KR20230047314A - Photosensitive resin composition, cured film thereof, and color filter, touch panel and display device with the same - Google Patents

Photosensitive resin composition, cured film thereof, and color filter, touch panel and display device with the same Download PDF

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닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤
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Abstract

Provided is a photosensitive resin composition, which has both the desired light blocking properties and reflectance, and in forming a pattern, can obtain a cured film without jagged edges at the edge of the pattern. The photosensitive resin composition contains (A) a photosensitive resin containing an unsaturated group, (B) a photopolymerizable compound having at least two or more unsaturated bonds, (C) a photopolymerization initiator, (D) at least one light-shielding component selected from black pigments, mixed color pigments, and light-shielding materials, and (E) fine particles with a refractive index of 1.50 or more and 1.80 or less.

Description

감광성 수지 조성물, 경화막, 컬러 필터, 터치 패널 및 표시 장치{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, CURED FILM THEREOF, AND COLOR FILTER, TOUCH PANEL AND DISPLAY DEVICE WITH THE SAME}Photosensitive resin composition, cured film, color filter, touch panel and display device

본 발명은, 감광성 수지 조성물, 경화막, 컬러 필터, 터치 패널 및 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive resin composition, a cured film, a color filter, a touch panel, and a display device.

최근, 모바일 단말의 발달에 의해, 옥외나 차재에서 사용하는 터치 패널 및 액정 패널 등의 표시 장치가 증가하고 있다. 상기 표시 장치에 있어서, 터치 패널 외프레임에는 배면의 액정 패널 주변부의 광 누출을 차광하기 위해 차광막이 형성되고, 상기 액정 패널에는 흑색 표시시에 화면으로부터 광이 누출되는 것을 억제하기 위해, 및 서로 인접하는 컬러 레지스트끼리의 혼색을 억제하기 위해, 차광막의 1 종인 블랙 매트릭스가 형성되어 있다.In recent years, with the development of mobile terminals, display devices such as touch panels and liquid crystal panels used outdoors or in vehicles are increasing. In the display device, a light blocking film is formed on the outer frame of the touch panel to block light leakage at the periphery of the liquid crystal panel on the rear side, and the liquid crystal panel is adjacent to each other to suppress light leakage from the screen during black display. In order to suppress color mixing between color resists to be performed, a black matrix, which is one type of light shielding film, is formed.

표시 장치 등에 있어서, 광 누출 등을 억제하여 상기 표시 장치 등의 화면의 시인성을 개선하기 위해, 차광막 중의 흑색 안료의 농도를 높게 하여, 차광막의 차광성을 높이는 (차광막의 광 투과성을 낮추는) 경우가 있다. 투명 기재나 경화성 수지의 굴절률과 비교하여, 흑색 안료의 굴절률은 높기 때문에, 차광막 중의 흑색 안료 농도를 높게 해 가면, 투명 기재의 차광막이 형성된 면과는 반대의 면측에서 보았을 때의 반사율이 높아져 버린다. 그 때문에, 투명 기재 상에 형성한 차광막과 투명 기재의 계면에 있어서의 반사가 증가하여, 차광막 상에 대한 투영이나, 컬러 필터 착색부와의 반사율의 차이에 의해 블랙 매트릭스 경계가 눈에 띈다는 문제가 발생한다.In a display device or the like, in order to improve the visibility of the screen of the display device or the like by suppressing light leakage or the like, there is a case in which the concentration of a black pigment in the light-shielding film is increased to increase the light-shielding property (lower the light transmittance of the light-shielding film). there is. Compared to the refractive index of the transparent substrate or the curable resin, the refractive index of the black pigment is high, so if the concentration of the black pigment in the light shielding film is increased, the reflectance when viewed from the side opposite to the surface on which the light shielding film is formed of the transparent substrate increases. Therefore, the reflection at the interface between the light-shielding film formed on the transparent substrate and the transparent substrate increases, and the black matrix boundary is conspicuous due to projection onto the light-shielding film or difference in reflectance with the color filter colored portion. Problem occurs.

이 때문에, 고차광성과 저반사율의 양방을 갖는 블랙 레지스트용 감광성 수지 조성물 및 이것을 경화시켜 이루어지는 차광막 그리고 컬러 필터가 요망되어 있다.For this reason, the photosensitive resin composition for black resists which has both high light-shielding property and low reflectance, the light-shielding film formed by hardening this, and a color filter are desired.

예를 들어, 특허문헌 1 에서는, 소수성의 실리카 미립자 및 특정한 분산제 (우레탄계 분산제) 를 포함하는 것을 특징으로 하는 흑색 감광성 수지 조성물이 개시되어 있다. 이것은, 소수성 실리카 미립자 및 특정한 분산제를 사용함으로써 고차광성 및 저반사율을 양립하는 블랙 매트릭스를 형성할 수 있다고 되어 있다.For example, Patent Document 1 discloses a black photosensitive resin composition characterized by containing hydrophobic silica fine particles and a specific dispersing agent (urethane-based dispersing agent). This is said to be able to form a black matrix that achieves both high light-shielding properties and low reflectance by using hydrophobic silica fine particles and a specific dispersing agent.

일본 공개특허공보 2015-161815호Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-161815

그러나, 본 발명자들이 검토한 바, 특허문헌 1 에 기재된 흑색 감광성 수지 조성물에서는, 원하는 차광성과 반사율의 양방을 갖고, 또한 패턴 형성에 있어서, 패턴 에지 부분에 톱니 모양이 생기지 않는 차광막을 얻을 수 없는 경우가 있었다.However, when the present inventors studied, the black photosensitive resin composition described in Patent Literature 1 has both desired light-shielding properties and reflectances, and in pattern formation, in pattern formation, when a light-shielding film cannot be obtained. there was

본 발명은, 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 고차광성 및 저반사율을 갖고, 고정세의 패턴 형성이 가능한 감광성 수지 조성물 및 이것을 경화시켜 이루어지는 경화막, 당해 경화막을 갖는 컬러 필터 및 터치 패널, 당해 컬러 필터 및 터치 패널을 갖는 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of these points, and has a high light-shielding property and low reflectance, a photosensitive resin composition capable of forming a high-definition pattern, a cured film obtained by curing the same, a color filter and a touch panel having the cured film, and the color It is an object of the present invention to provide a display device having a filter and a touch panel.

즉, 본 발명의 요지는 이하와 같다.That is, the gist of the present invention is as follows.

(1) (A) 불포화기 함유 감광성 수지와, (B) 적어도 2 개 이상의 불포화 결합을 갖는 광중합성 화합물과, (C) 광중합 개시제와, (D) 흑색 안료, 혼색 안료 및 차광재에서 선택되는 적어도 1 종의 차광 성분과, (E) 굴절률 1.50 ∼ 1.80 의 미립자를 포함하는, 감광성 수지 조성물.(1) (A) a photosensitive resin containing an unsaturated group, (B) a photopolymerizable compound having at least two or more unsaturated bonds, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a black pigment, a mixed color pigment, and a light-shielding material selected from The photosensitive resin composition containing at least 1 sort(s) of light-shielding component and (E) microparticles|fine-particles of refractive index 1.50-1.80.

(2) 상기 (E) 미립자는, 산화알루미늄 입자인, (1) 에 기재된 감광성 수지 조성물.(2) The photosensitive resin composition according to (1), wherein the fine particles (E) are aluminum oxide particles.

(3) 상기 (E) 미립자의 평균 입자경이 10 ∼ 300 ㎚ 인, (1) 또는 (2) 에 기재된 감광성 수지 조성물.(3) The photosensitive resin composition according to (1) or (2), wherein the fine particles (E) have an average particle diameter of 10 to 300 nm.

(4) 상기 (E) 미립자의 고형분 중의 비율이, 1 ∼ 30 질량% 인, (1) ∼ (3) 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물.(4) The photosensitive resin composition according to any one of (1) to (3), wherein the proportion of the fine particles (E) in the solid content is from 1 to 30% by mass.

(5) 상기 감광성 수지 조성물을 광에 의해 경화시켜 얻어진 막 두께 1 ㎛ 의 경화막의 차광도 OD [㎛-1] 가 2.6 이상, 또한, 상기 경화막의 반사율 [%] 이 6.5 이하, 또한 상기 경화막의 반사율을 상기 차광도 OD 로 나눈 값이 1.65 미만이 되는, (1) ∼ (4) 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물.(5) A cured film having a film thickness of 1 μm obtained by curing the photosensitive resin composition with light has a light-shielding degree OD [μm -1 ] of 2.6 or more, and a reflectance [%] of the cured film is 6.5 or less, and of the cured film The photosensitive resin composition according to any one of (1) to (4), wherein the value obtained by dividing the reflectance by the light-shielding degree OD is less than 1.65.

(6) (1) ∼ (5) 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막.(6) A cured film formed by curing the photosensitive resin composition according to any one of (1) to (5).

(7) (6) 에 기재된 경화막을 블랙 매트릭스로서 갖는, 컬러 필터.(7) The color filter which has the cured film of (6) as a black matrix.

(8) (6) 에 기재된 경화막을 블랙 매트릭스로서 갖는, 터치 패널.(8) The touch panel which has the cured film as described in (6) as a black matrix.

(9) (7) 에 기재된 컬러 필터 또는 (8) 에 기재된 터치 패널을 갖는 표시 장치.(9) A display device having the color filter according to (7) or the touch panel according to (8).

본 발명에 의하면, 고차광성 및 저반사율을 갖는 경화막을 얻는 것이 가능한 감광성 수지 조성물 및 이것을 경화시켜 이루어지는 경화막, 당해 경화막을 갖는 컬러 필터 및 터치 패널, 당해 컬러 필터 및 터치 패널을 갖는 표시 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention, a photosensitive resin composition capable of obtaining a cured film having high light-shielding properties and low reflectance, a cured film formed by curing the same, a color filter and touch panel having the cured film, and a display device having the color filter and touch panel can do.

이하, 본 발명에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 실시형태에 관련된 (A) 성분인 불포화기 함유 감광성 수지는, 1 분자 중에 중합성 불포화기와, 알칼리 가용성을 발현시키기 위한 산성기를 갖고 있는 것이 바람직하고, 중합성 불포화기와 카르복실기의 양방을 함유하고 있는 것이 보다 바람직하다. 상기 수지이면, 특별히 한정되지 않고, 널리 사용할 수 있다.The photosensitive resin containing an unsaturated group as component (A) according to the present embodiment preferably has a polymerizable unsaturated group and an acidic group for expressing alkali solubility in one molecule, and contains both a polymerizable unsaturated group and a carboxyl group. it is more preferable It is not specifically limited as long as it is the said resin, It can use widely.

상기 불포화기 함유 감광성 수지의 예로는, 비스페놀류에서 유도되는 2 개의 글리시딜에테르기를 갖는 에폭시 화합물 (이하,「 일반식 (1) 로 나타내는 비스페놀형 에폭시 화합물」이라고도 한다) 에, (메트)아크릴산을 반응시키고, 얻어진 하이드록시기를 갖는 화합물에 다염기 카르복실산 또는 그 무수물을 반응시켜 얻어지는 에폭시(메트)아크릴레이트산 부가물이 있다. 비스페놀류에서 유도되는 에폭시 화합물이란, 비스페놀류와 에피할로하이드린을 반응시켜 얻어지는 에폭시 화합물 또는 이것과 동등물을 의미한다. 또한,「(메트)아크릴산」이란, 아크릴산 및 메타크릴산의 총칭으로, 이것들의 일방 또는 양방을 의미한다.Examples of the unsaturated group-containing photosensitive resin include an epoxy compound having two glycidyl ether groups derived from bisphenols (hereinafter, also referred to as "bisphenol-type epoxy compound represented by the general formula (1)"), (meth)acrylic acid There is an epoxy (meth)acrylate acid adduct obtained by reacting a polybasic carboxylic acid or its anhydride with a compound having a hydroxyl group. The epoxy compound derived from bisphenols means an epoxy compound obtained by reacting bisphenols with epihalohydrin or an equivalent thereof. In addition, "(meth)acrylic acid" is a general term for acrylic acid and methacrylic acid, and means one or both of these.

(A) 성분인 불포화기 함유 감광성 수지는, 일반식 (1) 로 나타내는 비스페놀형 에폭시 화합물인 것이 바람직하다. 일반식 (1) 로 나타내는 비스페놀형 에폭시 화합물을 채용함으로써, 양호한 현상 특성을 얻을 수 있다.(A) It is preferable that the photosensitive resin containing an unsaturated group which is a component is a bisphenol-type epoxy compound represented by General formula (1). By employing the bisphenol-type epoxy compound represented by the general formula (1), good developing characteristics can be obtained.

[화학식 1][Formula 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

식 (1) 중, R1, R2, R3 및 R4 는, 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1 ∼ 5 의 알킬기 또는 할로겐 원자 중 어느 것이고, X 는 -CO-, -SO2-, -C(CF3)2-, -Si(CH3)2-, -CH2-, -C(CH3)2-, -O-, 일반식 (2) 로 나타내는 플루오렌-9,9-디일기 또는 단결합이고, l 은, 0 ∼ 10 의 정수이다.In Formula (1), R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen atom, and X is -CO-, -SO 2 -, - C(CF 3 ) 2 -, -Si(CH 3 ) 2 -, -CH 2 -, -C(CH 3 ) 2 -, -O-, fluorene-9,9-di represented by general formula (2) It is a diary or a single bond, and l is an integer of 0-10.

[화학식 2][Formula 2]

Figure pat00002
Figure pat00002

일반식 (1) 로 나타내는 비스페놀형 에폭시 화합물은, 비스페놀류와 에피클로르하이드린을 반응시켜 얻어지는 2 개의 글리시딜에테르기를 갖는 에폭시 화합물이다. 이 반응시에는, 일반적으로 디글리시딜에테르 화합물의 올리고머화를 수반하기 때문에, 비스페놀 골격을 2 개 이상 포함하는 에폭시 화합물을 포함하고 있다.The bisphenol-type epoxy compound represented by General Formula (1) is an epoxy compound having two glycidyl ether groups obtained by reacting bisphenols with epichlorohydrin. Since oligomerization of a diglycidyl ether compound is generally accompanied at the time of this reaction, the epoxy compound containing 2 or more bisphenol skeletons is included.

이 반응에 사용되는 비스페놀류의 예로는, 비스(4-하이드록시페닐)케톤, 비스(4-하이드록시-3,5-디메틸페닐)케톤, 비스(4-하이드록시-3,5-디클로로페닐)케톤, 비스(4-하이드록시페닐)술폰, 비스(4-하이드록시-3,5-디메틸페닐)술폰, 비스(4-하이드록시-3,5-디클로로페닐)술폰, 비스(4-하이드록시페닐)헥사플루오로프로판, 비스(4-하이드록시-3,5-디메틸페닐)헥사플루오로프로판, 비스(4-하이드록시-3,5-디클로로페닐)헥사플루오로프로판, 비스(4-하이드록시페닐)디메틸실란, 비스(4-하이드록시-3,5-디메틸페닐)디메틸실란, 비스(4-하이드록시-3,5-디클로로페닐)디메틸실란, 비스(4-하이드록시페닐)메탄, 비스(4-하이드록시-3,5-디클로로페닐)메탄, 비스(4-하이드록시-3,5-디브로모페닐)메탄, 2,2-비스(4-하이드록시페닐)프로판, 2,2-비스(4-하이드록시-3,5-디메틸페닐)프로판, 2,2-비스(4-하이드록시-3,5-디클로로페닐)프로판, 2,2-비스(4-하이드록시-3-메틸페닐)프로판, 2,2-비스(4-하이드록시-3-클로로페닐)프로판, 비스(4-하이드록시페닐)에테르, 비스(4-하이드록시-3,5-디메틸페닐)에테르, 비스(4-하이드록시-3,5-디클로로페닐)에테르, 9,9-비스(4-하이드록시페닐)플루오렌, 9,9-비스(4-하이드록시-3-메틸페닐)플루오렌, 9,9-비스(4-하이드록시-3-클로로페닐)플루오렌, 9,9-비스(4-하이드록시-3-브로모페닐)플루오렌, 9,9-비스(4-하이드록시-3-플루오로페닐)플루오렌, 9,9-비스(4-하이드록시-3-메톡시페닐)플루오렌, 9,9-비스(4-하이드록시-3,5-디메틸페닐)플루오렌, 9,9-비스(4-하이드록시-3,5-디클로로페닐)플루오렌, 9,9-비스(4-하이드록시-3,5-디브로모페닐)플루오렌, 4,4'-비페놀, 3,3'-비페놀 등이 포함된다. 그 중에서도, 플루오렌-9,9-디일기를 갖는 비스페놀류가 바람직하다.Examples of the bisphenols used in this reaction include bis(4-hydroxyphenyl)ketone, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)ketone, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) )ketone, bis(4-hydroxyphenyl)sulfone, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)sulfone, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)sulfone, bis(4-hydroxy hydroxyphenyl) hexafluoropropane, bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) hexafluoropropane, bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) hexafluoropropane, bis (4- Hydroxyphenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxyphenyl)methane , bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)methane, bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)methane, 2,2-bis(4-hydroxyphenyl)propane, 2 ,2-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy- 3-methylphenyl) propane, 2,2-bis (4-hydroxy-3-chlorophenyl) propane, bis (4-hydroxyphenyl) ether, bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) ether, Bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) ether, 9,9-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-methylphenyl) fluorene, 9 , 9-bis (4-hydroxy-3-chlorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-bromophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3 -Fluorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-methoxyphenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene, 9 , 9-bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3,5-dibromophenyl) fluorene, 4,4'-biphenol , 3,3'-biphenol, and the like. Among them, bisphenols having a fluorene-9,9-diyl group are preferred.

