KR20230010581A - Spindle unit - Google Patents

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KR20230010581A
KR20230010581A KR1020220080509A KR20220080509A KR20230010581A KR 20230010581 A KR20230010581 A KR 20230010581A KR 1020220080509 A KR1020220080509 A KR 1020220080509A KR 20220080509 A KR20220080509 A KR 20220080509A KR 20230010581 A KR20230010581 A KR 20230010581A
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KR1020220080509A
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Inventor
히로유키 와타나베
Original Assignee
가부시기가이샤 디스코
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Abstract

The present invention is to prevent the residence of a processing fluid including processed waste in a gap between a cover and a spindle. A spindle unit (6) according to the present invention comprises: a casing (62) which surrounds a spindle (60) of which an axial direction is a vertical direction, and forms and supports an air bearing; a cover (65) in which a mount (73) is coupled to a tip of the spindle (60) protruding downward from a lower end of the casing (62), and which forms a gap (6027) between the cover and an external side surface of the spindle (60) exposed to a space between the lower surface of the casing (62) and the upper surface of the mount (73), and surrounds the spindle; and an air supply part (66) which is formed in the spindle (60), and supplies air into the gap (6027) by rotation of the spindle. The air supply part (66) includes; an entry path (667) which is open to an upper part of the spindle (60), and extends in the axial direction; and a radiation path (663) which extends in a radial direction of the spindle (60) from a lower end of the entry path (667), is open to an external side surface of the spindle (60), and is communicated with the gap (6027). Air sucked from the opening at the upper part of the rotating spindle (60) passes through the entry path (667) and the radiation path (663) and is released to the gap (6027) so as to clean the gap (6027).

Description

스핀들 유닛{SPINDLE UNIT}Spindle unit {SPINDLE UNIT}

본 발명은 스핀들 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a spindle unit.

예컨대 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 척 테이블이 유지한 피가공물을 연삭 지석으로 연삭하는 연삭 장치는, 환형의 연삭 지석을 스핀들의 선단에 연결한 마운트에 장착하고, 스핀들의 회전에 따라 회전하는 연삭 지석으로 피가공물을 연삭하고 있다.For example, as disclosed in Patent Literature 1, a grinding device for grinding a workpiece held by a chuck table with a grinding stone is mounted on a mount connected to the tip of a spindle, and rotates as the spindle rotates. The workpiece is being ground with a grinding wheel that is used.

이와 같이, 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 유닛은, 직립한 스핀들을 둘러싸는 케이싱과, 케이싱과 스핀들의 사이에 공급한 고압 에어로 구성하는 스러스트 에어 베어링 및 레이디얼 에어 베어링과, 케이싱의 하부로부터 돌출된 스핀들의 선단에 연결되고 상기 연삭 지석이 장착되는 마운트를 구비하고 있다. 또한, 스핀들 유닛은, 연삭 가공에서의 스핀들의 축방향의 큰 수직 하중을 받아낼 수 있도록 스러스트 에어 베어링을 넓은 면적으로 구성하고 있다.In this way, the spindle unit rotatably supporting the spindle includes a casing surrounding the upright spindle, a thrust air bearing and a radial air bearing composed of high-pressure air supplied between the casing and the spindle, and protruding from the lower portion of the casing. It is connected to the front end of the spindle and has a mount on which the grinding stone is mounted. In addition, the spindle unit has a thrust air bearing with a large area so that it can receive a large vertical load in the axial direction of the spindle in grinding.

특허문헌 1 : 일본특허공개 제2017-222003호 공보Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-222003

스핀들 유닛은, 스러스트 에어 베어링을 구성한 에어의 배기를 스핀들의 측면으로부터 분출시키고 있다. 그리고, 이 분출구를 가공 부스러기로부터 보호하기 위한 커버를 구비하고 있다.In the spindle unit, exhaust air constituting the thrust air bearing is ejected from the side surface of the spindle. And it is equipped with the cover for protecting this ejection port from processing waste.

그러나, 스핀들과 커버의 간극에 가공 부스러기를 포함하는 가공액이 진입하고, 그 후, 가공액이 건조하는 것에 의해 커버의 내측면과 스핀들의 외측면에 가공 부스러기가 고착되어 스핀들을 회전시킬 수 없게 된다고 하는 문제가 있다.However, machining fluid containing machining waste enters the gap between the spindle and the cover, and then, as the machining fluid dries, the machining waste adheres to the inner surface of the cover and the outer surface of the spindle, making it impossible to rotate the spindle. There is a problem with being

따라서, 스핀들 유닛에서는, 스핀들과 커버의 간극에 가공 부스러기를 포함한 가공액이 머무르지 않도록 하는 과제가 있다.Therefore, in the spindle unit, there is a problem of preventing the processing fluid containing the processing debris from staying in the gap between the spindle and the cover.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 선단에 가공구를 장착하는 마운트를 연결하고 연직 방향을 축방향으로 하는 스핀들과, 상기 스핀들을 둘러싸고 내측면으로부터 에어를 분사하여 에어 베어링을 형성하고 상기 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 케이싱을 구비하는 스핀들 유닛으로서, 상기 마운트는 상기 케이싱의 하단으로부터 하측으로 돌출된 상기 스핀들의 선단에 연결하고, 상기 케이싱의 하면과 상기 마운트의 상면의 사이에서 노출되는 상기 스핀들을 상기 스핀들의 외측면과의 사이에 간극을 형성하여 둘러싸는 커버와, 상기 스핀들의 내부에 형성되고, 상기 스핀들의 회전에 의해 상기 간극에 공기를 공급하는 공기 공급부를 구비하고, 상기 공기 공급부는, 상기 스핀들의 상부에 개구되어 상기 스핀들의 축방향으로 연장되는 진입로와, 상기 진입로의 하단으로부터 상기 스핀들의 직경 방향으로 연장되고 상기 스핀들의 외측면에 개구되어 상기 간극에 통하는 방사로를 구비하고, 상기 스핀들의 회전에 의해 상기 스핀들의 상부의 상기 개구로부터 상기 공기가 흡입되고, 상기 진입로 및 상기 방사로를 통과한 상기 공기가 상기 간극에 방출되어 상기 간극을 청소하는 스핀들 유닛이다.The present invention for solving the above problems, a spindle connecting a mount for mounting a processing tool on the tip and having an axial direction in the vertical direction, surrounding the spindle and injecting air from the inner surface to form an air bearing, and the spindle A spindle unit having a casing for rotatably supporting, wherein the mount is connected to the tip of the spindle protruding downward from the lower end of the casing, and the spindle exposed between the lower surface of the casing and the upper surface of the mount An air supply part formed inside the spindle and supplying air to the gap by rotation of the spindle, the air supply part comprising: An access road that is open above the spindle and extends in an axial direction of the spindle, and a radial path that extends from a lower end of the access road in a radial direction of the spindle and is open to an outer surface of the spindle and passes through the gap, A spindle unit in which the air is sucked in from the opening at the top of the spindle by rotation of the spindle, and the air that has passed through the entryway and the spinning path is discharged into the gap to clean the gap.

