓은 접촉면적을 확보할 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
선택적으로, 상기 관은 상기 추가적인 단열체(90)로 단열될 수 있다. 상기 추가적인 단열체(90)는, 상기 관(40)과 제 1 공간 사이의 간격, 및 상기 관(40)과 제 2 공간 사이의 간격을 단열할 수 있다. 상기 관(40)은 상기 추가적인 단열체(90)를 수용하는 케이스에 접근하지 않을 수 있다. 상기 관(40)은 상기 케이스와는 이격할수록 단열성능이 높다. 상기 관(40)은 열전도율이 높은 동을 재질로 하기 때문이다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
한편, 상기 관(40)의 밀봉부의 변형이, 상기 관(40)을 따라서 상기 관(40)과 상기 플랜지(42)의 접합부까지 전파할 수 있다. 이 경우에는 상기 접합부가 파손될 수 있다. 상기 접합부는, 강성이 약한 제 1 플레이트(10)를 일 접합면으로 가지기 때문에, 상기 접합부의 파손에 대한 우려는 더욱 크다. 최적의 관(40) 길이를 제공하여, 상기 관(40)을 통한 단열손실을 줄일 수 있다. 최적의 관(40) 길이를 제공하여, 상기 접합부의 파손을 방지할 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 플레이트(10)로부터 돌출되는 상기 관(40)의 높이(H2)는, 상기 관(40)의 직경의 2배 이상일 수 있다. 이 경우에, 상기 관(40)의 밀봉부의 변형은 상기 접합부에 전달되지 않는다. 이 경우에, 상기 밀봉부를 형성하더라도 상기 접합부에서 상기 관(40)은 원래 형상을 유지할 수 있다. 상기 관(40)이 원형이 아닌 경우에는 상기 관(40)의 평균 직경의 2배 이상을 의미할 수 있다. 여기서, 평균 직경은 상기 관의 단면의 기하학적인 중심에서, 상기 관의 단면의 모서리까지의 평균거리를 의미할 수 있다. 상기 관(40)은 상기 진공공간부(50)의 높이방향으로 비스듬히 경사지게 연장될 수도 있다. 이 경우에는, 상기 관의 밀봉부에서 제 1 플레이트(10)로 가장 인접하는 지점까지의 거리가, 상기 관(40)의 직경의 2배 이상인 것이 바람직하다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 플레이트(10)로부터 돌출되는 상기 관(40)의 높이(H2)는, 상기 추가적인 단열체(90)의 케이스와 접하지 않을 수 있다. 상기 관(40)이 상기 진공상태의 높이방향으로 연장될 수 있다. 이 경우에, 상기 관(40)과 상기 가스켓(80)은 상하로 정렬할 수 있다. 상기 관(40)의 단부와 상기 가스켓(80) 인접부를 잇는 열전도 패스가 발생하여 단열손실이 증가할 수 있다. 상기 관(40)의 끝단에서 상기 추가적인 단열체(90)의 케이스 또는 경계까지의 거리(H3)는 20mm이하가 되도록 하는 것이 바람직하다. 상기 제 1 플레이트(10)로부터 돌출되는 상기 관(40)의 높이(H2)는, 상기 관(40)의 끝단에서 상기 추가적인 단열체(90)의 경계까지의 거리(H3)보다 큰 것이 바람직하다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 플레이트(10)로부터 돌출되는 상기 관(40)의 높이(H2)와, 상기 관(40)의 끝단에서 상기 추가적인 단열체(90)의 경계까지의 거리(H3)의 합은, 상기 진공공간부(50)의 높이보다 크게 제공할 수 있다. 상기 진공공간부(50)는 10mm 이상 20mm 이하로 제공할 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
선택적으로, 상기 플랜지(42)는 상기 진공공간부(50)를 향할 수 있다. 이를 통하여, 상기 플랜지(42)가 상기 관(40)의 삽입을 안내할 수 있다. 이를 통하여, 작업자가 편리하게 관(40)을 삽입할 수 있다. 다른 실시 형태로, 상기 플랜지(42)는 상기 진공공간부(50)의 바깥쪽으로 향하도록 할 수 있다. 전술한 관의 예는 배기포트나 게터포트 등 포트일 수 있다.
도 15는 상기 플랜지가 상기 진공공간부의 바깥쪽을 향하여 연장하는 실시예를 도시한다. 하나 또는 더 많은 다른 실시예에서, 상기 플랜지(42)가 상기 진공공간부(50)의 바깥을 향하여 연장할 수 있다. 상기 플랜지(42)는 상기 제 1 공간을 향하여 연장할 수 있다.
선택적으로, 상기 플랜지(42)의 끝단이 상기 열전달저항체(32)과 접하지 않을 수 있다. 상기 진공공간부(50)의 내부에, 상기 플랜지(42)의 간섭이 없이 상기 열전달저항체를 자유롭게 설치할 수 있다. 상기 열전달저항체(32)을 제 1 플레이트(10)에 인접하거나 접하는 상태로 설치할 수 있다. 상기 플랜지(42)의 간섭이 없이 상기 서포트(30)를 설치할 수 있다. 상기 진공공간부(50) 내부에 놓이는 각 열전달저항체(32)(33)(60)(63)와 상기 플랜지(42)와의 간섭, 접촉, 및 인접을 방지할 수 있다. 이에 따라서, 설계의 자유도를 높일 수 있고, 열전도를 줄일 수 있다. 여기서, 상기 간섭은 설계시 부품의 영역이 겹쳐서 제품 설계가 어려운 것을 말할 수 있다. 상기 접촉은 부품 들이 서로 접촉하여 단열손실이 급증하는 것을 말할 수 있다. 상기 인접은 부품이 인접하여 단열손실이 발생하여 부가적인 단열재가 개입하는 것을 말할 수 있다. 상기 도 15 에서 설명한 열전달저항체의 예는 복사저항쉬트일 수 있다.
하나 또는 그 이상이 실시예는, 상기 제 2 플레이트(20)와 상기 사이드 플레이트(15)를 한 몸으로 제공할 수 있다. 상기 제 2 플레이트(20)와 상기 사이드 플레이트(15)는, 단일의 판재를 성형하여(shaping) 제공할 수 있다. 상기 제 2 플레이트(20)와 상기 사이드 플레이트(15)는, 금속판재작업(sheet metal-working)으로 제공할 수 있다. 상기 제 2 플레이트(20)와 상기 사이드 플레이트(15)의 경계에는 진공파괴를 일으킬 수 있는 밀봉부가 제공되지 않을 수 있다. 상기 밀봉부는 서로 다른 상기 두 플레이트를 체결하는 부분을 말할 수 있다. 예를 들어, 상기 밀봉부는 용접부일 수 있다. 상기 제 2 플레이트(20)와 상기 사이드 플레이트(15)의 접촉부에는 밀봉되는 부분이 없을 수 있다. 상기 밀봉부를 제거하여 진공단열체의 진공 신뢰성을 개선할 수 있다. 상기 두 부재 간의 체결 및 밀봉이 불필요하므로 양산 속도를 높일 수 있다.
도 16 내지 도 18은 진공단열체를 제작하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 16을 참조하면, 하나 또는 그 이상이 실시예는, 상기 제 2 플레이트(20)가 수용공간을 형성하도록 가공할 수 있다. 상기 제 1 플레이트(10)와 상기 제 2 플레이트(20)가 체결될 수 있다. 상기 사이드 플레이트(15)와 상기 제 2 플레이트(20)가 서로 절곡되어 상기 수용공간을 형성할 수 있다. 상기 사이드 플레이트(15)와 상기 제 2 플레이트(20)가 서로 다른 방향으로 연장할 수 있다.
도 17를 참조하면, 하나 또는 그 이상이 실시예는, 제 1 서포트(301) 및 제 2 서포트(302) 중의 적어도 하나는 수지를 재질로 제공할 수 있다. 이를 통하여 열전도율을 낮게 할 수 있다. 상기 외측패널 및 상기 내측패널도 열전율을 낮추기 위하여 수지를 재질로 할 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 서포트(301) 및 제 2 서포트(302) 중의 적어도 하나는 적어도 두 개의 이격하는 부품으로 제공될 수 있다. 도면에는 제 2 서포트(302)가 서로 이격하는 부품으로 된 것을 예시한다. 상기 제 1 서포트(301)의 각 부품 및 상기 제 2 서포트(302)의 각 부품은 서로 교대로 연결될 수 있다. 상기 제 1 서포트(301)의 이격하는 두 부품의 사이에는 상기 제 2 서포터(302)의 부품이 놓일 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1, 2 서포트(30)의 가운데에는 열전달저항체(32)가 놓일 수 있다. 상기 제 1, 2 서포트(301)(302)를 체결하여 상기 열전달저항체(32)의 위치를 고정할 수 있다. 상기 진공단열체 부품조립단계(S2)에서는, 상기 서포트(30), 상기 열전달저항체, 및 상기 관통부품이 상기 플레이트에 조립될 수 있다. 여기서 상기 열전달저항체는 상기 복사저항쉬트(32)을 포함할 수 있다. 상기 열전달저항체는 다른 부품을 포함할 수도 있다.
도 18을 참조하면, 선택적으로, 상기 제 1, 2 서포트(301)(302)와 상기 열전달저항체가 체결된 후에, 서포트(30)와 열전달저항체(32)의 어셈블리가 상기 수용공간에 놓일 수 있다. 상기 어셈블리가 상기 수용공간에 놓인 후에 상기 제 1 플레이트(10)는 상기 제 2 플레이트(20)에 놓일 수 있다. 상기 사이드 플레이트의 제 2 부분(152)에서 상기 제 2 플레이트(20)와 상기 제 1 플레이트(10)를 서로 밀봉할 수 있다. 밀봉을 위해서 밀봉을 수행할 수 있다.
선택적으로, 상기 진공단열체 부품밀봉단계(S3)는, 상기 진공공간부(50)를 상기 제 1 공간 및 상기 제 2 공간에 대하여 밀폐할 수 있다. 상기 진공단열체 부품밀봉단계(S3)는 상기 제 1 플레이트(10)와 상기 제 2 플레이트(20)를 밀봉하는 것으로 수행할 수 있다.
이하에서 제 1 플레이트의 강도보강부에 대하여 설명한다.
선택적으로, 상기 제 1 플레이트(10)가 얇은 경우에는 부작용이 발생할 수 있다. 제 1 플레이트가 얇으면 변형에 취약할 수 있다. 상기 플레이트의 용접시에 플레이트 부재 간을 밀착시키기 위하여 가진공을 인가할 수 있다. 상기 가진공(임시진공)은 상기 진공공간부(50)를 배기하는 진공공정과 다를 수 있다. 상기 제 1 플레이트는 상기 가진공이 인가될 때 변형에 취약할 수 있다. 상기 제 1 플레이트는 상기 서포트가 불연속한 부분에서 변형에 취약할 수 있다. 상기 제 1 플레이트(10)가 변형하면 용접불량을 야기할 수 있다. 두 플레이트의 접촉이 서로 이격할 수 있기 때문이다. 상기 용접불량은 진공단열체의 폐기로 이어지는 중요한 문제이다.
도 19는 실시예에 따른 진공단열체의 사시도이다.
