KR20230027399A - A UltraSonic Transducer Array - Google Patents
A UltraSonic Transducer Array Download PDFInfo
- Publication number
- KR20230027399A KR20230027399A KR1020210109121A KR20210109121A KR20230027399A KR 20230027399 A KR20230027399 A KR 20230027399A KR 1020210109121 A KR1020210109121 A KR 1020210109121A KR 20210109121 A KR20210109121 A KR 20210109121A KR 20230027399 A KR20230027399 A KR 20230027399A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- vibrator
- bridge
- plate
- vibrators
- substrate
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/16—Mounting or tensioning of diaphragms or cones
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 초음파 트랜스듀서 어레이에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 압전세라믹이 부착된 진동자의 증폭으로 발생되는 음파의 세기를 안정적으로 강하게 발생시킬 수 있는 초음파 트랜스듀서 어레이에 관한 것이다. The present invention relates to an ultrasonic transducer array, and more particularly, to an ultrasonic transducer array capable of stably and strongly generating the intensity of sound waves generated by amplification of vibrators to which piezoelectric ceramics are attached.
종래의 초음파 트랜스듀서는 크게 압전소자 방식 및 정전 용량형 방식으로 나뉜다. 두 방식 모두 전기적 펄스를 가하게 되면, 공진 주파수에 해당하는 초음파를 발산하게 된다. 초음파 수신 시에는 외부 초음파에 의한 소자의 진동을 전기적인 신호로 변환시키고 이를 증폭한 신호를 이용한다.Conventional ultrasonic transducers are largely divided into a piezoelectric element type and a capacitive type type. When an electrical pulse is applied in both methods, ultrasonic waves corresponding to a resonant frequency are emitted. When receiving ultrasonic waves, the vibration of the element by external ultrasonic waves is converted into an electrical signal, and the amplified signal is used.
일반적인 초음파트랜스듀서의 경우 진동자가 자유진동을 할 때 진동자의 변위가 최소가 되는 부위를 연질의 접착제로 다른 고정체에 고정시키므로 자유진동에서 진동자의 중심부와 모서리부의 진동방향이 반대가 되어 초음파의 진행방향으로는 발생되는 초음파가 너무 작아 중심부에 혼을 부착하여 혼의 움직임에 의해 발생되는 진동으로 음향진동효과를 얻어 냈다. In the case of a general ultrasonic transducer, when the vibrator vibrates freely, the area where the displacement of the vibrator is minimized is fixed to another fixture with a soft adhesive, so the vibration direction of the center and corner portions of the vibrator are reversed in free vibration, so the ultrasonic wave proceeds Since the ultrasonic wave generated in the direction is too small, a horn was attached to the center to obtain an acoustic vibration effect with the vibration generated by the movement of the horn.
그러나, 종래 기술에서는 다음과 같은 문제점이 있었다. However, the prior art had the following problems.
진동자의 변위가 가장 큰 진동자의 중심 부에 혼이 접착되므로 연속되는 진동으로 인한 혼의 탈락이 발생되어 내구성이 떨어지는 문제와 진동자가 여러개로 구성되는 경우, 각각의 진동자를 제어하여 음압 발생이 최대로 할 수 있는 수단이 없다는 문제점이 있었다. Since the horn is attached to the center of the vibrator where the displacement of the vibrator is greatest, the horn is dropped due to continuous vibration, resulting in poor durability, and when multiple vibrators are configured, each vibrator can be controlled to generate the maximum sound pressure. The problem was that there was no means available.
상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 여러개의 진동자가 안정적으로 동작하여 음압 발생이 최대가 되고, 내구성이 높은 초음파 트랜스듀서 어레이를 제공하는 것이다. In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide an ultrasonic transducer array with high durability and maximum sound pressure generation by stably operating several vibrators.
상술한 목적을 달성하기 위한 것으로, 본 발명인 초음파 트랜스듀서 어레이는, 기판과, 판상으로 형성되어 진동을 발생하는 진동자가 상기 기판의 상방에 여러개의 수평으로 배치되고, 상기 각각의 진동자 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성되는 브릿지가 형성되는 진동자부와, 상기 기판의 상면에 마련되어, 상기 진동자부의 각각의 진동자와 상기 브릿지부의 연결지점을 하방에서 지지하는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, in the ultrasonic transducer array of the present invention, a substrate, a plurality of plate-shaped vibrators generating vibrations are horizontally arranged above the substrate, and horizontally between each of the vibrators It is characterized in that it includes a vibrator unit on which a plate-shaped bridge is formed, and a fixing unit provided on an upper surface of the substrate and supporting a connection point of each vibrator unit and the bridge unit from below.
