KR20230043275A - Manufacturing method for micro needle bio sensor with interference shielding layer - Google Patents

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KR20230043275A
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안준영
장은희
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주식회사 알비티
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Abstract

The present invention provides a manufacturing method of microneedle biosensor including interfering material layer, which enables accurate sensing while reducing a user's pain when worn. The microneedle biosensor includes: a working electrode including a first base of a circular thin film, a plurality of microneedles protruding vertically from the first base, and a first wire extending from one end of the circumference of the first base; a counter electrode including a second base of a strip-shaped thin film, a plurality of microneedles protruding vertically from the second base, and a second wire extending from one end of the second base to be disposed horizontally with the first wire; and a reference electrode including a third base of a strip-shaped thin film, a plurality of microneedles protruding vertically on the third base, and a third wire extending from one end of the third base.

Description

간섭물질 레이어를 포함하는 마이크로 니들 바이오 센서 제조 방법{MANUFACTURING METHOD FOR MICRO NEEDLE BIO SENSOR WITH INTERFERENCE SHIELDING LAYER}Microneedle biosensor manufacturing method including interfering material layer {MANUFACTURING METHOD FOR MICRO NEEDLE BIO SENSOR WITH INTERFERENCE SHIELDING LAYER}

본 발명은 간섭물질 레이어를 포함하는 마이크로 니들 바이오 센서 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a microneedle biosensor including an interfering material layer.

일반적인 인간의 혈당 농도는 식전 70 내지 130mg/dL 범위 내에 있으며, 식후 180mg/dL의 범위 내에 있다. 이러한 범위를 초과하는 경우를 고혈당증(hyperglycemia)으로 분류하며 정상 범위 미만인 경우 저혈당증(hypoglycemia)으로 분류한다. 고혈당증은 당뇨병과의 연관성이 상당히 높다. 당뇨병(糖尿病)은 높은 혈당 수치가 오랜 기간 지속되는 대사 질환군을 말한다. Normal human blood glucose levels are within the range of 70 to 130 mg/dL before meals and within the range of 180 mg/dL after meals. If it exceeds this range, it is classified as hyperglycemia, and if it is below the normal range, it is classified as hypoglycemia. Hyperglycemia is highly correlated with diabetes. Diabetes mellitus refers to a group of metabolic diseases in which high blood sugar levels persist for a long period of time.

이러한 당뇨병을 진단하고 합병증으로 진전되지 않도록 관리하기 위해서는 체계적인 혈당 측정과 치료가 병행되어야 한다. 통상 당뇨병의 질환 관리는 환자의 혈당 수치에 따라 인슐린 주입량을 정하고 소정 시간 간격으로 인슐린을 투여하여 관리된다. 그런데 환자 각각의 혈당 수치 및 인슐린 투여에 따른 혈당 변화는 개별환자마다 상이하므로 정확하고 효율적인 인슐린 투여량 및 투여 시기, 간격의 결정이 어려운 문제점이 있다.In order to diagnose diabetes and manage it so that it does not develop into complications, systematic blood glucose measurement and treatment must be performed simultaneously. In general, diabetes is managed by determining an injection amount of insulin according to a patient's blood sugar level and administering insulin at predetermined time intervals. However, since the blood glucose level of each patient and the change in blood sugar according to insulin administration are different for each individual patient, it is difficult to accurately and efficiently determine the insulin dose, administration time, and interval.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 연속 혈당 모니터링(continuous glucose monitoring; CGM) 시스템을 이용할 수 있다. 연속혈당측정기는 메드트로닉사(Medtronic, Minneapolis,MN, USA)에서 처음 개발되어 1999년 6월 미국 FDA 승인을 받았으며, 혈당 변동폭이 크고, 저혈당이 빈번한 당뇨병 환자들의 치료에 도움을 주고 있다. 연속혈당측정기는 혈당 센서, 무선 전송기, 수신기의 세 부분으로 구성되어 있다. 센서는 피하지방에 삽입되어 세포간질액에서 당을 측정하게 된다. 최근 버전의 연속혈당측정기는 실시간으로 혈당 측정값을 보여주며 즉각적으로 적절한 조치를 취할 수 있게 해주고 있다.To solve this problem, a continuous glucose monitoring (CGM) system may be used. Continuous blood glucose monitoring system was first developed by Medtronic (Minneapolis, MN, USA) and was approved by the US FDA in June 1999. CGM consists of three parts: a blood glucose sensor, a wireless transmitter, and a receiver. The sensor is inserted into the subcutaneous fat to measure sugar in the interstitial fluid. The latest version of the continuous blood glucose monitor shows blood glucose readings in real time, allowing immediate action to be taken.

