KR20220166185A - Quartz tube fitting - Google Patents

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KR20220166185A
KR20220166185A KR1020220061533A KR20220061533A KR20220166185A KR 20220166185 A KR20220166185 A KR 20220166185A KR 1020220061533 A KR1020220061533 A KR 1020220061533A KR 20220061533 A KR20220061533 A KR 20220061533A KR 20220166185 A KR20220166185 A KR 20220166185A
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quartz tube
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nut body
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양승범
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에이지디(주)
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Abstract

The present invention relates to a fitting for a quartz tube to be used stably even at high temperatures. According to one embodiment of the present invention, the fitting for a quartz tube comprises: a nut body having a receiving space formed therein, having an insertion hole formed therein to allow one end of a quartz tube to be inserted thereinto, having a female thread formed on the inner circumferential surface of the other end; at least one fixing member inserted into the receiving space through the other end of the nut body and fixing one end of the quartz tube while one end of the quartz tube is inserted into the receiving space; at least one ferrule member inserted into the receiving space through the other end of the nut body and maintaining airtightness between the inner circumferential surface of the receiving space and the outer circumferential surface of the quartz tube while being in contact with the at least one fixing member; a fitting body coupled to the other end of the nut body and having a male thread formed on the outer circumferential surface to be screwed into the female thread; and at least one damping member disposed between one end of the nut body and the at least one fixing member and formed to surround the outer circumferential surface of one end of the quartz tube.

Description

석영관 피팅{Quartz tube fitting}Quartz tube fitting {Quartz tube fitting}

본 발명은 석영관 피팅에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진동 및 고온 환경에서도 형상의 변화를 방지하고 진공 상태를 유지하여 석영관과 기타 배관 자재의 이음 부분에서의 누설을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 고온에서도 안정적으로 사용할 수 있는 석영관 피팅에 관한 것이다.The present invention relates to a quartz pipe fitting, and more particularly, prevents shape change even in a vibration and high temperature environment and maintains a vacuum state to prevent leakage at a joint between a quartz pipe and other piping materials, It relates to a quartz tube fitting that can be used stably even at high temperatures.

일반적으로 튜브(Tube)는 기체, 액체 등의 유체를 공급하기 위한 배관을 의미하며, 튜브 피팅(Tube fitting)은 튜브와 튜브, 튜브와 기타 배관 자재를 서로 연결하기 위해 사용되는 배관 이음용 부품을 의미한다. 이러한 튜브 피팅은 튜브와 기타 배관 자재를 이음 부분에서 유체의 누설이 없어야 하므로, 다양한 구조를 가지는 튜브 피팅이 개발되고 있다.In general, a tube means a pipe for supplying a fluid such as gas or liquid, and a tube fitting is a part for connecting pipes used to connect tubes and tubes, and tubes and other piping materials to each other. it means. Tube fittings having various structures are being developed because fluid leakage should not occur at a joint between a tube and other piping materials.

최근 반도체 또는 디스플레이 제조 장치는 약액을 공급하기 위한 배관으로 석영관(Quartz tube)의 사용이 늘어나고 있는데, 이를 위해 석영관과 기타 배관 자재를 연결하기 위해 불소 중합체 제품인 석영관 피팅(Quartz tube fitting)을 사용하고 있다.In recent years, semiconductor or display manufacturing equipment has been increasingly using quartz tubes as piping for supplying chemical liquids. are using

예를 들어, 국내 등록특허공보 제10-0294029호(MCVD 공정에서 석영관 고정 및 밀봉방법)(2001년 6월 15일 공고)에는 제1 몸체(16), 제2 몸체(18), 전위 페럴(Ferrule)(20) 및 후위 페럴(22)에 의해 석영관을 고정하고 밀봉시키는 석영관 피팅의 구조가 개시되어 있다.For example, Korean Patent Publication No. 10-0294029 (method for fixing and sealing a quartz tube in an MCVD process) (published on June 15, 2001) discloses a first body 16, a second body 18, and a dislocation ferrule. A structure of a quartz tube fitting for fixing and sealing a quartz tube by a ferrule 20 and a rear ferrule 22 is disclosed.

그러나, 상기 등록특허공보에 개시된 종래의 석영관 피팅은 진동 및 고온에 취약하여 진동 및 고온 환경에서 밀봉 부위에서 형상이 변화하여 진공 상태를 유지하지 못하고 약액의 누설이 발생한다는 문제점이 있었다. 또한, 종래의 석영관 피팅은 고온에서 토출단에서의 압력이 급격히 저하된다는 문제점이 있었다.However, the conventional quartz tube fitting disclosed in the Patent Registration Publication is vulnerable to vibration and high temperature, and thus has a problem in that the shape of the sealing part changes in the vibration and high temperature environment, so that the vacuum state is not maintained and the chemical solution leaks. In addition, the conventional quartz tube fitting has a problem in that the pressure at the discharge end rapidly decreases at high temperatures.