상기 진동자부의 진동자는, 다각판으로 구성되고, 상기 각각의 진동자의 꼭지점 사이를 상기 브릿지부가 연결하는 것을 특징으로 한다. The vibrator of the vibrator unit is composed of a polygonal plate, and the bridge unit connects vertices of the respective vibrators.
상기 진동자는 사각판으로 형성되고, 상기 브릿지부는 서로 인접하는 4개의 진동자 모서리를 십자모양으로 연결하는 것을 특징으로 한다. The vibrator is formed of a rectangular plate, and the bridge unit connects four edges of the vibrator adjacent to each other in a cross shape.
상기 브릿지부와 상기 진동자부의 상방에 방음판이 더 구비되고, 상기 진동자부의 상방은 개방되는 것을 특징으로 한다. A sound insulation plate is further provided above the bridge part and the vibrator part, and an upper part of the vibrator part is opened.
그리고, 본 발명의 다른 실시예인 초음파 트랜스듀서 어레이는, 기판과, 판상으로 형성되어 진동을 발생하는 제 1진동자가 상기 기판의 상방에 여러개의 수평으로 배치되고, 상기 각각의 제 1진동자 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성되는 제 1브릿지가 형성되는 제 1진동자부와, 상기 기판의 상면에 마련되어, 상기 제 1진동자부의 각각의 제 1진동자와 상기 제 1브릿지의 연결지점을 하방에서 지지하는 제 1고정부와, 판상으로 형성되어 진동을 발생하는 제 2진동자가 상기 제 1브릿지의 상방에 여러개의 수평으로 배치되고, 상기 각각의 제 2진동자 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성되는 제 2브릿지가 상기 제 1진동자의 상방에 형성되는 제 2진동자부와, 상기 제 1고정부의 상면에 마련되어, 상기 제 2진동자부의 각각의 제 2진동자와 상기 제 2브릿지의 연결지점을 하방에서 지지하는 제 2고정부를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, in the ultrasonic transducer array according to another embodiment of the present invention, a substrate and a plurality of first vibrators generating vibrations formed in a plate shape are arranged horizontally above the substrate, and horizontally between each of the first vibrators. A first vibrator unit on which a first bridge formed by a plate-shaped bar is formed, and is provided on the upper surface of the substrate to support the connection point of each first vibrator unit and the first bridge of the first vibrator unit from the lower side. A first fixing part formed in a plate shape and a plurality of second vibrators generating vibrations are horizontally arranged above the first bridge, and formed as a plate-shaped bar horizontally connecting each of the second vibrators. A second bridge is provided on the upper surface of the second vibrator part formed above the first vibrator and the first fixing part, so that the connection point between the second vibrator of each of the second vibrator and the second bridge is lowered. It is characterized in that it comprises a second fixing portion supported by.
본 발명인 초음파 트랜스듀서 어레이에서는 다음과 같은 효과가 있다. The ultrasonic transducer array of the present invention has the following effects.
진동자와 진동자가 연결되는 부분에 브릿지를 두고, 브릿지와 진동자가 연결되는 부분에 기판과 수직으로 연결되는 고정부를 두어 불필요한 진동을 잡고, 또한 대각선 방향으로 위치하는 진동자 사이에 브릿지를 십자모양으로 구성하여 진동자 전체의 변위의 합을 최대로 하고 불필요한 진동은 최소로 하여 진동자 어레이 전체의 음압을 올려주고 진동자 고정점의 변위를 최소가 되게 하여 전체 어레이의 내구성이 높아지는 이점이 있다. A bridge is placed at the part where the vibrator and the vibrator are connected, and a fixing part vertically connected to the substrate is placed at the part where the bridge and the vibrator are connected to catch unnecessary vibration, and the bridge is formed in a cross shape between the vibrators located in the diagonal direction. Thus, the sum of the displacements of the entire vibrator is maximized and unnecessary vibrations are minimized to increase the sound pressure of the entire vibrator array, and the displacement of the fixed point of the vibrator is minimized to increase durability of the entire array.
도 1은 본 발명에 의한 초음파 트랜스듀서 어레이의 바람직한 실시예를 보인 평면도.