또, 이와 같은 에폭시 화합물과 (메트)아크릴산을 반응시켜 얻어진 에폭시(메트)아크릴레이트 분자 중의 하이드록시기를 반응시키는 (a) 디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물의 예로는, 사슬형 탄화수소디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물, 지환식 디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물, 방향족 디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물 등이 포함된다. 여기서, 사슬형 탄화수소디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물의 예로는, 숙신산, 아세틸숙신산, 말레산, 아디프산, 이타콘산, 아젤라산, 시트라말산, 말론산, 글루타르산, 시트르산, 타르타르산, 옥소글루타르산, 피멜산, 세바크산, 수베르산, 디글리콜산 등의 산 일무수물이 포함된다. 나아가서는, 임의의 치환기가 도입된 디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물 등이 포함된다. 또, 지환식 디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물의 예로는, 시클로부탄디카르복실산, 시클로펜탄디카르복실산, 헥사하이드로프탈산, 테트라하이드로프탈산, 노르보르난디카르복실산 등의 산 일무수물이 포함된다. 나아가서는, 임의의 치환기가 도입된 디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물 등도 포함된다. 또, 방향족 디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물의 예로는, 프탈산, 이소프탈산, 트리멜리트산 등의 산 일무수물이 포함된다. 나아가서는, 임의의 치환기가 도입된 디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물이 포함된다.In addition, as an example of an acid monohydride of (a) dicarboxylic acid or tricarboxylic acid, which reacts the hydroxy group in the epoxy (meth) acrylate molecule obtained by reacting such an epoxy compound with (meth) acrylic acid, chain type Acid monohydrides of hydrocarbon dicarboxylic acids or tricarboxylic acids, acid monohydrides of alicyclic dicarboxylic acids or tricarboxylic acids, acid monohydrides of aromatic dicarboxylic acids or tricarboxylic acids, and the like are included. Here, examples of acid anhydrides of chain hydrocarbon dicarboxylic acids or tricarboxylic acids include succinic acid, acetylsuccinic acid, maleic acid, adipic acid, itaconic acid, azelaic acid, citramalic acid, malonic acid, and glutaric acid. , acid monohydrides such as citric acid, tartaric acid, oxoglutaric acid, pimelic acid, sebacic acid, suberic acid, and diglycolic acid. Furthermore, acid anhydrides of dicarboxylic acids or tricarboxylic acids into which an arbitrary substituent has been introduced are included. Further, examples of acid anhydrides of alicyclic dicarboxylic acids or tricarboxylic acids include cyclobutane dicarboxylic acid, cyclopentane dicarboxylic acid, hexahydrophthalic acid, tetrahydrophthalic acid, norbornane dicarboxylic acid, and the like. of acids monohydrides are included. Furthermore, acid anhydrides of dicarboxylic acids or tricarboxylic acids into which an arbitrary substituent has been introduced are also included. Moreover, examples of the acid monohydride of aromatic dicarboxylic acid or tricarboxylic acid include acid monohydride such as phthalic acid, isophthalic acid, and trimellitic acid. Furthermore, acid anhydrides of dicarboxylic acids or tricarboxylic acids into which an arbitrary substituent has been introduced are included.

또, 에폭시(메트)아크릴레이트에 반응시키는 (b) 테트라카르복실산의 산 이무수물로는, 사슬형 탄화수소테트라카르복실산의 산 이무수물, 지환식 테트라카르복실산의 산 이무수물 또는 방향족 테트라카르복실산의 산 이무수물이 사용된다. 여기서, 사슬형 탄화수소테트라카르복실산의 산 이무수물의 예로는, 부탄테트라카르복실산, 펜탄테트라카르복실산, 헥산테트라카르복실산 등의 산 이무수물이 포함된다. 나아가서는, 임의의 치환기가 도입된 테트라카르복실산의 산 이무수물 등이 포함된다. 또, 지환식 테트라카르복실산의 산 이무수물의 예로는, 시클로부탄테트라카르복실산, 시클로펜탄테트라카르복실산, 시클로헥산테트라카르복실산, 시클로헵탄테트라카르복실산, 노르보르난테트라카르복실산 등의 산 이무수물이 포함된다. 나아가서는, 임의의 치환기가 도입된 테트라카르복실산의 산 이무수물 등이 포함된다. 또, 방향족 테트라카르복실산의 산 이무수물의 예로는, 피로멜리트산, 벤조페논테트라카르복실산, 비페닐테트라카르복실산, 비페닐에테르테트라카르복실산 등의 산 이무수물이 포함된다. 나아가서는, 임의의 치환기가 도입된 테트라카르복실산의 산 이무수물 등이 포함된다.Further, as the acid dianhydride of (b) tetracarboxylic acid reacted with epoxy (meth)acrylate, acid dianhydride of chain hydrocarbon tetracarboxylic acid, acid dianhydride of alicyclic tetracarboxylic acid, or aromatic tetracarboxylic acid dianhydride Acid dianhydrides of carboxylic acids are used. Here, examples of acid dianhydrides of chain hydrocarbon tetracarboxylic acids include acid dianhydrides such as butanetetracarboxylic acid, pentanetetracarboxylic acid, and hexanetetracarboxylic acid. Furthermore, the acid dianhydride of tetracarboxylic acid into which arbitrary substituents were introduce|transduced, etc. are contained. Moreover, examples of acid dianhydrides of alicyclic tetracarboxylic acids include cyclobutane tetracarboxylic acid, cyclopentane tetracarboxylic acid, cyclohexanetetracarboxylic acid, cycloheptane tetracarboxylic acid, and norbornane tetracarboxylic acid. Acid dianhydrides such as Furthermore, the acid dianhydride of tetracarboxylic acid into which arbitrary substituents were introduce|transduced, etc. are contained. Moreover, acid dianhydrides, such as a pyromellitic acid, benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyl tetracarboxylic acid, and biphenyl ether tetracarboxylic acid, are contained as an example of the acid dianhydride of aromatic tetracarboxylic acid. Furthermore, the acid dianhydride of tetracarboxylic acid into which arbitrary substituents were introduce|transduced, etc. are contained.

에폭시(메트)아크릴레이트에 반응시키는 (a) 디카르복실산 또는 트리카르복실산의 산 일무수물과 (b) 테트라카르복실산의 산 이무수물의 몰비 (a)/(b) 는, 0.01 이상 10.0 이하인 것이 바람직하고, 0.02 이상 3.0 미만인 것이 보다 바람직하다. 몰비 (a)/(b) 가 상기 범위를 일탈하면, 양호한 광 패터닝성을 갖는 감광성 수지 조성물로 하기 위한 최적 분자량이 얻어지지 않기 때문에 바람직하지 않다. 또한, 몰비 (a)/(b) 가 작을수록 분자량은 커지고, 알칼리 용해성은 저하되는 경향이 있다.The molar ratio (a)/(b) of the acid monohydride of (a) dicarboxylic acid or tricarboxylic acid and the acid dianhydride of (b) tetracarboxylic acid reacted with epoxy (meth)acrylate is 0.01 or more and 10.0 It is preferable that it is below, and it is more preferable that it is 0.02 or more and less than 3.0. When the molar ratio (a)/(b) deviates from the above range, it is not preferable because the optimum molecular weight for forming a photosensitive resin composition having good light patterning properties cannot be obtained. Further, the smaller the molar ratio (a)/(b), the larger the molecular weight and the lower the alkali solubility.

또, 에폭시 화합물과 (메트)아크릴산의 반응, 및 이 반응에서 얻어진 에폭시(메트)아크릴레이트와 다염기 카르복실산 또는 그 산 무수물의 반응은, 특별히 한정되지 않고, 공지된 방법을 채용할 수 있다. 또, 상기 반응에서 합성되는 불포화기 함유 감광성 수지는, 그 중량 평균 분자량 (Mw) 은 2000 ∼ 10000 이 바람직하고, 산가는 30 ∼ 200 mg/KOH 인 것이 바람직하다. 또한, 중량 평균 분자량 (Mw) 은, 예를 들어, 겔 퍼미에이션 크로마토그래피 (GPC) 「HLC-8220GPC」(토소 주식회사 제조) 를 사용하여 측정할 수 있다. 또, 산가는, 예를 들어, 전위차 적정 장치「COM-1600」(히라누마 산업 주식회사 제조) 을 사용하여 1/10N-KOH 수용액으로 적정할 수 있다.In addition, the reaction between the epoxy compound and (meth)acrylic acid and the reaction between the epoxy (meth)acrylate obtained in this reaction and the polybasic carboxylic acid or its acid anhydride are not particularly limited, and a known method can be employed. . Moreover, as for the unsaturated group containing photosensitive resin synthesize|combined by the said reaction, as for the weight average molecular weight (Mw), 2000-10000 are preferable, and it is preferable that the acid value is 30-200 mg/KOH. In addition, the weight average molecular weight (Mw) can be measured using, for example, gel permeation chromatography (GPC) "HLC-8220GPC" (manufactured by Tosoh Corporation). In addition, the acid value can be titrated with a 1/10 N-KOH aqueous solution using, for example, a potentiometric titration device "COM-1600" (manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.).

(A) 성분인 불포화기 함유 감광성 수지로서 바람직한 수지의 다른 예로는, (메트)아크릴산, (메트)아크릴산에스테르 등의 공중합체로서, (메트)아크릴로일기 및 카르복실기를 갖는 수지가 포함된다. 상기 수지의 예로는, 글리시딜(메트)아크릴레이트를 포함하는 (메트)아크릴산에스테르류를 용제 중에서 공중합시켜 얻어진 공중합체에, (메트)아크릴산을 반응시키고, 마지막으로 디카르복실산 또는 트리카르복실산의 무수물을 반응시켜 얻어지는 중합성 불포화기 함유 알칼리 가용성 수지가 포함된다. 상기 공중합체는, 일본 공개특허공보 2014-111722호에 나타나 있는, 양단의 수산기를 (메트)아크릴산에 의해 에스테르화된 디에스테르글리세롤에서 유래하는 반복 단위 20 ∼ 90 몰%, 및 이것과 공중합 가능한 1 종류 이상의 중합성 불포화 화합물에서 유래하는 반복 단위 10 ∼ 80 몰% 로 구성되고, 수평균 분자량 (Mn) 이 2000 ∼ 20000 또한 산가가 35 ∼ 120 mgKOH/g 인 공중합체, 및 일본 공개특허공보 2018-141968호에 나타나 있는, (메트)아크릴산에스테르 화합물에서 유래하는 유닛과, (메트)아크릴로일기 및 디 또는 트리카르복실산 잔기를 갖는 유닛을 포함하는, 중량 평균 분자량 (Mw) 3000 ∼ 50000, 산가 30 ∼ 200 mg/KOH 의 중합체인 중합성 불포화기 함유 알칼리 가용성 수지를 참고로 할 수 있다.Other examples of resins suitable as the unsaturated group-containing photosensitive resin as component (A) include copolymers of (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester, which have a (meth)acryloyl group and a carboxyl group. As an example of the resin, (meth)acrylic acid is reacted with a copolymer obtained by copolymerizing (meth)acrylic acid esters containing glycidyl (meth)acrylate in a solvent, and finally dicarboxylic acid or tricarboxylic acid Alkali-soluble resins containing a polymerizable unsaturated group obtained by reacting an anhydride of a boxylic acid are included. The copolymer contains 20 to 90 mol% of repeating units derived from diesterglycerol in which the hydroxyl groups at both ends are esterified with (meth)acrylic acid, as shown in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-111722, and 1 copolymerizable with this A copolymer composed of 10 to 80 mol% of repeating units derived from a polymerizable unsaturated compound having a number average molecular weight (Mn) of 2000 to 20000 and an acid value of 35 to 120 mgKOH/g, and Japanese Unexamined Patent Publication 2018- 141968, containing a unit derived from a (meth)acrylic acid ester compound and a unit having a (meth)acryloyl group and a di- or tricarboxylic acid residue, having a weight average molecular weight (Mw) of 3000 to 50000, an acid value Reference can be made to an alkali-soluble resin containing a polymerizable unsaturated group, which is a polymer of 30 to 200 mg/KOH.

(A) 성분의 함유량은, 고형분의 전체 질량에 대해 10 질량% 이상 90 질량% 이하인 것이 바람직하고, 20 질량% 이상 80 질량% 이하인 것이 보다 바람직하다. (A) 성분의 상기 함유량이 10 질량% 이상이면, 고해상도의 패턴을 형성하는 것이 가능해진다.It is preferable that it is 10 mass % or more and 90 mass % or less with respect to the total mass of solid content, and, as for content of (A) component, it is more preferable that it is 20 mass % or more and 80 mass % or less. (A) When the said content of component is 10 mass % or more, it becomes possible to form a high-resolution pattern.

(A) 성분의 불포화기 함유 감광성 수지에 대해서는, 1 종류만을 단독으로 사용해도 되고, 2 종류 이상을 병용해도 된다.About the unsaturated group-containing photosensitive resin of (A) component, only 1 type may be used independently, and you may use 2 or more types together.

본 실시형태에 관련된 (B) 성분에 있어서의 적어도 2 개 이상의 불포화 결합을 갖는 광중합성 화합물의 예로는, 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 테트라메틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜디아크릴레이트, 글리세롤(메트)아크릴레이트, 글리세롤디(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 트리메틸올에탄트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨디(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 글리세롤트리(메트)아크릴레이트, 소르비톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 소르비톨헥사(메트)아크릴레이트, 포스파젠의 알킬렌옥사이드 변성 헥사(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산에스테르류 ; 2-하이드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시프로필(메트)아크릴레이트 등의 수산기를 갖는 (메트)아크릴산에스테르류 ; 비스페놀 A 형 에폭시(메트)아크릴레이트, 비스페놀 F 형 에폭시(메트)아크릴레이트, 비스페놀플루오렌형 에폭시(메트)아크릴레이트, 디페닐플루오렌형 에폭시(메트)아크릴레이트, 페놀 노볼락형 에폭시(메트)아크릴레이트, 크레졸 노볼락형 에폭시(메트)아크릴레이트, 페놀아르알킬형 에폭시(메트)아크릴레이트 등의 에폭시(메트)아크릴레이트 ; 에틸렌성 이중 결합을 갖는 화합물로서 (메트)아크릴기를 갖는 수지상 (樹枝狀) 폴리머 등이 포함된다. 이들 광중합성 화합물의 1 종류만을 단독으로 사용해도 되고, 2 종류 이상을 병용해도 된다. 또, 당해 적어도 2 개의 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 광중합성 화합물은, 중합성 불포화기 함유 알칼리 가용성 수지의 분자끼리를 가교하는 역할을 담당할 수 있는 것이고, 이 기능을 발휘시키기 위해서는 불포화 결합을 3 개 이상 갖는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 또, 광중합성 화합물의 분자량을 1 분자 중의 (메트)아크릴기의 수로 나눈 아크릴 당량이 50 ∼ 300 인 것이 바람직하고, 아크릴 당량은 80 ∼ 200 인 것이 보다 바람직하다. 또한, (B) 성분은 유리된 카르복실기를 갖지 않는다.Examples of the photopolymerizable compound having at least two or more unsaturated bonds in the component (B) according to the present embodiment include ethylene glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, and triethylene glycol di(meth)acrylate. (meth)acrylate, tetraethylene glycol di(meth)acrylate, tetramethylene glycol di(meth)acrylate, tripropylene glycol diacrylate, glycerol (meth)acrylate, glycerol di(meth)acrylate, trimethylol Propane tri(meth)acrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipenta Erythritol tetra(meth)acrylate, glycerol tri(meth)acrylate, sorbitol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, sorbitol hexa( (meth)acrylic acid esters such as meth)acrylate, alkylene oxide-modified hexa(meth)acrylate of phosphazene, and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate; (meth)acrylic acid esters having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth)acrylate and 2-hydroxypropyl (meth)acrylate; Bisphenol A type epoxy (meth)acrylate, bisphenol F type epoxy (meth)acrylate, bisphenol fluorene type epoxy (meth)acrylate, diphenyl fluorene type epoxy (meth)acrylate, phenol novolac type epoxy (meth) ) Epoxy (meth)acrylates such as acrylate, cresol novolac type epoxy (meth)acrylate, and phenol aralkyl type epoxy (meth)acrylate; Examples of the compound having an ethylenic double bond include a dendritic polymer having a (meth)acrylic group and the like. One type of these photopolymerizable compounds may be used alone, or two or more types may be used in combination. In addition, the photopolymerizable compound having at least two ethylenically unsaturated bonds can play a role of crosslinking the molecules of the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin, and in order to exhibit this function, three unsaturated bonds It is preferable to use those having the above. Moreover, it is preferable that the acrylic equivalent obtained by dividing the molecular weight of the photopolymerizable compound by the number of (meth)acrylic groups in one molecule is 50 to 300, and the acrylic equivalent is more preferably 80 to 200. In addition, (B) component does not have a free carboxyl group.

