KR20220145212A - Inspection optical system and inspection device of camera module - Google Patents

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KR20220145212A
KR20220145212A KR1020210051989A KR20210051989A KR20220145212A KR 20220145212 A KR20220145212 A KR 20220145212A KR 1020210051989 A KR1020210051989 A KR 1020210051989A KR 20210051989 A KR20210051989 A KR 20210051989A KR 20220145212 A KR20220145212 A KR 20220145212A
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박형배
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엘지이노텍 주식회사
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Abstract

The present invention is to provide an inspection optical system capable of inspecting the resolution of a camera module according to an object distance without moving the optical system by using a telecentric optical system. An inspection optical system disclosed in an embodiment of the present invention includes a first inspection optical unit having a plurality of lenses aligned along an optical axis from an object side to a sensor side; and a second inspection optical unit disposed between the first inspection optical unit and a camera module to be tested and having a plurality of lenses, wherein the lenses of the first inspection optical unit and the second inspection optical unit have symmetrical shapes and arrangements at a center between the first inspection optical unit and the second inspection optical unit, and each of the first and second inspection optical units may be a telecentric optical system.

Description

검사 광학계 및 이를 구비한 카메라 모듈 검사장치{INSPECTION OPTICAL SYSTEM AND INSPECTION DEVICE OF CAMERA MODULE}Inspection optical system and camera module inspection device having the same

실시예는 카메라 모듈을 위한 검사 광학계 및 이를 구비한 카메라 모듈 검사장치에 관한 것이다.The embodiment relates to an inspection optical system for a camera module and a camera module inspection apparatus having the same.

최근에 이르러, 대부분의 휴대 이동통신 단말기상에 메가 픽셀급의 카메라가 장착된 제품이 출시됨에 따라 카메라 탑재형 휴대전화 시장의 급속한 성장과 더불어 정지화상을 비롯한 동영상의 고해상도화 및 고화질화를 요구하는 소비자의 요구가 점차 늘어나고 있다.In recent years, as products equipped with mega-pixel cameras have been released on most mobile communication terminals, the rapid growth of the camera-mounted mobile phone market and consumers demanding higher resolution and higher image quality for moving images including still images. demand is gradually increasing.

이에 따라, 휴대폰에 탑재된 카메라의 기본적인 촬영 기능외에 자동 초점(AF: Autofocus) 조절 기능이나 접사(macro) 및 광학 줌(optical zoom) 기능 등이 복합적으로 구현될 수 있는 다기능의 휴대폰이 개발되고 있으며, 상기 휴대폰에 탑재되는 카메라 모듈의 품질을 제조사의 기준에 따라 평가, 검사하기 위한 시스템이 요구되고 있다.Accordingly, in addition to the basic shooting function of the camera mounted in the mobile phone, a multi-functional mobile phone that can be implemented in a complex manner, such as an autofocus (AF) control function, macro, and optical zoom functions, is being developed. , a system for evaluating and inspecting the quality of the camera module mounted on the mobile phone according to the manufacturer's standards is required.

광학 촬상 시스템의 결상 품질을 결정하기 위한 하나의 확립되고 유용한 방법은 MTF(modulation transfer function)의 측정이다. 하지만, 종래의 콜리메이터 렌즈 광학계를 이용한 검사 장비는 고정된 물체 거리로 근거리와 원거리를 동시에 측정할 수 없으며, MTF 측정이 포커스를 통해 가능하지 않고 틸트 검증 및 카메라 모듈 내의 에폭시 수축 문제가 있으며, 물체 거리에 따른 렌즈 구경이 증가되는 문제가 있다.One established and useful method for determining the imaging quality of an optical imaging system is measurement of the modulation transfer function (MTF). However, the conventional inspection equipment using the collimator lens optical system cannot measure the near and far distances at the same time with a fixed object distance, MTF measurement is not possible through focus, there is a problem of tilt verification and epoxy shrinkage in the camera module, and the object distance There is a problem in that the lens aperture is increased according to the .

발명의 실시예는 텔레센트릭(Telecentric) 광학계를 이용하여 광학계의 움직임 없이 카메라 모듈의 물체 거리에 따른 해상력을 검사할 수 있는 검사 광학계를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide an inspection optical system capable of examining the resolution according to the object distance of a camera module without movement of the optical system using a telecentric optical system.

발명의 실시예는 텔레센트릭 광학계를 대칭으로 배치한 카메라 모듈 검사 장치를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide a camera module inspection apparatus in which a telecentric optical system is symmetrically arranged.

발명의 실시예에 따른 검사 광학계는 물체 측에서 센서 측으로 광축으로 정렬된 복수의 렌즈를 갖는 제1검사 광학부; 및 상기 제1검사 광학부와 테스트 대상인 카메라 모듈 사이에 배치되며 복수의 렌즈를 갖는 제2검사 광학부를 포함하며, 상기 제1검사 광학부와 상기 제2검사 광학부의 렌즈들은 상기 제1검사 광학부와 상기 제2검사 광학부 사이의 중심부에서 서로 대칭된 형상 및 배열을 가지며, 상기 제1 및 제2검사 광학부 각각은 텔레센트릭 광학계일 수 있다.An inspection optical system according to an embodiment of the present invention includes: a first inspection optical unit having a plurality of lenses aligned with an optical axis from an object side to a sensor side; and a second inspection optical unit disposed between the first inspection optical unit and a camera module to be tested and having a plurality of lenses, wherein the lenses of the first inspection optical unit and the second inspection optical unit are the first inspection optical unit A shape and arrangement symmetrical to each other in a central portion between the and the second inspection optical unit may be provided, and each of the first and second inspection optical units may be a telecentric optical system.

발명의 실시 예에 의하면, 상기 제1 및 제2검사 광학부 각각은 9매 또는 10매의 렌즈를 가질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, each of the first and second inspection optical units may have 9 or 10 lenses.

발명의 실시 예에 의하면, 상기 제1검사 광학부의 렌즈들 직경은 물체 측에서 센서 측으로 갈수록 점차 커지며, 상기 제2검사 광학부의 렌즈들 직경은 물체 측에서 센서 측으로 갈수록 점차 작아질 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the diameter of the lenses of the first inspection optical unit may gradually increase from the object side to the sensor side, and the diameters of the lenses of the second inspection optical unit may gradually decrease from the object side to the sensor side.

발명의 실시 예에 의하면, 상기 제2검사 광학부에서 물체측 또는 상기 제1검사 광학부에 가장 가까운 렌즈는 물체 측으로 볼록한 메니스커스 형상일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the lens closest to the object side or the first inspection optical unit in the second inspection optical unit may have a meniscus shape convex toward the object side.

발명의 실시 예에 의하면, 상기 제2검사 광학부에서 센서측 또는 상기 제1검사 광학부에 가장 먼 렌즈는 물체 측으로 볼록한 메니스커스 형상일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the lens furthest from the sensor side or the first inspection optical unit in the second inspection optical unit may have a meniscus shape convex toward the object.

발명의 실시 예에 의하면, 상기 제2검사 광학부는, 하기 수식 1을 만족하며,According to an embodiment of the invention, the second inspection optical unit satisfies the following Equation 1,

[수식 1] 0.1 ≤ |L2/TL|≤0.5[Equation 1] 0.1 ≤ |L2/TL| ≤0.5

상기 L2는 물체측에 가장 가까운 제1렌즈의 센서측 제2면과 이에 인접한 제2렌즈의 물체측 제3면 사이의 광축 거리이며, 상기 TL은 상기 제1렌즈의 물체측 제1면에서 카메라 모듈에 가장 인접한 렌즈의 센서측 면까지의 광축 거리이다. L2 is the optical axis distance between the sensor-side second surface of the first lens closest to the object side and the object-side third surface of the second lens adjacent thereto, and TL is the camera at the object-side first surface of the first lens It is the optical axis distance to the sensor side of the lens closest to the module.

발명의 실시 예에 의하면, 상기 제2검사 광학부는 하기 수식 2를 만족하며, According to an embodiment of the invention, the second inspection optical unit satisfies the following Equation 2,

[수식 2] 0.4 ≤ |Yobj/D1|≤0.5[Equation 2] 0.4 ≤ |Yobj/D1| ≤ 0.5

상기 D1는 물체 측에 가장 가까운 제1렌즈의 직경이며, Yobj는 물체에 대한 최대 상고일 수 있다. The D1 may be the diameter of the first lens closest to the object side, and Yobj may be the maximum image height with respect to the object.

발명의 실시 예에 의하면, 상기 제2검사 광학부는 하기 수식 3을 만족하며,According to an embodiment of the invention, the second inspection optical unit satisfies the following Equation 3,

[수식 3] 0.0 ≤ |L0/TL|≤0.3 [Equation 3] 0.0 ≤ |L0/TL| ≤0.3

허상 거리가 무한대일 때, L0는 중심부에서 제1렌즈의 물체측 제1면까지의 거리이고, TL은 제2검사 광학부의 전체 광축 거리일 수 있다.When the virtual image distance is infinity, L0 may be a distance from the center to the first object-side surface of the first lens, and TL may be the total optical axis distance of the second inspection optical unit.

발명의 실시 예에 의하면, 상기 제2검사 광학부에서 물체의 최대 상고에서 주광선과 광축이 이루는 각도는 1도 이하일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the angle between the chief ray and the optical axis at the maximum image height of the object in the second inspection optical unit may be 1 degree or less.

발명의 실시 예에 따른 카메라 모듈 검사 장치는 광원 및 전자 챠트를 갖는 전자 챠트부; 렌즈 광학계 및 이미지 센서를 갖는 카메라 모듈; 및 상기 전자 챠트부와 카메라 모듈 사이에 배치되며 상기 전자 챠트를 통과한 광선을 카메라 모듈에 집광시키는 상기의 검사 광학계를 포함할 수 있다.An apparatus for inspecting a camera module according to an embodiment of the present invention includes: an electronic chart unit having a light source and an electronic chart; a camera module having a lens optical system and an image sensor; and the inspection optical system disposed between the electronic chart unit and the camera module and condensing the light rays passing through the electronic chart on the camera module.

발명의 실시 예에 의하면, 동일한 텔레센트릭 광학계를 대칭으로 배치하여 광학계의 왜곡을 상쇄할 수 있다. 또한 작은 사이즈의 전자 챠트를 최소로 이동하여 물체 거리 변화에 따른 성능 변화를 확인할 수 있다. 또한 고정된 카레마 모듈의 틸트 여부를 확인할 수 있으며, 에폭시 수축 변화 여부를 체크할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, distortion of the optical system can be canceled by symmetrically disposing the same telecentric optical system. Also, it is possible to check the performance change according to the change in the object distance by moving the small electronic chart to the minimum. In addition, it is possible to check whether the fixed karema module is tilted, and it is possible to check whether the epoxy shrinkage is changed.

도 1은 발명의 실시 예에 따른 복수의 카메라 모듈을 갖는 이동 단말의 사시도이다.
도 2는 발명의 제1실시예에 따른 카메라 모듈 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 검사 광학계의 구성도이다.
도 4의 (A)(B)는 도 3의 검사 광학계에 의한 10cm인 경우 또는 무한대 거리에서의 허상 위치를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 3의 제2검사 광학부의 상세 구성도이다.
도 6의 (A)(B)는 발명의 제2검사 광학부에서 10cm 및 -10cm에서의 광 경로 예이다.
도 7은 발명의 제2실시예에 따른 카메라 모듈 검사 장치의 제2검사 광학부를 나타낸 도면이다.
도 8은 발명의 제3실시예에 따른 카메라 모듈 검사 장치의 제2검사 광학부를 나타낸 도면이다.
도 9는 발명의 제4실시예에 따른 카메라 모듈 검사 장치의 제2검사 광학부를 나타낸 도면이다.
1 is a perspective view of a mobile terminal having a plurality of camera modules according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a camera module inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a configuration diagram of the inspection optical system of FIG. 2 .
4A and 4B are diagrams illustrating the virtual image position at a distance of 10 cm or at infinity by the inspection optical system of FIG. 3 .
FIG. 5 is a detailed configuration diagram of the second inspection optical unit of FIG. 3 .
6A and 6B are examples of optical paths at 10 cm and -10 cm in the second inspection optics of the present invention.
7 is a view showing a second inspection optical unit of the camera module inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention.
8 is a view showing a second inspection optical unit of the camera module inspection apparatus according to the third embodiment of the present invention.
9 is a view showing a second inspection optical unit of the camera module inspection apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, "A 및(와) B, C중 적어도 하나(또는 한 개 이상)"로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다. 그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속'되는 경우도 포함할 수 있다.However, the technical spirit of the present invention is not limited to some embodiments described, but may be implemented in various different forms, and within the scope of the technical spirit of the present invention, one or more of the components may be selected between the embodiments. It can be combined and substituted for use. In addition, terms (including technical and scientific terms) used in the embodiments of the present invention may be generally understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains, unless specifically defined and described explicitly. It may be interpreted as a meaning, and generally used terms such as terms defined in advance may be interpreted in consideration of the contextual meaning of the related art. In addition, the terms used in the embodiments of the present invention are for describing the embodiments and are not intended to limit the present invention. In this specification, the singular form may also include the plural form unless otherwise specified in the phrase, and when it is described as "at least one (or one or more) of A and (and) B, C", it is combined with A, B, C It may include one or more of all possible combinations. In addition, in describing the components of the embodiment of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), (b), etc. may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and are not limited to the essence, order, or order of the component by the term. And, when it is described that a component is 'connected', 'coupled' or 'connected' to another component, the component is not only directly connected, coupled or connected to the other component, but also with the component It may also include a case of 'connected', 'coupled' or 'connected' due to another element between the other elements.