도 19를 참조하면, 하나 또는 그 이상이 실시예는, 진공단열체는 상기 제 1 플레이트(10)에 강도보강부(11)를 포함할 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 상기 제 1 플레이트(10)의 강도를 보강할 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 상기 진공단열체의 강도를 보강할 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 상기 제 1 플레이트(10)의 변형을 방지할 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 제 1 플레이트의 주변부에 마련될 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 제 1 플레이트의 에지의 연장방향을 따라서 연장하는 부분을 가질 수 있다. 상기 강도보강부는 제 1 플레이트의 장변측에 제공될 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 플레이트와 상기 서포터는 상기 진공공간부의 두께방향으로 정렬되는 영역을 가질 수 있다. 상기 강도보강부는 서포트를 제공하는 두 개의 부품의 사이와 대응하여 제공될 수 있다. 상기 강도보강부는 제 1 플레이트의 적어도 두 개소에 이격하여 제공될 수 있다. 상기 강도보강부는 제 1 플레이트의 여섯 곳에 이격하여 제공될 수 있다. 상기 제 2 서포트(302)는, 적어도 두 개 이상의 부품으로 분할될 수 있다. 상기 제 2 서포트(302)는, 제 1 부품 내지 제 4 부품(3021)(3022)(3023)(3024)을 가질 수 있다. 물론, 더 많거나 적은 부품을 가질 수 있다. 상기 부품(3021)(3022)(3023)(3024)사이의 간격은, 상기 부품 내부의 격자와는 다른 특성을 가질 수 있다. 상기 특성은, 상기 격자와 상기 간격의 길이차, 제 1 플레이트 단변방향으로 지지구조의 유무, 및 불연속 지짐의 유무 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 특성으로 인하여, 제 1 플레이트의 변형은 상기 두 개의 부품의 간격이 더 취약할 수 있다. 상기 두 개의 부품의 간격은 일방향으로 연장할 수 있다. 상기 두 개의 부품의 간격과 대응하는 제 1 플레이트의 주변부에 상기 강도보강부(11)가 제공될 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 상기 두 개의 부품의 간격에서 발생하는 제 1 플레이트의 변형이 전파하는 것을 억제할 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 제 1 플레이트의 변형이 밀봉부(도 20의 611)로 전파하는 것을 억제할 수 있다. 상기 강도보강부는 제 1 플레이트의 곡선주변부에 배치되지 않을 수 있다. 제 1 플레이트의 곡선주변부에는 상기 두 개의 부품의 간격이 존재하지 않을 수 있다. 상기 강도보강부는 제 1 플레이트의 직선주변부에 제공될 수 있다. 상기 제 1 플레이트에서 볼 때, 상기 강도보강부(11)는 상기 밀봉부(611)의 안쪽에 놓일 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 상기 밀봉부(611)의 간격은 1 밀리미터 이상일 수 있다. 상기 강도보강부(11)와 상기 밀봉부(611) 사이에 간격에 있을 수 있다. 상기 간격에 의해서 강도보강부의 자체 형상이 밀봉부에 영향을 미치지 않을 수 있다. 상기 밀봉부는 용접부일 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 밀봉되는 두 부재의 밀봉공정시 밀착성능을 향상시킬 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 밀봉되는 두 부재의 밀봉공정 후의 밀착성능을 향상시킬 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 상기 진공단열체 부품준비단계에서 상기 플레이트에 제공될 수 있다.
선택적으로, 상기 강도보강부(11)는 밀봉부(611)와 대응하는 영역에서 제 1 플레이트의 평탄도를 증가시킬 수 있다. 상기 밀봉부는 적어도 두 부재가 체결되는 영역일 수 있다. 상기 밀봉부에 대응하는 제 1 플레이트의 평탄도 향상은, 밀봉되는 두 부재의 밀착도를 향상시킬 수 있다. 상기 밀봉부에 대응하는 제 1 플레이트의 평탄도 향상은, 밀봉부를 제공하는 밀봉작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 결국, 상기 강도보강부(11)는 밀봉신뢰성 및 진공단열체의 진공유지성능을 향상시킬 수 있다.
선택적으로, 상기 강도보강부(11)를 이용하여 서포터(31)의 자리잡음 상태를 확인할 수 있다. 상기 강도보강부는(11)가 있는 곳은, 제 1 플레이트의 다른 영역과는 다른 표식으로서 드러날 수 있다. 작업자는 자신의 감각으로 상기 강도보강부(11)의 위치를 확인할 수 있다. 상기 강도보강부는 상기 서포터의 부품 간의 간격과 대응할 수 있다. 작업자는 강도보강부를 통하여 상기 서포터의 간격의 위치를 확인할 수 있다. 작업자는 서포터의 간격이 올바른 위치에 있는 지를 확인할 수 있다. 예를 들어, 서포터(31)가 진공공간부(50)의 내부에서 한 쪽으로 쏠려서 위치할 수 있다. 이 경우에는 강도보강부가 한 쪽으로 밀릴 수 있다. 작업자는 강도보강부의 쏠림을 이용하여 서포터의 쏠림 또는 부품 간의 간격을 확인할 수 있다. 작업자는 제 1 플레이트를 들고 서포터에 대한 재작업을 할 수 있다. 작업자는, 상기 강도보강부(11)가 상기 서포터의 특정위치와 대응하는 경우(예, 도 21의 114 등)에 더 정확하게 작업할 수 있다.
도 20은 상기 강도보강부와 상기 구성과의 관계를 상세하게 보이는 도면이다. 도 20을 참조하여 일 예에 따른 강도보강부(111)에 대하여 상세하게 설명한다.
선택적으로, 상기 강도보강부(111)는 제 1 플레이트에서 돌출할 수 있다. 상기 강도보강부(111)는 제 1 플레이트에서 상방으로 연장할 수 있다. 강도보강부(111)는 제 1 플레이트가 포밍(forming)되어 제공될 수 있다. 강도보강부(111)는 서포터의 바깥쪽에 놓일 수 있다. 상기 강도보강부(111)는 진공공간부의 두께방향으로 상기 서포터와 대응할 수 있다. 다른 강도보강부와 서포터의 대응도 마찬가지일 수 있다. 강도보강부(111)는 상기 밀봉부(611)의 안쪽에 놓일 수 있다. 이를 통하여 제 1 플레이트 내부영역의 변형이 밀봉부 측으로 전파하는 것을 억제할 수 있다. 강도보강부(111)는 상기 밀봉부(611)와 최외각 서포터의 사이에 놓일 수 있다. 강도보강부(111)는 상기 밀봉부(611)와 최외각 서포터의 중앙에 놓일 수 있다. 강도보강부(111)의 장축은 상기 두 개의 부품 간격과 수직하게 놓일 수 있다. 상기 강도보강부(111)의 폭(L3)은 길이(L2)보다 짧을 수 있다. 상기 강도보강부(111)의 폭(L3)은 상기 밀봉부의 폭(L4)보다 클 수 있다. 상기 강도보강부(111)의 폭(L3)은 서포터 프레임의 폭(L5)보다 작을 수 있다. 상기 강도보강부(111)의 폭(L3)은 상기 강도보강부(111)의 두께(도 22(a)의 t)보다 클 수 있다. 상기 강도보강부(111)의 폭(L3)은 1-3 밀리미터, 바람직하게 2밀리미터일 수 있다. 상기 강도보강부(111)의 두께(도 22(a)의 t)는 상기 제 1 플레이트의 두께보다 두꺼울 수 있다. 상기 강도보강부(111)의 길이(L2)는 상기 서포터 부품 간의 간격(L1)보다 길 수 있다. 상기 강도보강부(111)의 길이(L2)는 상기 서포터 부품 간의 간격(L1)의 세 배보다 작을 수 있다. 상기 강도보강부(111)의 길이(L2)는 상기 서포터 부품 간의 간격(L1)의 1.5배 내지 2.5배 일 수 있다. 상기 스케일에 의해서 강도보강부의 작용이 원활할 수 있다.
도 21은 위치에 따라서 다른 강도보강부의 실시예를 보이는 도면이다. 도 21에 제시되는 어느 하나의 강도보강부는 도 21에 제시되는 다른 하나의 강도보강부를 배제하지 않을 수 있다. 도 21에 제시되는 어느 하나의 강도보강부는 적어도 하나가 제공될 수 있다. 도 21에 제시되는 강도보강부 중의 적어도 하나가 제 1 플레이트에 마련될 수 있다. 도 21에 제시되는 강도보강부 중의 적어도 하나는, 다른 위치의 상기 두 개의 부품 간의 간격에 놓일 수 있다. 도 21에 제시되는 어느 하나의 강도보강부의 설명은, 본 명세서의 다른 강도보강부의 설명에 적용될 수 있다.
도 21을 참조하면, 제 1 강도보강부(111)는 도 20에 설명한 바와 같은 설명이 적용될 수 있다. 제 2 내지 제 5 강도보강부(112)(113)(114)(115) 중의 적어도 하나가 제공될 수 있다.
선택적으로, 상기 제 2 강도보강부(112)는 상기 서포터의 격자영역의 내부에 놓일 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 상기 서포터의 격자 내부영역의 어느 모서리에 대응하여 놓일 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 상기 서포터의 격자 내부영역의 어느 모서리에 접하여 놓일 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 상기 서포터의 측면에 접하여 놓일 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 상기 서포터의 격자의 어느 일 모서리의 양 끝에 접할 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 상기 서포터의 격자의 어느 일 모서리에 접할 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 모서리의 적어도 일단에 접할 수 있다. 도 22(e)는 도 21의 1-1'의 단면도이다. 도 22(e)를 참조하면, 상기 제 2 강도보강부(112)는 제 1 플레이트의 하방으로 돌출할 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)의 측면은 서포터에 접할 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 제 1 플레이트의 마주보는 변의 적어도 하나에 제공될 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 제 1 플레이트의 마주보는 변에 각각 제공될 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 상기 서포터(31)의 위치를 원활히 가이드할 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 상기 두 부품의 간격에 해당하는 제 1 플레이트의 강도를 간접적으로 보강할 수 있다. 상기 제 2 강도보강부(112)는 제 1 플레이트의 변형의 전파를 막을 수 있다.
상기 제 5 강도보강부(115)는 상기 제 2 강도보강부와 마찬가지의 설명이 적용될 수 있다. 상기 제 5 강도보강부(115)는 제 3 부품(3023)에 대응하여 설치되는 것에서만, 제 2 강도보강부(112)와 다를 수 있다.
선택적으로, 상기 제 3 강도보강부(113)는 상기 제 1 강도보강부(111)의 안쪽에 마련될 수 있다. 상기 제 3 강도보강부(113)는 상기 제 1 강도보강부(111)에 비하여 길이가 짧을 수 있다. 상기 제 3 강도보강부(113)의 적어도 일부는 사이드 플레이트의 제 1 부분(151)과 대응할 수 있다. 상기 제 1 강도보강부(111)의 적어도 일부는 사이드 플레이트의 제 2 부분(152)과 대응할 수 있다. 상기 사이드 플레이트의 제 1 부분(151)은 상기 사이드 플레이트의 제 2 부분(152)과 연속할 수 있다. 상기 사이드 플레이트의 제 1 부분(151)은 상기 사이드 플레이트의 제 2 부분(152)에 비하여 안쪽에 놓일 수 있다.
선택적으로, 상기 제 4 강도보강부(114)는 상기 두 개의 부품의 사이 간격에 대응하는 제 1 플레이트의 영역에 놓일 수 있다. 상기 제 4 강도보강부(114)의 적어도 어느 일단은 제 2 부품(3022) 및 제 3 부품(3023)의 적어도 어느 일 모서리에 접할 수 있다. 상기 제 4 강도보강부(114)는 상기 두 부품의 간격에 해당하는 제 1 플레이트의 강도를 직접적으로 보강할 수 있다. 상기 제 4 강도보강부(114)는 제 1 플레이트의 변형의 발생을 막을 수 있다. 상기 제 4 강도보강부(114)는 제 1 플레이트의 변형의 전파를 막을 수 있다.
도 22는 강도보강부의 제공방법에 따라서 다른 강도보강부의 실시예를 보이는 도면이다. 도 22에 제시되는 어느 하나의 강도보강부는 도 22에 제시되는 다른 하나의 강도보강부를 배제하지 않을 수 있다. 도 22에 제시되는 어느 하나의 강도보강부는 적어도 하나가 제공될 수 있다. 도 22에 제시되는 강도보강부 중의 적어도 하나가 제 1 플레이트에 마련될 수 있다. 도 22에 제시되는 어느 하나의 강도보강부의 설명은, 본 명세서의 다른 강도보강부의 설명에 적용될 수 있다.