(A) 성분과 (B) 성분의 배합 비율은, 중량비 (A)/(B) 이고, 30/70 ∼ 90/10 인 것이 바람직하고, 60/40 ∼ 80/20 인 것이 보다 바람직하다. (A) 성분의 배합 비율이 30/70 이상이면, 광경화 후의 경화물이 물러지기 어렵고, 또, 미노광부에 있어서 도막의 산가가 낮아지기 어렵기 때문에 알칼리 현상액에 대한 용해성의 저하를 억제할 수 있다. 따라서, 패턴 에지가 톱니 모양이 생기는 것이나, 샤프하게 되지 않는다는 문제가 발생하기 어렵다. 또, (A) 성분의 배합 비율이 90/10 이하이면, 수지에서 차지하는 광 반응성 관능기의 비율이 충분하므로, 원하는 가교 구조의 형성을 실시할 수 있다. 또, 수지 성분에 있어서의 산가도가 지나치게 높지 않으므로, 노광부에 있어서의 알칼리 현상액에 대한 용해성이 높아지기 어려운 점에서, 형성된 패턴이 목표로 하는 선폭보다 가늘어지는 것이나, 패턴의 결락을 억제할 수 있다.The blending ratio of component (A) and component (B) is weight ratio (A)/(B), preferably 30/70 to 90/10, and more preferably 60/40 to 80/20. When the blending ratio of the component (A) is 30/70 or more, the cured product after photocuring is less likely to become brittle, and the acid value of the coating film in the unexposed area is less likely to decrease, so the decrease in solubility in an alkaline developer can be suppressed. . Therefore, it is difficult to cause a problem that the pattern edge is jagged or does not become sharp. Moreover, since the ratio of the photoreactive functional group occupied in resin is sufficient as the compounding ratio of (A) component is 90/10 or less, a desired crosslinked structure can be formed. In addition, since the acidity of the resin component is not too high, the solubility in the alkaline developer in the exposed portion is difficult to increase, so that the formed pattern is thinner than the target line width and the pattern is missing. .

(C) 성분인 광중합 개시제의 예로는, 아세토페논, 2,2-디에톡시아세토페논, p-디메틸아세토페논, p-디메틸아미노프로피오페논, 디클로로아세토페논, 트리클로로아세토페논, p-tert-부틸아세토페논 등의 아세토페논류, 벤조페논, 2-클로로벤조페논, p,p'-비스디메틸아미노벤조페논 등의 벤조페논류 ; 벤질, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르 등의 벤조인에테르류 ; 2-(o-클로로페닐)-4,5-페닐비이미다졸, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디(m-메톡시페닐)비이미다졸, 2-(o-플루오로페닐)-4,5-디페닐비이미다졸, 2-(o-메톡시페닐)-4,5-디페닐비이미다졸, 2,4,5-트리아릴비이미다졸 등의 비이미다졸계 화합물류 ; 2-트리클로로메틸-5-스티릴-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-시아노스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-메톡시스티릴)-1,3,4-옥사디아졸 등의 할로메틸티아졸 화합물류 ; 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-1,3,5-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-1,3,5-트리아진, 2-페닐-4,6-비스(트리클로로메틸)-1,3,5-트리아진, 2-(4-클로로페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸-1,3,5-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-1,3,5-트리아진, 2-(4-메톡시나프틸)-4,6-비스(트리클로로메틸)-1,3,5-트리아진, 2-(4-메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-1,3,5-트리아진, 2-(3,4,5-트리메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-1,3,5-트리아진, 2-(4-메틸티오스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-1,3,5-트리아진 등의 할로메틸-S-트리아진계 화합물류 ; 1,2-옥탄디온, 1-[4-(페닐티오)페닐]-, 2-(O-벤조일옥심), 1-(4-페닐술파닐페닐)부탄-1,2-디온-2-옥심-O-벤조에이트, 1-(4-메틸술파닐페닐)부탄-1,2-디온-2-옥심-O-아세테이트, 1-(4-메틸술파닐페닐)부탄-1-온옥심-O-아세테이트, 4-에톡시-2-메틸페닐-9-에틸-6-니트로-9H-카르바졸-3-일-O-아세틸옥심 등의 O-아실옥심계 화합물류 ; 벤질디메틸케탈, 티오크산톤, 2-클로로티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2-메틸티오크산톤, 2-이소프로필티오크산톤 등의 황 화합물 ; 2-에틸안트라퀴논, 옥타메틸안트라퀴논, 1,2-벤즈안트라퀴논, 2,3-디페닐안트라퀴논 등의 안트라퀴논류 ; 아조비스이소부티로니트릴, 벤조일퍼옥사이드, 쿠멘퍼옥사이드 등의 유기 과산화물 ; 2-메르캅토벤조이미다졸, 2-메르캅토벤조옥사졸, 2-메르캅토벤조티아졸 등의 티올 화합물, 트리에탄올아민, 트리에틸아민 등의 제 3 급 아민 등이 포함된다. 이들 광중합 개시제는, 그 1 종류만을 단독으로 사용해도 되고, 2 종류 이상을 병용해도 된다.Examples of the photopolymerization initiator as component (C) include acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert- acetophenones such as butyl acetophenone, benzophenones such as benzophenone, 2-chlorobenzophenone, and p,p'-bisdimethylaminobenzophenone; benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether; 2-(o-chlorophenyl)-4,5-phenylbiimidazole, 2-(o-chlorophenyl)-4,5-di(m-methoxyphenyl)biimidazole, 2-(o-fluoro Biimidazoles such as phenyl)-4,5-diphenylbiimidazole, 2-(o-methoxyphenyl)-4,5-diphenylbiimidazole, and 2,4,5-triarylbiimidazole compounds; 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(p-cyanostyryl)-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloro halomethylthiazole compounds such as romethyl-5-(p-methoxystyryl)-1,3,4-oxadiazole; 2,4,6-tris(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-phenyl- 4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-chlorophenyl)-4,6-bis(trichloromethyl-1,3,5-triazine, 2- (4-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxynaphthyl)-4,6-bis(trichloromethyl)- 1,3,5-triazine, 2-(4-methoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(3,4,5-tri Methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine, 2- (4-methylthiostyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -1, Halomethyl-S-triazine compounds such as 3,5-triazine, 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl]-, 2-(O-benzoyloxime), 1-( 4-phenylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-benzoate, 1-(4-methylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-acetate, 1-(4-methylsulfanylphenyl)butan-1-one oxime-O-acetate, 4-ethoxy-2-methylphenyl-9-ethyl-6-nitro-9H-carbazol-3-yl-O-acetyl O-acyloxanthone compounds such as oximes: benzyldimethylketal, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone Sulfur compounds such as 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, etc. Anthraquinones: azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, quinones Organic peroxides such as menperoxide include thiol compounds such as 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, and 2-mercaptobenzothiazole, and tertiary amines such as triethanolamine and triethylamine. These photoinitiators may be used alone or in combination of two or more.

바람직하게 사용할 수 있는 O-아실옥심계 화합물류의 예로는, 일반식 (3) 및 일반식 (4) 로 나타내는 O-아실옥심계 광중합 개시제가 있다. 이들 화합물군 중에 있어서도, 차광 성분을 고농도로 사용하는 경우에는, 365 ㎚ 에 있어서의 몰 흡광 계수가 10000 이상인 O-아실옥심계 광중합 개시제를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에서 말하는「광중합 개시제」는, 증감제를 포함하는 의미로 사용된다.Examples of the O-acyloxime-based compounds that can be preferably used include O-acyloxime-based photopolymerization initiators represented by the general formulas (3) and (4). Also in these compound groups, when using a light-shielding component in high concentration, it is preferable to use the O-acyloxime system photoinitiator whose molar extinction coefficient in 365 nm is 10000 or more. In addition, "photoinitiator" as used in the present invention is used by the meaning containing a sensitizer.

[화학식 3][Formula 3]

Figure pat00003
Figure pat00003

식 (3) 중, R5, R6 은, 각각 독립적으로, C1 ∼ C15 의 알킬기, C6 ∼ C18 의 아릴기, C7 ∼ C20 의 아릴알킬기 또는 C4 ∼ C12 의 복소 고리기이고, R7 은 C1 ∼ C15 의 알킬기, C6 ∼ C18 의 아릴기 또는 C7 ∼ C20 의 아릴알킬기이다. 여기서, 알킬기 및 아릴기는 C1 ∼ C10 의 알킬기, C1 ∼ C10 의 알콕시기, C1 ∼ C10 의 알카노일기, 할로겐으로 치환되어 있어도 되고, 알킬렌 부분은, 불포화 결합, 에테르 결합, 티오에테르 결합, 에스테르 결합을 포함하고 있어도 된다. 또, 알킬기는 직사슬, 분기 또는 고리형의 어느 알킬기여도 된다.In formula (3), R 5 and R 6 are each independently a C1-C15 alkyl group, a C6-C18 aryl group, a C7-C20 arylalkyl group, or a C4-C12 heterocyclic group, and R 7 is C1 to C15 alkyl group, C6 to C18 aryl group, or C7 to C20 arylalkyl group. Here, the alkyl group and the aryl group may be substituted with a C1-C10 alkyl group, a C1-C10 alkoxy group, a C1-C10 alkanoyl group, or a halogen, and the alkylene moiety is an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, or an ester A bond may be included. Moreover, any linear, branched or cyclic alkyl group may be sufficient as an alkyl group.

[화학식 4][Formula 4]

Figure pat00004
Figure pat00004

식 (4) 중, R8 및 R9 는 각각 독립적으로, 탄소수 1 ∼ 10 의 직사슬형 혹은 분기형의 알킬기이거나, 탄소수 4 ∼ 10 의 시클로알킬기, 시클로알킬알킬기 혹은 알킬시클로알킬기이거나, 또는 탄소수 1 ∼ 6 의 알킬기로 치환되어 있어도 되는 페닐기이다. R10 은 독립적으로 탄소수 2 ∼ 10 의 직사슬형 혹은 분기형의 알킬기 또는 알케닐기이고, 당해 알킬기 또는 알케닐기 중의 -CH2- 기의 일부가 -O- 기로 치환되어 있어도 된다. 또한, 이들 R8 ∼ R10 의 기 중의 수소 원자의 일부가 할로겐 원자로 치환되어 있어도 된다.In Formula (4), R 8 and R 9 are each independently a linear or branched alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group, a cycloalkylalkyl group or an alkylcycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, or a carbon number It is a phenyl group which may be substituted with 1-6 alkyl groups. R 10 is independently a linear or branched alkyl or alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, and part of the -CH 2 - group in the alkyl or alkenyl group may be substituted with an -O- group. In addition, some of the hydrogen atoms in the groups of R 8 to R 10 may be substituted with halogen atoms.

(C) 성분의 광중합 개시제의 사용량은, (A) 및 (B) 의 각 성분의 합계 100 중량부를 기준으로 하여 3 ∼ 30 중량부인 것이 바람직하고, 5 ∼ 20 중량부인 것이 보다 바람직하다. (C) 성분의 배합 비율이 3 중량부 이상인 경우에는, 감도가 양호하여, 충분한 광중합의 속도를 가질 수 있다. (C) 성분의 배합 비율이 30 중량부 이하인 경우에는, 적당한 감도를 가질 수 있으므로, 원하는 패턴 선폭 및 원하는 패턴 에지를 얻을 수 있다.The amount of photopolymerization initiator used in component (C) is preferably 3 to 30 parts by weight, more preferably 5 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total of components (A) and (B). When the blending ratio of component (C) is 3 parts by weight or more, the sensitivity is good and a sufficient speed of photopolymerization can be obtained. When the blending ratio of component (C) is 30 parts by weight or less, appropriate sensitivity can be obtained, so that desired pattern line width and desired pattern edge can be obtained.

본 실시형태에 관련된 (D) 성분인 흑색 안료, 혼색 유기 안료 및 차광재 등의 차광 성분은, 1 ∼ 1000 ㎚ 의 평균 입자경 (레이저 회절·산란법 입경 분포계 또는 동적 광 산란법 입경 분포계 측정된 평균 입자경) 으로 분산된 것이면, 공지된 차광 성분을 특별히 제한 없이 사용할 수 있다.Light-shielding components such as black pigment, mixed color organic pigment, and light-shielding material, which are components (D) according to the present embodiment, have an average particle diameter of 1 to 1000 nm (measured by a laser diffraction/scattering method particle size distribution system or a dynamic light scattering method particle size distribution system) average particle diameter), a known light-shielding component can be used without particular limitation.

(D) 성분인 흑색 안료의 예로는, 페릴렌 블랙, 시아닌 블랙, 아닐린 블랙, 락탐 블랙, 카본 블랙, 티탄 블랙 등이 포함된다.Examples of the black pigment as component (D) include perylene black, cyanine black, aniline black, lactam black, carbon black, titanium black and the like.

(D) 성분인 혼색 유기 안료의 예로는, 아조 안료, 축합 아조 안료, 아조메틴 안료, 프탈로시아닌 안료, 퀴나크리돈 안료, 이소인돌리논 안료, 이소인돌린 안료, 디옥사진 안료, 트렌 안료, 페릴렌 안료, 페리논 안료, 퀴노프탈론 안료, 디케토피롤로피롤 안료, 티오인디고 안료 등의 유기 안료에서 선택되는 적어도 2 색이 혼합된 안료가 포함된다.Examples of the mixed color organic pigment as component (D) include azo pigments, condensed azo pigments, azomethine pigments, phthalocyanine pigments, quinacridone pigments, isoindolinone pigments, isoindoline pigments, dioxazine pigments, threne pigments, and phenolic pigments. Pigments in which at least two colors selected from organic pigments such as rylene pigments, perinone pigments, quinophthalone pigments, diketopyrrolopyrrole pigments, and thioindigo pigments are mixed are included.

상기 (D) 성분은, 목적으로 하는 감광성 수지 조성물의 기능에 따라, 그 1 종류만을 단독으로 사용해도 되고, 2 종류 이상을 병용해도 된다.According to the function of the photosensitive resin composition made into the objective, the said (D)component may use only the 1 type independently, and may use 2 or more types together.

또한, (D) 성분으로서 혼색 유기 안료를 사용하는 경우에 사용 가능한 유기 안료의 예로는, 컬러 인덱스명으로 이하의 넘버의 것이 포함되지만, 이것에 한정되지 않는다.In addition, as an example of the organic pigment which can be used when using a mixed color organic pigment as component (D), the color index names include those of the following numbers, but are not limited thereto.

피그먼트·레드 2, 3, 4, 5, 9, 12, 14, 22, 23, 31, 38, 112, 122, 144, 146, 147, 149, 166, 168, 170, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 202, 207, 208, 209, 210, 213, 214, 220, 221, 242, 247, 253, 254, 255, 256, 257, 262, 264, 266, 272, 279 등Pigment Red 2, 3, 4, 5, 9, 12, 14, 22, 23, 31, 38, 112, 122, 144, 146, 147, 149, 166, 168, 170, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 202, 207, 208, 209, 210, 213, 214, 220, 221, 242, 247, 253, 254, 255, 256, 257, 262, 264, 266, 272, 279, etc.

피그먼트·오렌지 5, 13, 16, 34, 36, 38, 43, 61, 62, 64, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 81 등Pigment Orange 5, 13, 16, 34, 36, 38, 43, 61, 62, 64, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 81, etc.

