KR20230027638A - 검사 광학계 및 이를 구비한 카메라 모듈 검사장치 - Google Patents

검사 광학계 및 이를 구비한 카메라 모듈 검사장치 Download PDF

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KR20230027638A
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엘지이노텍 주식회사
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Abstract

발명의 실시예에 개시된 검사 광학계는 전자 챠트와 복수의 렌즈 광학계 사이에 배치되며, 물체 측에서 센서 측을 향해 제1 내지 제6렌즈가 광축으로 정렬된 검사 광학계를 포함하며, 상기 제1렌즈는 음의 굴절력을 갖고, 물체측 제1면이 광축 상에서 평면 또는 볼록이며, 상기 렌즈 광학계들 각각에 가장 가까운 제6렌즈는 양의 굴절력을 가지며, 센서측 제12면이 광축 상에서 볼록하며, 상기 제1 내지 제6렌즈 중에서 양의 굴절력을 가진 렌즈 매수는 음의 굴절력을 갖는 렌즈 매수보다 많을 수 있다.

Description

검사 광학계 및 이를 구비한 카메라 모듈 검사장치{INSPECTION OPTICAL SYSTEM AND INSPECTION DEVICE OF CAMERA MODULE}
실시예는 검사 광학계 및 이를 구비한 카메라 모듈 검사장치에 관한 것이다.
최근에 이르러, 대부분의 휴대 이동통신 단말기상에 메가 픽셀급의 카메라가 장착된 제품이 출시됨에 따라 카메라 탑재형 휴대전화 시장의 급속한 성장과 더불어 정지화상을 비롯한 동영상의 고해상도화 및 고화질화를 요구하는 소비자의 요구가 점차 늘어나고 있다.
이에 따라, 휴대폰에 탑재된 카메라의 기본적인 촬영 기능외에 자동 초점(AF: Autofocus) 조절 기능이나 접사(macro) 및 광학 줌(optical zoom) 기능 등이 복합적으로 구현될 수 있는 다기능의 휴대폰이 개발되고 있으며, 상기 휴대폰에 탑재되는 카메라 모듈의 품질을 제조사의 기준에 따라 평가, 검사하기 위한 시스템이 요구되고 있다.
광학 촬상 시스템의 결상 품질을 결정하기 위한 하나의 확립되고 유용한 방법은 MTF(modulation transfer function)의 측정이다. 하지만, 종래의 콜리메이터 렌즈 광학계를 이용한 검사 장비는 고정된 물체 거리로 근거리와 원거리를 동시에 측정할 수 없으며, MTF 측정이 포커스를 통해 가능하지 않고 틸트 검증 및 카메라 모듈 내의 에폭시 수축 문제가 있으며, 물체 거리에 따른 렌즈 구경이 증가되는 문제가 있다.
발명의 실시예는 복수의 카메라 모듈을 검사할 수 있는 검사 광학계를 제공하고자 한다.
발명의 실시예는 적어도 2개의 렌즈 광학계를 검사할 수 있는 콜리메터 렌즈를 갖는 검사 장치를 제공하고자 한다.
발명의 실시예에 따른 검사 광학계는 전자 챠트와 복수의 렌즈 광학계 사이에 배치되며, 물체 측에서 센서 측을 향해 제1 내지 제6렌즈가 광축으로 정렬된 검사 광학계를 포함하며, 상기 제1렌즈는 음의 굴절력을 갖고, 물체측 제1면이 광축 상에서 평면 또는 볼록이며, 상기 렌즈 광학계들 각각에 가장 가까운 제6렌즈는 양의 굴절력을 가지며, 센서측 제12면이 광축 상에서 볼록하며, 상기 제1 내지 제6렌즈 중에서 양의 굴절력을 가진 렌즈 매수는 음의 굴절력을 갖는 렌즈 매수보다 많을 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 상기 제2렌즈는 상기 제1렌즈와 상기 제3렌즈 사이에 배치되며, 양의 굴절력을 가지며, 상기 제3렌즈는 상기 제2렌즈와 상기 제4렌즈 사이에 배치되며, 양의 굴절력을 가지며, 상기 제4렌즈는 상기 제3렌즈와 상기 제5렌즈 사이에 배치되며, 음의 굴절력을 가지며, 상기 제5렌즈는 상기 제4렌즈와 상기 제6렌즈 사이에 배치되며, 양의 굴절력을 가질 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 상기 제1렌즈에서 상기 제6렌즈의 직경은 상기 제1렌즈가 가장 크고 상기 제6렌즈가 가장 작을 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 직경이 상기 제1렌즈에서 상기 제6렌즈로 갈수록 점차 작아질 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 상기 제1렌즈는 물체측 제1면이 평면이며, 센서측 제2면이 오목하며, 상기 제2렌즈는 물체측 제3면이 볼록하며, 센서측 제4면이 평면 또는 오목하며, 상기 제3렌즈는 물체측 제5면이 볼록이며, 센서측 제6면이 오목하며, 상기 제4렌즈는 물체측 제7면이 오목하며, 센서측 제8면이 오목하며, 상기 제5렌즈는 물체측 제9면이 볼록하며, 센서측 제10면이 오목하며, 상기 제6렌즈는 물체측 및 센서측이 제11면 및 제2면이 볼록할 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 상기 제1렌즈는 물체와의 거리가 200mm 이상이며, 상기 제1렌즈의 직경은 200mm 이상이며, 상기 제6렌즈와 상기 렌즈 광학계들 사이의 간격은 2.5mm 이상일 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 상기 검사 광학계는 수식 1를 만족하며,
<수식 1> -0.6 ≤ rS12/f ≤ -0.1
상기 rs12는 제12면의 볼록한 곡률 반경이며, 상기 f는 검사 광학계의 초점 거리일 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 상기 검사 광학계는 수식 2를 만족하며,
<수식 2> 0.1 ≤ to/f ≤ 0.8
상기 to는 전자 챠트와 검사 광학계 사이의 거리이며,
발명의 실시 예에 의하면, 상기 검사 광학계는 수식 3를 만족하며,
<수식 3> -0.5 ≤ f1/f ≤ -0.05
상기 f1는 제1렌즈의 초점 거리이며, 상기 f는 검사 광학계의 초점 거리일 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 상기 제1 내지 제6렌즈의 굴절률은 1.8 이하일 수 있다.