또한, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우 뿐 만 아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)"으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향 뿐 만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다. In addition, when it is described as being formed or disposed on "upper (above) or under (below)" of each component, upper (above) or lower (below) is not only when two components are in direct contact with each other, but also Also includes cases in which one or more other components are formed or disposed between two components. In addition, when expressed as "up (up) or down (down)", the meaning of not only the upward direction but also the downward direction based on one component may be included.

발명의 설명에서 첫 번째 렌즈는 물체 측에 가장 가까운 렌즈를 의미하고, 마지막 렌즈는 상 측(또는 센서면)에 가장 가까운 렌즈를 의미한다. 발명의 설명에서 특별한 언급이 없는 한 렌즈의 반지름, 유효경, 두께, 거리, BFL(Back Focal Length), TTL(Total track length or Total Top Length) 등에 대한 단위는 모두 ㎜이다. 본 명세서에서 렌즈의 형상은 렌즈의 광축을 기준으로 나타낸 것이다. 일 예로, 렌즈의 물체 측면이 볼록하다는 의미는 해당 렌즈의 물체 측면에서 광축 부근이 볼록하다는 의미이지 광축 주변이 볼록하다는 의미는 아니다. 따라서, 렌즈의 물체 측면이 볼록하다고 설명된 경우라도, 해당 렌즈의 물체 측면에서 광축 주변 부분은 오목할 수 있다. 본 명세서에서 렌즈의 두께 및 곡률 반지름은 해당 렌즈의 광축을 기준으로 측정된 것임을 밝혀둔다. 또한, "물체측 면"은 광축을 기준으로 물체 측(Object side)을 향하는 렌즈의 면을 의미할 수 있고, "상 측(Image side)"은 광축을 기준으로 촬상면을 향하는 렌즈의 면을 의미할 수 있다. In the description of the invention, the first lens means the lens closest to the object side, and the last lens means the lens closest to the image side (or sensor surface). Unless otherwise stated in the description of the invention, the units for the radius, effective diameter, thickness, distance, BFL (Back Focal Length), TTL (Total Track Length or Total Top Length), etc. of the lens are all mm. In the present specification, the shape of the lens is shown based on the optical axis of the lens. For example, the meaning that the object side of the lens is convex means that the vicinity of the optical axis is convex on the object side of the lens, but does not mean that the vicinity of the optical axis is convex. Accordingly, even when it is described that the object side of the lens is convex, the portion around the optical axis on the object side of the lens may be concave. In the present specification, it should be noted that the thickness and radius of curvature of the lens are measured based on the optical axis of the lens. In addition, "object-side surface" may refer to the surface of the lens facing the object side with respect to the optical axis, and "image side" refers to the surface of the lens facing the imaging surface with respect to the optical axis. can do.

도 1을 참조하면, 휴대 단말기의 카메라 모듈(711)은 이동 단말기의 케이스(700) 내에 결합될 수 있다. 상기 카메라 모듈(711)은 복수의 렌즈 모듈(712,732,752)들이 제1 및 제2방향으로 배열되고, 적어도 하나 또는 모두는 수직 방향으로 업 또는 다운될 수 있다. 카메라 모듈(711) 내에는 ToF 렌즈 모듈(772)이 추가되거나, 카메라 플래시 모듈이 더 배치될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. 이러한 단말기의 케이스(700)에는 렌즈 모듈의 일부가 돌출될 수 있다.Referring to FIG. 1 , the camera module 711 of the mobile terminal may be coupled to the case 700 of the mobile terminal. In the camera module 711 , a plurality of lens modules 712 , 732 , and 752 are arranged in first and second directions, and at least one or all of the lens modules may be vertically up or down. A ToF lens module 772 may be added or a camera flash module may be further disposed within the camera module 711 , but the present disclosure is not limited thereto. A part of the lens module may protrude from the case 700 of the terminal.

여기서, 카메라 모듈(711)의 조립 시, 3개 이상의 렌즈 모듈(712,732,752) 내에는 엑츄에이터와 같은 구동부를 사용하여 자동 포커싱을 검사하게 되는데, 어느 하나의 렌즈 모듈은 인접한 엑츄에이터 들의 자석 간의 간섭으로 인해 엑츄에이터 없이 포커싱 위치로 렌즈 모듈을 고정하게 된다. 이때 구동부 없이 이미지 센서 상에 렌즈 광학계를 부착하게 되는데, 렌즈 광학계를 에폭시와 같은 접착제로 부착할 때, 접착제가 수축되거나 틸트될 때 포커싱 위치가 가변될 수 있고, 이로 인해 포커싱 거리가 달라지거나 화각이 커지는 왜곡 문제가 있다. 발명의 실시 예는 텔레센트릭 광학계를 서로 대칭으로 배치하여, 근거리와 원거리를 동시에 측정할 수 있고, 포커싱이 고정된 카메라 모듈의 틸트 여부를 확인할 수 있고 에폭시와 같은 접착제의 수축에 의한 변화 여부를 미리 확인하여, 보다 정확한 위치에 렌즈 광학계가 이미지 센서 상에 설치할 수 있도록 검사할 수 있다. 이를 위해, 고정 포커스를 갖는 렌즈 광학계가 이미지 센서 상에 설치될 때, 카메라 모듈 검사 장치를 이용하여 검사한 후 오류를 정정할 수 있다.Here, when assembling the camera module 711, automatic focusing is checked using a driving unit such as an actuator in three or more lens modules 712, 732, 752. The lens module is fixed to the focusing position without At this time, the lens optical system is attached to the image sensor without a driving unit. When the lens optical system is attached with an adhesive such as epoxy, the focusing position may be changed when the adhesive is contracted or tilted, which causes the focusing distance to change or the angle of view to change. There is a growing distortion problem. In an embodiment of the invention, by disposing the telecentric optical system symmetrically to each other, it is possible to measure both the near and far distances at the same time, and it is possible to check whether the camera module with a fixed focusing is tilted, and whether or not to change due to the shrinkage of the adhesive such as epoxy. By checking in advance, it can be inspected so that the lens optical system can be installed on the image sensor at a more accurate position. To this end, when a lens optical system having a fixed focus is installed on the image sensor, an error may be corrected after inspection using a camera module inspection apparatus.

도 2는 발명의 실시 예에 따른 카메라 모듈 검사 장치의 구성도이며, 도 3은 발명의 제1실시 예에 따른 도 2의 검사 광학계의 구성도이며, 도 4의 (A)(B)는 도 3의 검사 광학계에 의한 10cm인 경우 또는 무한대 거리에서의 허상 위치를 나타낸 도면이며, 도 5는 도 3의 제2검사 광학부의 상세 구성도이고, 도 6의 (A)(B)는 발명의 제2검사 광학부에서 10cm 및 -10cm에서의 광 경로 예이다.2 is a configuration diagram of a camera module inspection apparatus according to an embodiment of the invention, FIG. 3 is a configuration diagram of the inspection optical system of FIG. 2 according to a first embodiment of the invention, and FIGS. It is a view showing the virtual image position at 10 cm or infinity distance by the inspection optical system of 3, FIG. 5 is a detailed configuration diagram of the second inspection optical unit of FIG. 2 Examples of optical paths at 10 cm and -10 cm in the inspection optic.

도 2 및 도 3을 참조하면, 카메라 모듈 검사 장치는 전자 챠트부(100), 검사 광학계(200), 및 테스트 대상인 카메라 모듈(300)을 포함할 수 있다. 2 and 3 , the camera module inspection apparatus may include an electronic chart unit 100 , an inspection optical system 200 , and a camera module 300 to be tested.

상기 전자 챠트부(100)는 광원(110) 및 전자 챠트(120)를 포함하며, 광원(110)에서 나오는 광선들은 전자 챠트(120)를 통해 검사 광학계(200)를 통과하게 된다. 상기 전자 챠트부(100)는 미리 설정된 측정 거리에 따라 광축을 기준으로 물체측 또는 센서 측으로 이동될 수 있다. 상기 미리 설정된 측정 거리는 근거리(예: 10cm)에서 무한대까지 포커싱 위치로 설정된 이동 거리이다. 상기 광원(110)은 자외 또는 가시광을 발광하는 LED, 레이저, LCD, 유기 EL 등이 포함될 수 있다. 상기 전자 챠트(120)는 전원 인가시 소정의 패턴이 광원(110)을 통해 발광되며, 예컨대 포커싱 조정을 위한 패턴이 순차적으로 디스플레이될 수 있다. 발명의 실시 예는 단일개의 전자 챠트부(100)의 광원(110)을 이동시켜 카메라 모듈(300)의 포커싱을 위한 원거리 기능 평가와 근거리 기능 평가를 수행할 수 있다.The electronic chart unit 100 includes a light source 110 and an electronic chart 120 , and light rays emitted from the light source 110 pass through the inspection optical system 200 through the electronic chart 120 . The electronic chart unit 100 may be moved to the object side or the sensor side based on the optical axis according to a preset measurement distance. The preset measurement distance is a moving distance set as the focusing position from a short distance (eg, 10 cm) to infinity. The light source 110 may include an LED, laser, LCD, organic EL, or the like that emits ultraviolet or visible light. In the electronic chart 120 , a predetermined pattern is emitted through the light source 110 when power is applied, and, for example, a pattern for focusing adjustment may be sequentially displayed. According to an embodiment of the present invention, by moving the light source 110 of the single electronic chart unit 100 , a long-distance function evaluation and a short-distance function evaluation for focusing of the camera module 300 may be performed.

상기 검사 광학계(200)는 제1검사 광학부(210) 및 제2검사 광학부(220)를 포함할 수 있다. 상기 검사 광학계(200)는 유한한 거리에 있는 물체에 대해 허상으로 변환하는 광학계를 포함하며, 상기 전자 챠트부(100)와 카메라 모듈(300) 사이에 배치되어, 조립되는 카메라 모듈(300)의 오토 포커스 조정을 수행할 수 있다. The inspection optical system 200 may include a first inspection optical unit 210 and a second inspection optical unit 220 . The inspection optical system 200 includes an optical system that converts an object at a finite distance into a virtual image, and is disposed between the electronic chart unit 100 and the camera module 300 and is assembled of the camera module 300 . Autofocus adjustment can be performed.

상기 제1검사 광학부(210)와 상기 제2검사 광학부(220)는 중심부(Zc)을 기준으로 각 렌즈의 형상, 사이즈 및 배열 간격이 서로 대칭인 광학계를 구비할 수 있다. 상기 제1검사 광학부(210)와 상기 제2검사 광학부(220) 각각은 텔레센트릭 광학계일 수 있다. 여기서, 상기 텔레센트릭 광학계는 대상물의 거리의 차이로 인해 크기가 다르게 투영되는 현상을 최소화하는 광학계로서, 대칭인 두 텔레센트릭 광학계를 이용하여 왜곡 특성을 상쇄할 수 있다. 또한 텔레센트릭 광학계의 이동 없이 중심부(Zc)로부터 서로 대칭인 제1,2검사 광학부(210,220)의 왜곡을 상쇄할 수 있다. 상기 제1 및 제2검사 광학부(210,220) 전체는 콜레메이터 광학계로 기능할 수 있다. 상기 검사 광학계(200)는 카메라 모듈마다 장착되는 렌즈의 편차, 조립시 발생될 수 있는 틸트(tilt) 또는 회전(rotation) 편차로 인해 동일한 거리에서 최적으로 포커스되는 렌즈 위치를 검증할 수 있다.The first inspection optical unit 210 and the second inspection optical unit 220 may include an optical system in which the shape, size, and arrangement distance of each lens are symmetrical to each other with respect to the center Zc. Each of the first inspection optical unit 210 and the second inspection optical unit 220 may be a telecentric optical system. Here, the telecentric optical system is an optical system that minimizes the projection of objects having different sizes due to the difference in distance, and can cancel distortion characteristics by using two symmetrical telecentric optical systems. In addition, distortion of the first and second inspection optical units 210 and 220 symmetrical from the center Zc can be canceled without moving the telecentric optical system. All of the first and second inspection optical units 210 and 220 may function as a collimator optical system. The inspection optical system 200 may verify the optimally focused lens position at the same distance due to a deviation of a lens mounted for each camera module and a tilt or rotation deviation that may occur during assembly.

상기 제1검사 광학부(210)는 상기 전자 챠트부(100)와 상기 제2검사 광학부(220) 사이에 배치되며, 9매 또는 10매의 렌즈를 포함할 수 있다. 상기 제1검사 광학부(210)는 전군 렌즈 그룹 또는 제1렌즈 그룹일 수 있다. 상기 제1검사 광학부(210)는 복수의 렌즈(11,12,13,14,15,16,17,18,19,20)들이 광축으로 정렬될 수 있다. The first inspection optical unit 210 is disposed between the electronic chart unit 100 and the second inspection optical unit 220, and may include 9 or 10 lenses. The first inspection optical unit 210 may be a full lens group or a first lens group. In the first inspection optical unit 210 , a plurality of lenses 11 , 12 , 13 , 14 , 15 , 16 , 17 , 18 , 19 and 20 may be aligned along an optical axis.