피그먼트·옐로 1, 3, 12, 13, 14, 16, 17, 55, 73, 74, 81, 83, 93, 95, 97, 109, 110, 111, 117, 120, 126, 127, 128, 129, 130, 136, 138, 139, 150, 151, 153, 154, 155, 173, 174, 175, 176, 180, 181, 183, 185, 191, 194, 199, 213, 214 등Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 16, 17, 55, 73, 74, 81, 83, 93, 95, 97, 109, 110, 111, 117, 120, 126, 127, 128, 129, 130, 136, 138, 139, 150, 151, 153, 154, 155, 173, 174, 175, 176, 180, 181, 183, 185, 191, 194, 199, 213, 214, etc.

피그먼트·그린 7, 36, 58 등Pigment Green 7, 36, 58, etc.

피그먼트·블루 15, 15 : 1, 15 : 2, 15 : 3, 15 : 4, 15 : 6, 16, 60, 80 등Pigment Blue 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 60, 80, etc.

피그먼트·바이올렛 19, 23, 37 등Pigment Violet 19, 23, 37, etc.

이것들 중, 흑색 안료가 바람직하고, 카본 블랙이 보다 바람직하다.Among these, a black pigment is preferable and carbon black is more preferable.

카본 블랙의 평균 1 차 입자경은, 5 ㎚ 이상 60 ㎚ 이하인 것이 바람직하고, 10 ㎚ 이상 50 ㎚ 이하인 것이 보다 바람직하며, 20 ㎚ 이상 45 ㎚ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 본 명세서에 있어서, 차광 성분의 입경 또는 평균 1 차 입자경이란, 차광 성분의 입자 또는 1 차 입자를 전자 현미경으로 관찰하여 구한 장경과 단경의 평균값의, 1500 개의 차광 성분에 대한 상가 (相加) 평균값을 의미한다. 카본 블랙의 평균 1 차 입자경이 보다 클수록, 고농도에서의 분산이 용이해진다. 카본 블랙의 평균 1 차 입자경을 과잉되지 않은 크기로 함으로써, 2 차 입자의 형상 불량이나 표면 조도의 저하를 억제할 수 있다.The average primary particle diameter of carbon black is preferably 5 nm or more and 60 nm or less, more preferably 10 nm or more and 50 nm or less, and still more preferably 20 nm or more and 45 nm or less. In the present specification, the particle diameter or average primary particle diameter of the light-shielding component is the average value of the average value of the major axis and the minor axis obtained by observing the particles or primary particles of the light-shielding component with an electron microscope for 1500 light-shielding components. means The larger the average primary particle diameter of carbon black, the easier it is to disperse at a high concentration. By setting the average primary particle diameter of carbon black to a size that is not excessive, shape defects of secondary particles and decrease in surface roughness can be suppressed.

또, 카본 블랙의 DBP 흡유량은, 100 ml/100 g 이하인 것이 바람직하다. 또한 DBP 흡유량이란, 카본 블랙 100 g 이 흡수하는 프탈산디부틸 (DBP) 의 용량을 의미한다 (JIS K 6217-4 (2017년)). 카본 블랙의 DBP 흡유량이 상기 범위이면, 경화막의 저항값 및 흑색도를 보다 높게 하고, 또한, 감광성 수지 조성물의 고점도화에 의하지만 도포성의 저하를 억제할 수 있다.Moreover, it is preferable that the DBP oil absorption of carbon black is 100 ml/100 g or less. In addition, DBP oil absorption means the capacity of dibutyl phthalate (DBP) absorbed by 100 g of carbon black (JIS K 6217-4 (2017)). When the DBP oil absorption of carbon black is within the above range, the resistance value and blackness of the cured film can be made higher, and the decrease in applicability due to the high viscosity of the photosensitive resin composition can be suppressed.

또, 카본 블랙은, pH 가 2 이상 10 이하인 것이 바람직하고, 5 이상 9 이하인 것이 보다 바람직하며, 4 이상 8 이하인 것이 더욱 바람직하다. 또한, pH 값이란, 카본 블랙과 증류수의 혼합액을 유리 전극 pH 계로 측정한 값을 의미한다. 카본 블랙의 pH 가 보다 높을수록, 카본 블랙의 안정성이 높아진다. 카본 블랙의 pH 가 과잉되지 않은 범위로 함으로써, 경화막의 기판에 대한 밀착성을 보다 높일 수 있다.Further, carbon black preferably has a pH of 2 or more and 10 or less, more preferably 5 or more and 9 or less, and still more preferably 4 or more and 8 or less. In addition, the pH value means a value obtained by measuring a mixture of carbon black and distilled water with a glass electrode pH meter. The higher the pH of the carbon black, the higher the stability of the carbon black. By setting the pH of the carbon black to a range in which it is not excessive, the adhesiveness of the cured film to the substrate can be further improved.

또, 카본 블랙은, 회분이 1.0 % 이하인 것이 바람직하다. 회분이 1.0 % 이하이면, 경화막의 저항값을 보다 높일 수 있다.Moreover, it is preferable that carbon black has an ash content of 1.0% or less. When the ash content is 1.0% or less, the resistance value of the cured film can be further increased.

또, 카본 블랙은, 비표면적이 20 ㎡/g 이상 300 ㎡/g 이하인 것이 바람직하다. 비표면적이 20 ㎡/g 이상이면, 경화막의 형상이 안정되기 쉽다. 비표면적이 300 ㎡/g 이하이면, 분산제나 염료 등의 필요량을 저감시킬 수 있기 때문에, 비용을 보다 억제할 수 있다.Moreover, it is preferable that the specific surface area of carbon black is 20 m<2>/g or more and 300 m<2>/g or less. When the specific surface area is 20 m 2 /g or more, the shape of the cured film is likely to be stable. Since the required amount of a dispersing agent, a dye, etc. can be reduced as a specific surface area is 300 m<2>/g or less, cost can be held down more.

또, 카본 블랙은, 산화 처리에 의해 표면에 산성 관능기를 갖는 것이 바람직하다. 특히, 복수 종류의 산화 처리에 의해 표면에 2 종류 이상의 산성 관능기를 갖는 것이 바람직하다. 상기 산성 관능기는, 카본 블랙의 분산성을 높일 수 있다. 상기 산화 처리의 예로는, 오존 가스, 질산, 차아염소산나트륨, 과산화수소, 일산화질소 가스, 이산화질소 가스, 무수 황산, 불소 가스, 농황산, 및 각종 과산화물 등을 사용하는 처리가 포함된다. 상기 산성 관능기의 예로는, 수산기, 옥소기, 하이드로퍼옥시기, 카르보닐기, 카르복실기, 퍼옥시카르복실산기, 알데히드기, 케톤기, 니트로기, 니트로소기, 아미드기, 이미드기, 술폰산기, 술핀산기, 술펜산기, 티오카르복실산기, 클로로실기, 클로릴기, 퍼클로릴기, 요오드실기, 및 요오딜기 등이 포함된다.Moreover, it is preferable that carbon black has an acidic functional group on the surface by oxidation treatment. In particular, it is preferable to have two or more types of acidic functional groups on the surface by plural types of oxidation treatment. The said acidic functional group can improve the dispersibility of carbon black. Examples of the oxidation treatment include treatment using ozone gas, nitric acid, sodium hypochlorite, hydrogen peroxide, nitrogen monoxide gas, nitrogen dioxide gas, anhydrous sulfuric acid, fluorine gas, concentrated sulfuric acid, various peroxides, and the like. Examples of the acidic functional group include a hydroxyl group, an oxo group, a hydroperoxy group, a carbonyl group, a carboxyl group, a peroxycarboxylic acid group, an aldehyde group, a ketone group, a nitro group, a nitroso group, an amide group, an imide group, a sulfonic acid group, a sulfinic acid group, A sulfenic acid group, a thiocarboxylic acid group, a chlorosyl group, a chloryl group, a perchloryl group, an iodosyl group, an iodyl group, and the like are included.

또, (D) 성분은, 표면이 염료에 의해 피복되어 표면 처리되어 있어도 된다. 특히, 표면이 염료로 피복된 카본 블랙은, 감광성 수지 조성물의 현상성을 높이고, 또한 이것을 경화시켜 이루어지는 경화막의 기판에 대한 밀착성, 세선 재현성, 및 차광성을 높여, 경화막의 저항값을 높일 수도 있다.In addition, the surface of component (D) may be coated with a dye and subjected to surface treatment. In particular, carbon black whose surface is coated with a dye enhances the developability of the photosensitive resin composition, and also enhances the adhesion to the substrate, fine wire reproducibility, and light-shielding properties of a cured film formed by curing it, and can also increase the resistance value of the cured film. .

상기 염료는, 차광 성분의 표면에 흡착될 수 있는 것이면 되고, 염기성 염료, 산성 염료, 직접 염료, 반응성 염료 등을 이용할 수 있다. 또한, 이 때, 차광 성분 (특히 카본 블랙) 의 분산성을 높이기 위해 그 표면에 산성 관능기를 부여하고 있을 (산화 처리하고 있을) 때에는, 당해 산성 관능기와 상호하기 쉬운 산성 염료 (특히 술폰산기 또는 카르복실기를 갖는 산성 염료) 가 바람직하다. 또, (A) 성분이 갖는 산성기와의 반응을 억제하는 관점에서, 아미노기 등을 갖는 염료와 비교하여, 산성 염료 또는 비이온성의 염료가 바람직하다. 또, 경화막의 차광성을 보다 높이는 관점에서는, 농색계의 염료가 바람직하다.The dye may be one that can be adsorbed on the surface of the light-shielding component, and basic dyes, acid dyes, direct dyes, reactive dyes and the like can be used. In addition, at this time, when an acidic functional group is provided (oxidized) to the surface of the light-shielding component (particularly carbon black) in order to improve its dispersibility, an acidic dye (particularly a sulfonic acid group or a carboxyl group) easily interacting with the acidic functional group Acidic dyes having) are preferred. Moreover, compared with the dye which has an amino group etc. from a viewpoint of suppressing reaction with the acidic group which component (A) has, an acidic dye or a nonionic dye is preferable. Moreover, from a viewpoint of further improving the light-shielding property of a cured film, a dark color dye is preferable.

상기 염료의 구체예로는, Food Black No.1, Food Black No.2, Food Red No.40, Food Blue No.1, Food Yellow No.7 등의 식용 색소 염료, Bernacid Red 2BMN, Basacid Black X34 (BASF X-34) (BASF 사 제조), Kayanol Red 3BL (Nippon Kayaku Company 사 제조), Dermacarbon 2GT (Sandoz 사 제조), Telon Fast Yellow 4GL-175, BASF Basacid Black SE 0228, Basacid Black X34 (BASF X-34) (BASF 사 제조), Basacid Blue 750 (BASF 사 제조), Bernacid Red (Bemcolors, Poughkeepsie, N.Y. 사 제조), BASF Basacid Black SE 0228 (BASF 사 제조) 등의 각 색의 산성 염료, Pontamine Brilliant Bond Blue A 및 그 밖의 Pontamine Brilliant Bond Blue A 및 그 밖의 Pontamine (등록상표) 염료 (Bayer Chemicals Corporation, Pittsburgh, PA 사 제조), Cartasol Yellow GTF Presscake (Sandoz, Inc 사 제조) ; Cartasol Yellow GTF Liquid Special 110 (Sandoz, Inc. 사 제조) ; Yellow Shade 16948 (Tricon 사 제조), Direct Brilliant Pink B (Crompton & Knowles 사 제조), Carta Black 2GT (Sandoz, Inc. 사 제조), Sirius Supra Yellow GD 167, Cartasol Brilliant Yellow 4GF (Sandoz 사 제조) ;, Pergasol Yellow CGP (Ciba-Geigy 사 제조), Pyrazol Black BG (JCI 사 제조), Diazol Black RN Quad (JCJ 사 제조), Pontamine Brilliant Bond Blue ; Berncolor A.Y. 34 등의 각 색의 직접 염료, Cibacron Brilliant Red 3B-A (Reactive Red 4) (Aldrich Chemical, Milwaukee, WI 사 제조), Drimarene Brilliant Red X-2B (Reactive Red 56) (Pylam Products, Inc. Tempe, AZ 사 제조), Levafix Brilliant Red E-4B, Levafix Brilliant Red F-6BA, 및 유사한 Levafix (등록상표) dyes Dystar L.P. (Charlotte, NC 사 제조) 제의 염료, Procion Red H8B (Reactive Red 31) (JCI America 사 제조) 등의 각 색의 반응성 염료, Neozapon Red 492 (BASF 사 제조), Orasol Red G (Ciba-Geigy 사 제조), Aizen Spilon Red C-BH (Hodogaya Chemical Company 사 제조), Spirit Fast Yellow 3G, Aizen Spilon Yellow C-GNH (Hodogaya Chemical Company 사 제조), Orasol Black RL (Ciba-Geigy 사 제조), Orasol Black RLP (Ciba-Geigy 사 제조), Savinyl Black RLS (Sandoz 사 제조), Orasol Blue GN (Ciba-Geigy 사 제조), Luxol Blue MBSN (Morton-Thiokol 사 제조), Morfast Black Concentrate A (Morton-Thiokol 사 제조) 등의 유용성 염료 등이 포함된다. 이것들은 단독으로 이용되어도 되거나 또는 2 종 이상을 조합하여 이용되어도 된다.Specific examples of the dye include food coloring dyes such as Food Black No.1, Food Black No.2, Food Red No.40, Food Blue No.1, and Food Yellow No.7, Bernacid Red 2BMN, Basacid Black X34 (BASF X-34) (manufactured by BASF), Kayanol Red 3BL (manufactured by Nippon Kayaku Company), Dermacarbon 2GT (manufactured by Sandoz), Telon Fast Yellow 4GL-175, BASF Basacid Black SE 0228, Basacid Black X34 (BASF X -34) (manufactured by BASF), Basacid Blue 750 (manufactured by BASF), Bernacid Red (manufactured by Bemcolors, Poughkeepsie, N.Y.), BASF Basacid Black SE 0228 (manufactured by BASF), Pontamine Brilliant Bond Blue A and other Pontamine Brilliant Bond Blue A and other Pontamine (registered trademark) dyes (manufactured by Bayer Chemicals Corporation, Pittsburgh, PA), Cartasol Yellow GTF Presscake (manufactured by Sandoz, Inc); Cartasol Yellow GTF Liquid Special 110 (manufactured by Sandoz, Inc.); Yellow Shade 16948 (manufactured by Tricon), Direct Brilliant Pink B (manufactured by Crompton & Knowles), Carta Black 2GT (manufactured by Sandoz, Inc.), Sirius Supra Yellow GD 167, Cartasol Brilliant Yellow 4GF (manufactured by Sandoz);, Pergasol Yellow CGP (manufactured by Ciba-Geigy), Pyrazol Black BG (manufactured by JCI), Diazol Black RN Quad (manufactured by JCJ), Pontamine Brilliant Bond Blue; Berncolor A.Y. 34, Cibacron Brilliant Red 3B-A (Reactive Red 4) (manufactured by Aldrich Chemical, Milwaukee, WI), Drimarene Brilliant Red X-2B (Reactive Red 56) (Pylam Products, Inc. Tempe, AZ), Levafix Brilliant Red E-4B, Levafix Brilliant Red F-6BA, and similar Levafix® dyes Dystar L.P. (Charlotte, NC), reactive dyes of various colors such as Procion Red H8B (Reactive Red 31) (manufactured by JCI America), Neozapon Red 492 (manufactured by BASF), Orasol Red G (manufactured by Ciba-Geigy) Manufacture), Aizen Spilon Red C-BH (manufactured by Hodogaya Chemical Company), Spirit Fast Yellow 3G, Aizen Spilon Yellow C-GNH (manufactured by Hodogaya Chemical Company), Orasol Black RL (manufactured by Ciba-Geigy), Orasol Black RLP (manufactured by Ciba-Geigy), Savinyl Black RLS (manufactured by Sandoz), Orasol Blue GN (manufactured by Ciba-Geigy), Luxol Blue MBSN (manufactured by Morton-Thiokol), Morfast Black Concentrate A (manufactured by Morton-Thiokol) Oil-soluble dyes such as the like are included. These may be used independently or may be used in combination of 2 or more types.

상기 염료의 함유량은, (D) 성분 중의 전체 질량에 대해 0.5 질량% 이상 10 질량% 이하인 것이 바람직하고, 1 질량% 이상 7 질량% 이하인 것이 보다 바람직하다. 염료의 양이 보다 많을수록, 경화막의 저항값을 높일 수 있다. 염료의 양이 과잉되지 않는 정도로 함으로써, 잉여의 염료에 의한 감광성 수지 조성물의 증점, 및 잉여의 염료가 다른 성분의 분산성을 저해시키는 것에 의한 응집의 발생을 억제할 수 있다.It is preferable that it is 0.5 mass % or more and 10 mass % or less with respect to the total mass in (D) component, and, as for content of the said dye, it is more preferable that it is 1 mass % or more and 7 mass % or less. The resistance value of a cured film can be raised, so that there are more quantities of dye. When the amount of the dye is not excessive, the thickening of the photosensitive resin composition due to the excess dye and the occurrence of aggregation caused by the excess dye impairing the dispersibility of other components can be suppressed.