발명의 실시 예에 따른 카메라 모듈 검사 장치는 광원 및 전자 챠트를 갖는 전자 챠트부; 검사 대상인 복수의 카메라 모듈; 상기 전자 챠트부와 복수의 카메라 모듈 사이에 콜리메이터 렌즈를 갖는 상기 검사 광학계를 포함할 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 하나의 콜리메이터 렌즈를 이용하여 복수의 카메라 모듈을 검사할 수 있는 있어, 검사 시간의 단축 및 생산 효율성이 개선될 수 있다. 대구경의 콜리메이터 렌즈를 이용하여 2개 이상의 카메라 모듈을 동시에 측정할 수 있어, 검사 공정 시간이 2배 이상 단축될 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 90도 이상의 광각 렌즈 광학계까지 검사할 시 있어, 공정의 효율을 높여줄 수 있다.
도 1의 (A)은 발명의 실시 예에 따른 복수의 카메라 모듈을 갖는 이동 단말의 사시도이고, (B)(C)는 카메라 모듈의 다른 배치 예이다.
도 2는 발명의 실시예에 따른 카메라 모듈 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 검사 광학계의 제1예를 나타낸 구성도이다.
도 4는 도 3의 검사 광학계에 검사되는 복수의 카메라 모듈의 예이다.
도 5는 도 2의 검사 광학계의 제2예를 나타낸 구성도이다.
도 6은 도 2의 검사 광학계의 제3예를 나타낸 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, "A 및(와) B, C중 적어도 하나(또는 한 개 이상)"로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다. 그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속＇되는 경우도 포함할 수 있다.
또한, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우 뿐 만 아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)"으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향 뿐 만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.
발명의 설명에서 첫 번째 렌즈는 물체 측에 가장 가까운 렌즈를 의미하고, 마지막 렌즈는 상 측(또는 센서면)에 가장 가까운 렌즈를 의미한다. 발명의 설명에서 특별한 언급이 없는 한 렌즈의 반지름, 유효경, 두께, 거리, BFL(Back Focal Length), TTL(Total track length or Total Top Length) 등에 대한 단위는 모두 ㎜이다. 본 명세서에서 렌즈의 형상은 렌즈의 광축을 기준으로 나타낸 것이다. 일 예로, 렌즈의 물체 측면이 볼록하다는 의미는 해당 렌즈의 물체 측면에서 광축 부근이 볼록하다는 의미이지 광축 주변이 볼록하다는 의미는 아니다. 따라서, 렌즈의 물체 측면이 볼록하다고 설명된 경우라도, 해당 렌즈의 물체 측면에서 광축 주변 부분은 오목할 수 있다. 본 명세서에서 렌즈의 두께 및 곡률 반지름은 해당 렌즈의 광축을 기준으로 측정된 것임을 밝혀둔다. 또한, "물체측 면"은 광축을 기준으로 물체 측(Object side)을 향하는 렌즈의 면을 의미할 수 있고, "상 측(Image side)"은 광축을 기준으로 촬상면을 향하는 렌즈의 면을 의미할 수 있다.
도 1의 (A)을 참조하면, 휴대 단말기의 카메라부(711)는 이동 단말기의 케이스(700) 내에 결합될 수 있다. 상기 카메라부(711)는 복수의 카메라 모듈(712,732,752)들이 제1 및 제2방향으로 배열되고, 적어도 하나 또는 모두는 수직 방향으로 업 또는 다운될 수 있다. 카메라 모듈(711) 내에는 ToF 렌즈 모듈(772)이 추가되거나, 카메라 플래시 모듈이 더 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 이러한 단말기의 케이스(700)에는 렌즈 모듈의 일부가 돌출될 수 있다.
상기 복수의 카메라 모듈(712,732,752)은 휴대 단말기 상에서 N행 및 N열로 배치될 수 있으며, (N,M은 1 또는 2)이며, (B)(C)와 같이, 세로 방향으로 배치되거나 가로 방향으로 배치될 수 있다.
여기서, 카메라부(711)의 조립 시, 3개 이상의 카메라 모듈(712,732,752)이 조립된다. 기존에는 2개 또는 3개의 카메라 모듈에 대해 각각 검사를 수행하게 되고, 이로 인해 검사 시간이 증가되며 생산 효율성이 저하될 수 있다. 발명의 실시 예는 하나의 콜리메이터를 갖는 검사 광학계를 이용하여 원거리 평가를 근거리에서 복수의 카메라 모듈에 대해 동시에 검사할 수 있으며, 이에 대한 평가를 수행할 수 있다. 이에 따라 카메라 모듈들의 검사 시간이 2배 이상 단축될 수 있다.
도 2는 발명의 실시예에 따른 카메라 모듈 검사 장치를 나타낸 도면이며, 도 3은 도 2의 검사 광학계의 제1예를 나타낸 구성도이고, 도 4는 도 3의 검사 광학계에 검사되는 복수의 카메라 모듈의 예이며, 도 5는 도 2의 검사 광학계의 제2예를 나타낸 구성도이고, 도 6은 도 2의 검사 광학계의 제3예를 나타낸 구성도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 카메라 모듈 검사 장치는 전자 챠트부(100), 검사 광학계(200), 및 테스트 대상인 복수의 카메라 모듈(310,320,330)을 갖는 카메라부(300)을 포함할 수 있다.