본 발명에 따른 스핀들 유닛은, 상기 간극에 상기 에어 베어링의 배기를 도입하면 바람직하다.In the spindle unit according to the present invention, exhaust from the air bearing is preferably introduced into the gap.

선단에 가공구를 장착하는 마운트를 연결하고 연직 방향을 축방향으로 하는 스핀들과, 스핀들을 둘러싸고 내측면으로부터 에어를 분사하여 에어 베어링을 형성하여 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 케이싱을 구비하는 본 발명에 따른 스핀들 유닛은, 마운트는 케이싱의 하단으로부터 하측으로 돌출된 스핀들의 선단에 연결하고, 케이싱의 하면과 마운트의 상면의 사이에서 노출되는 스핀들을 스핀들의 외측면과의 사이에 간극을 형성하여 둘러싸는 커버와, 스핀들의 내부에 형성되고, 스핀들의 회전에 의해 간극에 공기를 공급하는 공기 공급부를 구비하고, 공기 공급부는, 스핀들의 상부에 개구되어 스핀들의 축방향으로 연장되는 진입로와, 진입로의 하단으로부터 스핀들의 직경 방향으로 연장되고 스핀들의 외측면에 개구되어 간극에 통하는 방사로를 구비함으로써, 스핀들의 회전에 의해 스핀들의 상부의 개구로부터 공기가 흡입되고, 진입로 및 방사로를 통과한 공기가 간극에 방출되어 간극을 청소하는 것이 가능해진다. 즉, 스핀들을 회전시킴으로써 커버와 스핀들의 외측면 사이의 간극에 공기를 불어 넣을 수 있기 때문에, 간극에 진입한 예컨대 연삭 부스러기가 섞인 연삭수를 간극으로부터 배출시킬 수 있고, 또한 스핀들의 외측면과 커버의 내측면 사이에 연삭 부스러기가 고착되어 스핀들이 스크래치되는 등의 회전 불량이 생기게 하지 않도록 하는 것이 가능해진다.In the present invention, a spindle having a vertical direction as an axial direction by connecting a mount for mounting a processing tool to the tip, and a casing surrounding the spindle and injecting air from the inner surface to form an air bearing to rotatably support the spindle According to the spindle unit, the mount connects to the tip of the spindle protruding downward from the lower end of the casing, and surrounds the spindle exposed between the lower surface of the casing and the upper surface of the mount by forming a gap between the outer surface of the spindle A cover and an air supply part formed inside the spindle and supplying air to the gap by rotation of the spindle, the air supply part comprising: an access road that is open on the top of the spindle and extends in the axial direction of the spindle; and a lower end of the access road. By providing a spinning path extending in the radial direction of the spindle and opening on the outer surface of the spindle and passing through the gap, air is sucked in from the opening at the top of the spindle by rotation of the spindle, and the air passing through the entryway and the spinning path passes through the gap. It is released to make it possible to clean the gap. That is, since air can be blown into the gap between the outer surface of the cover and the spindle by rotating the spindle, grinding water mixed with grinding swarf, which has entered the gap, can be discharged from the gap, and furthermore, the outer surface of the spindle and the cover It becomes possible to prevent occurrence of rotation defects such as scratching of the spindle due to grinding swarf adhering between the inner surfaces of the spindle.

본 발명에 따른 스핀들 유닛은, 커버와 스핀들의 외측면 사이의 간극에 에어 베어링의 배기를 도입함으로써, 간극에 진입한 예컨대 연삭 부스러기가 섞인 연삭수를 간극으로부터 보다 확실하게 배출시킬 수 있어, 스핀들의 스크래치 등의 회전 불량이 생기게 하지 않도록 하는 것이 가능해진다.In the spindle unit according to the present invention, by introducing exhaust air from an air bearing into the gap between the cover and the outer surface of the spindle, grinding water mixed with, for example, grinding swarf, which has entered the gap can be more reliably discharged from the gap. It becomes possible to prevent occurrence of rotation defects such as scratches.

도 1은 본 발명에 따른 스핀들 유닛을 구비하는 연삭 기구를 도시하는 단면도이다.
도 2는 진입로가 스핀들의 둘레 방향으로 등간격을 두고 복수 형성되어 있는 경우의 도 1에 도시하는 스핀들 유닛의 a1-a2 단면도이다.
도 3은 진입로가 평면시 원환 통형인 경우의 도 1에 도시하는 스핀들 유닛의 a1-a2 단면도이다.
도 4는 스핀들의 커버에 대향하고 스핀들의 부착부의 외측면을 내측으로부터 외측을 향하게 하여 아래로 경사지도록 개구되어 있는 방사로를 설명하는 단면도이다.1 is a sectional view showing a grinding mechanism having a spindle unit according to the present invention.
Fig. 2 is a1-a2 sectional view of the spindle unit shown in Fig. 1 in the case where a plurality of access roads are formed at equal intervals in the circumferential direction of the spindle.
Fig. 3 is an a1-a2 sectional view of the spindle unit shown in Fig. 1 in the case where the access road is annular in plan view.
Fig. 4 is a cross-sectional view illustrating a spinning path that faces the cover of the spindle and is opened so as to be inclined downward with the outer surface of the attachment portion of the spindle facing outward from the inside.

도 1은, 도시하지 않은 척 테이블에 유지된 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 연삭하는 연삭 기구(7)이다. 그리고, 연삭 기구(7)는, 본 발명에 따른 스핀들 유닛(6)과, 스핀들 유닛(6)을 구성하는 스핀들(60)의 선단(하단)에 연결된 마운트(73)와, 마운트(73)의 하면에 장착되는 가공구인 연삭 휠(74)을 구비하고 있다.1 is a grinding mechanism 7 for grinding a workpiece such as a semiconductor wafer held on a chuck table (not shown). Then, the grinding mechanism 7 includes the spindle unit 6 according to the present invention, the mount 73 connected to the tip (lower end) of the spindle 60 constituting the spindle unit 6, and the mount 73 A grinding wheel 74 as a processing tool mounted on the lower surface is provided.

한편, 마운트(73)의 하면에 장착되는 가공구는, 예컨대 플래튼을 통해 장착되는 CMP 연마 패드, 혹은 드라이 연마 패드, 또는 피가공물을 선회하면서 절삭하는 절삭 바이트 등이어도 좋다.On the other hand, the processing tool mounted on the lower surface of the mount 73 may be, for example, a CMP polishing pad or dry polishing pad mounted via a platen, or a cutting tool that cuts while turning the workpiece.