또, 상기 염료는, 금속 또는 금속염에 의해 레이크화되어 있어도 된다. 염료를 레이크화함으로써, 상기 금속 또는 금속염을 개재하여 차광 성분의 표면에 염료를 고정시키고, 차광 성분의 표면으로부터의 염료의 이탈에 의한 상기 효과의 저감을 억제할 수 있다. 상기 금속의 예로는, 알루미늄, 마그네슘, 칼슘, 스트론튬, 바륨 및 망간 등이 포함된다. 상기 금속염의 예로는, 이들 금속의 염산염 및 황산염 등이 포함된다. 상기 금속 또는 금속염의 함유량은, 염료에 대해 0.3 배 몰 이상인 것이 바람직하고, 0.5 배 몰인 것이 보다 바람직하며, 0.8 배 몰인 것이 더욱 바람직하다.In addition, the dye may be laked with a metal or metal salt. By laking the dye, it is possible to fix the dye to the surface of the light-shielding component via the metal or metal salt, and suppress the reduction in the above effect due to detachment of the dye from the surface of the light-shielding component. Examples of the metal include aluminum, magnesium, calcium, strontium, barium and manganese. Examples of the metal salts include hydrochlorides and sulfates of these metals. The content of the metal or metal salt is preferably 0.3 times mole or more, more preferably 0.5 times mole, and still more preferably 0.8 times mole relative to the amount of the dye.

(D) 성분의 차광 성분의 배합 비율에 대해서는, 원하는 차광도에 따라 임의로 결정할 수 있지만, 감광성 수지 조성물 중의 고형분에 대해 20 ∼ 80 질량% 인 것이 바람직하고, 40 ∼ 70 질량% 인 것이 보다 바람직하다. (D) 성분의 차광 성분으로서, 아닐린 블랙, 시아닌 블랙, 락탐 블랙 등의 유기 안료 또는 카본 블랙 등의 카본계 차광 성분을 사용하는 경우에는, 감광성 수지 조성물 중의 고형분에 대해 40 ∼ 60 질량% 인 것이 특히 바람직하다. 차광 성분이, 감광성 수지 조성물 중의 고형분에 대해 20 질량% 이상이면, 차광성을 충분히 얻을 수 있다. 차광 성분이, 감광성 수지 조성물 중의 고형분에 대해 80 질량% 이하이면, 본래의 바인더가 되는 감광성 수지의 함유량이 감소하는 경우가 없기 때문에, 원하는 현상 특성 및 막 형성능을 얻을 수 있다.The blending ratio of the light-shielding component of component (D) can be arbitrarily determined depending on the desired degree of light-shielding, but is preferably 20 to 80% by mass, more preferably 40 to 70% by mass relative to the solid content in the photosensitive resin composition. . As the light-shielding component of component (D), when using an organic pigment such as aniline black, cyanine black, or lactam black or a carbon-based light-shielding component such as carbon black, it is 40 to 60 mass% with respect to the solid content in the photosensitive resin composition particularly preferred. When the light-shielding component is 20% by mass or more with respect to the solid content in the photosensitive resin composition, the light-shielding property can be sufficiently obtained. If the light-shielding component is 80% by mass or less with respect to the solid content in the photosensitive resin composition, the content of the photosensitive resin serving as the original binder does not decrease, so desired developing characteristics and film-forming ability can be obtained.

상기 (D) 성분은 용제에 분산시킨 차광 성분 분산체로서 다른 배합 성분과 혼합하는 것이 통상이고, 그 때에는 분산제를 첨가할 수 있다. 분산제는, 안료 (차광 성분) 분산에 사용되고 있는 공지된 화합물 (분산제, 분산 습윤제, 분산 촉진제 등의 명칭으로 시판되어 있는 화합물 등) 등을 특별히 제한 없이 사용할 수 있다.The component (D) is usually mixed with other components as a light-shielding component dispersion dispersed in a solvent. In that case, a dispersant may be added. As the dispersant, known compounds used for dispersing the pigment (light-shielding component) (compounds commercially available under names such as dispersing agent, dispersing wetting agent, and dispersing accelerator) and the like can be used without particular limitation.

분산제의 예로는, 카티온성 고분자계 분산제, 아니온성 고분자계 분산제, 논이온성 고분자계 분산제, 안료 유도체형 분산제 (분산 보조제) 가 포함된다. 특히, 분산제는, 착색제에 대한 흡착점으로서 이미다졸릴기, 피롤릴기, 피리딜기, 1 급, 2 급 또는 3 급의 아미노기 등의 카티온성의 관능기를 갖고, 아민가가 1 ∼ 100 mgKOH/g, 수평균 분자량 (Mn) 이 1000 ∼ 100000 의 범위에 있는 카티온성 고분자계 분산제인 것이 바람직하다. 이 분산제의 배합량은, 차광 성분에 대해 1 ∼ 35 질량부인 것이 바람직하고, 2 ∼ 25 질량부인 것이 보다 바람직하다. 또한, 수지류와 같은 고점도 물질은, 일반적으로 분산을 안정시키는 작용을 갖지만, 분산 촉진능을 갖지 않는 것은 분산제로서 취급하지 않는다. 그러나, 분산을 안정시킬 목적으로 사용하는 것을 제한하는 것은 아니다.Examples of the dispersing agent include cationic polymer-based dispersing agents, anionic polymer-based dispersing agents, nonionic polymer-based dispersing agents, and pigment derivative type dispersing agents (dispersion aids). In particular, the dispersant has a cationic functional group such as an imidazolyl group, a pyrrolyl group, a pyridyl group, a primary, secondary or tertiary amino group as an adsorption point for the colorant, and has an amine value of 1 to 100 mgKOH/g, It is preferable that it is a cationic polymer system dispersing agent in the range of 1000-100000 number average molecular weight (Mn). It is preferable that it is 1-35 mass parts with respect to the light-shielding component, and, as for the compounding quantity of this dispersing agent, it is more preferable that it is 2-25 mass parts. In addition, high-viscosity substances such as resins generally have an action of stabilizing dispersion, but substances that do not have dispersion-accelerating ability are not treated as dispersants. However, use for the purpose of stabilizing dispersion is not limited.

(E) 성분인 미립자로는, 산화알루미늄, 산화규소, 황산바륨, 황산칼슘, 탄산바륨, 탄산칼슘, 탄산마그네슘, 탄산스트론튬 및 메타규산나트륨 등을 사용할 수 있다. 이것들 중, 산화알루미늄 미립자가 바람직하다. 유리 등의 투명 기판의 굴절률은 약 1.5 인 데에 반해, 차광 성분이 되는 카본 블랙의 굴절률은 약 2.0 이기 때문에, 차광 성분의 굴절률보다 낮은 굴절률의 미립자를 사용함으로써, 당해 미립자를 포함하는 경화막의 굴절률을 낮게 할 수 있다. (E) 성분인 미립자의 굴절률은, 1.50 ∼ 1.80 인 것이 바람직하고, 1.55 ∼ 1.75 인 것이 보다 바람직하다. 산화알루미늄 미립자의 굴절률은 1.74 (문헌값) 이고, 굴절률이 투명 기판과 차광 성분의 중간 부근에 위치하기 때문에, 당해 미립자를 사용함으로써, 유리와 경화막의 굴절률차가 작아져, 반사율이 저감되는 것으로 생각된다. 또, (E) 성분과 같은 굴절률이 큰 입자는, 비중이 큰 것이 많아, 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포했을 때에, 투명 기재와 경화막의 계면 부근에 편재되기 쉽다. 그 때문에, (E) 성분은, 소량이어도 기재와 경화막 사이의 굴절률차를 충분히 저하시켜, 반사를 억제할 수 있다. 또, (E) 성분을 소량으로 함으로써 (D) 성분의 상대적인 함유량을 높여, 경화막의 광학 농도를 높일 수 있다. 이들 작용에 의해, (E) 성분은 경화막의 고차광성과 저반사율을 양립시킬 수 있는 것으로 생각된다. 나아가서는 (E) 성분을 소량으로 함으로써, (E) 성분에 의한 패턴 에지 부분의 톱니 모양을 생기기 어렵게 할 수 있다.As the fine particles of component (E), aluminum oxide, silicon oxide, barium sulfate, calcium sulfate, barium carbonate, calcium carbonate, magnesium carbonate, strontium carbonate, sodium metasilicate and the like can be used. Among these, aluminum oxide fine particles are preferable. While the refractive index of a transparent substrate such as glass is about 1.5, since the refractive index of carbon black serving as a light-shielding component is about 2.0, by using fine particles having a lower refractive index than the refractive index of the light-shielding component, the refractive index of the cured film containing the fine particles can be lowered. The refractive index of the fine particles as component (E) is preferably from 1.50 to 1.80, and more preferably from 1.55 to 1.75. The refractive index of the aluminum oxide fine particles is 1.74 (literature value), and since the refractive index is located near the middle of the transparent substrate and the light-shielding component, it is thought that using the fine particles reduces the difference in refractive index between the glass and the cured film and reduces the reflectance. . In addition, many of the particles having a large refractive index such as component (E) have a large specific gravity, and are likely to be unevenly distributed near the interface between the transparent substrate and the cured film when the photosensitive resin composition is applied on the substrate. Therefore, component (E), even in a small amount, can sufficiently reduce the difference in refractive index between the base material and the cured film and suppress reflection. Moreover, by making component (E) small, the relative content of component (D) can be raised and the optical density of a cured film can be raised. It is thought that (E) component can make high light-shielding property and low reflectance of a cured film compatible by these actions. Furthermore, by using a small amount of component (E), it is possible to make it difficult to produce jagged edges of the pattern due to component (E).

본 발명에서 사용하는 산화알루미늄 입자는, 기상 반응 또는 액상 반응과 같은 제조 방법이나, 형상 (구상, 비구상) 은 특별히 제한되지 않는다.The aluminum oxide particles used in the present invention are produced by a gas phase reaction or a liquid phase reaction, and the shape (spherical or non-spherical) is not particularly limited.

(E) 성분의 평균 입자경은, 10 ∼ 300 ㎚ 인 것이 바람직하고, 50 ∼ 250 ㎚ 인 것이 보다 바람직하고, 55 ∼ 250 ㎚ 인 것이 더욱 바람직하다. 입자의 평균 입자경이 10 ㎚ 이상이면, 입경이 충분히 크고, 또한 입자의 중량이 커서 투명 기재와 경화막의 계면 부근에 편재되기 쉽기 때문에, 반사율 저감 효과가 충분히 얻어지기 쉽다. 또 입자의 평균 입자경이 300 ㎚ 이하이면, 패턴 에지 부분의 톱니 모양이 생기기 어려워진다. 또한, 평균 입자경은, (E) 성분이 1 차 입자로 이루어질 때에는 평균 1 차 입자경이고, (E) 성분이 2 차 입자로 이루어질 때에는 평균 2 차 입자경이다.The average particle diameter of component (E) is preferably 10 to 300 nm, more preferably 50 to 250 nm, and still more preferably 55 to 250 nm. If the average particle diameter of the particles is 10 nm or more, the particle diameter is sufficiently large and the weight of the particles is large, so that they are easily distributed in the vicinity of the interface between the transparent substrate and the cured film, so that the effect of reducing reflectance can be sufficiently obtained. In addition, if the average particle size of the particles is 300 nm or less, jagged edges of the pattern are less likely to occur. In addition, an average particle diameter is an average primary particle diameter when component (E) consists of primary particles, and an average secondary particle diameter when component (E) consists of secondary particles.

(E) 성분의 배합 비율에 대해서는, 감광성 수지 조성물 중의 고형분에 대해 1 ∼ 30 질량% 인 것이 바람직하고, 2 ∼ 10 질량% 인 것이 보다 바람직하다. (E) 성분의 함유량이 1 질량% 이상이면, 경화막의 굴절률을 충분히 높여, 반사율 저감 효과가 높아진다. (E) 성분의 함유량이 30 질량% 이하이면, 고정세인 패턴 형성이 가능해진다.(E) About the compounding ratio of component, it is preferable that it is 1-30 mass % with respect to solid content in the photosensitive resin composition, and it is more preferable that it is 2-10 mass %. (E) When content of component is 1 mass % or more, the refractive index of a cured film is fully raised, and the reflectance reduction effect becomes high. (E) When content of component is 30 mass % or less, high-definition pattern formation becomes possible.

(D) 성분과 (E) 성분의 배합 비율은, 중량비 (D)/(E) 에서, 85/15 ∼ 99/1 인 것이 바람직하고, 92/8 ∼ 98/2 인 것이 보다 바람직하다. (D) 성분의 배합 비율을 85/15 이상으로 함으로써, 경화막의 차광성을 보다 높일 수 있다. 또, (E) 성분의 상대량을 적게 함으로써, (E) 성분에 의한 패턴 에지 부분의 톱니 모양을 생기기 어렵게 할 수 있다. 또한, (E) 성분의 상대량을 상기 정도로까지 적게 해도, (E) 성분에 의한 반사율의 저감 효과는 충분히 발휘된다.It is preferable that it is 85/15 - 99/1, and, as for the compounding ratio of component (D) and (E) component, it is more preferable that it is 92/8 - 98/2 in weight ratio (D)/(E). (D) By making the compounding ratio of component 85/15 or more, the light-shielding property of a cured film can be further improved. Moreover, by reducing the relative amount of the component (E), it is possible to make it difficult to produce jagged edges of the pattern edge portion due to the component (E). In addition, even if the relative amount of component (E) is reduced to the above level, the effect of reducing reflectance by component (E) is sufficiently exhibited.

본 발명의 감광성 수지 조성물에는, (A) ∼ (E) 의 성분 이외에 (F) 성분인 용제를 사용하는 것이 바람직하다. 용제의 예로는, 메탄올, 에탄올, n-프로판올, 이소프로판올, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알코올류 ; α- 혹은 β-테르피네올 등의 테르펜류 ; 아세톤, 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, N-메틸-2-피롤리돈 등의 케톤류 ; 톨루엔, 자일렌, 테트라메틸벤젠 등의 방향족 탄화수소류 ; 셀로솔브, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 카르비톨, 메틸카르비톨, 에틸카르비톨, 부틸카르비톨, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르 등의 글리콜에테르류 ; 아세트산에틸, 아세트산부틸, 셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 부틸셀로솔브아세테이트, 카르비톨아세테이트, 에틸카르비톨아세테이트, 부틸카르비톨아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 아세트산에스테르류가 포함된다. 이것들을 단독 또는 2 종류 이상을 병용하여 용해, 혼합시킴으로써, 균일한 용액상의 조성물로 할 수 있다.It is preferable to use the solvent which is (F) component other than the component (A)-(E) for the photosensitive resin composition of this invention. Examples of the solvent include alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, ethylene glycol, and propylene glycol; terpenes such as α- or β-terpineol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, and N-methyl-2-pyrrolidone; Aromatic hydrocarbons, such as toluene, xylene, and tetramethylbenzene; Cellosolve, Methyl Cellosolve, Ethyl Cellosolve, Carbitol, Methyl Carbitol, Ethyl Carbitol, Butyl Carbitol, Propylene Glycol Monomethyl Ether, Propylene Glycol Monoethyl Ether, Dipropylene Glycol Monomethyl Ether, Dipropylene Glycol glycol ethers such as monoethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, and triethylene glycol monoethyl ether; Ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, etc. Acetic acid esters of are included. A uniform solution-like composition can be obtained by dissolving and mixing these individually or in combination of two or more types.

또, 본 발명의 감광성 수지 조성물에는, 필요에 따라 에폭시 수지 등의 (A) 성분 이외의 수지, 경화제, 경화 촉진제, 열중합 금지제 및 산화 방지제, 가소제, 굴절률 1.50 이상 1.80 이하의 미립자 이외의 충전제, 레벨링제, 소포제, 계면 활성제, 커플링제 등의 첨가제를 배합할 수 있다.Moreover, in the photosensitive resin composition of this invention, as needed, resins other than (A) component, such as an epoxy resin, a hardening|curing agent, a hardening accelerator, a thermal polymerization inhibitor, antioxidant, a plasticizer, and a filler other than microparticles|fine-particles with a refractive index of 1.50 or more and 1.80 or less , a leveling agent, an antifoaming agent, a surfactant, and additives such as a coupling agent can be blended.