상기 전자 챠트부(100)는 광원(110) 및 전자 챠트(120)를 포함하며, 광원(110)에서 나오는 광선들은 전자 챠트(120)를 통해 검사 광학계(200)를 통과하게 된다. 상기 전자 챠트부(100)는 미리 설정된 측정 거리에 따라 광축을 기준으로 물체측 또는 센서 측으로 이동될 수 있다. 상기 미리 설정된 측정 거리는 근거리(예: 10cm)에서 무한대까지 포커싱 위치로 설정된 이동 거리이다. 상기 광원(110)은 자외 또는 가시광을 발광하는 LED, 레이저, LCD, 유기 EL 등이 포함될 수 있다. 상기 전자 챠트(120)는 전원 인가시 소정의 패턴이 광원(110)을 통해 발광되며, 예컨대 포커싱 조정을 위한 패턴이 순차적으로 디스플레이될 수 있다. 발명의 실시 예는 단일개의 전자 챠트부(100)의 광원(110)을 이동시켜 카메라부(300)의 포커싱을 위한 원거리 기능 평가와 근거리 기능 평가를 수행할 수 있다.
상기 검사 광학계(200)는 전차 챠트부(100)와 테스트 대상들인 카메라 모듈들(310,320,330) 사이에 배치되며, 5매 이상 또는 5매 내지 7매의 렌즈를 포함할 수 있다. 상기 검사 광학계(200)의 렌즈들은 광축으로 정렬될 수 있다. 상기 검사 광학계(200)는 콜리메이터 렌즈 광학계를 포함할 수 있다. 상기 콜리메이터 렌즈는 대구경 렌즈를 포함할 수 있다. 상기 검사 광학계(200)는 대구경 콜리메이터 렌즈 예컨대, 200mm 이상 또는 200mm 내지 400mm 범위의 구경을 갖는 콜리메이터 렌즈를 이용하여, 2개, 3개 또는 4개의 카메라 모듈들을 동시에 검사 측정할 수 있다. 여기서, 물체측에 가장 가까운 제1렌즈는 직경이 200mm 이상의 렌즈일 수 있다.
상기 검사 광학계(200)는 물체와의 거리가 200mm 이상 예컨대, 200mm 내지 450mm 범위일 수 있다. 상기 검사 광학계(200)의 렌즈들 중 물체측에 가장 가까운 제1렌즈는 물체측 면이 볼록 또는 평면이며, 음의 굴절력을 갖고, 카메라 모듈(310,320,330)에 가장 가까운 렌즈는 양의 굴절력을 가지며, 센서측 면이 복수의 렌즈 광학계(311,321,331)를 커버할 수 있도록 볼록할 수 있다. 상기 검사 광학계(200)는 유한한 거리에 있는 물체에 대해 허상으로 변환하는 광학계를 포함하며, 상기 전자 챠트부(100)와 카메라부(300) 사이에 배치되어, 조립되는 카메라 모듈들(310,320,330)의 광학계를 검사할 수 있다. 즉, 검사 광학계(200)는 휴대폰 광학계를 검사하기 위해 가까운 거리에 위치한 해상력 챠트를 원거리의 허상으로 만들어 줄 수 있다. 상기 검사 광학계(200)는 카메라 모듈마다 장착되는 렌즈의 편차, 조립시 발생될 수 있는 틸트(tilt) 또는 회전(rotation) 편차로 인해 동일한 거리에서 최적으로 포커스되는 렌즈 위치를 검증할 수 있다.
상기 카메라부(310)는 테스트 대상으로서, 복수의 카메라 모듈(310,320,33)을 포함하며, 각각의 카메라 모듈(310,320,330)은 렌즈 광학계(311,321,331) 및 이미지 센서(311,321,331)를 포함할 수 있다. 여기서, 렌즈 광학계(311,321,331) 간의 최대 거리는 12mm이하일 수 있다.
상기 렌즈 광학계(311,321,331)는 포커싱 또는/및 OIS 기능 수행하는 구동부를 갖거나, 적어도 하나는 구동부 없이 구현될 수 있다. 화상 평가 장치는 전자 챠트부(100)를 이동하여 검사 광학계(200)를 통해 빛을 제공하여 이미지 센서(311,321,331) 각각에 의해 수신되는 원거리에서 근거리까지 렌즈 광학계(311,321,331)의 포커싱 위치를 검출할 수 있고, 이러한 검출 정보를 이용하여 포커싱 위치에 따른 접착제의 양이나 틸트를 조절할 수 있다.
이하, 상기 검사 광학계가 렌즈들의 예들을 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 제1예에 따른 검사 광학계(210)는 6매의 렌즈를 포함하며, 물체측에서 모듈 또는 센서측으로 제1렌즈(11)에서 제6렌즈(16)가 광축으로 정렬될 수 있다. 물체 측에 가장 인접한 제1렌즈(11)는 가장 큰 직경을 갖는 렌즈이며, 센서에 가장 인접한 제6렌즈(16)는 가장 작은 직경을 갖는 렌즈일 수 있다. 상기 검사 광학계(210)는 물체 측에서 센서 측을 향해 각 렌즈(11,12,13,14,15,16)의 직경이 점차 작아질 수 있다. 상기 직경은 광선이 진행되는 유효 직경일 수 있다.
상기 제1렌즈(11)는 광축 상에서 물체측 제1면(S1)이 평면 또는 볼록이고, 센서측 제2면(S2)이 오목할 수 있다. 상기 제1렌즈(11)는 물체측 방향으로 볼록한 메니스커스(meniscus) 형상일 수 있다. 상기 제1렌즈(11)는 음의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제1렌즈(11)의 중심부 두께는 17mm 이상이며 예컨대, 17mm 내지 25mm 범위이며, 굴절률이 제2 내지 제4렌즈(12,13,14)보다 높은 고 굴절률이며, 아베수는 50 미만일 수 있다. 여기서, 상기 제1렌즈(11)는 직경이 200mm 이상의 렌즈일 수 있다. 상기 제1렌즈(11)는 물체와의 거리가 300mm 예컨대, 300mm 내지 450mm의 범위일 수 있다.