도 2는 본 발명에 의한 초음파 트랜스듀서 어레이의 구성을 보인 사시도.
도 3은 본 발명에 의한 초음파 트랜스듀서 어레이의 구성을 보인 측면도.
도 4는 본 발명에 의한 초음파 트랜스듀서 어레이의 +전압 인가시 변위를 보인 동작상태도.
도 5는 본 발명에 의한 초음파 트랜스듀서 어레이의 -전압 인가시 변위를 보인 동작상태도.
도 6은 본 발명에 의한 초음파 트랜스듀서 어레이의 제 2실시예를 보인 측면도.
도 7은 본 발명에 의한 초음파 트랜스듀서 어레이의 제 3실시예를 보인 측면도.1 is a plan view showing a preferred embodiment of an ultrasonic transducer array according to the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing the configuration of the ultrasonic transducer array according to the present invention.
Figure 3 is a side view showing the configuration of the ultrasonic transducer array according to the present invention.
Figure 4 is an operating state diagram showing the displacement when + voltage is applied to the ultrasonic transducer array according to the present invention.
Figure 5 is an operating state diagram showing the displacement when a -voltage is applied to the ultrasonic transducer array according to the present invention.
Figure 6 is a side view showing a second embodiment of the ultrasonic transducer array according to the present invention.
Figure 7 is a side view showing a third embodiment of the ultrasonic transducer array according to the present invention.
이하, 본 발명에 의한 초음파 트랜스듀서 어레이의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the ultrasonic transducer array according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 본 발명인 초음파 트랜스듀서 어레이는, 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(10)과, 판상으로 형성되어 진동을 발생하는 진동자(22)가 상기 기판(10)의 상방에 여러개의 수평으로 배치되고, 상기 각각의 진동자(22) 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성되는 브릿지(24)가 형성되는 진동자부(20)와, 상기 기판(10)의 상면에 마련되어, 상기 진동자부(20)의 각각의 진동자(22)와 상기 브릿지부(24)의 연결지점을 하방에서 지지하는 고정부(30)을 포함한다. First, in the ultrasonic transducer array of the present invention, as shown in FIGS. 1 and 3 , a
먼저, 본 발명인 초음파 트랜스듀서 어레이에는 기판(10)이 마련된다. 상기 기판(10)은 판상으로 형성되어 아래에서 설명될 각종구성들이 상면에 실장되는 공간을 제공하는 역할을 한다. First, a
상기 기판(10)에는 진동자부(20)가 마련된다. 상기 진동자부(20)는 도 1에 도시된 바와 같이, 판상으로 형성되는 진동자(22)가 여러개가 일정한 간격으로 수평으로 배치된다. A
상기 진동자(22)는, 진동을 발생하는 압전부(22b)와, 판상으로 형성되어 중앙에 상기 압전부(22b)가 부착되는 진동판(22a)을 포함하여 이루어진다. The
상기 진동자(22)에는 압전부(22b)가 마련된다. 상기 압전부(22b)는 전기적신호가 인가되면 진동을 발생하는 역할을 한다. 상기 압전부(22b)는 압전소자(piezoelectric element)로 구성될 수 있다. The
상기 압전부(22b)에는 진동판(22a)이 마련된다. 상기 진동판(22a)은 판상으로 형성되어 일측면에 상기 압전부(22b)가 부착된다. 상기 진동판(22a)은 상기 압전부(22b)에서 발생하는 진동을 증폭하는 역할을 한다. A
그리고, 상기 진동자(22) 사이에는 브릿지(24)가 마련된다. 상기 브릿지(24)는 상기 각각의 진동자(22) 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성된다. 상기 브릿지(24)는 상기 진동자(22)의 진동판(22a)과 서로 다른 진동자(22)의 진동판(22a) 사이를 수평으로 연결하는 것이다. A
상기 진동판(22a)은 다각형으로 형성될 수 있으며, 도 1에 도시된 바와 같이, 사각형으로 형성될 수 있다. 상기 브릿지(24)는 각각의 진동판(22a)의 꼭짓점에 대각선 방향으로 연장되어 다른 진동판(22a)의 꼭짓점과 연결되도록 구성될 수 있다. 상기 브릿지(24)는 도 1에 도시된 바와 같이 십자모양으로 형성될 수 있다. The
상기 브릿지(24)에는 질량체(미도시)가 더 마련될 수 있다. 상기 질량체는 상기 브릿지(24)의 일면에 고정되어, 상기 브릿지(24)의 진동변위와 구동주파수를 제어할 수 있다. A mass body (not shown) may be further provided on the
상기 브릿지(24)는 상기 진동자(22)의 대각선의 길이가 동일하게 구성할 수 있다. 이는 상기 브릿지(24)와 진동자(22)의 제어를 용이하게 하기 위함이다. 또한, 상기 진동자부(20)를 여러층 적층할 때 구조를 쉽게 제어하기 위함이다. The
그리고, 상기 기판(10)의 상면에는 고정부(30)가 마련된다. 상기 고정부(30)는 상기 기판(10)의 상면에 수직으로 돌출되도록 형성되어, 상기 진동자부(20)가 상기 기판(10)의 상면에 이격되어 고정되도록 한다. Also, a
상기 고정부(30)는 여러개가 형성되며, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 진동자(22)와 상기 브릿지(24)의 연결지점에 형성된다.