도 22(a)는 적어도 일방향으로 돌출 또는 가공되는 포밍된 강도보강부(11a)를 보인다. 선택적으로, 상기 포밍된 강도보강부(11a)는 프레스, 성형, 및 타격 중의 적어도 하나로 예시되는 방법으로 제공할 수 있다. 상기 포밍된 강도보강부(11a)는 제 1 플레이트의 관성모멘트를 증가시킬 수 있다. 상기 포밍된 강도보강부의 모양은 일자로 일자, 원형, 타원형, 장방형, 및 다각형 등의 여러 형상을 예시할 수 있다.
상기 포밍된 강도보강부(11a)는, 상방으로 돌출하는 것을 바람직하게 예시할 수 있다. 상기 포밍된 강도보강부(11a)는, 상기 밀봉부(611)의 형성을 원활히 할 수 있다.
도 23은 포밍된 상기 포밍된 강도보강부(11a)의 작용에 대하여 설명하는 도면이다. 도 23을 참조하면, 선택적으로, 제 1 플레이트와 밀봉되는 부재에는 두께가 다른 변형부(154)가 있을 수 있다. 상기 변형부는 플레이트의 성형, 플레이트의 강도보강 들 중의 어느 하나의 이유로 발생할 수 있다. 상기 변형부(154)는 제 1, 2 사이드 플레이트(151)(152)의 경계에 제공될 수 있다. 상기 변형부(154)는 제 2 플레이트(20) 및/또는 사이드 플레이트(15)의 다른 부분에 비하여 두꺼울 수 있다. 상기 변형부(154)는 상방으로 돌출할 수 있다. 상방으로 포밍된 상기 포밍된 강도보강부(11a)는, 포밍된 내부에 상기 변형부(154)를 수용할 수 있다. 상기 밀봉부(611)에서 상기 제 1 플레이트와 사이드 플레이트(15)가 밀착할 수 있다. 상기 포밍된 강도보강부(11a)는 제 1 플레이트와 제 2 플레이트의 자리잡음에 도움을 줄 수 있다. 상기 포밍된 강도보강부(11a)는, 상기 밀봉부(611)의 용접시에, 고열이 상기 서포트에 미치는 영향을 줄일 수 있다. 상기 포밍된 강도보강부(11a)는 서포터의 품질향상에 기여할 수 있다. 상기 포밍된 강도보강부(11a)는, 제 1 플레이트가 사이드 플레이트와 접하는 위치를 바깥쪽으로 이동시킬 수 있다. 상기 강도보강부(11a)는 진공단열체의 전열패스를 길게 할 수 있다. 상기 강도보강부의 길어진 전열패스에 의해서 진공단열체의 단열효과를 증진할 수 있다.
선택적으로, 상기 도 23(a)에는 상기 포밍된 강도보강부(11a)가 제공되지 않을 수 있다. 이 경우에는, 상기 밀봉부(611)에서 상기 제 1 플레이트와 사이드 플레이트(15)의 사이에 간격(d)이 발생할 수 있다. 상기 간격(d)은 용접불량을 일으키는 주요한 원인이 될 수 있다. 상기 도 23(b)는 상기 포밍된 강도보강부(11a)가 제공될 수 있다. 이 경우에는, 상기 밀봉부(611)에서 상기 제 1 플레이트와 사이드 플레이트(15)는 밀착할 수 있다. 상기 밀봉부(611)에서 상기 제 1 플레이트와 제 2 플레이트(20)는 밀착할 수 있다. 상기 포밍된 강도보강부(11a)가 하방으로 돌출하는 경우에는 상기 간격(d)이 더 커질 수 있다. 본 발명이 상기 포밍된 강도보강부가 하방으로 돌출하는 것을 배제하는 것은 아니다.
다시 도 22를 참조하여 설명한다. 도 22(b)는 상방으로 돌출된 이형(異形) 강도보강부(11b)를 보인다. 선택적으로, 상기 이형 강도보강부(11b)는 제 1 플레이트의 두께를 두껍게 할 수 있다. 상기 이형 강도보강부(11b)는, 같은 재질로 제 1 플레이트의 관성 모멘트를 크게 할 수 있다. 도 22(c)는 이재질(異材質) 강도보강부(11b)를 보인다. 상기 이재질 강도보강부(11b)는 제 1 플레이트의 강도를 크게 할 수 있다. 상기 이재질 강도보강부(11b)의 영역은 강도가 높은 재질을 사용하여 제 1 플레이트의 강성을 크게 할 수 있다. 도 22(d)는 상방으로 소정의 부재가 추가된 추가 강도보강부(11b)를 보인다. 상기 추가 강도보강부(11b)는 제 1 플레이트의 두께를 두껍게 하도록 다른 부재를 추가할 수 있다. 상기 추가 강도보강부(11b)는, 같거나 다른 재질을 제 1 플레이트에 덧붙혀서 전체로서 제 1 플레이트의 관성 모멘트를 크게 할 수 있다.
선택적으로, 상기 포밍된 강도보강부 및 상기 이형(異形) 강도보강부는, 상기 제 1 플레이트와 분리되지 않는 비분리형 또는 일체형으로 제공될 수 있다. 상기 추가 강도보강부는 상기 1 플레이트와 분리가 가능하거나, 제 1 플레이트에 소정의 부재가 더해지는 분리형 또는 추가형으로 제공될 수 있다. 상기 이재질(異材質) 강도보강부는, 부분합금, 대체, 또는 용접 등과 같은 다양한 방법이 적용될 수 있다. 비분리형, 일체형, 분리형, 또는 추가형 중의 적어도 어느 하나의 것으로 적용할 수 있다.
하나 또는 그 이상의 실시예에서 상기 제 1 플레이트(10)에는 관(40)이 체결될 수 있다. 상기 관의 자중 및 상기 관을 통하여 제 1 플레이트에 가하여지는 힘 중의 적어도 하나에 의해서 상기 제 1 플레이트는 변형될 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 상기 관의 접촉부는 체결될 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 상기 관의 접촉부는 블레이징될 수 있다. 상기 브레이징 시에 가하여지는 열은 상기 제 1 플레이트를 뒤틀 수 있다. 상기 제 1 플레이트의 뒤틀림은 상기 제 1 플레이트의 변형으로 이어질 수 있다. 상기 제 1 플레이트의 변형은 상기 밀봉부(611)에 악영향을 미칠 수 있다. 상기 제 1 플레이트의 변형은 상기 밀봉부(611)를 파손 또는 진공파괴 시킬 수 있다. 상기 제 1 플레이트의 변형은 진공단열체의 단열손실을 발생시킬 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 플레이트와 상기 관의 체결은, 상기 진공단열체 부품조립단계 또는 부품준비단계에서 수행될 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 상기 관의 체결은, 상기 진공단열체 부품밀봉단계의 전에 수행될 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 상기 관의 체결은, 상기 진공공간부의 내부 공기를 배기하는 진공단열체 진공배기단계 전에 수행될 수 있다.
상기 관에 대응하여 마련되는 강도보강부는, 이미 설명한 도 19 내지 23에 개시되는 서포트와 관련되는 서포트 강도보강부와 비교하여, 관 강도보강부라고 지칭할 수 있다. 어느 경우라도 제 1 플레이트의 강도보강부이므로, 구분이 없이 강도보강부라고 지칭할 수 있다. 상기 강도보강부의 설명은 어느 일 실시예의 것이 다른 어느 실시예에 적용될 수 있다.
하나 또는 그 이상의 실시예에서, 상기 제 1 플레이트에서 상기 관이 체결되는 곳에 강도보강부(11)를 제공할 수 있다. 상기 강도보강부(11)는, 관(40)의 작용에 대응하는 것으로서, 관 강도보강부라고 지칭할 수도 있다. 이하의 설명에서 강도보강부라고 하면 특별한 설명이 없는 경우에는 관 강도보강부를 지칭할 수 있다. 상기 관 강도보강부에 대한 설명은 상기 서포트 강도보강부에 대하여 적용될 수 있다. 상기 관 강도보강부는 상기 관에 기인하는 제 1 플레이트의 변형을 억제할 수 있다. 상기 관 강도보강부는 상기 관에 기인하는 제 1 플레이트의 변형에 따른 진공단열체의 악영향을 방지할 수 있다.
도 24는 관이 설치되는 제 1 플레이트의 일 부분을 확대한 도면이고, 도 25는 강도보강부를 중심으로 진공단열체를 진공단열체의 두께방향으로 절단한 단면사시도이다. 도 24 및 도 25를 참조하면, 관(40)이 삽입되는 홀의 외주에 플랜지(41)가 형성될 수 있다. 상기 플랜지에서 이격하는 바깥쪽에 강도보강부(11)가 마련될 수 있다. 상기 강도보강부는 이미 설명한 다양한 제공방법에 의해서 제공될 수 있다. 상기 강도보강부는 분리형/일체형/비분리형/추가형 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 내측부와 외측부를 가질 수 있다. 상기 내측부는 상기 외측부의 안쪽에 놓일 수 있다. 상기 강도보강부(11)의 기하학적인 중심으로부터 상기 내측부까지의 거리(R1)와, 상기 강도보강부(11)의 기하학적인 중심으로부터 상기 외측부까지의 거리(R2)는 서로 다를 수 있다. 상기 내측부 및 상기 외측부를 위한 기하학적 중심은, 각각 다를 수 있다. 상기 기하학적 중심은 평균중심일 수 있다. 상기 내측부 및 상기 외측부를 위한 기하학적 중심은 같을 수 있다. 상기 내측부 및 상기 외측부 중의 적어도 하나는 폐곡선을 이룰 수 있다. 상기 폐곡선은 원, 타원, 및 다각형 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 폐곡선의 안에는 상기 플랜지(41)가 놓일 수 있다. 상기 내측부 및 상기 외측부 중의 적어도 하나는 상기 서포터을 통과할 수 있다. 상기 내측부 및 상기 외측부 중의 적어도 하나는 상기 서포터의 격자보다 클 수 있다. 상기 내측부 및 상기 외측부 중의 적어도 하나는 열려 있을 수도 있다.
선택적으로, 상기 강도보강부(11)는 상기 플랜지(41)와 반대방향으로 돌출할 수 있다. 상기 강도보강부는 상방으로 돌출할 수 있다. 상기 강도보강부는 상기 서포트(31)와 접촉하지 않을 수 있다. 상기 강도보강부는 하방으로 돌출할 수 있다. 상기 강도보강부는 상기 서포터의 프레임과 접촉할 수 있다. 상기 플랜지(41)는 상기 서포터의 어느 한 격자의 안에 놓일 수 있다. 상기 격자는 사각형일 수 있다. 이 배치를 이용하여 상기 관과 상기 서포터와의 간섭을 방지할 수 있다.
도 26은 강도보강부를 설명하는 진공단열체의 단면도이다. 도 26(a)을 참조하면, 상기 관 강도보강부의 폭(R1-R2)은 상기 서포트 강도보강부의 폭(L3)보다 클 수 있다. 상기 강도보강부의 폭은 3-5밀리미터로 제공할 수 있다. 상기 강도보강부의 폭은 4밀리미터로 제공할 수 있다. 상기 강도보강부(t1)의 높이는 0.1-0.3밀리미터로 제공할 수 있다. 상기 강도보강부(t1)의 높이는 0.2밀리미터로 제공할 수 있다. 상기 강도보강부(11)와 상기 서포터(31)가 접하지 않는 제 2 영역(b)이 포함될 수 있다. 상기 제 2 영역에서, 상기 강도보강부(11)와 상기 서포터(31)가 정렬할 수 있다. 상기 제 1 플레이트는 상기 제 2 영역(b)와 이어지는 제 1 영역(a)을 가질 수 있다. 상기 제 1 영역(a)에서 상기 강도보강부(11)와 상기 서포터(31)가 정렬할 수 있다. 상기 제 1 영역(a)에서 상기 강도보강부(11)와 상기 서포터(31)가 접할 수 있다.