상기 제2렌즈(12)는 광축 상에서 물체측 제3면(S3)이 볼록이고, 센서측 제4면(S4)이 평면이거나 오목할 수 있다. 상기 제2렌즈(11)는 물체측 및 센서측 방향으로 볼록한 형태이며, 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제2렌즈(12)의 중심부 두께는 17 mm 이상이며 예컨대, 17 mm 내지 25 mm 범위이며, 굴절률이 제1렌즈(11)보다 낮은 저 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(11)보다 높은 50 이상일 수 있다.
상기 제3렌즈(13)는 제2,4렌즈(12,14) 사이에 배치되며, 상기 제3렌즈(13)는 광축 상에서 물체측 제5면(S5)이 볼록이고, 센서측 제6면(S6)이 오목할 수 있다. 상기 제3렌즈(13)는 물체측으로 볼록한 메니스커스 형상이며, 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제3렌즈(13)의 중심부 두께는 20 mm 이하이며, 예컨대 15mm 내지 20mm 범위이며, 제1,2렌즈(11,12)의 중심부 두께보다 작을 수 있다. 상기 제3렌즈(13)의 굴절률이 제1렌즈(11)보다 낮은 저 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(11)보다 높은 50 이상일 수 있다.
상기 제4렌즈(14)는 광축 상에서 물체측 제7면(S7)이 오목이고, 센서측 제8면(S8)이 오목할 수 있다. 상기 제4렌즈(14)는 중심부 두께가 가장 얇을 수 있으며 음의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제4렌즈(14)의 중심부 두께는 12 mm 이하이며, 예컨대 7mm 내지 12mm 범위이며, 제3렌즈(13)의 중심부 두께보다 작을 수 있다. 상기 제4렌즈(14)의 굴절률이 제1렌즈(11)보다 낮은 저 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(11)보다 높은 50 이상일 수 있다.
상기 제5렌즈(15)는 제4렌즈(14)와 제6렌즈(16) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제5렌즈(15)는 광축 상에서 물체측 제9면(S9)이 볼록이고, 센서측 제10면(S10)이 오목할 수 있다. 상기 제5렌즈(15)는 중심부 두께가 제1,2렌즈(11,12)와 함께 가장 두꺼울 수 있으며 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제5렌즈(15)의 중심부 두께는 17 mm 이상이며, 예컨대 17mm 내지 25mm 범위이며, 제3렌즈(13)의 중심부 두께보다 클 수 있다. 상기 제5렌즈(15)의 굴절률이 제2렌즈(12)보다 높은 고 굴절률이며, 아베수는 제3렌즈(13)보다 낮은 50 미만일 수 있다.
상기 제6렌즈(16)는 제5렌즈(15)와 복수의 카메라 모듈(310,320,330) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제6렌즈(16)는 광축 상에서 물체측 제11면(S11)이 볼록이고, 센서측 제12면(S12)이 볼록할 수 있다. 상기 제6렌즈(16)는 중심부 두께가 두 번째로 얇을 수 있으며 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제6렌즈(16)의 중심부 두께는 12 mm 이하이며, 예컨대 7mm 내지 12mm 범위이며, 제3렌즈(13)의 중심부 두께보다 작을 수 있다. 상기 제6렌즈(16)의 굴절률이 제1렌즈(11)의 굴절률보다 낮고 제2,3,4렌즈(12,13,14)보다 높은 고 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(11)보다 높은 50 이상일 수 있다. 상기 제6렌즈(16)를 통과한 주 광선(chief ray)들은 상기 카메라 모듈(31,320,330)의 각 렌즈 광학계로 집광될 수 있다. 상기 렌즈 광학계(311,321,331)로 입사되는 주 광선들 간의 간격은 250 내지 300phi로 설정될 수 있다. 상기 제6렌즈(16)와 스톱(stop) 또는 렌즈 광학계들 사이의 간격은 2.5mm 이상 예컨대, 2.5mm 내지 3.5mm의 범위일 수 있다.
곡률 반경을 보면, 절대 값으로 나타낼 경우, 제1렌즈(11)의 제1면(S1)과 제2렌즈(12)의 제4면(S4)이 평면으로 제공되어, 곡률 반경이 무한대(Infinity)일 수 있고, 곡률 반경은 제6면(S6)>제12면(S12)>제3면(S3)>제7면(S7)>제2면(S2)의 관계를 가질 수 있으며, 다른 제8,9,10,11면(S8,S9,S10,S11)은 제7면(S7)보다 작은 120 mm 이하일 수 있다. 아베수(Vd)를 보면, 제2, 3, 4렌즈(12,13,14)는 55 이상으로서, 다른 렌즈들의 아베수보다 높으며, 제1, 5렌즈(11,15)는 50 이하일 수 있다.
상기 검사 광학계(210)의 렌즈 데이터의 제1예는 표 1과 같다.
렌즈 면 곡률반경 두께/간격 굴절률 아베수 파워
제1렌즈 S1 Infinity 20.00000 1.78590 43.93440 -177.563949
S2 140.3 6.16706 　 　 　
제2렌즈 S3 197.7 20.00000 1.51680 64.19830 381.20844
S4 Infinity 0.50000 　 　 　
제3렌즈 S5 114.0 17.81423 1.51680 64.19830 312.996646
S6 362.7 10.58833 　 　 　
제4렌즈 S7 -188.9 9.50539 1.51680 64.19830 -119.969895
S8 94.4 0.00000 　 　 　
제5렌즈 S9 94.4 20.00000 1.69895 30.05060 189143.3358
S10 86.2 0.73797 　 　 　
제6렌즈 S11 96.4 11.81343 1.69680 55.45970 99.56163
S12 -238.6 12.00000 　 　 　
Stop infinity Infinity 3.10198 　 　
Image infinity Infinity 0.00000 　 　
도 4와 같이, 상기 카메라부(300)의 카메라 모듈(310,320,330)은 상부, 중간 및 하부에 배치되거나, N행 및 M열(N,M 중 적어도 하나는 2이상), 가로 방향 또는 세로 방향으로 배열될 수 있다. 발명의 실시 예는 2개 또는 3개의 카메라 모듈(310,320,330)를 동시에 측정할 수 있는 검사 광학계(200,210)를 제공할 수 있다. 상기 검사 광학계(200,210)을 통해 빛이 집광되는 지점들은 카메라 모듈(310,320,330) 각각의 렌즈 광학계(311,321,331)의 센서측 렌즈와 접촉되는 지점이거나 검사 광학계(210)의 조리개(ST)인 스탑(stop) 위치일 수 있다. 상기 카메라 모듈(310,320,330) 각각의 렌즈 광학계(311,321,331)는 서로 동일하거나 서로 다른 렌즈들이 적층될 수 있다. 상기 렌즈 광학계(311,321,331) 중 어느 하나는 빔각이 90도 이상 또는 광각일 수 있다.