또한, 상기 브릿지(24)의 상방에는 방음판(40)이 더 마련될 수 있다. 상기 방음판(40)은 상기 브릿지(24)의 상방에 위치되어 상기 브릿지(24)에서 발생되는 진동을 상쇄시키는 역할을 한다. 상기 방음판(40)은 여러가지 방법으로 구성될 수 있으며, 도 6에 도시된 바와 같이 판상으로 형성되어 상기 진동자(22)의 위치부분은 개방되도록 하여 구성될 수 있다. In addition, a
그리고, 본 발명인 초음파 트랜스듀서 어레이의 다른 실시예는 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(50)과, 판상으로 형성되어 진동을 발생하는 제 1진동자(62)가 상기 기판(10)의 상방에 여러개의 수평으로 배치되고, 상기 각각의 제 1진동자(62) 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성되는 제 1브릿지(64)가 형성되는 제 1진동자부(60)와, 상기 기판(10)의 상면에 마련되어, 상기 제 1진동자부(60)의 각각의 제 1진동자(62)와 상기 제 1브릿지(64)의 연결지점을 하방에서 지지하는 제 1고정부(70)와, 판상으로 형성되어 진동을 발생하는 제 2진동자(82)가 상기 제 1브릿지(84)의 상방에 여러개의 수평으로 배치되고, 상기 각각의 제 2진동자(82) 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성되는 제 2브릿지(84)가 상기 제 1진동자(62)의 상방에 형성되는 제 2진동자부(80)와, 상기 제 1고정부(70)의 상면에 마련되어, 상기 제 2진동자부(80)의 각각의 제 2진동자(82)와 상기 제 2브릿지(84)의 연결지점을 하방에서 지지하는 제 2고정부(90)를 포함하여 이루어질 수 있다. And, in another embodiment of the ultrasonic transducer array of the present invention, as shown in FIG. 7, the substrate 50 and the
먼저, 본 발명인 초음파 트랜스듀서 어레이에는 기판(50)이 마련된다. 상기 기판(50)은 판상으로 형성되어 아래에서 설명될 각종구성들이 상면에 실장되는 공간을 제공하는 역할을 한다. First, a substrate 50 is provided in the ultrasonic transducer array of the present invention. The substrate 50 is formed in a plate shape and serves to provide a space in which various components to be described below are mounted on the upper surface.