상기 제2검사 광학부(220)는 제1검사 광학부(210)와 테스트용 카메라 모듈(300) 사이에 배치될 수 있으며, 9매 또는 10매 렌즈를 포함할 수 있다. 상기 제2검사 광학부(220)는 후군 렌즈 그룹 또는 제2렌즈 그룹일 수 있다. 상기 제2검사 광학부(220)는 복수의 렌즈(21,22,23,24,25,26,27,28,29,30)들이 광축으로 정렬될 수 있다. The second inspection optical unit 220 may be disposed between the first inspection optical unit 210 and the camera module 300 for testing, and may include a 9- or 10-element lens. The second inspection optical unit 220 may be a rear lens group or a second lens group. In the second inspection optical unit 220 , a plurality of lenses 21 , 22 , 23 , 24 , 25 , 26 , 27 , 28 , 29 and 30 may be aligned along an optical axis.

상기 제1검사 광학부(210)에서 물체 측에 가장 인접한 제1렌즈(11)는 가장 작은 직경을 갖는 렌즈이며, 마지막 제10렌즈(20)는 가장 큰 직경을 갖는 렌즈일 수 있다. 상기 제2검사 광학부(220)에서 중심부에 가장 인접한 제1렌즈(21)는 가장 큰 직경을 갖는 렌즈이며, 센세측에 가장 인접한 제10렌즈(30)는 가장 작은 직경을 갖는 렌즈일 수 있다. 상기 제1검사 광학부(210)는 물체측에서 센서측을 향해 각 렌즈의 직경이 점차 커질 수 있다. 상기 제2검사 광학부(220)는 물체측에서 센서측을 향해 각 렌즈의 직경이 점차 작아질 수 있다. 상기 직경은 광선이 진행되는 유효 직경일 수 있다.The first lens 11 closest to the object side in the first inspection optical unit 210 may be a lens having the smallest diameter, and the last tenth lens 20 may be a lens having the largest diameter. The first lens 21 closest to the center of the second inspection optical unit 220 may be a lens having the largest diameter, and the tenth lens 30 closest to the sensory side may be a lens having the smallest diameter. . The diameter of each lens of the first inspection optical unit 210 may gradually increase from the object side toward the sensor side. The diameter of each lens of the second inspection optical unit 220 may gradually decrease from the object side toward the sensor side. The diameter may be an effective diameter through which the light beam travels.

상기 제1,2검사 광학부(210,220) 사이의 중심부(Zc)를 기준으로, 상기 제1검사 광학부(210)의 렌즈(11-20)들과 상기 제2검사 광학부(220)의 렌즈(21-30)들은 광축을 따라 서로 대칭 형상으로 정렬될 수 있다. Based on the center Zc between the first and second inspection optical units 210 and 220 , the lenses 11-20 of the first inspection optical unit 210 and the lenses of the second inspection optical unit 220 are (21-30) may be aligned in a symmetrical shape with each other along the optical axis.

상기 카메라 모듈(300)은 테스트 대상으로서, 렌즈 광학계(310) 및 이미지 센서(320)를 포함할 수 있으며, 상기 렌즈 광학계(310)는 포커싱을 위한 엑츄에이터 없이 구현될 수 있다. 상기 렌즈 광학계(310)는 광축 방향으로의 이동이 없는 고정 광학계일 수 있다. 화상 평가 장치는 전자 챠트부(100)를 이동하여 검사 광학계(200)를 통해 빛을 제공하여 이미지 센서(320)에 의해 수신되는 원거리에서 근거리까지 렌즈 광학계(310)의 포커싱 위치를 검출할 수 있고, 이러한 검출 정보를 이용하여 포커싱 위치에 따른 접착제의 양이나 틸트를 조절할 수 있다. The camera module 300 may include a lens optical system 310 and an image sensor 320 as a test object, and the lens optical system 310 may be implemented without an actuator for focusing. The lens optical system 310 may be a fixed optical system without movement in the optical axis direction. The image evaluation apparatus moves the electronic chart unit 100 and provides light through the inspection optical system 200 to detect the focusing position of the lens optical system 310 from a distance to a short distance received by the image sensor 320, and , it is possible to adjust the amount or tilt of the adhesive according to the focusing position by using the detection information.

도 3를 참조하면, (A)와 같이, 상기 제1검사 광학부(210)의 물체 거리가 10cm이고, 제2검사 광학부(220)의 물체 거리가 -10cm인 경우, 허상 위치는 제2검사 광학부(220)의 제5,6렌즈(25,26) 사이에 형성될 수 있다. 여기서, 도 6의 (A)(B)는 제2검사 광학계(220)에서 물체 거리가 10cm, -10cm인 경우의 광 경로를 나타낸 도면이다. 도 3의 (B)와 같이, 상기 제1,2검사 광학부(210,220)의 물체 거리가 무한대인 경우, 허상 위치는 제1,2검사 광학부(210,220)의 중심부(Zc)에 형성될 수 있다. 여기서, 제1검사 광학부(210)에 빛이 입사되는 지점(201)은 전자 챠트부(100)에서 빛이 출사되는 지점일 수 있으며, 제2검사 광학부(220)을 통해 빛이 집광되는 지점(203)은 카메라 모듈(300)의 렌즈 광학계(310)과 접촉되는 지점이거나 검사 광학계(200)의 조리개인 스탑(Stop) 위치일 수 있다.Referring to FIG. 3 , as shown in (A), when the object distance of the first inspection optical unit 210 is 10 cm and the object distance of the second inspection optical unit 220 is -10 cm, the virtual image position is the second It may be formed between the fifth and sixth lenses 25 and 26 of the inspection optical unit 220 . Here, (A) (B) of FIG. 6 is a view showing an optical path when the object distance is 10 cm and -10 cm in the second inspection optical system 220 . As shown in FIG. 3B , when the object distance of the first and second inspection optical units 210 and 220 is infinite, the virtual image position may be formed in the center Zc of the first and second inspection optical units 210 and 220 . have. Here, the point 201 at which light is incident on the first inspection optical unit 210 may be a point at which light is emitted from the electronic chart unit 100 , and the light is condensed through the second inspection optical unit 220 . The point 203 may be a point in contact with the lens optical system 310 of the camera module 300 or a stop position that is an aperture of the inspection optical system 200 .

이하, 상기 제1,2검사 광학부(210,220)가 렌즈들이 동일한 형상 및 배열을 갖는 구조로 배치되므로, 제2검사 광학부(220)를 중심으로 설명하기로 한다.Hereinafter, since the first and second inspection optical units 210 and 220 are arranged in a structure in which lenses have the same shape and arrangement, the second inspection optical unit 220 will be mainly described.

도 3 및 도 5를 참조하면, 상기 제2검사 광학부(220)에서, 물체측에 가장 가까운 제1렌즈(21)는 물체측 제1면(S1)이 볼록하고, 센서측 제2면(S2)이 오목할 수 있으며, 물체측 방향으로 볼록한 메니스커스(meniscus) 형태이며 양의 굴절능을 가질 수 있다. 이러한 물체측에 가장 가까운 제1렌즈(21)는 메니스커스 형상으로 제공되어, 코마 수차를 보정할 수 있다.3 and 5 , in the second inspection optical unit 220 , the object-side first surface S1 of the first lens 21 closest to the object side is convex, and the sensor-side second surface ( S2) may be concave, may have a meniscus shape convex toward the object side, and may have positive refractive power. The first lens 21 closest to the object side may be provided in a meniscus shape to correct coma aberration.

상기 물체측에 가장 가까운 제1렌즈(21)의 센서측 제2면(S2)과 이에 인접한 제2렌즈(22)의 물체측 제3면(S3) 사이의 광축 거리(L2)와, 제1렌즈(21)의 물체측 제1면(S1)에서 마지막 제10렌즈(30)의 센서측 제20면(S20)까지의 광축 거리(TL) 사이의 관계는 다음의 수식 1을 만족할 수 있다.The optical axis distance L2 between the sensor-side second surface S2 of the first lens 21 closest to the object side and the object-side third surface S3 of the second lens 22 adjacent thereto; The relationship between the optical axis distance TL from the object-side first surface S1 of the lens 21 to the sensor-side twentieth surface S20 of the last tenth lens 30 may satisfy Equation 1 below.

[수식 1][Formula 1]

0.1 ≤ |L2/TL|≤0.50.1 ≤ |L2/TL| ≤0.5

여기서, 상기 수식 1은 텔레센트릭 광학계의 직경을 갖게 만드는 조건으로서, 상기 범위보다 클 경우 제2렌즈(22) 이후에 위치한 렌즈의 직경이 커질 수 있고, 상기 범위보다 작은 경우 제2렌즈(22)가 너무 큰 굴절능이 갖게 되어 수차 보정이 어려운 문제가 있다. Here, Equation 1 is a condition to have a diameter of the telecentric optical system. If it is larger than the above range, the diameter of the lens located after the second lens 22 may be increased, and if it is smaller than the above range, the second lens 22 ) has too large refractive power, so it is difficult to correct aberration.

[수식 2][Equation 2]

0.4 ≤ |Yobj/D1|≤ 0.50.4 ≤ |Yobj/D1| ≤ 0.5

여기서, D1는 물체측에 가장 가까운 렌즈(21)의 직경이며, Yobj는 광학계의 물체에 대한 최대 상고이다. 제2검사 광학부(220)가 텔레센트릭이 되기 위해 물체측에 가장 가까운 제1렌즈(21)의 직경이 물체 크기보다 커야 하며, 수식 2가 상기 범위보다 크면 텔레센트릭을 구현할 수 없고, 상기 범위보다 작은 경우 제1렌즈(21)의 직경이 너무 커지는 문제가 발생될 수 있다.Here, D1 is the diameter of the lens 21 closest to the object side, and Yobj is the maximum image height of the optical system with respect to the object. In order for the second inspection optical unit 220 to be telecentric, the diameter of the first lens 21 closest to the object side must be greater than the object size, and if Equation 2 is greater than the above range, telecentricity cannot be implemented, When it is smaller than the above range, a problem in which the diameter of the first lens 21 becomes too large may occur.

[수식 3][Equation 3]

0.0 ≤ |L0/TL|≤0.30.0 ≤ |L0/TL| ≤0.3

여기서, 상기 허상 거리가 무한대일 때, L0는 중심부(Zc)에서 제1렌즈(21)의 물체측 제1면(S1)까지의 거리이고, TL은 제2검사 광학부(220)의 전체 광축 거리이다. 이러한 수식 3은 제2검사 광학부(220)의 텔레센트릭 조건이며, 상기 수식 3이 상기 범위보다 크면 제1렌즈(21)의 직경이 커지게 되고, 상기 범위보다 작으면 중심부(Zc)와 제1렌즈(21)가 너무 가까워져서 광학계에 대해 해상력 측정이 어려운 문제가 있다. Here, when the virtual image distance is infinity, L0 is the distance from the center Zc to the object-side first surface S1 of the first lens 21 , and TL is the entire optical axis of the second inspection optical unit 220 . is the street Equation 3 is a telecentric condition of the second inspection optical unit 220. If Equation 3 is larger than the above range, the diameter of the first lens 21 is increased, and if smaller than the above range, the center Zc and Since the first lens 21 is too close, there is a problem in that it is difficult to measure the resolution of the optical system.

휴대 단말기용 렌즈 광학계(310)와 물체 거리 변화에 따른 해상력을 측정하기 위해 다음의 수식 4를 만족한다.The following Equation 4 is satisfied in order to measure the resolution according to the change in the distance between the lens optical system 310 for the mobile terminal and the object.

[수식 4][Equation 4]

0.5 ≤ |Omax/F|≤ 10.5 ≤ |Omax/F| ≤ 1

여기서, 수식 4는 물체 거리 변화를 규정하기 위한 것으로서, Omax는 제2검사 광학부(220)에서 변경 가능한 최대 물체 거리(중심부와의 거리)이고, F는 제2검사 광학부(220)의 초점 거리이다. 상기 수식 4에서 상기 범위보다 크면 제2검사 광학부(220)의 수차 특성이 증가하게 되며, 상기 범위보다 작으면 휴대 단말기의 렌즈 광학계(310)의 검사 거리가 너무 길어지는 문제가 있다. Here, Equation 4 is used to define the object distance change, where Omax is the maximum object distance (distance from the center) that can be changed in the second inspection optical unit 220 , and F is the focus of the second inspection optical unit 220 . is the street In Equation 4, when the range is larger than the above range, the aberration characteristic of the second inspection optical unit 220 is increased.

또한 제2검사 광학부(220)에서 마지막 번째인 제10렌즈(30)는 물체 방향으로 볼록한 메니스커스 형상일 수 있다. 이러한 제10렌즈(30)의 형상은 제1렌즈(21)에 의한 코마 보정 조건일 수 있다. 즉, 상기 제1렌즈(21)와 제10렌즈(30)는 모두 물체 방향으로 볼록한 메니스커스 형상일 수 있다. 이 경우 제1검사 광학부(210)는 제2검사 광학부(220)와 대칭 형상이므로, 상기 제1렌즈(21)와 제10렌즈(30)는 모두 센서 방향으로 볼록한 메니스커스 형상일 수 있다.Also, the tenth lens 30, which is the last in the second inspection optical unit 220, may have a meniscus shape convex in the object direction. The shape of the tenth lens 30 may be a coma correction condition by the first lens 21 . That is, both the first lens 21 and the tenth lens 30 may have a meniscus shape convex in the object direction. In this case, since the first inspection optical unit 210 has a symmetrical shape with the second inspection optical unit 220 , both the first lens 21 and the tenth lens 30 may have a meniscus shape convex in the sensor direction. have.