원형 판상의 마운트(73)의 하면에 도시하지 않은 볼트 등에 의해 고정되는 연삭 휠(74)은, 휠 베이스(742)와, 휠 베이스(742)의 저면에 환형으로 배치된 대략 직방체형상의 복수의 세그멘트를 구비한다. 세그멘트는, 예컨대 레진 본드나 비트리파이드 본드(vitrified bond) 등으로 다이아몬드 지립 등이 고착되어 성형되어 있다. 그리고, 복수의 환형으로 나열된 세그멘트에 의해 환형의 연삭 지석(743)이 형성된다. 한편, 간극이 없는 원환형의 연삭 지석, 즉 소위 컨티뉴어스 배열의 연삭 지석을 휠 베이스(742)의 하면에 배치해도 좋다.The grinding wheel 74 fixed to the lower surface of the circular plate-shaped mount 73 by bolts or the like (not shown) includes a wheel base 742 and a plurality of substantially rectangular parallelepiped shapes arranged annularly on the lower surface of the wheel base 742. Provide segments. The segment is molded by fixing diamond abrasive grains or the like by, for example, a resin bond or a vitrified bond. Then, an annular grinding grindstone 743 is formed by a plurality of annularly arranged segments. On the other hand, an annular grinding wheel with no gaps, that is, a so-called continuously arranged grinding wheel may be disposed on the lower surface of the wheel base 742 .

마운트(73)의 내부에는, 연삭수 공급원(629)에 연통하여 연삭수의 통로가 되는 연삭수 분배로(733)가, 상면으로부터 내부에 들어가 내부에서 방사형으로 복수로 분기되도록 형성되어 있다. 또한, 휠 베이스(742)의 하면에는, 둘레 방향으로 균등한 간격을 두고 복수 개구되고, 연삭수 분배로(733)에 연통하여, 연삭 지석(743)의 주로 내측면을 향해 연삭수를 분사하는 분사구(746)가 형성되어 있다. 분사구(746)로부터 분사된 연삭수는, 연삭 지석(743)과 도시하지 않은 반도체 웨이퍼 등의 피가공물과의 접촉 부위에 공급되어 접촉 부위의 세정·냉각을 행한다.Inside the mount 73, a grinding water distribution path 733 communicating with the grinding water supply source 629 and serving as a passage of grinding water is formed so as to enter the inside from the top surface and branch radially from the inside. In addition, a plurality of openings are formed on the lower surface of the wheel base 742 at equal intervals in the circumferential direction, and communicate with the grinding water distribution path 733 to spray grinding water toward the main inner surface of the grinding wheel 743. An injection port 746 is formed. The grinding water jetted from the injection port 746 is supplied to a contact portion between the grinding stone 743 and a workpiece such as a semiconductor wafer (not shown) to clean and cool the contact portion.

스핀들 유닛(6)은, 선단(하단)에 연삭 휠(74)을 장착하는 마운트(73)를 연결하고 연직 방향(Z축 방향)을 축방향으로 하는 스핀들(60)과, 스핀들(60)을 둘러싸고 내측면으로부터 에어를 분사하여 에어 베어링을 형성하고 스핀들(60)을 회전 가능하게 지지하는 케이싱(62)을 구비한다.The spindle unit 6 connects the mount 73 for mounting the grinding wheel 74 to the front end (lower end), and the spindle 60 having the vertical direction (Z-axis direction) as the axial direction, and the spindle 60 It is provided with a casing 62 that surrounds and blows air from the inner surface to form an air bearing and rotatably supports the spindle 60 .

도 1에 도시된 바와 같이, 케이싱(62)에 비접촉으로 지지되는 스핀들(60)은, 원기둥형으로 형성되고 Z축 방향으로 연장된 장축부(600)와, 장축부(600)의 중단 위치에서 장축부(600)와 일체적으로 형성되고 장축부(600)로부터 직경 방향 외측을 향해 연장된 원형 판상의 플레이트부(601)와, 장축부(600)의 하부측에 장축부(600)로부터 직경 방향 외측을 향해 일체적으로 연장되고 마운트(73)가 부착되는 원형 판상의 부착부(602)를 구비하고 있다. 플레이트부(601) 및 부착부(602)와 케이싱(62)의 내측면 사이에는 작은 간극이 형성되어 있다.As shown in FIG. 1, the spindle 60 supported in a non-contact manner by the casing 62 has a long shaft portion 600 formed in a cylindrical shape and extended in the Z-axis direction, and at a position where the long shaft portion 600 stops. A circular plate-shaped plate portion 601 formed integrally with the long shaft portion 600 and extending radially outward from the long shaft portion 600, and a plate portion 601 formed on the lower side of the long shaft portion 600 from the long shaft portion 600 in the diameter direction. It has a circular plate-shaped attaching portion 602 integrally extending outward in the direction and to which the mount 73 is attached. A small gap is formed between the plate portion 601 and attachment portion 602 and the inner surface of the casing 62 .

도 1에 도시된 바와 같이, 스핀들(60)의 내부에는, 회전 중심을 지나서 연삭수의 통로가 되는 축내 수류로(609)가 Z축 방향으로 관통하여 형성되어 있다. 축내 수류로(609)는, 마운트(73) 내에 형성된 연삭수 분배로(733)에 연통하고 있다.As shown in Fig. 1, inside the spindle 60, an intraaxial water flow path 609 passing through the center of rotation and serving as a passage of grinding water is formed penetrating in the Z-axis direction. The in-shaft water passage 609 communicates with the grinding water distribution passage 733 formed in the mount 73 .

케이싱(62)의 천장판(620)의 중앙은, 스핀들(60)의 장축부(600)의 상단이 관통해 있고, 장축부(600)의 상단 상측에는, 예컨대 파이프 조인트(6204)가 설치되어 있다. 그리고, 파이프 조인트(6204)에 의해 지지된 물공급 파이프(625)가, 스핀들(60)의 축내 수류로(609)에 삽입되어 있다. 그리고, 물공급 파이프(625)의 상단측에는, 펌프 등으로 구성되고 연삭수(예컨대 순수)를 공급 가능한 연삭수 공급원(629)이 연통하고 있다. 한편, 스핀들 유닛(6)이 설치되는 가공 기구가 연마 기구인 경우에는, 연삭수 공급원(629) 대신에 연마액 공급원이 축내 수류로(609)에 연통한다.The upper end of the long shaft portion 600 of the spindle 60 passes through the center of the top plate 620 of the casing 62, and a pipe joint 6204 is provided above the upper end of the long shaft portion 600, for example. . Then, the water supply pipe 625 supported by the pipe joint 6204 is inserted into the in-axial water flow passage 609 of the spindle 60 . Further, a grinding water supply source 629 configured with a pump or the like and capable of supplying grinding water (for example, pure water) communicates with the upper end of the water supply pipe 625 . On the other hand, when the processing tool in which the spindle unit 6 is installed is a polishing tool, instead of the grinding water supply source 629, the polishing liquid supply source communicates with the in-shaft water passage 609.