따라서, 진동 및 고온 환경에서도 형상의 변화를 방지하고 진공 상태를 유지하여 석영관과 기타 배관 자재의 이음 부분에서의 누설을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 고온에서도 안정적으로 사용할 수 있는 석영관 피팅이 요구된다.Therefore, there is a need for a quartz tube fitting that can prevent a change in shape and maintain a vacuum state even in a vibration and high temperature environment to prevent leakage at the joint of the quartz tube and other piping materials, and can be used stably even at high temperatures. do.

국내 등록특허공보 제10-0294029호(MCVD 공정에서 석영관 고정 및 밀봉방법)(2001년 6월 15일 공고)Korean Registered Patent Publication No. 10-0294029 (method for fixing and sealing quartz tube in MCVD process) (published on June 15, 2001)

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 발명된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 석영관과 기타 배관 자재를 연결하는 석영관 피팅의 너트 몸체와 피팅 몸체의 결합 부분을 고정 부재, 패럴 부재 및 댐핑 부재로 구성된 3중 구조로 구현함으로써, 진동 및 고온 환경에서도 형상의 변화를 방지하고 진공 상태를 유지할 수 있으므로, 석영관과 기타 배관 자재의 이음 부분에서의 누설을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 고온에서도 안정적으로 사용할 수 있는 석영관 피팅을 제공하는 것이다.The present invention was invented to improve the above problems, and the problem to be solved by the present invention is to fix the coupling part of the nut body and the fitting body of the quartz tube fitting that connects the quartz tube and other piping materials to the fixing member and the paral member. and a damping member, it is possible to prevent shape change and maintain a vacuum state even in a vibration and high-temperature environment, thereby preventing leakage at the joint of the quartz tube and other piping materials, It is to provide a quartz tube fitting that can be used stably even at high temperatures.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problems of the present invention are not limited to those mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅은, 내부에 수용 공간이 형성되며, 일단에 석영관의 일단이 삽입되는 삽입 홀이 형성되고, 타단의 내주면에 암나사산이 형성된 너트 몸체; 상기 너트 몸체의 타단을 통해 상기 수용 공간에 삽입되며, 상기 석영관의 일단이 상기 수용 공간에 삽입된 상태에서 상기 석영관의 일단을 고정하는 적어도 하나의 고정 부재; 상기 너트 몸체의 타단을 통해 상기 수용 공간에 삽입되며, 상기 적어도 하나의 고정 부재에 접촉한 상태로 상기 수용 공간의 내주면과 상기 석영관의 외주면 사이의 기밀을 유지하는 적어도 하나의 패럴 부재; 상기 너트 몸체의 타단에 결합되며, 외주면에 상기 암나사산에 나사 체결되기 위한 수나사산이 형성된 피팅 몸체; 및 상기 너트 몸체의 일단과 상기 적어도 하나의 고정 부재 사이에 배치되며, 상기 석영관의 일단 외주면을 감싸도록 형성된 적어도 하나의 댐핑 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention has an accommodation space formed therein, an insertion hole into which one end of the quartz tube is inserted is formed at one end, and a female thread is formed on the inner circumferential surface of the other end. nut body; at least one fixing member inserted into the accommodating space through the other end of the nut body and fixing one end of the quartz tube in a state in which one end of the quartz tube is inserted into the accommodating space; at least one paral member inserted into the accommodating space through the other end of the nut body and maintaining airtightness between an inner circumferential surface of the accommodating space and an outer circumferential surface of the quartz tube in a state of being in contact with the at least one fixing member; a fitting body coupled to the other end of the nut body and having a male thread formed on an outer circumferential surface thereof to be screwed into the female thread; and at least one damping member disposed between one end of the nut body and the at least one fixing member and formed to surround an outer circumferential surface of one end of the quartz tube.

이 때, 상기 적어도 하나의 고정 부재 각각은, 외주면이 상기 너트 몸체의 내주면에 밀착되고, 내주면에 상기 석영관의 일단 외주면에 형성된 고정 홈에 삽입되는 고정 돌기가 형성된 것을 특징으로 한다.At this time, each of the at least one fixing member is characterized in that an outer circumferential surface is in close contact with an inner circumferential surface of the nut body, and a fixing protrusion inserted into a fixing groove formed on one end of the outer circumferential surface of the quartz tube is formed on the inner circumferential surface.