종래의 연속 혈당 모니터링 장치는 신체에 삽입되어 혈액으로부터 혈당을 측정하는 센서와, 센서가 신체에 삽입되도록 가이드하는 니들과, 센서 모듈을 신체에 적용하기 위해서는 별도의 어플리케이터 결합 구조를 포함한다. 센서는 시린지 니들의 중공에 배치되어 시린지 니들에 의해 피하 피어싱 되어 피하 지방에 삽입된다. 시린지 니들의 중공에 센서가 배치된다. 시린지 니들은 혈당 검출 시 사이즈가 21 Gauge까지 사용되고, 시린지 니들의 중공에 센싱 스트립이 배치되어야 하므로, 연속 혈당 측정 장치의 센서 니들로 사용되는 시린지 니들은 일반적으로 직경이 600nm 내지 800nm까지 사용된다. 센서 니들의 직경이 600nm 내지 800nm가 되면 사용자에게 통증을 유발하여 연속 사용 시 불쾌감을 주는 문제점이 있다. A conventional continuous blood glucose monitoring device includes a sensor inserted into the body to measure blood glucose, a needle for guiding the sensor to be inserted into the body, and a separate applicator coupling structure to apply the sensor module to the body. The sensor is disposed in the hollow of the syringe needle, pierced subcutaneously by the syringe needle, and inserted into the subcutaneous fat. A sensor is placed in the hollow of the syringe needle. Syringe needles are used up to 21 Gauge in size when blood glucose is detected, and since a sensing strip must be placed in the hollow of the syringe needle, a syringe needle used as a sensor needle in a continuous blood glucose measurement device is generally used with a diameter of 600 nm to 800 nm. When the diameter of the sensor needle is 600 nm to 800 nm, there is a problem of causing pain to the user and giving discomfort during continuous use.

대한민국 등록 특허 제10-1773583호Republic of Korea Patent No. 10-1773583 대한민국 공개 특허 제10-2017-0038351호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2017-0038351 대한민국 공개 특허 제10-2018-0072386호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2018-0072386 PCT 국제 공개 번호 WO 2017-116503PCT International Publication No. WO 2017-116503

본 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 최소 침습으로 착용 시 사용자의 통증을 감소시킬 수 있는 간섭물질 레이어를 포함하는 마이크로 니들 바이오 센서 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a microneedle biosensor including an interfering material layer capable of reducing pain for a user when worn with minimal invasiveness.

본 발명은,The present invention,

원 형상 박막의 제1베이스, 상기 제1베이스 상에 수직으로 돌출되는 복수의 마이크로니들, 상기 제1베이스의 원주의 일단에서 연장하는 제1배선을 포함하는 작업전극;a working electrode including a first base of a circular thin film, a plurality of microneedles protruding vertically on the first base, and a first wire extending from one end of the circumference of the first base;

상기 제1베이스와 동심으로 상기 제1베이스의 원주에서 설정거리 이격하고 3/4 원주의 스트립 형상 박막의 제2베이스, 상기 제2베이스 상에 수직으로 돌출되는 복수의 마이크로니들, 및 상기 제1배선과 수평하게 배치되도록 제2베이스의 일단에서 연장하는 제2배선을 포함하는 상대전극; 및A second base of a strip-shaped thin film concentrically with the first base and spaced apart from the circumference of the first base by a set distance and having a 3/4 circumference, a plurality of microneedles protruding vertically on the second base, and the first a counter electrode including a second wiring extending from one end of the second base to be disposed horizontally with the wiring; and