도 5를 참조하면, 제2예에 따른 검사 광학계(220)는 6매의 렌즈를 포함하며, 물체측에서 모듈 또는 센서측으로 제1렌즈(21)에서 제6렌즈(26)가 광축으로 정렬될 수 있다. 물체 측에 가장 인접한 제1렌즈(21)는 가장 큰 직경을 갖는 렌즈이며, 센서에 가장 인접한 제6렌즈(26)는 가장 작은 직경을 갖는 렌즈일 수 있다. 상기 검사 광학계(220)는 물체 측에서 센서 측을 향해 각 렌즈(21,22,23,24,25,26)의 직경이 점차 작아질 수 있다. 상기 직경은 광선이 진행되는 유효 직경일 수 있다.
상기 제1렌즈(21)는 물체측 제1면(S1)이 볼록이고, 센서측 제2면(S2)이 오목할 수 있다. 상기 제1렌즈(21)는 물체측 방향으로 볼록한 메니스커스(meniscus) 형상일 수 있다. 상기 제1렌즈(21)는 음의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제1렌즈(21)의 중심부 두께는 8 mm 이상이며 예컨대, 8 mm 내지 15mm 범위이며, 굴절률이 제2 내지 제4렌즈(22,23,24)보다 높은 고 굴절률이며, 아베수는 50 미만일 수 있다. 여기서, 상기 제1렌즈(21)는 직경이 200mm 이상의 렌즈일 수 있다. 상기 제1렌즈(21)는 물체와의 거리가 200mm 예컨대, 200mm 내지 350mm의 범위일 수 있다.
상기 제2렌즈(22)는 물체측 제3면(S3)이 볼록이고, 센서측 제4면(S4)이 오목일 수 있다. 상기 제2렌즈(21)는 물체측 방향으로 볼록한 메니스커스 형태이며, 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제2렌즈(22)의 중심부 두께는 17 mm 이상이며 예컨대, 17 mm 내지 25 mm 범위이며, 굴절률이 제1렌즈(21)보다 낮은 저 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(21)보다 높은 50 이상일 수 있다.
상기 제3렌즈(23)는 제2,4렌즈(22,24) 사이에 배치되며, 상기 제3렌즈(23)는 물체측 제5면(S5)이 볼록이고, 센서측 제6면(S6)이 오목할 수 있다. 상기 제3렌즈(23)는 물체측으로 볼록한 메니스커스 형상이며, 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제3렌즈(23)의 중심부 두께는 17 mm 이상이며, 예컨대 17mm 내지 25mm 범위이며, 제1렌즈(21)의 중심부 두께보다 클 수 있다. 상기 제3렌즈(23)의 굴절률이 제1렌즈(21)보다 낮은 저 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(21)보다 높은 50 이상일 수 있다.
상기 제4렌즈(24)는 물체측 제7면(S7)이 오목이고, 센서측 제8면(S8)이 오목할 수 있다. 상기 제4렌즈(24)는 중심부 두께가 가장 두꺼울 수 있으며 음의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제4렌즈(24)의 중심부 두께는 18 mm 이상이며, 예컨대 18mm 내지 26mm 범위이며, 제3렌즈(23)의 중심부 두께보다 클 수 있다. 상기 제4렌즈(24)의 굴절률이 제1렌즈(21)보다 낮은 저 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(21)보다 높은 50 이상일 수 있다.
상기 제5렌즈(25)는 제4렌즈(24)와 제6렌즈(26) 사이에 배치되며, 상기 제5렌즈(25)는 물체측 제9면(S9)이 볼록이고, 센서측 제10면(S10)이 오목할 수 있다. 상기 제5렌즈(25)는 중심부 두께가 제6렌즈(26)의 중심부 두께보다 두꺼울 수 있으며 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제5렌즈(25)의 중심부 두께는 17 mm 이상이며, 예컨대 17mm 내지 25mm 범위이며, 제4렌즈(24)의 중심부 두께보다 작을 수 있다. 상기 제5렌즈(25)의 굴절률이 제2렌즈(22)보다 높은 고 굴절률이며, 아베수는 제3렌즈(23)보다 낮은 50 미만일 수 있다.
상기 제6렌즈(26)는 제5렌즈(25)와 복수의 카메라 모듈(310,320,330) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제6렌즈(26)는 물체측 제11면(S11)이 볼록이고, 센서측 제12면(S12)이 볼록할 수 있다. 상기 제6렌즈(26)는 중심부 두께가 가장 얇을 수 있으며 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제6렌즈(26)의 중심부 두께는 12 mm 이하이며, 예컨대 7mm 내지 12mm 범위이다. 상기 제6렌즈(26)의 굴절률이 제1렌즈(21)의 굴절률보다 낮고 제2,3,4렌즈(22,23,24)보다 높은 고 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(21)보다 높은 50 이상일 수 있다. 상기 제6렌즈(26)를 통과한 주 광선(chief ray)들은 상기 카메라 모듈(31,320,330)의 각 렌즈 광학계로 집광될 수 있다.