또한, 상기 적어도 하나의 댐핑 부재 각각은, 상기 너트 몸체의 내주면 및 상기 석영관의 일단 외주면에 밀착되는 링(Ring) 형상을 가지는 것을 특징으로 한다.In addition, each of the at least one damping member may have a ring shape in close contact with an inner circumferential surface of the nut body and an outer circumferential surface of one end of the quartz tube.

바람직하게는, 상기 적어도 하나의 댐핑 부재 각각은, 퍼플루오로엘라스토머(Perfluoroelastomer, FFKM)로 이루어진 것을 특징으로 한다.Preferably, each of the at least one damping member is made of perfluoroelastomer (FFKM).

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅에 따르면, 석영관과 기타 배관 자재를 연결하는 석영관 피팅의 너트 몸체와 피팅 몸체의 결합 부분을 고정 부재, 패럴 부재 및 댐핑 부재로 구성된 3중 구조로 구현함으로써, 진동 및 고온 환경에서도 형상의 변화를 방지하고 진공 상태를 유지할 수 있으므로, 석영관과 기타 배관 자재의 이음 부분에서의 누설을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 고온에서도 안정적으로 사용할 수 있다.According to the quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention, the coupling portion of the nut body and the fitting body of the quartz tube fitting connecting the quartz tube and other piping materials is a triple structure composed of a fixing member, a paral member and a damping member By implementing it, it is possible to prevent shape change and maintain a vacuum state even in a vibration and high-temperature environment, so that leakage at the joint of the quartz tube and other piping materials can be prevented, and it can be used stably even at high temperatures.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 구조를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 구조를 나타내는 종단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅을 조립하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 적합성을 평가하기 위한 실험 장치의 구조를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 적합성 평가에 따른 누설 상태를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 적합성 평가에 따른 압력 변화를 나타내는 도면이다.1 is a perspective view showing the structure of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view showing the structure of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention.
3 is a longitudinal cross-sectional view showing the structure of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing a process of assembling a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing the structure of an experimental device for evaluating the suitability of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention.
6 is a diagram showing a leakage state according to suitability evaluation of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention.
7 is a diagram showing a pressure change according to suitability evaluation of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings to the extent that those skilled in the art to which the present invention pertains can easily practice the present invention.

실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.In describing the embodiments, descriptions of technical contents that are well known in the technical field to which the present invention pertains and are not directly related to the present invention will be omitted. This is to more clearly convey the gist of the present invention without obscuring it by omitting unnecessary description.

마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.For the same reason, in the accompanying drawings, some components are exaggerated, omitted, or schematically illustrated. Also, the size of each component does not entirely reflect the actual size. In each figure, the same reference number is assigned to the same or corresponding component.

또한, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다.Also, device or element orientation (e.g. “front”, “back”, “up”, “down”, “top”, “bottom”) The expressions and predicates used herein with respect to terms such as ", "left", "right", "lateral", etc. are only used to simplify the description of the present invention and related devices. Or it will be appreciated that it does not indicate or imply that an element simply must have a particular orientation.

이하, 본 발명의 일 실시예에 의하여 석영관 피팅(100)을 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to drawings for explaining the quartz tube fitting 100 according to an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 구조를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 구조를 나타내는 분해 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 구조를 나타내는 종단면도이다.1 is a perspective view showing the structure of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view showing the structure of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is a longitudinal cross-sectional view showing the structure of the quartz tube fitting according to the embodiment.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅(100)은 너트 몸체(110), 고정 부재(120), 패럴 부재(130), 피팅 몸체(140) 및 댐핑 부재(150)를 포함하여 구성될 수 있다.1 to 3, the quartz tube fitting 100 according to an embodiment of the present invention includes a nut body 110, a fixing member 120, a paral member 130, a fitting body 140, and It may be configured to include a damping member 150.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 너트 몸체(110)는 전체적으로 원통 형상을 가지고 피팅 몸체(140)가 결합되는 타단이 개구되며 내부에 석영관(10)을 고정하기 위한 고정 부재(120), 패럴 부재(130) 및 댐핑 부재(150)가 수용되는 수용 공간(111)이 형성될 수 있다. 또한, 너트 몸체(110)는 일단에 석영관(10)의 일단이 삽입되는 삽입 홀(112)이 형성되고, 피팅 몸체(140)가 결합되는 타단의 내주면에 암나사산(113)이 형성될 수 있다.2 and 3, the nut body 110 has a cylindrical shape as a whole, and the other end to which the fitting body 140 is coupled is opened, and a fixing member 120 for fixing the quartz tube 10 therein An accommodation space 111 accommodating the paral member 130 and the damping member 150 may be formed. In addition, the nut body 110 may have an insertion hole 112 formed at one end into which one end of the quartz tube 10 is inserted, and a female thread 113 formed on an inner circumferential surface of the other end to which the fitting body 140 is coupled. there is.