여기서, 제2검사 광학부(220)의 텔레센트릭 조건을 위해, 제2검사 광학부(220)의 물체의 최대 상고에서 주광선과 광축이 이루는 각도는 1도 이하일 수 있다. 여기서, 상기 각도가 1도 초과하면 상(Image) 가림 현상이나 광학계 자체의 수차가 급격하게 증가하게 된다.Here, for the telecentric condition of the second inspection optical unit 220 , the angle between the chief ray and the optical axis at the maximum image height of the object of the second inspection optical unit 220 may be 1 degree or less. Here, when the angle exceeds 1 degree, an image occlusion phenomenon or aberration of the optical system itself increases rapidly.

발명의 실시 예에 따른 제1 및 제2검사 광학부(210,220)를 갖는 검사 장치는 콜리메이터를 구성하는 대 구경 렌즈가 아닌, 전자 챠트부(100)를 이동시켜 원거리에서 무한대까지 포커싱 위치를 검출할 수 있고 전자 챠트부(100)의 이동 시간을 최소화할 수 있고, 빠른 검사 속도를 구현할 수 있다. The inspection apparatus having the first and second inspection optical units 210 and 220 according to an embodiment of the present invention moves the electronic chart unit 100, not the large-aperture lens constituting the collimator, to detect the focusing position from a distance to infinity. It is possible to minimize the moving time of the electronic chart unit 100, and it is possible to implement a fast inspection speed.

상기 제1검사 광학부(210)는 상기 제2검사 광학부(220)와 대칭 형상 및 대칭 배열을 갖는 가질 수 있다. 제1실시 예에서 제1검사 광학부(210)와 제2검사 광학부(220)는 각각 10매의 렌즈를 포함할 수 있다. 제1 및 제2검사 광학부(210,220) 각각은 제1 내지 제10렌즈(11~20, 21~30)를 포함할 수 있다. The first inspection optical unit 210 may have a symmetrical shape and a symmetrical arrangement with the second inspection optical unit 220 . In the first embodiment, each of the first inspection optical unit 210 and the second inspection optical unit 220 may include 10 lenses. Each of the first and second inspection optical units 210 and 220 may include first to tenth lenses 11 to 20 and 21 to 30 .

상기 제1검사 광학부(210)의 제1렌즈(11)와 제2검사 광학부(220)의 제10렌즈(30)는 서로 대칭 형상을 가지며, 상기 제1검사 광학부(210)의 제2렌즈(12)와 상기 제2검사 광학부(220)의 제9렌즈(19)는 서로 대칭 형상일 수 있으며, 제1검사 광학부(210)의 제3,4,5,6,7,8,9렌즈(13,14,15,16,17,18,19)는 제2검사 광학부(220)의 제8,7,6,5,4,3,2렌즈(28,27,26,25,25,24,22)와 각각 대칭 형상일 수 있으며, 상기 제1검사 광학부(210)의 제10렌즈(20)는 상기 제2검사 광학부(220)의 제1렌즈(21)와 인접하며 서로 대칭 형상일 수 있다. 상기 제2검사 광학부(220)에서 제1렌즈(21)는 물체측에 가장 가까운 렌즈이며, 상기 제10렌즈(30)는 센서측에 가장 가까운 렌즈이다. The first lens 11 of the first inspection optical unit 210 and the tenth lens 30 of the second inspection optical unit 220 have a symmetrical shape to each other, and the first lens 11 of the first inspection optical unit 210 is The second lens 12 and the ninth lens 19 of the second inspection optical unit 220 may be symmetrical to each other, and the third, 4, 5, 6, 7, The 8 and 9 lenses 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19 are the 8, 7, 6, 5, 4, 3, 2 lenses 28, 27, 26 of the second inspection optical unit 220 . , 25, 25, 24, 22) and may have a symmetrical shape, respectively, and the tenth lens 20 of the first inspection optical unit 210 is the first lens 21 of the second inspection optical unit 220 . It may be adjacent to and symmetrical to each other. In the second inspection optical unit 220 , the first lens 21 is the lens closest to the object side, and the tenth lens 30 is the lens closest to the sensor side.

상기 제2검사 광학부(220)는 유한한 거리에 위치한 물체에 대한 허상을 바꾸는 광학계로서, 물체측 면을 텔레센트릭을 가질 수 있다. 각 렌즈의 중심을 지나는 광축 상에서, 제1렌즈(21) 내지 제10렌즈(30)의 오목 또는 볼록 구조는 다음과 같다. The second inspection optical unit 220 is an optical system for changing a virtual image of an object located at a finite distance, and may have a telecentric surface on the object side. On the optical axis passing through the center of each lens, the concave or convex structures of the first lens 21 to the tenth lens 30 are as follows.

상기 제1렌즈(21)는 상기 제1검사 광학부(210)에 가장 인접하며, 물체측 제1면(S1)이 볼록하고, 센서측 제2면(S2)이 오목할 수 있다. 상기 제2렌즈(22)는 제1렌즈(21)와 제3렌즈(23) 사이에 배치되며 물체측 제3면(S3)과 센서측 제4면(S4)이 모두 볼록할 수 있다. 상기 제1,2렌즈(21,22) 사이의 거리(L2)는 제1검사 광학부(210) 내에서 가장 클 수 있다.The first lens 21 may be closest to the first inspection optical unit 210 , the object-side first surface S1 may be convex, and the sensor-side second surface S2 may be concave. The second lens 22 is disposed between the first lens 21 and the third lens 23 , and both the object-side third surface S3 and the sensor-side fourth surface S4 may be convex. The distance L2 between the first and second lenses 21 and 22 may be the largest in the first inspection optical unit 210 .

상기 제3렌즈(23)는 제2,4렌즈(22,24) 사이에 배치되며 물체측 제5면(S5)이 볼록이며 센서측 제6면(S6)이 오목할 수 있다. 상기 제4렌즈(24)는 제3,5렌즈(23,25) 사이에 배치되며, 물체측 제7면(S7)이 볼록하고 센서측 제8면(S8)이 오목할 수 있다. 상기 제5렌즈(25)는 제4,6렌즈(24,26) 사이에 배치되며 물체측 제9면(S9)과 센서측 제10면(S10)이 볼록할 수 있으며, 제6렌즈(26)는 제5,7렌즈(25,27) 사이에 배치되며 물체측 제11면(S11)이 오목하고 센서측 제12면(S12)이 오목일 수 있다. The third lens 23 may be disposed between the second and fourth lenses 22 and 24 , and the fifth surface S5 on the object side may be convex and the sixth surface S6 on the sensor side may be concave. The fourth lens 24 is disposed between the third and fifth lenses 23 and 25 , and the object-side seventh surface S7 may be convex and the sensor-side eighth surface S8 may be concave. The fifth lens 25 is disposed between the fourth and sixth lenses 24 and 26 , the object-side ninth surface S9 and the sensor-side tenth surface S10 may be convex, and the sixth lens 26 . ) is disposed between the fifth and seventh lenses 25 and 27, and the object-side eleventh surface S11 may be concave and the sensor-side twelfth surface S12 may be concave.

상기 제7렌즈(27)는 제6,8렌즈(26,28) 사이에 배치되며 물체측 제13면(S13)이 볼록하고 센서측 제14면(S14)이 오목할 수 있으며, 상기 제8렌즈(26)는 제7,9렌즈(27,29) 사이에 배치되며 물체측 제15면(S15)이 볼록하고 센서측 제16면(S16)이 오목할 수 있다. The seventh lens 27 is disposed between the sixth and eighth lenses 26 and 28, the object-side thirteenth surface S13 may be convex, and the sensor-side fourteenth surface S14 may be concave, and the eighth lens 27 may be convex. The lens 26 is disposed between the seventh and ninth lenses 27 and 29 , and the object-side fifteenth surface S15 may be convex and the sensor-side sixteenth surface S16 may be concave.

상기 제9렌즈(29)는 제8,10렌즈(29,30) 사이에 배치되며 물체측 제17면(S17)이 볼록하고 센서측 제18면(S18)이 오목할 수 있으며, 제10렌즈(30)는 카메라 모듈(300)에 가장 인접한 렌즈이며, 물체측 제19면(S19)이 볼록하고 센서측 제20면(S20)이 오목할 수 있다. 이하, 제2검사 광학부(220)를 기초로 설명하기로 하며, 제1검사 광학부(210)의 렌즈(11-20)들은 제2검사 광학부(220)의 렌즈(21-30)의 설명을 참조하기로 한다.The ninth lens 29 is disposed between the eighth and tenth lenses 29 and 30, the object-side 17th surface S17 may be convex, the sensor-side 18th surface S18 may be concave, and the tenth lens Reference numeral 30 denotes a lens closest to the camera module 300 , and the object-side 19th surface S19 may be convex and the sensor-side 20th surface S20 may be concave. Hereinafter, it will be described based on the second inspection optical unit 220 , and the lenses 11-20 of the first inspection optical unit 210 are the lenses 21-30 of the second inspection optical unit 220 . Please refer to the description.

도 5와 같이, 제1실시 예에 따른 제2검사 광학부(220)의 렌즈 데이터를 보면 다음과 같다.As shown in FIG. 5 , the lens data of the second inspection optical unit 220 according to the first embodiment are as follows.

중심 두께를 보면, 렌즈들 중에서 제3렌즈(23), 제6렌즈(26), 상기 제9렌즈(29)는 중심 두께가 10mm 이하 예컨대, 3mm 내지 10mm의 범위일 수 있으며, 제9렌즈 < 제6렌즈 < 제3렌즈의 조건을 만족할 수 있다. 제10렌즈(30)는 10mm 내지 20mm의 범위의 두께이며, 제2렌즈(22), 제4렌즈(24), 제5렌즈(25), 제7렌즈(27), 제8렌즈(28)의 두께는 21mm 이상 예컨대, 21mm 내지 40mm 미만일 수 있으며, 이 중에서 상기 제2렌즈(22), 제4렌즈(24) 및 제5렌즈(25)의 두께는 30mm 이상일 수 있다. 상기 제10렌즈(30)의 두께는 제3렌즈(23), 제6렌즈(26), 제9렌즈(29)의 두께보다 클 수 있다.Looking at the center thickness, among the lenses, the third lens 23 , the sixth lens 26 , and the ninth lens 29 may have a center thickness of 10 mm or less, for example, 3 mm to 10 mm, and the ninth lens < The condition of the sixth lens < the third lens may be satisfied. The tenth lens 30 has a thickness in the range of 10 mm to 20 mm, and the second lens 22 , the fourth lens 24 , the fifth lens 25 , the seventh lens 27 , and the eighth lens 28 . The thickness of may be 21 mm or more, for example, 21 mm to less than 40 mm, of which the thickness of the second lens 22 , the fourth lens 24 , and the fifth lens 25 may be 30 mm or more. The thickness of the tenth lens 30 may be greater than the thickness of the third lens 23 , the sixth lens 26 , and the ninth lens 29 .

곡률 반경을 보면, 절대 값으로 나타낼 경우, 제1렌즈(21)의 제2면(S1), 제2렌즈(22)의 제4면(S4), 제3렌즈(23)의 제5면(S5) 및 제6렌즈(26)의 제12면(S12)은 750mm 이상일 수 있으며, 예컨대 750mm 내지 1100mm의 범위일 수 있으며, 상기 제8렌즈(28)의 제15면(S15), 제9렌즈(29)의 제18면(S18), 제10렌즈(30)의 제19면(S19) 및 제20면(S20)은 100mm 미만일 수 있으며, 30mm 내지 100mm의 범위일 수 있다. Looking at the radius of curvature, when expressed in absolute values, the second surface S1 of the first lens 21 , the fourth surface S4 of the second lens 22 , and the fifth surface ( S4 ) of the third lens 23 ( S5) and the twelfth surface S12 of the sixth lens 26 may be 750 mm or more, for example, in the range of 750 mm to 1100 mm, and the fifteenth surface S15 and the ninth lens of the eighth lens 28 . The 18th surface S18 of (29), the 19th surface S19 and the 20th surface S20 of the tenth lens 30 may be less than 100 mm, and may be in the range of 30 mm to 100 mm.

굴절률을 보면, 상기 제1, 8 및 10렌즈(21,28,30)의 굴절률(Nd)는 다른 렌즈들의 굴절률보다 높고 1.9 이상이며, 제2,4,5,7,9렌즈(22,24,25,27,29)의 굴절률은 1.3 내지 1.6 범위이며, 제3, 6렌즈(23,26)의 굴절률은 1.6 내지 1.89 범위일 수 있다. Looking at the refractive index, the refractive index Nd of the first, 8 and 10 lenses 21, 28, 30 is higher than that of the other lenses and is 1.9 or more, and the second, 4, 5, 7, 9 lenses 22 and 24 .

아베수(Vd)를 보면, 제2, 4, 5, 7렌즈(22,24,25,27)는 70 이상을 다른 렌즈들의 아베수보다 높으며, 제1, 3, 6, 8, 9, 10렌즈(21,23,26,28,29,30)는 50 이하일 수 있다.Looking at the Abbe numbers (Vd), the second, 4, 5, and 7 lenses 22, 24, 25, 27 have an Abbe number of 70 or more higher than the Abbe numbers of the other lenses, and the first, 3, 6, 8, 9, 10 The lenses 21 , 23 , 26 , 28 , 29 and 30 may be 50 or less.