곡률 반경을 보면, 절대 값으로 나타낼 경우, 제1렌즈(21)의 제1면(S1)과 제3렌즈(23)의 제6면(S6)이 400mm 이상으로 제공되어, 다른 렌즈의 면들보다 클 수 있고, 제5면(S5)은 110mm 미만으로 가장 작은 곡률 반경을 가지며, 제2,3,8,9,10,11면(S2,S3,S8,S9,S10,S11)은 110mm 내지 170mm의 곡률 반경으로 배치될 수 있다. 아베수(Vd)를 보면, 제2, 3, 4렌즈(22,23,24)는 55 이상으로서, 다른 렌즈들의 아베수보다 높으며, 제1, 5렌즈(21,25)는 50 미만일 수 있다.
상기 검사 광학계(220)의 렌즈 데이터의 제2예는 표 2와 같다.
렌즈 면 곡률반경 두께/간격 굴절률 아베수 파워
제1렌즈 S1 491.09302 11.53289 1.78590 43.93440 -204.248634
S2 110.33608 11.51098 　 　 　
제2렌즈 S3 143.93794 20.00000 1.51680 64.19830 746.028238
S4 198.34566 18.19618 　 　 　
제3렌즈 S5 106.96204 20.00000 1.51680 64.19830 263.119256
S6 462.90612 11.51331 　 　 　
제4렌즈 S7 -200.54791 21.85006 1.51680 64.19830 -134.638629
S8 111.68096 1.34716 　 　 　
제5렌즈 S9 134.87131 20.94995 1.69895 30.05060 7204.434875
S10 129.14918 0.23328 　 　 　
제6렌즈 S11 136.41794 10.03907 1.69680 55.45970 121.811457
S12 -234.53250 12.00000 　 　 　
Stop infinity Infinity 3.10198 　 　
Image infinity Infinity 0.00000 　 　
상기 검사 광학계(220)은 복수의 카메라 모듈(310,320,330)의 서로 다른 광학계를 통해 주 광선을 제공하여, 렌즈 광학계 각각에 대해 동시에 검사 측정할 수 있다.
도 6을 참조하면, 제3예에 따른 검사 광학계(230)는 6매의 렌즈를 포함하며, 물체측에서 모듈 또는 센서측으로 제1렌즈(31)에서 제6렌즈(36)가 광축으로 정렬될 수 있다. 물체 측에 가장 인접한 제1렌즈(31)는 가장 큰 직경을 갖는 렌즈이며, 센서에 가장 인접한 제6렌즈(36)는 가장 작은 직경을 갖는 렌즈일 수 있다. 상기 검사 광학계(230)는 물체 측에서 센서 측을 향해 각 렌즈(31,32,33,34,35,36)의 직경이 점차 작아질 수 있다. 상기 직경은 광선이 진행되는 유효 직경일 수 있다.
상기 제1렌즈(31)는 물체측 제1면(S1)이 볼록이고, 센서측 제2면(S2)이 오목할 수 있다. 상기 제1렌즈(31)는 물체측 방향으로 볼록한 메니스커스(meniscus) 형상일 수 있다. 상기 제1렌즈(31)는 음의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제1렌즈(31)의 중심부 두께는 30 mm 이상이며 예컨대, 30 mm 내지 50 mm 범위이며, 광학계 내에서 가장 두꺼울 수 있다. 상기 제1렌즈(31)은 굴절률이 제2 내지 제4렌즈(32,33,34)보다 높은 고 굴절률이며, 아베수는 50 미만일 수 있다. 여기서, 상기 제1렌즈(31)는 직경이 200mm 이상의 렌즈일 수 있다. 상기 제1렌즈(31)는 물체와의 거리가 300mm 예컨대, 300mm 내지 450mm의 범위일 수 있다.
상기 제2렌즈(32)는 물체측 제3면(S3)이 볼록이고, 센서측 제4면(S4)이 오목일 수 있으며, 물체측으로 볼록한 메니스커스 형태이며 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제2렌즈(32)의 중심부 두께는 25 mm 이상이며 예컨대, 25 mm 내지 40 mm 범위이며, 굴절률이 제1렌즈(31)보다 낮은 저 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(31)보다 높은 50 이상일 수 있다.
상기 제3렌즈(33)는 제2,4렌즈(32,34) 사이에 배치되며, 상기 제3렌즈(33)는 물체측 제5면(S5)이 볼록이고, 센서측 제6면(S6)이 볼록할 수 있다. 상기 제3렌즈(33)는 물체측 및 센서측으로 볼록한 형상이며, 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제3렌즈(33)의 중심부 두께는 25 mm 이상이며, 예컨대 25mm 내지 40mm 범위이며, 제1렌즈(31)의 중심부 두께보다 작을 수 있다. 상기 제3렌즈(33)의 굴절률이 제1렌즈(31)보다 낮은 저 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(31)보다 높은 50 이상일 수 있다.
상기 제4렌즈(34)는 물체측 제7면(S7)이 오목이고, 센서측 제8면(S8)이 오목할 수 있다. 상기 제4렌즈(34)는 음의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제4렌즈(34)의 중심부 두께는 25 mm 이상이며, 예컨대 25mm 내지 40mm 범위이며, 제3렌즈(33)의 중심부 두께보다 작고 제5렌즈(35)의 중심부 두께보다 클 수 있다. 상기 제4렌즈(34)의 굴절률이 제1렌즈(31)보다 낮은 저 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(31)보다 낮은 50 이하일 수 있다.