상기 제2베이스의 타단에서 설정거리 이격하고 제1베이스와 동심으로 상기 제1베이스의 원주에서 설정거리 이격하고 1/4 원주의 스트립 형상 박막의 제3베이스, 상기 제3베이스 상에 수직으로 돌출되는 복수의 마이크로니들, 상기 제3베이스의 일단에서 연장하는 제3배선을 포함하는 기준전극을 포함하는 마이크로 니들 바이오 센서 제조 방법에 있어서,A third base of a strip-shaped thin film of 1/4 circumference, spaced apart from the other end of the second base by a set distance, concentric with the first base and spaced from the circumference of the first base by a set distance, and protruding vertically on the third base In the microneedle biosensor manufacturing method comprising a reference electrode including a plurality of microneedles and a third wiring extending from one end of the third base,

a) 고체 수지 블럭에 작업전극, 상대전극, 기준전극 각각의 마이크로 니들 형상에 상응하는 홈을 형성하여 몰드를 형성하는 단계;a) forming a mold by forming grooves corresponding to the shapes of microneedles of each of the working electrode, counter electrode, and reference electrode in the solid resin block;

b) 상기 몰드 상에 아크릴 또는 PLA를 이용하여 상기 작업전극, 상대전극, 기준전극 각각을 임프린트하는 단계;b) imprinting each of the working electrode, counter electrode and reference electrode on the mold using acrylic or PLA;

c) 상기 작업전극, 상대전극, 기준전극의 패턴에 해당되는 섀도우 마스크를 형성하고 Au 또는 Au+Ti/Cr 접착층을 스퍼터링하여 금속 레이어를 형성하는 단계; 및c) forming a shadow mask corresponding to the patterns of the working electrode, counter electrode, and reference electrode, and forming a metal layer by sputtering an Au or Au+Ti/Cr adhesive layer; and

d) 상기 금속 레이어 상에 패시베이션 레이어를 형성하는 단계;d) forming a passivation layer on the metal layer;

e) 상기 금속 전극 레이어의 감지 영역에 나피온을 코팅하는 단계;e) coating Nafion on the sensing area of the metal electrode layer;

f) 상기 e) 단계에서 나피온 코팅 이후 전하 반발 레이어, 하전된 종 기피제 를 레이어 바이 레이어로 적층하는 단계를 포함하는 간섭 물질 레이어를 포함하는 마이크로 니들 바이오 센서 제조 방법을 제공한다.f) providing a method for manufacturing a microneedle biosensor including an interference material layer comprising the step of laminating a charge repelling layer and a charged species repellent layer by layer after the Nafion coating in step e).

상기와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따르면, 착용 시 사용자의 통증을 감소시킬 수 있으면서 정확한 센싱이 가능하며 피부 표면 형상에 가장 적합한 간섭물질 레이어를 포함하는 마이크로 니들 바이오 센서 제조 방법을 제공할 수 있다. According to an embodiment of the present invention configured as described above, it is possible to provide a method for manufacturing a microneedle biosensor including an interfering material layer that can reduce pain for a user when worn, enable accurate sensing, and is most suitable for the shape of the skin surface. .

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 마이크로 니들 센서를 나타낸 도면이다.
도 2 는 마이크로 니들 센서 제조 공정을 나타낸 흐름도이다.
도 3 는 SIZE EXCLUSION 및 CHARGE REPULSION에 의한 간섭물질 레이어를 설명하는 도면이다.
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 간섭물질 레이어를 적용하여 간섭이 제거된 감지 신호를 나타낸 그래프이다.1 is a view showing a microneedle sensor according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart showing a microneedle sensor manufacturing process.
3 is a diagram explaining an interference material layer by SIZE EXCLUSION and CHARGE REPULSION.
4 is a graph showing a detection signal from which interference has been removed by applying an interference material layer according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서, 동일한 구성에 대해서는 동일부호를 사용하며, 반복되는 설명, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 본 발명의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Here, the same reference numerals are used for the same components, and repeated descriptions and detailed descriptions of well-known functions and configurations that may unnecessarily obscure the gist of the present invention are omitted. Embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clarity.