상기 제2검사 광학부(220)의 렌즈 직경 또는 반구경(Half aperture)은 제1렌즈(21)의 물체측 제1면(S1)이 가장 크고, 제1렌즈(21)에서 센서 방향으로 제10렌즈(30)까지 점차 작아지며, 제10렌즈(30)의 센서 측 제20면(S20)이 가장 작을 수 있다. As for the lens diameter or half aperture of the second inspection optical unit 220 , the object-side first surface S1 of the first lens 21 is the largest, and the first lens 21 in the sensor direction It gradually becomes smaller up to the tenth lens 30 , and the sensor-side twentieth surface S20 of the tenth lens 30 may be the smallest.

상기 제2검사 광학부(220)의 렌즈 데이터의 예는 표 1과 같다.An example of the lens data of the second inspection optical unit 220 is shown in Table 1.

렌즈lens noodle 곡률반경radius of curvature 두께/간격thickness/thickness 굴절률refractive index 아베수Abbesu 반구경hemispherical 제1렌즈first lens S1S1 402.639 402.639 25.000 25.000 2.00069 2.00069 25.46 25.46 138.4138.4 S2S2 992.244 992.244 115.000 115.000     136.66136.66 제2렌즈second lens S3S3 293.930 293.930 35.000 35.000 1.45860 1.45860 90.19 90.19 109.56109.56 S4S4 -841.642 -841.642 0.300 0.300     107.69107.69 제3렌즈third lens S5S5 990.953 990.953 6.000 6.000 1.76182 1.76182 26.61 26.61 101.45101.45 S6S6 128.683 128.683 0.960 0.960     89.7489.74 제4렌즈4th lens S7S7 125.866 125.866 36.000 36.000 1.49700 1.49700 81.61 81.61 90.1290.12 S8S8 466.546 466.546 0.300 0.300     88.6388.63 제5렌즈5th lens S9S9 205.161 205.161 36.500 36.500 1.45860 1.45860 90.19 90.19 85.9885.98 S10S10 -300.695 -300.695 2.054 2.054     84.2584.25 제6렌즈6th lens S11S11 -280.204 -280.204 5.000 5.000 1.84666 1.84666 23.78 23.78 83.183.1 S12S12 985.840 985.840 8.345 8.345     79.8379.83 제7렌즈7th lens S13S13 100.501 100.501 30.000 30.000 1.45860 1.45860 90.19 90.19 71.9271.92 S14S14 529.952 529.952 0.300 0.300     70.0170.01 제8렌즈8th lens S15S15 80.663 80.663 28.000 28.000 2.00069 2.00069 25.46 25.46 57.7557.75 S16S16 111.330 111.330 7.015 7.015     46.6246.62 제9렌즈9th lens S17S17 225.197 225.197 4.000 4.000 1.59270 1.59270 35.45 35.45 44.8644.86 S18S18 40.665 40.665 4.566 4.566     32.8932.89 제10렌즈10th lens S19S19 44.938 44.938 14.845 14.845 2.00069 2.00069 25.46 25.46 32.2232.22 S20S20 60.584 60.584 30.700 30.700     26.8326.83 StopStop infinityinfinity 0.0000.000     22 ImageImage infinityinfinity 0.000 0.000    

표 1에서, 스톱인 조리개 위치는 렌즈 광학계(310)의 물체측에 가장 가까운 물체측 면일 수 있으며, 상기 렌즈 광학계(310)는 유효 초점 거리가 4mm의 예로 측정한 값이다. In Table 1, the stop-in diaphragm position may be the object-side surface closest to the object-side of the lens optical system 310, and the lens optical system 310 has an effective focal length of 4 mm.

하기의 표 2는 제1실시 예에 따른 무한대에서, 100 mm, -100 mm까지의 물체 거리에 대한 데이터들로서, D0는 제2검사 광학부에서의 챠트 위치이며, D2는 제2검사 광학부에서 물체거리 변경에 따른 유효 초점거리이며, MAG 값은 이미지 크기/물체 크기의 값이다. Table 2 below is data on object distances from infinity to 100 mm and -100 mm at infinity according to the first embodiment, where D0 is a chart position in the second inspection optic, and D2 is in the second inspection optic. It is the effective focal length according to the object distance change, and the MAG value is the image size/object size value.

ConfigConfig 무한대infinity 100 mm100 mm -100 mm-100 mm DODO 2020 -251.5028 -251.5028 287.0986 287.0986 D2 D2 44 4.16667 4.16667 3.84618 3.84618 MAG MAG 0.02437 0.02437 0.02518 0.02518 0.02363 0.02363

도 7을 참조하면, 제2실시 예에 따른 제2검사 광학부(230)는 10매의 렌즈로 구성된다. 이에 따라 제2실시 예에 따른 도 2의 검사 광학계(200)는 제1,2검사 광학부(210,230)가 10매의 렌즈들로 이루어질 수 있다. 제1검사 광학부(210)의 렌즈들과 제2검사 광학부(230)의 렌즈들은 중심부(Zc)를 기준으로 서로 대칭 형상이며, 서로 대칭된 배열을 가질 수 있다. 이러한 제2실시 예는 제2검사 광학부(230)를 기초로 설명하며, 제1검사 광학부(210)는 제2검사 광학부(230)를 참조하기로 하며, 수식 1 내지 4의 관계를 만족할 수 있다.Referring to FIG. 7 , the second inspection optical unit 230 according to the second embodiment includes 10 lenses. Accordingly, in the inspection optical system 200 of FIG. 2 according to the second embodiment, the first and second inspection optical units 210 and 230 may be formed of 10 lenses. The lenses of the first inspection optical unit 210 and the lenses of the second inspection optical unit 230 may have a symmetrical shape with respect to the central portion Zc, and may have a symmetrical arrangement. This second embodiment will be described based on the second inspection optical unit 230 , and the first inspection optical unit 210 will refer to the second inspection optical unit 230 , and the relationship of Equations 1 to 4 will be applied. can be satisfied

상기 제2검사 광학부(230)는 유한한 거리에 위치한 물체에 대한 허상을 바꾸는 광학계로서, 물체측 면을 텔레센트릭을 가질 수 있다. 각 렌즈의 중심을 지나는 광축 상에서, 제1 렌즈 내지 제9렌즈의 오목 또는 볼록 구조는 다음과 같다.The second inspection optical unit 230 is an optical system for changing a virtual image of an object located at a finite distance, and may have a telecentric surface on the object side. On the optical axis passing through the center of each lens, the concave or convex structures of the first to ninth lenses are as follows.

상기 제1렌즈(31)는 대칭인 제1검사 광학부에 가장 인접하며, 물체측 제1면(S1)이 볼록하고, 센서측 제2면(S2)이 오목할 수 있다. 상기 제1렌즈(31)는 물체 방향으로 볼록한 메니스커스 형상일 수 있다. The first lens 31 may be closest to the symmetrical first inspection optical unit, and the object-side first surface S1 may be convex, and the sensor-side second surface S2 may be concave. The first lens 31 may have a meniscus shape convex in the object direction.

상기 제2렌즈(32)는 제1렌즈(31)와 제3렌즈(33) 사이에 배치되며 물체측 제3면(S3)과 센서측 제4면(S4)이 모두 볼록할 수 있다. 상기 제1,2렌즈(31,32) 사이의 광축 거리(L2)는 제1검사 광학부 내에서 가장 클 수 있다.The second lens 32 is disposed between the first lens 31 and the third lens 33 , and both the object-side third surface S3 and the sensor-side fourth surface S4 may be convex. The optical axis distance L2 between the first and second lenses 31 and 32 may be the largest in the first inspection optical unit.

상기 제3렌즈(33)는 제2,4렌즈(32,34) 사이에 배치되며 물체측 제5면(S5)이 오목이며 센서측 제6면(S6)이 오목할 수 있다. 상기 제4렌즈(34)는 제3,5렌즈(33,35) 사이에 배치되며, 물체측 제7면(S7)이 볼록하고 센서측 제8면(S8)이 오목할 수 있다. 상기 제5렌즈(35)는 제4,6렌즈(34,36) 사이에 배치되며 물체측 제9면(S9)과 센서측 제10면(S10)이 볼록할 수 있으며, 제6렌즈(36)는 제5,7렌즈(35,37) 사이에 배치되며 물체측 제11면(S11)이 볼록하고 센서측 제12면(S12)이 볼록일 수 있다. The third lens 33 may be disposed between the second and fourth lenses 32 and 34 , and the object-side fifth surface S5 may be concave, and the sensor-side sixth surface S6 may be concave. The fourth lens 34 is disposed between the third and fifth lenses 33 and 35 , and the object-side seventh surface S7 may be convex and the sensor-side eighth surface S8 may be concave. The fifth lens 35 is disposed between the fourth and sixth lenses 34 and 36 , the object-side ninth surface S9 and the sensor-side tenth surface S10 may be convex, and the sixth lens 36 . ) is disposed between the fifth and seventh lenses 35 and 37 , and the object-side eleventh surface S11 may be convex and the sensor-side twelfth surface S12 may be convex.

상기 제7렌즈(37)는 제6,8렌즈(36,38) 사이에 배치되며 물체측 제13면(S13)이 볼록하고 센서측 제14면(S14)이 평면일 수 있으며, 상기 제8렌즈(38)는 제7,9렌즈(37,39) 사이에 배치되며 물체측 제15면(S15)이 볼록하고 센서측 제16면(S16)이 오목할 수 있다. The seventh lens 37 is disposed between the sixth and eighth lenses 36 and 38, the object-side thirteenth surface S13 may be convex, and the sensor-side fourteenth surface S14 may be flat. The lens 38 is disposed between the seventh and ninth lenses 37 and 39 , and the object-side fifteenth surface S15 may be convex and the sensor-side sixteenth surface S16 may be concave.

상기 제9렌즈(39)는 제8,10렌즈(39,40) 사이에 배치되며 물체측 제17면(S17)이 볼록하고 센서측 제18면(S18)이 오목할 수 있으며, 제10렌즈(40)는 카메라 모듈(300)에 가장 인접한 렌즈이며, 물체측 제19면(S19)이 볼록하고 센서측 제20면(S20)이 오목할 수 있다. 상기 제10렌즈(40)는 물체 방향으로 볼록한 메니스커스 형상일 수 있다. 이러한 제10렌즈(40)의 형상은 상기 제1렌즈(31)에 의한 코마 보정 조건일 수 있다. 즉, 상기 제1렌즈(31)와 제10렌즈(40)는 모두 물체 방향으로 볼록한 메니스커스 형상일 수 있다. 제1검사 광학부의 렌즈들은 제2검사 광학부(230)의 렌즈와 대칭된 형상 및 배열을 갖고 있어, 제2검사 광학부(230)의 설명을 참조하기로 한다.The ninth lens 39 is disposed between the eighth and tenth lenses 39 and 40, the object-side 17th surface S17 may be convex, the sensor-side 18th surface S18 may be concave, and the tenth lens Reference numeral 40 denotes a lens closest to the camera module 300 , and the object-side 19th surface S19 may be convex and the sensor-side 20th surface S20 may be concave. The tenth lens 40 may have a meniscus shape convex in the object direction. The shape of the tenth lens 40 may be a coma correction condition by the first lens 31 . That is, both the first lens 31 and the tenth lens 40 may have a meniscus shape convex in the object direction. The lenses of the first inspection optical unit 230 have a symmetrical shape and arrangement with the lenses of the second inspection optical unit 230 , so the description of the second inspection optical unit 230 will be referred to.

상기 제2검사 광학부(230)에서, 중심 두께를 보면, 렌즈들 중에서 제3렌즈(33), 제5렌즈(35), 상기 제9렌즈(39)는 중심 두께가 10mm 이하 예컨대, 3mm 내지 10mm의 범위일 수 있다. 상기 제10렌즈(40)는 20mm 내지 30mm의 범위의 두께이며, 제2렌즈(32), 제4렌즈(34), 제6렌즈(36), 제7렌즈(37), 제8렌즈(38) 및 제10렌즈(40)의 두께는 21mm 이상 예컨대, 21mm 내지 40mm 미만일 수 있으며, 이 중에서 상기 제2렌즈(32)의 두께는 제1렌즈(31)의 두께보다 클 수 있다. 상기 제10렌즈(40)의 두께는 제1렌즈(31), 제3렌즈(33), 제5렌즈(35), 및 제9렌즈(29)의 두께보다 클 수 있다.In the second inspection optical unit 230 , looking at the thickness of the center, the third lens 33 , the fifth lens 35 , and the ninth lens 39 have a center thickness of 10 mm or less, for example, 3 mm or less. It may be in the range of 10 mm. The tenth lens 40 has a thickness in the range of 20 mm to 30 mm, and the second lens 32 , the fourth lens 34 , the sixth lens 36 , the seventh lens 37 , and the eighth lens 38 . ) and the thickness of the tenth lens 40 may be greater than or equal to 21 mm, for example, from 21 mm to less than 40 mm, among which the thickness of the second lens 32 may be greater than the thickness of the first lens 31 . The tenth lens 40 may have a thickness greater than that of the first lens 31 , the third lens 33 , the fifth lens 35 , and the ninth lens 29 .