상기 제5렌즈(35)는 제4렌즈(34)와 제6렌즈(36) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제5렌즈(35)는 물체측 제9면(S9)이 볼록이고, 센서측 제10면(S10)이 오목할 수 있다. 상기 제5렌즈(35)는 중심부 두께가 가장 얇을 수 있으며, 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제5렌즈(35)의 중심부 두께는 30 mm 이하이며, 예컨대 20mm 내지 30mm 범위이며, 제6렌즈(36)의 중심부 두께보다 3mm 이상 차이를 갖고 작을 수 있다. 상기 제5렌즈(35)의 굴절률이 제2렌즈(32)보다 높은 고 굴절률이며, 아베수는 제3렌즈(33)보다 낮은 50 미만일 수 있다.
상기 제6렌즈(36)는 제5렌즈(35)와 복수의 카메라 모듈(310,320,330) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제6렌즈(36)는 물체측 제11면(S11)이 볼록이고, 센서측 제12면(S12)이 볼록할 수 있다. 상기 제6렌즈(36)는 양의 굴절력을 가질 수 있다. 상기 제6렌즈(36)의 중심부 두께는 25 mm 이상이며, 예컨대 25mm 내지 40mm 범위이다. 상기 제6렌즈(36)의 굴절률이 제1,4,5렌즈(31,34,35)의 굴절률보다 낮은 저 굴절률이며, 아베수는 제1렌즈(31)보다 높은 50 이상일 수 있다. 상기 제6렌즈(36)를 통과한 주 광선(chief ray)들은 상기 카메라 모듈(31,320,330)의 각 렌즈 광학계로 집광될 수 있다.
곡률 반경을 보면, 절대 값으로 나타낼 경우, 제3렌즈(33)의 제6면(S6)의 곡률 반경은 1000mm 이상으로서, 가장 클 수 있고, 제1렌즈(31)의 제1면(S1)과 제4렌즈(34)의 제7면(S6)이 300mm 이상 예컨대, 300mm 내지 350mm 범위로 제공되고, 제8면(S8)은 135mm 미만으로 가장 작은 곡률 반경을 가질 수 있다. 아베수(Vd)를 보면, 제2,3,6렌즈(32,33,36)는 55 이상으로서, 다른 렌즈들의 아베수보다 높으며, 제1,4,5렌즈(31,34,35)는 50 미만일 수 있다.
상기 검사 광학계(230)의 렌즈 데이터의 제3예는 표 3과 같다.
렌즈 면 곡률반경 두께/간격 굴절률 아베수 파워
제1렌즈 S1 317.70470 45.82156 1.77250 49.62430 -362.25726
S2 139.76428 58.02344 　 　 　
제2렌즈 S3 135.69131 33.71765 1.51680 64.19830 2960.161166
S4 136.21209 19.96589 　 　 　
제3렌즈 S5 190.00057 37.34658 1.51680 64.19830 327.700286
S6 -1505.22664 5.74990 　 　 　
제4렌즈 S7 -327.14566 30.94573 1.62374 47.00090 -143.461186
S8 128.55372 1.32112 　 　 　
제5렌즈 S9 139.53006 26.03976 1.74950 35.04270 343.61513
S10 277.86133 0.60854 　 　 　
제6렌즈 S11 277.42276 30.32467 1.51680 64.19830 248.018372
S12 -230.94880 10.60379 　 　 　
Stop infinity Infinity 3.10198 　 　
Image infinity Infinity 0.00000 　 　
상기 검사 광학계(230)은 복수의 카메라 모듈(310,320,330)의 서로 다른 광학계를 통해 주 광선을 제공하여, 렌즈 광학계 각각에 대해 동시에 검사 측정할 수 있다. 이에 따라 카메라 모듈들의 검사 시간이 2배 이상 단축되며 공정의 효율을 증대할 수 있다.
발명의 실시 예에 의하면, 검사 광학계(210,220,230)에서 제1렌즈(11,21,31)는 음의 굴절력을 가지며, 제6렌즈(16,26,36)는 양의 굴절력을 가질 수 있다. 또한 상기 제1면(S1)은 평면이거나 볼록한 곡면을 가지며, 제12면(S12)은 센서측으로 볼록한 면을 가질 수 있다.
상기 검사 광학계(210,220,230)는 수식 1를 만족할 수 있다.
<수식 1>
-0.6 ≤ rS12/f ≤ -0.1
상기 rs12는 제12면(S12)이 볼록한 곡률 반경이며, f는 검사 광학계의 초점 거리이다. 상기 제12면(S12)가 볼록 면이면, 측정 렌즈 광학계들이 광축과 수직인 방향으로 이동되더라도, 렌즈 광학계간의 간섭이 발생되지 않을 수 있다. 상기 수식 1의 조건이 상기 범위보다 작으면 제12면(S12)의 굴절능이 강해져 검사 광학계의 워킹 거리(Working distance)의 확보가 어렵고, 상기 범위보다 크면 제12면(S12)이 평면이거나 오목면이 되어 렌즈 조정 기구물이 렌즈 광학계와 간섭이 발생될 수 있다.
상기 검사 광학계(210,220,230)는 수식 2를 만족할 수 있다.
<수식 2>
0.1 ≤ to/f ≤ 0.8
상기 to는 전자 챠트와 검사 광학계 사이의 거리이며, 상기 수식 2의 조건이 상기 범위보다 크면 해상력 챠트와 광학계 사이의 거리가 멀어지게 되고, 이는 해상력 챠트의 크기가 커지는 문제가 발생될 수 있으며, 상기 범위보다 작으면 검사 광학계의 설계가 어려워질 수 있다. 상기 to를 보면, 제1예 및 제3예는 360mm이며, 제2예는 274mm이다. 상기 f를 보면, 상기 제1예는 518.491이며, 상기 제2예는 1041.935이며, 상기 제3예는 969.553이다.
상기 검사 광학계(210,220,230)는 수식 3을 만족할 수 있다.