도 26(b)는 상기 강도보강부가 하방으로 돌출하는 실시예를 제시한다. 도 26(b)는 상기 강도보강부가 일부는 상방으로 일부는 하방으로 돌출하는 실시예를 제시한다. 이 외에 강도보강이라는 결과를 달성할 수 있는 다양한 실시예를 포함할 수 있다.
도 27은 진공단열체의 평면도로서, 도 27을 참조하여 서포터와 강도보강부의 정렬관계를 설명한다. 도 27(a)를 참조하면, 상기 강도보강부(11)의 외측부는 서포터의 평균격자(P1)보다 클 수 있다. 상기 강도보강부는 상기 서포터의 격자와 다른 형상으로 제공할 수 있다. 상기 강도보강부(11)의 외측부는 서포터의 외측격자보다 클 수 있다. 상기 강도보강부(11)의 내측부는 서포터의 격자의 내측보다 클 수 있다. 상기 강도보강부(11)의 내측부는 서포터의 격자의 외측보다 클 수 있다. 상기 진공단열체의 코너부의 곡률반경(R3)은 상기 강도보강부의 내측부의 곡률반경(R1) 보다 작은 부분을 가질 수 있다. 상기 강도보강부의 외측부의 곡률반경(R2)은 상기 진공단열체의 코너부의 곡률반경(R3) 보다 클 수 있다.
도 27(b)를 참조하면, 강기 강도보강부의 내측부와 외측부 중의 적어도 하나는 사각형으로 제공될 수 있다. 상기 강도보강부는 상기 서포터의 격자와 대응되는 형상으로 제공할 수 있다. 상기 사각형의 코너는 라운드 질 수 있다. 상기 외측부의 적어도 어느 일부는 상기 서포터의 격자의 내면과 접할 수 있다. 상기 강도보강부의 마주보는 두 면은 상기 서포트의 격자의 내면과 접할 수 있다. 상기 강도보강부는 상기 제 1 플레이트와 상기 서포터의 자리잡음을 도울 수 있다. 상기 강도보강부는 상기 열전달저항체(32)와 접촉하지 않을 수 있다.
상기 밀봉부의 산화방지공정에 대하여 설명한다. 상기 밀봉부는 다른 부분에 비교하여 취약할 수 있다. 상기 밀봉부는 용접부일 수 있다. 상기 밀봉부가 용접으로 제공되는 경우에는 부식에 취약할 수 있다. 상기 용접은 레이저용접을 수행할 수 있다. 상기 레이저용접에는 용가재가 추가되지 않을 수 있다. 상기 밀봉부는 고열처리될 수 있다. 상기 밀봉부는 고열처리 중에 산화될 수 있다. 상기 산화막은 부식에 취약할 수 있다. 상기 산화막은 강도가 약할 수 있다. 싱기 산화막은 소정의 부피를 가질 수 있다. 상기 고열처리 중에 산소접근을 차단하더라도 산화막은 발생할 수 있다. 상기 고열처리 중에 산소접근을 차단하지 못하면, 상기 산화막이 크게 다량으로 발생할 수 있다.
상기 산화막을 억제하는 하나 또는 그 이상의 실시예를 설명한다. 선택적으로, 상기 제 1, 2 플레이트 중의 적어도 하나는, 제 1 재질, 제 2 재질, 및 제 3 재질 중의 적어도 두개를 포함할 수 있다. 상기 제 1 재질은 적어도 철(Fe)를 포함할 수 있다. 상기 제 2 재질은 적어도 크롬(Cr)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 재질은 니켈(Ni)을 포함할 수 있다. 상기 제 3 재질은 적어도 몰리브덴(M0)을 포함할 수 있다. 상기 밀봉부는 상기 제 1, 2 플레이트를 이루는 물질을 포함할 수 있다. 상기 밀봉부(611)는, 제 1 재질, 제 2 재질, 및 제 3 재질 중의 적어도 두개를 포함할 수 있다. 상기 제 1, 2 플레이트를 이루는 물질이 서로 융접하여 상기 밀봉부를 제공할 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1, 2 재질의 혼합물 중에서, 제 1 재질의 중량비가 제 2 재질의 중량비에 비하여 클 수 있다. 상기 제 2 재질의 강도가 상기 제 1 재질의 강도에 비하여 클 수 있다. 상기 제 2 재질의 내부식성이 상기 제 1 재질의 내부식성에 비하여 클 수 있다. 상기 제 2 재질의 산화도는 상기 제 1 재질의 산화도에 비하여 클 수 있다. 상기 제 1, 2 재질을 혼합한 플레이트를 제공하면, 제 2 재질이 먼저 산화막을 형성하고, 제 2 재질의 산화피막이 제 1 재질의 산화를 저감할 수 있다. 상기 제 1, 2 재질의 혼합물의 녹는점은 제 1 재질의 녹는점보다 낮을 수 있다. 상기 제 1 재질의 녹는점은 상기 제 2 재질의 녹는점 보다 낮을 수 있다. 상기 제 1, 2 재질의 혼합물의 녹는점은 일정하지 않을 수 있다. 상기 제 1, 2 재질의 혼합물의 녹는점은 1400~1450도씨일 수 있다. 상기 제 1 재질의 밀도는 상기 제 2 재질의 밀도보다 높을 수 있다. 상기 제 1 재질의 가격이 상기 제 2 재질의 가격보다 저렴할 수 있다.
선택적으로, 상기 밀봉부의 부식성 신화막을 억제하는 산화방지공정은 제 1 단계공정, 제 2 단계공정, 및 제 3 단계공정 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다. 제 1 단계공정, 제 2 단계공정, 및 제 3 단계공정 중의 어느 하나에 있는 설명은 다른 하나에도 적용될 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 단계공정은, 밀봉부의 표면에 상기 제 1 재질보다 내부식성이 높은 재질을 코팅하는 것에 의해서 수행될 수 있다. 상기 밀봉부의 표면은 융착되며 제 2 재질의 산화막이 훼손될 수 있다. 상기 밀봉부의 표면은 융착되며 제 1 재질의 산화막이 드러날 수 있다. 상기 제 1 재질의 산화막은 내부식성이 약할 수 있다. 상기 제 1 단계공정은, 상기 제 1 재질의 산화막보다 내부식성이 높은 재질의 산화막을 코팅할 수 있다. 상기 제 2 재질의 산화막은 상기 제 1 재질의 산화막보다 내부식성이 클 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 단계공정은, 제 1 재질의 중량비가 작아지는 공정, 및 상기 제 2 재질의 중량비가 커지는 공정 중의 적어도 하나의 공정을 포함할 수 있다. 여기서, 제 1 단계공정은 밀봉공정 중에 수행될 수 있다. 상기 제 1 재질과 상기 제 2 재질이 다시 혼합되는 중에 밀봉부의 표면에 제 1 재질의 중량비가 증가할 수 있다. 상기 제 1 재질과 상기 제 2 재질이 다시 혼합되는 중에 밀봉부의 표면에 제 2 재질의 중량비가 감소할 수 있다. 상기 밀봉부의 중량변화는 내부식성의 저감을 초래할 수 있다. 상기 제 1 단계공정은 제 1 재질과 상기 제 2 재질의 중량비의 재조정을 통하여 내부식성을 증가시킬 수 잇다.
선택적으로, 상기 제 1 단계공정은, 밀봉부의 거친 표면을 제거하는 것에 의해서 수행될 수 있다. 상기 거친 표면은 융착시에 발생할 수 있다. 상기 거친 표면은 내부식성을 감소시킬 수 있다. 상기 제 1 단계공정은, 상기 거친 표면을 샌딩하는 것을 포함할 수 있다. 상기 제 1 단계공정은, 밀봉 후 밀봉부에서 제 1 재질의 중량비가 낮아지도록 하는 공정을 포함할 수 있다. 상기 제 1 단계공정은, 밀봉 후, 밀봉부에서 제 2 재질의 중량비가 높아지는 공정을 포함할 수 있다.
선택적으로, 상기 제 1 단계공정은 전해연마공정을 포함할 수 있다. 상기 제 1 단계공정은 국소 전해연마공정을 포함할 수 있다. 전체 진공단열체를 전해액에 담그면 전해액으로 인한 부작용이 발생할 수 있다. 예를 들어, 진공공간부에 전해액이 침입할 수 있다. 예를 들어, 고열로 인하여 서포터가 파손될 수 있다. 상기 국소전해연마공정을 설명한다.
도 28은 국소전해연마공정의 전체 공정을 설명하는 도면이다. 상기 국소전해연마공정은 상기 장치조립단계(S5)의 전에 수행될 수 있다. 상기 국소전해연마공정은 밀봉을 위한 고열처리공정 후에 수행될 수 있다.
도 28에는 전류를 인가하는 전력장치(601), 제 1 전극장치(603), 및 제 2 전극장치(602)가 도시된다. 선택적으로, 상기 제 1 전극장치는 음극의 접지전극일 수 있다. 상기 제 2 전극장치는 전해연마브러쉬일 수 있다. 전력은 675W, 15V, 및 45A의 사양을 사용할 수 있다. 상기 제 2 전극장치(602)의 브러쉬는 전해액을 도포할 수 있다. 상기 제 2 전극장치(602)는 상기 밀봉부를 따라서 이동할 수 있다. 전류는, 상기 전력장치(610), 상기 제 2 전극장치(602), 및 상기 제 1 전극장치(603)의 순으로 흐를 수 있다. 제 2 전극장치의 브러쉬와 상기 밀봉부(611)의 접촉부에 전해액에 놓일 수 있다. 상기 전해액은 밀봉부(611)의 표면을 전해연마할 수 있다. 상기 전해액은 상기 밀봉부 및 인접하는 부위에 도포될 수 있다. 상기 강도보강부(11)는 상기 전해액이 다른 부분에 이리는 것을 막을 수 있다. 예를 들어 상기 관 강도보강부는 진공공간부(50)의 안으로 전해액이 유입되는 것을 막을 수 있다.
도 29는 제 1 전극장치와 진공단열체의 접속을 보이는 사시도이다.
도 29를 참조하면, 선택적으로, 상기 제 1 전극장치는 집게를 가질 수 있다. 고전류가 인가되므로 제 1 전극장치(603)과 진공단열체(100)의 접촉부에 방전현상이 일어날 수 있다. 상기 방전현상은 상기 진공단열체(100)의 표면을 파손시킬 수 있다. 상기 제 1 전극장치(603)에서 상기 제 1 플레이트와 접하는 부분에 절연패드(604)가 마련될 수 있다. 상기 절연패드(604)는 집게를 보호할 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 상기 제 1 전극장치의 접촉부에는 고전압방전이 발생하지 않을 수 있다. 상기 제 1 플레이트에는 손상이 발생하지 않을 수 있다. 상기 제 1 전극장치(603)에서 상기 제 2 플레이트와 접하는 부분에는 통전패드(605)가 마련될 수 있다. 상기 제 2 플레이트와 상기 제 1 전극장치의 접촉부에 고전압방전이 발생할 수 있다. 상기 제 2 플레이트가 소정의 두께를 가지므로, 제 2 플레이트는 파손되지 않을 수 있다.