고정 부재(120)는 너트 몸체(110)의 타단을 통해 수용 공간(111)에 삽입되며, 석영관(10)의 일단이 수용 공간(111)에 삽입된 상태에서 석영관(10)의 일단을 고정할 수 있다. 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 석영관(10)은 너트 몸체(110)의 일단에 형성된 삽입 홀(112)을 통해 너트 몸체(110)의 수용 공간(111)에 삽입되며, 고정 부재(120)는 너트 몸체(110)의 개구된 타단을 통해 삽입되어 석영관(10)을 고정할 수 있다.The fixing member 120 is inserted into the accommodating space 111 through the other end of the nut body 110, and one end of the quartz tube 10 is inserted into the accommodating space 111. can be fixed 2 and 3, the quartz tube 10 is inserted into the accommodation space 111 of the nut body 110 through the insertion hole 112 formed at one end of the nut body 110, and the fixing member 120 may be inserted through the open end of the nut body 110 to fix the quartz tube 10.

바람직하게는, 고정 부재(120)는 외주면이 너트 몸체(110)의 내주면에 밀착되고, 내주면에 석영관(10)의 일단 외주면에 형성된 고정 홈(11)에 삽입되는 고정 돌기(121)가 형성될 수 있다. 따라서, 고정 부재(120)는 석영관(10)이 석영관 피팅(100)으로부터 이탈되는 현상을 방지할 수 있다.Preferably, the outer circumferential surface of the fixing member 120 is in close contact with the inner circumferential surface of the nut body 110, and the fixing protrusion 121 inserted into the fixing groove 11 formed on the outer circumferential surface of the quartz tube 10 is formed on the inner circumferential surface. It can be. Accordingly, the fixing member 120 may prevent the quartz tube 10 from being separated from the quartz tube fitting 100 .

패럴 부재(130)는 고정 부재(120)가 수용 공간(111)에 삽입된 후 너트 몸체(110)의 타단을 통해 수용 공간(111)에 삽입되며, 고정 부재(120)에 접촉한 상태로 수용 공간(111)의 내주면과 석영관(10)의 외주면 사이의 기밀을 유지할 수 있다.The paral member 130 is inserted into the accommodation space 111 through the other end of the nut body 110 after the fixing member 120 is inserted into the accommodating space 111, and is accommodated in a state in contact with the fixing member 120. Airtightness between the inner circumferential surface of the space 111 and the outer circumferential surface of the quartz tube 10 can be maintained.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 패럴 부재(130)는 석영관(10)의 외주면을 감싸는 형상을 가질 수 있다. 따라서, 패럴 부재(130)는 수용 공간(111)의 내주면과 석영관(10)의 외주면 사이의 기밀을 유지하여 석영관(10)을 통해 공급되는 유체가 너트 몸체(110) 또는 피팅 몸체(140)를 통해 석영관 피팅(100)의 외부로 유출되는 현상을 방지하는 역할을 수행할 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 3 , the paral member 130 may have a shape surrounding the outer circumferential surface of the quartz tube 10 . Therefore, the paral member 130 maintains airtightness between the inner circumferential surface of the accommodation space 111 and the outer circumferential surface of the quartz tube 10 so that the fluid supplied through the quartz tube 10 does not flow through the nut body 110 or the fitting body 140. ), it can play a role in preventing leakage to the outside of the quartz tube fitting 100.

피팅 몸체(140)는 고정 부재(120) 및 패럴 부재(130)가 수용 공간(111)에 삽입된 후 고정 부재(120) 및 패럴 부재(130)를 고정하도록 너트 몸체(110)의 타단에 결합될 수 있다. 이 때, 피팅 몸체(140)는 너트 몸체(110)의 타단에 형성된 암나사산(113)에 나사 체결되기 위해 외주면에 수나사산(141)이 형성될 수 있다. 또한, 피팅 몸체(140)는 석영관(10)의 유로와 연통하여 유체가 유입 또는 배출되는 관통 홀이 형성될 수 있다.The fitting body 140 is coupled to the other end of the nut body 110 to fix the fixing member 120 and the paral member 130 after the fixing member 120 and the paral member 130 are inserted into the accommodation space 111. It can be. At this time, the fitting body 140 may have a male thread 141 formed on the outer circumferential surface to be screwed to the female thread 113 formed at the other end of the nut body 110. In addition, the fitting body 140 may communicate with the passage of the quartz tube 10 to form a through hole through which fluid is introduced or discharged.