상기 기판(50)에는 제 1진동자부(60)가 마련된다. 상기 제 1진동자부(60)는 도 7에 도시된 바와 같이, 판상으로 형성되는 제 1진동자(62)가 여러개가 일정한 간격으로 수평으로 배치된다. A
상기 제 1진동자(62)는, 진동을 발생하는 제 1압전부(62b)와, 판상으로 형성되어 중앙에 상기 제 1압전부(62b)가 부착되는 제 1진동판(62a)을 포함하여 이루어진다. The
상기 제 1진동자(62)에는 제 1압전부(62b)가 마련된다. 상기 제 1압전부(62b)는 전기적신호가 인가되면 진동을 발생하는 역할을 한다. 상기 제 1압전부(62b)는 압전소자(piezoelectric element)로 구성될 수 있다. The
상기 제 1압전부(62b)에는 제 1진동판(62a)이 마련된다. 상기 제 1진동판(62a)은 판상으로 형성되어 일측면에 상기 제 1압전부(62b)가 부착된다. 상기 제 1진동판(62a)은 상기 제 1압전부(62b)에서 발생하는 진동을 증폭하는 역할을 한다. A
그리고, 상기 제 1진동자(62) 사이에는 제 1브릿지(64)가 마련된다. 상기 제 1브릿지(64)는 상기 각각의 제 1진동자(62) 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성된다. 상기 제 1브릿지(64)는 상기 제 1진동자(62)의 제 1진동판(62a)과 서로 다른 제 1진동자(62)의 제 1진동판(62a) 사이를 수평으로 연결하는 것이다. A
상기 제 1진동판(62a)은 다각형으로 형성될 수 있으며, 사각형으로 형성될 수 있다. 상기 제 1브릿지(64)는 각각의 제 1진동판(62a)의 꼭짓점에 대각선 방향으로 연장되어 다른 제 1진동판(62a)의 꼭짓점과 연결되도록 구성될 수 있다. 상기 제 1브릿지(64)는 십자모양으로 형성될 수 있다. The
상기 제 1브릿지(64)에는 질량체(미도시)가 더 마련될 수 있다. 상기 질량체는 상기 제 1브릿지(64)의 일면에 고정되어, 상기 제 1브릿지(64)의 진동변위를 제어할 수 있다. 상기 제 1브릿지(64)는 상기 제 1진동자(62)의 대각선의 길이가 동일하게 구성할 수 있다. A mass body (not shown) may be further provided on the
그리고, 상기 기판(50)의 상면에는 제 1고정부(70)가 마련된다. 상기 제 1고정부(70)는 상기 기판(50)의 상면에 수직으로 돌출되도록 형성되어, 상기 제 1진동자부(60)가 상기 기판(50)의 상면에 이격되어 고정되도록 한다. Also, a first fixing
상기 제 1고정부(70)는 여러개가 형성되며, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제 1진동자(62)와 상기 제 1브릿지(64)의 연결지점에 형성된다. Several first fixing
그리고, 상기 제 1진동자부(60)의 상방에는 제 2진동자부(80)가 마련된다. 상기 제 2진동자부(80)는 도 7에 도시된 바와 같이, 판상으로 형성되는 제 2진동자(82)가 여러개가 일정한 간격으로 수평으로 배치된다. Further, a
상기 제 2진동자(82)는, 진동을 발생하는 제 2압전부(82b)와, 판상으로 형성되어 중앙에 상기 제 2압전부(82b)가 부착되는 제 2진동판(82a)을 포함하여 이루어진다. The
상기 제 2진동자(82)에는 제 2압전부(82b)가 마련된다. 상기 제 2압전부(82b)는 전기적신호가 인가되면 진동을 발생하는 역할을 한다. 상기 제 2압전부(82b)는 압전소자(piezoelectric element)로 구성될 수 있다. The
상기 제 2압전부(82b)에는 제 2진동판(82a)이 마련된다. 상기 제 2진동판(82a)은 판상으로 형성되어 일측면에 상기 제 2압전부(82b)가 부착된다. 상기 제 2진동판(82a)은 상기 제 2압전부(82b)에서 발생하는 진동을 증폭하는 역할을 한다. A
그리고, 상기 제 2진동자(82) 사이에는 제 2브릿지(84)가 마련된다. 상기 제 2브릿지(84)는 상기 각각의 제 2진동자(82) 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성된다. 상기 제 2브릿지(84)는 상기 제 2진동자(82)의 제 2진동판(82a)과 서로 다른 제 2진동자(82)의 제 2진동판(82a) 사이를 수평으로 연결하는 것이다. And, a
상기 제 2진동판(82a)은 다각형으로 형성될 수 있으며, 사각형으로 형성될 수 있다. 상기 제 2브릿지(84)는 각각의 제 2진동판(82a)의 꼭짓점에 대각선 방향으로 연장되어 다른 제 2진동판(82a)의 꼭짓점과 연결되도록 구성될 수 있다. 상기 제 2브릿지(84)는 십자모양으로 형성될 수 있다. The
상기 제 2브릿지(84)에는 질량체(미도시)가 더 마련될 수 있다. 상기 질량체는 상기 제 2브릿지(84)의 일면에 고정되어, 상기 제 2브릿지(84)의 진동변위를 제어할 수 있다. 상기 제 2브릿지(84)는 상기 제 2진동자(82)의 대각선의 길이가 동일하게 구성할 수 있다. A mass body (not shown) may be further provided on the
그리고, 상기 제 1진동자부(60)의 상면에는 제 2고정부(90)가 마련된다. 상기 제 2고정부(90)는 상기 제 1진동자부(60)의 상면에 수직으로 돌출되도록 형성되어, 상기 제 2진동자부(80)가 상기 제 1진동자부(60)의 상면에 이격되어 고정되도록 한다. Also, a second fixing
상기 제 2고정부(90)는 여러개가 형성되며, 상기 제 2진동자(82)와 상기 제 2브릿지(84)의 연결지점에 형성된다, 보다 바람직하게는 상기 제 1고정부(70)의 상방에 상기 제 2고정부(90)가 위치되도록 할 수 있다. The
상기 제 1진동자부(60)와 상기 제 2진동자부(80)의 배치는 상기 제 1진동자(62)의 상방에 제 2브릿지(84)가 위치하고, 상기 제 1브릿지(64)의 상방에 제 2진동자(82)가 위치하도록 할 수 있다. 이는 제 1진동자부(60)와 제 2진동자부(80)에서 발생되는 음압이 극대화되도록 하기 위함이다. The arrangement of the