열중합 금지제 및 산화 방지제의 예로는, 하이드로퀴논, 하이드로퀴논모노메틸에테르, 피로갈롤, tert-부틸카테콜, 페노티아진, 힌더드 페놀계 화합물 등이 포함된다. 가소제의 예로는, 디부틸프탈레이트, 디옥틸프탈레이트, 인산트리크레질 등이 포함된다. 충전제의 예로는, 유리 파이버, 실리카, 마이카 등이 포함된다. 소포제나 레벨링제의 예로는, 실리콘계, 불소계, 아크릴계의 화합물이 포함된다. 계면 활성제의 예로는, 불소계 계면 활성제, 실리콘계 계면 활성제 등이 포함된다. 커플링제의 예로는, 3-(글리시딜옥시)프로필트리메톡시실란, 3-아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-이소시아네이트프로필트리에톡시실란, 3-우레이도프로필트리에톡시실란 등이 포함된다.Examples of the thermal polymerization inhibitor and antioxidant include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, tert-butylcatechol, phenothiazine, hindered phenolic compounds and the like. Examples of plasticizers include dibutylphthalate, dioctylphthalate, tricresyl phosphate and the like. Examples of fillers include glass fibers, silica, mica, and the like. Examples of antifoaming agents and leveling agents include silicone-based, fluorine-based, and acrylic compounds. Examples of surfactants include fluorine-based surfactants, silicone-based surfactants, and the like. Examples of the coupling agent include 3-(glycidyloxy)propyltrimethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-isocyanatepropyltriethoxysilane, 3-ureidopropyltriethoxysilane and the like. included

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 용제를 제외한 고형분 (고형분에는 경화 후에 고형분이 되는 광중합성 화합물을 포함한다) 중에, (A) 성분인 불포화기 함유 감광성 수지와, (B) 성분인 적어도 2 개 이상 불포화 결합을 갖는 광중합성 화합물과, (C) 성분인 광중합 개시제와, (D) 성분인 흑색 안료, 혼색 안료 및 차광재에서 선택되는 적어도 1 종의 차광 성분과, (E) 굴절률 1.50 이상 1.80 이하의 미립자가 합계로 80 질량% 이상 포함되어 있는 것이 바람직하고, 90 질량% 이상 포함되는 것이 보다 바람직하다. 용제의 양은, 목표로 하는 점도에 따라 변화되지만, 전체량에 대해 40 ∼ 90 질량% 인 것이 바람직하다.The photosensitive resin composition of the present invention contains an unsaturated group-containing photosensitive resin as component (A) and at least two or more components as component (B) in a solid content (solid content includes a photopolymerizable compound that becomes a solid content after curing) excluding a solvent. A photopolymerizable compound having an unsaturated bond, a photopolymerization initiator as component (C), at least one light-shielding component selected from black pigment, mixed color pigment and light-shielding material as component (D), and (E) a refractive index of 1.50 or more and 1.80 or less It is preferable that the fine particles of are contained at 80 mass% or more in total, and it is more preferable that they are contained at 90 mass% or more. Although the amount of the solvent changes depending on the target viscosity, it is preferably 40 to 90% by mass with respect to the total amount.

또, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막은, 예를 들어, 감광성 수지 조성물의 용액을 기판 등에 도포하고, 용제를 건조시켜, 광 (자외선, 방사선 등을 포함한다) 을 조사하여 경화시킴으로써 얻어진다. 포토마스크 등을 사용하여 광이 닿는 부분과 닿지 않는 부분을 형성하여, 광이 닿는 부분만을 경화시키고, 다른 부분을 알칼리 용액으로 용해시키면, 원하는 패턴이 얻어진다.Further, the cured film formed by curing the photosensitive resin composition of the present invention is cured by, for example, applying a solution of the photosensitive resin composition to a substrate or the like, drying the solvent, and irradiating light (including ultraviolet rays, radiation, etc.) is obtained A desired pattern is obtained by using a photomask or the like to form a portion that is exposed to light and a portion that is not exposed to light, curing only the portion that is exposed to light, and dissolving the other portion with an alkali solution.

또, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막은, 막 두께 1 ㎛ 의 경화막의 차광도 OD [㎛-1] 가 2.6 이상인 것이 바람직하고, 3.0 이상인 것이 보다 바람직하며, 3.3 이상인 것이 더욱 바람직하다. 또, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막은, 반사율이 6.5 % 이하인 것이 바람직하고, 5.0 % 이하인 것이 보다 바람직하다. 또, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막은, 반사율 [%] 을 차광도 OD [㎛-1] 로 나눈 값이 1.65 미만인 것이 바람직하고, 1.50 미만인 것이 보다 바람직하다. 막 두께 1 ㎛ 의 경화막의 차광도 OD [㎛-1] 가 보다 높은 차광 영역에 있어서 반사율이 억제됨으로써, 시인성이 매우 우수한 경화막 (차광막) 을 블랙 매트릭스로서 갖는 표시 장치를 얻는 것이 가능해진다.In the cured film formed by curing the photosensitive resin composition of the present invention, the light-shielding degree OD [μm -1 ] of the cured film having a film thickness of 1 μm is preferably 2.6 or more, more preferably 3.0 or more, still more preferably 3.3 or more. . Moreover, it is preferable that reflectance is 6.5 % or less, and, as for the cured film formed by hardening|curing the photosensitive resin composition of this invention, it is more preferable that it is 5.0 % or less. Moreover, the value obtained by dividing the reflectance [%] by the light-shielding degree OD [μm -1 ] of the cured film obtained by curing the photosensitive resin composition of the present invention is preferably less than 1.65, and more preferably less than 1.50. By suppressing the reflectance in the light-shielding region where the light-shielding degree OD [μm -1 ] of the cured film having a film thickness of 1 μm is higher, it is possible to obtain a display device having a cured film (light-shielding film) excellent in visibility as a black matrix.

특히, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막은, 막 두께 1 ㎛ 의 경화막의 차광도 OD [㎛-1] 가 2.6 이상, 또한, 반사율 [%] 을 차광도 OD 로 나눈 값이 1.65 미만, 또한, 반사율이 6.5 % 이하이고, 바람직하게는, 막 두께 1 ㎛ 의 경화막의 차광도 OD [㎛-1] 가 3.0 이상, 또한, 반사율 [%] 을 차광도 OD 로 나눈 값이 1.50 미만, 또한, 반사율이 5.0 % 이하, 보다 바람직하게는 막 두께 1 ㎛ 의 경화막의 차광도 OD [㎛-1] 가 3.3 이상, 또한, 반사율 [%] 을 차광도 OD 로 나눈 값이 1.50 미만, 또한, 반사율이 5.0 % 이하의 범위에서 사용된다.In particular, the cured film obtained by curing the photosensitive resin composition of the present invention has a cured film having a film thickness of 1 μm, in which the light-shielding degree OD [μm -1 ] is 2.6 or more, and the value obtained by dividing the reflectance [%] by the light-shielding degree OD is less than 1.65. Further, the reflectance is 6.5% or less, and preferably the cured film having a film thickness of 1 μm has a light-shielding degree OD [μm -1 ] of 3.0 or more, and a value obtained by dividing the reflectance [%] by the light-shielding degree OD is less than 1.50; In addition, the reflectance is 5.0% or less, more preferably, the light-shielding degree OD [μm -1 ] of a cured film having a film thickness of 1 μm is 3.3 or more, and the value obtained by dividing the reflectance [%] by the light-shielding degree OD is less than 1.50, and The reflectance is used in the range of 5.0% or less.

또, 본 발명의 경화막 (차광막) 을 블랙 매트릭스로서 갖는, 컬러 필터 또는 터치 패널은, 예를 들어, 막 두께가 1.0 ∼ 2.0 ㎛ 인 경화막을 투명 기재 상에 형성하고, 차광막 형성 후에 레드, 블루 및 그린 각 화소를 포토리소그래피에 의해 형성하는 것, 또, 차광막 중에 잉크젯 프로세스에서 레드, 블루 및 그린의 잉크를 집어 넣는 것 등에 의해 제작된다.In addition, for a color filter or touch panel having a cured film (light shielding film) of the present invention as a black matrix, for example, a cured film having a film thickness of 1.0 to 2.0 μm is formed on a transparent substrate, and after forming the light shielding film, red and blue colors are formed. and forming each green pixel by photolithography, and injecting red, blue, and green ink into the light-shielding film by an inkjet process.

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막은, 액정 표시 장치의 블랙 칼럼 스페이서로서 사용할 수도 있다. 예를 들어, 단일한 블랙 레지스트를 사용하여, 막 두께가 상이한 부분을 복수 제작하여, 일방을 스페이서로서 기능시키고, 타방을 블랙 매트릭스로서 기능시킬 수도 있다.Moreover, the cured film formed by hardening the photosensitive resin composition of this invention can also be used as a black column spacer of a liquid crystal display device. For example, a plurality of portions having different film thicknesses may be produced using a single black resist, one functioning as a spacer, and the other functioning as a black matrix.

감광성 수지 조성물의 도포·건조에 의한 경화막의 성막 방법의 각 공정에 대해, 구체적으로 예시한다.About each process of the film-forming method of the cured film by application|coating and drying of the photosensitive resin composition, it illustrates concretely.

감광성 수지 조성물을 기판에 도포하는 방법으로는, 공지된 용액 침지법, 스프레이법, 롤러 코터기, 랜드 코터기, 슬릿 코트기나 스피너기를 사용하는 방법 등의 어느 방법도 채용할 수 있다. 이들 방법에 의해, 원하는 두께로 도포한 후, 용제를 제거함 (프리베이크) 으로써, 피막이 형성된다. 프리베이크는 오븐, 핫 플레이트 등에 의한 가열, 진공 건조 또는 이것들을 조합하는 것에 의해 실시된다. 프리베이크에 있어서의 가열 온도 및 가열 시간은 사용하는 용제에 따라 적절히 선택될 수 있지만, 예를 들어, 80 ∼ 120 ℃ 에서, 1 ∼ 10 분간 실시되는 것이 바람직하다.As a method of applying the photosensitive resin composition to the substrate, any method such as a known solution dipping method, a spray method, a method using a roller coater, a land coater, a slit coater, or a spinner machine can be employed. After coating to a desired thickness by these methods, a film is formed by removing the solvent (prebaking). Prebaking is performed by heating with an oven, hot plate or the like, vacuum drying, or a combination thereof. The heating temperature and heating time in the prebaking can be appropriately selected depending on the solvent to be used, but it is preferably performed at 80 to 120°C for 1 to 10 minutes, for example.

노광에 사용되는 방사선으로는, 예를 들어, 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X 선 등을 사용할 수 있지만, 방사선의 파장의 범위는, 250 ∼ 450 ㎚ 인 것이 바람직하다. 또, 이 알칼리 현상에 적합한 현상액으로는, 예를 들어, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 수산화칼륨, 디에탄올아민, 테트라메틸암모늄하이드록시드 등의 수용액을 사용할 수 있다. 이들 현상액은, 수지층의 특성에 맞추어 적절히 선택될 수 있지만, 필요에 따라 계면 활성제를 첨가하는 것도 유효하다. 현상 온도는, 20 ∼ 35 ℃ 인 것이 바람직하고, 시판되는 현상기나 초음파 세정기 등을 사용하여 미세한 화상을 정밀하게 형성할 수 있다. 또한, 알칼리 현상 후에는, 통상적으로 수세된다. 현상 처리법으로는, 샤워 현상법, 스프레이 현상법, 딥 (침지) 현상법, 퍼들 (액 마운팅) 현상법 등을 적용할 수 있다.As the radiation used for exposure, for example, visible light, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, X-rays, etc. can be used, but the range of the wavelength of the radiation is preferably 250 to 450 nm. Moreover, as a developing solution suitable for this alkali development, aqueous solutions, such as sodium carbonate, potassium carbonate, potassium hydroxide, diethanolamine, and tetramethylammonium hydroxide, can be used, for example. Although these developing solutions may be appropriately selected according to the characteristics of the resin layer, it is also effective to add a surfactant as necessary. The developing temperature is preferably 20 to 35°C, and fine images can be precisely formed using a commercially available developing device, ultrasonic cleaner, or the like. In addition, after alkali development, it is usually washed with water. As the developing treatment method, a shower developing method, a spray developing method, a dip (immersion) developing method, a puddle (liquid mounting) developing method, or the like can be applied.

이와 같이 하여 현상한 후, 180 ∼ 250 ℃ 에서, 20 ∼ 100 분간, 열처리 (포스트베이크) 가 실시된다. 이 포스트베이크는, 패터닝된 경화막 (차광막) 과 기판의 밀착성을 높이기 위하거나 한 목적으로 실시된다. 이것은 프리베이크 와 마찬가지로, 오븐, 핫 플레이트 등에 의해 가열함으로써 실시된다. 본 발명의 패터닝된 경화막 (차광막) 은, 포토리소그래피법에 의한 각 공정을 거쳐 형성된다. 그리고, 열에 의해 중합 또는 경화 (양자를 합하여 경화라고 하는 경우가 있다) 를 완결시켜, 원하는 패턴을 갖는 차광막을 얻을 수 있다. 이 때의 경화 온도는 160 ∼ 250 ℃ 인 것이 바람직하다.After development in this way, heat treatment (post-baking) is performed at 180 to 250°C for 20 to 100 minutes. This post-baking is performed for the purpose of enhancing the adhesion between the patterned cured film (light-shielding film) and the substrate. This is carried out by heating with an oven, hot plate or the like, similarly to prebaking. The patterned cured film (light-shielding film) of the present invention is formed through each step by the photolithography method. Then, polymerization or curing (the combination of both is sometimes referred to as curing) is completed by heat, and a light-shielding film having a desired pattern can be obtained. The curing temperature at this time is preferably 160 to 250°C.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 전술한 바와 같이, 노광, 알칼리 현상 등의 조작에 의해 미세한 패턴을 형성하는 데에 적합할 뿐만 아니라, 종래의 스크린 인쇄에 의해 패턴을 형성해도, 동일한 차광성, 밀착성, 전기 절연성, 내열성, 내약품성이 우수한 차광막을 얻을 수 있다.As described above, the photosensitive resin composition of the present invention is not only suitable for forming fine patterns by operations such as exposure and alkali development, but also has the same light-shielding properties and adhesion even when patterns are formed by conventional screen printing. , a light-shielding film excellent in electrical insulation, heat resistance, and chemical resistance can be obtained.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 코팅재로서 바람직하게 사용할 수 있다. 특히, 액정의 표시 장치 혹은 촬영 소자에 사용되는 컬러 필터용 잉크, 및 이것에 의해 형성되는 차광막은, 컬러 필터, 액정 프로젝션, 터치 패널용의 블랙 매트릭스 등으로서 유용하다. 또, 본 발명의 감광성 수지 조성물은, 컬러 액정 디스플레이의 컬러 필터 잉크 이외에, 유기 EL 소자로 대표되는 유기 전계 발광 장치, 컬러 액정 표시 장치, 컬러 팩시밀리, 이미지 센서 등의 각종 다색 표시체에 있어서의 각 색 분획용 또는 차광용의 잉크 재료로서도 사용할 수 있다. 본 발명의 컬러 필터에 의하면, 착색층 (블랙 레지스트층을 포함한다) 과 기판의 계면에서의 외광의 반사나, 예를 들어, 유기 EL 소자에 사용했을 때에 소자로부터의 발광의 반사를 저감시킬 수 있다. 요컨대, 외광의 반사의 저감에 의한 명소 (明所) 콘트라스트의 향상이나, 발광측으로부터의 광 취출 효율 개선에 의한 발광 효율의 향상을 실현할 수 있다.The photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used as a coating material. In particular, ink for color filters used in liquid crystal display devices or imaging elements, and light-shielding films formed therefrom are useful as color filters, liquid crystal projections, black matrices for touch panels, and the like. In addition, the photosensitive resin composition of the present invention can be used in various multi-color displays such as organic electroluminescent devices represented by organic EL elements, color liquid crystal displays, color facsimiles, and image sensors, in addition to color filter inks for color liquid crystal displays. It can also be used as an ink material for color separation or light blocking. According to the color filter of the present invention, the reflection of external light at the interface between the colored layer (including the black resist layer) and the substrate and the reflection of light emission from the element when used in, for example, an organic EL element can be reduced. there is. In short, it is possible to realize improvement in bright spot contrast by reducing reflection of external light and improvement in luminous efficiency by improving light extraction efficiency from the light emitting side.

실시예Example

이하, 실시예 및 비교예에 기초하여, 본 발명의 실시형태를 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이것들에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described based on Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto.