댐핑 부재(150)는 너트 몸체(110)의 일단과 고정 부재(120) 사이에 배치되며, 석영관(10)의 일단 외주면을 감싸도록 형성될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 댐핑 부재(150)는 너트 몸체(110)의 일단에 형성되어 석영관(10)의 일단이 삽입되는 삽입 홀(112)과 인접한 걸림단(112a)과 고정 부재(120) 사이에 배치될 수 있다.The damping member 150 is disposed between one end of the nut body 110 and the fixing member 120, and may be formed to surround an outer circumferential surface of one end of the quartz tube 10. As shown in FIG. 3, the damping member 150 is formed at one end of the nut body 110 and has a locking end 112a adjacent to the insertion hole 112 into which one end of the quartz tube 10 is inserted and a fixing member ( 120) can be placed between them.

바람직하게는, 댐핑 부재(150)는 너트 몸체(110)의 내주면 및 석영관(10)의 일단 외주면에 밀착되는 링(Ring) 형상을 가질 수 있다. 이러한 댐핑 부재(150)는 석영관 피팅(100)에 전달되는 진동을 흡수하여 진동에 의한 형상 변화를 방지하고 진공 상태를 유지할 뿐 아니라, 석영관(10)을 통해 공급되는 유체가 패럴 부재(130) 및 고정 부재(120)를 통해 너트 몸체(110)로 유출되는 현상을 방지할 수 있다. 또한, 댐핑 부재(150)는 내열성이 우수한 재질로 이루어져 고온에 의한 형상 변화를 방지할 수 있으므로, 고온에서도 안정적으로 사용할 수 있다.Preferably, the damping member 150 may have a ring shape in close contact with the inner circumferential surface of the nut body 110 and the outer circumferential surface of one end of the quartz tube 10 . The damping member 150 absorbs vibration transmitted to the quartz tube fitting 100 to prevent shape change due to vibration and maintains a vacuum state, and the fluid supplied through the quartz tube 10 ) and the fixing member 120 to prevent leakage to the nut body 110. In addition, since the damping member 150 is made of a material having excellent heat resistance and can prevent shape change due to high temperatures, it can be stably used even at high temperatures.

바람직하게는, 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅(100)을 구성하는 댐핑 부재(150)는 퍼플루오로엘라스토머(Perfluoroelastomer, FFKM)로 이루어질 수 있다. 따라서, 댐핑 부재(150)는 초고온에서 화학 물질(약액)에 대한 저항력, 증기 저항력 및 압축 저항력이 우수하다는 장점이 있다.Preferably, the damping member 150 constituting the quartz tube fitting 100 according to an embodiment of the present invention may be made of perfluoroelastomer (FFKM). Accordingly, the damping member 150 has the advantage of being excellent in resistance to chemicals (medicine), steam resistance, and compression resistance at very high temperatures.

한편, 도 2 및 도 3에서는 고정 부재(120), 패럴 부재(130) 및 댐핑 부재(150)가 각각 1 개씩 구비된 예를 도시하고 있으나, 고정 부재(120), 패럴 부재(130) 및 댐핑 부재(150)의 개수 및 배치 형태는 석영관(10)의 형상 등에 따라 당업자에 의해 변경 가능하다.On the other hand, although Figures 2 and 3 show an example in which the fixing member 120, the paral member 130 and the damping member 150 are provided with one each, the fixing member 120, the paral member 130 and the damping The number and arrangement of the members 150 can be changed by those skilled in the art depending on the shape of the quartz tube 10 and the like.

이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅(100)을 조립하는 과정을 설명하기로 한다.Hereinafter, a process of assembling the quartz tube fitting 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 4 .

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅을 조립하는 과정을 나타내는 도면이다.4 is a view showing a process of assembling a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅(100)은 너트 몸체(110)를 기준으로 석영관(10)이 일측(도 4의 예에서, 좌측)에서 삽입되고, 댐핑 부재(150), 고정 부재(120) 및 패럴 부재(130)가 타측(도 4의 예에서, 우측)에서 삽입되어 조립될 수 있다.As shown in FIG. 4, in the quartz tube fitting 100 according to an embodiment of the present invention, the quartz tube 10 is inserted from one side (in the example of FIG. 4, the left side) based on the nut body 110, , The damping member 150, the fixing member 120 and the parallel member 130 may be inserted and assembled from the other side (in the example of FIG. 4, the right side).