도 1에 도시된 바와 같이, 예컨대 외형이 천장이 있는 대략 원통 형상으로 형성된 케이싱(62)은, 컴프레서 등으로 구성되는 에어 공급원(69)으로부터 공급되는 에어의 압력에 의해 스핀들(60)을 비접촉으로 지지하는 에어 베어링을 그 내부에 형성한다.As shown in FIG. 1, the casing 62 formed in a substantially cylindrical shape with a ceiling, for example, rotates the spindle 60 in a non-contact manner by the pressure of air supplied from an air supply source 69 composed of a compressor or the like. A supporting air bearing is formed therein.

상기 에어 베어링의 구체적인 구조에 관해 설명한다. 도 1에 도시하는 케이싱(62)의 하단 부분에는 스핀들(60)의 플레이트부(601)와 부착부(602) 사이에 들어가도록 환형 판상으로 형성된 에어 분사부(621)가 설치되어 있다. 스핀들(60)의 플레이트부(601)와 케이싱(62)의 에어 분사부(621) 사이, 스핀들(60)의 부착부(602)와 에어 분사부(621) 사이, 및 스핀들(60)의 장축부(600)의 외측면과 에어 분사부(621) 사이에는, 에어의 통로가 되는 작은 간극이 형성되어 있다. 에어 분사부(621)의 외면(상면, 하면 및 내주면)에는 도시하지 않은 다수의 분사구가 형성되어 있고, 각 분사구는 에어 분사부(621) 내의 에어 유로(6213) 및 외부 배관을 통해 에어 공급원(69)에 접속되어 있다.The specific structure of the air bearing is described. At the lower end of the casing 62 shown in FIG. 1, an air blowing portion 621 formed in an annular plate shape is provided so as to be inserted between the plate portion 601 and the attaching portion 602 of the spindle 60. Between the plate portion 601 of the spindle 60 and the air blowing portion 621 of the casing 62, between the attachment portion 602 and the air blowing portion 621 of the spindle 60, and the long axis of the spindle 60 A small gap serving as an air passage is formed between the outer surface of the portion 600 and the air blowing portion 621 . A plurality of jetting holes (not shown) are formed on the outer surface (upper surface, lower surface, and inner circumferential surface) of the air blowing part 621, and each blowing hole is an air supply source ( 69) is connected.

도 1에 도시하는 에어 공급원(69)으로부터 공급된 고압 에어가, 상기 에어 유로(6213)를 지나서 에어 분사부(621)의 각 분사구로부터 간극을 통해 스핀들(60)의 외면에 분사됨으로써, 스핀들(60)이 케이싱(62)에 대하여 고압 에어를 통해 부동 지지된다. 이것에 의해, 케이싱(62) 내에 레이디얼 에어 베어링과 스러스트 에어 베어링이 형성되고, 레이디얼 에어 베어링과 스러스트 에어 베어링에 의해 직경 방향 및 축방향에서 스핀들(60)의 외측면이 회전 가능하게 지지된다. 이때, 스러스트 에어 베어링에 의해 넓은 범위에서 스핀들(60)의 플레이트부(601)와 부착부(602)가 부동 지지되고 있기 때문에, 스핀들(60)에 대하여 스러스트 방향(Z축 방향)으로 작용하는 가공 부하(수직 하중)가 적절하게 분산되어 있다.The high-pressure air supplied from the air supply source 69 shown in FIG. 1 passes through the air passage 6213 and is injected from each injection port of the air injection unit 621 to the outer surface of the spindle 60 through a gap, thereby causing the spindle ( 60) is supported floating against the casing 62 via high-pressure air. Thereby, a radial air bearing and a thrust air bearing are formed in the casing 62, and the outer surface of the spindle 60 is rotatably supported in the radial and axial directions by the radial air bearing and the thrust air bearing. . At this time, since the plate portion 601 and the attachment portion 602 of the spindle 60 are floating-supported in a wide range by the thrust air bearing, processing acting on the spindle 60 in the thrust direction (Z-axis direction) The load (vertical load) is properly distributed.

도 1에 도시하는 스핀들(60)을 회전 구동시키는 회전 구동원(63)은, 예컨대 스핀들(60)의 장축부(600)의 상단측의 측면에 접속된 로터(632)와, 로터(632)의 외측에서 케이싱(62)의 내측면에 수냉 라디에이터(633)를 통해 설치된 스테이터(634)를 구비한 모터이다. 스테이터(634)에는, 회전 구동원(63)에 소정의 전력을 공급하는 도시하지 않은 전원이 접속되어 있다. 회전 구동원(63)은, 스테이터(634)에 전압이 인가되는 것에 의해 로터(632)를 회전시켜, 로터(632)가 장착된 스핀들(60)을 회전시킨다. 수냉 라디에이터(633)는 회전 구동원(63)의 발열을 억제한다.The rotation drive source 63 for rotationally driving the spindle 60 shown in FIG. 1 includes, for example, a rotor 632 connected to a side surface on the upper end side of the long shaft portion 600 of the spindle 60, and a rotor 632. It is a motor having a stator 634 installed through a water cooling radiator 633 on the inner surface of the casing 62 from the outside. The stator 634 is connected to a power source (not shown) that supplies predetermined power to the rotation drive source 63 . The rotation drive source 63 rotates the rotor 632 by applying a voltage to the stator 634, and rotates the spindle 60 to which the rotor 632 is mounted. The water cooling radiator 633 suppresses heat generated by the rotary driving source 63 .

스핀들(60)의 선단측(하단측)인 부착부(602)는, 그 전체가 케이싱(62)의 하단으로부터 하측으로 돌출되어 있고, 마운트(73)는, 부착부(602)의 평탄한 하면에 연결되어 있다.The attachment portion 602, which is the tip side (lower end side) of the spindle 60, protrudes downward from the lower end of the casing 62 as a whole, and the mount 73 is attached to the flat lower surface of the attachment portion 602. connected.

스핀들 유닛(6)은, 케이싱(62)의 하면이 되는 에어 분사부(621)의 하면과 Z축 방향에서 대향하는 마운트(73)의 상면 사이에서 노출되는 스핀들(60)을 스핀들(60)의 외측면, 즉 본 실시형태에서는 부착부(602)의 외측면(6024)과의 사이에 간극(6027)을 형성하여 둘러싸는 커버(65)와, 스핀들(60)의 내부에 형성되고, 스핀들(60)의 회전에 의해 간극(6027)에 공기를 공급하는 공기 공급부(66)를 구비하고 있다.The spindle unit 6 is a spindle 60 exposed between the lower surface of the air blowing part 621, which is the lower surface of the casing 62, and the upper surface of the mount 73 facing in the Z-axis direction. A gap 6027 is formed between the outer surface, that is, the outer surface 6024 of the attachment portion 602 in this embodiment, and is formed inside the cover 65 and the spindle 60, and the spindle ( An air supply unit 66 for supplying air to the gap 6027 by rotation of 60 is provided.