이와 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As such, it will be understood that the technical configuration of the present invention described above can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention by those skilled in the art to which the present invention pertains.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타나며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the embodiments described above should be understood as illustrative and not restrictive in all respects, and the scope of the present invention is indicated by the claims to be described later rather than the detailed description, and the meaning and scope of the claims and their All changes or modified forms derived from equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention.
10: 기판
20: 진동자부
22; 진동자
22a: 진동판
22b: 압전부
24: 브릿지
30: 고정부
40: 방음판
50: 기판
60: 제 1진동자부
62: 제 1진동자
62a: 제 1진동판
62b: 제 1압전부
64: 제 1브릿지
70: 제 1고정부
80: 제 2진동자부
82: 제 2진동자
82a: 제 2진동판
82b: 제 2압전부
84: 제 1브릿지
90: 제 1고정부
10: substrate 20: vibrator unit
22;
22b: piezoelectric part 24: bridge
30: fixing part 40: sound insulation board
50: substrate 60: first vibrator unit
62:
62b: first piezoelectric unit 64: first bridge
70: first fixing part 80: second vibrating part
82:
82b: second piezoelectric unit 84: first bridge
90: first fixing part
Claims (5)
판상으로 형성되어 진동을 발생하는 진동자가 상기 기판의 상방에 여러개의 수평으로 배치되고, 상기 각각의 진동자 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성되는 브릿지가 형성되는 진동자부; 및
상기 기판의 상면에 마련되어, 상기 진동자부의 각각의 진동자와 상기 브릿지부의 연결지점을 하방에서 지지하는 고정부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서 어레이.Board;
a plate-shaped vibrator unit in which a plurality of vibrators generating vibrations are horizontally disposed above the substrate, and a plate-shaped bridge connecting the vibrators horizontally to each other is formed; and
a fixing unit provided on an upper surface of the substrate and supporting a connection point between each vibrator of the vibrator unit and the bridge unit from below;
Ultrasonic transducer array, characterized in that it comprises a.
상기 진동자부의 진동자는,
다각판으로 구성되고, 상기 각각의 진동자의 꼭지점 사이를 상기 브릿지부가 연결하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서 어레이.According to claim 1,
The vibrator of the vibrator unit,
The ultrasonic transducer array, characterized in that composed of a polygonal plate, and the bridge unit connecting between the vertices of each of the vibrators.
상기 진동자는 사각판으로 형성되고, 상기 브릿지부는 서로 인접하는 4개의 진동자 모서리를 십자모양으로 연결하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서 어레이.According to claim 1,
The ultrasonic transducer array, characterized in that the vibrator is formed of a rectangular plate, and the bridge unit connects four vibrator corners adjacent to each other in a cross shape.
상기 브릿지부와 상기 진동자부의 상방에 방음판이 더 구비되고, 상기 진동자부의 상방은 개방되는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서 어레이.According to claim 1,
An ultrasonic transducer array, characterized in that a sound insulation plate is further provided above the bridge part and the vibrator part, and the upper part of the vibrator part is opened.