먼저, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 석영관(10)은 일단이 너트 몸체(110)의 삽입 홀(112)을 통해 수용 공간(111)에 삽입된 후, 댐핑 부재(150)는 너트 몸체(110)의 개구된 타단을 통해 삽입되어 너트 몸체(110)의 걸림단(112a)에 지지될 수 있다. 그리고, 고정 부재(120) 및 패럴 부재(130)는 댐핑 부재(150)가 너트 몸체(110)의 걸림단(112a)에 지지된 상태에서 너트 몸체(110)의 개구된 타단을 통해 순차적으로 삽입될 수 있다. 마지막으로, 피팅 몸체(140)는 고정 부재(120) 및 패럴 부재(130)를 고정시키기 위해 너트 몸체(110)의 타단에 나사 체결될 수 있다.First, as shown in FIGS. 2 to 4, after one end of the quartz tube 10 is inserted into the accommodation space 111 through the insertion hole 112 of the nut body 110, the damping member 150 It may be inserted through the open end of the nut body 110 and supported by the engaging end 112a of the nut body 110 . In addition, the fixing member 120 and the parallel member 130 are sequentially inserted through the open other end of the nut body 110 in a state in which the damping member 150 is supported by the engaging end 112a of the nut body 110 It can be. Finally, the fitting body 140 may be screwed to the other end of the nut body 110 to fix the fixing member 120 and the paral member 130 thereto.

이하, 도 5 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅(100)의 적합성 평가 결과를 설명하기로 한다. 본 발명은 하기의 실시예에 의하여 보다 더 잘 이해될 수 있으며, 하기의 실시예는 본 발명의 예시 목적을 위한 것이고, 첨부된 특허청구범위에 의하여 한정되는 보호범위를 제한하고자 하는 것은 아니다.Hereinafter, the suitability evaluation result of the quartz tube fitting 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 7 . The present invention may be better understood by the following examples, which are for illustrative purposes of the present invention and are not intended to limit the scope of protection defined by the appended claims.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 적합성을 평가하기 위한 실험 장치의 구조를 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 적합성 평가에 따른 누설 상태를 나타내는 도면이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅의 적합성 평가에 따른 압력 변화를 나타내는 도면이다.5 is a view showing the structure of an experimental device for evaluating the suitability of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a leakage state according to suitability evaluation of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention. FIG. 7 is a diagram showing a pressure change according to suitability evaluation of a quartz tube fitting according to an embodiment of the present invention.

도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅(100)의 적합성을 평가하기 위한 실험 장치는 석영관 피팅(100)의 열 사이클 항목을 평가하기 위한 것으로, 고온 유지기를 이용하여 챔버에 수용된 약액을 미리 설정된 온도 및 압력 조건을 설정하여 석영관(10)을 흐르게 하고, 주기적으로 2 개의 밸브를 개폐하여 석영관 피팅(100)의 누설 여부와 토출단의 압력 상태를 확인하도록 구성되어 있다.As shown in (a) of FIG. 5, the experimental device for evaluating the suitability of the quartz tube fitting 100 according to an embodiment of the present invention is for evaluating the thermal cycle of the quartz tube fitting 100. Using a high-temperature maintainer, the chemical liquid contained in the chamber is set to preset temperature and pressure conditions to flow through the quartz tube 10, and periodically opens and closes two valves to determine whether the quartz tube fitting 100 leaks and the discharge end It is configured to check the pressure condition.

이 때, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 석영관 피팅(100)(실시예 1)과 종래 석영관 피팅(100)(비교예 1)은 약액의 공급 방향을 따라 석영관(10)의 양 끝단에 연결된 상태이다.At this time, as shown in (b) of FIG. 5, the quartz tube fitting 100 according to the embodiment of the present invention (Example 1) and the conventional quartz tube fitting 100 (Comparative Example 1) supply the chemical solution. It is connected to both ends of the quartz tube 10 along the direction.

이 때, 본 발명의 실시예에 따른 석영관 피팅(100)(실시예 1)을 구성하는 댐핑 부재(150)는 퍼플루오로엘라스토머(Perfluoroelastomer, FFKM) 재질로 이루어지고, 온도 -10 ℃ 내지 290 ℃에서 사용 가능하며, 쇼어 경도(Shore hardness)는 80, 100% 모듈러스(Modulus)는 9.35 Mpa, 인장 강도는 20.5 Mpa, 연신율은 185 %, 압축 변형율은 200℃에서 26.3 %를 가지도록 구성될 수 있다.At this time, the damping member 150 constituting the quartz tube fitting 100 (Example 1) according to the embodiment of the present invention is made of a perfluoroelastomer (FFKM) material, and the temperature is -10 ℃ to 290 It can be used at ℃, Shore hardness is 80, 100% modulus is 9.35 Mpa, tensile strength is 20.5 Mpa, elongation is 185%, and compression set can be configured to have 26.3% at 200℃. there is.