커버(65)는, 예컨대 원통형으로 형성되어 있고, 그 상단측이 에어 분사부(621)의 하면에 접속되어 있다. 부착부(602)의 외측면(6024)과 커버(65)의 내측면 사이에 형성된 간극(6027)은 작은 크기이며, 예컨대 수 ㎜ 정도로 되어 있다.The cover 65 is formed, for example, in a cylindrical shape, and its upper end is connected to the lower surface of the air blowing unit 621 . The gap 6027 formed between the outer surface 6024 of the attaching portion 602 and the inner surface of the cover 65 is small, for example, on the order of several millimeters.

공기 공급부(66)는, 스핀들(60)의 상부에 개구되어 스핀들(60)의 축방향(Z축 방향)으로 연장되는 진입로(667)와, 진입로(667)의 하단(668)으로부터 스핀들(60)의 직경 방향으로 연장되고 스핀들(60)의 외측면에 개구되어 간극(6027)에 통하는 방사로(663)를 구비하고 있다.The air supply unit 66 includes an access road 667 that is open at the top of the spindle 60 and extends in the axial direction (Z-axis direction) of the spindle 60, and the spindle 600 from the lower end 668 of the access road 667. ), and is provided with a radiation path 663 that is open to the outer surface of the spindle 60 and communicates with the gap 6027.

횡단면이 예컨대 원형상인 진입로(667)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 스핀들(60)의 장축부(600)에 둘레 방향으로 등간격을 두고 복수(예컨대, 도 2에 도시하는 예에서는 12개) 형성되어 있고, 그 상단이 장축부(600)의 상단부면에 개구되어 있다. 진입로(667)의 하단(668)은, 부착부(602)의 내부에 위치하고 있다. 한편, 도 2는 도 1에 도시하는 스핀들 유닛의 a1-a2 단면도이다.As shown in FIGS. 1 and 2 , a plurality of access roads 667 having a circular cross section are spaced at equal intervals in the circumferential direction of the long axis portion 600 of the spindle 60 (for example, the example shown in FIG. 2 ). 12) are formed, and the upper end is open to the upper end surface of the long shaft portion 600. The lower end 668 of the access road 667 is located inside the attachment part 602 . Meanwhile, FIG. 2 is an a1-a2 sectional view of the spindle unit shown in FIG. 1 .

진입로(667) 대신에, 공기 공급부(66)는, 도 3에 도시하는 진입로(666)를 구비하고 있어도 좋다. 진입로(666)는, 스핀들(60)의 장축부(600)에 둘레 방향을 일주하는 원환형으로 형성되어 있다.Instead of the access road 667, the air supply unit 66 may be equipped with the access road 666 shown in FIG. The access road 666 is formed in the long axis portion 600 of the spindle 60 in an annular shape that goes around the circumferential direction.

도 1, 도 2에 도시하는 진입로(667)의 하단(668)에 연통하고 장축부(600)의 중심을 중심으로 하여 방사형으로 복수 스핀들(60)의 직경 방향으로 연장된 방사로(663)는, 부착부(602)의 외측면(6024)에 각각의 출구(6637)가 개구되어 있다. 출구(6637)의 형상은, 도 1, 도 2에 도시하는 예에서는, 방사로(663)의 관직경과 동일한 직경의 원형으로 되어 있다. 예컨대, 방사로(663)의 관직경은, 간극(6027)의 크기보다 크게 설정되어 있다.The radial path 663 communicating with the lower end 668 of the access road 667 shown in FIGS. 1 and 2 and radially extending in the radial direction of the plurality of spindles 60 centered on the center of the long shaft portion 600 is , Each outlet 6637 is opened on the outer surface 6024 of the attaching portion 602. The shape of the outlet 6637 is circular with the same diameter as the pipe diameter of the spinning furnace 663 in the examples shown in FIGS. 1 and 2 . For example, the tube diameter of the spinning furnace 663 is set larger than the size of the gap 6027.

방사로(663) 대신에, 공기 공급부(66)는, 도 4에 도시하는 방사로(669)를 구비하고 있어도 좋다. 진입로(667)의 하단(668)에 연통하고 장축부(600)의 중심을 중심으로 하여 방사형으로 복수 스핀들(60)의 직경 방향으로 연장된 방사로(669)는, 부착부(602)의 외측면(6024)에 각각의 출구(6697)가 개구되어 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 출구(6697)로부터 하측의 부착부(602)의 외측면(6024)을 내측으로부터 외측을 향하게 하여 아래로 경사지게 하면서 서서히 넓어지도록 형성하고 있다.Instead of the radiation path 663, the air supply unit 66 may include a radiation path 669 shown in FIG. The radial path 669 communicating with the lower end 668 of the access road 667 and radially extending in the radial direction of the plurality of spindles 60 around the center of the long shaft portion 600 is the outside of the attachment portion 602. Each outlet 6697 is opened on the side surface 6024. As shown in Fig. 4, the outer surface 6024 of the attachment portion 602 on the lower side from the outlet 6697 is formed so as to gradually widen while inclining downward from the inside to the outside.

한편, 스핀들(60)이 회전한 것에 의한 원심력에 의해, 외측면(6024)의 하경사면과 커버(65)의 내측면 사이에 진입한 연삭 부스러기가 섞인 연삭수가 배출된다.On the other hand, by the centrifugal force caused by the rotation of the spindle 60, grinding water mixed with grinding swarf entering between the lower inclined surface of the outer surface 6024 and the inner surface of the cover 65 is discharged.

도 1에 도시하는 케이싱(62)의 천장판(620)의 중앙보다 약간 외주측의 영역에는, 공기 흡인구(622)가 개구되어 있고, 공기 흡인구(622)의 경사 하측 근방에, 진입로(667)의 상단이 되는 개구가 위치하고 있다. 한편, 공기 흡인구(622)는, 도시한 예에서는 1개소만 형성하고 있지만, 예컨대 천장판(620)의 둘레 방향으로 균등한 간격을 두고 복수 형성되어 있어도 좋다.An air intake port 622 is opened in an area slightly outside the center of the top plate 620 of the casing 62 shown in FIG. ) is located at the top of the opening. On the other hand, although only one air intake port 622 is formed in the illustrated example, a plurality of air intake ports 622 may be formed at equal intervals in the circumferential direction of the top plate 620, for example.