<수식 3>
-0.5 ≤ f1/f ≤ -0.05
상기 f1는 제1렌즈의 초점 거리이며, f는 검사 광학계의 초점 거리로서, 두 초점 거리는 콜리메이터에서 해상력 검사 거리를 줄이기 위한 값으로, 콜리메이터의 화각 즉, 검사 광학계의 화각이 커야 검사 거리를 줄일 수 있다. 이를 위해, 제1렌즈(11,21,31)는 음의 초점 거리를 가질 수 있다. 상기 수식 3의 조건이 상기 범위보다 크면 제1렌즈가 볼록 렌즈가 되거나 평면이 되는 조건이며, 상기 범위보다 작으면 강의 음의 굴절력으로 구현해야 하는 데, 이 경우 콜리메이터의 수차가 증가하여 검사 광학계의 성능이 낮아질 수 있다. 상기 f1은 제1예에서 -177.561이며, 제2예에서 -181.545mm이며, 제3예에서 -362.257mm이다.
상기 검사 광학계(210,220,230) 내의 렌즈들 중에서 양의 굴절력을 가진 렌즈 매수는 음의 굴절력을 갖는 렌즈 매수보다 많을 수 있으며, 예컨대 2배 이상일 수 있다. 또한 검사 광학계(210,220,230)에서 사용된 렌즈들은 굴절률이 1.8 이하로 사용될 수 있으며, 이는 큰 구경으로 인해 낮은 굴절률을 사용하여 가격 경쟁력을 높일 수 있다.
발명의 실시 예에 따른 복수의 카메라 모듈을 동시에 검사하는 검사 광학계는 200mm 이상의 대구경의 콜리메이터 렌즈를 사용하여 근거리와 원거리를 동시에 측정할 수 있다. 또한 고정된 검사 광학계를 광축으로 이동되는 전자 챠트부를 통해 MTF 측정이 가능하여, 카메라 모듈 내에서 렌즈 광학계가 이미지 센서 상에서 틸트 여부를 검증할 수 있고, 렌즈 접착에 따른 에폭시 수축 문제를 검증할 수 있다.
이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 전자 챠트부
110: 광원
120: 전자 챠트
200,210,220,230: 검사 광학계
300: 카메라부
310,320,330: 카메라 모듈
311,321,331: 렌즈 광학계
312,322,332: 이미지 센서

Claims (11)

  1. 전자 챠트와 복수의 렌즈 광학계 사이에 배치되며, 물체 측에서 센서 측을 향해 제1 내지 제6렌즈가 광축으로 정렬된 검사 광학계를 포함하며,
    상기 제1렌즈는 음의 굴절력을 갖고, 물체측 제1면이 광축 상에서 평면 또는 볼록이며,
    상기 렌즈 광학계들 각각에 가장 가까운 제6렌즈는 양의 굴절력을 가지며, 센서측 제12면이 광축 상에서 볼록하며,
    상기 제1 내지 제6렌즈 중에서 양의 굴절력을 가진 렌즈 매수는 음의 굴절력을 갖는 렌즈 매수보다 많은, 검사 광학계.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2렌즈는 상기 제1렌즈와 상기 제3렌즈 사이에 배치되며, 양의 굴절력을 가지며,
    상기 제3렌즈는 상기 제2렌즈와 상기 제4렌즈 사이에 배치되며, 양의 굴절력을 가지며,
    상기 제4렌즈는 상기 제3렌즈와 상기 제5렌즈 사이에 배치되며, 음의 굴절력을 가지며,
    상기 제5렌즈는 상기 제4렌즈와 상기 제6렌즈 사이에 배치되며, 양의 굴절력을 갖는, 검사 광학계.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1렌즈에서 상기 제6렌즈의 직경은 상기 제1렌즈가 가장 크고 상기 제6렌즈가 가장 작은, 검사 광학계.
  4. 제3항에 있어서,
    직경이 상기 제1렌즈에서 상기 제6렌즈로 갈수록 점차 작아지는, 검사 광학계.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1렌즈는 물체측 제1면이 평면이며, 센서측 제2면이 오목하며,
    상기 제2렌즈는 물체측 제3면이 볼록하며, 센서측 제4면이 평면 또는 오목하며,
    상기 제3렌즈는 물체측 제5면이 볼록이며, 센서측 제6면이 오목하며,
    상기 제4렌즈는 물체측 제7면이 오목하며, 센서측 제8면이 오목하며,
    상기 제5렌즈는 물체측 제9면이 볼록하며, 센서측 제10면이 오목하며,
    상기 제6렌즈는 물체측 및 센서측이 제11면 및 제2면이 볼록한, 검사 광학계.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1렌즈는 물체와의 거리가 200mm 이상이며,
    상기 제1렌즈의 직경은 200mm 이상이며,
    상기 제6렌즈와 상기 렌즈 광학계들 사이의 간격은 2.5mm 이상인, 검사 광학계.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사 광학계는 수식 1를 만족하며,
    <수식 1>
    -0.6 ≤ rS12/f ≤ -0.1
    상기 rs12는 제12면의 볼록한 곡률 반경이며, 상기 f는 검사 광학계의 초점 거리인 검사 광학계.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사 광학계는 수식 2를 만족하며,
    <수식 2>
    0.1 ≤ to/f ≤ 0.8
    상기 to는 전자 챠트와 검사 광학계 사이의 거리이며, 상기 f는 검사 광학계의 초점 거리인, 검사 광학계.
  9. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사 광학계는 수식 3를 만족하며,
    <수식 3>
    -0.5 ≤ f1/f ≤ -0.05
    상기 f1는 제1렌즈의 초점 거리이며, 상기 f는 검사 광학계의 초점 거리인 검사 광학계.
  10. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제6렌즈의 굴절률은 1.8 이하인 검사 광학계.
  11. 광원 및 전자 챠트를 갖는 전자 챠트부;
    검사 대상인 복수의 카메라 모듈;
    상기 전자 챠트부와 복수의 카메라 모듈 사이에 콜리메이터 렌즈를 갖는 검사 광학계를 포함하며,
    상기 검사 광학계는 청구항 제1항 내지 제4항 중 어느 하나인, 카메라 모듈 검사 장치.
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