판상으로 형성되어 진동을 발생하는 제 1진동자가 상기 기판의 상방에 여러개의 수평으로 배치되고, 상기 각각의 제 1진동자 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성되는 제 1브릿지가 형성되는 제 1진동자부;
상기 기판의 상면에 마련되어, 상기 제 1진동자부의 각각의 제 1진동자와 상기 제 1브릿지의 연결지점을 하방에서 지지하는 제 1고정부;
판상으로 형성되어 진동을 발생하는 제 2진동자가 상기 제 1브릿지의 상방에 여러개의 수평으로 배치되고, 상기 각각의 제 2진동자 사이를 수평으로 연결하는 판상의 바로 형성되는 제 2브릿지가 상기 제 1진동자의 상방에 형성되는 제 2진동자부; 및
상기 제 1고정부의 상면에 마련되어, 상기 제 2진동자부의 각각의 제 2진동자와 상기 제 2브릿지의 연결지점을 하방에서 지지하는 제 2고정부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서 어레이.
Board;
A plurality of first vibrators formed in a plate shape and generating vibrations are disposed horizontally above the substrate, and a first vibrator formed with a first bridge formed of a plate-shaped bar that horizontally connects each of the first vibrators is formed. pride;
a first fixing part provided on an upper surface of the substrate and supporting a connection point between each first oscillator and the first bridge of the first oscillator part from below;
A plurality of second vibrators, which are formed in the shape of a plate and generate vibration, are horizontally arranged above the first bridge, and a second bridge formed of a plate-shaped bar that horizontally connects each of the second vibrators is the first bridge. a second vibrator unit formed above the vibrator; and
a second fixing part provided on an upper surface of the first fixing part and supporting a connection point between each second vibrator of the second vibrator part and the second bridge from below;
Ultrasonic transducer array, characterized in that it comprises a.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210109121A KR20230027399A (en) | 2021-08-19 | 2021-08-19 | A UltraSonic Transducer Array |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210109121A KR20230027399A (en) | 2021-08-19 | 2021-08-19 | A UltraSonic Transducer Array |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20230027399A true KR20230027399A (en) | 2023-02-28 |
Family
ID=85326555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020210109121A KR20230027399A (en) | 2021-08-19 | 2021-08-19 | A UltraSonic Transducer Array |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20230027399A (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101562828B1 (en) | 2015-02-17 | 2015-10-26 | 한양대학교 산학협력단 | Capacitive micromachined ultrasonic transducer with acoustic bolck |
-
2021
- 2021-08-19 KR KR1020210109121A patent/KR20230027399A/en active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101562828B1 (en) | 2015-02-17 | 2015-10-26 | 한양대학교 산학협력단 | Capacitive micromachined ultrasonic transducer with acoustic bolck |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101313628B (en) | Electroacoustic transducer | |
JP5474564B2 (en) | Piezoelectric element | |
CN103155590B (en) | Oscillator device and portable equipment | |
KR101181188B1 (en) | Sound reproducing apparatus | |
JP5939160B2 (en) | Oscillator and electronic device | |
JP3541322B2 (en) | Piezoelectric ultrasonic transducer | |
KR20230027399A (en) | A UltraSonic Transducer Array | |
US9853578B2 (en) | Ultrasonic generator | |
JP6432069B2 (en) | Focused ultrasonic generator | |
KR20230103727A (en) | Sound apparatus | |
JP2004349815A (en) | Parametric speaker | |
KR101765000B1 (en) | Piezoelectric transducer for a directive speaker and directive speaker including the transducer | |
KR20220000958U (en) | A Ultrasonic Transducer Assembly | |
JP2003033414A (en) | Ultrasonic beauty culture apparatus | |
JP2012217013A (en) | Oscillation device and electronic apparatus | |
KR102681850B1 (en) | A Ultrasonic Transducer Assembly | |
JP6020465B2 (en) | Oscillator | |
JP6248290B2 (en) | Focused ultrasonic generator | |
JP2013157740A (en) | Parametric speaker and manufacturing method of the same | |
RU49363U1 (en) | Piezoelectric Acoustic Transducer (OPTIONS) | |
JP4729941B2 (en) | Sonic sensor | |
JP2012029086A (en) | Electronic apparatus | |
JP2000253479A (en) | Ultrasonic vibration element | |
JP2023096829A (en) | Acoustic transducer, acoustic device, and ultrasonic wave oscillator | |
JPH11146476A (en) | Vibration source for echo sounder transmitter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right |