또한, 고온 유지기를 통해 설정된 약액의 온도 및 압력은 각각 60 ~ 210 ℃ 및 0.45 Mpa이며, 2 개의 밸브는 맥동(진동)을 의도적으로 발생시키기 위해 30초 간격으로 교대로 약액의 공급을 개폐하도록 제어될 수 있다. 즉, 2 개의 밸브는 30초 간격으로 1번 밸브 개방 상태 및 2번 밸브 폐쇄 상태, 또는, 1번 밸브 폐쇄 상태 및 2번 밸브 개방 상태로 전환하도록 제어될 수 있다.In addition, the temperature and pressure of the chemical liquid set through the high temperature maintainer are 60 ~ 210 ℃ and 0.45 Mpa, respectively, and the two valves are controlled to open and close the chemical liquid supply alternately at 30 second intervals to intentionally generate pulsation (vibration). It can be. That is, the two valves may be controlled to switch between the first valve open state and the second valve closed state, or the first valve closed state and the second valve open state at intervals of 30 seconds.

상기와 같이 구성되는 실험 장치에 의해 수행된 적합성 평가 결과는 도 6 및 도 7에 도시되어 있다. 즉, 도 6에서는 본 발명의 실시예에 따른 석영관 피팅(100)(실시예 1)과 종래 석영관 피팅(100)(비교예 1)의 누설 상태를 나타내고, 도 7에서는 본 발명의 실시예에 따른 석영관 피팅(100)(실시예 1)과 종래 석영관 피팅(100)(비교예 1) 각각의 토출단에서의 압력 변화를 나타내고 있다.The conformity evaluation results performed by the experimental device configured as described above are shown in FIGS. 6 and 7 . That is, FIG. 6 shows the leakage state of the quartz tube fitting 100 (Example 1) according to the embodiment of the present invention and the conventional quartz tube fitting 100 (Comparative Example 1), and FIG. 7 shows the embodiment of the present invention. The pressure change at the discharge end of each of the quartz tube fitting 100 (Example 1) and the conventional quartz tube fitting 100 (Comparative Example 1) according to FIG.

먼저, 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 종래 석영관 피팅(100)(비교예 1)은 너트 몸체(110) 및 피팅 몸체(140)의 결합 부분에 약액의 누설이 발생한 것을 확인할 수 있으나, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 석영관 피팅(100)(실시예 1)은 약액의 누설이 발생하지 않는다는 것을 확인할 수 있다.First, as shown in (a) of FIG. 6, in the conventional quartz tube fitting 100 (Comparative Example 1), it can be confirmed that leakage of the chemical solution occurs at the joint between the nut body 110 and the fitting body 140. However, as shown in (b) of FIG. 6, it can be confirmed that the quartz tube fitting 100 (Example 1) according to an embodiment of the present invention does not leak the chemical solution.

또한, 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 종래 석영관 피팅(100)(비교예 1)은 약액의 온도가 60 ~ 210 ℃ 구간에서 증가함에 따라 토출단에서의 압력이 점차 낮아지는 것을 확인할 수 있으나, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 석영관 피팅(100)(실시예 1)은 약액의 온도가 60 ~ 210 ℃ 구간에서 증가하더라도 토출단에서의 압력이 변화하지 않는다는 것을 확인할 수 있다.In addition, as shown in (a) of FIG. 7, in the conventional quartz tube fitting 100 (Comparative Example 1), the pressure at the discharge end gradually decreases as the temperature of the chemical solution increases in the range of 60 to 210 ° C. However, as shown in (b) of FIG. 7, the quartz tube fitting 100 (Example 1) according to an embodiment of the present invention is at the discharge end even if the temperature of the chemical solution increases in the range of 60 to 210 ° C. It can be seen that the pressure does not change.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 석영관 피팅(100)은, 석영관(10)과 기타 배관 자재를 연결하는 석영관 피팅(100)의 너트 몸체(110)와 피팅 몸체(140)의 결합 부분을 고정 부재(120), 패럴 부재(130) 및 댐핑 부재(150)로 구성된 3중 구조로 구현함으로써, 진동 및 고온 환경에서도 형상의 변화를 방지하고 진공 상태를 유지할 수 있으므로, 석영관(10)과 기타 배관 자재의 이음 부분에서의 누설을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 고온에서도 안정적으로 사용할 수 있다.As such, the quartz tube fitting 100 according to an embodiment of the present invention is a nut body 110 and a fitting body 140 of the quartz tube fitting 100 connecting the quartz tube 10 and other piping materials. By implementing the coupling part in a triple structure composed of the fixing member 120, the paral member 130, and the damping member 150, it is possible to prevent shape change and maintain a vacuum state even in a vibration and high temperature environment, so the quartz tube ( 10) and other piping materials, and can be used stably even at high temperatures.