이하에, 상기 도 1에 도시하는 연삭 기구(7)를 이용하여 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 연삭하는 경우의, 연삭 기구(7)의 동작에 관해 자세히 설명한다.Below, the operation|movement of the grinding mechanism 7 in the case of grinding a to-be-processed object, such as a semiconductor wafer, using the grinding mechanism 7 shown in said FIG. 1 is demonstrated in detail.

피가공물을 유지한 도시하지 않은 척 테이블이, 연삭 기구(7)의 아래까지 수평 방향으로 이동한다. 그리고, 연삭 기구(7)의 연삭 지석(743)과 도시하지 않은 척 테이블에 유지된 피가공물이 위치 맞춤된다.A chuck table (not shown) holding a workpiece moves in a horizontal direction to below the grinding mechanism 7 . Then, the grinding stone 743 of the grinding mechanism 7 and the workpiece held on the chuck table (not shown) are aligned.

이어서, 연삭 기구(7)가 볼나사나 모터 등으로 이루어진 도시하지 않은 연삭 이송 유닛에 의해 하강하여, 앞서 설명한 케이싱(62) 내에 형성되는 에어 베어링에 의해 비접촉으로 지지되는 스핀들(60)의 회전에 따라 회전하는 연삭 지석(743)이, 피가공물에 접촉함으로써 연삭이 행해진다. 연삭중에는, 도시하지 않은 척 테이블이 예컨대 연삭 지석(743)과 동일한 방향으로 회전함에 따라, 척 테이블에 유지된 피가공물도 회전하기 때문에, 연삭 지석(743)에 의해 피가공물의 상면 전면의 연삭 가공이 행해진다.Subsequently, the grinding mechanism 7 is lowered by a grinding transfer unit (not shown) composed of a ball screw, motor, or the like, and rotates the spindle 60 supported in a non-contact manner by an air bearing formed in the casing 62 described above. Grinding is performed when the grinding grindstone 743 rotating along comes into contact with the workpiece. During grinding, as the chuck table (not shown) rotates in the same direction as, for example, the grinding wheel 743, the workpiece held on the chuck table also rotates, so the grinding wheel 743 grinds the entire upper surface of the workpiece. this is done

연삭 가공중에는, 도 1에 도시하는 연삭수 공급원(629)이, 연삭 지석(743)을 냉각시키기 위한 연삭수를 스핀들(60) 중의 축내 수류로(609)에 대하여 공급한다. 축내 수류로(609)에 공급된 연삭수는, 마운트(73)의 연삭수 분배로(733)를 지나서, 연삭 휠(74)의 각 분사구(746)로부터 분출되어 연삭 지석(743)과 피가공물의 접촉 부위에 도달한다. 이 연삭수에 의해 연삭 지석(740) 및 피가공물이 냉각되고, 피가공물의 상면으로부터 연삭 부스러기를 가공 폐액이 된 연삭수와 함께 씻어낸다.During grinding, a grinding water supply source 629 shown in FIG. 1 supplies grinding water for cooling the grinding wheel 743 to the in-shaft water flow path 609 in the spindle 60 . The grinding water supplied to the in-shaft water flow path 609 passes through the grinding water distribution path 733 of the mount 73 and is ejected from each injection hole 746 of the grinding wheel 74, and the grinding wheel 743 and the workpiece reach the contact area of The grinding wheel 740 and the workpiece are cooled by this grinding water, and grinding waste is washed away from the upper surface of the workpiece together with the grinding water used as the processing waste liquid.

종래에는, 상기 연삭 부스러기가 섞인 연삭수가 비말이 되어, 커버(65)와 부착부(602)의 외측면(6024)의 간극(6027)에 들어가고, 그 후, 상기 연삭수가 건조하는 것에 의해 커버(65)의 내측면과 스핀들(60)의 부착부(602)의 외측면에 연삭 부스러기가 고착되어, 스핀들(60)을 회전시킬 수 없게 된다고 하는 문제가 생겼다.Conventionally, the grinding water mixed with the grinding debris becomes droplets and enters the gap 6027 between the cover 65 and the outer surface 6024 of the attachment portion 602, and then the grinding water dries the cover ( 65) and the outer surface of the attachment portion 602 of the spindle 60, the grinding swarf adheres to the problem that the spindle 60 cannot be rotated.

그러나, 본 발명에 따른 스핀들 유닛(6)에서는, 스핀들(60)의 회전에 의해, 복수의 진입로(667)의 장축부(600)의 상단부면에서의 개구로부터 진입로(667) 내에 공기(9)가 흡입된다. 즉, 회전하는 스핀들(60)의 진입로(667)의 장축부(600)의 상단부면에서의 개구의 상측 근방에 위치하는 케이싱(62)의 천장판(620)에 형성된 공기 흡인구(622)로부터, 케이싱(62) 내에 공기(9)가 흡입되어 진입로(667) 내에 진입해 간다. 그리고, 상기 공기(9)는, 각 진입로(667)를 하강하여, 각 방사로(663)를 따라 스핀들(60)의 중심으로부터 외측을 향해 흘러 간다.However, in the spindle unit 6 according to the present invention, by rotation of the spindle 60, the air 9 is blown into the access road 667 from the opening at the upper end surface of the long axis portion 600 of the plurality of access roads 667. is inhaled That is, from the air suction port 622 formed in the top plate 620 of the casing 62 located near the upper side of the opening in the upper end surface of the long shaft portion 600 of the entry road 667 of the rotating spindle 60, Air 9 is sucked into the casing 62 and enters the access road 667 . Then, the air 9 descends through each entryway 667 and flows outward from the center of the spindle 60 along each spinning path 663 .

공기 공급부(66)의 스핀들(60)의 장축부(600)에 형성되어 있는 진입로가, 도 3에 도시된 바와 같이 스핀들(60)의 장축부(600)에 둘레 방향으로 일주하는 원환형으로 형성되어 있는 진입로(666)라 하더라도, 마찬가지로, 스핀들(60)의 회전에 의해 공기(9)가 진입로(666)의 상단의 개구로부터 흡입된다.As shown in FIG. 3, the access road formed on the long axis portion 600 of the spindle 60 of the air supply unit 66 is formed in an annular shape that goes around the long axis portion 600 of the spindle 60 in the circumferential direction. Even if the access road 666 is configured, air 9 is similarly sucked in from the opening at the top of the access road 666 by the rotation of the spindle 60 .

또한, 도 1에 도시하는 방사로(663)를 통과한 상기 공기(9)가 간극(6027)을 향해 방출됨으로써 간극(6027)이 청소된다. 즉, 간극(6027)에 진입한 연삭 부스러기를 포함하는 연삭수를, 간극(6027)에 불어 넣은 공기(9)로 간극(6027)의 하단으로부터 커버(65) 외부로 배출시킬 수 있다.Further, the gap 6027 is cleaned by the air 9 passing through the spinning path 663 shown in Fig. 1 being discharged toward the gap 6027. That is, grinding water containing grinding swarf entering the gap 6027 can be discharged from the lower end of the gap 6027 to the outside of the cover 65 with the air 9 blown into the gap 6027 .