먼저, (A) 성분인 중합성 불포화기 함유 알칼리 가용성 수지의 합성예에서 설명하지만, 이들 합성예에 있어서의 수지의 평가는, 언급하지 않는 한 이하와 같이 실시하였다.First, the synthesis example of the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin as component (A) is described, but the evaluation of the resin in these synthesis examples was performed as follows unless otherwise noted.

[고형분 농도][solid content concentration]

합성예 중에서 얻어진 수지 용액 1 g 을 유리 필터〔중량 : W0 (g)〕에 함침시켜 칭량하고〔W1 (g)〕, 160 ℃ 에서 2 시간 가열한 후의 중량〔W2 (g)〕으로부터 다음 식에서 구하였다.1 g of the resin solution obtained in Synthesis Example was impregnated with a glass filter [Weight: W0 (g)], weighed [W1 (g)], and obtained from the weight [W2 (g)] after heating at 160 ° C. for 2 hours by the following formula did

고형분 농도 (중량%) = 100 × (W2 - W0)/(W1 - W0)Solid content concentration (% by weight) = 100 × (W2 - W0) / (W1 - W0)

[산가][acid value]

수지 용액을 디옥산에 용해시키고, 전위차 적정 장치「COM-1600」(히라누마 산업 주식회사 제조) 을 사용하여 1/10N-KOH 수용액으로 적정하여 구하였다.The resin solution was dissolved in dioxane, and titrated with a 1/10 N-KOH aqueous solution using a potentiometric titration apparatus "COM-1600" (manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.) to obtain the resultant.

[분자량][Molecular Weight]

겔 퍼미에이션 크로마토그래피 (GPC) 「HLC-8220GPC」(토소 주식회사 제조, 용매 : 테트라하이드로푸란, 칼럼 : TSKgelSuper H-2000 (2 개) + TSKgelSuper H-3000 (1 개) + TSKgelSuper H-4000 (1 개) + TSKgelSuper H-5000 (1 개) (토소 주식회사 제조), 온도 : 40 ℃, 속도 : 0.6 ml/min) 로 측정하여, 표준 폴리스티렌 (토소 주식회사 제조, PS-올리고머 키트) 환산값으로서 중량 평균 분자량 (Mw) 을 구하였다.Gel permeation chromatography (GPC) "HLC-8220GPC" (manufactured by Tosoh Corporation, solvent: tetrahydrofuran, column: TSKgelSuper H-2000 (2) + TSKgelSuper H-3000 (1) + TSKgelSuper H-4000 (1) piece) + TSKgelSuper H-5000 (1 piece) (manufactured by Tosoh Corporation, temperature: 40 ° C., speed: 0.6 ml / min), and as a standard polystyrene (manufactured by Tosoh Corporation, PS-oligomer kit) conversion value as a weight average The molecular weight (Mw) was determined.

[평균 입자경][Average Particle Size]

산화알루미늄 입자의 평균 입자경은, 동적 광 산란법의 입도 분포계「입경 애널라이저 FPAR-1000」(오오츠카 전자 주식회사 제조) 을 사용하여, 큐뮬런트법에 의해 구하였다.The average particle diameter of the aluminum oxide particles was determined by the cumulant method using a dynamic light scattering particle size distribution analyzer "Particle Size Analyzer FPAR-1000" (manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.).

합성예 등에서 사용하는 약호는 다음과 같다.The abbreviations used in synthesis examples and the like are as follows.

BPFE : 9,9-비스(4-하이드록시페닐)플루오렌과 클로로메틸옥시란의 반응물. 일반식 (1) 의 화합물에 있어서, X 가 플루오렌-9,9-디일기, R1 ∼ R4 가 수소, l 은 0 ∼ 0.15 인 에폭시 화합물.BPFE: A reaction product of 9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene and chloromethyloxirane. An epoxy compound in which X is a fluorene-9,9-diyl group, R 1 to R 4 are hydrogen, and l is 0 to 0.15 in the compound of the general formula (1).

DCPMA : 디시클로펜타닐메타크릴레이트DCPMA: dicyclopentanyl methacrylate

GMA : 글리시딜메타크릴레이트GMA: Glycidyl methacrylate

St : 스티렌St: Styrene

AA : 아크릴산AA: acrylic acid

BPDA : 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride

THPA : 테트라하이드로 무수 프탈산THPA: tetrahydrophthalic anhydride

SA : 무수 숙신산SA: succinic anhydride

TEAB : 브롬화테트라에틸암모늄TEAB: tetraethylammonium bromide

AIBN : 아조비스이소부티로니트릴AIBN: Azobisisobutyronitrile

TDMAMP : 트리스디메틸아미노메틸페놀TDMAMP: Trisdimethylaminomethylphenol

HQ : 하이드로퀴논HQ: Hydroquinone

TEA : 트리에틸아민TEA: triethylamine

TPGDA : 트리프로필렌글리콜디아크릴레이트TPGDA: tripropylene glycol diacrylate

PGMEA : 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate

[합성예 A1][Synthesis Example A1]

환류 냉각기가 부착된 500 ml 의 4 구 플라스크 중에 BPFE (114.4 g, 0.23 몰), AA (33.2 g, 0.46 몰), PGMEA (157 g) 및 TEAB (0.48 g) 를 주입하고, 100 ∼ 105 ℃ 에서 20 시간 교반하여 반응시켰다. 이어서, 플라스크 내에 BPDA (35.3 g, 0.12 몰), THPA (18.3 g, 0.12 몰) 를 주입하고, 120 ∼ 125 ℃ 에서 6 시간 교반하여, 중합성 불포화기 함유 알칼리 가용성 수지 (A)-1 을 얻었다. 얻어진 수지 용액의 고형분 농도는 56.1 질량% 이고, 산가 (고형분 환산) 는 103 mgKOH/g 이며, GPC 분석에 의한 Mw 는 3600 이었다.BPFE (114.4 g, 0.23 mol), AA (33.2 g, 0.46 mol), PGMEA (157 g) and TEAB (0.48 g) were charged into a 500 ml four-necked flask equipped with a reflux condenser, and stirred at 100 to 105°C. The reaction was stirred for 20 hours. Next, BPDA (35.3 g, 0.12 mol) and THPA (18.3 g, 0.12 mol) were charged into the flask, and the mixture was stirred at 120 to 125°C for 6 hours to obtain polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin (A)-1 . The solid content concentration of the obtained resin solution was 56.1 mass %, the acid value (solid content conversion) was 103 mgKOH/g, and Mw by GPC analysis was 3600.

[합성예 A2][Synthesis Example A2]

환류 냉각기가 부착된 1 L 의 4 구 플라스크 중에, PGMEA (300 g) 를 넣고, 플라스크 내를 질소 치환한 후 120 ℃ 로 승온시켰다. 이어서, 플라스크 내에 모노머 혼합물 (DCPMA (77.1 g, 0.35 몰), GMA (49.8 g, 0.35 몰), St (31.2 g, 0.30 몰), 및 AIBN (10 g) 을 용해시킨 혼합물을 적하 깔때기로부터 2 시간에 걸쳐 적하하고, 또한 120 ℃ 에서 2 시간 교반하여, 공중합체 용액을 얻었다.In a 1 L four-neck flask equipped with a reflux condenser, PGMEA (300 g) was placed, and the inside of the flask was purged with nitrogen, and then the temperature was raised to 120°C. Next, a mixture of monomer mixture (DCPMA (77.1 g, 0.35 mol), GMA (49.8 g, 0.35 mol), St (31.2 g, 0.30 mol), and AIBN (10 g) dissolved in a flask) was placed in a dropping funnel for 2 hours. It was dripped over and stirred at 120 degreeC for 2 hours, and the copolymer solution was obtained.

이어서, 플라스크 내를 공기로 치환한 후, 얻어진 공중합체 용액에 AA (24.0 g, 0.33 몰 (GMA 첨가 몰 수의 95 %)), TDMAMP (0.8 g) 및 HQ (0.15 g) 를 첨가하고, 120 ℃ 에서 6 시간 교반하여, 중합성 불포화기 함유 공중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합성 불포화기 함유 공중합체 용액에 SA (30.0 g, AA 첨가 몰 수의 90 %), TEA (0.5 g) 를 더하여 120 ℃ 에서 4 시간 반응시켜, 불포화기 함유 알칼리 가용성 수지 (A)-2 를 얻었다. 수지 용액의 고형분 농도는 46.0 질량% 이고, 산가 (고형분 환산) 는 76 mgKOH/g 이며, GPC 분석에 의한 Mw 는 5300 이었다.Next, after purging the inside of the flask with air, AA (24.0 g, 0.33 mol (95% of the number of moles of GMA added)), TDMAMP (0.8 g) and HQ (0.15 g) were added to the obtained copolymer solution, and 120 It stirred at degreeC for 6 hours, and obtained the copolymer solution containing a polymerizable unsaturated group. SA (30.0 g, 90% of the number of moles of AA added) and TEA (0.5 g) were added to the resulting polymerizable unsaturated group-containing copolymer solution, followed by reaction at 120°C for 4 hours, and unsaturated group-containing alkali-soluble resin (A)-2 got The solid content concentration of the resin solution was 46.0 mass %, the acid value (solid content conversion) was 76 mgKOH/g, and the Mw by GPC analysis was 5300.

또, 표면이 염료에 의해 피복된 카본 블랙을, 이하의 방법에 의해 조제하였다.In addition, carbon black whose surface was coated with a dye was prepared by the following method.

[조제예 D1][Preparation Example D1]

카본 블랙 (TPX-1099 : cabot 사 제조) 1000 g 을 물과 혼합하여 슬러리 10 L 를 조제하고, 95 ℃ 에서 1 시간 교반시켜 방랭한 후 수세하였다. 이것을 다시 물과 혼합 처리하여 슬러리 10 L 를 조제하고, 70 % 의 질산 42.9 g 을 첨가하여 40 ℃ 에서 4 시간 교반하였다. 이것을 방랭하여 수세한 후 다시 물과 혼합하여 슬러리 10 L 를 조제하고, 13 % 의 차아염소산나트륨 수용액 769.2 g 을 첨가하여 40 ℃ 에서 6 시간 교반하였다. 이것을 방랭하여 수세한 후 다시 물과 혼합하여 슬러리 10 L 를 조제하고, 순도 38.4 % 의 염료 (Direct Deep BLACK) 38.1 g 을 첨가하여 40 ℃ 에서 1 시간 교반하고, 그 후 추가로 황산알루미늄 10.1 g 을 첨가하여 40 ℃ 에서 1 시간 교반하였다. 이것을 방랭한 후 수세하고, 여과 건조시켜, 염료 피복 카본 블랙을 얻었다.1000 g of carbon black (TPX-1099: manufactured by Cabot) was mixed with water to prepare 10 L of slurry, stirred at 95°C for 1 hour, allowed to cool, and washed with water. This was mixed with water again to prepare 10 L of slurry, 42.9 g of 70% nitric acid was added, and the mixture was stirred at 40°C for 4 hours. After standing to cool and washing with water, it mixed with water again, prepared 10 L of slurries, added 769.2 g of 13% sodium hypochlorite aqueous solution, and stirred at 40 degreeC for 6 hours. After standing to cool and washing with water, it was mixed with water again to prepare 10 L of slurry, 38.1 g of a dye (Direct Deep BLACK) having a purity of 38.4% was added, stirred at 40 ° C. for 1 hour, and then 10.1 g of aluminum sulfate was further added. It was added and stirred at 40 degreeC for 1 hour. After cooling this, it was washed with water and dried by filtration to obtain dye-coated carbon black.

상기 염료 피복 카본 블랙과, 고분자 분산제와, 분산 수지 (합성예 A1 의 알칼리 가용성 수지 ((A)-1)) 와, PGMEA 를 혼합하고, 비드 밀로 분산시켜, 염료 피복 카본 블랙의 농도가 25.0 질량%, 고분자 분산제의 농도가 2.0 질량%, 분산 수지의 농도가 8.0 질량% 인, 카본 블랙 분산액 (D)-1 을 얻었다.The above dye-coated carbon black, a polymer dispersant, a dispersing resin (alkali-soluble resin ((A)-1) of Synthesis Example A1), and PGMEA were mixed and dispersed with a bead mill so that the concentration of the dye-coated carbon black was 25.0 mass. %, a carbon black dispersion (D)-1 having a concentration of 2.0% by mass of the polymer dispersant and a concentration of 8.0% by mass of the dispersion resin was obtained.

표 1 에 기재된 배합량 (단위는 질량부) 으로 실시예 1 ∼ 7, 비교예 1 ∼ 3 의 감광성 수지 조성물을 조제하였다. 표 1 중에서 사용한 배합 성분은 이하와 같다.The photosensitive resin composition of Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3 was prepared with the compounding quantity (unit is a mass part) of Table 1. The compounding components used in Table 1 are as follows.

(중합성 불포화기 함유 알칼리 가용성 수지)(Alkali-soluble resin containing polymerizable unsaturated group)

(A)-1 : 상기 합성예 A1 에서 얻어진 알칼리 가용성 수지 용액 (고형분 농도 56.1 질량%)(A)-1: Alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example A1 (solid content concentration: 56.1% by mass)

(A)-2 : 상기 합성예 A2 에서 얻어진 알칼리 가용성 수지 용액 (고형분 농도 46.0 질량%)(A)-2: Alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example A2 (solid content concentration: 46.0% by mass)

(광중합성 화합물)(photopolymerizable compound)

(B) : 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트와 헥사아크릴레이트의 혼합물 (DPHA (아크릴 당량 96 ∼ 115), 닛폰 화약 주식회사 제조)(B): A mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and hexaacrylate (DPHA (acrylic equivalent weight: 96 to 115), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

(광중합 개시제)(photopolymerization initiator)

(C)-1 : 에타논, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-, 1-(0-아세틸옥심) (Irgacure OXE-02, BASF 재팬사 제조,「Irgacure」는 동사의 등록상표)(C)-1: Ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(0-acetyloxime) (Irgacure OXE-02, Manufactured by BASF Japan, "Irgacure" is a registered trademark of the company)

(C)-2 : 아데카 아르클즈 NCI-831, 주식회사 ADEKA 제조,「아데카 아르클즈」는 동사의 등록상표)(C)-2: Adeka Arcles NCI-831, manufactured by ADEKA Co., Ltd., "Adeka Arcles" is a registered trademark of the company)

(카본 블랙 분산액)(carbon black dispersion)

(D)-1 : 조제예 D1 에서 얻어진 염료 피복 카본 블랙 농도 25 질량%, 고분자 분산제 농도 2 질량%, 분산 수지 (합성예 A1 의 알칼리 가용성 수지 ((A)-1)) 농도 8 질량% 의 PGMEA 용제의 안료 분산액 (고형분 35 질량%)(D)-1: 25% by mass of dye-coated carbon black obtained in Preparation Example D1, 2% by mass of polymer dispersant, and 8% by mass of dispersion resin (alkali-soluble resin ((A)-1) of Synthesis Example A1) concentration Pigment dispersion in PGMEA solvent (solid content: 35% by mass)

(D)-2 : 카본 블랙 농도 25 질량%, 고분자 분산제 농도 3 질량%, 분산 수지 (합성예 A1 의 알칼리 가용성 수지 ((A)-1)) 농도 5 질량% 의 PGMEA 용제의 안료 분산액 (고형분 33 질량%)(D)-2: 25 mass% carbon black concentration, 3 mass% polymer dispersant concentration, dispersion resin (alkali-soluble resin of Synthesis Example A1 ((A)-1)) 5 mass% PGMEA solvent pigment dispersion (solid content) 33% by mass)

(E)-1 : 산화알루미늄 TPGDA 분산액「ALTPGDA 30 WT%-A03」(CIK 나노텍 주식회사 제조, 산화알루미늄 농도 30 질량%, TPGDA 농도 70 질량%, 평균 입자경 90 ㎚)(E)-1: Aluminum oxide TPGDA dispersion "ALTPGDA 30 WT%-A03" (manufactured by CIK Nanotech Co., Ltd., aluminum oxide concentration 30 mass%, TPGDA concentration 70 mass%, average particle size 90 nm)

(E)-2 : 산화알루미늄 TPGDA 분산액「ALTPGDA 25 WT%-A07」(CIK 나노텍 주식회사 제조, 산화알루미늄 농도 25 질량%, TPGDA 농도 75 질량%, 평균 입자경 50 ㎚)(E)-2: aluminum oxide TPGDA dispersion "ALTPGDA 25 WT%-A07" (manufactured by CIK Nanotech Co., Ltd., aluminum oxide concentration 25 mass%, TPGDA concentration 75 mass%, average particle size 50 nm)

(E)-3 : 실리카 PGMEA 분산액「YA050C」(주식회사 아드마텍스 제조, 실리카 농도 30 질량%, PGMEA 농도 70 질량%, 평균 입자경 50 ㎚)(E)-3: Silica PGMEA dispersion "YA050C" (manufactured by Admatex Co., Ltd., silica concentration 30 mass%, PGMEA concentration 70 mass%, average particle size 50 nm)

(용제)(solvent)

(F)-1 : 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 (PGMEA)(F)-1: Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA)

(F)-2 : 시클로헥사논 (ANON)(F)-2: cyclohexanone (ANON)

(기타 성분)-1 : 3-이소시아네이트프로필트리에톡시실란 (KBE-9007N, 신에츠 화학 공업 주식회사 제조)(Other components) -1:3-isocyanate propyltriethoxysilane (KBE-9007N, manufactured by Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd.)