도 30은 제 1 전극장치와 진공단열체의 접속을 보이는 평면도이다. 도 30을 참조하여 설명한다. 상기 방전현상이 제 1 전극장치(603)의 끝단에서 많이 발생할 수 있다. 선택적으로, 상기 제 1 전극장치(603)는 상기 밀봉부(611)의 바깥쪽에 접촉할 수 있다. 상기 제 1 전극장치(603)는 상기 사이드 플레이트의 제 2 부분(152)에 접촉할 수 있다. 상기 방전현상이 발생하더라도 적어도 상기 밀봉부의 안쪽에는 영향을 미치지 않도록 할 수 있다. 도 32(a)의 경우에는 절연패드(604)가 마련되더라도 방전에 의해서 제 1 플레이트에 천공이 발생할 수 있다. 도 32(b)와 같이 밀봉부의 바깥쪽에도 도포부가 제공되는 것이 바람직할 수 있다.
상기 제 2 전극장치(602)는 일정의 속도로 이동할 수 있다. 상기 제 2 전극장치(602)는 대략 분당 60센티미터의 속도로 이동할 수 있다. 상기 제 2 전극장치(602)의 브러쉬 부분이 상기 밀봉부(611)의 상면을 이동할 수 있다. 상기 제 2 전극장치(602)는 전해액의 도포 및/또는 전류의 통전을 수행할 수 있다. 인가전류와 전해액에 의해서 상기 밀봉부에는 전해연마작용이 일어날 수 있다.
도 31은 전해연마작용을 설명하는 도면이다. 도 31을 참조하여 설명한다. 전해연마작용 전의 밀봉부를 도 31(b)가 도시한다. 도 31(a)를 참조하면, 선택적으로, 상기 밀봉부(611)의 표면에는 산화막이 형성될 수 있다. 상기 산화막은 제 2 재질의 산화막이 훼손된 상태일 수 있다. 상기 산화막에는 제 1, 2 재질의 재혼합시에 제 1 재질의 중량비가 증가할 수 있다. 상기 산화막에는 요철이 발생할 수 있다. 밀봉부의 산화막은 전해연마공전 전에는 내부식성이 약한 상태일 수 있다.
전해≤액(701)이 산화막에 접촉한 상태로, 밀봉부(611)에서 전해액으로 전류가 흐를 수 있다. 이 작용에 의해서 전해연마작용이 수행될 수 있다. 상기 전해연마작용에 의해서 상기 밀봉부는 부동태피막을 형성할 수 있다. 상기 전해연마작용에 의해서 상기 밀봉부에는 크롬산화막의 치밀한 조직이 형성될 수 있다. 전해연마작용의 결과에 따른 밀봉부를 도 31(b)가 도시한다. 도 31(b)를 참조하면, 상기 산화막은 제 2 재질의 산화막으로 돌아갈 수 있다. 상기 산화막에는 제 1, 2 재질 중에 제 2 재질의 중량비가 많은 상태로 돌아갈 수 있다. 상기 산화막의 요철이 제거되어 평탄화 할 있다. 상기 국소전해연마공정이 종료한 뒤에는 세척할 수 있다. 상기 전해액은 강한 부식성을 가진다. 상기 전해액이 남지 않도록 전해액이 부착된 곳은 30초이상 물로 세척할 수 있다. 상기 전해연마공정 후에는 상기 밀봉부의 내부식성이 향상될 수 있다. 상기 제 1 단계공정 후에는 진공단열체의 신뢰성이 향상될 수 있다. 상기 제 1 단계공정 후에는 진공단열체의 수명이 연장될 수 있다.
선택적으로, 상기 제 2 단계공정은 상기 밀봉부에 대하여 수행될 수 있다. 상기 제 2 단계공정은 상기 밀봉부가 제공된 다음에 수행될 수 있다. 상기 제 2 단계공정은 상기 제 1 단계공정 이후에 수행될 수 있다. 상기 제 2 단계공정은 상기 제 3 단계공정 이전에 수행될 수 있다. 상기 제 2 단계공정은 상기 밀봉부에 수분침투를 방지하는 혼합물의 도포공정을 포함할 수 있다. 상기 수분은 염수를 포함할 수 있다. 상기 혼합물은 실리콘 성분의 절연코팅제(제 1 혼합물)를 사용할 수 있다. 실리콘 성분의 절연코팅제는 나바켐사의 S-830을 사용할 수 있다. 상기 혼합물은 메탈성분의 방청코팅제(제 2 혼합물)를 사용할 수 있다. 상기 메탈성분의 방청코팅제 나바켐사의 L-316을 사용할 수 있다.
표 1과 표 2는 실리콘 성분의 절연코팅제와 메탈성분의 방청코팅제의 성분을 각각 보이는 도면이다.
Figure pat00019
Figure pat00020
상기 제 1, 2 혼합물의 조성물로서, 선택적으로, 그 조성물에는 접착성분, 용매, 투습방지성분, 접착강도향상성분, 내부식성향상성분, 및 분사성분 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다.
선택적으로, 상기 접착성분으로는, 상기 변성실리콘고분자가 약하게 해당 역할을 수행할 수 있다. 상기 변성에폭시수지가 약하게 역할을 수행할 수 있다. 상기 접착성분은, 상기 조성물이 도포와 함께 밀봉부에 부착이 가능하도록 할 수 있다.
선택적으로, 상기 용매로는, 툴루엔, 크실렌, 및 아세톤이 역할을 수행할 수 있다.
선택적으로, 상기 투습방지성분으로는, 상기 변성실리콘고분자가 강하게 역할을 수행할 수 있다. 상기 변성에폭시수지는 약하게 역할을 수행할 수 있다. 상기 메탈파우더가 강하게 역할을 수행할 수 있다. 상기 메탈파우더에는 철, 몰르브덴, 알루미늄, 및 니켈 중의 적어도 한 성분이 포함될 수 있다.
선택적으로, 상기 접착강도향상성분으로는, 상기 변성실리콘고분자가 강하게 역할을 수행할 수 있다.
선택적으로, 상기 내부식성향상성분으로는, 상기 메탈파우더가 역할을 수행할 수 있다.
선택적으로, 상기 분사성분으로는, 디메틸에테르를 사용할 수 있다. 상기 분사성분은 상기 혼합물의 점성을 작게할 수 있다. 상기 분사성분은 상기 용접부의 크랙으로 상기 혼합물이 잘 침투하도록 할 수 있다. 이를 통하여 용접부의 성능을 향상시킬 수 있다. 반대로 점성이 너무 작으면 플레이트 표면이 부착력이 약할 수 있다. 선택적으로 상기 혼합물의 점성은 1 cs(센티스톡스) ≤ 혼합물의 점성 ≤ 10 cs(센티스톡스)의 범위를 가질 수 있다.
선택적으로, 상기 혼합물은 밀봉부에 도포될 수 있다. 도 32는 상기 혼합물을 도포하는 제 2 단계공정을 예시하는 진공단열체의 부분평면도이다. 도 32(a)를 참조한다. 선택적으로, 상기 밀봉부(611)를 덮도록 도포부(801)가 마련될 수 있다. 도면에서 상기 도포부는 헤칭으로 표시하였다. 상기 도포부는 밀봉부 전체를 덮을 수 있다. 상기 도포부는 상기 밀봉부를 따라서 연장할 수 있다. 상기 도포부의 두께는 제 1 플레이트보다 두꺼울 수 있다. 상기 도포부의 두께는 제 2 플레이트보다 얇을 수 있다. 상기 도포부의 폭(W1)은 밀봉부 폭(W2)의 5배 보다 클 수 있다. 상기 도포부의 폭(W1)은 사이드 플레이트의 제 2 부분(152)의 폭보다 작을 수 있다. 상기 사이드 플레이트의 제 2 부분은 사이드 플레이트와 제 1 플레이트가 마주보는 방향에 놓이는 영역을 의미할 수 있다. 도 32(b)를 참조한다. 상기 제 1 플레이트 또는 상기 사이드 플레이트의 적어도 일부가 절개되는 절개부(802)를 포함할 수 있다. 상기 도포부(801)는 상기 절개부의 적어도 일부를 덮을 수 있다. 상기 도포부는 상기 절개부가 제공된 다음에 제공될 수 있다. 상기 혼합물이 더 넓은 길이로 제 1 플레이트와 사이드 플레이트를 부착할 수 있다. 상기 도포부(801)는 상기 제 1 플레이트와 상기 사이드 플레이트가 이격하는 부분 상면의 적어도 일부를 덮을 수 있다. 상기 도포부(801)는 상기 제 1 플레이트와 상기 사이드 플레이트가 이격하는 부분의 측면 간격의 적어도 일부를 덮을 수 있다. 상기 도포부(801)는 상기 제 1 플레이트와 상기 사이드 플레이트가 이격하는 간격의 적어도 일부 안으로 삽입될 수 있다. 상기 도포부(801)는 상기 사이드 플레이트의 하면의 적어도 일부까지 연장할 수 있다. 도 32(c)를 참조한다. 상기 제 1 플레이트 및 상기 사이드 플레이트가 함께 절단되는 절단부(803)를 제공할 수 있다. 상기 도포부(801)는 상기 절단부의 에지를 덮어서 제공될 수 있다. 이 경우에도 위의 도포부의 다양한 실시예가 적용될 수 있다. 상기 도포부는, 상기 제 1, 2 혼합물 중의 어느 경우라도 사용될 수 있다.
선택적으로, 상기 제 3 단계공정은 상기 밀봉부에 대하여 수행될 수 있다. 상기 제 3 단계공정은 상기 2 단계공정 이후에 수행될 수 있다. 상기 제 1 단계공정 및 상기 제 2 단계공정 중의 적어도 하나의 수행 후에 상기 제 3 단계공정을 수행하였다. 상기 제 3 단계공정은 상기 도포부(801)에 대한 후처리 공정일 수 있다. 상기 제 3 단계공정은 상기 도포부(801)의 제공 후, 초기습도(예, 도포시), 건조습도(예, 건조시), 및 시간 중의 적어도 하나의 조건을 포함할 수 있다. 상기 도포부(801)에 대한 후처리 조건을 달리하며 크로스컷실험을 수행하였다. 상기 크로스컷실험은, 상기 후처리 후에 가로세로 1 센티미터 길이로 1 밀리미터 간격 10개의 격자를 제공하는 것, 및 격자에 규격테이프의 부착분리에 의해서 수행될 수 있다. 상기 격자의 각 라인은 칼로 그어서 제공할 수 있다. 상기 격자의 내부영역의 도포부(801)가 많이 박리될수록 도포부의 성능이 좋지 않은 것으로 판단할 수 있다. 하기 표 3은 상기 크로스컷실험의 결과를 정리한 도면이다.
Figure pat00021
상기 표 3을 참조하면, P는 합격이고 F는 불합격을 의미한다. 실험의 결과에 따르면, 상기 건조습도가 낮아질수록 바람직할 수 있다. 선택적으로, 상기 건조습도가 87%이하인 경우에 합격이 가능할 수 있다. 상기 초기습도는 87%이하이면 합격할 수 있다. 상기 초기습도가 87%이하인 때에, 건조시간은 6시간에서 48시간의 범위 내이면 어느 경우라도 합격이 가능하다.
선택적으로, 상기 건조습도가 60%이하인 것이 바람직하다. 상기 건조습도가 60%이하인 경우에, 상기 초기습도가 87%이하이면 언제라도 좋다. 상기 건조습도가 60%이하인 경우에, 건조시간은 6시간에서 48시간의 범위 내이면 어느 경우라도 좋다.