이와 같이, 본 발명의 스핀들 유닛(6)은, 스핀들(60)을 회전시킴으로써, 커버(65)와 스핀들(60)의 부착부(602)의 외측면 사이의 간극(6027)에, 진입로(667) 및 방사로(663)를 통해 공기(9)를 불어 넣을 수 있으므로, 간극(6027)에 진입한 예컨대 연삭 부스러기가 섞인 연삭수를 간극(6027)으로부터 배출시킬 수 있고, 또한 스핀들(60)의 부착부(602)의 외측면과 커버(65)의 내측면 사이에 연삭 부스러기가 고착되어 스핀들(60)이 스크래치되는 등의 회전 불량을 발생시키는 일이 없다.In this way, the spindle unit 6 of the present invention, by rotating the spindle 60, in the gap 6027 between the cover 65 and the outer surface of the attachment portion 602 of the spindle 60, the access road 667 ) and the spinning furnace 663, the air 9 can be blown into the gap 6027, for example, grinding water mixed with grinding debris can be discharged from the gap 6027, and also the spindle 60 Abrasive grinding chips adhere between the outer surface of the attachment portion 602 and the inner surface of the cover 65 to prevent rotation failure such as scratching of the spindle 60 .

또한, 본 실시형태에서는, 간극(6027)에 케이싱(62) 내에서 에어 베어링을 구성한 에어의 배기를 도입한다. 즉, 연삭 가공중에, 앞서 설명한 케이싱(62) 내부에서 스핀들(60)을 향해 분출되어 스핀들(60)을 지지하는 에어 베어링을 형성한 고압의 에어는, 스핀들(60)의 플레이트부(601)와 케이싱(62)의 에어 분사부(621) 사이, 스핀들(60)의 부착부(602)와 에어 분사부(621) 사이, 및 스핀들(60)의 장축부(600)의 외측면과 에어 분사부(621) 사이의 에어의 통로가 되는 작은 간극에서 하측으로 흘러 가, 간극(6027)에 도달한다. 그리고, 에어 베어링을 구성한 상기 에어에 의해서도, 간극(6027)에 진입한 연삭 부스러기가 섞인 연삭수를 간극(6027)으로부터 보다 확실하게 배출시킬 수 있고, 또한 스핀들(60)의 외측면과 커버(65)의 내측면 사이에 연삭 부스러기가 섞인 연삭수를 보다 확실하게 진입시키지 않도록 하여, 스핀들(60)이 스크래치되는 것을 방지하는 것이 가능해진다.Further, in the present embodiment, exhaust of the air constituting the air bearing in the casing 62 is introduced into the gap 6027 . That is, during the grinding process, the high-pressure air ejected from the inside of the casing 62 described above toward the spindle 60 and forming an air bearing supporting the spindle 60 blows through the plate portion 601 of the spindle 60 and Between the air blowing portion 621 of the casing 62, between the attachment portion 602 of the spindle 60 and the air blowing portion 621, and between the outer surface of the long shaft portion 600 of the spindle 60 and the air blowing portion. It flows downward from the small gap serving as the passage of air between the 621 and reaches the gap 6027. Further, even with the air constituting the air bearing, grinding water mixed with grinding swarf entering the gap 6027 can be more reliably discharged from the gap 6027, and furthermore, the outer surface of the spindle 60 and the cover 65 It becomes possible to prevent the spindle 60 from being scratched by preventing grinding water mixed with grinding debris from entering more reliably between the inner surfaces of ).

상기 진입로(667)에 대한 공기(9)의 흡입은, 예컨대 이하에 설명하는 현상이 일어남으로써 발생한다고 생각된다. 추찰되는 현상의 하나는, 방사로(663) 내에 원래부터 존재했던 공기(9)가, 스핀들(60)의 회전에 의한 원심력을 받아, 방사로(663)를 따라 스핀들(60)의 중심으로부터 외측을 향해 흘러 간극(6027)에 방출되어 감으로써, 새로운 공기(9)가 방사로(663)에 연통하는 진입로(667)에 흡인되어 가는 것이다.It is considered that intake of the air 9 into the access road 667 occurs, for example, when a phenomenon described below occurs. One of the hypothesized phenomena is that the air 9 originally present in the spinning furnace 663 receives the centrifugal force caused by the rotation of the spindle 60, and moves outward from the center of the spindle 60 along the spinning furnace 663. By flowing toward the air and being discharged into the gap 6027, the new air 9 is sucked into the access passage 667 communicating with the spinning passage 663.

또한, 추찰되는 또 하나의 현상은, 베르누이 효과에 의한 것이다. 즉, 에어 베어링을 구성한 에어의 배기가, 예컨대 방사로(663)보다 좁은 간극(6027)으로 향하도록 기세좋게 도입됨으로써, 방사로(663)의 출구 부근의 압력이 낮아지고, 이것에 의해, 방사로(663) 내에 진입로(667)의 공기(9)가 흡인되고, 또한 방사로(663)에 연통하는 진입로(667)에 상단의 개구로부터 공기(9)가 흡입된다.In addition, another phenomenon to be inferred is due to the Bernoulli effect. That is, the exhaust air constituting the air bearing is vigorously introduced to the gap 6027 that is narrower than the spinning furnace 663, for example, so that the pressure near the exit of the spinning furnace 663 is lowered. The air 9 of the access passage 667 is sucked into the furnace 663, and the air 9 is also sucked from the opening at the upper end of the entry passage 667 communicating with the spinning passage 663.

방사로(663) 대신에, 공기 공급부(66)가, 도 4에 도시하는 방사로(669)를 구비하고 있는 경우에도 마찬가지로, 스핀들(60)의 회전에 의해, 복수의 진입로(667)의 장축부(600)의 상단부면에서의 개구로부터 진입로(667) 내에 공기(9)가 흡입된다. 그리고, 상기 공기(9)는, 각 진입로(667)를 하강하여, 각 방사로(669)를 따라 스핀들(60)의 중심으로부터 외측을 향해 흘러 간다. 방사로(669)의 출구(6697)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 출구(6697)로부터 하측의 부착부(602)의 외측면(6024)이 내측으로부터 외측을 향해 아래로 경사지면서 넓어지도록 형성하고 있기 때문에, 출구(6697)에 이어지는 상기 사면을 따라 공기(9)가 아래쪽으로 유도되면서, 간극(6027)에 진입한 연삭 부스러기를 포함하는 연삭수를 간극(6027)의 하단으로부터 커버(65) 밖으로 배출시켜 간극(6027)을 청소할 수 있다.Similar to the case where the air supply section 66 is provided with the spinning passage 669 shown in FIG. 4 instead of the spinning passage 663, the long axis of the plurality of entry passages 667 is caused by the rotation of the spindle 60. Air 9 is sucked into the access road 667 from an opening in the upper end surface of the section 600 . Then, the air 9 descends through each entryway 667 and flows outward from the center of the spindle 60 along each spinning path 669 . As shown in FIG. 4, the exit 6697 of the radiation path 669 is such that the outer surface 6024 of the attachment portion 602 on the lower side from the exit 6697 is inclined downward from the inside to the outside and widens. Since it is formed, while the air 9 is guided downward along the slope leading to the outlet 6697, the grinding water containing the grinding debris entering the gap 6027 is removed from the lower end of the gap 6027 by the cover 65. ) to clean the gap 6027.