곡률 반경을 보면, 절대 값으로 나타낼 경우, 제1렌즈(31)의 제2면(S1), 제2렌즈(32)의 제4면(S4), 제3렌즈(33)의 제5면(S5), 및 제4렌즈(34)의 제8면(S8)은 700 mm 이상일 수 있으며, 예컨대 700 mm 내지 1000 mm의 범위일 수 있으며, 제7렌즈(37)의 제14면(S14)는 가장 큰 평면일 수 있다. 상기 제8렌즈(38)의 제15면(S15), 제9렌즈(39)의 제18면(S18), 제10렌즈(40)의 제19면(S19) 및 제20면(S20)은 100 mm 미만일 수 있으며, 30 mm 내지 100 mm의 범위일 수 있다. Looking at the radius of curvature, when expressed as an absolute value, the second surface S1 of the first lens 31, the fourth surface S4 of the second lens 32, and the fifth surface (S4) of the third lens 33 ( S5), and the eighth surface S8 of the fourth lens 34 may be 700 mm or more, for example, may be in the range of 700 mm to 1000 mm, and the 14th surface S14 of the seventh lens 37 is It may be the largest plane. The fifteenth surface S15 of the eighth lens 38, the eighteenth surface S18 of the ninth lens 39, and the 19th surface S19 and the twentieth surface S20 of the tenth lens 40 are It may be less than 100 mm, and may range from 30 mm to 100 mm.

굴절률을 보면, 상기 제1, 3, 5, 7, 8, 9, 및 10렌즈(31,33,35,37,38,39,40)의 굴절률(Nd)는 다른 렌즈들의 굴절률보다 높은 고 굴절률이며 1.65 이상이며, 제2,4,6렌즈(32,34,36)의 굴절률은 저 굴절률로서 1.3 내지 1.6 범위이다. Looking at the refractive index, the refractive index Nd of the first, 3, 5, 7, 8, 9, and 10 lenses 31 , 33 , 35 , 37 , 38 , 39 and 40 has a higher refractive index than that of the other lenses. and 1.65 or more, and the refractive index of the second, fourth, and sixth lenses 32, 34, and 36 is a low refractive index, and ranges from 1.3 to 1.6.

아베수(Vd)를 보면, 제2, 4, 4렌즈(32,34,36)는 70 이상을 다른 렌즈들의 아베수보다 높으며, 제1, 3, 5, 7, 9, 10렌즈(31,33,35,37,39,40)는 상기 렌즈들의 아베수 보다 낮은 50 이하일 수 있다.Looking at the Abbe number (Vd), the second, fourth, and fourth lenses (32, 34, 36) have an Abbe number of 70 or more higher than that of other lenses, and the first, 3, 5, 7, 9, and 10 lenses (31, 33, 35, 37, 39, 40) may be 50 or less, which is lower than the Abbe's number of the lenses.

상기 제2검사 광학부(230)의 렌즈 직경 또는 반구경(Half aperture)은 제1렌즈(31)의 물체측 제1면(S1)이 가장 크고, 제1렌즈(31)에서 센서 방향으로 제10렌즈(40)까지 점차 작아지며, 제10렌즈(40)의 센서 측 제20면(S20)이 가장 작을 수 있다. As for the lens diameter or half aperture of the second inspection optical unit 230 , the object-side first surface S1 of the first lens 31 is the largest, and the first lens 31 in the sensor direction It gradually becomes smaller up to the tenth lens 40 , and the sensor-side twentieth surface S20 of the tenth lens 40 may be the smallest.

표 3은 제2실시 예에 따른 제2검사 광학부(230)의 렌즈 데이터의 예이다.Table 3 is an example of lens data of the second inspection optical unit 230 according to the second embodiment.

렌즈lens noodle 곡률반경radius of curvature 두께/간격thickness/thickness 굴절률refractive index 아베수Abbesu 반구경hemispherical 제1렌즈first lens S1S1 354.599354.599 16.0316.03 1.945961.94596 17.9417.94 101.87101.87 S2S2 897.205897.205 38.4538.45   100.93100.93 제2렌즈second lens S3S3 244.893244.893 3030 1.497 1.497 81.5981.59 92.5592.55 S4S4 -768.737-768.737 1.3141.314   90.9890.98 제3렌즈third lens S5S5 -799.509-799.509 55 1.84667 1.84667 23.7923.79 90.2490.24 S6S6 174.722174.722 0.80.8     84.7384.73 제4렌즈4th lens S7S7 140.914140.914 3030 1.4586 1.4586 90.1990.19 85.9785.97 S8S8 793.503793.503 0.50.5   85.2385.23 제5렌즈5th lens S9S9 544.029544.029 55 1.94596 1.94596 17.9417.94 84.8384.83 S10S10 156.557156.557 7.5617.561   81.5281.52 제6렌즈6th lens S11S11 210.048210.048 3030 1.4586 1.4586 90.1990.19 81.0381.03 S12S12 -430.663-430.663 0.30.3   82.2482.24 제7렌즈7th lens S13S13 151.791151.791 28.528.5 1.94596 1.94596 17.9417.94 82.0682.06 S14S14 infinityinfinity 0.30.3   80.7380.73 제8렌즈8th lens S15S15 74.04274.042 25.9325.93 1.72916 1.72916 54.6754.67 59.6959.69 S16S16 174.978174.978 5.115.11   55.3655.36 제9렌즈9th lens S17S17 261.398261.398 55 1.180811 1.180811 22.6922.69 52.4252.42 S18S18 42.45242.452 1.1661.166   36.636.6 제10렌즈10th lens S19S19 42.11142.111 24.7924.79 1.8831.883 40.8140.81 36.3136.31 S20S20 53.86253.862 32.25832.258     27.2727.27 StopStop infinityinfinity 0.0000.000     22 ImageImage infinityinfinity 0.000 0.000    

표 3에서, 스톱인 조리개 위치는 렌즈 광학계(310)의 물체측에 가장 가까운 물체측 면일 수 있으며, 상기 렌즈 광학계(310)는 유효 초점 거리가 4mm의 예로 측정한 값이다. In Table 3, the stop-in diaphragm position may be the object-side surface closest to the object-side of the lens optical system 310 , and the lens optical system 310 has an effective focal length of 4 mm.

하기의 표 4는 제1실시 예에 따른 무한대에서, 100 mm, -100 mm까지의 물체 거리에 대한 데이터들로서, D0는 제2검사 광학부에서의 챠트 위치이며, D2는 제2검사 광학부에서 물체거리 변경에 따른 유효 초점거리이며, MAG 값은 이미지 크기/물체 크기의 값이다. Table 4 below is data on object distances from infinity to 100 mm and -100 mm at infinity according to the first embodiment, where D0 is a chart position in the second inspection optic, and D2 is in the second inspection optic. It is the effective focal length according to the object distance change, and the MAG value is the image size/object size value.

ConfigConfig 무한대infinity 100 mm100 mm -100 mm-100 mm DODO 63.759963.7599 -80.2278 -80.2278 207.7722 207.7722 D2D2 44 4.16723 4.16723 3.846653.84665 MAG MAG 0.03333 0.03333 0.03484 0.03484 0.03195 0.03195

도 8을 참조하면, 제3실시 예에 따른 제2검사 광학부(240)는 9매의 렌즈로 구성된다. 이에 따라 제3실시 예에 따른 도 2의 검사 광학계(200)는 제1,2검사 광학부(210,240)가 9매의 렌즈들로 이루어질 수 있다. 제1검사 광학부(210)의 9매 렌즈와 제2검사 광학부(240)의 9매 렌즈는 중심부를 기준으로 서로 대칭 형상이며, 서로 대칭된 배열을 가질 수 있다. 이러한 제3실시 예는 제2검사 광학부(240)를 기초로 설명하며, 제1검사 광학부(210)는 제2검사 광학부(240)를 참조하기로 하며, 수식 1 내지 4의 관계를 만족할 수 있다.Referring to FIG. 8 , the second inspection optical unit 240 according to the third embodiment includes nine lenses. Accordingly, in the inspection optical system 200 of FIG. 2 according to the third embodiment, the first and second inspection optical units 210 and 240 may be formed of nine lenses. The nine lenses of the first inspection optical unit 210 and the nine lenses of the second inspection optical unit 240 may have a symmetrical shape with respect to the center and may have a symmetrical arrangement. This third embodiment will be described based on the second inspection optical unit 240 , and the first inspection optical unit 210 will refer to the second inspection optical unit 240 , and the relation of Equations 1 to 4 can be satisfied

상기 제2검사 광학부(240)는 유한한 거리에 위치한 물체에 대한 허상을 바꾸는 광학계로서, 물체측 면을 텔레센트릭을 가질 수 있다. 각 렌즈의 중심을 지나는 광축 상에서, 제1 렌즈 내지 제9렌즈의 오목 또는 볼록 구조는 다음과 같다. 상기 제1렌즈(41)는 물체측 제1면(S1)이 볼록하고, 센서측 제2면(S2)이 오목한 메니스커스 형상일 수 있다. 상기 제2렌즈(42)는 물체측 제3면(S3)은 볼록하고 센서측 제4면(S4)이 오목할 수 있다. 상기 제3렌즈(43)는 물체측 제5면(S5)이 볼록이며 센서측 제6면(S6)이 오목할 수 있다. 상기 제4렌즈(44)는 물체측 제7면(S7)이 볼록하고 센서측 제8면(S8)이 볼록할 수 있다. 상기 제5렌즈(45)는 물체측 제9면(S9)이 볼록하고 센서측 제10면(S10)이 볼록할 수 있으며, 제6렌즈(46)는 물체측 제11면(S11)이 오목하고 센서측 제12면(S12)이 오목일 수 있다. 상기 제7렌즈(47)는 물체측 제13면(S13)이 볼록하고 센서측 제14면(S14)이 볼록할 수 있으며, 상기 제8렌즈(48)는 물체측 제15면(S15)이 볼록하고 센서측 제16면(S16)이 오목할 수 있다. 마지막 렌즈인 제9렌즈(49)는 물체측 제17면(S17)이 볼록하고 센서측 제18면(S18)이 오목할 수 있다.The second inspection optical unit 240 is an optical system for changing a virtual image of an object located at a finite distance, and may have a telecentric surface on the object side. On the optical axis passing through the center of each lens, the concave or convex structures of the first to ninth lenses are as follows. The first lens 41 may have a meniscus shape in which the object-side first surface S1 is convex and the sensor-side second surface S2 is concave. In the second lens 42 , the object-side third surface S3 may be convex and the sensor-side fourth surface S4 may be concave. In the third lens 43 , the object-side fifth surface S5 may be convex and the sensor-side sixth surface S6 may be concave. The fourth lens 44 may have an object-side seventh surface S7 and a sensor-side eighth surface S8 convex. The fifth lens 45 may have a ninth object-side surface S9 convex and a sensor-side tenth surface S10 convex, and the sixth lens 46 may have an object-side eleventh surface S11 concave. and the sensor-side twelfth surface S12 may be concave. The seventh lens 47 may have an object-side thirteenth surface S13 and a sensor-side fourteenth surface S14 convex, and the eighth lens 48 may have an object-side fifteenth surface S15 . It may be convex and the sensor-side 16th surface S16 may be concave. As for the last lens, the ninth lens 49 may have an object-side 17th surface S17 convex and a sensor-side 18th surface S18 concave.

상기 제2검사 광학부(240)에서 중심 두께를 보면, 렌즈들 중에서 제3렌즈(43), 제6렌즈(46), 상기 제8렌즈(48)는 중심 두께가 10 mm 이하 예컨대, 3 mm 내지 10 mm의 범위일 수 있으며, 제8렌즈 < 제3렌즈 < 제6렌즈의 조건을 만족할 수 있다. 제9렌즈(49)는 10 mm 내지 25 mm의 범위의 두께이며, 제2렌즈(42), 제4렌즈(44), 제5렌즈(45)의 두께는 26 mm 이상 예컨대, 26 mm 내지 40 mm 미만일 수 있으며, 제1렌즈(41), 제7렌즈(47) 및 제9렌즈(49)의 두께는 25 mm 이하 예컨대, 13 mm 내지 25 mm의 범위일 수 있다. 상기 제9렌즈(49)의 두께는 제3렌즈(43), 제6렌즈(46), 제8렌즈(48)의 두께보다 클 수 있다.Looking at the center thickness of the second inspection optical unit 240 , the third lens 43 , the sixth lens 46 , and the eighth lens 48 have a center thickness of 10 mm or less, for example, 3 mm. to 10 mm, and the condition of the eighth lens < the third lens < the sixth lens may be satisfied. The ninth lens 49 has a thickness in the range of 10 mm to 25 mm, and the thickness of the second lens 42 , the fourth lens 44 , and the fifth lens 45 is 26 mm or more, for example, 26 mm to 40 mm. mm, the thickness of the first lens 41, the seventh lens 47, and the ninth lens 49 may be 25 mm or less, for example, in the range of 13 mm to 25 mm. The thickness of the ninth lens 49 may be greater than the thickness of the third lens 43 , the sixth lens 46 , and the eighth lens 48 .