한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.On the other hand, in the present specification and drawings, preferred embodiments of the present invention are disclosed, and although specific terms are used, they are only used in a general sense to easily explain the technical content of the present invention and help understanding of the present invention. It is not intended to limit the scope of the invention. It is obvious to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention can be implemented in addition to the embodiments disclosed herein.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 석영관 100: 석영관 피팅
110: 너트 몸체 120: 고정 부재
130: 패럴 부재 140: 피팅 몸체
150: 댐핑 부재<Description of symbols for main parts of drawings>
10: quartz tube 100: quartz tube fitting
110: nut body 120: fixing member
130: paral member 140: fitting body
150: damping member

Claims (4)

내부에 수용 공간이 형성되며, 일단에 석영관의 일단이 삽입되는 삽입 홀이 형성되고, 타단의 내주면에 암나사산이 형성된 너트 몸체;
상기 너트 몸체의 타단을 통해 상기 수용 공간에 삽입되며, 상기 석영관의 일단이 상기 수용 공간에 삽입된 상태에서 상기 석영관의 일단을 고정하는 적어도 하나의 고정 부재;
상기 너트 몸체의 타단을 통해 상기 수용 공간에 삽입되며, 상기 적어도 하나의 고정 부재에 접촉한 상태로 상기 수용 공간의 내주면과 상기 석영관의 외주면 사이의 기밀을 유지하는 적어도 하나의 패럴 부재;
상기 너트 몸체의 타단에 결합되며, 외주면에 상기 암나사산에 나사 체결되기 위한 수나사산이 형성된 피팅 몸체; 및
상기 너트 몸체의 일단과 상기 적어도 하나의 고정 부재 사이에 배치되며, 상기 석영관의 일단 외주면을 감싸도록 형성된 적어도 하나의 댐핑 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 석영관 피팅.A nut body having an accommodation space formed therein, an insertion hole into which one end of the quartz tube is inserted is formed at one end, and a female thread is formed on the inner circumferential surface of the other end;
at least one fixing member inserted into the accommodation space through the other end of the nut body and fixing one end of the quartz tube in a state where one end of the quartz tube is inserted into the accommodation space;
at least one paral member inserted into the accommodating space through the other end of the nut body and maintaining airtightness between an inner circumferential surface of the accommodating space and an outer circumferential surface of the quartz tube in a state of being in contact with the at least one fixing member;
a fitting body coupled to the other end of the nut body and having a male thread formed on an outer circumferential surface thereof to be screwed into the female thread; and
and at least one damping member disposed between one end of the nut body and the at least one fixing member and formed to surround an outer circumferential surface of one end of the quartz tube. 제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 고정 부재 각각은,
외주면이 상기 너트 몸체의 내주면에 밀착되고, 내주면에 상기 석영관의 일단 외주면에 형성된 고정 홈에 삽입되는 고정 돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 석영관 피팅.According to claim 1,
Each of the at least one fixing member,
A quartz tube fitting, characterized in that the outer circumferential surface is in close contact with the inner circumferential surface of the nut body, and a fixing protrusion inserted into a fixing groove formed on one end of the outer circumferential surface of the quartz tube is formed on the inner circumferential surface. 제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 댐핑 부재 각각은,
상기 너트 몸체의 내주면 및 상기 석영관의 일단 외주면에 밀착되는 링(Ring) 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 석영관 피팅.According to claim 1,
Each of the at least one damping member,
A quartz tube fitting characterized in that it has a ring shape in close contact with an inner circumferential surface of the nut body and an outer circumferential surface of one end of the quartz tube. 제 3 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 댐핑 부재 각각은,
퍼플루오로엘라스토머(Perfluoroelastomer, FFKM)로 이루어진 것을 특징으로 하는 석영관 피팅.According to claim 3,
Each of the at least one damping member,
A quartz tube fitting, characterized in that made of perfluoroelastomer (FFKM).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100294029B1 (en) 1999-01-28 2001-06-15 권문구 The Method of sealing and fitting a quartz tube in MCVD Process

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