이하에서는 상기 밀봉부를 용접하는 방법 및 장치를 설명한다. 상기 밀봉부의 용입깊이는 단위지점당 받는 에너지총량(에너지밀도)(I0*ti)에 비례할 수 있다. 여기서, I0는 레이저출력밀도(W/cm^2)로서, 단위면적당 레이저입력일 수 있다. 여기서, ti는 인터렉션타임(초)으로서 단위지점당 레이저 빔이 노출되는 시간을 의미할 수 있다. 도 33은 단위지점당 받는 에너지 총량과 용접부의 깊이를 그래프로 나타낸 것이다. 도 33을 참조하면, 단위지점당 받는 에너지 총량과 용접부의 깊이는 서로 비례할 수 있다. 상기 단위지점당 받는 에너지총량(I0*ti)은 빔크기, 빔속도, 및 빔출력 함께 고려하여 환산한 차원이라고 할 수 있다.
도 34는 레이저의 조사를 설명하는 도면이다. 도 34를 참조하면, 하나 또는 그 이상의 실시예는 이하의 내용이 적용될 수 있다. 상기 용접부(500)는 제 1 플레이트(10), 및 제 2 플레이트(20)를 접합할 수 있다. 상기 용접부(500)는 제 1 플레이트(10), 및 사이드 플레이트(15)를 접합할 수 있다. 상기 용접부는 겹치게 접하는 두 부재를 녹여서 접합할 수 있다. 상기 제 1 플레이트는 상기 제 2 플레이트 및/또는 상기 사이드 플레이트보다 얇을 수 있다. 상기 제 1 플레이트가 상기 제 2 플레이트 및/또는 상기 사이드 플레이트보다 먼저 녹도록 할 수 있다. 레이저가 상기 제 1 플레이트에 먼저 인가될 수 있다.
도 35는 용잎깊이와 인장강도의 관계의 그래프이다. 도 35는 출력과 빔이동속도에 따라는 실험조건을 달리하였다. 선택적으로, 상기 용입깊이가 깊어짐에 따라서 인장강도가 커지는 제 1 영역이 있을 수 있다. 상기 용입깊이가 깊어짐에 따라서 인장강도가 낮아지는 제 2 영역이 있을 수 있다. 상기 제 2 영역은 상기 제 1 영역의 뒤에 있을 수 있다. 상기 제 1, 2 영역은 서로 이어질 수 있다. 상기 제 1 영역은, 상기 용접부(500)의 강도가 플레이트의 강도보다 크기 때문에 발생할 수 있다. 상기 제 2 영역은 상기 용접부의 깊이가 깊어지면 용해된 용융액이 불안해지기 때문일 수 있다. 상기 용융액의 불안은, 용융액의 의도치 않은 유동, 불필요한 열전달, 및 융융깊이의 산포도 증가 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 용융액의 불안은 국소적인 강도저하를 야기할 수 있다.
이하의 내용은 선택적이다. 실시예의 용접조건은 출력 500W의 영역을 포함할 수 있다. 실시예의 용접조건은 이동속도 10m/min을 포함할 수 있다. 실시예의 용접조건은 레이저빔직경이 100마이크로미터인 조건에 적합할 수 있다. 실시예의 용접조건은 제 1 플레이트의 두께가 100마이크로미터 또는 그 이상인 조건에 적합할 수 있다. 실시예의 용접조건은 제 1 플레이트(10)의 두께 대비 상기 용접부(500)의 깊이는 100~500%일 수 있다. 여기서 100%는 제 2 플레이트 표면이 녹은 상태를 의미할 수 있다. 실시예의 용접조건은 바람직하게 제 1 플레이트(10)의 두께 대비 상기 용접부의 깊이는 110~300%일 수 있다. 실시예의 용접조건은 더 바람직하게 제 1 플레이트(10)의 두께 대비 상기 용접부의 깊이는 150~300%일 수 있다. 실시예의 용접조건은 빔직경 100마이크로미터 이상의 용접은 빔직경이 200마이크로미터 이하가 되어 좁은영역에 집중할 수 있다. 실시예의 용접조건은 레이저이동속도 7~15m/min일 수 있다. 상기 이동속도는 반드시 필요한 조건은 아닐 수 있다. 상기 레이저이동속도는 충분히 용입 되도록 에너지를 받을 수 있는 속도로 정할 수 있다. 실시예의 용접조건은 출력 200~800W일 수 있다. 상기 출력은 반드시 필요한 조건은 아닐 수 있다. 상기 출력조건은 플레이트가 충분히 용입되는 에너지를 받을 수 있는 조건으로 정할 수 있다. 실시예의 용접조건으로서, 용접부(500)의 깊이는 제 1 플레이트 두께 보다 크거나 같을 수 있다. 실시예의 용접조건으로서, 용접부(500)의 깊이는 제 1 플레이트 두께의 네 배 보다 작을 수 있다. 실시예의 용접조건으로서, 용접부(500)의 깊이는, 제 1 플레이트 두께의 세 배 보다 작을 수 있다. 실시예의 용접조건은 컨덕션 모드(conduction mode)와 키홀 모드(keyhole mode)의 사이 영역이 바람직할 수 있다. 상기 사이영역은 트랜지언트 모드(transient mode)라고 할 수 있다. 실시예가 키홀 모드(keyhole mode)를 배제하지는 않을 수 있다. 상기 진공공간부를 제공하기 위한 기밀용접에서 기밀신뢰성을 높이기 위해 용접부 깊이의 변동이 작은 것이 바람직하다. 상기 컨덕션 모드에서 키홀 모드로 갈수록 용접부 깊이의 변동이 커지는 문제가 있다.
도 36은 실시예의 용접조건을 설명하는 그래프이다. 도 36(a)을 참조한다. 이하의 내용은 선택적이다. 실시예의 용접조건은 트랜지언트 모드에 수행되기 위하여 상기 에너지 밀도(J/㎠)는 1000 이상 10000이하일 수 있다. 상기 에너지 밀도에서, 용접부의 깊이가 제 1 플레이트 두께 보다 크거나 같을 수 있다. 상기 에너지 밀도에서, 용접부의 깊이가 제 1 플레이트 두께의 네 배 보다 작을 수 있다. 상기 컨덕션모드에서는 상기 용융액이 안정되고 용융액이 층류유동할 있다. 상기 키홀모드에서는 상기 용융액이 불안정하고 깊어지고, 용융액이 난류유동할 수 있다. 상기 제 1 플레이트가 얇을 때에는, 작은 에너지 밀도를 투입하는 상기 컨덕션 모드가 바람직할 수 있다. 이 경우에는 비드가 안정적이고 누설이 없을 수 있다. 상기 제 1 플레이트가 두꺼워지면 작은 에너지 밀도로는 제 1 플레이트를 녹일 수 없을 수 있다. 상기 제 1 플레이트가 두꺼우면 용접부를 깊게 하기 위하여 높은 에너지 밀도를 인가할 수 있다. 상기 에너지 밀도가 높으면, 용융액이 점점 불안해질 수 있다. 상기 용융액이 불안해지면 누설이 많아지고 비드가 불안정해질 수 있다. 비드가 불안정한 것은 비드 및/또는 용접부 깊이의 산포도가 커지는 것을 의미할 수 있다. 상기 용접부 깊이의 산포도가 커지면 어느 한 부분에 용접불량이 발생할 수 있다. 실시예에는 상기 트랜지언트 모드에서 용접을 수행할 수 있다. 상기 키홀모드에서는 상기 용접부의 깊이 등의 산포도가 크므로 어느 한 부분에서 누설이 발생할 가능성이 있다. 상기 진공공간부의 작은 누설은 전체의 제품불량이 되는 것에 유의할 필요가 있다.
도 36(b)를 참조하면, 상기 컨덕션모드에서 용접부의 깊이가 낮고, 용접부가 좌우로 넓게 퍼진 것을 볼 수 있다. 도 36(c) 및 도 36(d)를 참조하면, 상기 트렌지언트모드의 용접부를 나타낸다. 상기 트랜지언트 모드에서는 상기 용접부(500) 깊이의 산포가 있는 것을 볼 수 있다. 상기 키홀모드에서는 뚫리는 지점이 발생할 가능성이 있을 수 있다.
상기되는 경향을 관찰한 결과, 발명자는 다음의 사항을 간파하였다. 첫째 제 1 플레이트가 두꺼울 수록 빔직경이 작은 것이 유리할 수 있다. 상기 빔직경이 작을수록 에너지 밀도가 높을 수 있다. 둘째 제 1 플레이트가 얇고, 제 2 플레이트가 두꺼울 때, 열에 의해서 제 1, 2 플레이트의 뒤틀림 정도가 다를 수 있다. 셋째, 열에 의해서 제 1, 2 플레이트가 뒤틀리는 정도는 두께 차이가 클수록 크다. 넷째, 제 1, 2 플레이트의 두께 차이가 크지 않은 경우에는 열에너지 조사면적을 크게 할 수 있다. 밀봉부의 크기가 클수록 밀봉신뢰성이 좋을 수 있다. 큰 밀봉부를 얻기 위해서 상기 빔직경이 클수록 좋을 수 있다.
상기 배경하에서 빔직경(D)과 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 0.5
Figure pat00022
(D/t1)
Figure pat00023
1 을 만족할 수 있다. 상기 제 1 플레이트의 두께가 두꺼울 수록 빔직경이 작을 수 있다. 이를 통하여 제 1 플레이트를 충분히 용해시킬 수 있다.
이하의 내용은 선택적이다. 상기 배경하에서 상기 제 1, 2 플레이트의 두께 차이가 클 때, 예를 들어, 제 1 플레이트의 두께(t1)와 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 2
Figure pat00024
(t2/t1)
Figure pat00025
20을 만족할 수 있다. 이 경우에, 빔직경(D)과 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 0.5
Figure pat00026
(D/t1)
Figure pat00027
3을 만족할 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 제 2 플레이트의 두께 차이가 큰 경우에는, 밀봉면적을 크게 하는 것 보다는 플레이트 간의 뒤틀림 정도의 차이를 저감하는 것이 바람직할 수 있다. 이 때문에 제 1 플레이트의 두께와 비하여. 상기 빔직경을 지나치게 크지 않도록 할 수 있다. 상기 제 1 플레이트에는 레이저가 먼저 조사될 수 있다. 상기 배경하에서 상기 제 1, 2 플레이트의 두께 차이가 작을 때, 예를 들어, 제 1 플레이트의 두께(t1)와 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 1
Figure pat00028
(t2/t1)
Figure pat00029
2를 만족할 수 있다. 이 경우에, 빔직경(D)과 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 1
Figure pat00030
(D/t1)
Figure pat00031
10을 만족할 수 있다. 상기 제 1 플레이트와 제 2 플레이트의 두께 차이가 작은 경우에는, 플레이트 간의 뒤틀림 정도의 저감보다는 밀봉면적을 크게 하는 것이 바람직할 수 있다. 이때 제 1, 2 플레이트의 뒤틀림 정도는 차이가 나지 않을 수 있다. 이 때문에 밀봉면적을 크게 하기 위하여 상기 빔직경을 소정량 크게 할 수 있다. 이를 통하여 밀봉부를 크게 할 수 있다. 밀봉성능을 향상시킬 수 있다. 상기 제 1 플레이트에 레이저가 먼저 조사될 수 있다. 상기 배경하에서, 제 1 플레이트의 두께(t1)와 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 2
Figure pat00032
(t2/t1)
Figure pat00033
20인 경우에, 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계가 a1
Figure pat00034
(D/t1)
Figure pat00035
b1을 만족할 수 있다. 한편, 제 1 플레이트의 두께(t1)와 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 1
Figure pat00036
(t2/t1)
Figure pat00037
2인 경우에, 빔직경(D)과 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 a2
Figure pat00038
(D/t1)
Figure pat00039
b2를 만족할 수 있다. 이 경우에 a1 < a2 및 b1 < b2 중의 적어도 하나를 만족할 수 있다.
실시예의 용접은 상기 트렌지언트 모드에서 수행될 수 있다. 상기 트랜지언트 모드의 상태에서는 상기 용접부의 깊이의 산포도는, 상기 컨덕션모드에 비하여 크다. 상기 트랜지언트 모드의 상태에서는 상기 용접부의 깊이의 산포도는, 상기 키홀모드에 비하여 크다. 상기 트렌지언트 모드에서는 상기 용접부의 깊이의 특성을 설명한다.