본 발명에 따른 스핀들 유닛(6)은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 그 기술적 사상의 범위 내에서 여러 다른 형태로 실시될 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 또한, 간극(6027)의 공기 청소에 관해서도, 상기와 같은 연삭중에 행하는 예에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절하게 변경 가능하다.It goes without saying that the spindle unit 6 according to the present invention is not limited to the above embodiment and can be embodied in many other forms within the scope of its technical idea. Also, the air cleaning of the gap 6027 is not limited to the example performed during grinding as described above, and can be changed as appropriate within the range in which the effect of the present invention can be exhibited.

연삭 기구(7)가 복수매의 피가공물의 연삭을 끝내고 연삭 기구(7)가 정지하는 단계, 예컨대 직전 회의 피가공물의 연삭과 다음에 피가공물의 연삭을 행하는 날짜가 상이한 경우 등에 있어서, 미리, 연삭 기구(7)를 제어하는 CPU나 기억 매체 등으로 구성되는 도시하지 않은 제어부에, 최후의 피가공물을 연삭 종료한 후에 간극(6027)의 청소를 소정 시간 행하도록 프로그램해 두고, 연삭 기구(7)의 스핀들(60)을 연삭 종료후에 소정 시간 회전시키도록 해도 좋다.In the step where the grinding mechanism 7 finishes grinding a plurality of workpieces and the grinding mechanism 7 stops, for example, in the case where the grinding of the workpiece of the previous round and the next grinding of the workpiece are different, etc., in advance, A control unit (not shown) composed of a CPU or a storage medium that controls the grinding mechanism 7 is programmed to clean the gap 6027 for a predetermined time after grinding of the last workpiece is completed, and the grinding mechanism 7 ) may be rotated for a predetermined time after the end of grinding.

또한, 스핀들(60)을 작업자가 수작업으로 회전시켜, 진입로(667)에 공기를 흡입시켜 간극(6027)을 청소해도 좋다.Alternatively, the gap 6027 may be cleaned by a worker manually rotating the spindle 60 and sucking air into the access road 667 .

7 : 연삭 기구 73 : 마운트
733 : 연삭수 분배로 74 : 연삭 휠
742 : 휠 베이스 743 : 환형의 연삭 지석
746 : 분사구 6 : 스핀들 유닛
60 : 스핀들 600 : 장축부
601 : 플레이트부 602 : 부착부
609 : 축내 수류로 62 : 케이싱
620 : 천장판 6204 : 파이프 조인트
625 : 물공급 파이프 629 : 연삭수 공급원
621 : 에어 분사부 6213 : 에어 유로
63 : 회전 구동원 632 : 로터
633 : 수냉 라디에이터 634 : 스테이터
69 : 에어 공급원 65 : 커버
66 : 공기 공급부 667 : 진입로
668 : 진입로의 하단 663 : 방사로
666 : 원환형의 진입로 669 : 방사로7: grinding mechanism 73: mount
733: grinding water distribution furnace 74: grinding wheel
742: wheel base 743: annular grinding stone
746: nozzle 6: spindle unit
60: spindle 600: long axis
601: plate part 602: attachment part
609: in-shaft water flow path 62: casing
620: ceiling plate 6204: pipe joint
625: water supply pipe 629: grinding water supply source
621: air injection unit 6213: air flow path
63: rotation drive source 632: rotor
633: water cooling radiator 634: stator
69: air supply source 65: cover
66: air supply unit 667: access road
668: bottom of entryway 663: radiation path
666: annular access road 669: radiation road

Claims (2)

선단에 가공구를 장착하는 마운트를 연결하고 연직 방향을 축방향으로 하는 스핀들과, 상기 스핀들을 둘러싸고 내측면으로부터 에어를 분사하여 에어 베어링을 형성하고 상기 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 케이싱을 구비하는 스핀들 유닛으로서,
상기 마운트는 상기 케이싱의 하단으로부터 하측으로 돌출된 상기 스핀들의 선단에 연결하고,
상기 케이싱의 하면과 상기 마운트의 상면의 사이에서 노출되는 상기 스핀들을 상기 스핀들의 외측면과의 사이에 간극을 형성하여 둘러싸는 커버와,
상기 스핀들의 내부에 형성되고, 상기 스핀들의 회전에 의해 상기 간극에 공기를 공급하는 공기 공급부를 구비하고,
상기 공기 공급부는, 상기 스핀들의 상부에 개구되어 상기 스핀들의 축방향으로 연장되는 진입로와, 상기 진입로의 하단으로부터 상기 스핀들의 직경 방향으로 연장되고 상기 스핀들의 외측면에 개구되어 상기 간극에 통하는 방사로를 구비하고,
상기 스핀들의 회전에 의해 상기 스핀들의 상부의 상기 개구로부터 상기 공기가 흡입되고, 상기 진입로 및 상기 방사로를 통과한 상기 공기가 상기 간극에 방출되어 상기 간극을 청소하는 것인 스핀들 유닛.A spindle having a spindle having a vertical direction as an axial direction by connecting a mount for mounting a processing tool to the tip, and a casing surrounding the spindle and spraying air from an inner surface to form an air bearing and rotatably supporting the spindle. As a unit,
The mount is connected to the tip of the spindle protruding downward from the lower end of the casing,
a cover surrounding the spindle exposed between the lower surface of the casing and the upper surface of the mount by forming a gap between the outer surface of the spindle;
An air supply unit formed inside the spindle and supplying air to the gap by rotation of the spindle,
The air supply unit may include: an access road that is open at the top of the spindle and extends in the axial direction of the spindle, and a radial path that extends from a lower end of the access road in a radial direction of the spindle and is open to an outer surface of the spindle and communicates with the gap. to provide,
The spindle unit according to claim 1 , wherein the rotation of the spindle causes the air to be sucked in from the opening at the top of the spindle, and the air passing through the entryway and the spinning path is discharged into the gap to clean the gap. 제1항에 있어서, 상기 간극에 상기 에어 베어링의 배기를 도입하는 것인 스핀들 유닛.The spindle unit according to claim 1, wherein exhaust of the air bearing is introduced into the gap.
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