곡률 반경을 보면, 절대 값으로 나타낼 경우, 제1렌즈(41)의 제2면(S2), 제2렌즈(42)의 제4면(S4), 제3렌즈(43)의 제5면(S5)은 750 mm 이상일 수 있으며, 예컨대 750 mm 내지 1200 mm의 범위일 수 있으며, 상기 제8렌즈(48)의 제15면(S15) 및 제16면(S16), 제9렌즈(49)의 제17면(S17) 및 제18면(S18)은 100 mm 미만일 수 있으며, 20 mm 내지 100 mm의 범위일 수 있다. Looking at the radius of curvature, when expressed as an absolute value, the second surface S2 of the first lens 41, the fourth surface S4 of the second lens 42, and the fifth surface (S4) of the third lens 43 ( S5) may be 750 mm or more, for example, may be in the range of 750 mm to 1200 mm, of the 15th surface (S15) and the 16th surface (S16) of the eighth lens 48, and the ninth lens (49). The 17th surface S17 and the 18th surface S18 may be less than 100 mm, and may range from 20 mm to 100 mm.

굴절률을 보면, 상기 제1, 3, 6, 7, 8, 9렌즈(41,43,46,47,48,49)의 굴절률(Nd)는 다른 렌즈들보다 높은 고 굴절률이고 1.6 이상이며, 제2,4,5렌즈(42,44,45)의 굴절률은 고 굴절률보다 낮은 저 굴절률로서, 1.6 미만일 수 있다. 아베수(Vd)를 보면, 제2, 5렌즈(42,45)는 70 이상을 다른 렌즈들보다 높으며, 제1, 3, 6, 7, 8, 9렌즈(41,43,46,47,48,49)는 50 이하일 수 있다.Looking at the refractive index, the refractive index Nd of the first, 3, 6, 7, 8, and 9 lenses 41, 43, 46, 47, 48, 49 is a high refractive index higher than that of the other lenses and is 1.6 or more, The refractive index of the 2, 4, 5 lenses 42, 44, and 45 is a low refractive index lower than a high refractive index, and may be less than 1.6. Looking at the Abbe's number (Vd), the second and fifth lenses 42 and 45 have 70 or more higher than the other lenses, and the first, 3, 6, 7, 8, and 9 lenses 41, 43, 46, 47, 48, 49) may be 50 or less.

상기 제2검사 광학부(240)의 렌즈 직경 또는 반구경(Half aperture)은 제1렌즈(41)의 물체측 제1면(S1)이 가장 크고, 제1렌즈(41)에서 센서 방향으로 제9렌즈(49)까지 점차 작아지며, 제9렌즈(49)의 센서 측 제18면(S18)이 가장 작을 수 있다. As for the lens diameter or half aperture of the second inspection optical unit 240 , the object-side first surface S1 of the first lens 41 is the largest, and the first lens 41 is directed toward the sensor. The ninth lens 49 gradually decreases, and the sensor-side 18th surface S18 of the ninth lens 49 may be the smallest.

표 5는 제3실시 예에 따른 제2검사 광학부(240)의 렌즈 데이터의 예이다.Table 5 is an example of lens data of the second inspection optical unit 240 according to the third embodiment.

렌즈lens noodle 곡률반경radius of curvature 두께/간격thickness/thickness 굴절률refractive index 아베수Abbesu 반구경hemispherical 제1렌즈first lens S1S1 350.009350.009 23.70023.700 2.0012.001 29.1329.13 146.97146.97 S2S2 1000.0001000.000 85.81685.816 146.51146.51 제2렌즈second lens S3S3 191.977191.977 34.96434.964 1.458601.45860 90.1990.19 115.19115.19 S4S4 996.827996.827 1.1761.176 113.91113.91 제3렌즈third lens S5S5 858.929858.929 6.0006.000 1.846661.84666 23.7823.78 112.71112.71 S6S6 152.525152.525 22.29722.297 100.03100.03 제4렌즈4th lens S7S7 374.123374.123 31.69831.698 1.729161.72916 54.6754.67 99.9899.98 S8S8 -374.123-374.123 1.6481.648 99.5499.54 제5렌즈5th lens S9S9 154.027154.027 35.00035.000 1.458601.45860 90.1990.19 82.9682.96 S10S10 -525.722-525.722 6.3156.315 80.7780.77 제6렌즈6th lens S11S11 -280.306-280.306 7.7217.721 1.761821.76182 26.6126.61 79.6979.69 S12S12 668.143668.143 47.60347.603 73.8473.84 제7렌즈7th lens S13S13 208.748208.748 17.26317.263 1.834811.83481 42.7242.72 55.2755.27 S14S14 -468.085-468.085 0.3000.300 53.0853.08 제8렌즈8th lens S15S15 91.01291.012 4.4084.408 1.740771.74077 27.7627.76 40.9340.93 S16S16 55.93055.930 0.3000.300 35.5535.55 제9렌즈9th lens S17S17 44.20944.209 19.32819.328 1.922861.92286 20.8820.88 33.5833.58 S18S18 40.86540.865 27.91127.911 23.6223.62 StopStop infinityinfinity 22 Image Image infinityinfinity

표 6은 제3실시 예에 따른 무한대에서, 100 mm, -100 mm까지의 물체 거리에 대한 데이터들로서, D0는 챠트 위치이며, D2는 물체거리 변경에 따른 유효 초점거리이며, MAG 값은 이미지센서 크기/물체 크기의 값이다. Table 6 is data on object distances from infinity to 100 mm and -100 mm from infinity according to the third embodiment, where D0 is the chart position, D2 is the effective focal length according to the change of the object distance, and the MAG value is the image sensor It is a value of size/object size.

ConfigConfig 무한대infinity 100 mm100 mm -100 mm-100 mm DODO 55 -297.6727-297.6727 297.67271297.67271 D2D2 44 4.166684.16668 3.8502323.850232 MAG MAG 0.023030.02303 0.023920.02392 0.022230.02223

도 9를 참조하면, 제4실시 예에 따른 검사 광학계는 제2검사 광학계(250)를 포함할 수 있다. 도 9의 제2검사 광학계(250)는 도 2에 적용할 경우, 검사 광학계(200)는 제1,2검사 광학부(210,250)가 10매의 렌즈들로 이루어질 수 있다. 제1검사 광학부(210)의 10매 렌즈와 제2검사 광학부(250)의 10매 렌즈는 중심부를 기준으로 서로 대칭 형상이며, 서로 대칭된 배열을 가질 수 있다. 이러한 제4실시 예는 제2검사 광학부(250)를 기초로 설명하며, 제1검사 광학부(210)는 제2검사 광학부(250)를 참조하기로 하며, 수식 1 내지 4의 관계를 만족할 수 있다. Referring to FIG. 9 , the inspection optical system according to the fourth embodiment may include a second inspection optical system 250 . When the second inspection optical system 250 of FIG. 9 is applied to FIG. 2 , in the inspection optical system 200 , the first and second inspection optical units 210 and 250 may include 10 lenses. The ten lenses of the first inspection optical unit 210 and the ten lenses of the second inspection optical unit 250 may have a symmetrical shape with respect to the center and may have a symmetrical arrangement. This fourth embodiment will be described based on the second inspection optical unit 250 , and the first inspection optical unit 210 will refer to the second inspection optical unit 250 , and the relationship of Equations 1 to 4 will be can be satisfied

도 9와 같이, 상기 제2검사 광학부(250)는 유한한 거리에 위치한 물체에 대한 허상을 바꾸는 광학계로서, 물체측 면을 텔레센트릭을 가질 수 있다. 각 렌즈의 중심을 지나는 광축 상에서, 제1 렌즈 내지 제10렌즈(51-60)의 오목 또는 볼록 구조는 다음과 같다. 상기 제1렌즈(51)는 물체측 제1면(S1)이 볼록하고, 센서측 제2면(S2)이 오목할 수 있다. 상기 제1렌즈(51)는 물체측으로 볼록한 메니스커스 형상을 가질 수 있다.As shown in FIG. 9 , the second inspection optical unit 250 is an optical system for changing a virtual image of an object located at a finite distance, and may have a telecentric surface on the object side. On the optical axis passing through the center of each lens, the concave or convex structures of the first to tenth lenses 51-60 are as follows. The first lens 51 may have an object-side first surface S1 convex and a sensor-side second surface S2 concave. The first lens 51 may have a meniscus shape convex toward the object.

상기 제2렌즈(52)는 물체측 제3면(S3)과 센서측 제4면(S4)이 모두 볼록할 수 있다. 상기 제2렌즈(52)는 상기 제1렌즈(51)와 가장 큰 광축 거리(L2)로 이격되며, 제3렌즈(53)와 두 번째로 큰 광축 거리로 이격될 수 있다.Both the object-side third surface S3 and the sensor-side fourth surface S4 of the second lens 52 may be convex. The second lens 52 may be spaced apart from the first lens 51 by the largest optical axis distance L2 and may be spaced apart from the third lens 53 by the second largest optical axis distance.

상기 제3렌즈(53)는 물체측 제5면(S5)이 오목하며 센서측 제6면(S6)이 오목할 수 있다. 상기 제4렌즈(54)는 물체측 제7면(S7)이 볼록하고 센서측 제8면(S8)이 볼록할 수 있다. 상기 제5렌즈(55)는 물체측 제9면(S9)이 볼록하고, 센서측 제10면(S10)과 제5렌즈(55)의 물체측 제11면(S11)이 접합된 면으로 볼록할 수 있으며, 제6렌즈(56)는 센서측 제12면(S12)이 오목일 수 있다. 상기 제7렌즈(57)는 물체측 제13면(S13)이 볼록하고 센서측 제14면(S14)이 오목할 수 있으며, 상기 제8렌즈(58)는 물체측 제15면(S15)이 볼록하고 센서측 제16면(S16)이 오목할 수 있다. 상기 제9렌즈(59)는 물체측 제17면(S17)이 볼록하고 센서측 제18면(S18)이 오목할 수 있으며, 제10렌즈(60)는 물체측 제19면(S19)이 볼록하고 센서측 제20면(S20)이 오목할 수 있다. 상기 제4실시 예에서 제1,2검사 광학부(210,250)는 제5렌즈(55)의 센서측 제10면(S10)과 제6렌즈(56)의 물체측 제11면(S11)이 서로 접합된 면으로 제공될 수 있다.The third lens 53 may have a fifth object-side surface S5 concave and a sensor-side sixth surface S6 concave. In the fourth lens 54 , the object-side seventh surface S7 may be convex and the sensor-side eighth surface S8 may be convex. The fifth lens 55 has an object-side ninth surface S9 is convex, and a surface in which the sensor-side tenth surface S10 and the object-side eleventh surface S11 of the fifth lens 55 are joined. The sixth lens 56 may have a concave twelfth surface S12 on the sensor side. The seventh lens 57 may have a thirteenth object-side surface S13 convex and a sensor-side fourteenth surface S14 concave, and the eighth lens 58 may have an object-side fifteenth surface S15 . It may be convex and the sensor-side 16th surface S16 may be concave. The ninth lens 59 may have an object-side 17th surface S17 convex and a sensor-side 18th surface S18 concave, and the tenth lens 60 may have an object-side 19th surface S19 convex. and the sensor-side twentieth surface S20 may be concave. In the fourth embodiment, in the first and second inspection optical units 210 and 250 , the sensor-side tenth surface S10 of the fifth lens 55 and the object-side eleventh surface S11 of the sixth lens 56 are each other It may be provided with a bonded surface.

상기 제2검사 광학부(250)의 중심 두께를 보면, 제1렌즈(51), 제2렌즈(52), 제4렌즈(54), 제5렌즈(55), 제7렌즈(57), 제8렌즈(58)의 두께는 20mm 이상일 수 있으며, 예컨대 20mm 내지 40mm 범위일 수 있으며, 이 중에서 상기 제2렌즈(52), 제4렌즈(54), 제5렌즈(55) 및 제7렌즈(57)는 30mm 이상일 수 있다. 상기 제3렌즈(53), 상기 제6렌즈(56), 상기 제9렌즈(59)는 중심 두께가 10mm 이하 예컨대, 2mm 내지 10mm의 범위일 수 있으며, 제9렌즈 < 제3렌즈 < 제6렌즈의 조건을 만족할 수 있다. Looking at the center thickness of the second inspection optical unit 250 , the first lens 51 , the second lens 52 , the fourth lens 54 , the fifth lens 55 , the seventh lens 57 , The thickness of the eighth lens 58 may be 20 mm or more, for example, it may be in the range of 20 mm to 40 mm, among which the second lens 52 , the fourth lens 54 , the fifth lens 55 , and the seventh lens. (57) may be 30 mm or more. The third lens 53 , the sixth lens 56 , and the ninth lens 59 may have a center thickness of 10 mm or less, for example, in the range of 2 mm to 10 mm, and the ninth lens < third lens < sixth The lens condition can be satisfied.

곡률 반경을 보면, 절대 값으로 나타낼 경우, 제1렌즈(51)의 제2면(S2), 제3렌즈(53)의 제5면(S5) 및 제7렌즈(57)의 제13면(S13)은 900 mm 이상일 수 있으며, 예컨대 900mm 내지 1100mm의 범위일 수 있으며, 상기 제7렌즈(57)의 제14면(S14), 제9렌즈(59)의 제17면(S17) 및 제18면(S18), 제10렌즈(60)의 제19면(S19)은 100mm 미만일 수 있으며, 30mm 내지 100mm의 범위일 수 있다. Looking at the radius of curvature, when expressed as an absolute value, the second surface S2 of the first lens 51 , the fifth surface S5 of the third lens 53 , and the thirteenth surface ( S5 ) of the seventh lens 57 ( S13) may be 900 mm or more, for example, may be in the range of 900 mm to 1100 mm, the 14th surface S14 of the seventh lens 57, the 17th surface S17 and the 18th surface of the ninth lens 59 The surface S18 and the 19th surface S19 of the tenth lens 60 may be less than 100 mm, and may be in the range of 30 mm to 100 mm.