도 37은 상기 에너지 밀도와, 용접부 깊이의 표준편차와 용접부깊이의 비를 비교하는 그래프이다. 이하의 내용은 선택적이다. 도 37을 참조하면, 용접부 깊이의 표준편차와 용접부깊이의 비가 0.5이하인 것이 바람직하다. 상기 용접부 깊이의 표준편차와의 용접부깊이의 비는 생산공정 상에서 불량을 제어할 수 있는 수준에 대응할 수 있다. 용접부 깊이의 표준편차와의 용접부깊이의 비가 0.5인 경우에 상기 에너지밀도는 20,000일 수 있다. 상기 에너지밀도는 20,000이하인 것이 바람직할 수 있다. 상기 진공단열체에서 밀봉실패는 제품폐기로 이어지는 큰 문제가 될 수 있다. 상기 밀봉실패에 따른 진공단열체의 불량을 생산현장에서 제어할 수 있다. 상기 용접부의 깊이를 충분히 확보하기 위하여 상기 에너지 밀도는 1000이상일 수 있다. 제품의 대량 생산 시에 미세하고 작은 불량이 제품의 신뢰도로 이어진다. 10만개 제품 중 하나의 폭발사고는 전제 제품의 폐기로 이어질 수 있다. 특히, 진공단열체는 하나의 핀홀 발생으로 인하여 진공단열체의 성능이 영으로 수렴할 수 있다. 발명자는 이 관점을 상기 용접부의 제공과정에 적용하였다. 통계학적인 접근에서 1시그나(1σ)는 1/3의 가능성으로 정규분포를 벗어나는 가능성을 의미할 수 있다. 3시그마(3σ)는 1/370의 가능성으로 정규분포를 벗어나는 가능성을 의미할 수 있다. 6시그나(6σ)는 1/506,842,372의 가능성으로 정규분포를 벗어나는 가능성을 의미할 수 있다. 즉, 시그마 수준이 높아질 수록 용접불량이 발생할 가능성은 점점 낮아질 수 있다.
도 38은 상기 용접부깊이의 평균과 표준편차의 관계, 및 에너지밀도의 관계를 나타내는 그래프이다.
이하의 내용은 선택적일 수 있다. 도 38을 참조하면, 상기 1시그마의 경우에는 상기 에너지밀도가 100,000일 수 있다. 상기 3시그마의 경우에는 상기 에너지밀도가 15,000일 수 있다. 상기 6시그나의 경우에는 상기 에너지밀도가 8,000일 수 있다. 실시예는 1년 중 하루 정도의 용접불량이 발생할 정도로 에너지밀도를 15,000로 설정할 수 있다. 실시예는 거의 용접불량이 없을 정도의 산포로서 상기 에너지밀도를 8,000으로 설정할 수 있다. 상기 용접부의 깊이를 충분히 확보하기 위하여 상기 에너지 밀도는 1000이상일 수 있다.
이하의 내용은 선택적 일 수 있다. 레이저 출력은 먼저 제 1 플레이트로 인가되어 제 1 플레이트를 녹일 수 있다. 용접이 진행되면서, 레이저가 용융액을 투과 및 용융액의 내부 계면에서 반사하여 제 2 플레이트를 녹일 수 있다. 상기 레이저에 의한 용융액의 용융 진행방향은 레이저의 진행방향이 우세할 수 있다. 상기 키홀모드에서는, 제 2 플레이트(모재)에서의 용융부의 깊이가 클 수 있다. 상기 키홀모드에서는, 제 2 플레이트(모재)에서의 용융부의 깊이가 용융부의 폭보다 클 수 있다. 상기 컨덕션모드에서는 제 2 플레이트(모재)에서의 용융부의 깊이가 작을 수 있다. 상기 컨덕션모드에서는, 제 2 플레이트(모재)에서의 용융부의 깊이가 용융부의 폭보다 작을 수 있다. 상기 트렌지언트 모드에서 구현되는 용접부는 단면형상이 특정한 범위에 포함될 수 있다.
도 39는 상기 트렌지언트 모드의 용접부의 단면과 그를 위한 쉴드가스의 유량을 보이는 도면이다. 이하의 내용은 선택적 일 수 있다. 도 39(a)는 용접부의 단면도이다. 단면도는 용접이 진행되는 방향에 대하여 수직한 방향일 수 있다. 상기 단면도는 상기 용접부의 절단면일 수 있다. 상기 용접부(500)의 단면 외곽선은 하측으로 갈수록 폭이 좁아질 수 있다. 상기 용접부(500)는 하단에 첨점(504)를 가질 수 있다. 상기 첨점(504)부터 상측으로 곡선으로 연장할 수 있다. 상기 곡선에는 적어도 하나의 변곡점이 제공될 수 있다. 상기 곡선에는 제 1 변곡점(501), 및 제 2 변곡점(502)이 제공될 수 있다. 상기 제 1, 2 변곡점(501)(502)이 합해져서 하나의 변곡점을 가질 수도 있다. 상기 곡선이 선형적인 경우에, 상기 변곡점은 곡선의 곡률중심의 방향이 바뀌는 지점을 의미할 수 있다. 상기 곡선이 선형적이지 않은(non-linear) 경우에, 상기 변곡점은 비연속점(non-linear point)을 의미할 수 있다.
이하의 내용은 선택적일 수 있다. 상기 제 1, 2 변곡점(501)(502)의 사이에는 가로연장부(503)가 제공될 수 있다. 실시예의 트랜지언트 모드의 용접부는 용접부의 상단크기(A), 마주보는 제 1 변곡점 간의 크기(B), 가로연장부의 크기(C), 및 첨점과 제 1 변곡점의 각도(θ)는 다음과 같은 관계를 가질 수 있다. A/B는 0.5보다 크고 0.9보다 작을 수 있다. 상기 A/B가 0.5보다 크고 0.9보다 작은 영역은 80%이상일 수 있다. 여기서 영역은 용접부의 연장방향으로 모든 용접부의 단면을 분석한 경우라고 할 수 있다. 영역의 의미는 이전 및 이하 마찬가지이다. 이에 따르면, 변곡점은 존재할 수 있다. C/A는 0보다 크고 0.2보다 작을 수 있다. C/A는 0보다 크고 0.2보다 작은 영역은 80%이상일 수 있다. C/A가 영에 가까우면 변곡점이 거의 없는 상태에 이르는 것이라고 할 수 있다. 어느 경우나 C가 식별이 가능한 것은 원자 또는 분자수준에 이르면 당연할 수 있다. C/A가 0.2이상인 영역이 5%이하일 수 있다. C/A가 0.2인 것은 C가 커져서 제 2 플레이트가 충분히 녹지 않은 것을 의미할 수 있다. C/A가 0.2인 것은 용접부 깊이의 산포도가 커져서 용접불량이 있는 것을 의미할 수 있다. C/A가 0.2 이상인 영역을 5%이하로 함으로서 용접부 깊이의 산포도를 관리할 수 있다. θ는 30도보다 크고 70도보다 작을 수 있다. θ는 30도보다 크고 70도보다 작은 영역은 80% 이상일 수 있다. θ가 너무 작으면 컨덕션 모드 또는 제 2 플레이트가 충분히 녹지 않은 것을 의미할 수 있다. θ가 너무 작으면 용접부 깊이의 산포도가 큰 것을 의미할 수 있다. θ가 너무 크면 키홀 모드 또는 제 2 플레이트가 지나치게 많이 녹은 것을 의미할 수 있다. θ가 너무 크면 용접부 깊이의 산포도가 큰 것을 의미할 수 있다.
이하의 내용은 선택적일 수 있다. 용접 시에 용접부의 산화를 억제하기 위하여 쉴드가스를 사용할 수 있다. 상기 용접부의 산화막이 제거됨으로써 용접부의 품질이 좋아질 수 있다. 장시간이 경과해도 용접부가 변성하지 않기 때문이다. 상기 쉴드가스는 상기 용융액을 더 불안정하게 할 수 있다. 쉴드가스의 유동이 용융액을 이동시킬 수 있기 때문이다. 상기 쉴드가스의 분사속도가 커질수록, 용융액의 좌우유동이 커질 수 있다. 상기 용융액의 좌우유동은 하방으로 열확산을 저해할 수 있다. 상기 용융액의 좌우유동은 용융현상이 하측로 전파하는 것을 억제할 수 있다. 상기 쉴드가스는 제 1 플레이트를 틀어지게 할 수 있다. 상기 쉴드가스는 용접부의 깊이의 산포도를 증가시킬 수 있다. 도 39(b)는 쉴드가스의 유량과 특정 A/B 값을 가지는 용접부의 영역을 비교하는 그래프이다. 도 39(b)를 참조하면, 수평축은 쉴드가스의 유량이고, 수직축은 A/B가 0.8이상인 가지는 용접부의 영역의 비율이다. 여기서 영역은 용접부의 연장방향으로 모든 용접부의 단면을 분석한 경우라고 할 수 있다. 도면에 따르면, A/B가 0.8이상인 가지는 용접부의 영역의 비율이 0.8이상인 경우는 쉴드가스의 유량이 2리터/분에 해당할 수 있다. 쉴드가스가 2리터/min 보다 커지면, 용접부 깊이의 산포가 커지면서 용접불량이 발생할 수 있다.
도 40은 쉴드가스의 유량에 따른 용접불량의 발생빈도(a)와 산화막의 발생빈도(b)를 관찰한 그래프이다. 도 40(a)를 참조하면, 쉴드가스의 유량이 증가할수록 용접불량이 다발하는 것을 확인할 수 있다. 도 40(a)를 참조하면, 쉴드가스의 유량이 증가할수록 산화막이 발생하지 않는 것을 볼 수 있다. 산화막의 발생은 용접부 표면가 변색한 정로를 통하여 확인할 수 있다.
도 41은 쉴드가스의 유량과 용접부깊이의 산포를 비교하는 그래프이다. 이하의 내용은 선택적일 수 있다. 도 41을 참조하면, 쉴드가스가 상기 용융액에 영향을 주지 않도록 하는 것이 바람직하다. 용융부 깊이의 산포의 추세분석에 따르면 1리터/min 이하의 적은 양의 쉴드가슬를 사용할 수 있다. 이 경우에는 3시그마 수준의 용접불량을 관리할 수 있다. 전제 용접부 중의 어느 핀홀이라도 발생하는 경우에는, 진공단열체 전체의 불량으로 이어지기 때문임을 참조할 수 있다. 산화막이 발생하더라도 상기 쉴드가스를 사용하지 않을 수 있다. 용접이 진행 중에 용접불량이 발생할 가능성이 있는 일부구간에서 쉴드가스의 분사를 정지할 수도 있다. 상기 쉴드가스를 사용하지 않는 경우에는 전해연마 등의 다른 방법을 통해서 산화막을 처리할 수 있다. 산화막을 처리하는 것에 대해서는 이미 설명한 바가 있다. 상기 배경하에서, 밀폐챔버의 내부가 아닌, 개활지에서 쉴드가스를 분사하면서 용접하는 경우에는 아래의 조건이 적합할 수 있다. 여기서 밀폐챔버는 외부에 대하여 소정의 경계가 있는 환경을 언급할 수 있다.