본 발명의 실시예에 따른 마이크로 니들 바이오센서는 최소 침습형 마이크로 니들 센서이다. 본 발명은, 마이크로니들이 피부에 침습하여 체액과 접촉하여 생체신호를 모니터링하는 바이오센서에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 바이오센서는 침습된 호스트의 간질액(interstitial fluid, ISF)에서 혈당 농도를 측정하기 위한 것으로, 설정기간 연속하여 혈당 농도를 측정하기 위해 피부 표면에 장착되는 것을 의미하지만 이에 제한되지 않는다. A microneedle biosensor according to an embodiment of the present invention is a minimally invasive microneedle sensor. The present invention relates to a biosensor in which a microneedle invades the skin and contacts a body fluid to monitor a biosignal. The biosensor according to an embodiment of the present invention is intended to measure the blood glucose concentration in the interstitial fluid (ISF) of an invaded host, and is meant to be mounted on the skin surface to continuously measure the blood glucose concentration for a set period of time. Not limited.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 마이크로 니들 센서를 나타낸 도면이다. 도시되는 바와 같이, 마이크로 니들 센서는 작업전극(WE;Working Electrode)(110), 상대전극(CE; Counter Electrode)(120), 기준전극(RE; Reference Electrode)(130), 접착시트(200)를 포함한다. 작업전극(110)은 원형 제1베이스(111), 상기 제1베이스(111) 상에 수직으로 돌출되는 복수의 마이크로니들(112), 상기 제1베이스(111)의 일단에서 수직으로 연장하는 제1배선(113)을 포함한다. 상대전극(120)은 상기 제1베이스(111)와 동심으로 상기 제1베이스(111)의 원주에서 설정간격 이격된 3/4 원주의 스트립 형상으로 형성되는 제2베이스(121), 상기 제2베이스(121) 상에 수직으로 돌출되는 복수의 마이크로니들(122), 상기 제1배선(113)과 수평하게 배치되도록 제2베이스(121)의 일단에서 연장하는 제2배선(123)을 포함한다. 상기 제2베이스(121)의 타단에서 설정간격 이격하고 제1베이스(111)와 동심으로 상기 제1베이스(111)의 원주와 설정 간격 이격된 1/4 원주의 스트립 형상으로 형성되는 제3베이스(131), 상기 제3베이스(131) 상에 수직으로 돌출되는 복수의 마이크로 니들(132), 상기 제1배선(113)과 수평하게 배치되도록 상기 제3베이스(131)의 일단에서 수직으로 연장하는 제3배선(133)을 포함한다.1 is a view showing a microneedle sensor according to an embodiment of the present invention. As shown, the microneedle sensor includes a working electrode (WE) 110, a counter electrode (CE) 120, a reference electrode (RE) 130, and an adhesive sheet 200. includes The working electrode 110 includes a circular first base 111, a plurality of microneedles 112 vertically protruding on the first base 111, and a second vertically extending from one end of the first base 111. It includes 1 wire (113). The counter electrode 120 includes a second base 121 concentrically with the first base 111 and formed in a strip shape of a 3/4 circumference spaced apart from the circumference of the first base 111 by a set interval, the second base 121 It includes a plurality of microneedles 122 vertically protruding from the base 121 and a second wire 123 extending from one end of the second base 121 to be disposed horizontally with the first wire 113. . A third base formed in a strip shape of a 1/4 circumference spaced apart from the other end of the second base 121 by a set interval and concentrically with the first base 111 and spaced apart by a set interval from the circumference of the first base 111 131, a plurality of microneedles 132 vertically protruding on the third base 131, extending vertically from one end of the third base 131 to be disposed horizontally with the first wiring 113 It includes a third wiring 133 that