(기타 성분)-2 : 아르알킬 변성 폴리메틸알킬실록산 (BYK-323, 빅케미·재팬 주식회사 제조) 의 1 질량% ANON 희석 용액(Other components)-2: 1% by mass ANON diluted solution of aralkyl-modified polymethylalkylsiloxane (BYK-323, manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd.)

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[평가][evaluation]

평가에 사용하기 위한 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막 (차광막) 을 다음과 같이 제작하였다.A cured film (light-shielding film) formed by curing the photosensitive resin composition for use in evaluation was produced as follows.

(광학 농도 (OD) 평가용의 경화막 (도막) 의 제작)(Preparation of Cured Film (Coating Film) for Optical Density (OD) Evaluation)

표 1 에 나타낸 감광성 수지 조성물을, 미리 저압 수은등으로 파장 254 ㎚ 의 조도 1000 mJ/㎠ 의 자외선을 조사하여 표면을 세정한, 125 ㎜ × 125 ㎜ 의 유리 기판「#1737」(코닝사 제조) (이하「유리 기판」이라고 한다) 상에, 가열 경화 처리 후의 막 두께가 1.2 ㎛ 가 되도록 스핀 코터를 사용하여 도포하고, 핫 플레이트를 사용하여 90 ℃ 에서 1 분간 프리베이크를 하여 경화막 (도막) 을 제작하였다. 네거티브형 포토마스크를 덮지 않고, i 선 조도 30 ㎽/㎠ 의 초고압 수은 램프로 50 mJ/㎠ 의 자외선을 조사하여, 광경화 반응을 실시하였다.The photosensitive resin composition shown in Table 1 was previously irradiated with ultraviolet light having a wavelength of 254 nm and an illuminance of 1000 mJ/cm 2 with a low-pressure mercury lamp, and the surface thereof was washed. Glass substrate of 125 mm × 125 mm “#1737” (manufactured by Corning Co., Ltd.) (hereinafter (referred to as "glass substrate"), apply using a spin coater so that the film thickness after heat curing treatment is 1.2 μm, and prebake at 90 ° C. for 1 minute using a hot plate to prepare a cured film (coating film) did A photocuring reaction was performed by irradiating with ultraviolet rays of 50 mJ/cm 2 with an ultra-high pressure mercury lamp having an i-line illuminance of 30 mW/cm 2 without covering the negative photomask.

이어서, 노광된 상기 경화막 (차광막) 을 25 ℃, 0.05 % 수산화칼륨 용액에 의해 1 kgf/㎠ 의 샤워압으로, 패턴이 나타나기 시작하는 현상 시간 (브레이크 타임 = BT) 으로부터 20 초간, 현상 처리를 실시한 후, 5 kgf/㎠ 의 스프레이 수세를 실시하여, 상기 경화막 (차광막) 의 미노광 부분을 제거하여 유리 기판 상에 경화막 패턴을 형성하고, 열풍 건조기를 사용하여 230 ℃ 에서 30 분간, 본 경화 (포스트베이크) 하여, 실시예 1 ∼ 7, 비교예 1 ∼ 3 에 관련된 경화막 (차광막) 을 얻었다.Then, the exposed cured film (light-shielding film) was subjected to development treatment at 25°C with a 0.05% potassium hydroxide solution at a shower pressure of 1 kgf/cm 2 for 20 seconds from the development time at which a pattern began to appear (break time = BT). After carrying out, spray washing was performed at 5 kgf/cm 2 to remove the unexposed portion of the cured film (light shielding film) to form a cured film pattern on the glass substrate, and using a hot air dryer at 230 ° C. for 30 minutes, this It cured (post-bake) to obtain cured films (light-shielding films) according to Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3.

[막 두께 측정][Measurement of film thickness]

(평가 방법)(Assessment Methods)

단차계 (KLA-Tencor 사 제조「텐코르 P-17」) 를 사용하여, 측정 범위 500 ㎛, 주사 속도 50 ㎛/초, 샘플링 레이트 20 Hz 의 조건으로, 유리 기판 표면과 경화막 표면의 단차를 측정하고, 그 평균값을 경화막의 평균 두께로 하였다.Using a step meter ("Tencor P-17" manufactured by KLA-Tencor), the step difference between the surface of the glass substrate and the surface of the cured film was measured under the conditions of a measurement range of 500 µm, a scanning speed of 50 µm/sec, and a sampling rate of 20 Hz. It was measured, and the average value was made into the average thickness of the cured film.

[광학 농도 (OD) 평가][Optical Density (OD) Evaluation]

(평가 방법)(Assessment Methods)

투과 농도계「X-rite 사 제조「X-rite 361T (V)」」를 사용하여 광학 농도 (OD) 를 측정하였다. 상기의 측정한 막 두께와 광학 농도 (OD) 로부터 막 두께 1 ㎛ 당의 광학 농도 (OD) 를 산출하였다.The optical density (OD) was measured using a transmission densitometer "X-rite 361T (V)" manufactured by X-rite. The optical density (OD) per 1 μm of film thickness was calculated from the above measured film thickness and optical density (OD).

광학 농도 (OD) 는 다음 식 (5) 에서 산출하였다.The optical density (OD) was calculated from the following formula (5).

광학 농도 (OD) = -log10T 식 (5)Optical Density (OD) = -log 10 T Equation (5)

(T 는 투과율을 나타낸다)(T represents transmittance)

[반사율 평가][Evaluation of reflectance]

(평가 방법)(Assessment Methods)

광학 농도 (OD) 평가용의 경화막 (차광막) 과 동일하게 하여 제작한 경화막 (차광막) 이 부착된 기판에 대해, 자외 가시 적외 분광 광도「UH4150」(주식회사 히타치 하이테크 사이언스 제조) 을 사용하여, C 광원, 입사각 2°, 파장 범위 380 ∼ 780 ㎚ 의 조건으로 경화막 (차광막) 측과 기판 (유리 기판) 측의 각각의 반사율을 측정하였다.With respect to a substrate with a cured film (light-shielding film) prepared in the same way as the cured film (light-shielding film) for optical density (OD) evaluation, using an ultraviolet-visible-infrared spectrophotometer "UH4150" (manufactured by Hitachi High-Tech Sciences Co., Ltd.), Each reflectance of the cured film (light shielding film) side and the substrate (glass substrate) side was measured under conditions of a C light source, an incident angle of 2°, and a wavelength range of 380 to 780 nm.

(현상 특성 평가용의 경화막 (차광막) 의 제작)(Preparation of cured film (light shielding film) for evaluation of development characteristics)

표 1 에 나타낸 감광성 수지 조성물을, 미리 저압 수은등으로 파장 254 ㎚ 의 조도 1000 mJ/㎠ 의 자외선을 조사하여 표면을 세정한, 125 ㎜ × 125 ㎜ 의 유리 기판「#1737」(코닝사 제조) (이하「유리 기판」이라고 한다) 상에, 가열 경화 처리 후의 막 두께가 1.2 ㎛ 가 되도록 스핀 코터를 사용하여 도포하고, 핫 플레이트를 사용하여 90 ℃ 에서 1 분간 프리베이크를 하여 경화막 (차광막) 을 제작하였다. 이어서, 노광 갭을 100 ㎛ 로 조정하고, 건조 경화막 위에 라인/스페이스 = 10 ㎛/50 ㎛ 의 네거티브형 포토마스크를 덮고, i 선 조도 30 ㎽/㎠ 의 초고압 수은 램프로 50 mJ/㎠ 의 자외선을 조사하여, 감광 부분의 광경화 반응을 실시하였다.The photosensitive resin composition shown in Table 1 was previously irradiated with ultraviolet light having a wavelength of 254 nm and an illuminance of 1000 mJ/cm 2 with a low-pressure mercury lamp, and the surface thereof was washed. Glass substrate of 125 mm × 125 mm “#1737” (manufactured by Corning Co., Ltd.) (hereinafter (referred to as "glass substrate"), apply using a spin coater so that the film thickness after heat curing treatment is 1.2 μm, and prebake at 90 ° C. for 1 minute using a hot plate to prepare a cured film (light shielding film) did Next, the exposure gap was adjusted to 100 μm, and a negative photomask with line/space = 10 μm/50 μm was covered on the dry cured film, and an ultraviolet ray of 50 mJ/cm 2 was applied with an ultra-high pressure mercury lamp having an i-line illuminance of 30 mW/cm 2 . was irradiated to perform a photocuring reaction of the photosensitive portion.

이어서, 노광된 상기 경화막 (차광막) 을 25 ℃, 0.04 % 수산화칼륨 용액에 의해 1 kgf/㎠ 의 샤워압으로, 패턴이 나타나기 시작하는 현상 시간 (브레이크 타임 = BT) 으로부터 +20 초의 현상 처리를 실시한 후, 5 kgf/㎠ 의 스프레이 수세를 실시하여, 상기 경화막 (차광막) 의 미노광 부분을 제거하여 유리 기판 상에 경화막 패턴을 형성하고, 열풍 건조기를 사용하여 230 ℃ 에서 30 분간, 본 경화 (포스트베이크) 하여, 실시예 1 ∼ 7, 및 비교예 1 ∼ 3 에 관련된 경화막 (차광막) 을 얻었다.Subsequently, the exposed cured film (light-shielding film) was subjected to development treatment at 25° C. with a 0.04% potassium hydroxide solution at a shower pressure of 1 kgf/cm 2 for +20 seconds from the development time at which patterns began to appear (break time = BT). After that, spray washing with 5 kgf/cm 2 is performed, the unexposed portion of the cured film (light shielding film) is removed to form a cured film pattern on the glass substrate, and the cured film is cured at 230° C. for 30 minutes using a hot air dryer (Post-baking) to obtain cured films (light-shielding films) according to Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3.

상기에서 얻어진 실시예 1 ∼ 7, 비교예 1 ∼ 3 의 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막 (차광막) 에 대해, 이하의 항목에 대해 평가하였다.The cured films (light-shielding films) formed by curing the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3 obtained above were evaluated for the following items.

[현상 특성 평가][Evaluation of development characteristics]

(패턴 직선성)(pattern linearity)

(평가 방법)(Assessment Methods)

본 경화 (포스트베이크) 의 10 ㎛ 마스크 패턴을 광학 현미경을 사용하여 관찰하였다. 또한, 패턴 직선성의 평가는, BT + 20 초의 경우로 실시하였다. 또한, △ 이상을 합격으로 하였다.A 10 μm mask pattern of the main curing (postbake) was observed using an optical microscope. In addition, evaluation of pattern linearity was performed in the case of BT+20 second. In addition, △ or more was set as pass.

(현상 특성의 평가 기준)(Evaluation Criteria for Development Characteristics)

○ : 패턴 에지 부분의 톱니 모양이, 패턴의 길이를 100 % 로 했을 때에, 선폭 10 ㎛ 에 대해, 0.5 ㎛ 의 돌기가 1 % 미만만 확인된다○: Less than 1% of projections of 0.5 μm are observed with respect to a line width of 10 μm when the pattern length is 100%, and the jagged pattern of the pattern edge portion is confirmed.

△ : 패턴 에지 부분의 톱니 모양이, 패턴의 길이를 100 % 로 했을 때에, 선폭 10 ㎛ 에 대해, 0.5 ㎛ 의 돌기가 1 % 이상 25 % 미만의 비율로 확인된다△: The jagged pattern at the edge of the pattern is confirmed at a rate of 1% or more and less than 25% of projections of 0.5 μm with respect to a line width of 10 μm, when the length of the pattern is 100%.

× : 패턴 에지 부분의 톱니 모양이, 패턴의 길이를 100 % 로 했을 때에, 선폭 10 ㎛ 에 대해, 0.5 ㎛ 의 돌기가 25 % 이상의 비율로 확인된다×: When the pattern edge portion has a serration pattern, when the length of the pattern is 100%, a projection of 0.5 μm is observed at a rate of 25% or more with respect to a line width of 10 μm.

상기 평가 결과를 표 2 에 나타낸다.Table 2 shows the evaluation results.

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실시예 1 ∼ 7 의 감광성 수지 조성물에서는, 실리카 입자를 사용한 계 (비교예 1 ∼ 3) 와 비교하여, 높은 차광률에 있어서 기판측으로부터의 반사율을 저감시킬 수 있는 것이 확인되었다. 또, 실시예 1 ∼ 3, 5 의 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막 (차광막) 은, 모두 패턴 직선성이 양호한 것이 확인되었다.In the photosensitive resin composition of Examples 1-7, it was confirmed that the reflectance from the board|substrate side could be reduced in high light-shielding factor compared with the system using a silica particle (Comparative Examples 1-3). Moreover, it was confirmed that all cured films (light-shielding films) obtained by curing the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 3 and 5 had good pattern linearity.

본 발명의 감광성 수지 조성물에 의하면, 고차광성 및 저반사율을 양립하는 감광성 수지 조성물 및 이것을 사용한 경화막 그리고 컬러 필터, 터치 패널을 제공할 수 있다. 또, 이 컬러 필터 및 터치 패널에 의하면, 시인성이 우수한 각종 표시 장치를 제공할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the photosensitive resin composition of this invention, the photosensitive resin composition which has both high light-shielding property and low reflectance, a cured film using the same, a color filter, and a touch panel can be provided. Moreover, according to this color filter and a touchscreen, various display devices excellent in visibility can be provided.

Claims (9)

(A) 불포화기 함유 알칼리 가용성 수지와,
(B) 적어도 2 개 이상의 불포화 결합을 갖는 광중합성 화합물과,
(C) 광중합 개시제와,
(D) 흑색 안료, 혼색 안료 및 차광재로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 차광 성분과,
(E) 굴절률 1.50 ∼ 1.80 의 미립자를 포함하는, 감광성 수지 조성물.
(A) an alkali-soluble resin containing an unsaturated group;
(B) a photopolymerizable compound having at least two unsaturated bonds;
(C) a photopolymerization initiator;
(D) at least one light-shielding component selected from the group consisting of black pigments, mixed-color pigments, and light-shielding materials;
(E) A photosensitive resin composition containing fine particles having a refractive index of 1.50 to 1.80.
제 1 항에 있어서,
상기 (E) 미립자는, 산화알루미늄 입자인, 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The (E) fine particles are aluminum oxide particles, the photosensitive resin composition.
제 1 항에 있어서,
상기 (E) 미립자의 평균 입자경은, 10 ∼ 300 ㎚ 인, 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition in which the average particle diameter of the said (E) microparticles|fine-particles is 10-300 nm.
제 1 항에 있어서,
상기 (E) 미립자의 고형분 중의 비율이, 1 ∼ 30 질량% 인, 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive resin composition whose ratio in solid content of said (E) microparticles|fine-particles is 1-30 mass %.
제 1 항에 있어서,
상기 감광성 수지 조성물을 광에 의해 경화시켜 얻어진 막 두께 1 ㎛ 의 경화막의 차광도 OD [㎛-1] 가 2.6 이상, 또한, 상기 경화막의 반사율 [%] 이 6.5 이하, 또한 상기 경화막의 반사율을 상기 차광도 OD 로 나눈 값이 1.65 미만이 되는, 감광성 수지 조성물.
According to claim 1,
The light-shielding degree OD [μm -1 ] of a cured film having a film thickness of 1 µm obtained by curing the photosensitive resin composition with light is 2.6 or more, and the reflectance [%] of the cured film is 6.5 or less, and the reflectance of the cured film is as described above. The photosensitive resin composition in which the value divided by light-shielding degree OD is less than 1.65.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물을 경화시켜 이루어지는 경화막.A cured film formed by curing the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5. 제 6 항에 기재된 경화막을 블랙 매트릭스로서 갖는, 컬러 필터.The color filter which has the cured film of Claim 6 as a black matrix. 제 6 항에 기재된 경화막을 블랙 매트릭스로서 갖는, 터치 패널.The touch panel which has the cured film of Claim 6 as a black matrix. 제 7 항에 기재된 컬러 필터 또는 제 8 항에 기재된 터치 패널을 갖는 표시 장치.A display device comprising the color filter according to claim 7 or the touch panel according to claim 8.
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