이하의 내용은 선택적일 수 있다. 상기 밀봉부는, 밀봉되는 길이 방향에 따라 형성되는 복수의 절단면을 포함할 수 있다. 상기 복수의 절단면의 형상 중 적어도 하나는 A/B ≥ 0.8일 수 있다. 여기서, 이미 살펴본 바와 같이, A는 용접부의 상단크기이고, B는 마주보는 제 1 변곡점 간의 크기일 수 있다. 상기 밀봉과정에서 쉴드가스의 분사유량은 2리터/min이하일 수 있다. 상기 A/B ≥ 0.8의 관계를 만족하는 영역이 80%이상 인 경우에, 상기 쉴드가스의 분사 유량은 2리터/min일 수 있다. 상기 밀봉부는, 밀봉되는 길이 방향에 따라 형성되는 복수의 절단면을 포함할 수 있다. 상기 복수의 절단면 중 적어도 하나는 A/B ≥ 0.8일 수 있다. 상기 밀봉과정에서 쉴드가스의 분사유속은 2.65m/sec 이하일 수 있다. 상기 A/B ≥ 0.8의 관계를 만족하는 영역이 80%이상 인 경우에, 상기 쉴드가스의 분사 유속은 2.65m/sec일 수 있다. 예를 들어, 4mm 직경의 노즐을 사용하는 경우에, 2.65m/sec이하의 분사속도가 필요할 수 있다. 상기되는 쉴드가스는, 상기 밀폐챔버가 사용되지 않는 경우를 예시하였으나, 상기 밀폐챔버를 사용하여 쉴드가스 분사를 배제하지는 않는다.
본 발명에 따르면 실제 생활에 적용이 가능한 진공단열체를 제공할 수 있다.

Claims (20)

  1. 제 1 플레이트;
    제 2 플레이트; 및
    진공공간부를 제공할 수 있도록 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트를 밀봉하는 밀봉부를 포함하고,
    상기 밀봉부는 용접되는 용접부이고,
    상기 용접부 단면의 외곽선은 적어도 하나의 변곡점을 가지는 진공단열체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 변곡점은 곡선의 곡률중심의 방향이 바뀌는 지점 또는 비연속점(non-linear point)이거나,
    상기 곡선에는 제 1 변곡점, 및 상기 제 1 변곡점에서 이격하는 제 2 변곡점을 가지거나,
    상기 제 1, 2 변곡점의 사이에는 가로방향으로 연장하는 가로연장부가 제공되는 진공단열체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 용접부의 첨점, 상기 용접부의 상단크기(A), 마주보는 제 1 변곡점 간의 크기(B), 상기 가로연장부의 크기(C), 및 상기 첨점과 제 1 변곡점의 각도(θ)를 정의할 때,
    적어도 하나의 절단면은, A/B는 0.5보다 크고 0.9보다 작거나,
    적어도 하나의 절단면은, C/A는 0보다 크고 0.2보다 작거나,
    적어도 하나의 절단면은, C/A가 0.2이상인 영역이 5%이하이거나,
    적어도 하나의 절단면은, θ가 30도보다 크고 70도보다 작은,
    진공단열체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    A/B는 0.5보다 크고 0.9보다 작은 상기 절단면의 영역의 비율이 0.8이상이거나,
    C/A는 0보다 크고 0.2보다 작은 상기 절단면의 영역의 비율이 0.8이상이거나,
    θ가 30도보다 크고 70도보다 작은 상기 절단면의 영역의 비율이 0.8이상이인 진공단열체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 용접부의 용접부 깊이의 표준편차와 상기 용접부 깊이의 비가 0.5이하인 진공단열체.
  6. 진공단열체에 적용되는 부품을 제작하는 진공단열체 부품준비단계;
    상기 부품을 조립하는 진공단열체 부품조립단계;
    진공공간부를 외부공간과 차단하기 위하여 진공공간부의 외벽을 밀봉하는 진공단열체 부품밀봉단계;
    상기 진공공간부의 내부 공기를 배기하는 진공단열체 진공배기단계; 및
    상기 진공단열체를 이용하여 장치를 제공하는 장치조립단계가 포함되고,
    상기 밀봉된 밀봉부는 용접부로 제공되고, 상기 용접부의 용접공정은 트렌지언트 모드에서 수행되는 진공단열체의 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 용접부에 인가되는 레이저의 에너지 밀도(J/㎠)는 1,000 이상 10,000이하인 진공단열체의 제조방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 용접부에 인가되는 레이저의 에너지 밀도(J/㎠)는 1,000이상 20,000이하인 진공단열체의 제조방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 용접부에 인가되는 레이저의 에너지 밀도(J/㎠)는 1,000이상 15,000이하인 진공단열체의 제조방법.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 용접부에서 인가되는 레이저의 에너지 밀도(J/㎠)는 1,000이상 8,000이하인 진공단열체의 제조방법.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 용접시에 출력이 먼저 인가되는 제 1 플레이트, 및 상기 제 1 플레이트 하측의 제 2 플레이트가 포함되고,
    상기 제 1 플레이트의 두께 대비 상기 용접부의 깊이는 100~500%이거나,
    상기 제 1 플레이트의 두께 대비 상기 용접부의 깊이는 100~400%이거나,
    상기 제 1 플레이트의 두께 대비 상기 용접부의 깊이는 110~300%이거나,
    상기 제 1 플레이트의 두께 대비 상기 용접부의 깊이는 150~300%인 진공단열체의 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    레이저빔의 빔직경은 100마이크로미터 이상 200마이크로미터 이하이거나,
    레이저짐의 레이저 이동 속도는 7~15m/min이거나,
    레이저빔의 출력이 200~800W인 진공단열체의 제조방법.
  13. 진공단열체에 적용되는 부품을 제작하는 진공단열체 부품준비단계;
    상기 부품을 조립하는 진공단열체 부품조립단계;
    진공공간부를 외부공간과 차단하기 위하여 진공공간부의 외벽을 밀봉하는 진공단열체 부품밀봉단계;
    상기 진공공간부의 내부 공기를 배기하는 진공단열체 진공배기단계; 및
    상기 진공단열체를 이용하여 장치를 제공하는 장치조립단계가 포함되고,
    상기 밀봉된 밀봉부는 밀봉되는 길이 방향에 따라 형성되는 복수의 절단면을 포함하고,
    상기 복수의 절단면 형상 중 적어도 하나는 A/B ≥ 0.8이고,
    상기 밀봉 중에 쉴드가스의 분사유량은 2리터/min이하인 진공단열체의 제조방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 A/B ≥ 0.8의 관계를 만족하는 영역이 80%이상 인 경우에, 상기 쉴드가스의 분사 유량은 2리터/min인 진공단열체의 제조방법.
  15. 진공단열체에 적용되는 부품을 제작하는 진공단열체 부품준비단계;
    상기 부품을 조립하는 진공단열체 부품조립단계;
    진공공간부를 외부공간과 차단하기 위하여 진공공간부의 외벽을 밀봉하는 진공단열체 부품밀봉단계;
    상기 진공공간부의 내부 공기를 배기하는 진공단열체 진공배기단계; 및
    상기 진공단열체를 이용하여 장치를 제공하는 장치조립단계가 포함되고,
    상기 밀봉된 밀봉부는, 밀봉되는 길이 방향에 따라 형성되는 복수의 절단면을 포함하고,
    상기 복수의 절단면 형상 중 적어도 하나는 A/B ≥ 0.8이고,
    상기 밀봉 중에 쉴드가스의 분사유속은 2.65m/sec이하인 진공단열체의 제조방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 A/B ≥ 0.8의 관계를 만족하는 영역이 80%이상 인 경우에, 상기 쉴드가스의 분사유속은 2.65m/sec인 진공단열체의 제조방법.
  17. 진공단열체에 적용되는 부품을 제작하는 진공단열체 부품준비단계;
    상기 부품을 조립하는 진공단열체 부품조립단계;
    진공공간부를 외부공간과 차단하기 위하여 진공공간부의 외벽을 밀봉하는 진공단열체 부품밀봉단계;
    상기 진공공간부의 내부 공기를 배기하는 진공단열체 진공배기단계; 및
    상기 진공단열체를 이용하여 장치를 제공하는 장치조립단계가 포함되고,
    상기 밀봉된 밀봉부는 제 1 플레이트와 제 2 플레이틀 겹쳐서 용접하는 용접부로 제공되고, 상기 용접부는 레이저 용접에 의해서 제공되고, 상기 레이저의 빔직경(D)과 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 0.5
    Figure pat00040
    (D/t1)
    Figure pat00041
    1 을 만족하는 진공단열체의 제조방법.
  18. 진공단열체에 적용되는 부품을 제작하는 진공단열체 부품준비단계;
    상기 부품을 조립하는 진공단열체 부품조립단계;
    진공공간부를 외부공간과 차단하기 위하여 진공공간부의 외벽을 밀봉하는 진공단열체 부품밀봉단계;
    상기 진공공간부의 내부 공기를 배기하는 진공단열체 진공배기단계; 및
    상기 진공단열체를 이용하여 장치를 제공하는 장치조립단계가 포함되고,
    상기 밀봉된 밀봉부는 제 1 플레이트와 제 2 플레이틀 겹쳐서 용접하는 용접부로 제공되고, 상기 용접부는 레이저 용접에 의해서 제공되고,
    상기 제 1 플레이트의 두께(t1)와 상기 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 2
    Figure pat00042
    (t2/t1)
    Figure pat00043
    20을 만족할 때, 상기 레이저의 빔직경(D)과 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 0.5
    Figure pat00044
    (D/t1)
    Figure pat00045
    3을 만족하는 진공단열체의 제조방법.
  19. 진공단열체에 적용되는 부품을 제작하는 진공단열체 부품준비단계;
    상기 부품을 조립하는 진공단열체 부품조립단계;
    진공공간부를 외부공간과 차단하기 위하여 진공공간부의 외벽을 밀봉하는 진공단열체 부품밀봉단계;
    상기 진공공간부의 내부 공기를 배기하는 진공단열체 진공배기단계; 및
    상기 진공단열체를 이용하여 장치를 제공하는 장치조립단계가 포함되고,
    상기 밀봉된 밀봉부는 제 1 플레이트와 제 2 플레이틀 겹쳐서 용접하는 용접부로 제공되고, 상기 용접부는 레이저 용접에 의해서 제공되고,
    상기 제 1 플레이트의 두께(t1)와 상기 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 1
    Figure pat00046
    (t2/t1)
    Figure pat00047
    2를 만족할 때, 상기 레이저의 빔직경(D)과 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 1
    Figure pat00048
    (D/t1)
    Figure pat00049
    10을 만족하는 진공단열체의 제조방법.
  20. 진공단열체에 적용되는 부품을 제작하는 진공단열체 부품준비단계;
    상기 부품을 조립하는 진공단열체 부품조립단계;
    진공공간부를 외부공간과 차단하기 위하여 진공공간부의 외벽을 밀봉하는 진공단열체 부품밀봉단계;
    상기 진공공간부의 내부 공기를 배기하는 진공단열체 진공배기단계; 및
    상기 진공단열체를 이용하여 장치를 제공하는 장치조립단계가 포함되고,
    상기 밀봉된 밀봉부는 제 1 플레이트와 제 2 플레이틀 겹쳐서 용접하는 용접부로 제공되고, 상기 용접부는 레이저 용접에 의해서 제공되고,
    상기 제 1 플레이트의 두께(t1)와 상기 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 2
    Figure pat00050
    (t2/t1)
    Figure pat00051
    20인 경우에, 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계가 a1
    Figure pat00052
    (D/t1)
    Figure pat00053
    b1을 만족하고,
    상기 제 1 플레이트의 두께(t1)와 상기 제 2 플레이트의 두께(t2)의 비(t2/t1)가 1
    Figure pat00054
    (t2/t1)
    Figure pat00055
    2인 경우에, 상기 레이저 빔직경(D)과 상기 제 1 플레이트의 두께(t1)의 관계는 a2
    Figure pat00056
    (D/t1)
    Figure pat00057
    b2를 만족하고,
    a1 < a2 및/또는 b1<b2를 만족하는 진공단열체의 제조방법.

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