상대전극(120)과 기준전극(130)은 설정간격 작업전극(110)에서 이격되어 작업전극(110)을 둘러싸도록 배치된다. 상기 작업전극(110), 상대전극(120), 기준전극(130)은 접착시트(200) 상에 부착된다. 접착시트(200)는 섬유 또는 폴리머 재질의 시트의 일면에 접착제가 도포되는 것이 바람직하다. 접착시트(200)는 시트 자체에 탄성을 가지는 것이 바람직하다. 접착시트(200)는 피부에 부착 가능한 접착제가 도포된 면에 작업전극(110), 상대전극(220), 기준전극(130)이 부착된다. 원형의 작업전극(110)과 작업전극(110)에서 이격되어 스트랩 형상으로 형성되어 작업전극(110)을 둘러싸도록 상대전극(120)과 기준전극(130)이 배치되고, 섬유 또는 폴리머 재질의 시트에 부착되므로 작업전극(110), 상대전극(220), 기준전극(130)이 센싱을 위하나 유효 면적을 충분히 확보하면서도 구조적으로 평면이 될 수 없는 인체의 피부에 부착 시 각각 유연하게 피부의 각도에 따라 기울어져 피부 접촉면에 밀접하게 부착될 수 있다. 즉, 베이스가 평면인 센서의 경우 평면이 아닌 피부에 부착 시 부착후 시간이 경과할 수록 회복력 때문에 가장자리가 들리는 현상이 발생하나, 본 발명의 실시예에 따른 마이크로니들 바이오 센서는 그러한 문제점을 해결할 수 있게 된다.The counter electrode 120 and the reference electrode 130 are spaced apart from the working electrode 110 at set intervals and are arranged to surround the working electrode 110 . The working electrode 110, the counter electrode 120, and the reference electrode 130 are attached to the adhesive sheet 200. In the adhesive sheet 200, it is preferable that an adhesive is applied to one surface of a fiber or polymer sheet. The adhesive sheet 200 preferably has elasticity in itself. In the adhesive sheet 200, the working electrode 110, the counter electrode 220, and the reference electrode 130 are attached to a surface on which an adhesive capable of attaching to the skin is applied. The circular working electrode 110 and the counter electrode 120 and the reference electrode 130 are disposed so as to surround the working electrode 110 and form a strap shape spaced apart from the working electrode 110, and a sheet made of a fiber or polymer material. Since the working electrode 110, the counter electrode 220, and the reference electrode 130 are attached to the skin of the human body, which cannot be structurally flat while securing a sufficient effective area for sensing, each flexibly angles the skin. It can be tilted according to the skin contact surface and attached closely. That is, in the case of a sensor with a flat base, when attached to the skin rather than a flat surface, as time elapses after attachment, a phenomenon in which the edge is lifted due to resilience occurs, but the microneedle biosensor according to an embodiment of the present invention can solve such a problem. there will be

도 2는 마이크로 니들 센서 제조 공정을 나타낸 흐름도이다. 도시되는 바와 같이, 마이크로 니들 바이오 센서 제조 방법은 몰드 및 임프린트 공정(S11), 메탈리제이션 공정(S12), 패시베이션 공정(S13)으로 구성된 마이크로 니들 제조 공정(S10)과, Ag/AgCl, Pt-black, 나피온 코팅 및 와이어링과 패키지 공정으로 구성된 후처리 공정(S20)을 포함한다. 2 is a flow chart showing a microneedle sensor manufacturing process. As shown, the microneedle biosensor manufacturing method includes a microneedle manufacturing process (S10) consisting of a mold and imprint process (S11), a metallization process (S12), and a passivation process (S13), Ag/AgCl, Pt- It includes a post-treatment process (S20) consisting of black, Nafion coating and wiring and packaging processes.

도 3 는 SIZE EXCLUSION 및 CHARGE REPULSION에 의한 간섭물질 레이어를 설명하는 도면이다.3 is a diagram explaining an interference material layer by SIZE EXCLUSION and CHARGE REPULSION.

간섭물질 레이어는 특정 크기 이상의 물질이 침투할 수 없게 배제하는 크기 배제와 +,- 전하에 따른 반발을 이용한다. 이를 위해 나피온 코팅과 레이어 바이 레이어 코팅을 이용한다. 나피온은 음의 표면 전하를 가진 입자와 특정 크기의 입자를 배제한다. 레이어 바이 레이어는 전하 반발과 하전된 종에 대한 기피 역할을 한다. The interfering material layer uses size exclusion that excludes substances larger than a certain size from penetrating and repulsion according to + and - charges. For this purpose, Nafion coating and layer-by-layer coating are used. Nafion excludes particles with a negative surface charge and particles of a certain size. Layer by layer serves to repel charges and repel charged species.