상기 제2검사 광학부(250)의 렌즈 직경 또는 반구경(Half aperture)은 제1렌즈(51)의 물체측 제1면(S1)이 가장 크고, 제1렌즈(51)에서 센서 방향으로 제10렌즈(60)까지 점차 작아지며, 제10렌즈(60)의 센서 측 제20면(S20)이 가장 작을 수 있다. As for the lens diameter or half aperture of the second inspection optical unit 250 , the object-side first surface S1 of the first lens 51 is the largest, and the lens diameter or the half aperture of the second inspection optical unit 250 is the largest in the sensor direction from the first lens 51 . It gradually becomes smaller up to the tenth lens 60, and the sensor-side twentieth surface S20 of the tenth lens 60 may be the smallest.

제4실시 예에 따른 제2검사 광학부(250)의 렌즈 데이터는 표 7와 같다.Table 7 shows lens data of the second inspection optical unit 250 according to the fourth embodiment.

렌즈lens noodle 곡률반경radius of curvature 두께/간격thickness/thickness 굴절률refractive index 아베수Abbesu 반구형hemispherical 제1렌즈first lens S1S1 384.933 384.933 25.000 25.000 2.00069 2.00069 25.46 25.46 137.34137.34 S2S2 1000.000 1000.000 90.000 90.000     135.71135.71 제2렌즈second lens S3S3 349.964 349.964 35.000 35.000 1.45860 1.45860 90.19 90.19 113.01113.01 S4S4 -743.475 -743.475 27.921 27.921     110.92110.92 제3렌즈third lens S5S5 -1000.000 -1000.000 6.000 6.000 1.84666 1.84666 23.78 23.78 94.9494.94 S6S6 166.323 166.323 3.515 3.515     87.8787.87 제4렌즈4th lens S7S7 181.618 181.618 35.000 35.000 1.49700 1.49700 81.61 81.61 88.0588.05 S8S8 -675.981 -675.981 0.300 0.300     87.5187.51 제5렌즈5th lens S9S9 199.829 1998.29 35.000 35.000 1.45860 1.45860 90.19 90.19 82.8582.85 제6렌즈6th lens S10(S11)S10 (S11) -296.171 -296.171 8.995 8.995 1.75520 1.75520 27.53 27.53 81.381.3 S12S12 573.272 573.272 4.249 4.249     77.0177.01 제7렌즈7th lens S13S13 100.068 100.068 34.000 34.000 1.45860 1.45860 90.19 90.19 71.4371.43 S14S14 932.835 932.835 0.300 0.300     68.768.7 제8렌즈8th lens S15S15 77.860 77.860 25.000 25.000 2.00069 2.00069 25.46 25.46 55.6555.65 S16S16 119.320 119.320 5.599 5.599     46.7346.73 제9렌즈9th lens S17S17 210.403 210.403 4.000 4.000 1.59270 1.59270 35.45 35.45 45.2645.26 S18S18 41.195 41.195 4.299 4.299     33.0433.04 제10렌즈10th lens S19S19 45.241 45.241 17.204 17.204 2.00069 2.00069 25.46 25.46 32.3432.34 S20S20 53.419 53.419 27.767 27.767     24.9424.94 StopStop infinityinfinity 22 Image Image infinityinfinity

표 8는 제3실시 예에 따른 무한대에서, 100 mm, -100 mm까지의 물체 거리에 대한 데이터들로서, D0는 챠트 위치이며, D2는 물체거리가 변경에 따른 유효 초점거리이며, MAG 값은 이미지센서 크기/물체 크기의 값이다. Table 8 is data on object distances from infinity to 100 mm and -100 mm at infinity according to the third embodiment, where D0 is the chart position, D2 is the effective focal length according to the change of the object distance, and the MAG value is the image Value of sensor size/object size.

ConfigConfig 무한대infinity 100 mm100 mm -10 mm-10 mm DODO 55 -248.608193 -248.608193 258.6082 258.6082 D2D2 4 4 4.16704 4.16704 3.84162 3.84162 MAG MAG 0.025322 0.025322 0.02601 0.02601 0.02467 0.02467

제1 내지 제4실시 예(example)에 의한 검사 광학계에서, 수식(ep) 1-4의 각 실시 예에 따른 데이터와 각 수식 1-4에서의 L2, TL, Yobj, D1, L0, Omax, F 데이터들은 다음의 표 9와 같이 구해질 수 있다.In the inspection optical system according to the first to fourth embodiments (example), data according to each embodiment of Equation (ep) 1-4 and L2, TL, Yobj, D1, L0, Omax, F data can be obtained as shown in Table 9 below.

실시예1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 실시예 4Example 4 수식1Formula 1 0.15034150.1503415 0.32016930.3201693 0.24835690.2483569 0.24904330.2490433 수식2Formula 2 0.49082160.4908216 0.49313580.4931358 0.47628770.4762877 0.48055920.4805592 수식3Equation 3 0.24930460.2493046 0.05568160.0556816 0.01447030.0144703 0.01383570.0138357 수식4Formula 4 0.83063840.8306384 0.60935270.6093527 0.5755820.575582 0.63165080.6316508 L2L2 38.4538.45 115115 85.81685.816 9090 TLT.L. 255.751255.751 359.185359.185 345.535345.535 361.383361.383 YobjYobj 100100 136.5136.5 140140 132132 D1D1 203.74203.74 276.8276.8 293.94293.94 274.68274.68 L0L0 63.759963.7599 2020 55 55 OmaxOmax 99.67661399.676613 99.9980899.99808 99.99232199.992321 99.78544199.785441 FF 120120 164.10543164.10543 173.72385173.72385 157.97563157.97563

발명의 실시 예에 따른 카메라 모듈을 위한 검사 광학계는 콜리메이터 렌즈를 사용하지 않고, 근거리와 원거리를 동시에 측정할 수 있다. 또한 고정된 검사 광학계를 광축으로 이동되는 전자 챠트부를 통해 MTF 측정이 가능하여, 카메라 모듈 내에서 렌즈 광학계가 이미지 센서 상에서 틸트 여부를 검증할 수 있고, 렌즈 접착에 따른 에폭시 수축 문제를 검증할 수 있다. The inspection optical system for a camera module according to an embodiment of the present invention can measure a short distance and a long distance at the same time without using a collimator lens. In addition, MTF measurement is possible through the electronic chart that moves the fixed inspection optical system to the optical axis, so it is possible to verify whether the lens optical system in the camera module is tilted on the image sensor, and to verify the epoxy shrinkage problem due to lens adhesion. .

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Features, structures, effects, etc. described in the above embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, features, structures, effects, etc. illustrated in each embodiment can be combined or modified for other embodiments by those of ordinary skill in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents related to such combinations and modifications should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

또한, 이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In addition, although the embodiment has been described above, it is merely an example and does not limit the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains are exemplified above in a range that does not depart from the essential characteristics of the present embodiment. It can be seen that various modifications and applications that have not been made are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be implemented by modification. And differences related to such modifications and applications should be construed as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.

100: 전자 챠트부
110: 광원
120: 전자 챠트
200: 검사 광학계
210,220: 검사 광학부
300: 카메라 모듈
310: 렌즈 광학계
320: 이미지 센서
100: electronic chart unit
110: light source
120: electronic chart
200: inspection optical system
210,220: inspection optics
300: camera module
310: lens optical system
320: image sensor

Claims (10)

물체 측에서 센서 측으로 광축으로 정렬된 복수의 렌즈를 갖는 제1검사 광학부; 및
상기 제1검사 광학부와 테스트 대상인 카메라 모듈 사이에 배치되며 복수의 렌즈를 갖는 제2검사 광학부를 포함하며,
상기 제1검사 광학부와 상기 제2검사 광학부의 렌즈들은 상기 제1검사 광학부와 상기 제2검사 광학부 사이의 중심부에서 서로 대칭된 형상 및 배열을 가지며,
상기 제1 및 제2검사 광학부 각각은 텔레센트릭 광학계인, 카메라 모듈의 검사 광학계.
a first inspection optical unit having a plurality of lenses aligned with an optical axis from the object side to the sensor side; and
It is disposed between the first inspection optical unit and the camera module to be tested and includes a second inspection optical unit having a plurality of lenses,
The lenses of the first inspection optical unit and the second inspection optical unit have a shape and arrangement symmetrical to each other at a center between the first inspection optical unit and the second inspection optical unit,
Each of the first and second inspection optics is a telecentric optical system, the inspection optical system of the camera module.
제1 항에 있어서,
상기 제1 및 제2검사 광학부 각각은 9매 또는 10매의 렌즈를 갖는, 검사 광학계.
The method of claim 1,
and each of the first and second inspection optics has 9 or 10 lenses.
제1 항에 있어서,
상기 제1검사 광학부의 렌즈들 직경은 물체 측에서 센서 측으로 갈수록 점차 커지며,
상기 제2검사 광학부의 렌즈들 직경은 물체 측에서 센서 측으로 갈수록 점차 작아지는, 광학계.
The method of claim 1,
The diameter of the lenses of the first inspection optics gradually increases from the object side to the sensor side,
The diameter of the lenses of the second inspection optical unit gradually decreases from the object side to the sensor side.
제1 항에 있어서,
상기 제2검사 광학부에서 물체측 또는 상기 제1검사 광학부에 가장 가까운 렌즈는 물체 측으로 볼록한 메니스커스 형상인, 검사 광학계.
The method of claim 1,
In the second inspection optical unit, the lens closest to the object side or the first inspection optical unit has a meniscus shape convex toward the object side.
제4 항에 있어서,
상기 제2검사 광학부에서 센서측 또는 상기 제1검사 광학부에 가장 먼 렌즈는 물체 측으로 볼록한 메니스커스 형상인, 광학계.
5. The method of claim 4,
In the second inspection optical unit, the lens furthest from the sensor side or the first inspection optical unit has a meniscus shape convex toward the object side.
제1 항 내지 제5 항 중 어느 한에 있어서,
상기 제2검사 광학부는, 하기 수식 1를 만족하며,
[수식 1]
0.1 ≤ |L2/TL|≤0.5
상기 L2는 물체측에 가장 가까운 제1렌즈의 센서측 제2면과 이에 인접한 제2렌즈의 물체측 제3면 사이의 광축 거리이며,
상기 TL은 상기 제1렌즈의 물체측 제1면에서 카메라 모듈에 가장 인접한 렌즈의 센서측 면까지의 광축 거리인, 검사 광학계.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
The second inspection optical unit satisfies Equation 1 below,
[Formula 1]
0.1 ≤ |L2/TL| ≤0.5
L2 is the optical axis distance between the sensor-side second surface of the first lens closest to the object side and the object-side third surface of the second lens adjacent thereto,
wherein TL is an optical axis distance from the object-side first surface of the first lens to the sensor-side surface of the lens closest to the camera module.
제1 항 내지 제5 항 중 어느 한에 있어서,
상기 제2검사 광학부는 하기 수식 2를 만족하며,
[수식 2]
0.4 ≤ |Yobj/D1|≤ 0.5
상기 D1는 물체 측에 가장 가까운 제1렌즈의 직경이며, Yobj는 물체에 대한 최대 상고인, 검사 광학계.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
The second inspection optical unit satisfies the following Equation 2,
[Equation 2]
0.4 ≤ |Yobj/D1| ≤ 0.5
wherein D1 is the diameter of the first lens closest to the object side, and Yobj is the maximum image height with respect to the object.
제1 항 내지 제5 항 중 어느 한에 있어서,
상기 제2검사 광학부는 하기 수식 3을 만족하며,
[수식 3]
0.0 ≤ |L0/TL|≤0.3
허상 거리가 무한대일 때, L0는 중심부에서 제1렌즈의 물체측 제1면까지의 거리이고, TL은 제2검사 광학부의 전체 광축 거리인 검사 광학계.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
The second inspection optical unit satisfies the following Equation 3,
[Equation 3]
0.0 ≤ |L0/TL| ≤0.3
When the virtual image distance is infinity, L0 is the distance from the center to the first object-side surface of the first lens, and TL is the total optical axis distance of the second inspection optical unit.
제1 항 내지 제5 항 중 어느 한에 있어서,
상기 제2검사 광학부에서 물체의 최대 상고에서 주광선과 광축이 이루는 각도는 1도 이하인 검사 광학계.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
An angle between the chief ray and the optical axis at the maximum image height of the object in the second inspection optical unit is 1 degree or less.
광원 및 전자 챠트를 갖는 전자 챠트부;
렌즈 광학계 및 이미지 센서를 갖고, 내부에 엑츄에이터를 갖지 않는 카메라 모듈; 및
상기 전자 챠트부와 카메라 모듈 사이에 배치되며 상기 전자 챠트를 통과한 광선을 카메라 모듈에 집광시키는 검사 광학계를 포함하며,
상기 검사 광학계는 제1 항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 검사 광학계인, 카메라 모듈 검사 장치.
an electronic chart unit having a light source and an electronic chart;
a camera module having a lens optical system and an image sensor, and having no actuator therein; and
and an inspection optical system disposed between the electronic chart unit and the camera module and condensing the light beam passing through the electronic chart on the camera module,
The inspection optical system is an inspection optical system according to any one of claims 1 to 5, a camera module inspection apparatus.
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