도 4 는 상기와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 간섭물질 레이어를 적용하여 간섭이 제거된 감지 신호를 나타낸 그래프이다. 4 is a graph showing a detection signal from which interference has been removed by applying an interference material layer according to an embodiment of the present invention configured as described above.

간섭에 의한 잡음을 제거할 수 있게 된다.Noise caused by interference can be eliminated.

Claims (1)

원 형상 박막의 제1베이스, 상기 제1베이스 상에 수직으로 돌출되는 복수의 마이크로니들, 상기 제1베이스의 원주의 일단에서 연장하는 제1배선을 포함하는 작업전극;
상기 제1베이스와 동심으로 상기 제1베이스의 원주에서 설정거리 이격하고 3/4 원주의 스트립 형상 박막의 제2베이스, 상기 제2베이스 상에 수직으로 돌출되는 복수의 마이크로니들, 및 상기 제1배선과 수평하게 배치되도록 제2베이스의 일단에서 연장하는 제2배선을 포함하는 상대전극; 및
상기 제2베이스의 타단에서 설정거리 이격하고 제1베이스와 동심으로 상기 제1베이스의 원주에서 설정거리 이격하고 1/4 원주의 스트립 형상 박막의 제3베이스, 상기 제3베이스 상에 수직으로 돌출되는 복수의 마이크로니들, 상기 제3베이스의 일단에서 연장하는 제3배선을 포함하는 기준전극을 포함하는 마이크로 니들 바이오 센서 제조 방법에 있어서,
a) 고체 수지 블럭에 작업전극, 상대전극, 기준전극 각각의 마이크로 니들 형상에 상응하는 홈을 형성하여 몰드를 형성하는 단계;
b) 상기 몰드 상에 아크릴 또는 PLA를 이용하여 상기 작업전극, 상대전극, 기준전극 각각을 임프린트하는 단계;
c) 상기 작업전극, 상대전극, 기준전극의 패턴에 해당되는 섀도우 마스크를 형성하고 Au 또는 Au+Ti/Cr 접착층을 스퍼터링하여 금속 레이어를 형성하는 단계; 및
d) 상기 금속 레이어 상에 패시베이션 레이어를 형성하는 단계;
e) 상기 금속 전극 레이어의 감지 영역에 나피온을 코팅하는 단계;
f) 상기 e) 단계에서 나피온 코팅 이후 전하 반발 레이어, 하전된 종 기피제 를 레이어 바이 레이어로 적층하는 단계를 포함하는 간섭 물질 레이어를 포함하는 마이크로 니들 바이오 센서 제조 방법을 제공한다.
a working electrode including a first base of a circular thin film, a plurality of microneedles protruding vertically on the first base, and a first wire extending from one end of the circumference of the first base;
A second base of a strip-shaped thin film concentrically with the first base and spaced apart from the circumference of the first base by a set distance and having a 3/4 circumference, a plurality of microneedles protruding vertically on the second base, and the first a counter electrode including a second wire extending from one end of the second base to be disposed horizontally with the wire; and
A third base of a strip-shaped thin film of 1/4 circumference, spaced apart from the other end of the second base by a set distance, concentric with the first base and spaced from the circumference of the first base by a set distance, and protruding vertically on the third base In the microneedle biosensor manufacturing method comprising a reference electrode including a plurality of microneedles and a third wiring extending from one end of the third base,
a) forming a mold by forming grooves corresponding to the shapes of microneedles of each of the working electrode, counter electrode, and reference electrode in the solid resin block;
b) imprinting each of the working electrode, counter electrode and reference electrode on the mold using acrylic or PLA;
c) forming a shadow mask corresponding to the patterns of the working electrode, counter electrode, and reference electrode, and forming a metal layer by sputtering an Au or Au+Ti/Cr adhesive layer; and
d) forming a passivation layer on the metal layer;
e) coating Nafion on the sensing area of the metal electrode layer;
f) providing a method for manufacturing a microneedle biosensor including an interference material layer comprising the step of laminating a charge repelling layer and a charged species repellent layer by layer after the Nafion coating in step e).
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